KR101737117B1

KR101737117B1 - 가스 공급 유닛 및 가스 공급 장치

Info

Publication number: KR101737117B1
Application number: KR1020100061606A
Authority: KR
Inventors: 다까시 이노우에; 게이스께 가또오; 시게노부 니시다; 도시까즈 미와
Original assignee: 시케이디 가부시키가이샤
Priority date: 2009-06-30
Filing date: 2010-06-29
Publication date: 2017-05-17
Also published as: CN101936409A; JP5274518B2; JP2011027259A; KR20110001938A; CN101936409B; TW201100690A

Abstract

본 발명의 과제는 복수의 개폐 밸브가 설치된 블록의 폭을 축소할 수 있는 동시에 제조가 용이한 가스 공급 유닛을 제공하는 것이다.
가스 공급 유닛(11)의 유로 블록(20)은 장척 형상으로 연장되는 직육면체 형상으로 형성되어, 상면(20a)에 복수의 개폐 밸브(50)가 직렬로 탑재되어 있다. 각 개폐 밸브(50)의 각 밸브실(24)이 유로 블록(20)의 상면(20a)에 설치되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)는 밸브실(24)의 대략 중앙에 연통되는 동시에 유로 블록(20)의 상면(20a)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 하면으로 개방되어 있다. 캐링 가스 유로(21)는 이웃하는 개폐 밸브(50)의 밸브실(24)을 접속하고 있고, 유로 블록(20)의 양 측면(20c)의 한쪽의 측면(20c)과 다른 쪽의 측면(20c)에, 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치된 측면 유로(25)를 포함하고 있다. 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부와 홈부의 홈 개구를 덮는 덮개 부재에 의해 구성되어 있다.

Description

가스 공급 유닛 및 가스 공급 장치{GAS SUPPLY UNIT AND GAS SUPPLY APPARATUS}

본 발명은 복수 종류의 가스를 절환하여 유통시키는 가스 공급 유닛에 관한 것이다.

종래, 반도체 제조 공정 등에 사용되는 가스 공급 유닛으로서, 특허 문헌 1에 기재된 것이 있다. 특허 문헌 1에 기재된 것에 대해, 도 11 내지 도 13을 참조하여 설명한다. 또한, 도 11은 가스 공급 유닛의 평면도이고, 도 12는 도 11의 12-12선 단면도이고, 도 13은 도 11의 13-13선 단면도이다.

이 가스 공급 유닛(311)에서는, 캐링 가스 입력 포트(321s)로부터 캐링 가스 출력 포트(321e)까지 1개의 캐링 가스 유로(321)가 형성되고, 각 밸브 블록(320A 내지 320D)에는 프로세스 가스 입력 포트(322s)로부터 캐링 가스 유로(321)로 연통하는 프로세스 가스 유로(322)가 형성되어 있다.

각 밸브 블록(320A 내지 320D)에서는 개폐 밸브(350)에 의해 보디(335) 내에서 프로세스 가스 유로(322)와 캐링 가스 유로(321)의 연통ㆍ차단이 조작된다. 보디(335)의 내부에는 역「V」자형의 블록 유로(331)가 형성되고, 밸브실(324)에 연통한 프로세스 가스 유로(322)가 밸브 구멍(325)을 통해 유로(331)에 연통하고 있다. 베이스 블록(340)에는 「V」자형의 블록 유로(332)가 간격을 두고 형성되고, 밸브 블록(320A 내지 320D)의 각 블록 유로(331)와 베이스 블록(340)의 블록 유로(332)가 직렬로 접속되어 1개의 캐링 가스 유로(321)를 구성하고 있다.

국제 공개 제2004/036099호

그런데, 특허 문헌 1에 기재된 것은 개폐 밸브(350)가 배치되는 측면부(335a)에 대해 수직인 측면부(335c)에, 프로세스 가스 입력 포트(322s)가 설치되어 있으므로, 밸브 블록(320A 내지 320D)의 측방에 프로세스 가스 포트(322s)를 배치하는 공간을 확보할 필요가 있다. 여기서, 프로세스 가스 유로(322)를 상기 측면부(335a)와 평행한 측면부(335b)까지 연장하여 개방시키는 것도 생각되지만, 그 경우에는 캐링 가스 유로(321)와 프로세스 가스 유로(322A)(2점 쇄선으로 표시)의 간섭이 문제가 된다. 따라서, 밸브 블록(320A 내지 320D)의 폭(도 13에 있어서의 좌우 방향의 길이)을 축소하거나, 가스 공급 유닛(311)을 병렬로 배열하여 고집적화하는 것이 곤란하다.

또한, 특허 문헌 1에 기재된 것에서는, 각 밸브 블록(320A 내지 320D)의 블록 유로(331)와 베이스 블록(340)의 블록 유로(332)가 각각 「V」자형으로 형성되어 접속되어 있다. 그러나, 이러한 「V」자형이고 가는 유로를 길게 형성하는 가공은 용이하지 않다.

본 발명은 이러한 실상을 감안하여 이루어진 것으로, 복수의 개폐 밸브가 설치된 블록의 폭을 축소할 수 있는 동시에 제조가 용이한 가스 공급 유닛을 제공하는 것을 주된 목적으로 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해 이하의 수단을 채용하였다.

제1 발명은, 내부에 유로가 설치된 유로 블록을 구비하고, 상기 유로는 주유로와 상기 주유로에 각각 연통하는 복수의 부유로를 포함하고, 상기 부유로마다 개폐 밸브를 구비하여, 상기 개폐 밸브가 대응하는 상기 부유로와 상기 주유로를 차단 및 연통하는 가스 공급 유닛이며, 상기 유로 블록은 장척 형상으로 연장되는 직육면체 형상으로 형성되어, 상기 개폐 밸브가 탑재된 밸브 탑재면과 상기 부유로가 개방된 부유로 개구면을 갖고, 상기 밸브 탑재면 및 상기 부유로 개구면은 서로 반대측에 위치하는 면이고, 상기 개폐 밸브는 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 직렬로 배치되고, 상기 개폐 밸브의 각 밸브실이 상기 밸브 탑재면에 설치되고, 상기 부유로는 상기 밸브실의 대략 중앙에 연통되는 동시에 상기 밸브 탑재면으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 상기 부유로 개구면으로 개방되고, 상기 주유로는 이웃하는 상기 개폐 밸브의 상기 밸브실을 접속하고 있고, 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 적어도 한쪽에 설치된 측면 유로를 포함하고, 상기 측면 유로는 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부와 상기 홈부의 홈 개구를 덮는 덮개 부재에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 따르면, 부유로는 상기 유로 블록의 상기 밸브 탑재면과는 반대측의 부유로 개구면으로 개방되어 있으므로, 개폐 밸브(밸브실)가 탑재된 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면에 프로세스 가스의 입력 포트를 설치할 필요가 없다. 따라서, 복수의 개폐 밸브가 설치된 유로 블록의 폭을 축소할 수 있다.

그리고, 주유로는 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 적어도 한쪽에 설치되어 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 연장되는 측면 유로를 포함하고 있으므로, 주유로에 있어서 측면 유로 이외의 부분의 길이를 짧게 할 수 있다. 여기서, 측면 유로는 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부와 상기 홈부의 홈 개구를 덮는 덮개 부재에 의해 구성되어 있으므로, 측면 유로가 가늘고 긴 유로라도 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 유로 블록에 주유로를 용이하게 형성할 수 있고, 나아가서는 가스 공급 유닛을 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 측면 유로는 유로 블록의 내부를 측면(표면)까지 유로로서 이용할 수 있으므로, 유로 블록 내에 유로를 효율적으로 배치할 수 있다. 그 결과, 복수의 개폐 밸브가 설치된 유로 블록의 폭을 축소할 수 있다.

제2 발명에서는, 제1 발명에 있어서, 상기 측면 유로는 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 한쪽의 측면과 다른 쪽의 측면에, 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있으므로, 밸브 탑재면의 길이 방향에 관하여 이웃하는 측면 유로끼리의 간섭을 피할 수 있다. 따라서, 주유로에 있어서 형성이 용이한 측면 유로의 길이를 길게 할 수 있고, 측면 유로 이외의 부분의 길이를 보다 짧게 할 수 있다.

제3 발명에서는, 제2 발명에 있어서, 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 한쪽의 측면과 다른 쪽의 측면에 설치되고 또한 상기 밸브 탑재면의 길이 방향에 관하여 이웃하는 상기 측면 유로는, 상기 밸브 탑재면의 길이 방향에 있어서 상기 밸브실이 설치된 위치에서 서로 겹치는 부분을 갖고 있으므로, 밸브 탑재면의 폭 방향을 따라서 연장되는 유로에 의해, 밸브실을 통해 이들이 겹치는 부분을 접속할 수 있다. 따라서, 측면 유로와 밸브실을 접속하는 유로, 즉 주유로에 있어서 측면 유로 이외의 부분의 길이를 짧게 할 수 있다.

제4 발명에서는, 제1 발명에 있어서, 상기 측면 유로는 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면 중 한쪽의 측면에만 설치되어 있으므로, 측면 유로를 형성할 때에 유로 블록을 뒤집어서 가공할 필요가 없다. 따라서, 가스 공급 유닛을 제조하는 작업성이나 가공성을 향상시킬 수 있다.

제5 발명에서는, 제1 내지 제4 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 주유로는 동일한 상기 밸브실에 대해 상기 부유로와 상기 밸브실의 연통부를 사이에 두는 위치에 각각 접속되어 있으므로, 밸브실 내를 유통하는 캐링 가스(퍼지 가스)가 부유로와 밸브실의 연통부를 경유하기 쉬워진다. 즉, 상류측의 주유로로부터 밸브실로 유입된 캐링 가스는 부유로와 밸브실의 연통부를 경유하여 하류측의 주유로로 직선적으로 흐르기 쉬워진다. 따라서, 부유로로부터 밸브실로 유입되는 프로세스 가스를 캐링 가스에 의해 운반하기 쉬워지는 동시에, 프로세스 가스가 차단된 경우에 퍼지 가스에 의해 밸브실 내의 프로세스 가스를 빠르게 배출할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 관한 가스 공급 유닛에서는, 개폐 밸브(밸브실)가 설치된 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면에 프로세스 가스의 입력 포트를 설치할 필요가 없으므로, 제6 발명과 같이, 제1 내지 제5 중 어느 하나의 발명에 있어서의 가스 공급 유닛을 복수 구비하여, 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면끼리가 서로 접촉하도록 상기 가스 공급 유닛을 병렬로 배열함으로써, 하나하나의 가스 공급 유닛의 폭이 축소되는 동시에, 가스 공급 유닛끼리의 간극을 생략할 수 있다. 그 결과, 가스 공급 장치를 대폭으로 고집적화할 수 있다.

제7 발명에서는, 제1 내지 제5 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면 중, 상기 측면 유로가 설치된 부분에는 히터가 설치되어 있으므로, 측면 유로와 히터를 근접시킬 수 있다. 따라서, 측면 유로를 유통하는 가스를 효율적으로 가열할 수 있다.

제8 발명에서는, 제1 내지 제5 중 어느 하나의 발명에 있어서의 가스 공급 유닛을 복수 구비하여, 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면끼리가 이웃하도록 상기 가스 공급 유닛을 병렬로 배열하여, 상기 이웃하는 가스 공급 유닛의 상기 측면에 끼워 넣어지도록 히터가 설치되어 있으므로, 1개의 히터에 의해 이웃하는 가스 공급 유닛의 양쪽을 가열할 수 있다. 또한, 제2 발명과 같이, 상기 측면 유로는 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 한쪽의 측면과 다른 쪽의 측면에, 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있는 경우라도, 2개의 측면의 양쪽에 대해 히터가 배치되므로, 측면 유로를 유통하는 가스를 효율적으로 가열할 수 있다.

본 발명에 따르면, 복수의 개폐 밸브가 설치된 블록의 폭을 축소할 수 있는 동시에 제조가 용이한 가스 공급 유닛을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 가스 공급 유닛의 평면도.
도 2는 도 1의 2-2선 단면도.
도 3은 도 1의 3-3선 단면에 대해 유로 블록만을 도시하는 단면도.
도 4는 도 3의 4-4선 단면에 대해 일부만을 대표로 도시하는 단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 가스 공급 유닛의 평면도.
도 6은 도 5의 6-6선 단면도.
도 7은 도 6의 7-7선 단면에 대해 1개의 유로 블록을 대표로 도시하는 단면도.
도 8은 가스 공급 유닛의 변형예를 도시하는 단면도.
도 9는 유로 블록의 변형예를 도시하는 단면도.
도 10은 유로 블록의 다른 변형예를 도시하는 단면도.
도 11은 종래의 가스 공급 유닛의 평면도.
도 12는 도 11의 12-12선 단면도.
도 13은 도 11의 13-13선 단면도.

(제1 실시 형태)

이하, 본 발명을 구현화한 제1 실시 형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 가스 공급 장치(10)는 동일한 구성의 가스 공급 유닛(11)을 복수 구비하고 있다. 이들 가스 공급 유닛(11)은 서로 고정되어 있고, 전체적으로 일체화되어 있다.

가스 공급 유닛(11)은 장척 형상으로 연장되는 직육면체 형상으로 형성된 유로 블록(20)과, 복수의 개폐 밸브[50(50A)]를 구비하고 있다. 유로 블록(20)의 상면(20a)(밸브 탑재면)에는 개폐 밸브(50)가 탑재되어 있다. 개폐 밸브(50)는 상면(20a)의 길이 방향을 따라서 직렬로 배치되어 있다. 개폐 밸브(50)는 대략 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 유로 블록(20)의 상면(20a)의 폭은 개폐 밸브(50)의 원형을 이루는 상면의 직경과 대략 동등하게 되어 있다. 또한, 개폐 밸브(50)는 유로 블록(20)의 상면(20a)의 폭 내에 수납되어 있으면 좋고, 대략 원기둥 형상의 형상으로 한정되지 않고, 사각 기둥 형상의 형상 등 임의의 형상의 것을 채용할 수 있다.

복수의 가스 공급 유닛(11)은 유로 블록(20)의 상면(20a)의 폭 방향(길이 방향에 직교하는 방향)에 있어서, 서로의 측면(20c)끼리가 접촉되어 있다. 즉, 복수의 가스 공급 유닛(11)은 유로 블록(20)에 있어서 상면(20a)을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(20c)끼리가 서로 접촉하도록 병렬로 배열되어 있다. 이로 인해, 가스 공급 유닛(11)이 집적되는 방향, 즉 유로 블록(20)의 상면(20a)의 폭 방향에 있어서, 유로 블록(20)끼리의 사이에는 간극이 형성되어 있지 않다.

유로 블록(20)의 상면(20a)의 길이 방향의 일단부에는 캐링 가스(퍼지 가스)의 출력 포트(29)가 설치되어 있다. 이 출력 포트(29)와 반대측의 단부에 설치된 개폐 밸브(50A)는 캐링 가스의 유통 상태를 변경하고, 다른 개폐 밸브(50)는 각 프로세스 가스의 유통 상태를 변경한다.

다음에, 도 2, 도 3을 더불어 참조하여, 1개의 가스 공급 유닛(11)의 구성에 대해 대표로 설명한다. 또한, 도 2는 도 1의 2-2선 단면도이고, 도 3은 도 1의 3-3선 단면도에 대해 개폐 밸브(50)를 생략하여 도시하고 있다.

유로 블록(20)의 내부에는 전체적으로 유로 블록(20)의 길이 방향[상면(20a)의 길이 방향]으로 연장되는 캐링 가스 유로(21)(주유로)가 설치되어 있다. 캐링 가스 유로(21)에 있어서 하류측의 단부에는 캐링 가스의 출력 포트(29)가 접속되어 있다. 캐링 가스 유로(21)는 유로 블록(20)에 있어서 상면(20a)을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(20c)에 각각 설치된 측면 유로(25)를 포함하고 있다. 측면 유로(25)는 이들 양 측면(20c)의 한쪽의 측면(20c)과 다른 쪽의 측면(20c)에, 상면(20a)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있다. 즉, 측면 유로(25)는 유로 블록(20)에 있어서 상면(20a)의 길이 방향을 따라서 지그재그 형상으로 설치되어 있다.

유로 블록(20)의 내부에는 캐링 가스 유로(21)에 각각 연통하는 복수의 프로세스 가스 유로(22)(부유로)가 설치되어 있다. 프로세스 가스 유로[22(22A)]는 유로 블록(20)의 하면(20b)(부유로 개구면)으로 개방되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)는 하면(20b)에 있어서 폭 방향(도 3의 좌우 방향)의 중앙으로 개방되어 있다. 즉, 프로세스 가스 유로(22)의 개구부는 유로 블록(20)의 폭 방향에 있어서 균등하게 배치되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)는 상면(20a) 및 하면(20b)에 대해 수직으로 설치되어 있다.

유로 블록(20)의 하면(20b)에는 장척 형상으로 연장되는 대략 직육면체 형상의 접속 부재(40)가 프로세스 가스 유로(22)마다 설치되어 있다. 접속 부재(40)는 볼트(44)에 의해 유로 블록(20)에 고정되어 있다. 접속 부재(40)의 길이 방향 및 폭 방향은 유로 블록(20)의 길이 방향 및 폭 방향과 각각 일치하고 있다. 접속 부재(40)의 폭은 유로 블록(20)의 폭과 동등하게 설정되어 있다.

접속 부재(40)에는 그 하면으로부터 상면까지 관통하는 직선 형상의 도입 유로[42(42A)]가 설치되어 있다. 도입 유로(42)는 접속 부재(40)의 길이 방향에 있어서 중앙에 설치되는 동시에, 접속 부재(40)의 폭 방향에 있어서 중앙에 설치되어 있다. 그리고, 각 도입 유로(42)는 유로 블록(20)의 각 프로세스 가스 유로(22)에 접속되어 있다. 즉, 각 도입 유로(42)는 각 프로세스 가스 유로(22)의 연장선 상에 설치되어 있다. 이들 도입 유로(42) 및 프로세스 가스 유로(22)의 접속부는 가스킷에 의해 시일되어 있다. 도입 유로(42)의 상류측의 단부[접속 부재(40)의 하면]에는 입력 포트(42s)가 접속 부재(40)의 돌출부로서 설치되어 있다. 도입 유로(42)의 입력 포트(42s)에는 프로세스 가스를 공급하는 배관이 접속된다. 또한, 개폐 밸브(50)에 접속되어 있는 도입 유로(42A)(실질적으로는 캐링 가스 유로)의 입력 포트(42s)에는 캐링 가스(퍼지 가스)를 공급하는 배관이 접속된다.

상기 측면 유로(25)는 접속 부재(40)를 고정하는 볼트(44)와 간섭하지 않도록, 유로 블록(20)에 있어서 하면(20b)으로부터 이격된 위치에 설치되어 있다. 바꾸어 말하면, 측면 유로(25)는 유로 블록(20)에 있어서 밸브실(24)의 근방에 설치되어 있다. 모든 측면 유로(25)는 유로 블록(20)에 있어서 하면(20b)[상면(20a)]으로부터 동일한 거리에 설치되어 있다.

유로 블록(20)의 상면(20a)에는 유로 블록(20)의 길이 방향[상면(20a)의 길이 방향]을 따라서 소정 간격으로 상기 개폐 밸브(50)의 밸브실(24)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 각 프로세스 가스 유로(22)는 각 밸브실(24)에 연통되어 있다. 즉, 개폐 밸브(50)는 프로세스 가스 유로(22)마다 설치되어 있다. 또한, 이웃하는 개폐 밸브(50)의 밸브실(24)은 상기 캐링 가스 유로(21)에 의해 접속되어 있다. 따라서, 각 프로세스 가스 유로(22)는 각 밸브실(24)을 통해 캐링 가스 유로(21)에 접속되어 있다.

밸브실(24)은 유로 블록(20)의 폭 방향[유로 블록(20)의 상면(20a)의 폭 방향]에 있어서 중앙에 설치되어 있다. 밸브실(24)은 대략 원형의 오목부로서 형성되어 있다. 그리고, 밸브실(24)은 유로 블록(20)의 폭을 축소하기 위해, 유로 블록(20)의 폭 방향의 대략 전체 길이에 걸쳐서 설치되어 있다. 바꾸어 말하면, 유로 블록(20)의 폭은 밸브실(24)의 직경과 대략 동등하거나 또는 그것보다도 약간 넓게 설정되어 있다. 밸브실(24)의 중앙에는 개폐 밸브(50)의 밸브체(51)가 접촉 및 이격되는 벨브 시트(24a)가 설치되어 있다. 벨브 시트(24a)는 대략 원환상의 돌기부로서 형성되어 있다.

상술한 바와 같이, 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 양 측면(20c)의 한쪽의 측면(20c)과 다른 쪽의 측면(20c)에, 상면(20a)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있다. 이로 인해, 상류측의 캐링 가스 유로(21)와 하류측의 캐링 가스 유로(21)가 동일한 밸브실(24)에 접속되는 부분에 있어서, 이웃하는 측면 유로(25)끼리가 간섭하는 것을 피할 수 있다. 바꾸어 말하면, 상류측의 측면 유로(25)와 하류측의 측면 유로(25)가 한쪽의 측면(20c)에만 설치되는 경우에는, 이들 측면 유로(25)끼리가 간섭하지 않도록, 측면 유로(25)의 길이를 짧게 하거나 또는 상면(20a)으로부터 각 측면 유로(25)까지의 거리를 다르게 할 필요가 있다.

밸브실(24)의 중앙, 즉 벨브 시트(24a)로 둘러싸이는 부분에 상기 프로세스 가스 유로(22)가 연통되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)는 유로 블록(20)의 상면(20a)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)는 직선 형상으로 형성되어 있고, 원형의 단면을 갖고 있다. 각 프로세스 가스 유로(22)는 각 밸브실(24)과의 접속부 부근이 다른 부분보다도 가늘어지도록, 즉 각 밸브실(24)과의 접속부 부근의 유로 단면적이 다른 부분의 유로 단면적보다도 작아지도록 형성되어 있다. 이로 인해, 유로 블록(20)의 폭을 축소하기 위해 벨브 시트(24a)의 직경을 작게 할 수 있다.

개폐 밸브(50)는 전자 구동식 밸브로, 코일(52)로의 통전 제어를 통해 밸브체(51)를 왕복 구동한다. 그리고, 밸브실(24)에 설치된 벨브 시트(24a)에 밸브체(51)가 접촉 및 이격됨으로써, 상기 프로세스 가스 유로(22)와 밸브실(24)이 차단 및 연통된다. 또한, 개폐 밸브(50)는 전자 구동식 밸브로 한정되지 않고, 에어 오퍼레이트식 밸브나 압전 소자 구동식 밸브 등, 임의의 형식의 것을 채용할 수도 있다.

다음에, 도 3, 도 4를 참조하여, 캐링 가스 유로(21)의 구성에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 도 4는 도 3의 4-4선 단면에 대해 일부만을 대표로 도시하는 단면도이다.

캐링 가스 유로(21)는 상기 측면 유로(25)와 접속 유로(27)에 의해 구성되어 있다. 측면 유로(25)에 비해 접속 유로(27)는 매우 짧게 형성되어 있다.

상술한 바와 같이, 측면 유로(25)는 유로 블록(20)에 있어서 상면(20a)을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(20c), 즉 상면(20a)에 수직인 측면(20c)에 각각 설치되어 있다. 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부(25a)와 홈부(25a)의 홈 개구를 덮는 덮개 부재(25b)에 의해 구성되어 있다. 홈부(25a)는 측면(20c)의 표면을 절삭함으로써 형성되어 있고, 소정의 폭 및 깊이를 갖고 있다. 덮개 부재(25b)는 홈부(25a)를 따라서 연장되어 있고, 측면 유로(25)를 유통하는 가스가 누설되지 않도록 용접 등에 의해 유로 블록(20)에 고정되어 있다. 덮개 부재(25b)의 표면은 유로 블록(20)의 측면(20c)의 표면과 일치하고 있다. 이로 인해, 양 측면(20c)은 전체적으로 평면으로 형성되어 있다. 따라서, 복수의 유로 블록(20)을 측면(20c)끼리가 서로 접촉하도록 병렬로 배열하는 경우에, 그들 유로 블록(20) 사이에 간극이 형성되는 것을 억제할 수 있다.

홈부(25a)는, 홈부(25a)가 프로세스 가스 유로(22)에 간섭하지 않는 동시에, 유로 블록(20)의 폭 방향에 관하여, 밸브실(24)과 홈부(25a)가 겹침을 갖도록 형성되어 있다. 또한, 홈부(25a)는, 유로 블록(20)의 길이 방향[상면(20a)의 길이 방향]에 관하여, 밸브실(24)과 홈부(25a)가 겹침을 갖도록 형성되어 있다. 그리고, 유로 블록(20)의 양 측면(20c)의 한쪽의 측면(20c)과 다른 쪽의 측면(20c)에 설치되고 또한 유로 블록(20)의 길이 방향에 관하여 이웃하는 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 길이 방향에 있어서 밸브실(24)이 설치된 위치에서 서로 겹치는 겹침 부분(25d)을 갖고 있다. 이로 인해, 유로 블록(20)의 폭 방향[상면(20a)의 폭 방향]을 따라서 연장되는 접속 유로(27)에 의해, 밸브실(24)을 통해 2개의 겹침 부분(25d)을 접속할 수 있다. 상세하게는, 홈부(25a)와 밸브실(24)이 상면(20a)에 수직인 접속 유로(27)에 의해 접속되어 있다. 접속 유로(27)는 대략 원형의 단면을 갖고 있고, 일정한 직경으로 형성되어 있다.

동일한 밸브실(24)에 접속되는 2개의 접속 유로(27), 즉 상류측의 캐링 가스 유로(21) 및 하류측의 캐링 가스 유로(21)는 밸브실(24)에 있어서 프로세스 가스 유로(22)와 밸브실(24)의 연통부를 사이에 두는 위치에 각각 접속되어 있다. 바꾸어 말하면, 상류측의 접속 유로(27)와 밸브실(24)의 연통부, 프로세스 가스 유로(22)와 밸브실(24)의 연통부 및 하류측의 접속 유로(27)와 밸브실(24)의 연통부가 직선 상에 배열되어 있다. 이로 인해, 프로세스 가스 유로(22)로부터 밸브실(24)로 유입되는 프로세스 가스는, 상류측의 접속 유로(27)로부터 밸브실(24)로 유입되고 밸브실(24)로부터 하류측의 접속 유로(27)로 유출되는 캐링 가스에 의해 운반되기 쉬워진다. 또한, 개폐 밸브(50)에 의해 프로세스 가스가 차단된 경우에는, 상류측의 접속 유로(27)로부터 밸브실(24)로 유입되는 캐링 가스가, 벨브 시트(24a)의 주위를 유통하여 밸브실(24)로부터 하류측의 접속 유로(27)로 유출된다. 이로 인해, 밸브실(24) 내에 프로세스 가스가 잔류하는 것을 억제할 수 있다.

이와 같이 구성된 가스 공급 유닛(11)에 있어서, 복수의 프로세스 가스 유로(22) 중, 가스 공급 유닛(11)의 길이 방향에 있어서 캐링 가스의 출력 포트(29)와 반대측의 단부에 설치된 프로세스 가스 유로(22A)는 캐링 가스(퍼지 가스)의 유로로서 사용된다. 그리고, 이 프로세스 가스 유로(22A)에 대응하는 개폐 밸브(50A)에 의해 캐링 가스가 차단 및 유통된다. 그 밖의 프로세스 가스 유로(22)에는 각 프로세스 가스가 공급되고, 각각에 대응하는 개폐 밸브(50)에 의해 각 프로세스 가스가 차단 및 유통된다. 또한, 병렬로 배열된 가스 공급 유닛(11)에 의해 가스 공급 장치(10)가 구성되어, 전체적으로 캐링 가스 및 프로세스 가스의 유통 상태가 제어된다. 또한, 캐링 가스 유로(21)에 캐링 가스를 유통시키지 않고, 프로세스 가스 및 퍼지 가스의 유로로서 사용해도 좋다.

이상에 상세하게 서술한 본 실시 형태는 이하의 이점을 갖는다.

프로세스 가스 유로(22)는 유로 블록(20)에 있어서 개폐 밸브(50)[밸브실(24)]가 탑재된 상면(20a)과는 반대측의 하면(20b)으로 개방되어 있으므로, 상면(20a)에 대해 수직인 측면(20c)에 프로세스 가스의 입력 포트를 설치할 필요가 없다. 따라서, 복수의 개폐 밸브(50)가 설치된 유로 블록(20)의 폭을 축소할 수 있다.

그리고, 캐링 가스 유로(21)는 유로 블록(20)에 있어서 상면(20a)을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(20c)의 적어도 한쪽에 설치되어 유로 블록(20)의 길이 방향[상면(20a)의 길이 방향]을 따라서 연장되는 측면 유로(25)를 포함하고 있다. 이로 인해, 캐링 가스 유로(21)에 있어서 측면 유로(25) 이외의 부분인 접속 유로(27)의 길이를 짧게 할 수 있다. 여기서, 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부(25a)와 홈부(25a)의 개구를 덮는 덮개 부재(25b)에 의해 구성되어 있으므로, 측면 유로(25)가 가늘고 긴 유로라도 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 유로 블록(20)에 캐링 가스 유로(21)를 용이하게 형성할 수 있고, 나아가서는 가스 공급 유닛(11)을 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 내부를 측면(20c)(표면)까지 유로로서 이용할 수 있으므로, 유로 블록(20) 내에 유로를 효율적으로 배치할 수 있다. 그 결과, 유로 블록(20)의 폭을 축소할 수 있다.

측면 유로(25)는 유로 블록(20)에 있어서 상면(20a)을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(20c)의 한쪽의 측면(20c)과 다른 쪽의 측면(20c)에, 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있으므로, 유로 블록(20)의 길이 방향에 관하여 이웃하는 측면 유로(25)끼리의 간섭을 피할 수 있다. 따라서, 캐링 가스 유로(21)에 있어서 형성이 용이한 측면 유로(25)의 길이를 길게 할 수 있고, 측면 유로(25) 이외의 부분인 접속 유로(27)의 길이를 보다 짧게 할 수 있다.

유로 블록(20)의 길이 방향에 관하여 이웃하는 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 길이 방향에 있어서 밸브실(24)이 설치된 위치에서 서로 겹치는 겹침 부분(25d)을 갖고 있으므로, 유로 블록(20)의 폭 방향[상면(20a)의 폭 방향]을 따라서 연장되는 유로에 의해, 밸브실(24)을 통해 이들 겹침 부분(25d)을 접속할 수 있다. 따라서, 측면 유로(25)와 밸브실(24)을 접속하는 접속 유로(27), 즉 캐링 가스 유로(21)에 있어서 측면 유로(25) 이외의 부분의 길이를 짧게 할 수 있다.

상류측 및 하류측의 캐링 가스 유로(21)는 동일한 밸브실(24)에 대해 프로세스 가스 유로(22)와 밸브실(24)의 연통부를 사이에 두는 위치에 각각 접속되어 있으므로, 밸브실(24) 내를 유통하는 캐링 가스가 프로세스 가스 유로(22)와 밸브실(24)의 연통부를 경유하기 쉬워진다. 즉, 상류측의 캐링 가스 유로(21)로부터 밸브실(24)로 유입된 캐링 가스는 프로세스 가스 유로(22)와 밸브실(24)의 연통부를 경유하여 하류측의 캐링 가스 유로(21)로 직선적으로 흐르기 쉬워진다. 따라서, 프로세스 가스 유로(22)로부터 밸브실(24)로 유입되는 프로세스 가스를 캐링 가스에 의해 운반하기 쉬워지는 동시에, 프로세스 가스가 차단된 경우에 밸브실(24) 내의 프로세스 가스를 빠르게 배출할 수 있다.

본 실시 형태의 가스 공급 유닛(11)에서는 개폐 밸브(50)[밸브실(24)]가 탑재된 상면(20a)에 대해 수직인 측면(20c)에 프로세스 가스의 입력 포트를 설치할 필요가 없다. 그리고, 가스 공급 장치(10)는 복수의 가스 공급 유닛(11)을 구비하여, 상면(20a)을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(20c)끼리가 서로 접촉하도록 가스 공급 유닛(11)을 병렬로 배열하고 있다. 이로 인해, 하나하나의 가스 공급 유닛(11)의 폭이 축소되는 동시에, 가스 공급 유닛(11)끼리의 간극을 생략할 수 있다. 그 결과, 가스 공급 장치(10)를 대폭으로 고집적화할 수 있다.

(제2 실시 형태)

이하, 본 발명을 구현화한 제2 실시 형태에 대해, 제1 실시 형태와의 차이점을 중심으로 도면을 참조하면서 설명한다. 제2 실시 형태에서는, 도 5에 도시한 바와 같이 유로 블록(120)의 양 측면(120c) 중 한쪽의 측면(120c)에만 측면 유로(125)가 설치되어 있는 점에서 제1 실시 형태와 상이하다. 또한, 제1 실시 형태와 동일한 부재에 대해서는, 동일한 번호를 부여함으로써 설명을 생략한다.

가스 공급 유닛(111)은 장척 형상으로 연장되는 직육면체 형상으로 형성된 유로 블록(120)과, 복수의 보조 유로 블록(60)과, 복수의 개폐 밸브[50(50A)]를 구비하고 있다. 유로 블록(120)의 상면에는 각 보조 유로 블록(60)을 통해 각 개폐 밸브(50)가 탑재되어 있다. 보조 유로 블록(60) 및 개폐 밸브(50)는 유로 블록(120)의 상면의 길이 방향[유로 블록(120)의 길이 방향]을 따라서 직렬로 배치되어 있다.

보조 유로 블록(60)은 장척 형상으로 연장되는 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 보조 유로 블록(60)은 유로 블록(120)의 상면에 고정되어 있다. 보조 유로 블록(60)의 길이 방향 및 폭 방향은 유로 블록(120)의 길이 방향 및 폭 방향과 각각 일치하고 있다. 보조 유로 블록(60)의 폭은 유로 블록(120)의 폭과 동등하게 설정되어 있다. 상기 개폐 밸브(50)는 각 보조 유로 블록(60)의 상면(120a)(밸브 탑재면)에 각각 탑재되어 있다. 유로 블록(120) 및 보조 유로 블록(60)을 합쳐서 전체의 유로 블록이라고 간주했을 때에, 각 보조 유로 블록(60)의 각 상면(120a)을 합쳐서 전체의 유로 블록의 상면(밸브 탑재면)이라고 간주할 수 있다. 전체의 유로 블록의 길이 방향 및 폭 방향은 유로 블록(120)의 길이 방향 및 폭 방향과 각각 일치하고 있다.

다음에, 도 6을 더불어 참조하여, 1개의 가스 공급 유닛(111)의 구성에 대해 대표로 설명한다. 또한, 도 6은 도 5의 6-6선 단면도이다.

유로 블록(120)의 내부에는 전체적으로 유로 블록(120)의 길이 방향으로 연장되는 캐링 가스 유로(121)(주유로)가 설치되어 있다. 캐링 가스 유로(121)에 있어서 하류측의 단부에는 캐링 가스의 출력 포트(29)가 접속되어 있다. 캐링 가스 유로(121)는 유로 블록(120)에 있어서 상면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면(120c), 즉 유로 블록(120)의 상면[보조 유로 블록(60)의 상면(120a)]에 수직인 양 측면(120c) 중 한쪽의 측면(120c)에만 설치된 측면 유로(125)를 포함하고 있다. 측면 유로(125)는 유로 블록(120)의 길이 방향을 따라서 연장되어 있다.

유로 블록(120) 및 보조 유로 블록(60)의 내부에는 캐링 가스 유로(121)에 연통하는 프로세스 가스 유로(22) 및 보조 프로세스 가스 유로(62)(부유로)가 각각 설치되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)와 보조 프로세스 가스 유로(62)는 직렬로 접속되어 있고, 이들 접속부는 가스킷에 의해 시일되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)의 기본적인 구성은 제1 실시 형태의 프로세스 가스 유로(22)와 동일하므로, 여기서는 설명을 생략한다. 보조 프로세스 가스 유로(62)는 보조 유로 블록(60)의 하면으로부터 상면을 향해 직선 형상으로 연장되어 있다. 보조 프로세스 가스 유로(62)는 보조 유로 블록(60)의 길이 방향에 있어서 중앙에 설치되는 동시에, 보조 유로 블록(60)의 폭 방향에 있어서 중앙에 설치되어 있다. 각 보조 프로세스 가스 유로(62)는 각 프로세스 가스 유로(22)의 연장선 상에 설치되어 있다.

보조 유로 블록(60)의 상면(120a)에는 상기 개폐 밸브(50)의 밸브실(124)이 설치되어 있다. 밸브실(124)의 기본적인 구성은 제1 실시 형태의 밸브실(24)과 동일하므로, 여기서는 설명을 생략한다. 그리고, 상기 각 보조 프로세스 가스 유로(62)는 각 밸브실(124)에 연통되어 있다. 즉, 개폐 밸브(50)는 보조 프로세스 가스 유로(62)[프로세스 가스 유로(22)]마다 설치되어 있다. 프로세스 가스 유로(22)는 보조 프로세스 가스 유로(62)를 통해 밸브실(124)에 접속되어 있다. 또한, 이웃하는 개폐 밸브(50)의 밸브실(124)은 상기 캐링 가스 유로(121)에 의해 접속되어 있다. 따라서, 각 프로세스 가스 유로(22) 및 보조 프로세스 가스 유로(62)는 각 밸브실(124)을 통해 캐링 가스 유로(121)에 접속되어 있다. 개폐 밸브(50)는 밸브체(51)에 의해 보조 프로세스 가스 유로(62)[프로세스 가스 유로(22)]와 밸브실(124)을 차단 및 연통한다.

상술한 바와 같이, 캐링 가스 유로(121)는 유로 블록(120)의 양 측면(120c) 중 한쪽의 측면(120c)에만 설치된 측면 유로(125)를 포함하고 있다. 측면 유로(125)는 유로 블록(120)의 길이 방향을 따라서 연장되어 있다. 여기서, 상류측의 측면 유로(125)와 하류측의 측면 유로(125)가 동일한 밸브실(124)에 접속되는 부분에 있어서, 이들 측면 유로(125)끼리의 간섭을 피하기 위해, 이들 측면 유로(125)가 서로 이격되어 설치되어 있다. 그리고, 이들 측면 유로(125)는 유로 블록(120)의 내부에 설치된 접속 유로(127a, 127b)와, 보조 유로 블록(60)의 내부에 설치된 보조 접속 유로(67)를 통해, 개폐 밸브(50)의 밸브실(124)에 접속되어 있다. 보조 접속 유로(67)는 유로 블록(120)의 길이 방향을 따르는 동시에 보조 유로 블록(60)의 하면에 대해 경사 방향으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 이 경우라도, 캐링 가스 유로(121)는 유로 블록(120)의 길이 방향으로 연장되는 측면 유로(125)를 포함하고 있으므로, 보조 접속 유로(67)의 길이가 길어지는 것을 억제할 수 있다. 접속 유로(127b)와 보조 접속 유로(67)의 접속부는 가스킷에 의해 시일되어 있다.

동일한 밸브실(124)에 접속되는 2개의 보조 접속 유로(67), 즉 상류측의 캐링 가스 유로(121) 및 하류측의 캐링 가스 유로(121)는 밸브실(124)에 있어서 보조 프로세스 가스 유로(62)와 밸브실(124)의 연통부를 사이에 두는 위치에 각각 접속되어 있다. 이로 인해, 보조 프로세스 가스 유로(62)로부터 밸브실(124)로 유입되는 프로세스 가스는 상류측의 보조 접속 유로(67)로부터 밸브실(124)로 유입되고 밸브실(124)로부터 하류측의 보조 접속 유로(67)로 유출되는 캐링 가스에 의해 운반되기 쉬워진다. 또한, 개폐 밸브(50)에 의해 프로세스 가스가 차단된 경우에는, 밸브실(124) 내에 프로세스 가스가 잔류하는 것을 억제할 수 있다.

다음에, 도 7을 더불어 참조하여, 측면 유로(125) 및 접속 유로(127a, 127b)의 구성에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 도 7은 도 6의 7-7선 단면에 대해 1개의 유로 블록(120)을 대표로 도시하는 단면도이다.

상기 캐링 가스 유로(121)는 측면 유로(125)와 접속 유로(127a, 127b)와 보조 접속 유로(67)에 의해 구성되어 있다. 측면 유로(125)에 비해 접속 유로(127a, 127b) 및 보조 접속 유로(67)는 짧게 형성되어 있다.

측면 유로(125)는 유로 블록(120)의 양 측면(120c) 중 한쪽의 측면(120c)에만 설치되어 있는 점과, 제1 실시 형태의 측면 유로(25)보다도 짧게 형성되어 있는 점을 제외하고, 제1 실시 형태의 측면 유로(25)와 기본적으로 동등한 구성을 갖고 있다. 측면 유로(125)는 유로 블록(120)의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부(125a)와, 홈부(125a)의 홈 개구를 덮는 판형상의 덮개 부재(125b)에 의해 구성되어 있다.

유로 블록(120)의 길이 방향에 있어서 측면 유로(125)의 단부에는 유로 블록(120)의 폭 방향으로 연장되는 접속 유로(127a)가 연통되어 있다. 접속 유로(127a)는 측면 유로(125)[홈부(125a)]와의 연통부로부터, 유로 블록(120)의 폭 방향의 중앙까지 직선 형상으로 연장되어 있다. 이로 인해, 측면 유로(125)의 홈부(125a)를 형성한 후에, 측면(120c)의 방향으로부터 드릴 등에 의해 접속 유로(127a)를 형성할 수 있다.

유로 블록(120)의 폭 방향의 중앙에 있어서, 접속 유로(127a)의 단부에는 상기 접속 유로(127b)의 단부가 연통되어 있다. 이 접속 유로(127b)는 유로 블록(120)의 폭 방향으로 연장되는 접속 유로(127a)와의 연통부로부터, 보조 유로 블록(60)의 방향으로 직선 형상으로 연장되어 유로 블록(120)의 상면으로 개방되어 있다. 이로 인해, 유로 블록(120)의 상면의 방향으로부터 드릴 등에 의해 접속 유로(127b)를 형성할 수 있다. 접속 유로(127b)는 보조 유로 블록(60)의 상면(120a)[유로 블록(120)의 하면(120b)]에 대해 수직으로 배치되어 있다. 그리고, 접속 유로(127b)는 보조 유로 블록(60)에 설치된 상기 보조 접속 유로(67)에 접속되어 있다.

이와 같이 구성된 가스 공급 유닛(111)에 있어서도, 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛(11)과 마찬가지로 캐링 가스 및 프로세스 가스의 유통 상태가 제어된다.

이상에 상세하게 서술한 본 실시 형태는 이하의 이점을 갖는다. 또한, 제1 실시 형태와 다른 이점만을 기재한다.

측면 유로(125)는 유로 블록(120)의 양 측면(120c) 중 한쪽의 측면(120c)에만 설치되어 있으므로, 측면 유로(125)를 형성할 때에 유로 블록(120)을 뒤집어서 가공할 필요가 없다. 따라서, 가스 공급 유닛(111)을 제조하는 작업성이나 가공성을 향상시킬 수 있다.

상기 실시 형태로 한정되지 않고, 예를 들어 다음과 같이 실시할 수도 있다.

캐링 가스 유로(121)의 상류측 및 하류측의 단부를 유로 블록(120)의 길이 방향의 단부면으로 개방시켜도 좋다. 이 경우에는, 프로세스 가스 유로(22A)로부터 프로세스 가스를 유입시켜, 개폐 밸브(50A)는 프로세스 가스를 차단 및 연통시키게 된다. 또한, 캐링 가스의 유통 상태를 변경하는 개폐 밸브는 가스 공급 유닛[11(111)]과는 별도로 설치하도록 하면 좋다.

제1 실시 형태의 가스 공급 유닛(11)에 있어서, 개폐 밸브(50)가 탑재된 상면(20a)에 수직인 2개의 측면(20c)에, 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치된 측면 유로(25)는 유로 블록(20)의 길이 방향에 있어서 밸브실(24)이 설치된 위치에서 서로 겹치는 겹침 부분(25d)을 갖고 있지 않아도 좋다. 도 8에 도시한 바와 같이, 이러한 구성이라도, 접속 유로(227)를 유로 블록(20)의 폭 방향으로 적절하게 연장함으로써, 측면 유로(25)와 밸브실(24)을 접속할 수 있다.

도 9에 도시한 바와 같이, 유로 블록(20)의 양 측면(20c) 중 한쪽의 측면(20c)에만 측면 유로(25)가 설치되어 있는 구성에 있어서, 보조 유로 블록(60)을 통하지 않고, 측면 유로(25)와 밸브실(24)이 접속 유로(227)에 의해 접속되도록 해도 좋다.

밸브실[24(124)]에 의해 접속된 캐링 가스 유로[21(121)]는 밸브실[24(124)]에 있어서 프로세스 가스 유로(22)[보조 프로세스 가스 유로(62)]와 밸브실[24(124)]의 접속부를 사이에 두는 위치에 접속되어 있었지만, 이와 같은 배치로 반드시 한정되지 않는다. 또한, 캐링 가스 유로[21(121)]가 각 밸브실[24(124)]에 1군데에서만 연통하는 구성을 채용할 수도 있다.

도 10에 도시한 바와 같이, 유로 블록(20)의 상면(20a)에 수직인 측면(20c) 중, 측면 유로(25)가 설치된 부분에는 히터(70)가 설치되어 있는 구성을 채용할 수도 있다. 여기서는, 2개의 측면(20c)의 대략 전체에 히터(70)를 설치하도록 하고 있다. 이러한 구성에 따르면, 측면 유로(25)와 히터(70)가 근접하게 되므로, 측면 유로(25)를 유통하는 가스를 효율적으로 가열할 수 있다. 또한, 유로 블록(20)의 2개의 측면(20c)에, 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치된 측면 유로(25)에 대응시켜, 2개의 측면(20c)에 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 교대로 히터(70)를 설치하도록 해도 좋다. 제2 실시 형태의 유로 블록(120)에 있어서는, 측면 유로(125)가 한쪽의 측면(120c)에만 설치되어 있으므로, 그 측면 유로(125)가 설치된 한쪽의 측면(120c)에만 히터를 설치하도록 해도 좋다. 또한, 도 10에 도시한 바와 같이, 유로 블록(20)의 길이 방향으로 연장되는 박판 형상 또는 박막 형상으로 히터(70)를 형성함으로써, 가스 공급 유닛(11)의 폭이 확대되는 것을 억제할 수 있다.

유로 블록[20(120)]의 양 측면[20c(120c)]끼리가 이웃하도록 복수의 가스 공급 유닛[11(111)]을 병렬로 배열하고, 이웃하는 가스 공급 유닛[11(111)]의 측면[20c(120c)]에 끼워 넣어지도록 히터를 설치하도록 해도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 1개의 히터에 의해 이웃하는 가스 공급 유닛[11(111)]의 양쪽을 가열할 수 있다. 또한, 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛(11)과 같이, 측면 유로(25)는, 2개의 측면(20c)에 유로 블록(20)의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있는 경우라도, 2개의 측면(20c)의 양쪽에 대해 히터가 배치되므로, 측면 유로(25)를 유통하는 가스를 효율적으로 가열할 수 있다. 즉, 측면 유로(25)가 유로 블록(20)의 양 측면(20c)에 설치된 구성이라도, 측면 유로(25)가 한쪽의 측면(20c)에만 설치된 구성과 동수의 히터로 측면 유로(25)를 유통하는 가스를 가열할 수 있다.

도 1, 도 5에 있어서, 복수의 가스 공급 유닛[11(111)]의 출력 포트(29)를 접속하여, 복수의 가스 공급 유닛[11(111)]의 조합에 의해 가스의 종류나 유량을 제어할 수도 있다.

11 : 가스 공급 유닛
20 : 유로 블록
20a : 밸브 탑재면으로서의 상면
20c : 측면
21 : 주유로로서의 캐링 가스 유로
22 : 부유로로서의 프로세스 가스 유로
24 : 밸브실
25 : 측면 유로
50 : 개폐 밸브

Claims

내부에 유로가 설치된 유로 블록을 구비하고, 상기 유로는 주유로와 상기 주유로에 각각 연통하는 복수의 부유로를 포함하고, 상기 부유로마다 개폐 밸브를 구비하고, 상기 개폐 밸브가 대응하는 상기 부유로와 상기 주유로를 차단 및 연통하는 가스 공급 유닛이며,
상기 유로 블록은 장척 형상으로 연장되는 직육면체 형상으로 형성되어, 상기 개폐 밸브가 탑재된 밸브 탑재면과 상기 부유로가 개방된 부유로 개구면을 갖고, 상기 밸브 탑재면 및 상기 부유로 개구면은 서로 반대측에 위치하는 면이고,
상기 개폐 밸브는 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 직렬로 배치되고, 상기 개폐 밸브의 각 밸브실이 상기 밸브 탑재면에 설치되고,
상기 부유로는 상기 밸브실의 중앙에 연통되는 동시에 상기 밸브 탑재면으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 상기 부유로 개구면으로 개방되고,
상기 주유로는 이웃하는 상기 개폐 밸브의 상기 밸브실을 접속하고 있고, 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 적어도 한쪽에 설치된 측면 유로를 포함하고, 상기 측면 유로는 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 연장되는 홈부와 상기 홈부의 홈 개구를 덮는 덮개 부재에 의해 구성되며,
상기 측면 유로는 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 한쪽의 측면과 다른 쪽의 측면에, 상기 밸브 탑재면의 길이 방향을 따라서 교대로 설치되어 있으며,
상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면의 한쪽의 측면과 다른 쪽의 측면에 설치되고 또한 상기 밸브 탑재면의 길이 방향에 관하여 이웃하는 상기 측면 유로는 상기 밸브 탑재면의 길이 방향에 있어서 상기 밸브실이 설치된 위치에서 서로 겹치는 부분을 갖고 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 유닛.
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제1항에 있어서, 상기 측면 유로는 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면 중 한쪽의 측면에만 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 유닛.
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 주유로는 동일한 상기 밸브실에 대해 상기 부유로와 상기 밸브실의 연통부를 사이에 두는 위치에 각각 접속되어 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 유닛.
제1항 또는 제4항에 기재된 가스 공급 유닛을 복수 구비하여, 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면끼리가 서로 접촉하도록 상기 가스 공급 유닛을 병렬로 배열한 것을 특징으로 하는, 가스 공급 장치.
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면 중, 상기 측면 유로가 설치된 부분에는 히터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 유닛.
제1항 또는 제4항에 기재된 가스 공급 유닛을 복수 구비하여, 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면끼리가 이웃하도록 상기 가스 공급 유닛을 병렬로 배열하고,
상기 이웃하는 가스 공급 유닛의 상기 측면에 끼워 넣어지도록 히터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 장치.
제5항에 기재된 가스 공급 유닛을 복수 구비하여, 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면끼리가 서로 접촉하도록 상기 가스 공급 유닛을 병렬로 배열한 것을 특징으로 하는, 가스 공급 장치.
제5항에 있어서, 상기 유로 블록에 있어서 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면 중, 상기 측면 유로가 설치된 부분에는 히터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 유닛.
제5항에 기재된 가스 공급 유닛을 복수 구비하여, 상기 밸브 탑재면을 폭 방향으로부터 끼우는 양 측면끼리가 이웃하도록 상기 가스 공급 유닛을 병렬로 배열하고,
상기 이웃하는 가스 공급 유닛의 상기 측면에 끼워 넣어지도록 히터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 가스 공급 장치.