KR101683583B1 - Light emitting device - Google Patents
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Abstract
실시 형태는 발광 소자에 관한 것이다.
실시 형태에 따른 발광 소자는, 도전성 기판, 도전성 기판 상에 배치된 제1 도전층, 제1 도전층 상에 배치된 제1 반도체층, 제1 반도체층 상에 배치된 활성층, 제1 도전층 상부에 배치된 제2 도전층, 활성층 및 제2 도전층 상에 배치된 제2 반도체층, 및 절연층을 포함하고, 제2 도전층은 제1 반도체층 및 활성층의 측벽을 따라 절연층을 사이에 두고 배치되고, 제2 반도체층의 외주부의 하면을 따라 제1 반도체층 및 활성층을 둘러싸는 형태로 배치된 것을 특징으로 한다.An embodiment relates to a light emitting device.
A light emitting device according to an embodiment includes a conductive substrate, a first conductive layer disposed on the conductive substrate, a first semiconductor layer disposed on the first conductive layer, an active layer disposed on the first semiconductor layer, A second semiconductor layer disposed on the active layer and the second conductive layer, and an insulating layer, wherein the second conductive layer is disposed between the first semiconductor layer and the active layer, And is disposed in the form of surrounding the first semiconductor layer and the active layer along the lower surface of the outer peripheral portion of the second semiconductor layer.
Description
본 실시 형태는 발광 소자에 관한 것이다.This embodiment relates to a light emitting device.
발광 다이오드(LED)는 전기 에너지를 빛으로 변환하는 반도체 소자의 일종이다. 발광 다이오드는 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저 소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다. 이에 기존의 광원을 발광 다이오드로 대체하기 위한 많은 연구가 진행되고 있으며, 발광 다이오드는 실내 외에서 사용되는 각종 램프, 액정표시장치, 전광판, 가로등 등의 조명 장치의 광원으로서 사용이 증가되고 있는 추세이다.Light emitting diodes (LEDs) are a type of semiconductor devices that convert electrical energy into light. Light emitting diodes have advantages of low power consumption, semi-permanent lifetime, fast response speed, safety, and environmental friendliness compared with conventional light sources such as fluorescent lamps and incandescent lamps. Accordingly, much research has been conducted to replace an existing light source with a light emitting diode, and a light emitting diode has been increasingly used as a light source for various lamps used outside the room, a lighting device such as a liquid crystal display device, a display board, and a streetlight.
도 1은 종래의 수직형 발광 소자(100)의 단면을 나타낸 도면이다. 1 is a cross-sectional view of a vertical
이하에서는 설명의 편의를 위하여, 도 1에 도시된 기판(120)과 접촉되는 반도체층이 n형 반도체층이고, 활성층(140) 상에 배치된 반도체층은 p형 반도체층으로 가정하여 설명하기로 한다.Hereinafter, for convenience of explanation, it is assumed that the semiconductor layer in contact with the
도 1을 참조하면, 발광 소자(100)는 n형 전극(110), n형 전극층(110) 상에 배치된 도전성 기판(120), 도전성 기판(120) 상에 배치된 n형 반도체층(130), n형 반도체층(130) 상에 배치된 활성층(140), 활성층(140) 상에 배치된 p형 반도체층(150), 및 p형 반도체층(150) 상에 배치된 p형 전극층(160)으로 구성된다. 1, the
도 1에 도시된 바와 같이, 도전성 기판(120)을 사용하게 되면, 도전성 기판(120)을 통하여 n형 반도체층(130)으로의 전압 인가가 가능하기 때문에, 기판 자체에 전극을 형성할 수 있다. 따라서, 도전성 기판(120) 상에 n형 전극(110)이 배치되고, p형 반도체층(150) 상에 p형 전극(160)이 배치되어 수직형 발광 소자가 제조될 수 있다.1, when the
그러나, 도 1에 도시된 발광 소자(100)의 경우, p형 전극(160)은, 발광 소자(100)의 가장 윗부분에 배치되며, 발광 소자(100)의 동작 시 활성층(140)에서 외부로 방출되는 빛의 일부를 차단하게 된다. 이에 따라, 도 1에 도시된 수직형 발광 소자(100)의 경우, 광 손실이 크고, 발광 효율이 감소되는 단점이 있다.
1, the p-
본 발명의 실시 형태는, 발광 영역의 감소로 인한 광 손실이 최소화되고, 전류 흐름의 활성화가 극대화된 발광 소자를 제공함에 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a light emitting device in which light loss due to reduction of a light emitting region is minimized and activation of a current flow is maximized.
본 발명의 실시 형태에 따른 발광 소자는, 도전성 기판, 도전성 기판 상에 배치된 제1 도전층, 제1 도전층 상에 배치된 제1 반도체층, 제1 반도체층 상에 배치된 활성층, 제1 도전층 상부에 배치된 제2 도전층, 활성층 및 제2 도전층 상에 배치된 제2 반도체층, 및 절연층을 포함하고, 제2 도전층은 제1 반도체층 및 활성층의 측벽을 따라 절연층을 사이에 두고 배치되고, 제2 반도체층의 외주부의 하면을 따라 제1 반도체층 및 활성층을 둘러싸는 형태로 배치된 것을 특징으로 한다.A light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a conductive substrate, a first conductive layer disposed on a conductive substrate, a first semiconductor layer disposed on the first conductive layer, an active layer disposed on the first semiconductor layer, A second semiconductor layer disposed on the active layer and the second conductive layer, and an insulating layer, wherein the second conductive layer is formed on the insulating layer along the sidewalls of the first semiconductor layer and the active layer, And is disposed in a manner to surround the first semiconductor layer and the active layer along the lower surface of the outer peripheral portion of the second semiconductor layer.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 발광 영역의 감소로 인한 광 손실이 최소화되고, 전류 흐름의 활성화가 극대화된 발광 소자를 제공할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to provide a light emitting device in which the light loss due to the reduction of the light emitting region is minimized and the activation of the current flow is maximized.
도 1은 종래의 수직형 발광 소자의 단면을 나타낸 도면.
도 2 및 도 3은 실시 형태에 따른 발광 소자의 단면을 나타낸 도면.
도 4는 도 3에 도시된 A-A’선을 따라 절취한 발광 소자의 상단면을 나타낸 도면.
도 5는 발광소자의 패키지를 개략적으로 나타낸 도면.1 is a cross-sectional view of a conventional vertical light emitting device.
2 and 3 are cross-sectional views of a light emitting device according to an embodiment.
4 is a top view of a light emitting device taken along the line A-A 'shown in FIG. 3;
5 is a schematic view showing a package of a light emitting element;
이하 본 발명의 실시 형태에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 단, 첨부된 도면은 실시 형태의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It is to be understood, however, that the appended drawings illustrate the embodiments of the present invention in more detail and are not intended to limit the scope of the present invention. You will know.
도 2는 일 실시 형태로서 비아홀 전극 형태를 갖는 종래의 수직형 발광 소자(200)의 단면을 나타낸 도면이다. 도 2에 도시된 수직형 발광 소자(200)는 도 1에 도시된 기존의 수직형 발광 소자(100)의 발광 효율을 높이기 위한 구조이다. 2 is a cross-sectional view of a conventional vertical
이하에서는 설명의 편의를 위하여, 비아홀(220a, 220b, 220c)을 통해 n형 전극층(220)과 접촉되는 반도체층이 n형 반도체층이고, p형 전극층(240)과 활성층(260) 사이에 배치된 반도체층은 p형 반도체층으로 가정하여 설명하기로 한다.For convenience of explanation, a semiconductor layer which is in contact with the n-
도 2에 도시된 발광 소자(200)에는, n형 전극층(220)으로부터 p형 전극층(240), p형 반도체층(250), 활성층(260)을 관통하고, n형 반도체층(270)의 일정 영역까지 연장된 비아홀(220a, 220b, 220c)이 형성되어 있다. 이러한 구조는, 도 1에 도시된 종래의 발광 소자(100)와 달리, 실제로 빛이 발광되는 n형 반도체층(270)의 윗 부분이 전극으로 막혀있는 부분이 없기 때문에 광 추출 효율이 좋은 장점이 있다.
The
도 3은 다른 실시 형태에 따른 발광 소자(300)의 단면을 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3에 도시된 A-A’선을 따라 절취한 발광 소자(300)의 상단면을 나타낸 도면이다.3 is a cross-sectional view of a
도 3 및 도 4를 참조하면, 실시 형태에 따른 발광 소자(300)는, 도전성 기판(310), 제1 도전층(320), 제1 반도체층(330), 활성층(340), 제2 도전층(350), 제2 반도체층(360), 및 절연층(370)을 포함한다.3 and 4, the
이하에서는 설명의 편의를 위하여, 제1 도전층(320)은 p형 도전층으로, 제1 반도체층(330)은 p형 반도체층으로, 제2 도전층(350)은 n형 도전층으로, 제2 반도체층(360)은 n형 반도체층으로 가정하여 설명하도록 한다.Hereinafter, for convenience of explanation, the first
도전성 기판(310)은 Au, Ni, Al, Cu, W, Si, Se, 및 GaAs 중 하나 이상의 물질을 포함하여 형성된 것일 수 있다. 예를 들어, 도전성 기판(310)은 Si와 Al의 합금 형태의 물질로 이루어진 것일 수 있다.The
p형 도전층(320)은 도전성 기판(310) 상에 배치될 수 있다. p형 도전층(320)은 Ag, Al, Pt, Ni, Pt, Pd, Au, Ir, 및 투명전도성 산화물(ITO, GZO) 중 하나 이상의 물질을 포함하여 형성된 것일 수 있다. 이는, p형 도전층(320)이 p형 반도체층(330)과 전기적으로 접촉하기 때문에, p형 반도체층(330)의 접촉 저항을 최소화하는 특성을 가지는 동시에, 활성층(340)에서 발생된 빛을 반사시켜 외부로 향하게 함으로써 발광 효율을 높여 줄 수 있다. 상기 p형 도전층(320)은 반사층을 포함하는 다층 구조일 수도 있다.The p-type
p형 반도체층(330)은 p형 도전층(320) 상에 배치되고, 활성층(340)은 p형 반도체층(330) 상에 배치되며, n형 반도체층(360)은 활성층(340) 상에 배치될 수 있다. The p-
n형 반도체층(360)은 InxAlyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0 ≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlInN, AlN, InN 등에서 선택될 수 있으며, Si, Ge, Sn 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다.The n-
p형 반도체층(330)은 InxAlyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlInN, AlN, InN 등에서 선택될 수 있으며, Mg, Zn 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.The p-
활성층(340)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW : Multi Quantum Well), 양자선 구조 및 양자점 구조 중 어느 하나로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The
활성층(340)은 InxAlyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 활성층(340)이 다중 양자 우물 구조(MQW)로 형성된 경우, 활성층(340)은 복수의 우물층과 복수의 장벽층이 적층되어 형성될 수 있으며, 예를 들어, InGaN 우물층/GaN 장벽층의 주기로 형성될 수 있다.The
또한, 활성층(340)은 p형 반도체층(330) 및 n형 반도체층(360)을 구성하는 물질에 따라 다른 물질을 선택하여 형성된 것일 수 있다. 즉, 활성층(340)은 전자 및 전공의 재결합(recombination)에 따른 에너지를 빛으로 변환하여 방출하는 층이므로, p형 반도체층(330) 및 n형 반도체층(360)의 에너지 밴드갭보다 작은 에너지 밴드 갭을 갖는 물질로 형성된 것이 바람직하다.In addition, the
n형 도전층(350)은 p형 도전층(320)의 상부에 배치되며, p형 도전층(320)으로부터 수직하게 형성된 것일 수 있다. 또한, n형 도전층(350)은 p형 반도체층(330)과 활성층(340)의 측벽을 따라 배치되며, 하나의 라인으로 연결된 것일 수 있다. 즉, n형 도전층(350)은, 소자의 중심 부분에 형성되는 비아홀 전극 형태가 아닌, 소자의 가장자리에 위치하게 된다.The n-type
실시 형태에서는 n형 도전층(350)이 하나의 라인으로 연결된 형태로 기재하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, n형 도전층(350)은 일정한 주기를 갖거나 비주기적인 패턴을 포함할 수 있다.In the embodiment, the n-type
또한, n형 도전층(350)은 활성층(340)보다 더 높게 형성된 것일 수 있다. 따라서, n형 도전층(350)의 영역 중 일부 영역은, p형 반도체층(330) 및 활성층(340)과 동일 층 상에 존재하고, 나머지 영역은 n형 반도체층(360)의 영역 내에 존재하게 된다. 여기서, n형 도전층(350)의 나머지 영역은 n형 반도체층(360)과 접촉하게 된다. 여기서 n형 도전층(350)은, n형 반도체층(360)과 전기적으로 연결되기 때문에, n형 반도체층(360)과 접촉 저항이 최소화되는 물질로 구성되는 것이 바람직하다.In addition, the n-type
또한, n형 도전층(350)은, 그 일부가 외부로 노출된 영역 즉, 노출 영역(351a, 351b)을 적어도 하나 이상 구비할 수 있다. 노출 영역(351a, 351b) 상에는, 외부 전원을 n형 도전층(350)에 연결하기 위한 n형 전극 패드부(353a, 353b)가 각각 배치될 수 있다. 이러한 노출 영역(351a, 351b)은 발광 소자(300)의 모서리에 배치될 수 있는데, 이는 발광 면적을 최대화할 수 있다.In addition, the n-type
이러한 n형 도전층(350)은 Al, Au, Pt, Ti, Cr, 및 W 중 하나 이상의 물질을 포함하여 형성된 것일 수 있다.The n-type
절연층(370)은, n형 도전층(350)이 n형 반도체층(360)을 제외한 다른 층들과 전기적으로 절연되도록 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 절연층(370)은 p형 도전층(320)과 n형 도전층(350) 사이, 그리고 p형 반도체층(330) 및 활성층(340)의 측벽과 n형 도전층(350) 사이에 배치된 것일 수 있다. The insulating
또한, 절연층(350)은, n형 도전층(350)의 영역 중 n형 반도체층(360)으로 돌출된 영역의 측벽에 배치되거나, 배치되지 않을 수도 있다. 후자의 경우, n형 도전층(350)과 n형 반도체층(360) 간의 절연 영역이 최소화됨으로써, n형 도전층(350) n형 반도체층(360) 간의 컨택 면적이 최대화될 수 있다.The insulating
또한, 절연층(370)은 n형 도전층(350)의 상부에는 형성되지 않는다. 이는 n형 도전층(350)의 상부와 n형 반도체층(360)이 전기적으로 연결될 수 있다.The insulating
이러한 절연층(370)은, 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiOxNy, SixNy), 금속 산화물(Al2O3) 및 플루오린화물(fluoride) 계열의 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하여 형성된 것일 수 있다.The insulating
한편, 발광 소자(300)의 작동 중에 발생하는 누설 전류를 억제하기 위해, 발광 소자(300)의 측면에는 패시베이션층(미도시)이 배치될 수 있다. 패시베이션층(미도시)은 발광 구조물을 외부로부터 보호하고, 누설 전류를 억제하기 위한 것으로, 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiOxNy, SixNy), 금속 산화물(Al2O3) 및 플루오린화물(fluoride) 계열의 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하여 형성된 것일 수 있다.A passivation layer (not shown) may be disposed on a side surface of the
실시 형태에 따른 발광 소자는, 도전층이 소자의 가장 자리에 위치함으로써, 활성화층의 영역 감소가 최소화될 수 있다. 또한, 도전층이 라인 형태로 형성되어 반도체층과 접촉됨으로써, 반도체층과의 컨택 면적이 최대화될 수 있다.In the light emitting device according to the embodiment, the area reduction of the activation layer can be minimized because the conductive layer is located at the edge of the device. Further, the conductive layer is formed in a line shape and contacts the semiconductor layer, so that the contact area with the semiconductor layer can be maximized.
이하, 도 5를 참조하여 일 실시 형태에 따른 발광 소자 패키지에 관하여 설명한다. 도 5는 발광소자의 패키지(1000)를 개략적으로 나타낸 단면도이다.Hereinafter, the light emitting device package according to the embodiment will be described with reference to FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a
도 5에 도시된 바와 같이, 실시 형태에 따른 발광 소자 패키지(1000)는 패키지 몸체(1100), 제1 전극층(1110), 제2 전극층(1120), 발광 소자(1200) 및 충진재(1300)를 포함한다.5, the light emitting
패키지 몸체(1100)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 발광 소자(1200)의 주위에 경사면이 형성되어 광추출 효율을 높일 수 있다.The
제1 전극층(1110) 및 제2 전극층(1120)은 패키지 몸체(1100)에 설치된다. 제1 전극층(1110) 및 제2 전극층(1120)은 서로 전기적으로 분리되며, 발광 소자(1200)에 전원을 제공한다. 또한, 제1 전극층(1110) 및 제2 전극층(1120)은 발광 소자(1200)에서 발생된 광을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 발광 소자(1200)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The
발광 소자(1200)는 제1 전극층(1110) 및 제2 전극층(1120)과 전기적으로 연결된다. 발광 소자(1200)는 패키지 몸체(1100) 상에 설치되거나 제1 전극층(1110) 또는 제2 전극층(1120) 상에 설치될 수 있다.The
발광 소자(1200)는 제1 전극층(1110) 및 제2 전극층(1120)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다.The
충진재(1300)는 발광 소자(1200)를 포위하여 보호할 수 있도록 배치될 수 있다. 또한, 충진재(1300)에는 형광체(1310)가 포함되어 발광 소자(1200)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The
발광 소자 패키지(1000)는 상기에 개시된 실시 형태들의 발광 소자 중 적어도 하나를 하나 또는 복수 개로 탑재할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting
실시 형태에 따른 발광 소자 패키지(1000)는 복수 개가 기판 상에 어레이되며, 발광 소자 패키지(1000)의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지(1000), 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. A plurality of light emitting
또 다른 실시 형태는 상술한 실시 형태들에 기재된 반도체 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 시스템으로 구현될 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 램프, 가로등을 포함할 수 있다.Another embodiment may be implemented as a display device, an indicating device, a lighting system including the semiconductor light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments, for example, the lighting system may include a lamp, have.
이상에서 보는 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시 될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
그러므로, 이상에서 기술한 실시 형태는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It is therefore to be understood that the embodiments described above are illustrative and not restrictive in all aspects and that the scope of the invention is indicated by the appended claims rather than the foregoing description, And all changes or modifications derived from equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.
300: 발광 소자
310: 도전성 기판
320: 제1 도전층
330: 제1 반도체층
340: 활성층
350: 제2 도전층
360: 제2 반도체층
370: 절연층300: Light emitting element
310: conductive substrate
320: first conductive layer
330: first semiconductor layer
340: active layer
350: second conductive layer
360: second semiconductor layer
370: insulating layer
Claims (12)
상기 도전성 기판 상에 배치된 제1 도전층;
상기 제1 도전층 상에 배치된 제1 반도체층;
상기 제1 반도체층 상에 배치된 활성층;
상기 제1 도전층 상부에 배치된 제2 도전층;
상기 활성층 및 상기 제2 도전층 상에 배치된 제2 반도체층; 및
절연층을 포함하고,
상기 제2 도전층은 상기 제1 반도체층 및 상기 활성층의 측벽을 따라 상기 절연층을 사이에 두고 배치되고, 상기 제2 반도체층의 외주부의 하면을 따라 상기 제1 반도체층 및 상기 활성층을 둘러싸는 형태로 배치된 발광 소자.
A conductive substrate;
A first conductive layer disposed on the conductive substrate;
A first semiconductor layer disposed on the first conductive layer;
An active layer disposed on the first semiconductor layer;
A second conductive layer disposed on the first conductive layer;
A second semiconductor layer disposed on the active layer and the second conductive layer; And
And an insulating layer,
Wherein the second conductive layer is disposed along the sidewalls of the first semiconductor layer and the active layer with the insulating layer interposed therebetween, and the second semiconductor layer surrounds the first semiconductor layer and the active layer along the lower surface of the outer periphery of the second semiconductor layer Emitting element.
상기 제2 도전층은 상기 제1 반도체층 및 상기 활성층의 측벽과, 상기 제2 반도체층의 외주부를 따라 연결되는 라인 형태인, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the second conductive layer is in the form of a line connected to the sidewalls of the first semiconductor layer and the active layer and along the outer periphery of the second semiconductor layer.
상기 제2 도전층은 상기 제1 반도체층 및 상기 활성층의 측벽과, 상기 제2 반도체층의 외주부를 따라 서로 이격된 복수의 패턴을 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the second conductive layer includes a plurality of patterns spaced apart from each other along a sidewall of the first semiconductor layer and the active layer and an outer peripheral portion of the second semiconductor layer.
상기 제2 도전층은 그 일부가 외부로 노출된 영역을 하나 이상 구비하고,
상기 제2 도전층의 노출된 영역 상에 배치된 전극 패드부를 더 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the second conductive layer has at least one region where a part of the second conductive layer is exposed to the outside,
And an electrode pad portion disposed on the exposed region of the second conductive layer.
상기 전극 패드부는 발광 소자의 모서리에 배치된, 발광 소자.
6. The method of claim 5,
And the electrode pad portion is disposed at an edge of the light emitting element.
상기 도전성 기판은, Au, Ni, Al, Cu, W, Si, Se, 및 GaAs 중 하나 이상의 물질을 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the conductive substrate comprises at least one of Au, Ni, Al, Cu, W, Si, Se, and GaAs.
상기 제1 도전층은, Ag, Al, Pt, Ni, Pt, Pd, Au, Ir, 및 투명 전도성 산화물 중 하나 이상의 물질을 포함하고,
상기 투명 전도성 산화물은, ITO 및 GZO 중 하나 이상을 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first conductive layer comprises at least one of Ag, Al, Pt, Ni, Pt, Pd, Au, Ir, and a transparent conductive oxide,
Wherein the transparent conductive oxide comprises at least one of ITO and GZO.
상기 제1 도전층은 상기 활성층으로부터 발생된 빛을 반사시키는 반사층을 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first conductive layer includes a reflective layer that reflects light generated from the active layer.
상기 제2 도전층은, Al, Au, Pt, Ti, Cr, 및 W 중 하나 이상의 물질을 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the second conductive layer comprises at least one of Al, Au, Pt, Ti, Cr, and W.
상기 절연층은, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 금속 산화물 및 플루오린화물(fluoride) 계열의 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하는, 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer comprises at least one of silicon oxide, silicon nitride, metal oxide, and fluoride series compound.
상기 제1 반도체층 및 상기 활성층의 측벽과, 상기 제2 반도체층의 외주부를 따라 배치된 상기 제2 도전층의 상면은 상기 활성층보다 높게 위치하는, 발광 소자.The method according to claim 1,
The side surfaces of the first semiconductor layer and the active layer, and the upper surface of the second conductive layer disposed along the outer periphery of the second semiconductor layer are located higher than the active layer.
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