KR101726379B1

KR101726379B1 - Infrared ray steel heater of temperature correction and that method

Info

Publication number: KR101726379B1
Application number: KR1020160081292A
Authority: KR
Inventors: 원도희; 원성민
Original assignee: 원도희
Priority date: 2016-06-29
Filing date: 2016-06-29
Publication date: 2017-04-13

Abstract

The present invention relates to a far-infrared surface heater with upper and lower reflection plates and a lateral reflection plate for temperature uniformity correction and a temperature uniformity correcting method using the same, and more particularly, a far-infrared surface heater with upper and lower reflection plates and a lateral reflection plate for temperature uniformity correction, capable of improving temperature uniformity inside a chamber by forming a front reflection plate to face the heater while interposing a target object and forming the lateral reflection plate on an edge thereof, and a temperature uniformity correcting method using the same.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a far infrared ray surface heater having a reflector and a reflector for correcting temperature uniformity,

본 발명은, 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상 히터와 이를 이용한 온도균일도 보정 방법에 관한 것으로서, 원적외선 히터의 면적이 넓어질수록 원적외선 히터 내부에서 발생하는 온도 불균일 현상을 보상하기 위하여, 히터에 형성되는 온도 제어존을 최소화한, 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터와 이를 이용한 온도 균일도 보정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a far infrared ray surface heater having upper and lower reflectors and side reflectors for correcting temperature uniformity and a temperature uniformity correcting method using the far infrared ray surface heater and a method of correcting temperature uniformity caused by the inside of the far infrared ray heater The present invention relates to a far infrared ray surface heater provided with a top and bottom reflector and a side reflector for temperature uniformity correction which minimizes a temperature control zone formed in a heater and a temperature uniformity correction method using the far infrared ray surface heater.

일반적으로, 대상 물질을 가열하는 방법으로 연소발열, 전기저항발열, 마이크로파가열, 유도가열, 적외선 가열 등 다양한 방법이 사용 가능하나, 정밀성을 요하는 OELD 제조 공정에서는 급속가열이 가능하고, 가열 품질이 우수할 뿐만 아니라, 비접촉 상태로 대상 물질을 가열 가능하여 대상물질의 신뢰성을 향상 시킬 수 있는 원적외선 히터 장치가 특히 주목받고 있다.Generally, various methods such as combustion heating, electric resistance heating, microwave heating, induction heating, infrared heating, etc. can be used as a method of heating a target material. However, in an OELD manufacturing process requiring precision, rapid heating is possible, Infrared heater device capable of heating a target material in a noncontact state to improve the reliability of a target material has attracted particular attention.

그러나, 종래의 원적외선 히터는 원적외선을 방출하여 대상물질을 비접촉 발열시키므로 히터 챔버 내부의 각 구역(Zone)마다 서로 다른 온도가 형성되는 열적 불균형 현상이 나타나게 되어, 온도 보정을 위하여 히터에 다수의 온도 제어존을 형성한 후, 각 존을 개별 제어하여 불균일한 온도를 보상해야 하는 단점이 발생하였다.However, since the conventional far infrared ray heater emits far-infrared rays to cause non-contact heat generation of a target material, a thermal imbalance phenomenon occurs in which different temperatures are formed in each zone of the heater chamber. A disadvantage has arisen that after the zones are formed, the individual zones are individually controlled to compensate for the uneven temperature.

즉, 서로 다른 온도를 가지는 챔버의 각 구역별 온도를 개별 보상하기 위하여 히터를 복수개의 구역으로 구분하고, 각 구역마다 측정 장치와 제어장치가 개별적으로 구비되어야 할 뿐만 아니라, 각각의 장치에 에너지를 전달하기 위한 복잡한 전기회로 또한 필수적으로 구성되어야 하므로, 원적외선 히터의 종류가 많아지고 제작 및 유지비용이 증가한 것이다.That is, in order to individually compensate the temperature of each zone of the chamber having different temperatures, the heater should be divided into a plurality of zones, and each of the zones must be provided with a measuring device and a control device separately, A complicated electric circuit for transferring is also essential, so that the number of kinds of far-infrared heaters is increased and manufacturing and maintenance costs are increased.

따라서, 원적외선 히터의 챔버 내부에서 발생하는 온도 불균일 현상을 최소화할 수 있는 원적외선 히터와, 온도균일도 보정방법의 필요성이 대두되고 있다.Accordingly, there is a need for a far infrared ray heater and a temperature uniformity correction method that can minimize temperature non-uniformity occurring in the chamber of the far infrared ray heater.

일본공개특허 제2000-133437호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-133437

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 히터 챔버 내부의 온도 불균일 현상을 해소하여, 불균일한 각 구역의 온도를 보상하기 위하여 구성되는 히터의 제어존 개수를 최소화 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems and to solve the problem of temperature unevenness inside the heater chamber and to minimize the number of control zones of the heater configured to compensate for the temperature of each non- .

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터는, 일측에서 타측으로 적외선을 방출하는 히터(100); 및 상기 히터(100)의 타측에 대향 형성되는 정면 반사부(200); 를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a far-infrared ray surface heater including a top reflector and a side reflector for correcting temperature uniformity, the apparatus comprising: a heater for emitting infrared rays from one side to the other; And a front reflector 200 formed opposite to the other side of the heater 100; And a control unit.

또한, 상기 정면 반사부(200)의 가장자리에 형성되는 복수개의 측면 반사부(300)를 더 포함 하는 것을 특징으로 한다.In addition, the display device may further include a plurality of side reflectors 300 formed at edges of the front reflector 200.

또한, 상기 히터(100)와 상기 정면 반사부(200)와, 상기 측면 반사부(300)를 감싸며, 전면에 유입부(410)가 형성되고, 측면에 환기부(420)가 형성되는 챔버(400)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a chamber (not shown) which surrounds the heater 100, the front reflector 200, the side reflector 300, and has an inlet 410 formed on the front surface thereof and a ventilation portion 420 formed on a side surface thereof 400). &Lt; / RTI >

또한, 상기 정면 반사부(200)와 상기 측면 반사부(300)는 복수개의 반사판(210, 310)을 포함하고, 각각의 상기 반사판(210, 310)은 슬라이딩 이동 및 탈부착 가능한 것을 특징으로 한다.The front reflector 200 and the side reflector 300 may include a plurality of reflectors 210 and 310 and each of the reflectors 210 and 310 may be slidable and removable.

또한, 상기 측면 반사부(300)는 상기 환기부(420)의 개폐면적을 제어하는 것을 특징으로 한다.In addition, the side reflector 300 controls the open / close area of the ventilation part 420.

또한, 상기 챔버(400)은, 상기 히터(100)를 지지하고, 외부에서 유입된 가열대상(1)을 지지하는 고정유닛(431)이 형성된 하부 프레임(430)과, 상기 정면 반사부(200) 및 측면 반사부(300)가 결합되는 상부 프레임(440)을 포함하며, 상기 하부 프레임(430)에 하면 반사부(500)가 형성되는 것을 특징으로 한다.The chamber 400 includes a lower frame 430 supporting the heater 100 and having a fixing unit 431 for supporting the heating object 1 introduced from the outside, And a lower reflector 500 is formed on the lower frame 430. The lower reflector 500 is formed on the upper frame 440 and the lower reflector 500. [

또한, 상기 정면 반사부(200)는 상기 상부 프레임(440)에 결합되며, 상기 정면 반사판(210)의 이동을 가이드 하는 제1 슬라이딩 가이드(220)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The front reflector 200 is coupled to the upper frame 440 and includes a first sliding guide 220 for guiding movement of the front reflector 210.

또한, 상기 측면 반사부(200)는 상기 상부 프레임(440)의 가장자리에 결합되며, 상기 측면 반사판(310)의 이동을 가이드 하는 제2 슬라이딩 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.The side reflector 200 includes a second sliding guide coupled to an edge of the upper frame 440 and guiding movement of the side reflector 310.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터의 온도 균일도 보정방법은, 히터(100)에서 방출되는 적외선을 반사부(200, 300)를 이용하여 반사하는 반사단계(S100); 반사된 적외선에 대응하여 변화되는 구역별 챔버(400) 내부 온도를 측정하는 온도 측정단계(S200); 온도 불균일이 발생하는 구역의 반사부(200, 300)를 구성하는 반사판(210, 310)을 이동시키거나 탈부착 하여 열평형을 맞추는 온도 평형단계(S300); 를 포함하는 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, there is provided a method of correcting temperature uniformity of a far-infrared ray surface heater including a top reflector and a side reflector according to the present invention, Reflection step S100; A temperature measuring step (S200) of measuring the internal temperature of the chamber (400) which is changed corresponding to the reflected infrared rays; A temperature balancing step (S300) of moving the reflectors (210, 310) constituting the reflectors (200, 300) in the region where the temperature unevenness occurs, or removing and attaching them to match the thermal equilibrium; [0015] FIG.

또한, 상기 정면 반사부(200)는 적외선이 방출되는 상기 히터(100)의 타측에 대향 형성되고, 상기 측면 반사부(300)는 상기 정면 반사부(200)의 가장자리에 형성되며, 각각의 상기 반사판(210, 310)은 슬라이딩 이동 및 탈부착 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 일측에서 타측으로 적외선을 방출하는 히터(100); 상기 히터(100)의 타측에 대향 형성되는 정면 반사부(200); 상기 정면 반사부(200)의 가장자리에 형성되는 복수개의 측면 반사부(300); 및 상기 히터(100)와 상기 정면 반사부(200)와, 상기 측면 반사부(300)를 감싸며, 전면에 유입부(410)가 형성되는 챔버(400)를 더 포함하며, 상기 정면 반사부(200)는 복수개의 정면 반사판(210)을 포함하고, 상기 측면 반사부(300)는 복수개의 측면 반사판(310)을 포함하며, 상기 정면 반사판(210)과 상기 측면 반사판(310)은 슬라이딩 이동 및 탈부착 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 히터(100)에서 방출되는 적외선을 반사부(200, 300)를 이용하여 반사하는 반사단계(S100); 반사된 적외선에 대응하여 변화되는 구역별 챔버(400) 내부 온도를 측정하는 온도 측정단계(S200); 온도 불균일이 발생하는 구역의 반사부(200, 300)를 구성하는 반사판(210, 310)을 이동시키거나 탈부착 하여 열평형을 맞추는 온도 평형단계(S300); 를 포함하며, 상기 반사부(200, 300)는 적외선이 방출되는 상기 히터(100)의 타측에 대향 형성되는 복수개의 정면 반사판(210)으로 구성되는 정면 반사부(200)와, 상기 정면 반사부(200)의 가장자리에 형성되는 복수개의 측면 반사판(310)으로 구성되는 측면 반사부(300)를 포함하며, 상기 정면 반사판(210)과 상기 측면 반사판(310)은 슬라이딩 이동 및 탈부착 가능한 것을 특징으로 한다.
The front reflector 200 is formed on the other side of the heater 100 that emits infrared rays and the side reflector 300 is formed on the edge of the front reflector 200, The reflectors 210 and 310 are characterized by being slidable and removable.
A heater 100 for emitting infrared rays from one side to the other side; A front reflector 200 formed opposite to the other side of the heater 100; A plurality of side reflectors 300 formed at edges of the front reflector 200; And a chamber 400 surrounding the heater 100, the front reflector 200 and the side reflector 300 and having an inlet 410 formed on the front surface thereof, The front reflector 210 and the side reflector 310 may include a plurality of front reflectors 210 and the side reflectors 300 may include a plurality of side reflectors 310, And is removable.
In addition, a reflection step (S100) of reflecting infrared rays emitted from the heater (100) using the reflection parts (200, 300); A temperature measuring step (S200) of measuring the internal temperature of the chamber (400) which is changed corresponding to the reflected infrared rays; A temperature balancing step (S300) of moving the reflectors (210, 310) constituting the reflectors (200, 300) in the region where the temperature unevenness occurs, or removing and attaching them to match the thermal equilibrium; Wherein the reflectors 200 and 300 include a front reflector 200 formed of a plurality of front reflectors 210 opposed to the other side of the heater 100 from which infrared rays are emitted, And a side reflector 300 formed of a plurality of side reflectors 310 formed at the edges of the side reflector 200. The front reflector 210 and the side reflector 310 are slidable and removable do.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터와 이를 이용한 온도균일도 보정 방법은, 대상물체를 사이에 두고 히터와 마주보는 정면 반사부를 이용하여 챔버 중앙부에서 발생하는 온도 불균형을 최소화 하는 장점을 가진다.The far infrared ray surface heater and the temperature uniformity correcting method using the upper and lower reflectors and the side reflector for correcting the temperature uniformity according to the present invention having the above configuration are characterized in that the temperature is uniformly adjusted by using a front reflector facing the heater, Thereby minimizing the temperature imbalance generated in the heat exchanger.

또한, 챔버의 가장자리에 측면 반사부를 형성하여 외각부분에서 나타나는 외부로 열이 방출되는(heat sink) 현상을 최소화 함으로서, 챔버 가장자리에서 발생하는 온도 불균형을 감소시키는 장점을 가진다.Further, by forming a side reflector at the edge of the chamber, it is possible to minimize the heat sink phenomenon in the outer portion, thereby reducing temperature imbalance occurring at the edge of the chamber.

그리고, 정면 반사부와 측면 반사부가 이동 및 탈부착 가능하게 형성되어 열적 불균형이 발생되는 구역으로 반사부를 이동 시키거나 탈부착 하는 간단한 방법으로 열적 불균형을 보상할 수 있는 장점을 가진다.The thermal imbalance can be compensated for by a simple method of moving or attaching the reflection part to a region where the front reflector and the side reflector are formed so as to be movable and detachable.

도 1은 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터의 사시도.
도 2는 히터와 정면 반사부 및 측면 반사부의 배치를 나타낸 정면도.
도 3은 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터의 히터의 온도제어 구역과, 종래의 원적외선 히터의 온도제어 구역을 배교한 개념도.
도 4는 챔버 중심에서 가장자리고 가며 변화되는 온도를 나타낸 개념도.
도 5는 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터의 정면도.
도 6은 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터의 상부프레임 사시도.
도 7은 정면 반사부의 슬라이딩 결합을 나타낸 개념도.
도 8은 하면 반사부를 나타낸 평면도.FIG. 1 is a perspective view of a far-infrared ray surface heater having upper and lower reflectors and side reflectors for temperature uniformity correction according to the present invention. FIG.
2 is a front view showing the arrangement of a heater, a front reflector, and a side reflector.
3 is a conceptual diagram showing a temperature control zone of a heater of a far-infrared ray surface heater having upper and lower reflection plates and side reflection plates for temperature uniformity correction according to the present invention and a temperature control zone of a conventional far-infrared heater.
FIG. 4 is a conceptual view showing a temperature changing at the edge of the center of the chamber. FIG.
5 is a front view of a far-infrared ray surface heater having upper and lower reflectors and side reflectors for temperature uniformity correction according to the present invention.
6 is a perspective view of an upper frame of a far-infrared ray surface heater having upper and lower reflectors and side reflectors for temperature uniformity correction according to the present invention.
7 is a conceptual view showing sliding engagement of a front reflector;
8 is a plan view showing a bottom reflector.

일반적으로 종래의 원적외선 히터는 챔버 내부의 상측 또는 하측에 적외선을 방출하는 히터가 구비되고, 히터의 뒷면에 반사판이 구비되어 히터를 통해 하측으로 입사되는 적외선을 반사함으로서, 챔버 내부 공간의 열전달 효율을 높여주는 역할을 한다.In general, a conventional far-infrared heater has a heater that emits infrared rays on the upper side or the lower side of the chamber, reflects infrared rays incident on the lower side through a heater provided on the rear surface of the heater, It also plays a role of raising.

이러한 종래의 히터는 반사판이 히터의 뒷면에만 구비되어 챔버 내부에서 발생하는 온도 불균일 현상을 보상하기 위하여, 히터를 복수개의 구역(zone)으로 구분한 후 각 구역을 개별 제어하는 방식을 사용하였다. 즉, 각 구역의 온도를 측정하고 타 지역과 온도차가 발생하는 지역을 히터를 제어하여 보상하여 줌으로서, 챔버 내부의 온도 균일도를 높여준 것이다.In order to compensate for the temperature non-uniformity occurring in the chamber, the conventional heater is provided only on the backside of the heater, and the heater is divided into a plurality of zones and the zones are individually controlled. That is, by measuring the temperature of each zone and compensating the zone where the temperature difference occurs with the other zone, the temperature uniformity inside the chamber is increased.

그러나, 상기와 같이 히터의 뒷면에 반사판이 구비되는 종래의 히터는 온도 불균일 현상이 극심하여, 히터를 적어도 12개 이상의 구역으로 구분하고, 각각의 구역에서 개별적으로 온도 측정 및 보상해야 하므로 생산 및 유지를 위한 비용 또한 증가하여 실용성이 낮은 단점이 발생하였다. However, in the conventional heater in which the reflector is provided on the back surface of the heater as described above, the temperature non-uniformity phenomenon is extreme, and the heater is divided into at least 12 zones and the temperature is individually measured and compensated in each zone. The cost for the operation is increased and the practicality is low.

이하에서는, 도면을 참조하여 상기와 같은 종래의 원적외선 히터의 문제점을 해소한 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터(1000)에 관하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a far infrared ray surface heater 1000 having upper and lower reflectors and side reflectors for correcting temperature uniformity, which is the present invention, which solves the problems of the conventional far infrared ray heater as described above, will be described with reference to the drawings.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터는 챔버(400) 내부에 일측에서 타측으로 적외선을 방출하는 히터(100)가 구비되고, 상기 히터(100)의 타측에 정면 반사부(200)가 대향 형성된다. 즉, 히터(100)가 챔버(400)의 하측에 위치될 경우 상기 정면 반사부(200)가 히터(100)의 상측에 형성되고, 히터(100)가 챔버(400)의 상측에 위치될 경우 정면 반사부(200)가 히터(100)의 하측에 형성되는 것이다.1 and 2, the far-infrared ray surface heater having the upper and lower reflectors and the side reflector for temperature uniformity correction according to the present invention includes a heater 400 for emitting infrared rays from one side to the other inside the chamber 400 And the front reflector 200 is opposed to the other side of the heater 100. That is, when the heater 100 is positioned below the chamber 400, the front reflector 200 is formed on the upper side of the heater 100, and when the heater 100 is positioned on the upper side of the chamber 400 The front reflector 200 is formed on the lower side of the heater 100.

상세히 설명하면, 상기 히터(100)와 상기 정면 반사부(200) 사이에 대상물체(1)가 위치되고, 상기 히터(100)에서 상기 대상물체(1)를 향하여 원적외선을 방출하며, 상기 정면 반사부(200)는 상기 대상물체(1)를 통과한 원적외선과 상기 히터(100) 또는 상기 히터(100)의 하면에 형성된 하면 반사부(500)에서 반사된 적외선을 재반사 하는 역할을 하는 것이다.More specifically, a target object 1 is positioned between the heater 100 and the front reflector 200, emits far infrared rays toward the target object 1 from the heater 100, The infrared ray reflected from the bottom reflector 500 formed on the bottom surface of the heater 100 or the heater 100 is reflected by the far infrared ray passing through the object 1.

즉, 히터(100)의 정면에 상기 정면 반사부(200)를 형성하여 대상물체(1)를 투과한 원적외선과, 히터(100)의 하면에 위치된 하면 반사부(500)에서 반사된 원적외선을 다시 반사하여 챔버(400) 내부의 온도 균일도를 향상 시키는 것이다.That is, the front reflector 200 is formed on the front surface of the heater 100, and the far infrared rays transmitted through the object 1 and the far infrared rays reflected from the bottom reflector 500 positioned on the lower surface of the heater 100 So that the temperature uniformity inside the chamber 400 is improved.

다시한번 말하면, 상기 정면 반사부(200)가 형성되지 않을 경우 챔버(400)의 하측에서 상측으로 이동하여 챔버(400)의 상면에 부딪히는 원적외선은 접촉되는 대상에 따라 가지고 있는 에너지를 빼앗기는 정도가 달라진다. 일 실시예를 설명하면 원적외선에 의해 급격히 가열되며 온도 보존능력이 뛰어난 대상의 경우, 원적외선이 입사 및 반사되는 과정에서 소량의 에너지만을 빼앗기지만, 대상 물체가 접촉다른 대상과 열교환을 통해 열을 방출하는 능력이 뛰어난 대상일 경우 원적외선이 지속적으로 다량의 에너지를 빼앗기게 된다.In other words, when the front reflector 200 is not formed, far infrared rays which move from the lower side of the chamber 400 to the upper side of the chamber 400 have a different degree of energy deprivation depending on the object to be contacted . In the case of an object which is rapidly heated by far-infrared rays and excellent in temperature storage capability, only a small amount of energy is taken away in the process of entering and reflecting far-infrared rays, but the object emits heat through heat exchange with another object in contact with the object In the case of an excellent target, the far-infrared ray continuously consumes a large amount of energy.

따라서, 본 발명에서는 상기 정면 반사부(200)를 이용하여 입사되는 원적외선을 반사함으로서 원적외선이 챔버 상부를 구성하는 다양한 물체와 접촉하며, 접촉 대상에 대응하여 개별적인 양의 에너지를 빼앗기는 것을 방지함으로서, 대상물체(1)의 각 표면에 입사되는 원적외선의 에너지 크기를 일정하게 할 뿐만 아니라, 챔버(400) 내부의 온도 균일도를 향상시킨 것이다.Accordingly, in the present invention, the far-infrared rays incident on the front reflector 200 are reflected, so that the far-infrared rays are in contact with various objects constituting the upper part of the chamber, and the individual amounts of energy corresponding to the objects to be contacted are prevented from being lost, Infrared rays incident on the respective surfaces of the object 1 are made uniform in size and temperature uniformity in the chamber 400 is improved.

그리고, 본 발명인 온도 균일도 보정을 위한 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상히터는 상기 정면 반사부(200)의 가장자리에 측면 반사부(300)가 더 형성될 수 있다.In addition, the far-infrared ray surface heater having the upper and lower reflection plates and the side reflection plates for the temperature uniformity correction of the present invention may further include the side reflection unit 300 at the edge of the front reflection unit 200.

도 3을 참조하여 설명하면, 본 발명은 상기 정면 반사부(200)를 이용하여 온도 균일도를 향상시켜 줌으로서, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 복수개로 구분되던 히터의 중심 구역을 (b)에 도시된 바와 같이 (A)구역으로 단일화 시켰으나, 가장자리 구역의 경우 외부로 열이 방출되는 현상(Heat sink) 현상에 의해 단지 히터(100)의 상면에 정면 반사부(200)를 형성하는 것만으로 해결하기 어렵다.3, the present invention can improve the uniformity of temperature by using the front reflector 200, so that the central region of the heater, which is divided into a plurality of portions as shown in FIG. 3 (a) the front reflector 200 is formed on the upper surface of the heater 100 only by the heat sink phenomenon that heat is radiated to the outside in the case of the edge zone, It is difficult to solve by just.

따라서, 본 발명에서는 도3 (b)의 가장자리 구역 (B, C, D, E, F)지역에 측면 반사부(300)를 형성하여 도 4에 도시된 바와 같이 가장리에서 열에너지가 챔버(400)의 옆면(2)을 통해 방출되어 중심 구역(A)의 중앙부(3)에 열이 집중되어 중앙에서 온도가 높고 가장자리(side)로 갈수록 온도가 낮아지는 열섬현상이 생기는 것을 방지한 것이다.Accordingly, in the present invention, the side reflector 300 is formed in the edge regions B, C, D, E, and F of FIG. 3 (b) To prevent heat island phenomenon in which the heat is concentrated in the central portion 3 of the central region A so that the temperature is high at the center and the temperature is lowered toward the edge.

그리고, 상기 정면 반사부(200)와 상기 측면 반사부(300)는 복수개의 반사판(210, 310)을 포함하고, 각각의 상기 반사판(210, 310)이 슬라이딩 이동 및 탈부착 가능하게 형성되는 것을 권장한다.The front reflector 200 and the side reflector 300 include a plurality of reflectors 210 and 310 and it is recommended that each of the reflectors 210 and 310 is formed to be slidable and removable do.

도 5를 참조하여 설명하면, 상기 챔퍼(400)는 상기 히터(100)를 지지하고, 외부에서 유입된 가열대상(1)을 지지하는 고정유닛(431)이 형성된 하부 프레임(430)과 상기 정면 반사부(200) 및 측면 반사부(300)가 결합되는 상부 프레임(440)을 포함하여 이루어진다.5, the chamfer 400 includes a lower frame 430 supporting the heater 100, a lower frame 430 having a fixing unit 431 for supporting the heating object 1 introduced from the outside, And an upper frame 440 to which the reflector 200 and the side reflector 300 are coupled.

즉, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 정면 반사부(200)와 상기 측면 반사부(300)가 상기 챔버(400)의 상부 프레임(440)에 결합되어 도 5에 도시된 바와 같이 하부프레임(430)에 위치된 히터(100)에서 방출되는 원적외선을 반사하되, 정면 반사부(200)는 상부 프레임(440)의 중앙구역(A) 안에서 이동 가능하게 형성되어, 열적 불균일이 발생하는 구역으로 이동하여 불균일한 구역의 온도를 보상하여 주고, 측면 반사부(300)는 제2 슬라이딩 가이드를 따라 상부 프레임(440)의 가장자리 구역(B, C, D, E)을 이동하여 열적 불균일을 발생하는 구역의 불균일한 열에너지를 보상하여 주는 것이다.6, the front reflector 200 and the side reflector 300 are coupled to the upper frame 440 of the chamber 400 to form the lower frame 430 The front reflector 200 is formed to be movable in the central region A of the upper frame 440 and moves to a region where thermal irregularity occurs And the side reflector 300 moves the edge regions B, C, D, and E of the upper frame 440 along the second sliding guide to generate thermal nonuniformity It compensates for uneven heat energy.

아울러, 도면 상에서 상기 하부 프레임(430)이 챔버(400)의 하측에 위치되고 상기 상부 프레임(440)이 챔버(400)의 상측에 위치되는 것을 도시하였지만 이는 설명을 쉽게 하기 위한 하나의 실시예일 뿐이며, 하부 프레임(430)이 상측에 위치되고 상부 프레임(440)이 하측에 위치될 수 있음은 물론이다.Although the lower frame 430 is positioned on the lower side of the chamber 400 and the upper frame 440 is positioned on the upper side of the chamber 400 in the drawing, The lower frame 430 may be positioned on the upper side and the upper frame 440 may be positioned on the lower side.

또한, 상기 정면 반사부(200)의 정면 반사판(210)과 상기 측면 반사부(310)의 측면 반사판은 다양한 방법으로 상기 상부 프레임(440)의 하면을 따라 이동할 수 있으며, 일 실시예로는 도 7에 도시된 바와 같이 하측 단부가 서로 마주보는 내측으로 절곡된 제1 슬라이딩 가이드(220)의 상측이 상부 프레임(400)에 결합되고, 측면 반사판(310)의 상측에 제1 슬라이딩 가이드의 하측 절곡부에 끼워지는 돌기가 형성되어 정면 반사판(210)이 제1 슬라이딩 가이드(220)를 타고 상부 프레임(440)의 중앙구역(A)을 자유롭게 이동하는 것이 가능하며, 도면에는 도시되지 않았지만 측면 반사부(300) 역시 상부 프레임(440)의 가장자리에 결합되며 측면 반사판(310)의 이동을 보조하는 제2 슬라이딩 가이드에 결합되어 가장자리 구역(B, C, D, E)를 자유롭게 이동하는 것이 가능하다.The side reflector 210 of the front reflector 200 and the side reflector 310 may move along the lower surface of the upper frame 440 in various manners. 7, the upper side of the first sliding guide 220, which is folded inward facing the lower end of the first sliding guide 220, is coupled to the upper frame 400, It is possible for the front reflector 210 to move freely through the first sliding guide 220 and the central region A of the upper frame 440. Although not shown in the drawings, C, D, and E are coupled to a second sliding guide that is coupled to the edge of the upper frame 440 and assists the movement of the side reflector 310, and is free to move the edge zones B, C, D,

그리고, 필요에 따라 측면 반사부(200)와 정면 반사부(300)를 구성하는 반사판(210, 310)은 상부 프레임(440)에서 탈부착 하는 것이 용이하게 형성되는 것을 권장한다.It is recommended that the reflectors 210 and 310 constituting the side reflector 200 and the front reflector 300 are easily detachable from the upper frame 440 if necessary.

상세히 설명하면, 일반적으로 챔버(400)는 전면에 대상물체(1)가 유입되는 유입부(410)가 형성되 측면에 환기부(420)가 형성되며, 대상물체(1)는 유입부(410)를 통해 챔버(400) 내부로 인입되어 하부 프레임(430)에 형성된 고정유닛(431)에 의해 고정 지지된다. 이때, 챔버(400) 내부의 온도 불균일 현상은 가열되는 대상물체(1)의 재질, 두께에 대응하여 변화되기 때문에, 이에 대응하여 상부 프레임(440)의 하면에 결합된 정면 반사판(210)과, 상부 프레임(440)의 가장자리에 결합된 측면 반사판(310)의 결합 위치와, 결합 개수를 제어하여 온도 균일도를 보상하는 것이다.In detail, the chamber 400 generally has an inlet 410 through which a target object 1 flows, and a ventilation unit 420 on a side thereof. The object 1 includes an inlet 410, And is fixedly supported by a fixed unit 431 formed on the lower frame 430. [0054] At this time, since the temperature unevenness inside the chamber 400 changes according to the material and thickness of the object 1 to be heated, the front reflector 210 coupled to the lower surface of the upper frame 440, The position and the number of coupling of the side reflector 310 coupled to the edge of the upper frame 440 are controlled to compensate for temperature uniformity.

그리고, 상기 측면 반사부(300)는 상기 측면 반사판(310)의 위치를 제어하거나 탈부착 하는 방법으로 상기 환기부(420)의 개폐면적을 제어하여 외부로 방출되는 원적외선의 양을 제어함으로서, 히트싱크 현상을 최소화 하는 것 또한 가능하다.The side reflector 300 controls the open / close area of the ventilator 420 to control the amount of the far-infrared rays emitted to the outside by controlling the position of the side reflector 310, It is also possible to minimize the phenomenon.

아울러, 본 발명에서 도 8에 도시된 바와 같이 상기 하면 반사부(500) 또한 복수개의 하면 반사판(510)을 포함하여 이루어지는 것이 가능하며, 필요에 의해 하면 반사판(510)이 하면 반사부(500)에서 탈부착 되거나 이동 가능한 구조로 이루어 질 수도 있다.8, the lower reflector 500 may include a plurality of lower reflectors 510. If necessary, the reflector 510 may reflect the lower surface of the reflector 500, Detachable or moveable structure.

또한, 상하 반사판 및 측면 반사판이 구비된 원적외선 면상 히터의 온도 균일도 보정방법은, 히터(100)에서 방출되는 적외선을 반사부(200, 300)를 이용하여 반사하는 반사단계(S100)와, 반사된 적외선에 대응하여 변화되는 구역별 하우징(400) 내부 온도를 측정하는 온도 측정단계(S200)와, 온도 뷸균일이 발생하는 구역의 반사부(200, 300)를 구성하는 반사판(210, 310)을 이동시키거나 탈부착 하여 열평형을 맞추는 온도 평형단계(S300)를 포함하여 이루어지며, 상기 정면 반사부(200)는 적외선이 방출되는 상기 히터(100)의 타측에 대향 형성되고, 상기 측면 반사부(300)는 상기 정면 반사부(200)의 가장자리에 형성되며, 각각의 상기 반사판(210, 310)은 슬라이딩 이동 및 탈부착 가능한 특징을 가진다.The method for correcting the temperature uniformity of the far infrared ray surface heater including the upper and lower reflectors and the side reflector includes a reflecting step S100 for reflecting the infrared rays emitted from the heater 100 using the reflectors 200 and 300, A temperature measuring step S200 for measuring the internal temperature of the housing 400 according to the infrared rays and the reflecting plates 210 and 310 constituting the reflecting parts 200 and 300 of the area where the temperature uniformity is generated, The front reflector 200 is formed opposite to the other side of the heater 100 from which the infrared rays are emitted, and the side reflector 200 (see FIG. 300 are formed at the edges of the front reflector 200 and each of the reflectors 210 and 310 is slidable and removable.

본 발명의 상기한 실시 예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.The technical idea should not be interpreted as being limited to the above-described embodiment of the present invention. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, such modifications and changes are within the scope of protection of the present invention as long as it is obvious to those skilled in the art.

1 : 대상물체
100 : 히터
200 : 정면 반사부
210 : 정면 반사판 220 : 제1 슬라이딩 가이드
300 : 측면 반사부
310 : 측면 반사판
400 : 챔버
410 : 유입부
420 : 환기부
430 : 하부 프레임
431 : 고정유닛
440 : 상부 프레임
500 : 하면 반사부
S100 : 반사단계
S200 : 온도 측정단계
S300 : 온도 평형단계1: Target object
100: heater
200: front reflector
210: front reflector 220: first sliding guide
300: side reflector
310: side reflector
400: chamber
410: inlet
420: Ventilation part
430: Lower frame
431: fixed unit
440: upper frame
500: lower reflector
S100: reflection step
S200: Temperature measurement step
S300: Temperature balancing step

Claims

A heater (100) for emitting infrared rays from one side to the other side;
A front reflector 200 formed opposite to the other side of the heater 100;
A plurality of side reflectors 300 formed at edges of the front reflector 200; And
Further comprising a chamber 400 surrounding the heater 100, the front reflector 200 and the side reflector 300 and having an inlet 410 formed on the front surface thereof,
The front reflector 200 includes a plurality of front reflectors 210 and the side reflector 300 includes a plurality of side reflectors 310. The front reflectors 210 and the side reflectors 310 And the side reflector is provided for the temperature uniformity correction.

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The method according to claim 1,
Wherein the ventilation part 420 is formed on a side surface of the chamber 400 and the side reflection part 300 controls an opening and closing area of the ventilation part 420. [ Far infrared ray surface heater with side reflector.

The method according to claim 1,
The chamber 400 includes a lower frame 430 having a fixing unit 431 for supporting the heater 100 and supporting the heating object 1 introduced from the outside, And an upper frame 440 to which the side reflector 300 is coupled,
And a lower reflector (500) is formed on the lower frame (430), wherein the reflector (500) is provided on the lower frame (430).

The method according to claim 6,
The front reflector 200 includes a first sliding guide 220 coupled to the upper frame 440 and guiding movement of the front reflector 210. Far infrared ray heater with reflector and side reflector.

The method according to claim 6,
The side reflector 300 includes a second sliding guide coupled to an edge of the upper frame 440 and guiding the movement of the side reflector 310. The upper and lower reflectors 300, And a far-infrared ray surface heater having a side reflector.

A reflection step (S100) of reflecting infrared rays emitted from the heater (100) using the reflection parts (200, 300);
A temperature measuring step (S200) of measuring the internal temperature of the chamber (400) which is changed corresponding to the reflected infrared rays;
A temperature balancing step (S300) of moving the reflectors (210, 310) constituting the reflectors (200, 300) in the region where the temperature unevenness occurs, or removing and attaching them to match the thermal equilibrium; / RTI >
The reflectors 200 and 300 include a front reflector 200 formed of a plurality of front reflectors 210 formed opposite to the other side of the heater 100 for emitting infrared rays, And the side reflector (310) is composed of a plurality of side reflectors (310) formed on the edges of the upper and lower reflectors, and the front reflector (210) and the side reflector (310) are slidable and removable. And a side reflector are provided on the far infrared ray surface heater.

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