KR101688713B1

KR101688713B1 - Method for manufacturing pellicle

Info

Publication number: KR101688713B1
Application number: KR1020147025813A
Authority: KR
Inventors: 겐이치로 이와무라; 히로후미 우치무라; 마사히로 츠카모토; 다카노리 히로세; 마사카츠 히라노
Original assignee: 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤
Priority date: 2012-03-21
Filing date: 2013-03-21
Publication date: 2016-12-21
Also published as: CN104204943B; KR20140130172A; CN111580339A; WO2013141325A1; JPWO2013141325A1; CN104204943A; JP5876927B2; KR20160087927A

Abstract

1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성된 펠리클 프레임(10)과, 이 펠리클 프레임(10)에 전장 지지되는 펠리클막(11)을 구비하고, 상기 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 상기 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3％ 이상 3.8％ 이하이고, 장변부(10a) 및 단변부(10b) 중 적어도 일 변부가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 팽출하고 있다. 그리고, 이 팽출된 변부가 펠리클 프레임(10)의 내측을 향하여 탄성 변형된 상태에서, 펠리클막(11)이 펠리클 프레임(10)에 부착되어 있다.A pellicle frame 10 formed by a pair of long side portions 10a and a pair of short side portions 10b in a substantially rectangular frame shape and a pellicle film 11 which is supported on the pellicle frame 10 , And the ratio of the width of the long side to the length of the long side is not less than 0.3% and not more than 2.2% and the ratio of the short side / short side of the side is not less than 0.3% and not more than 3.8%, and the long side 10a and the short side 10b At least one side portion of the pellicle frame 10 bulges out of the pellicle frame 10. The pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10 in a state in which the bulged portions are elastically deformed toward the inside of the pellicle frame 10.

Description

[0001] METHOD FOR MANUFACTURING PELLICLE [0002]

본 발명은 LSI, 액정 디스플레이(LCD)를 구성하는 박막 트랜지스터(TFT)나 컬러 필터(CF) 등을 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클 등의 노광용 기반에 이물이 부착되는 것을 방지하기 위해서 이용되는 펠리클 및 펠리클 프레임 및 펠리클의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention prevents foreign matter from adhering to the exposure base such as a photomask or a reticle used in a lithography process in manufacturing a thin film transistor (TFT) or a color filter (CF) constituting an LSI, a liquid crystal display To a pellicle and a method for producing the pellicle frame and pellicle.

예를 들어 반도체 장치나 액정 디스플레이 등의 회로 패턴 제조시의 리소그래피 공정에 있어서, 포토마스크 또는 레티클 등의 노광용 기반에 이물이 부착되는 것을 방지하는 목적에서 일반적으로 펠리클이라고 불리는 방진 커버가 노광용 기반에 장착된다.For example, in order to prevent foreign matter from adhering to the exposure base such as a photomask or a reticle in a lithography process in manufacturing a circuit pattern such as a semiconductor device or a liquid crystal display, a dust cover generally called a pellicle is mounted on the exposure base do.

이 펠리클은 통상 노광용 기반의 형상에 맞춘 형상을 갖는 두께 수밀리 정도의 펠리클 프레임의 상연면(上緣面)에 두께 10㎛ 이하의 니트로셀룰로오스 또는 셀룰로오스 유도체 또는 불소 중합체 등의 투명한 고분자 재료를 포함하는 막(이하, 「펠리클막」이라고 함)을 전장하여 접착하고, 또한 상기 펠리클 프레임의 하연면(下緣面)에 점착재를 도착(塗着)함과 함께, 이 점착재 표면에 소정의 접착력으로 보호 필름을 점착시킨 것이다.The pellicle includes a transparent polymer material such as a nitrocellulose or a cellulose derivative or a fluoropolymer having a thickness of 10 mu m or less on the upper surface of a pellicle frame having a thickness of several millimeters, (Hereinafter referred to as " pellicle film ") is attached and adhered to the lower surface of the pellicle frame, an adhesive material is applied to the lower surface of the pellicle frame, To which a protective film is adhered.

상기 점착재는 펠리클을 노광용 기반에 고착하기 위한 것이고, 또한 보호 필름은 점착재가 사용될 때까지 점착재의 접착력을 유지하기 위해서 점착재의 접착면을 보호하는 것이다.The adhesive material is for fixing the pellicle to the exposure base, and the protective film protects the adhesive surface of the adhesive material so as to maintain the adhesive strength of the adhesive material until the adhesive material is used.

그런데, 펠리클이 장착된 노광용 기반을 갖는 노광 장치에서 높은 치수 정밀도의 노광 처리를 행하기 위해서는 광이 통과하는 펠리클막이 자중에 의해 휘는 것을 억제할 필요가 있다. 특히, 최근 들어 액정 파넬의 대형화나 생산성 향상을 위해서 노광용 기반의 사이즈가 대형화하고, 그에 맞춰 펠리클막도 5,000cm², 10,000cm², 15,000cm²로 해마다 대면적화하고 있기 때문에, 그만큼 휨량이 커지고, 펠리클막의 휨이 큰 문제가 되고 있다.However, in order to perform exposure processing with high dimensional accuracy in an exposure apparatus having an exposure base on which a pellicle is mounted, it is necessary to suppress the warp of the pellicle film through which light passes due to its own weight. In particular, recently, the size of the exposure based on a large-sized or large-sized to improve the productivity of the liquid crystal panel, and thereby to meet the pellicle membrane also 5,000cm ^{^2,} 10,000cm ^2, so that each year large area to 15,000cm ^2, much larger amount of bending, The warpage of the pellicle film becomes a serious problem.

대형의 TFTLCD(박막 트랜지스터 액정 디스플레이) 등의 포토리소그래피 공정에서 사용되는 대형의 포토마스크나 레티클에 적용할 수 있는 펠리클의 프레임체로서는 장변과 단변을 갖는 직사각 형상의 것이 일반적이다. 이 프레임체에 펠리클막을 부착하면, 상기 펠리클막의 장력에 의해 프레임체의 변이 내측을 향하여 왜곡이 발생하고, 이 왜곡에 의해 포토마스크나 레티클의 유효 노광 영역이 작아지는 경우가 있고, 펠리클막의 전장 면적이 커짐(펠리클막이 커짐)에 따라 그 현상은 현저해진다. 이러한 현상에 대해서는 펠리클의 프레임체의 내측 면적(이하, 유효 면적이라고 칭함)을 최대한 유지한 상태에서 펠리클 프레임체의 강성을 높임으로써 해결해 왔다(예를 들어, 특허문헌 1 내지 4 참조).As a frame body of a pellicle which can be applied to a large-sized photomask or reticle used in a photolithography process such as a large-sized TFT LCD (thin film transistor liquid crystal display), a rectangular shape having a long side and a short side is generally used. When the pellicle film is attached to the frame body, the strain of the pellicle film causes the distortion toward the inside of the side of the frame body, and the effective exposure area of the photomask and the reticle becomes small due to the distortion. (The pellicle film becomes larger), the phenomenon becomes remarkable. This phenomenon has been solved by increasing the rigidity of the pellicle frame body while maintaining the inner area of the frame body of the pellicle (hereinafter referred to as the effective area) at the maximum (see, for example, Patent Documents 1 to 4).

또한, 최근 들어 액정에서는 큰 1매의 패널로부터 퍼스널 컴퓨터나 휴대 전화 등의 면적이 작은 화면의 패턴을 복수 얻도록, 큰 1매의 패널을 다면취하는 것이 검토되고 있다. 그 때문에, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓게 하고자 하는 요청이 있다. 그러나, 장치 자체는 종래의 것을 사용하기 때문에 펠리클의 외형 치수를 변경하지 않고, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓게 한다는 새로운 과제가 발생하고 있다.Recently, in liquid crystal displays, it has been studied to take a large single panel so as to obtain a plurality of screen patterns having a small area such as a personal computer or a cellular phone from a large panel. Therefore, there is a demand to make the effective exposure area wider than the conventional one. However, since the apparatus itself uses a conventional one, there is a new problem that the effective exposure area is made wider than the conventional one without changing the external dimensions of the pellicle.

일본 특허 공개 제2001-109135호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-109135 일본 특허 공개 제2001-42507호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-42507 일본 특허 공개 제2002-296763호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-296763 일본 특허 공개 제2006-56544호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2006-56544

펠리클은 상술한 바와 같이 펠리클막을 부착하면, 상기 펠리클막의 장력에 의해 프레임의 변이 내측을 향하여 왜곡을 일으키는데, 상술한 문헌 등에 기재된 기술을 이용함으로써 펠리클 프레임의 변형량이 펠리클막의 장력에 의한 변형량보다 작아져서 균형을 잡을 수 있게 되어 있었다.When the pellicle is attached to the pellicle as described above, the puckle film causes distortion toward the inside of the frame due to the tension of the pellicle film. By using the technique described in the above-mentioned document, the deformation amount of the pellicle frame becomes smaller than the deformation amount due to the tensile force of the pellicle film It was supposed to be able to balance.

그러나, 새로운 과제에 대응하기 위해서 펠리클 프레임 폭을 좁게 하여 종래대로의 제작을 행하면, 펠리클 프레임의 변형량이 펠리클막의 장력에 의한 변형량보다 커진다. 이 때문에, 펠리클막을 커트하였을 때에 펠리클 프레임이 단지 내측을 향하여 왜곡할 뿐만 아니라 펠리클 프레임이 상하로 변형되거나 펠리클 프레임의 코너부가 변형된다. 또한, 펠리클 프레임의 강성이 작은 점에서, 펠리클막의 장력과 균형을 이루는 힘이 작아지기 때문에 펠리클막의 장력을 유지할 수 없어 막 주름이 발생하고, 나아가서는 막 장력이 약해지기 때문에 핸들링시에 막이 부풀어 올라서 핸들링하기 어렵다는 새로운 문제가 발생하였다.However, in order to cope with a new problem, if the width of the pellicle frame is narrowed and the conventional production is performed, the deformation amount of the pellicle frame becomes larger than the deformation amount due to the tension of the pellicle film. Therefore, when the pellicle film is cut, not only the pellicle frame is distorted toward the inside but also the pellicle frame is deformed up and down or the corner portion of the pellicle frame is deformed. In addition, since the pellicle frame has a small rigidity, the force for balancing with the tension of the pellicle film becomes small, so that the tension of the pellicle film can not be maintained, wrinkling of the film occurs, and furthermore, the film tension is weakened. A new problem has arisen that it is difficult to handle.

특히 펠리클 면적이 3,000cm², 또한 6,000cm², 나아가 8,000cm²를 초과하는 최대 30,000cm² 이내의 대형 펠리클에서는 특히 문제가 된다.In particular, the pellicle space 3,000cm ^2, also 6,000cm ^2, further formation of pellicle maximum of 30,000cm ² exceeding 8,000cm ² is a particular problem.

본 발명은 종래 시장에서 사용되리라고는 예상되지 않았던 좁은 폭의 펠리클 프레임을 사용하여 노광에 영향을 미치지 않는 펠리클 및 펠리클 프레임 및 펠리클의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing pellicle and pellicle frame and pellicle which does not affect exposure by using a narrow width pellicle frame which was not expected to be used in the prior art.

본원 발명자들이 예의 검토한 결과, 좁은 폭 중 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출한 대략 직사각형의 펠리클 프레임을 프레임체 내측으로 응력을 가하여 휘게 한 상태로 한 후에 펠리클막을 부착하여 전장함으로써, 놀랍게도 막 장력과 프레임 응력이 프레임이 대략 직사각형이 되는 상태에서 균형이 잡히는 것을 발견하였다. 그리고, 지금까지 프레임을 프레임체 외부로 돌출한 북상으로 잘라내고, 거기에 펠리클막을 전장함으로써, 프레임을 대략 직사각형의 형상으로 밸런스시키고 있었지만, 좁은 폭의 대략 직사각형의 펠리클 프레임을 이용한 경우, 펠리클막 전장 후에 프레임을 대략 직사각형 형상으로 하기 위해서는, 미리 펠리클 프레임을 프레임체 내부에 응력을 가하여 휘게 한 상태로 하는 것이 중요한 것을 발견하였다.As a result of intensive studies, the present inventors have found that when a pellicle frame having a substantially rectangular shape in which at least one pair of narrow widths bulges outwardly of a pellicle frame is bent by applying stress to the inside of the frame body, Surprisingly, we have found that film tension and frame stress are balanced when the frame is approximately rectangular. In the case of using a pellicle frame having a substantially rectangular shape with a narrow width, the pellicle film is wound around the pellicle film, It has been found that it is important to previously bend the pellicle frame by applying stress to the inside of the frame in order to make the frame substantially rectangular.

본 발명은 이러한 지식에 기초하여 상기 과제를 해결하는 것이다.The present invention solves the above problems based on this knowledge.

즉, 본 발명에 따른 펠리클 프레임은, 4개의 변부에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 펠리클막을 전장 지지하는 펠리클 프레임으로서, 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하이고, 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있다.That is, the pellicle frame according to the present invention is formed as a substantially rectangular frame by four edges and supports the pellicle film in its entirety, wherein the ratio of the long side width to the long side length of the side edge is 0.3% or more and 2.2% The ratio of the short side width to the short side length of the side edge is not less than 0.3% and not more than 3.8%, and at least one pair of the side portions bulges outwardly of the pellicle frame.

본 발명에 따른 펠리클 프레임에 의하면, 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하로 좁게 함으로써, 펠리클의 외형 치수를 변경하지 않고, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓게 할 수 있다. 또한, 이와 같이 변부의 폭을 좁게 하여도 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있으므로, 이 팽출한 변부를 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형시킨 상태에서 펠리클 프레임에 펠리클막을 부착함으로써, 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력과의 균형을 잡을 수 있다. 그 결과, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.According to the pellicle frame of the present invention, the ratio of the long side width to the long side length of the side edge is 0.3% or more and 2.2% or less, and the ratio of the short side width / short side length is narrowed to 0.3% It is possible to make the effective exposure area wider than before. Further, even if the width of the side edge portion is narrowed, at least one pair of side edge portions bulges to the outside of the pellicle frame. Thus, by attaching the pellicle film to the pellicle frame with the bulged edge portion being elastically deformed toward the inside of the pellicle frame, It is possible to balance the restoring force of the pellicle frame and the total tension of the pellicle membrane. As a result, occurrence of wrinkles on the pellicle film can be suppressed.

또한, 본 발명에 따른 펠리클 프레임에 있어서는 변부의 장변 길이가 400mm 이상 2000mm 이하이고, 변부의 단변 길이가 200mm 이상 1800mm 이하로 할 수 있는데, 특히 펠리클 면적이 20,000cm² 이상 30,000cm² 이하이고, 장변의 길이가 1500mm 이상인 경우, 펠리클막의 주름 방지와 노광 면적 확보의 관점에서, 변부의 장변 폭은 8mm 이상 15mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 9mm 이상 14.5mm 이하, 또한 10mm 이상 14mm 이하이고, 변부의 단변 폭은 7mm 이상 15mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 8mm 이상 14.5mm 이하, 나아가서는 9mm 이상 14mm 이하이다. 또한, 펠리클 면적 12,000cm² 이상 20,000cm² 이하이고, 장변의 길이가 1200mm 이상 1500mm 이하인 경우, 변부의 장변 폭은 5mm 이상 11mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 6mm 이상 11mm 이하, 또한 7mm 이상 10.5mm 이하이고, 변부의 단변 폭이 4mm 이상 11mm 이하, 바람직하게는 5mm 이상 10.5mm 이하, 나아가서는 6mm 이상 10mm 이하이다. 또한, 펠리클 면적 5,000cm² 이상 12,000cm² 이하이고, 장변의 길이가 700mm 이상 1400mm 이하인 경우, 변부의 장변 폭이 4mm 이상 10mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5mm 이상 9.5mm 이하, 나아가서는 5.5mm 이상 9mm 이하이고, 변부의 단변 폭은 3mm 이상 10mm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 4mm 이상 9mm 이하, 나아가서는 5mm 이상 8mm 이하이다.Further, In a side portion long side length of 400mm or less than 2000mm in the pellicle frame of the present invention, the side parts of the short-side length in a range from 200mm to 1800mm, and in particular the area of the pellicle 20,000cm ² than 30,000cm ² or less, a long side The width of the long side of the edge is preferably 8 mm or more and 15 mm or less, more preferably 9 mm or more and 14.5 mm or less, further preferably 10 mm or more and 14 mm or less, from the viewpoint of preventing wrinkles of the pellicle film and ensuring an exposure area, The short side width of the part is preferably 7 mm or more and 15 mm or less, more preferably 8 mm or more and 14.5 mm or less, further 9 mm or more and 14 mm or less. Furthermore, the pellicle space 12,000cm ² than 20,000cm ² or less, not more than the length of a long side more than 1200mm 1500mm, side parts of the long side width of more than 11mm 5mm or less, more preferably from more than 6mm 11mm or less, and more than 7mm 10.5 mm and the short side width of the side edge is 4 mm or more and 11 mm or less, preferably 5 mm or more and 10.5 mm or less, further 6 mm or more and 10 mm or less. Further, the pellicle space 5,000cm ² than 12,000cm ² or less and not more than the long side length of at least 700mm 1400mm, a width of the long side portion is 10mm or more than 4mm, more preferably from more than 5mm 9.5mm or less, and further 5.5 mm or more and 9 mm or less, and the short side width of the edge portion is preferably 3 mm or more and 10 mm or less, more preferably 4 mm or more and 9 mm or less, further 5 mm or more and 8 mm or less.

또한, 본 발명에 따른 펠리클 프레임에 있어서는 변부의 1쌍의 장변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있고, 이 1쌍의 장변부의 팽출량이 3mm 이상 20mm 이하인 것이 바람직하다. 이에 의해, 이 팽출한 변부를 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형시킨 상태에서, 펠리클 프레임에 펠리클막을 부착할 때에 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력과의 균형을 잡는 것이 용이해지기 때문에, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 보다 유효하게 억제할 수 있다.Further, in the pellicle frame according to the present invention, it is preferable that a pair of long side portions of the side portion bulge to the outside of the pellicle frame, and the amount of bulge of the pair of long side side portions is 3 mm or more and 20 mm or less. This makes it easier to balance the restoring force of the pellicle frame and the total tension of the pellicle film when the pellicle frame is attached to the pellicle frame in a state where the expanded side portions are elastically deformed toward the inside of the pellicle frame, It is possible to more effectively suppress occurrence of wrinkles on the wrinkles.

또한, 본 발명에 따른 펠리클 프레임은 영률이 1GPa 이상 80GPa인 재질에 의해 형성되는 것으로 할 수 있다. 이와 같이 영률이 1GPa 이상 80GPa의 재질에 의해 펠리클 프레임을 형성함으로써, 일반적인 소재로 제막된 펠리클막을 펠리클 프레임에 부착하였을 때에 펠리클 프레임이 대략 직사각 형상이 되는 상태에서 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 막 장력을 적절하게 균형 잡히게 할 수 있다.The pellicle frame according to the present invention may be formed of a material having a Young's modulus of 1 GPa to 80 GPa. By forming the pellicle frame with a material having a Young's modulus of 1 GPa or more and 80 GPa or less in this way, when the pellicle frame formed of a general material is attached to the pellicle frame, the restoring force of the pellicle frame and the film tension of the pellicle film Can be properly balanced.

본 발명에 따른 펠리클은, 상기 펠리클 프레임과, 펠리클 프레임에 전장 지지되는 펠리클막을 갖는 펠리클로서, 적어도 팽출된 변부가 펠리클 프레임의 내측을 향하여 탄성 변형된 상태에서 펠리클막이 펠리클 프레임에 부착되어 있다.The pellicle according to the present invention is a pellicle having the pellicle frame and a pellicle membrane supported on the pellicle frame in an elastically deformed state at least at the bulged sides toward the inside of the pellicle frame.

본 발명에 따른 펠리클에 의하면, 펠리클의 외형 치수를 변경하지 않고, 유효 노광 면적을 종래보다도 넓힐 수 있고, 또한 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력을 균형 잡히게 할 수 있기 때문에, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.According to the pellicle of the present invention, the effective exposure area can be widened as compared with the conventional one without changing the external dimensions of the pellicle, and the restoring force of the pellicle frame and the total tension of the pellicle film can be balanced. Can be suppressed.

또한, 본 발명에 따른 펠리클은, 팽출된 변부가 당해 변부의 복원력과 펠리클막의 막 장력과의 균형에 의해 대략 직선상으로 형성되어 있는 것으로 할 수 있다. 이와 같이, 변부의 복원력과 펠리클막의 막 장력과의 균형에 의해 변부를 대략 직선상으로 형성함으로써, 유효 노광 면적을 확보하면서 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 막 장력을 적절하게 균형 잡히게 할 수 있다.In the pellicle according to the present invention, the bulged portion may be formed in a substantially straight line in accordance with the balance between the restoring force of the edge portion and the film tension of the pellicle film. Thus, by forming the side portions in a substantially straight line by balancing the restoring force of the edge portion and the film tension of the pellicle film, the restoring force of the pellicle frame and the film tension of the pellicle film can be appropriately balanced while securing an effective exposure area.

또한, 본 발명에 따른 펠리클에 있어서는, 펠리클막에는 이하의 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 모두 만족하도록 하는 크기의 막 장력이 부여되어 있는 것이 바람직하다.Further, in the pellicle according to the present invention, it is preferable that the pellicle film is given a film tension of a size satisfying all of the following conditions A, B, and C.

조건 A: 펠리클막이 대략 수평이 되도록 펠리클을 배치한 상태에서, 펠리클막 상의 제1 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임의 변부의 장변부의 내연(內緣)의 중앙점으로부터 당해 장변부의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제1 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제1 기준점의 침량(沈量)이 0.4mm 이상 2.4mm 이하이다.Condition A: a first reference point on the pellicle film in a state in which the pellicle film is substantially horizontal, and a first reference point on the pellicle film, which is perpendicular to the inner edge of the long side portion from the midpoint of the inner edge of the long side portion of the edge of the pellicle frame The amount of sedimentation of the first reference point when the weight is placed on the first reference point spaced 30 mm in the direction of 10 mm is 0.4 mm or more and 2.4 mm or less.

조건 B: 펠리클막이 대략 수평이 되도록 펠리클을 배치한 상태에서, 펠리클막 상의 제2 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임의 변부의 단변부의 내연의 중앙점으로부터 당해 단변부와 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제2 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제2 기준점의 침량이 0.3mm 이상 2.3mm 이하이다.Condition B: a second reference point on the pellicle film in a state where the pellicle is arranged substantially horizontally, and the distance from the midpoint of the inner edge of the short side of the edge of the pellicle frame in the plane is 30 mm The weight of the second reference point when the weight is placed on the second reference point is not less than 0.3 mm and not more than 2.3 mm.

조건 C: 제1 기준점의 상기 침량과 제2 기준점의 상기 침량의 차의 절댓값이 0.4mm 이하이다.Condition C: The absolute value of the difference between the sinking amount of the first reference point and the sinking amount of the second reference point is 0.4 mm or less.

이와 같이 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 만족하도록 하는 크기의 막 장력을 펠리클막에 부여함으로써, 유효 노광 면적을 넓게 확보하면서 보다 유효하게 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.By imparting to the pellicle film a film tension of such a size as to satisfy Condition A, Condition B and Condition C, it is possible to more effectively prevent wrinkles from being generated in the pellicle film while ensuring a wide effective exposure area.

제1 기준점에서의 상기 침량과 제2 기준점에서의 상기 침량이 상기 조건 A 내지 조건 C에서 규정되는 범위 내에 있으면, 펠리클막이 느슨해지는 것이 유효하게 억제되기 때문에 장변부 및 단변부 부근에서 펠리클막에 주름이 발생하는 것이 유효하게 억제되기 때문에 바람직하고, 또한 펠리클막에 부여된 막 장력이 너무 강하여 약간의 진동 등으로 펠리클막이 찢어지는 것이 억제되기 때문에 바람직하다.When the sinking amount at the first reference point and the sinking amount at the second reference point are within the ranges defined in the above-mentioned conditions A to C, it is effectively inhibited from loosening the pellicle film, Is effectively suppressed. Further, the film tension imparted to the pellicle film is too strong, which is preferable because tearing of the pellicle film due to slight vibration or the like is suppressed.

펠리클 프레임은 코너부의 강성이 상대적으로 강하기 때문에, 코너부로부터의 대각선 상을 따라 펠리클막의 막 장력은 상대적으로 강해진다고 상정된다. 따라서, 좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용한 경우에도 대각선 상의 펠리클막의 막 장력은 비교적 강하게 유지할 수 있다고 생각된다. 그러나, 이와는 대조적으로 프레임체의 중앙부 부근은 펠리클막의 막 장력에 프레임체가 져서 변이 휘기 쉬워지기 때문에, 프레임체의 중앙 부분 부근의 펠리클막의 막 장력이 작아짐으로써 펠리클막을 펠리클 프레임에 부착한 경우에 펠리클막에 주름이 발생하거나 펠리클의 핸들링시에 펠리클막에 주름이 발생하기 쉬워진다. 그 때문에, 제1 기준점에서의 상기 침량과 제2 기준점에서의 상기 침량이 상기 조건 A 내지 조건 C로 규정되는 범위 내에 있으면, 펠리클 프레임의 장변측과 단변측의 중앙 부분 근방인 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막의 막 장력이 강해짐과 함께, 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막의 막 장력의 균형을 잡을 수 있기 때문에 펠리클막 전체의 장력 밸런스가 좋아지고, 좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용하는 것이 가능한 펠리클을 제작하는 것이 가능해지는 것을 본 발명자들은 발견하였다.Since the pellicle frame has a relatively strong stiffness at the corner portion, it is assumed that the film tension of the pellicle film along the diagonal line from the corner portion becomes relatively strong. Therefore, even when a pellicle frame with a narrow width is used, it is considered that the film tension of the pellicle film on the diagonal line can be kept relatively strong. However, in contrast, in the vicinity of the central portion of the frame body, the frame body is deformed due to the film tension of the pellicle film, so that the film tension of the pellicle film near the central portion of the frame body is made small so that when the pellicle film is attached to the pellicle frame, The wrinkles are likely to occur in the pellicle film when the pellicle is handled. Therefore, when the sinking amount at the first reference point and the sinking amount at the second reference point are within the range defined by the above-mentioned conditions A to C, the first reference point, which is the vicinity of the central part of the long side and the short side of the pellicle frame, The film tension of the pellicle film at the two reference points is strengthened and the film tension of the pellicle film at the first reference point and the second reference point can be balanced so that the tension balance of the entire pellicle film is improved and the pellicle frame using the narrow width pellicle frame The present inventors have found that it is possible to produce a pellicle capable of producing a pellet.

본 발명에 따른 펠리클의 제조 방법은, (a) 기판 상에 성막된 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막을, 개구부를 갖는 프레임체에 당해 개구부를 덮도록 부착하는 공정과, (b) 프레임체에 부착된 펠리클막을 기판으로부터 박리하는 공정과, (c) 4개의 변부에 의해 대략 직사각형의 프레임상으로 형성된 펠리클 프레임으로서, 적어도 1쌍의 변부가 펠리클 프레임의 외측으로 팽출하고 있고, 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하인 펠리클 프레임을 준비하는 공정과, (d) 펠리클 프레임의 상기 적어도 1쌍의 변부에 외력을 부여함으로써, 당해 적어도 1쌍의 변부가 대략 직선상이 되도록 당해 적어도 1쌍의 변부를 탄성 변형시키는 공정과, (e) 공정 (d)의 후에, 상기 적어도 1쌍의 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형하고 있는 상태의 펠리클 프레임에, 당해 펠리클 프레임의 개구부를 덮도록 프레임체에 부착된 펠리클막을 부착하는 공정과, (f) 공정 (e)의 후에, 상기 적어도 1쌍의 변부에 부여하고 있는 상기 외력을 제거함으로써, 펠리클막을 펠리클 프레임에 의해 전장 지지하는 공정과, (g) 공정 (e)의 후에, 펠리클막의 잉여 부분 및 프레임체를 제거하는 공정을 구비한다. 또한, 공정 (d)에 있어서의 대략 직선상으로란, 도 9의 외측에 팽출(P)로부터 조금이라도 L 직선에 가까워진 상태를 말하고, 구체적으로는 P로부터 0.5mm 이상 L 직선에 근접하는 것이 바람직하다. 한편, 공정 (e)를 거친 후의 펠리클은 대략 직사각형 형상인데, 이 형상은 노광 장치에 대한 설치에 지장이 없을 정도로 직사각형 형상인 것을 말한다.A method of manufacturing a pellicle according to the present invention includes the steps of: (a) attaching a pellicle film made of a polymer material formed on a substrate to a frame having an opening so as to cover the opening; (b) (C) a pellicle frame formed as a substantially rectangular frame by four edges, wherein at least one pair of the side portions bulges to the outside of the pellicle frame, and the width of the side of the long side / Wherein the pellicle frame has a ratio of 0.3% or more to 2.2% or less and a ratio of a short side width to a short side length of the side portion is 0.3% or more and 3.8% or less; (d) an external force is applied to the at least one pair of side edges of the pellicle frame Elastically deforming the at least one pair of sides so that the at least one pair of sides are substantially in a straight line; and (e) after the step (d) Attaching a pellicle film attached to a frame body so as to cover an opening of the pellicle frame to a pellicle frame in a state of being elastically deformed so as to be in a straight line; and (f) after the step (e) (B) after the step (e), removing the surplus portion of the pellicle film and the frame body after the step (e). The term "substantially in a straight line" in the step (d) refers to a state in which the line P slightly extends from the bulge P to the outside of the line in FIG. 9, and more specifically, Do. On the other hand, the pellicle after the step (e) has a substantially rectangular shape, which means that the pellicle has a rectangular shape so as not to interfere with the installation of the exposure apparatus.

본 발명에 따른 펠리클의 제조 방법에 의하면, 공정 (c)에 있어서 변부의 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 변부의 단변 폭/단변 길이의 비율이 0.3% 이상 3.8% 이하인 펠리클 프레임을 준비하고 있기 때문에, 유효 노광 면적이 종래보다도 넓어진 펠리클을 얻을 수 있다. 또한, 공정 (d)에 있어서 상기 적어도 1쌍의 변부가 대략 직선상이 되도록 상기 적어도 1쌍의 변부를 탄성 변형시키고, 공정 (e)에 있어서 이 상태의 펠리클 프레임에 펠리클막을 부착하기 위해서 펠리클 프레임의 복원력과 펠리클막의 전장력의 균형을 잡을 수 있다. 그 결과, 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.According to the method for producing a pellicle according to the present invention, in the step (c), the ratio of the long side width to the long side length of the edge is 0.3% or more and 2.2% or less and the ratio of the short side / short side length of the side is 0.3% Or less, a pellicle having an effective exposure area wider than that of the conventional one can be obtained. Further, in the step (d), the at least one pair of side edges are elastically deformed so that the at least one pair of sides are substantially in a straight line, and in order to attach the pellicle film to the pellicle frame in this state in the step (e) The balance of resilience and total tension of the pellicle membrane can be balanced. As a result, occurrence of wrinkles on the pellicle film can be suppressed.

본 발명은 종래 시장에서 사용되리라고는 예상되지 않았던 좁은 폭의 펠리클 프레임을 사용하여도, 노광에 문제 없이 유효 노광 면적을 확대시킬 수 있고, 또한 막 주름도 없고, 좁아도 충분한 막 장력을 확보할 수 있고, 또한 핸들링에서도 문제가 없는 펠리클, 및 그러한 펠리클의 제조 방법을 제공할 수 있다.The present invention can enlarge the effective exposure area without any problem in exposure even when using a pellicle frame of a narrow width which is not expected to be used in the conventional market, and it is possible to secure a sufficient film tension even if there is no film wrinkle, A pellicle having no problem in handling, and a method for producing such a pellicle.

도 1은 펠리클의 사시도이다.
도 2는 펠리클의 종단면도이다.
도 3은 프레임체의 형태의 설명도이다.
도 4는 펠리클의 제조 프로세스를 도시한 설명도이다.
도 5는 펠리클 프레임의 형태의 설명도이다.
도 6은 펠리클의 다른 제조 프로세스를 도시한 설명도이다.
도 7은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 사시도이다.
도 8은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다.
도 9는 팽출량의 정의를 도시한 설명도이다.
도 10은 실시예 및 비교예의 평가 결과를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view of a pellicle.
2 is a longitudinal sectional view of the pellicle.
3 is an explanatory view of the form of the frame body.
4 is an explanatory view showing the manufacturing process of the pellicle.
5 is an explanatory view of the shape of the pellicle frame.
6 is an explanatory diagram showing another manufacturing process of the pellicle.
Fig. 7 is a schematic perspective view for explaining a method of measuring the film deposition amount on the long side and the film deposition amount on the short side.
8 is a schematic cross-sectional view for explaining a method for measuring the film deposition on the long side and the film deposition on the short side.
Fig. 9 is an explanatory view showing the definition of the amount of expansion.
10 is a view showing evaluation results of Examples and Comparative Examples.

본 발명의 실시 형태를 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시 형태는 본 발명의 구성예이며, 본 발명은 이하의 실시 형태에 제한되는 것이 아니다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는 동일한 번호를 부여함으로써 중복 설명을 생략한다.An embodiment of the present invention will be described. The embodiments described below are examples of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiments. In the specification and drawings, constituent elements having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

도 1 및 도 2에 펠리클(1)을 나타낸다. 펠리클(1)은 예를 들어 직사각형의 프레임상으로 개구부(F)를 갖는 펠리클 프레임(10)과, 펠리클 프레임(10)의 상면에 그 개구부(F)를 덮도록 부착되어 펠리클 프레임(10)에 전장 지지된 펠리클막(11)과, 펠리클 프레임(10)의 하면에 도포된 점착제(12) 및 그 점착제(12)의 표면을 덮는 보호 필름(13)을 갖고 있다.Figures 1 and 2 show the pellicle 1. The pellicle 1 includes a pellicle frame 10 having an opening F on a rectangular frame and a pellicle frame 10 attached to the upper surface of the pellicle frame 10 so as to cover the opening F and to be attached to the pellicle frame 10 And a protective film 13 covering the surface of the pressure-sensitive adhesive 12 and the pressure-sensitive adhesive 12 applied on the lower surface of the pellicle frame 10. [

펠리클막(11)은 니트로셀룰로오스나 셀룰로오스 유도체, 시클로올레핀계 수지, 불소계 고분자 등 투명한 고분자막으로 구성되어 있고, 막 두께는 1㎛ 이상 10㎛ 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 2㎛ 이상 8㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 2.5㎛ 이상 7㎛ 이하이다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 개구부(F)의 개구 면적은 예를 들어 1000cm² 이상이고, 본 실시 형태에 있어서의 펠리클(1)은 소위 대형 펠리클이다. 펠리클 프레임(10)의 개구부(F)의 개구 면적이 1000cm² 이상인 경우, 펠리클 제조 공정 내의 핸들링시에 막 장력이 약하면 펠리클 프레임의 자중에 의해 막 주름이 발생하거나 핸들링 지그로부터 벗어날 가능성이 있지만, 본 실시 형태를 이용함으로써 극적으로 핸들링시의 막 주름의 발생이나 핸들링 지그로부터 빠진다는 가능성이 억제된다. 특히 펠리클 면적이 3,000cm², 나아가서는 6,000cm²를 초과하는 대형 펠리클의 경우에 발휘된다.The pellicle film 11 is composed of a transparent polymer membrane such as nitrocellulose, a cellulose derivative, a cycloolefin resin, a fluorine-based polymer, etc. The film thickness is preferably 1 탆 or more and 10 탆 or less, more preferably 2 탆 or more and 8 탆 or less , More preferably not less than 2.5 mu m and not more than 7 mu m. The opening area of the opening F of the pellicle frame 10 is, for example, 1000 cm ² or more, and the pellicle 1 in this embodiment is a so-called large pellicle. In the case where the opening area of the opening F of the pellicle frame 10 is 1000 cm ² or more, if the film tension is weak during handling in the pellicle manufacturing process, there is a possibility that the film wrinkles or escapes from the handling jig due to the weight of the pellicle frame. By using the embodiment, it is possible to suppress the occurrence of film wrinkles at the time of handling and the possibility of missing from the handling jig. In particular 3,000cm ^2, the pellicle space and further can be exhibited in the case of large pellicle exceeding 6,000cm ^2.

그런데, 좁은 펠리클 프레임(10)에 펠리클막(11)을 전장시킨 펠리클(1)을 제작하면, 펠리클막(11)의 막 장력에 펠리클 프레임(10)의 강성이 져서 크게 변형된다. 따라서, 먼저 펠리클 프레임(10)에 응력을 갖게 해 두고, 이 응력을 갖게 한 펠리클 프레임(10)에 펠리클막(11)을 부착하여 펠리클막(11)의 막 장력과 펠리클 프레임(10)의 응력을 균형이 맞도록 하는 것이 중요하다. 후술하는 바와 같이 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착하기 전에 펠리클막(11)을 프레임체에 부착하는데, 또한 펠리클막(11)의 막 장력을 올리기 위해서는 이 프레임체에서의 막 장력을 올려 둘 수도 있다. 그렇게 함으로써, 막 장력도 있고, 유효 노광 면적도 확보할 수 있는 펠리클이 제작 가능해진다.When the pellicle 1 having the pellicle film 11 charged with the narrow pellicle frame 10 is produced, the rigidity of the pellicle frame 10 is greatly affected by the film tension of the pellicle film 11, and the pellicle film 11 is greatly deformed. The pellicle frame 11 is attached to the pellicle frame 10 having the stress so that the film tension of the pellicle film 11 and the stress of the pellicle frame 10 It is important to keep the balance in balance. The pellicle film 11 is attached to the frame body before the pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10 as described later and in order to increase the film tension of the pellicle film 11, . By doing so, it becomes possible to manufacture a pellicle which has film tensions and can secure an effective exposure area.

우선은 프레임체에서의 막 장력을 올리는 방법을 설명한다. 펠리클(1)의 제조는 도 3에 도시한 프레임체(20)를 이용하여 행하여진다. 프레임체(20)는 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 있고, 대향하는 1쌍의 장변부(20a)와 대향하는 1쌍의 단변부(20b)로 이루어지는 4변부를 갖고 있다. 이 프레임체(20)는 예를 들어 도 3의 (A)와 같이 4변부가 직선상인 것, (B)와 같이 쌍이 되는 장변부(20a)가 프레임체(20)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (C)와 같이 쌍이 되는 단변부(20b)가 프레임체(20)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (D)와 같이 모든 변부인 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 프레임체(20)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것을 이용할 수 있다. 외측으로 볼록해지는 형상으로서는 1개의 코너부로부터 인접하는 코너부에 걸쳐 북상으로 되어 있어도 되고, 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)의 중앙 부근만이 완만하게 볼록 형상으로 되어 있어도 된다.First, a method of increasing the film tension in the frame body will be described. The production of the pellicle 1 is carried out using the frame body 20 shown in Fig. The frame body 20 is formed in a substantially rectangular frame shape, and has four side portions composed of a pair of short side portions 20b opposed to a pair of opposing long side portions 20a. As shown in Fig. 3A, for example, the frame body 20 is formed such that the four sides are linear, and the long side portion 20a, which is paired as shown in Fig. 3B, A pair of short side portions 20b formed in a bulged shape as shown in (C) are formed in an upwardly curved shape so as to be convex outwardly of the frame body 20, The long side portion 20a and the pair of short side portions 20b may be formed so as to be curved and bulged so as to be convex toward the outside of the frame body 20. As for the outwardly convex shape, it may be formed in a shape of being raised from one corner portion to the adjacent corner portion, or only the vicinity of the center of the long side portion 20a and the pair of short side portions 20b may have a gently convex shape .

도 4는 펠리클(1)의 제조 방법의 일례의 개략을 도시한 설명도이다. 도 4의 (A)에 도시한 바와 같이 우선 개구부(G)를 갖는 프레임체(20)를 준비한다. 다음으로 도 4의 (B)에 도시한 바와 같이 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)의 중앙 부근을 지그 등을 이용하여 내측으로 누른다. 이에 의해, 외측으로부터 내측으로 외력이 부여되어 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 내측을 향하여 탄성 변형한다.4 is an explanatory diagram showing an outline of an example of a manufacturing method of the pellicle 1. As shown in Fig. 4 (A), first, a frame body 20 having an opening portion G is prepared. Next, as shown in Fig. 4 (B), the vicinity of the center of the pair of long side portions 20a and the pair of short side portions 20b of the frame body 20 is pressed inward using a jig or the like. As a result, an external force is applied from the outside to the inside, so that the pair of long side portions 20a and the pair of short side portions 20b of the frame body 20 are elastically deformed inward.

또한, CVD, 스퍼터링 등의 성막 기술에 의해 펠리클막(11)이 성막된 기판(30)을 준비한다. 그리고, 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 내측으로 탄성 변형한 상태의 프레임체(20)에, 그 개구부(G)를 덮도록 기판(30)에 성막된 펠리클막(11)을 부착한다. 이때의 펠리클막(11)과 프레임체(20)의 접착은 프레임체(20) 상에 도포된 접착재에 의해 행하여진다. 그 후, 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)를 탄성 변형시키고 있던 외력을 제거한다. 또한, 도 4의 (B)에서는 설명을 위해서 프레임체(20)의 내측에 대한 변형량을 크게 그리고 있지만, 실제의 프레임체(20)의 압입량은 프레임체재의 탄성 변형 영역이라면 임의의 힘으로 누를 수 있다. 또한, 도 3의 (B), (C), (D)에 도시한 바와 같이 변부가 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 프레임체(20)의 경우에는 외측으로부터 누름으로써 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형시켜도 된다.Further, the substrate 30 on which the pellicle film 11 is formed is prepared by a film forming technique such as CVD or sputtering. The frame 20 having a pair of long side portions 20a and a pair of short side portions 20b elastically deformed inward is provided with a pellicle 20 formed on the substrate 30 so as to cover the opening portion G, The membrane 11 is attached. At this time, the pellicle film 11 and the frame body 20 are adhered to each other by the adhesive material applied on the frame body 20. Thereafter, an external force which elastically deforms the pair of long side portions 20a and the pair of short side portions 20b of the frame body 20 is removed. 4B, the amount of deformation of the frame body 20 with respect to the inside is increased. However, if the amount of indentation of the actual frame body 20 is an elastic deformation region of the frame structure, . As shown in Figs. 3 (B), 3 (C) and 3 (D), in the case of the frame body 20 in which the side portions are convexly curved so as to be convex outwardly, Or the like.

프레임체(20)의 재질로서는 예를 들어 알루미늄, 알루미늄 합금(5000계, 6000계, 7000계 등) 등의 금속, 세라믹스(SiC, A1N, A1₂0₃ 등), 세라믹스와 금속의 복합 재료(Al-SiC, Al-A1N, AL-A1₂0₃ 등), 수지 등을 들 수 있고, 그 중에서도 알루미늄이나 그의 합금을 들 수 있고, 보다 구체적으로는 알루미늄과 마그네슘의 합금, 알루미늄과 마그네슘 그리고 규소의 합금, 알루미늄과 아연 그리고 마그네슘의 합금 등, 탄성 변형을 일으키는 것이 바람직하다.As the material of the frame body 20, for example aluminum, an aluminum alloy of a metal such as (5000 series, 6000 series, and 7000-based), ceramic (SiC, A1N, A1 ₂ 0 _3, etc.), ceramic and metal composite materials ( Al-SiC, Al-A1N, and the like AL-A1 ₂ 0 ₃ and the like), resins, among them there may be mentioned aluminum, an alloy thereof, more particularly of aluminum and magnesium alloys, aluminum and magnesium and silicon An alloy of aluminum, zinc and magnesium, or the like.

다음으로 도 4의 (C)에 도시한 바와 같이 프레임체(20)가 부착된 펠리클막(11)을 기판(30)으로부터 박리한다. 이때, 프레임체(20)의 탄성 변형을 유지하고 있던 힘을 제거함으로써, 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)가 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래의 형태로 복귀하려고 하여 외측으로 변위한다. 이에 의해, 펠리클막(11)에는 4변의 외측 방향을 향하는 인장력이 작용하고, 막 장력이 올라간다.Next, as shown in Fig. 4 (C), the pellicle film 11 to which the frame 20 is attached is peeled from the substrate 30. Then, as shown in Fig. At this time, the pair of long side portions 20a and the pair of short side portions 20b of the frame body 20 are removed by the resilient restoring force (expansion force) by removing the force holding the elastic deformation of the frame body 20 It attempts to return to its original form and displaces outward. As a result, a tensile force is applied to the pellicle film 11 in the outward directions of the four sides, and the film tension is increased.

다음으로 도 4의 (D)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)을 준비한다. 펠리클 프레임(10)의 상면에는 접착제가 도포되고 있다. 이어서, 도 4의 (E)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 상면에, 그 개구부(F)를 덮도록 프레임체(20)이 부착된 펠리클막(11)을 부착한다. 이에 의해, 펠리클막(11)은 막 장력이 유지된 상태에서 펠리클 프레임(10)에 부착된다. 그 후, 프레임체(20)를 포함하는 펠리클막(11)의 잉여 부분을 제거한다.Next, the pellicle frame 10 is prepared as shown in Fig. 4 (D). The upper surface of the pellicle frame 10 is coated with an adhesive. 4 (E), a pellicle film 11 to which the frame 20 is attached is attached to the upper surface of the pellicle frame 10 so as to cover the opening F. Then, as shown in Fig. Thereby, the pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10 in a state in which the film tension is maintained. Thereafter, the surplus portion of the pellicle film 11 including the frame body 20 is removed.

본 실시 형태에 따르면, 온도 변화를 부여하지 않고, 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막(11)의 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 펠리클막(11)의 물성이 변동하는 것을 방지할 수 있고, 당해 펠리클(1)을 이용한 노광 처리를 적정하게 행할 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(10)이나 점착제(12), 펠리클막(11) 등의 재질에 온도 변화에 견딜 수 있는 것을 이용할 필요가 없어 재질의 선택 자유도가 넓어진다. 또한, 온도 변화의 부여나 온도 변화에 수반하는 공조를 행하는 고가의 설비가 필요 없어 그 제어 프로세스가 용이해진다. 또한, 고온 또는 저온에 노출되지 않기 때문에, 열에 의한 점착제(12) 등의 열화가 없고, 펠리클(1)의 평탄성이나 치수 정밀도가 확보되고, 정밀도가 높은 노광 처리를 행할 수 있다.According to the present embodiment, the film tension of the pellicle film 11 made of a polymer material can be improved without changing the temperature, so that the physical properties of the pellicle film 11 can be prevented from fluctuating, 1) can be appropriately performed. Further, it is not necessary to use materials such as the pellicle frame 10, the pressure-sensitive adhesive 12, and the pellicle film 11 that can withstand temperature changes, and thus the degree of freedom of choice of materials is increased. In addition, expensive facilities for performing the air conditioning accompanied by the temperature change and the temperature change are not required, and the control process is facilitated. Further, since the pellicle 1 is not exposed to high temperature or low temperature, flatness and dimensional accuracy of the pellicle 1 are secured without deterioration of the pressure-sensitive adhesive 12 due to heat, and exposure processing with high precision can be performed.

또한, 본 실시 형태에서 기재한 펠리클(1)은 펠리클 프레임(10)의 개구부(F)의 개구 면적이 1000cm² 이상인 대형 펠리클이지만, 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 대형화에 의해 현저해지는 펠리클막(11)의 자중에 의한 휨을 억제할 수 있다. 따라서, 대형 펠리클이어도 정밀도가 높은 노광 처리를 실현할 수 있다. 또한, 노광용 기반에 대한 장착시에 주위 분위기를 끌어넣어 발생하는 펠리클막(11)의 팽창도 억제할 수 있다. 이에 의해, 그 펠리클막(11)의 팽창이 복귀될 때까지의 대기 시간이 줄어들고, 제조 시간을 단축할 수 있다.The pellicle 1 described in this embodiment is a large pellicle having an opening area F of 1000 cm ² or more in the opening F of the pellicle frame 10 but can improve the film tension and hence the pellicle film 11 can be suppressed. Therefore, even a large pellicle can realize exposure processing with high precision. Further, expansion of the pellicle film 11 caused by drawing in the ambient atmosphere at the time of mounting on the base for exposure can be suppressed. Thereby, the waiting time until the expansion of the pellicle film 11 is restored is reduced, and the manufacturing time can be shortened.

또한, 도 3(B) 내지 (D)에 도시한 바와 같이 프레임체(20)의 적어도 일 변부가 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 초기 형상을 갖고 있는 경우에는, 프레임체(20)의 변부의 내측에 대한 변형량을 크게 확보할 수 있고, 그만큼 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래로 되돌아갈 때의 변형량도 크게 확보할 수 있다. 따라서, 펠리클막(11)을 보다 강하게 인장할 수 있고, 막 장력을 더 올릴 수 있다.3 (B) to 3 (D), when at least one side of the frame body 20 has an initial shape that is curved and bulged so as to be convex outward, It is possible to secure a large amount of deformation with respect to the inner side, and a large amount of deformation when returning to the original state by the elastic restoring force (expansion force) can be secured as much. Therefore, the pellicle film 11 can be more strongly pulled, and the film tension can be further increased.

또한, 본 실시 형태에서는 펠리클막(11)을 부착할 때에 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)의 모두를 내측으로 탄성 변형시켜도 되고, 4변부 중의 임의의 변부를 내측으로 탄성 변형시켜도 된다. 이에 의해, 펠리클막(11)의 장변 방향 또는 단변 방향의 장력을 발현시키고자 하는 방향으로만 막 장력을 증가시킬 수 있고, 펠리클막(11)이 직사각형인 경우 등에는 장변 방향에 강한 장력을 부여하는 등, 4방향의 장력 밸런스의 균등화를 도모할 수 있다. 특히, 펠리클 프레임(10)의 강성이 높은 경우에는, 프레임체(20)의 임의의 변부를 내측으로 탄성 변형시켜 두는 것이 바람직하다. 여기서, 높은 강성의 범위는 영률이 90 내지 450의 범위이다. 구체적으로는 파인세라믹스(예를 들어 알루미나, 탄화규소 등), 철, SUS, 티타늄 등이다.In the present embodiment, both the pair of long side portions 20a and the pair of short side portions 20b of the frame body 20 may be elastically deformed inward when the pellicle film 11 is attached, Any one of the side edges may be elastically deformed inward. As a result, the film tension can be increased only in the direction in which the tensile force in the direction of the long side or the short side of the pellicle film 11 is to be increased. In the case where the pellicle film 11 is rectangular, So that equalization of the tension balance in the four directions can be achieved. Particularly, when the rigidity of the pellicle frame 10 is high, it is preferable to elastically deform any of the side portions of the frame body 20 inward. Here, the range of high stiffness is in the range of 90 to 450 in Young's modulus. Concretely, fine ceramics (for example, alumina, silicon carbide, etc.), iron, SUS, titanium and the like.

또한, 본 실시 형태에서는 프레임체(20)의 1쌍의 장변부(20a) 및 1쌍의 단변부(20b)를 변형시키는 외력을, 프레임체(20)에 펠리클막(11)을 부착한 후이며 기판(30)으로부터 펠리클막(11)을 이탈시키기 전에 제거하고 있었지만, 기판(30)으로부터 펠리클막(11)을 이탈시킨 후이며 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착하기 전에 제거하여도 된다. 또한, 당해 외력의 제거를 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착한 후에 행하여도 된다.In the present embodiment, an external force for deforming the pair of long side portions 20a and the pair of short side portions 20b of the frame body 20 is obtained by attaching the pellicle film 11 to the frame body 20 The pellicle film 11 is removed before the pellicle film 11 is removed from the substrate 30 but after the pellicle film 11 has been removed from the substrate 30 and before the pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10 . The external force may be removed after the pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10.

상기 실시 형태에서는 펠리클막(11)을 부착할 때에 프레임체(20)를 탄성 변형시키고 있었지만, 펠리클 프레임(10)을 탄성 변형시켜도 된다.In the above embodiment, the frame body 20 is elastically deformed when the pellicle film 11 is attached, but the pellicle frame 10 may be elastically deformed.

도 5는 이 예에서 이용되는 펠리클 프레임(10)의 형상을 나타낸다. 도 5에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)은 대략 직사각형의 프레임상으로 형성되어 있고, 대향하는 1쌍의 장변부(10a)와 대향하는 1쌍의 단변부(10b)로 이루어지는 4변부를 갖고 있다. 이 펠리클 프레임(10)은 예를 들어 도 5의 (B)와 같이 쌍이 되는 장변부(10a)가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (C)와 같이 쌍이 되는 단변부(10b)가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것, (D)와 같이 모든 변부인 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 북상으로 형성된 것을 이용할 수 있다.Fig. 5 shows the shape of the pellicle frame 10 used in this example. As shown in Fig. 5, the pellicle frame 10 is formed in the shape of a substantially rectangular frame, and has four side portions composed of a pair of opposed long side portions 10a and a pair of opposed short side portions 10b have. The pellicle frame 10 is formed such that the long side portion 10a which is paired as shown in Fig. 5 (B) is formed in a bending shape so as to be convex outward of the pellicle frame 10, A pair of long side portions 10a and a pair of short side portions 10b which are all sides as shown in (D) are formed so as to be curved and bulged so as to be convexed outward of the pellicle frame 10, 10b may be curved and bulged so as to be convex to the outside of the pellicle frame 10 may be used.

펠리클 프레임(10)의 재질은 영률이 1GPa 이상 80GPa 이하인 것이라면 무엇이든지 된다. 이 영률을 1GPa보다도 작게 하면 막의 장력 쪽이 너무 강해서 프레임의 복원력을 이용할 수 없다는 문제가 있다. 한편, 이 영률을 80GPa보다도 크게 하면 강성이 높기 때문에 탄성 변형시키기가 어렵고, 또한 높은 복원력을 바랄 수 없다는 문제가 있다. 이 때문에, 이 영률을 1GPa 이상 80GPa 이하로 함으로써, 막 장력과 균형이 잡히는 적당한 복원력을 이용할 수 있다는 이점이 있다. 예를 들어 알루미늄이나 그의 합금, 또는 세라믹스, 수지 등과 같은 펠리클 프레임에 일반적으로 이용되는 것이면 된다. 펠리클 프레임(10)의 재질은 대형화에 의한 자중의 증가를 고려하면, 경량이고 또한 강성을 갖는 것이 바람직하고, 알루미늄이나 그의 합금이 바람직하다.The material of the pellicle frame 10 may be any material as long as the Young's modulus is 1 GPa or more and 80 GPa or less. If the Young's modulus is made smaller than 1 GPa, the tensile force of the film is too strong, so that the restoring force of the frame can not be used. On the other hand, if the Young's modulus is larger than 80 GPa, it is difficult to elastically deform because of high rigidity, and there is a problem that a high restoring force can not be obtained. Therefore, when the Young's modulus is set to 1 GPa or more and 80 GPa or less, there is an advantage that appropriate restoring force for balancing the film tension can be utilized. For example, aluminum, an alloy thereof, or a pellicle frame such as ceramics, resin and the like. The material of the pellicle frame 10 is preferably lightweight and rigid in consideration of an increase in its own weight due to its large size, and aluminum or an alloy thereof is preferable.

펠리클 프레임(10)의 두께(장변부(10a) 및 단변부(10b)의 두께)는 2.5mm 이상 10mm 이하이고, 바람직하게는 3.0mm 이상 8mm 이하이고, 더욱 바람직하게는 4.0mm 이상 7.0mm 이하이다. 왜냐하면, 당해 두께가 이 범위에 있으면, 이물이 펠리클막(11)에 부착된 경우에도, 이 이물과 노광용 기반의 패턴이 실질적으로 동일한 상으로서 묘사되지 않고, 또한 상에 펠리클막(11)의 투과율을 실질적으로 저하시키지 않기 때문이다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 폭(장변부(10a) 및 단변부(10b)의 폭)은 장변 폭/장변 길이의 비율이 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 바람직하게는 0.5% 이상 2.2% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.55% 이상 2.1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.6% 이상 2.0% 이하인 것이 바람직하고, 당해 비율의 다른 바람직한 예는 0.4% 이상 2.1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.5% 이상 2.0% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.9% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.8% 이하이다. 또한, 단변 폭/단변 길이의 비율은 0.3% 이상 3.8% 이하이고, 바람직하게는 0.5% 이상 3.8% 이하이고, 바람직하게는 0.55% 이상 3.5% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.6% 이상 3.0% 이하이고, 당해 비율의 다른 바람직한 예는 0.3% 이상 2.2% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.4% 이상 2.1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.5% 이상 2.0% 이하이고, 더욱 바람직하게는 1.0% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.9% 이하이다.The thickness of the pellicle frame 10 (the thickness of the long side portion 10a and the short side portion 10b) is 2.5 mm or more and 10 mm or less, preferably 3.0 mm or more and 8 mm or less, more preferably 4.0 mm or more and 7.0 mm or less to be. This is because if the thickness is within this range, even if the foreign object is adhered to the pellicle film 11, the foreign matter and the exposure-based pattern are not depicted as substantially the same phase, and the transmittance of the pellicle film 11 As shown in FIG. The width of the pellicle frame 10 (width of the long side portion 10a and the short side portion 10b) is 0.3% or more and 2.2% or less, preferably 0.5% or more and 2.2% , More preferably not less than 0.55% and not more than 2.1%, still more preferably not less than 0.6% and not more than 2.0%, and another preferable example of the ratio is not less than 0.4% and not more than 2.1%, more preferably not less than 0.5% 2.0% or less, more preferably 0.9% or less, and further preferably 0.8% or less. The ratio of the short side length to the short side length is 0.3% to 3.8%, preferably 0.5% to 3.8%, preferably 0.55% to 3.5%, more preferably 0.6% to 3.0% , And another preferable example of the ratio is 0.3% to 2.2%, more preferably 0.4% to 2.1%, still more preferably 0.5% to 2.0%, still more preferably 1.0% More preferably, it is 0.9% or less.

또한, 장변 길이란 펠리클 프레임(10)에 있어서의 장변부(10a)의 외형 치수를 의미하고, 단변 길이란 펠리클 프레임(10)에 있어서의 단변부(10b)의 외형 치수를 의미한다.The long side length means the external dimension of the long side portion 10a in the pellicle frame 10 and the short side length means the external dimension of the short side portion 10b in the pellicle frame 10. [

펠리클 프레임(10)의 장변 길이는 예를 들어 400mm 이상 2000mm 이하, 바람직하게는 700mm 이상 1800mm 이하, 더욱 바람직하게는 900mm 이상 1600mm 이하, 특히 바람직하게는 1200mm 이상 1400mm 이하이고, 펠리클 프레임(10)의 단변 길이는 예를 들어 200mm 이상 1800mm 이하, 바람직하게는 500mm 이상 1600mm 이하, 나아가서는 700mm 이상 1200mm 이하이다.The length of the long side of the pellicle frame 10 is, for example, 400 mm or more and 2000 mm or less, preferably 700 mm or more and 1800 mm or less, more preferably 900 mm or more and 1600 mm or less, particularly preferably 1200 mm or more and 1400 mm or less, The short side length is, for example, 200 mm or more and 1800 mm or less, preferably 500 mm or more and 1600 mm or less, further 700 mm or more and 1200 mm or less.

펠리클 프레임(10)의 장변 폭(장변부(10a)의 폭)은 예를 들어 5mm 이상 15mm 이하로 할 수 있고, 펠리클 프레임(10)의 단변 폭(단변부(10b)의 폭)은 예를 들어 4mm 이상 15mm 이하로 할 수 있다.The width of the short side 10b of the pellicle frame 10 can be set to be equal to or greater than 5 mm and equal to or smaller than 15 mm and the short side width of the pellicle frame 10 It can be set to 4 mm or more and 15 mm or less.

도 6은 이 예의 펠리클(1)의 제조 방법의 개략을 도시한 설명도이다. 도 6의 (A)에 도시한 바와 같이 우선 펠리클 프레임(10)을 준비한다. 펠리클 프레임(10)의 상면에는 접착제가 도포되어 있다. 다음으로 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)의 중앙 부근을 지그 등을 이용하여 누른다. 이에 의해, 외측으로부터 내측으로 외력이 부여되어 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 내측을 향하여 탄성 변형한다. 이 상태에서 펠리클 프레임(10)의 상면에 그의 개구부(F)를 덮도록 프레임체(20)에 부착된 펠리클막(11)을 부착한다. 이 펠리클막(11)은 상술한 실시 형태와 같이 처음에 기판(30) 상에 성막되고, 다음으로 프레임체(20)에 부착되고, 그 후 기판(30)이 제거된 것이다. 또한, 본 실시 형태에서는 상술한 실시 형태와 같이 외력을 부여하여 프레임체(20)를 탄성 변형시키고 있을 필요는 없다. 또한, 도 6에서는 설명을 위해서 펠리클 프레임(10)의 내측에 대한 변형량을 크게 그리고 있지만, 실제의 펠리클 프레임(10)의 압입량은 프레임재의 탄성 변형 영역이라면 임의의 힘으로 누를 수 있다. 또한, 도 5의 (B), (C), (D)에 도시한 바와 같이 변부가 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 펠리클 프레임(10)의 경우에는, 외측으로부터 누름으로써 변부가 대략 직선상이 되도록 탄성 변형시켜도 된다.Fig. 6 is an explanatory diagram showing the outline of a manufacturing method of the pellicle 1 in this example. The pellicle frame 10 is first prepared as shown in Fig. 6 (A). The upper surface of the pellicle frame 10 is coated with an adhesive. Next, as shown in Fig. 6 (B), the vicinity of the center of the pair of long side portions 10a and the pair of short side portions 10b of the pellicle frame 10 is pressed with a jig or the like. As a result, an external force is applied from the outside to the inside, so that the pair of long side portions 10a and the pair of short side portions 10b of the pellicle frame 10 are elastically deformed inward. In this state, the pellicle film 11 attached to the frame body 20 is attached to the upper surface of the pellicle frame 10 so as to cover the opening F thereof. The pellicle film 11 is formed on the substrate 30 first, then the frame body 20, and then the substrate 30, as in the above-described embodiment. In the present embodiment, it is not necessary to elastically deform the frame body 20 by applying an external force as in the above-described embodiment. 6, the amount of deformation of the pellicle frame 10 with respect to the inside is increased. However, the actual amount of the pellicle frame 10 to be pressed can be pressed by an arbitrary force as long as it is an elastic deformation region of the frame member. As shown in Figs. 5 (B), 5 (C) and 5 (D), in the case of the pellicle frame 10 in which the side portions are convexly curved so as to be convex outwardly, Or may be elastically deformed.

다음으로 도 6의 (C)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)에 부여되고 있던 외력을 제거한다. 그러면, 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래의 형태로 복귀하려고 하여 외측으로 변위한다. 이에 의해, 펠리클막(11)에는 4변의 외측 방향을 향하는 인장력이 작용하고, 막 장력이 올라간다. 그 후, 펠리클막(11)의 잉여 부분을 제거한다.Next, as shown in Fig. 6 (C), the external force applied to the pellicle frame 10 is removed. Then, the pair of long side portions 10a and the pair of short side portions 10b of the pellicle frame 10 are displaced outwardly due to the elastic restoring force (expansion force) tries to return to the original shape. As a result, a tensile force is applied to the pellicle film 11 in the outward directions of the four sides, and the film tension is increased. Thereafter, the surplus portion of the pellicle film 11 is removed.

이와 같이 펠리클 프레임(10)에 대하여 펠리클막(11)에 부여하는 장력의 방향과 역방향의 힘을 가함으로써 펠리클막(11)의 장력이 오른다. 또한, 펠리클 프레임(10)을 얇게 하면 그 변형량이 크기 때문에 막도 크게 변형하려고 하지만, 실제로는 막은 무한히 변형할 수 없기 때문에, 상술한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 복원력(팽창력)에 의해 펠리클막(11)의 장력이 오른다.Thus, by applying a force to the pellicle frame 10 in a direction opposite to the direction of the tension applied to the pellicle film 11, the tension of the pellicle film 11 rises. In addition, since the pellicle frame 10 is thinned, the pellicle frame 10 tends to be deformed largely because the pellicle frame 10 has a large amount of deformation. In fact, the film can not be deformed infinitely. The tensile force of the spring 11 rises.

좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용하여 펠리클을 제작한 경우, 펠리클막의 막 장력이 약하면 펠리클의 제작시나 핸들링시 등에 펠리클막에 주름이 발생할 가능성이 있다. 그러한 상태의 펠리클을 마스크에 부착하여 사용하면, 펠리클이 휘어서 이물 검사 장치 등에 접촉하거나, 펠리클 부착 마스크를 핸들링할 때에 펠리클막이 케이스에 접촉할 가능성이 높아지거나, 노광시에 있어서의 노광광의 광로가 굴곡하여 정상적으로 노광할 수 없을 가능성이 발생하기 때문에 바람직하지 않다.When the pellicle is manufactured using a pellicle frame having a narrow width, if the film tension of the pellicle film is weak, wrinkles may occur in the pellicle film when the pellicle is produced or handled. If the pellicle is attached to the mask in such a state, there is a high possibility that the pellicle contacts the case when the pellicle bends and contacts the foreign material inspection apparatus or the like, or when the pellicle-attached mask is handled, or when the light path of the exposure light during bending So that there is a possibility that normal exposure can not be performed, which is not preferable.

그 때문에, 좁은 폭의 펠리클 프레임(10)을 이용하여 펠리클(1)을 구성한 경우의 펠리클막(11)의 막 장력을 어느 정도의 크기로 유지할 필요가 있다. 그런데, 펠리클 프레임(10)은 코너부의 강성이 상대적으로 강하기 때문에, 코너부로부터의 대각선 상을 따라 펠리클막(11)의 막 장력은 상대적으로 강해진다고 상정된다. 따라서, 좁은 폭의 펠리클 프레임(10)을 이용한 경우에도, 대각선 상의 펠리클막(11)의 막 장력은 비교적 강하게 유지할 수 있다고 생각된다. 그러나, 이와는 대조적으로 프레임체(20)의 중앙부 부근은 펠리클막(11)의 막 장력에 프레임체(20)가 져서 변이 휘기 쉬워지기 때문에, 프레임체(20)의 중앙 부분 부근의 펠리클막(11)의 막 장력이 작아짐으로써 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착한 경우에 펠리클막(11)에 주름이 발생하거나, 펠리클(1)의 핸들링시에 펠리클막(11)에 주름이 발생하기 쉬워진다. 그 때문에, 하기와 같이 제1 기준점에서의 침량과 제2 기준점에서의 침량이 다음의 조건 A 내지 조건 C로 규정되는 범위 내에 있으면, 펠리클 프레임(10)의 장변측과 단변측의 중앙 부분 근방인 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막(11)의 막 장력이 강해짐과 함께, 제1 기준점 및 제2 기준점에서의 펠리클막(11)의 막 장력의 균형을 잡을 수 있기 때문에, 펠리클막(11) 전체의 장력 밸런스가 좋아지고, 좁은 폭의 펠리클 프레임(10)을 이용하는 것이 가능한 펠리클(1)을 제작하는 것이 가능해지는 것을 본 발명자들은 발견하였다.Therefore, it is necessary to maintain the film tension of the pellicle film 11 at a certain level when the pellicle 1 is formed using the pellicle frame 10 having a narrow width. However, since the pellicle frame 10 has a relatively strong stiffness at the corner portion, it is assumed that the film tension of the pellicle film 11 along the diagonal line from the corner portion becomes relatively strong. Therefore, even when the pellicle frame 10 having a narrow width is used, it is considered that the film tension of the pellicle film 11 on the diagonal line can be kept relatively strong. In contrast, in the vicinity of the central portion of the frame body 20, the frame body 20 tends to deform due to the film tension of the pellicle film 11, so that the pellicle film 11 near the central portion of the frame body 20 The pellicle film 11 is wrinkled in the case where the pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10 or wrinkles are generated in the pellicle film 11 when the pellicle 1 is handled It becomes easy to occur. Therefore, when the sinking amount at the first reference point and the sinking amount at the second reference point are within the ranges defined by the following conditions A to C, the distance between the long side and the short side of the pellicle frame 10 The film tension of the pellicle film 11 at the first reference point and the second reference point is strengthened and at the same time the film tension of the pellicle film 11 at the first reference point and the second reference point can be balanced, The present inventors have found that it is possible to fabricate the pellicle 1 in which the entire tension balance is improved and the pellicle frame 10 having a narrow width can be used.

즉, 펠리클막(11)에는 이하의 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 모두 만족하도록 하는 크기의 막 장력이 부여되어 있는 것이 바람직하다.That is, it is preferable that the pellicle film 11 is given a film tension of a size which satisfies all of conditions A, B and C below.

조건 A: 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 펠리클(1)을 배치한 상태에서, 펠리클막(11) 상의 제1 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임(10)의 변부의 장변부(10a)의 내연의 중앙점으로부터 당해 장변부(10a)의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제1 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제1 기준점의 침량(이하, 「장변측의 막 침량」이라고 하는 경우가 있음)이 0.4mm 이상 2.4mm 이하, 바람직하게는 0.5mm 이상 2.0mm 이하, 보다 바람직하게는 0.8mm 이상 1.9mm 이하이다.Condition A is a first reference point on the pellicle film 11 in a state where the pellicle film 11 is arranged to be substantially horizontal and is a first reference point on the pellicle film 11. The long side portion 10a of the edge of the pellicle frame 10, (Hereinafter referred to as " the depth of the first reference point (hereinafter referred to as " the depth of the long side ") of the long side portion 10a ) Is 0.4 mm or more and 2.4 mm or less, preferably 0.5 mm or more and 2.0 mm or less, and more preferably 0.8 mm or more and 1.9 mm or less.

조건 B: 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 펠리클(1)을 배치한 상태에서, 펠리클막(11) 상의 제2 기준점이며, 평면에서 보아 펠리클 프레임(10)의 변부의 단변부(10b)의 내연의 중앙점으로부터 당해 단변부(10b)와 직교하는 방향으로 30mm 이격된 제2 기준점 상에 10.6g의 추를 얹은 경우의 당해 제2 기준점의 침량(이하, 「단변측의 막 침량」이라고 하는 경우가 있음)이 0.3mm 이상 2.3mm 이하, 바람직하게는 0.4mm 이상 1.9mm 이하, 보다 바람직하게는 0.7mm 이상 1.7mm 이하이다.Condition B is a second reference point on the pellicle film 11 in a state in which the pellicle film 11 is arranged substantially horizontally and is a second reference point on the pellicle film 11 and the short side portion 10b of the edge of the pellicle frame 10, (Hereinafter, referred to as " film deposition on the short side ") when a weight of 10.6 g is placed on a second reference point spaced 30 mm from the midpoint of the inner edge of the short side 10b ) Is not less than 0.3 mm and not more than 2.3 mm, preferably not less than 0.4 mm and not more than 1.9 mm, and more preferably not less than 0.7 mm and not more than 1.7 mm.

조건 C: 제1 기준점의 상기 침량과 제2 기준점의 상기 침량의 차(즉, 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 차)의 절댓값이 0.4mm 이하, 바람직하게는 0.3mm 이하, 보다 바람직하게는 0.25mm 이하이다.Condition C: The absolute value of the difference between the sinking amount of the first reference point and the sinking amount of the second reference point (i.e., the difference between the membrane deposition amount on the long side and the membrane deposition amount on the short side) is 0.4 mm or less, preferably 0.3 mm or less Preferably 0.25 mm or less.

펠리클막(11)에 부여되어 있는 막 장력이 상기 조건 A, 조건 B 및 조건 C를 만족하고 있으면, 펠리클막(11)을 펠리클 프레임(10)에 부착한 후에 펠리클막(11)에 막 주름이 발생하기 어려워지기 때문이다. 또한, 마스크에 펠리클(1)을 부착하였을 때에 펠리클(1)의 핸들링시 등에 펠리클막(11)이 마스크에 접촉하거나, 펠리클(1)에 부착된 펠리클막(11)이 풍압 등의 외압을 받았을 때에 펠리클막(11)이 마스크에 접촉하는 것이 억제되기 때문이다. 나아가서는 본원 발명자 등은 좁은 폭의 펠리클 프레임을 이용한 펠리클에서는 단변측의 막 침량과 장변측의 막 침량의 차가 종래의 펠리클에서의 차와 비교하여 매우 작은 것을 발견하였다. 그 때문에 종래의 펠리클에서의 경우와는 달리, 직사각 형상의 펠리클막(11)의 전체에서 막 장력의 밸런스가 유지되고 있기 때문에, 펠리클 프레임의 변부의 폭이 좁아도 펠리클로서 사용 가능한 제품이 된다.When the film tension applied to the pellicle film 11 satisfies the above conditions A, B, and C, after the pellicle film 11 is attached to the pellicle frame 10, It becomes difficult to occur. In addition, when the pellicle 1 is attached to the mask, the pellicle film 11 is brought into contact with the mask at the time of handling the pellicle 1, or the pellicle film 11 attached to the pellicle 1 is subjected to external pressure such as wind pressure This is because the pellicle film 11 is inhibited from contacting the mask at the time. Further, the inventors of the present invention have found that the difference between the film thickness on the short side and the film thickness on the long side of the pellicle using a narrow width pellicle frame is very small as compared with the difference in the conventional pellicle. Therefore, unlike the case of the conventional pellicle, a balance of the film tension is maintained in the entirety of the rectangular pellicle film 11. Therefore, even if the width of the edge of the pellicle frame is small, the product can be used as a pellicle.

이어서, 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법에 대하여 설명한다. 도 7은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 사시도이고, 도 8은 장변측의 막 침량과 단변측의 막 침량의 측정 방법을 설명하기 위한 모식적인 단면도이다. 도 8(A)는 펠리클 프레임(10)의 장변부(10a)의 길이 방향의 중앙점에서의 펠리클(1)의 종단면을 나타내고 있고, 도 8(B)는 펠리클 프레임(10)의 단변부(10b)의 길이 방향의 중앙점에서의 펠리클(1)의 종단면을 나타내고 있다. 또한, 펠리클 적재대(50)로서 펠리클 수납 용기의 트레이를 사용하였다.Next, a method of measuring the film deposition on the long side and the film deposition on the short side will be described. 7 is a schematic perspective view for explaining a method of measuring the film deposition amount on the side of the long side and the film deposition amount on the side of the short side, and FIG. 8 is a schematic sectional view for explaining the film deposition amount on the long side and the film deposition amount on the short side. to be. 8A shows a longitudinal section of the pellicle 1 at the center point in the longitudinal direction of the long side portion 10a of the pellicle frame 10 and FIG. 10b of the pellicle 1 at the central point in the longitudinal direction. Also, a tray of a pellicle storage container was used as the pellicle table 50.

장변측의 막 침량을 측정할 때에는, 먼저 점착제(12) 및 보호 필름(13)(도 7에 있어서는 도시하지 않음) 부착 펠리클(1)을 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 프레임 상의 펠리클 적재대(50)에 정치한다. 그리고, 펠리클막(11)에 있어서의 2군데의 제1 기준점(111)에 펠리클막(11)을 찢지 않도록 가볍게 마킹한다. 여기서, 제1 기준점(111)은 평면에서 보아(펠리클막(11)의 두께 방향으로부터 보아) 펠리클 프레임(10)의 변부의 장변부(10a)의 내연의 중앙점(10ac)으로부터 당해 장변부(10a)의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 점이다.The pellicle 1 with the adhesive 12 and the protective film 13 (not shown in Fig. 7) is placed on the frame so that the pellicle film 11 is substantially horizontal, And is fixed to the stand 50. The pellicle membrane 11 is lightly marked so as not to tear the pellicle membrane 11 at the two first reference points 111 in the pellicle membrane 11. [ Here, the first reference point 111 extends from the central point 10ac of the inner edge of the long side portion 10a of the edge of the pellicle frame 10 (viewed from the thickness direction of the pellicle membrane 11) 10a in the direction orthogonal to the internal combustion.

이어서, 한쪽의 제1 기준점(111)에 10.6g의 추(55)를 두어 당해 추를 두기 전을 기준으로 한 펠리클막(11)의 침량(111D)(장변측의 막 침량(111D))을 레이저 변위계에 의해 측정한다. 보다 구체적으로는 도너츠 형상 등의 구멍을 갖는 형상의 추(55)를 준비하고, 추(55)의 무게 중심점이 한쪽의 제1 기준점(111) 상에 위치하도록 추(55)를 한쪽의 제1 기준점(111) 상에 얹고, 레이저 변형의 센서(57)를 스탠드(61)에 의해 추(55)의 상방에 위치하도록 제어한다. 그리고, 센서(57)로부터 추(55)의 중앙부의 구멍을 통하여 제1 기준점(111)에 레이저광을 조사하여 펠리클막(11)의 장변측의 막 침량(111D)의 크기를 측정한다. 컨트롤러(63)는 센서(57)에 제어 신호를 송신하고, 이 제어 신호에 의해 센서(57)의 위치나 레이저 조사의 타이밍 등이 제어된다. 센서(57)의 측정 데이터는 컨트롤러(63)를 통하여 컴퓨터(65)에 송신된다. 컴퓨터(65)는 컨트롤러(63)를 제어함과 함께, 컨트롤러(63)를 통하여 송신된 상기 측정 데이터로부터 장변측의 막 침량(111D)의 값을 계산한다. 또한, 다른 쪽의 제1 기준점(111)에 대해서도 마찬가지로 장변측의 막 침량을 측정한다. 그리고, 한쪽의 제1 기준점(111)에 관한 장변측의 막 침량과 다른 쪽의 제1 기준점(111)에 관한 장변측의 막 침량의 평균값을 계산하고, 당해 평균값을 장변측의 막 침량으로 한다.Subsequently, a weighed amount 55 of 10.6 g was placed on one of the first reference points 111, and the deposition amount 111D (membrane deposition amount 111D on the long side) of the pellicle membrane 11 based on the weight before the weight was placed was It is measured by a laser displacement meter. More specifically, the weights 55 having a shape such as a donut shape are prepared, and the weights 55 are arranged on one first reference point 111 so that the center of gravity of the weights 55 is located on one of the first reference points 111 The sensor 57 is placed on the reference point 111 and controlled by the stand 61 to be located above the weight 55. [ The sensor 57 irradiates laser light to the first reference point 111 through a hole in the center of the weight 55 to measure the size of the film deposition amount 111D on the long side of the pellicle film 11. [ The controller 63 transmits a control signal to the sensor 57, and the position of the sensor 57 and the timing of laser irradiation are controlled by the control signal. The measurement data of the sensor 57 is transmitted to the computer 65 through the controller 63. [ The computer 65 controls the controller 63 and calculates the value of the film deposition amount 111D on the side of the long side from the measurement data transmitted through the controller 63. [ Similarly, for the other first reference point 111, the film thickness on the side of the long side is similarly measured. Then, an average value of the membrane deposition amount on the long side of the first reference point 111 and the membrane deposition amount on the long side of the other first reference point 111 are calculated, and the average value is determined as the membrane deposition amount on the long side .

단변측의 막 침량에 대해서도 마찬가지로 측정을 행한다. 즉, 단변측의 막 침량을 측정할 때에는, 먼저 점착제(12) 및 보호 필름(13)(도 7에 있어서는 도시하지 않음) 부착 펠리클(1)을 펠리클막(11)이 대략 수평이 되도록 프레임 상의 펠리클 적재대(50)에 정치한다. 그리고, 펠리클막(11)에 있어서의 2군데의 제2 기준점(112)에 펠리클막(11)을 찢지 않도록 가볍게 마킹한다. 여기서, 제2 기준점(112)은 평면에서 보아(펠리클막(11)의 두께 방향으로부터 보아) 펠리클 프레임(10)의 변부의 단변부(10b)의 내연의 중앙점(10bc)으로부터 당해 단변부(10b)의 내연과 직교하는 방향으로 30mm 이격된 점이다.Measurement is similarly performed on the membrane deposition on the short side. 7), the pellicle 1 with the adhesive 12 and the protective film 13 (not shown in Fig. 7) is placed on the frame side so that the pellicle film 11 is substantially horizontal The pellicle stands on the pellicle stand 50. Then, the pellicle membrane 11 is lightly marked so as not to tear the pellicle membrane 11 at the two second reference points 112 in the pellicle membrane 11. Here, the second reference point 112 extends from the central point 10bc of the inner edge of the short side 10b of the side of the pellicle frame 10 (as seen from the thickness direction of the pellicle film 11) 10b in the direction orthogonal to the internal combustion.

이어서, 한쪽의 제1 기준점(112)에 10.6g의 추(55)를 두고, 당해 추를 두기 전을 기준으로 한 펠리클막(11)의 침량(112D)(장변측의 막 침량(112D))을 레이저 변위계에 의해 측정한다. 보다 구체적으로는 추(55)의 무게 중심점이 한쪽의 제2 기준점(112) 상에 위치하도록 추(55)를 한쪽의 제2 기준점(112) 상에 얹고, 레이저 변형의 센서(57)를 스탠드(61)에 의해 추(55)의 상방에 위치하도록 제어한다. 그리고, 센서(57)로부터 추(55)의 중앙부의 구멍을 통하여 제2 기준점(112)에 레이저광을 조사하고, 펠리클막(11)의 장변측의 막 침량(112D)의 크기를 측정한다. 컨트롤러(63)는 센서(57)에 제어 신호를 송신하고, 이 제어 신호에 의해 센서(57)의 위치나 레이저 조사의 타이밍 등이 제어된다. 센서(57)의 측정 데이터는 컨트롤러(63)를 통하여 컴퓨터(65)에 송신된다. 컴퓨터(65)는 컨트롤러(63)를 제어함과 함께, 컨트롤러(63)를 개재하여 송신된 상기 측정 데이터로부터 장변측의 막 침량(112D)의 값을 계산한다. 또한, 다른 쪽의 제2 기준점(112)에 대해서도 마찬가지로 장변측의 막 침량을 측정한다. 그리고, 한쪽의 제2 기준점(112)에 관한 단변측의 막 침량과 다른 쪽의 제2 기준점(112)에 관한 단변측의 막 침량의 평균값을 계산하고, 당해 평균값을 단변측의 막 침량으로 한다.Subsequently, a weighed portion 55 of 10.6 g is placed on one of the first reference points 112, and the set amount 112D (the membrane deposited amount 112D on the long side) of the pellicle membrane 11 based on the weight before the weight is placed is set as follows: Is measured by a laser displacement meter. More specifically, the weights 55 are laid on one second reference point 112 so that the center of gravity of the weights 55 is located on one of the second reference points 112, And is positioned above the weight 55 by the weight 61. Laser light is irradiated to the second reference point 112 from the sensor 57 through a hole in the center of the weight 55 to measure the size of the film deposition amount 112D on the long side of the pellicle film 11. [ The controller 63 transmits a control signal to the sensor 57, and the position of the sensor 57 and the timing of laser irradiation are controlled by the control signal. The measurement data of the sensor 57 is transmitted to the computer 65 through the controller 63. [ The computer 65 controls the controller 63 and calculates the value of the film deposition amount 112D on the side of the long side from the measurement data transmitted via the controller 63. [ Similarly, for the second reference point 112 on the other side, the film deposition amount on the long side is likewise measured. Then, the average value of the membrane deposition amount on the short side of the second reference point 112 and the membrane deposition amount on the short side of the other second reference point 112 are calculated, and the average value is determined as the membrane deposition amount on the short side .

본 실시 형태에 따르면, 온도 변화를 부여하지 않고, 고분자 재료로 이루어지는 펠리클막(11)의 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 펠리클막(11)의 물성이 변동하는 것을 방지할 수 있고, 당해 펠리클(1)을 이용한 노광 처리를 적정하게 행할 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(10)이나 점착제(12), 펠리클막(11) 등의 재질에 온도 변화에 견딜 수 있는 것을 이용할 필요가 없어 재질의 선택 자유도가 넓어진다. 또한, 온도 변화의 부여나 온도 변화에 수반하는 공조를 행하는 고가의 설비가 필요 없어 그의 제어 프로세스가 용이해진다. 또한, 고온 또는 저온에 노출되지 않기 때문에, 열에 의한 점착제(12) 등의 열화가 없고, 펠리클(1)의 평탄성이나 치수 정밀도가 확보되고, 정밀도가 높은 노광 처리를 행할 수 있다.According to the present embodiment, the film tension of the pellicle film 11 made of a polymer material can be improved without changing the temperature, so that the physical properties of the pellicle film 11 can be prevented from fluctuating, 1) can be appropriately performed. Further, it is not necessary to use materials such as the pellicle frame 10, the pressure-sensitive adhesive 12, and the pellicle film 11 that can withstand temperature changes, and thus the degree of freedom of choice of materials is increased. In addition, expensive facilities for performing the air conditioning accompanied with the temperature change and the temperature change are not required, and the control process thereof is facilitated. Further, since the pellicle 1 is not exposed to high temperature or low temperature, flatness and dimensional accuracy of the pellicle 1 are secured without deterioration of the pressure-sensitive adhesive 12 due to heat, and exposure processing with high precision can be performed.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 막 장력을 향상시킬 수 있으므로, 펠리클(1)의 대형화에 의해 현저해지는 펠리클막(11)의 자중에 의한 휨을 억제할 수 있다. 따라서, 대형 펠리클이어도 정밀도가 높은 노광 처리를 실현할 수 있다. 또한, 노광용 기반에 대한 장착시에 주위 분위기를 끌어넣어 발생하는 펠리클막(11)의 팽창도 억제할 수 있다. 이에 의해, 그 펠리클막(11)의 팽창이 복귀될 때까지의 대기시간이 줄어들고, 제조 시간을 단축할 수 있다.Further, according to the present embodiment, the film tension can be improved, and warping due to the self-weight of the pellicle film 11, which becomes noticeable due to enlargement of the pellicle 1, can be suppressed. Therefore, even a large pellicle can realize exposure processing with high precision. Further, expansion of the pellicle film 11 caused by drawing in the ambient atmosphere at the time of mounting on the base for exposure can be suppressed. Thereby, the waiting time until the expansion of the pellicle film 11 is restored is reduced, and the manufacturing time can be shortened.

또한, 본 실시 형태에서는, 펠리클 프레임(10)의 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)의 모두를 내측으로 탄성 변형시키고 있었지만, 4변부 중 적어도 일 변부를 내측으로 변형시켜도 된다. 그리고, 펠리클 프레임(10)의 내측으로 변형시키는 변부를 선택함으로써, 펠리클막(11)의 장변 방향 또는 단변 방향의 장력을 발현시키고자 하는 방향으로만 막 장력을 증가시킬 수도 있고, 펠리클막(11)이 직사각형인 경우 등은 장변 방향에 강한 장력을 부여하는 등, 4방향의 장력 밸런스의 균등화를 도모할 수 있다.In the present embodiment, both the pair of long side portions 10a and the pair of short side portions 10b of the pellicle frame 10 are elastically deformed inwardly. However, at least one of the four side portions may be deformed inward . The film tension can be increased only in the direction in which the tensile force in the direction of the long side or the short side of the pellicle film 11 is desired by selecting the side to be deformed to the inside of the pellicle frame 10, Is a rectangle, it is possible to equalize the tension balance in the four directions, for example, by giving a strong tension to the long side direction.

또한, 도 5의 (B) 내지 (D)에 도시한 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 적어도 1변이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 초기 형상을 갖고 있는 경우에는, 펠리클 프레임(10)의 변부의 내측에 대한 변형량을 크게 확보할 수 있고, 그만큼 탄성 복원력(팽창력)에 의해 원래로 되돌아갈 때의 변형량도 크게 확보할 수 있다. 따라서, 펠리클막(11)을 보다 강하게 인장할 수 있고, 막 장력을 더 올릴 수 있다.5 (B) to 5 (D), when at least one side of the pellicle frame 10 has an initial shape that is curved and bulged so as to be convex outward, It is possible to secure a large amount of deformation with respect to the inner side, and a large amount of deformation when returning to the original state by the elastic restoring force (expansion force) can be secured as much. Therefore, the pellicle film 11 can be more strongly pulled, and the film tension can be further increased.

또한, 도 5의 (B) 내지 (D)에 도시한 펠리클 프레임(10)에 있어서 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 부분을 누름으로써, 펠리클 프레임(10)의 외측에 대한 팽출량과 펠리클 프레임(10)의 내측에 대한 압입량을 제어함으로써, 임의의 막 장력을 발현시키는 것이 가능하다. 그리고, 압입은 프레임의 탄성 변형 영역이라면 임의의 힘으로 누르는 것이 가능하고, 펠리클 프레임(10)의 외측으로 볼록해지는 팽출량과 펠리클 프레임(10)의 내측에 대한 압입량의 균형을 잡고, 펠리클(1)의 성형 후에 1쌍의 장변부(10a) 및 1쌍의 단변부(10b)가 대략 직선상이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.5 (B) to 5 (D), the portion of the pellicle frame 10 which is curved and bulged so as to be convex outward is pressed against the outer side of the pellicle frame 10, It is possible to express an arbitrary film tension by controlling the amount of expansion and the amount of press-in with respect to the inside of the pellicle frame 10. [ The press-fitting can be performed with an arbitrary force in the case of the elastic deformation region of the frame, and a balance between the amount of bulging outward of the pellicle frame 10 and the press-in amount with respect to the inside of the pellicle frame 10, 1, it is preferable to adjust the pair of long side portions 10a and the pair of short side portions 10b so as to be substantially in a straight line.

이상의 실시 형태에 있어서, 프레임체(20) 및 펠리클 프레임(10) 중 적어도 1쌍의 변부의 초기 형상에서의 변부의 외측으로 볼록해지는 팽출량을 가진다. 나아가서는 상기 1쌍의 변부는 장변측, 단변측 중 어느 것이어도 되지만, 특히 장변측에 외측으로 볼록해지는 팽출량을 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 4변 모두 외측으로 볼록해지는 팽출량을 형성하여도 된다. 장변측의 팽출량으로서는 3mm 이상 20mm 이하가 바람직하고, 3.5mm 이상 20mm 이하가 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 3.8mm 이상 18mm 이하, 더욱 바람직하게는 4.0mm 이상 15mm 이하이다. 또한, 단변측의 초기 형상에서의 변부의 외측으로 볼록해지는 팽출량은 2.8mm 이상 15mm 이하, 보다 바람직하게는 2.9mm 이상 12mm 이하, 더욱 바람직하게는 3.0mm 이상 9mm 이하이다. 특히, 장변과 단변의 각각의 쌍을 맞춰 외측으로 볼록해지는 팽출량을 갖게 하는 경우의 팽출량으로서는 장변측의 팽출량이 2.5mm 이상 20mm 이하이며 단변측의 팽출량이 0.5mm 이상 15mm 이하인 것이 바람직하고, 장변측의 팽출량이 3.0mm 이상 18mm 이하이며 단변측의 팽출량이 1.0mm 이상 12mm 이하인 것이 보다 보다 바람직하고, 장변측의 팽출량이 3.5mm 이상 15mm 이하이며 단변측의 팽출량이 1.5mm 이상 9mm 이하인 것이 더욱 바람직한다. 또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 이 팽출량(S)은 펠리클 프레임(10) 또는 프레임체(20)의 각 변부의 코너부에 있어서의 외연(外緣)의 정점(C)끼리를 연결한 직선을 가상의 기준선(L)으로 하였을 때의, 상기 변의 외연 상에서의 상기 기준선으로부터 가장 떨어진 점(P)과 상기 기준선(L)과의 거리로 한다.In the above-described embodiment, at least one pair of the frame 20 and the pellicle frame 10 has a bulging amount that protrudes outward from the edge of the initial shape of the edge. Further, the pair of side portions may be either a long side or a short side, but it is particularly preferable to form an amount of bulging outwardly convex on the long side. In addition, an amount of bulge which bulges outward on all four sides may be formed. The amount of bulge on the long side is preferably not less than 3 mm and not more than 20 mm, more preferably not less than 3.5 mm nor more than 20 mm, more preferably not less than 3.8 mm nor more than 18 mm, and further preferably not less than 4.0 mm nor more than 15 mm. In addition, the amount of bulge which protrudes outward from the side edge of the initial shape on the short side is 2.8 mm or more and 15 mm or less, more preferably 2.9 mm or more and 12 mm or less, further preferably 3.0 mm or more and 9 mm or less. Particularly, as the amount of bulging which is convex outwardly in conformity with each pair of long and short sides, it is preferable that the bulge amount on the long side is not less than 2.5 mm and not more than 20 mm and the bulge amount on the short side is not less than 0.5 mm and not more than 15 mm More preferably not less than 3.0 mm and not more than 18 mm, and more preferably not less than 1.0 mm and not more than 12 mm, more preferably not less than 3.5 mm and not more than 15 mm, and the swollen amount on the short side is not more than 1.5 mm or more and 9 mm or less. 9, the amount of bulge S is determined by connecting the vertexes C of the outer edge of the corner portion of each side of the pellicle frame 10 or the frame body 20 with each other Is a distance between the reference line (L) and a point (P) which is the farthest from the reference line on the outer edge of the side when a straight line is set as a virtual reference line (L).

초기 형상으로서는 외측으로 볼록해지는 팽출량을 가지면 어떤 형상이어도 되지만, 도 9와 같이 중앙 부근에 팽출량을 갖는 것이 바람직하다. 정점(C)으로부터 서서히 외측으로 볼록해져도 되고, 정점(C)으로부터 어느 정도의 직선을 갖고 나서 외측으로 볼록해져도 된다.The initial shape may be any shape as long as it has an amount of bulging outwardly convexly. However, it is preferable that it has an amount of expansion in the vicinity of the center as shown in Fig. It may be convexly outward from the vertex C or may be convex outward with a certain degree of straight line from the vertex C. [

또한, 펠리클 프레임(10)의 코너부 외연 곡률 반경(R)은 1mm 이상 5mm 이하인 것이 바람직하고, 2mm 이상 5mm 이하인 것이 보다 바람직하다. 당해 코너부의 내연 곡률 반경(R)은 1mm 이상 3mm 이하인 것이 바람직하고, 2mm인 것이 가장 바람직하다. 왜냐하면, 펠리클 프레임(10)을 좁은 폭으로 한 경우에도, 펠리클 프레임(10)의 코너부 외연 및 내연의 곡률 반경이 상기 범위 내이면 당해 코너부에 응력이 집중하는 것을 피하면서 당해 코너부에 충분한 면적을 갖게 할 수 있다. 그 결과, 당해 코너부의 강성을 유지할 수 있고, 펠리클 프레임(10)에 복원력을 갖게 한 경우에도 당해 코너부의 형상을 유지할 수 있기 때문에, 펠리클 프레임(10)의 형상이 직사각형 형상으로부터 평행사변형 형상 등의 다른 형상으로 왜곡되기 어려워지고, 형상의 변형에 기인하여 펠리클막에 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있기 때문이다.The radius of curvature R of the outer edge of the corner portion of the pellicle frame 10 is preferably 1 mm or more and 5 mm or less, more preferably 2 mm or more and 5 mm or less. The inner radius of curvature R of the corner portion is preferably 1 mm or more and 3 mm or less, and most preferably 2 mm. This is because even if the width of the pellicle frame 10 is narrow, if the outer edge of the corner portion of the pellicle frame 10 and the radius of curvature of the inner edge are within the above range, stress is concentrated on the corner portion, It is possible to have an area. As a result, the rigidity of the corner portion can be maintained and the shape of the corner portion can be maintained even when the pellicle frame 10 has a restoring force, so that the shape of the pellicle frame 10 can be changed from a rectangular shape to a parallelogram shape It is difficult for other shapes to be distorted and wrinkles can be prevented from being generated in the pellicle film due to the deformation of the shape.

또한, 펠리클 프레임(10)에 막 접착제 또는 마스크 점착재를 도포하는 경우에 있어서는, 펠리클 프레임(10)의 코너부에 대한 도포량이 증가하는 경향이 있지만, 펠리클 프레임(10)의 코너부의 외연 및 내연의 곡률 반경이 상기 범위 내이면 접착제 늘어짐 등을 일으키기 어려워지기 때문에, 막 접착제 또는 마스크 점착재를 펠리클 프레임(10)에 균일하게 도포할 수 있어 바람직하다.In the case of applying the film adhesive or the mask sticking material to the pellicle frame 10, the application amount to the corner portion of the pellicle frame 10 tends to increase. However, the outer edge of the corner portion of the pellicle frame 10, It is possible to uniformly apply the film adhesive or the mask adhesive material to the pellicle frame 10, which is preferable.

또한, 펠리클 프레임체의 표면에 흑색 크롬 도금, 흑색 알루마이트, 흑색 도장 등의 흑색화 처리를 실시할 수도 있다.Further, the surface of the pellicle frame body may be subjected to blackening treatment such as black chromium plating, black alumite, and black paint.

프레임에는 핸들링용 홈을 형성할 수 있고, 1쌍의 단변의 전체 길이를 따라 형성하는 경우나 4변에 부분적으로 홈을 형성하는 경우 등이 있다. 이 홈에는 C면이 형성되어 있으며 버 제거 등을 위해서 C0.1 내지 0.5가 형성되는 경우가 있다.A handling groove can be formed in the frame, a case where the frame is formed along the entire length of a pair of short sides, a case where a groove is partially formed in four sides, and the like. C-planes are formed in the grooves and C0.1 to 0.5 may be formed for burr removal or the like.

프레임의 막 접착제측에 있어서 외측면 및 내측면이 이루는 각에는 C면이 형성되어 있다. 외측면과 이루는 각의 C면은 C0.1 내지 0.5 있고, 내측면과 이루는 각의 C면은 C0.5 내지 2.5가 형성되어 있다. 외측면의 C면이 상기 범위 내에 있으면, 잉여분의 막을 커팅하는 경우에 커터나 지그 등이 원활하게 움직여 버 등의 발생으로 막이 찢어지지 않기 때문에 바람직하다. 또한, 내측면의 C면이 상기 범위 내에 있으면, 막 접착제가 늘어지기 어렵기 때문에 바람직하다.On the film adhesive side of the frame, a C-plane is formed at the angle formed by the outer side surface and the inner side surface. The C-plane of the angle formed with the outer side is C0.1 to 0.5, and the C-plane of the angle with the inner side is C0.5 to 2.5. When the C face of the outer side surface is within the above range, it is preferable that the cutter, the jig, or the like smoothly move when the excess film is cut, and the film is not torn due to the occurrence of burrs or the like. When the C-plane of the inner surface is within the above range, it is preferable because the film adhesive is hard to sag.

이 중에서 흑색 알루마이트 처리에 대하여 더욱 설명한다.Among them, the black alumite treatment will be further explained.

펠리클용 프레임체(지지 프레임)로서는 일반적으로 5000계의 알루미늄 합금을 이용하는 경우가 많기 때문에, 알루미늄 합금을 예로 들어 설명한다.As a frame body (support frame) for a pellicle, an aluminum alloy of 5000 series is generally used in many cases, an aluminum alloy will be described as an example.

일반적인 흑색 알루마이트 처리는 알루미늄 합금으로 펠리클 프레임체를 성형 후, 알루마이트 처리하고, 이 처리에 의해 발생한 미세한 구멍을 흑색화제로 봉입 처리하고, 그리고 그 미세 구멍을 막는 봉공 처리를 실시하여 흑색 알루마이트 처리가 이루어진다. 그러나, 이와 같이 하여 일반적인 방법으로 만들어진 프레임체의 표면을 전자 현미경으로 관찰하면, 미세한 금(마이크로 크랙)의 발생이 확인된다. 이러한 마이크로 크랙은 패턴의 미세화가 진전하고, 배선 폭이 한층 좁아지면, 상기 크랙에 인입한 매우 작은 이물의 낙하도 문제가 된다. 따라서, 이러한 마이크로 크랙의 발생을 방지하는 방법으로서 이하와 같은 방법을 취하는 것이 바람직하다.In a general black alumite treatment, a pellicle frame body is molded with an aluminum alloy, and an alumite treatment is performed. Micropores generated by this treatment are sealed with a blackening agent, and a black alumite treatment is performed by performing a sealing treatment for closing the fine holes . However, when the surface of the frame made by a general method in this way is observed with an electron microscope, occurrence of fine gold (microcrack) is confirmed. Such micro cracks are accompanied by miniaturization of the pattern, and if the wiring width is further narrowed, a very small foreign object falling into the crack is also a problem. Therefore, it is preferable to adopt the following method as a method for preventing the generation of micro cracks.

우선, 펠리클 프레임체의 표면을 알루마이트 처리한다. 이 알루마이트 처리는 황산 농도 10 내지 20%, 전류 밀도 1 내지 2A/dm², 전해액 온도 15 내지 30℃, 통전 시간 10 내지 30분의 범위로 행하여진다. 이때, 합금의 표면에는 미크로인 구멍(직경 50 내지 200Å, 피치 500 내지 1500Å)이 규칙적으로 다수 형성된다. 그 후, 이 구멍을 사용하여 흑색화 처리를 행한다. 흑색화 처리는 프레임으로부터의 광의 반사를 방지하기 위해서 행하므로 흑색에 한하지 않고 흑색에 가까운 갈색이나 감색 등의 진한 색도 포함하는 것이다. 흑색화 처리에는 염색, 전해 착색 등을 들 수 있다. 염색은 흑색의 염료를 용해한 액 중에 침지함으로써 이 구멍에 염료를 흡착시켜 색조를 얻는 방법이고, 또한 전해 착색은 이 구멍에 전기적으로 금속 원소를 석출시켜 색조를 얻는 방법이다. 염색은 예를 들어 염료 농도 3 내지 10g/L, 염색액 온도 50 내지 65℃에서 행한다.First, the surface of the pellicle frame body is anodized. The alumite treatment is performed at a sulfuric acid concentration of 10 to 20%, a current density of 1 to 2 A / dm ² , an electrolyte temperature of 15 to 30 캜, and a power application time of 10 to 30 minutes. At this time, micro holes (diameter of 50 to 200 Å, pitch of 500 to 1500 Å) are regularly formed on the surface of the alloy. Thereafter, the blackening treatment is carried out using these holes. Since the blackening process is performed to prevent reflection of light from the frame, the blackening process is not limited to black but includes a dark color such as brown or dark blue close to black. Examples of the blackening treatment include dyeing and electrolytic coloring. Dyeing is a method in which a dye is absorbed into a hole by dipping the dye in a solution of a black dye to obtain a color tone, and electrolytic coloring is a method of electrically depositing a metal element in the hole to obtain a color tone. The dyeing is carried out, for example, at a dye concentration of 3 to 10 g / L and a dyeing solution temperature of 50 to 65 ° C.

계속해서, 이 구멍을 막는 봉공 처리가 실시된다. 이 처리에는 예를 들어 저온 봉공제라고 불리는 닛카화학공업(주) 제조 하드월3(상품명) 봉공 보조제 6 내지 12g/L를 첨가한 자비수가 사용된다.Subsequently, a sealing process for closing the hole is carried out. In this treatment, for example, 6 to 12 g / L of a sealant auxiliary of Hard Wall 3 (trade name) manufactured by Nikka Chemical Co., Ltd., which is called a low temperature sealant, is used.

이때의 봉공에 의해 알루마이트막 표면이 미세한 구멍이 매립되어 알루마이트막은 치밀해져 가는데, 봉공의 온도를 100℃보다 약간 낮은 온도, 예를 들어 70 내지 95℃, 보다 바람직하게는 80 내지 90℃에서 봉공 처리를 행하면, 극히 균일한 표면성을 갖고, 실질적으로 마이크로 크랙이 없는 펠리클 프레임체를 만들 수 있다.At this time, the surface of the alumite film is filled with fine holes and the anodized film becomes dense due to the seam. In this case, the temperature of the seam is sealed at a temperature slightly lower than 100 deg. C, for example, 70 to 95 deg. C, more preferably 80 to 90 deg. , A pellicle frame body having extremely uniform surface properties and substantially no micro cracks can be produced.

또한, 마이크로 크랙의 유무의 판단은 프레임체 표면을 전자 현미경으로 1000배로 확대한 사진에서 10cm(실제 치수 0.1mm)의 직선을 긋고, 이 직선에 교차하는 크랙 수를 계산한다. 크랙의 폭은 그의 전자 현미경 사진으로 관찰할 수 있는 것, 즉 크랙 폭 0.1㎛ 이상의 것을 계수한다. 이 수치가 많을수록 크랙이 고밀도로 존재한다고 판단한다.Further, in the judgment of the presence or absence of a micro crack, a straight line of 10 cm (actual dimension of 0.1 mm) is drawn in a photograph of the frame body magnified 1,000 times by an electron microscope, and the number of cracks intersecting this straight line is calculated. The width of the crack is one that can be observed with an electron microscope photograph thereof, that is, a crack width of 0.1 mu m or more is counted. The higher the number, the higher the crack density.

필요에 따라 펠리클 프레임체의 내벽면 또는 전체면에 이물을 보충하기 위한 점착재(아크릴계, 아세트산비닐계, 실리콘계, 고무계 등)나 그리스(실리콘계, 불소계 등)를 도포하여도 된다.(Acrylic, vinyl acetate, silicone, rubber, etc.) or a grease (silicone, fluorine, or the like) for replenishing foreign matter may be applied to the inner wall surface or the entire surface of the pellicle frame body.

또한, 필요에 따라 펠리클 프레임체의 내부와 외부를 관통하는 미세한 구멍을 뚫어 펠리클과 포토마스크로 형성된 공간의 내외의 기압 차가 없어지도록 하면 막의 팽창이나 오목부를 방지할 수 있다.In addition, if necessary, fine holes penetrating the inside and the outside of the pellicle frame body may be formed so that the air pressure difference between the inside and outside of the space formed by the pellicle and the photomask is eliminated, thereby preventing the membrane from being expanded or recessed.

또한, 이때 미세한 구멍의 외측에 이물 제거 필터를 설치하면, 기압 조정이 가능하고, 또한 펠리클과 포토마스크로 형성된 공간 중에 이물이 침입하는 것을 막을 수 있으므로 바람직하다.In this case, it is preferable to provide a foreign matter removing filter on the outer side of the fine holes, because the air pressure can be adjusted and foreign matter can be prevented from entering the space formed by the pellicle and the photomask.

펠리클과 포토마스크로 형성된 공간 용적이 큰 경우에는 이들 구멍이나 필터를 복수개 설치하면, 기압 변동에 의한 막의 팽창이나 오목부의 회복 시간이 짧아져서 바람직하다.In the case where the space volume formed by the pellicle and the photomask is large, it is preferable to provide a plurality of such holes or filters because the expansion of the film due to atmospheric pressure fluctuation and the recovery time of the recesses are shortened.

본 실시 형태의 펠리클 프레임체는 상기 요건을 만족함으로써 적당한 강성과 유연성을 겸비하는 것이 가능해지기 때문에, 펠리클막을 전장하는 것에 의한 프레임체의 왜곡이 없고, 펠리클을 단독으로 핸들링하는 경우의 휨은 물론, 그 후의 마스크에 대한 부착 후의 핸들링에 있어서의 마스크 자신의 휨에도 추종하는 것이 가능하다. 그 결과, 펠리클에 주름이 발생하지 않고, 또한 마스크의 휨에도 추종할 수 있으므로, 에어 패스가 발생하는 일도 없다는 우수한 효과를 발휘하는 것이다.Since the pellicle frame of the present embodiment satisfies the above requirements, it is possible to have appropriate rigidity and flexibility. Therefore, there is no distortion of the frame body due to the full length of the pellicle film, and warpage when handling the pellicle alone, It is possible to follow the warping of the mask itself in the subsequent handling after attachment to the mask. As a result, the pellicle is not wrinkled and can follow the warpage of the mask, so that an excellent effect that no air pass occurs is exhibited.

본 실시 형태에 따른 펠리클막(11)은 개구부(F)를 갖는 펠리클 프레임(10)에 그 개구면(F)을 덮도록 부착되고 있지만, 부착된 펠리클막(11)의 장력이 1.8gf/mm 이상 6gf/mm 이하인 것이 바람직하고, 1.9gf/mm 이상 5gf/mm 이하인 것이 보다 바람직하고, 2.0gf/mm 이상 4.5gf/mm 이하인 것이 더욱 바람직한다.The pellicle film 11 according to the present embodiment is attached to the pellicle frame 10 having the opening F so as to cover the opening face F. The tension of the attached pellicle film 11 is 1.8 gf / More preferably not less than 6 gf / mm, more preferably not less than 1.9 gf / mm and not more than 5 gf / mm, and still more preferably not less than 2.0 gf / mm and not more than 4.5 gf / mm.

펠리클막(11)의 장력을 상기 범위에 있어서의 하한값 이상으로 조정함으로써, 펠리클(1)의 핸들링시에 펠리클막(11)에 막 주름이 발생하는 것 등이 억제되고, 펠리클(1)의 핸들링성이 향상된다. 또한, 펠리클막(11)의 장력을 상기 범위에 있어서의 상한값 이하로 조정함으로써, 펠리클막(11)의 균열이나 파손을 유효하게 억제할 수 있다.By adjusting the tension of the pellicle film 11 to be equal to or larger than the lower limit value in the above range, occurrence of film wrinkles on the pellicle film 11 during handling of the pellicle 1 is suppressed, and handling of the pellicle 1 Thereby improving the stability. Further, by adjusting the tension of the pellicle film 11 to be not more than the upper limit value in the above range, it is possible to effectively suppress cracking or breakage of the pellicle film 11. [

펠리클막과 펠리클 프레임체를 접착하기 위한 막 접착제는 펠리클막의 재질과 펠리클 프레임체의 재질에 따라 적절히 선택한다. 예를 들어 에폭시계, 아크릴계, 실리콘계, 불소계 등의 접착제가 사용된다.The film adhesive for bonding the pellicle film and the pellicle frame body is appropriately selected depending on the material of the pellicle film and the material of the pellicle frame body. For example, adhesives such as epoxy, acrylic, silicone, and fluorine are used.

또한, 접착제의 경화 방법은 각각의 접착제에 적합한 경화 방법(열경화, 광경화, 혐기성 경화 등)이 채택된다. 발진성, 비용, 작업성의 면으로부터 아크릴계의 자외선 경화형 접착제가 바람직하다.The curing method of the adhesive employs a curing method (thermal curing, light curing, anaerobic curing, etc.) suitable for each adhesive. From the viewpoints of dust generation property, cost, and workability, an acrylic ultraviolet curable adhesive is preferable.

펠리클 프레임체를 포토마스크에 부착하기 위한 마스크 점착재에는 그 자체에 점착력이 있는 핫 멜트계(고무계, 아크릴계), 기재의 양면에 점착재를 도포한 테이프계(기재로서 아크릴계, PVC계 등의 시트 또는 고무계, 폴리올레핀계, 우레탄계 등의 폼 등을 적용할 수 있고, 점착재로서 고무계, 아크릴계, 실리콘계 등의 점착재가 적용됨) 등이 사용된다. 또한, 점착재는 투명이어도 되지만, 이물 검사성의 관점에서 흑색이어도 된다.The mask adhesive material for attaching the pellicle frame body to the photomask includes a hot melt type (rubber type, acrylic type) having an adhesive force on its own, a tape type (acrylic or PVC type sheet such as a base material coated with an adhesive material on both sides thereof, Or foams such as rubber, polyolefin, urethane and the like can be applied, and adhesive materials such as rubber, acrylic, and silicone are used as the adhesive material). The adhesive material may be transparent, but may be black in view of the foreign matter inspection property.

본 실시 형태에 따른 대형 펠리클에서는 마스크 점착재로서 펠리클을 포토마스크에 저하중으로 균일하게 부착하기 위해서, 비교적 부드러운 핫 멜트 재료나 폼이 바람직하다. 폼의 경우에는 그의 단면에 아크릴계나 아세트산비닐계의 점착성 재료 또는 비점착성 재료로 덮음으로써, 폼으로부터의 발진을 방지할 수 있다.In the large-sized pellicle according to the present embodiment, a relatively soft hot-melt material or foam is preferable in order to uniformly adhere the pellicle to the photomask as degraded as the mask sticking material. In the case of a foam, it is possible to prevent oscillation from the foam by covering the cross section with an acrylic-based, vinyl acetate-based adhesive material or non-adhesive material.

마스크 점착재의 두께는 통상 0.2mm 이상이 되지만, 포토마스크에 대한 균일한 부착을 위해서 바람직하게는 1mm 이상으로 된다. 상기 마스크 점착재의 점착면을 포토마스크에 부착할 때까지의 동안 보호하기 위해서, 실리콘이나 불소로 이형 처리된 폴리에스테르 필름이 사용된다.The thickness of the mask adhesive material is usually 0.2 mm or more, but is preferably 1 mm or more for uniform attachment to the photomask. In order to protect the adhered surface of the mask adhesive material from being adhered to the photomask, a silicone film or a fluorine-modified polyester film is used.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면 특허 청구 범위에 기재된 사상의 범주 내에서 각종 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있음은 명확하고, 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것이라고 이해된다.While the preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to these examples. It will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and that they are also within the technical scope of the present invention.

(실시예)(Example)

(실시예 1)(Example 1)

대형 펠리클용 프레임체로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 8mm, 장변부 및 단변부의 폭이 20mm, 안쪽 치수가 1600mm×1600mm인 것을 준비하였다. 당해 프레임체는 각 변부의 중앙 부근을 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상으로 하고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량을 3.3mm로 하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.0mm, 장변부 및 단변부의 폭이 9mm, 안쪽 치수가 1350mm×1140mm이고, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 9.0mm, 단변부측이 7.5mm인 것을 준비하였다.As the frame body for a large pellicle, the material was an aluminum alloy, the thickness was 8 mm, the width of the long side portion and short side portion was 20 mm, and the inside dimension was 1600 mm x 1600 mm. The frame body was formed in such a shape that the vicinity of the center of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of bulge to the outside of the initial shape was set to 3.3 mm. Separately, as the pellicle frame for a large pellicle, the material was an aluminum alloy, the thickness was 5.0 mm, the width of the long side portion and the short side portion was 9 mm, the inside dimension was 1350 mm x 1140 mm, and the central portion of each side was curved and bulged outward And an expansion amount with respect to the outside of the initial shape was 9.0 mm on the longer side and 7.5 mm on the shorter side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체의 각 변부가 대략 직선상이 되도록 지그를 이용하여 각 변부의 중앙 부근을 내측을 향하여 누르면서, 당해 프레임체에 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 기판으로부터 박리 후, 지그에 의한 외력을 개방하였다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 각 변부가 대략 직선상이 되도록 지그로 각 변부의 중앙 부근을 내측을 향하여 누르면서 펠리클 프레임(10)에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for a large pellicle is pressed inward toward the center of each side by using a jig so that the sides of each of the sides of the pellicle for a large pellicle are substantially in a straight line and then adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, The pellicle membrane was peeled off. After exfoliating from the substrate, an external force by the jig was released. A styrene-ethylene butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film adhesive is applied to the upper surface of the pellicle frame and the pellicle film is adhered to the pellicle frame 10 by pressing the center of each of the sides of the pellicle frame 10 with the jig so that the sides of the pellicle frame are substantially straight, The membrane was resected.

여기서, 펠리클막을 펠리클 프레임체에 전장하여 접착되었을 때에 발생하는 주름의 유무를 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 평가 결과의 표기에 있어서 「○」는 막에 완전히 주름이 없는 상태, 「△」는 막을 잘 보면 약간 물결치고 있는 상태, 「×」는 막에 약간 주름이 들어가 있는 상태를 나타내고 있다.Here, the presence or absence of wrinkles that occurred when the pellicle membrane was transferred to the pellicle frame and adhered was evaluated. The evaluation results are shown in Fig. In the expression of the evaluation result, " o " indicates a state in which the film is completely wrinkled, " DELTA " indicates a state in which the film is slightly waved, and " x "

또한, 펠리클 프레임체의 핸들링은 1쌍의 단변부의 각각의 일부를 핸들링 지그로 파지함으로써 실시하였다. 그리고, 펠리클막의 펠리클 프레임체에 대한 전장·접착 후부터 수납 용기에 대한 보관까지의 일련의 핸들링 공정에 있어서 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 평가 결과의 표기에 있어서 「○」는 한 번도 핸들링 공정에서 지그로부터 탈락하지 않았음, 「×」는 한 번이라도 핸들링 공정에서 지그로부터 탈락하였음을 나타내고 있다.Further, the handling of the pellicle frame body was carried out by grasping each of a pair of short sides with a handling jig. Then, the handling performance was evaluated in a series of handling steps from the electric field attachment to the pellicle frame of the pellicle membrane to the storage of the container. The evaluation results are shown in Fig. In the marking of evaluation results, " o " indicates that the jig did not fall out of the jig in the handling process at all, and " x "

(실시예 2)(Example 2)

대형 펠리클용 프레임체로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 8mm, 장변과 단변의 폭이 20mm, 안쪽 치수가 1600mm×1600mm인 것을 준비하였다. 프레임체는 각 변부가 직선상의 초기 형상인 것을 이용하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.0mm, 장변부 및 단변부의 폭이 9mm, 안쪽 치수가 1350mm×1140mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 8.0mm, 단변부측이 6.5mm인 것을 준비하였다.As a frame body for a large pellicle, an aluminum alloy having a thickness of 8 mm, a width of 20 mm on the long side and a short side, and an inner dimension of 1600 mm x 1600 mm was prepared. The frame body was formed so that each side had an initial shape in a straight line. Separately, as the pellicle frame for a large pellicle, an aluminum alloy having a thickness of 5.0 mm, a width of 9 mm on the long side and short sides, an inside dimension of 1350 mm x 1140 mm, and a curved and bulged shape , And the amount of expansion relative to the outside of the initial shape was 8.0 mm on the side of the longer side and 6.5 mm on the side of the shorter side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 외측에 대한 팽출량이 5mm가 되도록 지그로 장변부의 중앙을 내측을 향하여 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film adhesive was applied to the upper surface of the pellicle frame and the pellicle frame was bonded to the pellicle frame while pressing the center of the long side portion inward with the jig so that the amount of expansion relative to the outer side of the long side portion of the pellicle frame was 5 mm, Respectively.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig.

(실시예 3)(Example 3)

대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 안쪽 치수가 1200mm×760mm, 두께 5mm, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 5mm, 장변부의 초기 형상의 외측에 대한 팽출량이 5.5mm인 것을 이용하고, 장변부의 외측에 대한 팽출량이 3mm가 되도록 장변부의 중앙 부근을 지그로 내측을 향하여 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다. 그 이외는 실시예 2와 마찬가지로 하였다.As the pellicle frame for a large pellicle, an inner dimension of 1200 mm x 760 mm, a thickness of 5 mm, a width of a long side of 9 mm, a width of a short side of 5 mm and an expansion amount of 5.5 mm to the outside of the initial shape of the long side was used. The pellicle film was adhered to the pellicle frame while pressing the jig about the center of the long side toward the inside so that the amount of swelling to the pellicle frame was 3 mm, and then the excess film was cut off. Except for this, the same procedure as in Example 2 was performed.

(실시예 4)(Example 4)

대형 펠리클용 프레임체로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 8mm, 장변과 단변의 폭이 20mm, 안쪽 치수가 1600mm×1600mm인 것을 준비하였다. 프레임체는 각 변부가 직선상의 초기 형상인 것을 이용하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 6mm, 단변부의 폭이 12mm, 안쪽 치수가 1336mm×1128mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 13.0mm, 단변부측이 1.5mm인 것을 준비하였다.As a frame body for a large pellicle, an aluminum alloy having a thickness of 8 mm, a width of 20 mm on the long side and a short side, and an inner dimension of 1600 mm x 1600 mm was prepared. The frame body was formed so that each side had an initial shape in a straight line. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of an aluminum alloy having a thickness of 5.5 mm, a corner portion of an outer corner R5 and an inner corner R2. The width of the long side was 6 mm, the width of the short side was 12 mm, the inside dimension was 1336 mm x 1128 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of expansion relative to the outside of the initial shape was 13.0 mm at the long side and 1.5 mm at the short side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르고(도 9의 P로부터 1.2mmL 직선측으로 누르는 상태), 단변부는 팽출부를 지그로 고정하면서(도면의 P에서 지그를 고정함) 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame, and the pellicle frame was pressed with a jig (1.2 mmL from the line P in Fig. 9) toward the inside of the pellicle frame by a distance of 1.2 mm from the swollen portion of the pellicle frame. The pellicle film was adhered to the pellicle frame while fixing the jig in the figure (P in the figure), and then the excess film was cut off.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.23mm, 단변측의 막 침량은 2.06mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle film on the long side of the pellicle film in Example 4 was 2.23 mm and the film thickness on the short side was 2.06 mm.

(실시예 5)(Example 5)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R2, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 7mm, 단변부의 폭이 6mm, 안쪽 치수가 1348mm×1126mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 9.0mm, 단변부측이 8.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of an aluminum alloy having a thickness of 5.5 mm and a corner portion of an outer corner R2 and an inner corner R2. The width of the long side was 7 mm, the width of the short side was 6 mm, the inside dimension was 1348 mm x 1126 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of bulge to the outside of the initial shape was 9.0 mm on the side of the long side and 8.0 mm on the side of the short side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame, the pellicle frame was jigged 1.2 mm from the swollen portion of the long side of the pellicle frame while the shorter side was also jigged 1.2 mm from the swollen portion of the pellicle frame. And then the excess membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 5에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.15mm, 단변측의 막 침량은 1.89mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle film on the long side of the pellicle film in Example 5 was 2.15 mm, and the film thickness on the short side was 1.89 mm.

(실시예 6)(Example 6)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R3, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 9mm, 안쪽 치수가 1342mm×1122mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 5.0mm, 단변부측이 4.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of an aluminum alloy having a thickness of 5.5 mm and a corner portion of an outer corner R3 and an inner corner R2. The width of the long side portion was 9 mm, the width of the short side portion was 9 mm, the inside dimension was 1342 mm x 1122 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the bulge amount to the outside of the initial shape was 5.0 mm and the short side was 4.0 mm.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 단변부도 팽출부로부터 4.6mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 장변부는 아무것도 하지 않는 상태에서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame and the pellicle frame was bonded to the pellicle frame in a state in which the short side portion of the pellicle frame was jigged 4.6 mm inward from the bulged portion in the pellicle frame, Respectively.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 6에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.41mm, 단변측의 막 침량은 1.51mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle film on the long side of the pellicle film in Example 6 was 1.41 mm, and the film thickness on the short side was 1.51 mm.

(실시예 7)(Example 7)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 프레임체는 각 변부가 직선상의 초기 형상인 것을 이용하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 12mm, 단변부의 폭이 4mm, 안쪽 치수가 1352mm×1116mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 3.0mm, 단변부측이 12.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. The frame body was formed so that each side had an initial shape in a straight line. Separately, the pellicle frame for a large pellicle is made of aluminum alloy, the thickness is 5.5 mm, the corner portion is the outside corner R5, and the inside corner R2. The width of the long side portion is 12 mm, the width of the short side portion is 4 mm, the inside dimension is 1352 mm x 1116 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the bulge amount to the outside of the initial shape was 3.0 mm and the short side was 12.0 mm.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부를 지그로 고정하고, 또한, 단변부는 팽출부로부터 4.6mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. A pellicle frame was attached to the pellicle frame by applying an acrylic film adhesive to the upper surface of the pellicle frame and fixing the bulge at the long side of the pellicle frame with a jig while pushing the short side toward the inside 4.6 mm from the bulge, The surplus membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 7에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.54mm, 단변측의 막 침량은 1.45mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle membrane in Example 7 was 1.54 mm, and the film thickness on the short side was 1.45 mm.

(실시예 8)(Example 8)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R4, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 11mm, 단변부의 폭이 7mm, 안쪽 치수가 1346mm×1118mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 5.0mm, 단변부측이 6.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of an aluminum alloy having a thickness of 5.5 mm and a corner portion of an outer corner R4 and an inner corner R2. The width of the long side was 11 mm, the width of the short side was 7 mm, the inside dimension was 1346 mm x 1118 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the bulge amount to the outside of the initial shape was 5.0 mm and the short side was 6.0 mm.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame. The pellicle frame was jigged 2.3 mm inward from the swollen portion of the long side of the pellicle frame while the shorter side was also jigged 1.2 mm from the swollen portion. And then the excess membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 8에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.46mm, 단변측의 막 침량은 1.76mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. Further, in Example 8, the film thickness of the pellicle film on the long side was 1.46 mm, and the film thickness on the short side was 1.76 mm.

(실시예 9)(Example 9)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R4, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 10mm, 단변부의 폭이 11mm, 안쪽 치수가 1338mm×1120mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 4.0mm, 단변부측이4.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of aluminum alloy, the thickness was 5.5 mm, the corner portion was the outside corner R4, and the inside corner R2 was 10 mm in width, 11 mm in width, 1338 mm 1120 mm in width, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of bulge with respect to the outside of the initial shape was 4.0 mm in the long side and 4.0 mm in the short side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame and the pellicle frame was pressed with a jig toward the inner side 1.2 mm from the swollen part of the long side of the pellicle frame while the short side was also pressed 2.3 mm from the swollen part with the jig, And then the excess membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 9에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.05mm, 단변측의 막 침량은 0.89mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle membrane in Example 9 was 1.05 mm on the long side, and the film thickness on the short side was 0.89 mm.

(실시예 10)(Example 10)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5.5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 11mm, 단변부의 폭이 10mm, 안쪽 치수가 1340mm×1118mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 7.5mm, 단변부측이 3.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, as the pellicle frame for a large pellicle, the material was an aluminum alloy, the thickness was 5.5 mm, the corner portion was the outside corner R5.5, the inside corner R2, the width of the long side was 11 mm, the width of the short side was 10 mm, 1118 mm, and the central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward. The amount of bulge with respect to the outside of the initial shape was 7.5 mm at the long side and 3.0 mm at the short side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 4.6mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame. The pellicle frame was jigged 4.6 mm inward from the swollen portion of the long side of the pellicle frame while the short side was also pressed inward by 1.2 mm from the swollen portion. And then the excess membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 10에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.00mm, 단변측의 막 침량은 0.95mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle film on the side of the long side of Example 10 was 1.00 mm, and the film thickness of the film on the short side was 0.95 mm.

(실시예 11)(Example 11)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R3, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 11mm, 단변부의 폭이 5mm, 안쪽 치수가 1350mm×1118mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 5.0mm, 단변부측이 14.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle is made of aluminum alloy, the thickness is 5.5 mm, the corner portion is the outside corner R3, and the inside corner R2. The width of the long side portion is 11 mm, the width of the short side portion is 5 mm, the inside dimension is 1350 mm x 1118 mm, The central portion of each of the sides was curved and expanded so as to be convex outward, and the bulge amount to the outside of the initial shape was 5.0 mm and the short side was 14.0 mm.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame. The pellicle frame was jigged 2.3 mm inward from the swollen portion of the long side of the pellicle frame while the short side was also pressed inward by 7.0 mm from the swollen portion. And then the excess membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 실시예 11에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.67mm, 단변측의 막 침량은 1.98mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. The film thickness of the pellicle film on the long side of the pellicle film in Example 11 was 1.67 mm and the film thickness on the short side was 1.98 mm.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

실시예 1에서 사용한 대형 펠리클용 프레임체를 이용하고, 대형 펠리클용 프레임체의 장변부의 중앙을 누르지 않고 펠리클막을 프레임체에 접착하였다. 그 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하였다. 그 결과, 펠리클 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 형상이 되어 코너부가 변형되었기 때문에, 외관에 문제가 발생하였다.Using the frame body for a large pellicle used in Example 1, the pellicle film was bonded to the frame body without pressing the center of the long side portion of the frame body for a large pellicle. The procedure of Example 1 was otherwise repeated. As a result, the curved portion remained near the corner of the pellicle frame, and the corner portion was deformed, resulting in a problem in appearance.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

실시예 2에서 사용한 대형 펠리클용 프레임체를 이용하고, 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 장변부를 내측을 향하여 누르지 않고 펠리클막을 펠리클 프레임에 접착하였다. 그 이외는 실시예 2와 마찬가지로 하였다. 그 결과, 펠리클 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 형상이 되어 코너부가 변형되었기 때문에, 외관에 문제가 발생하였다.The pellicle frame for large pellicle used in Example 2 was used and the pellicle film was bonded to the pellicle frame without pressing the long side portion of the pellicle frame for large pellicle toward the inside. Except for this, the same procedure as in Example 2 was performed. As a result, the curved portion remained near the corner of the pellicle frame, and the corner portion was deformed, resulting in a problem in appearance.

(비교예 3)(Comparative Example 3)

실시예 3에서 사용한 대형 펠리클용 프레임체로서, 장변부의 초기 형상의 팽출량을 0mm으로 한 것을 이용하고, 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 장변부를 누르지 않고 펠리클막을 펠리클 프레임에 접착하였다. 그 이외는 실시예 3과 마찬가지로 하였다. 그 결과, 펠리클 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 형상이 되어 코너부가 변형되었기 때문에, 외관에 문제가 발생하였다.As the frame body for a large pellicle used in Example 3, the pellicle frame was bonded to the pellicle frame without pressing the long side portion of the pellicle frame for a large pellicle by using an extension of the initial shape of the long side portion at 0 mm. The procedure of Example 3 was otherwise repeated. As a result, the curved portion remained near the corner of the pellicle frame, and the corner portion was deformed, resulting in a problem in appearance.

(비교예 4)(Comparative Example 4)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R9, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 10mm, 안쪽 치수가 1340mm×1122mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 2.3mm, 단변부측이 1.5mm인 것을 준비하였다. 그리고, 이 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 장변부 및 단변부를 누르지 않고 펠리클막을 펠리클 프레임에 접착하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of an aluminum alloy having a thickness of 5.5 mm and a corner portion of an outer corner R9 and an inner corner R2. The width of the long side was 9 mm, the width of the short side was 10 mm, the inside dimension was 1340 mm x 1122 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of expansion relative to the outside of the initial shape was 2.3 mm in the long side and 1.5 mm in the short side. Then, the pellicle film was bonded to the pellicle frame without pressing the long side portion and the short side portion of the pellicle frame for the large pellicle.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.78mm, 단변측의 막 침량은 2.37mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. In addition, in the comparative example 4, the film deposition on the side of the long side of the pellicle film was 2.78 mm, and the film deposition on the short side was 2.37 mm.

(비교예 5)(Comparative Example 5)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R6, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 4mm, 단변부의 폭이 4mm, 안쪽 치수가 1352mm×1132mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 30.0mm, 단변부측이 22.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle is made of aluminum alloy, the thickness is 5.5 mm, the corner portion is the outer corner R6, the inner corner R2 is 4 mm, the width of the short side is 4 mm, the inside dimension is 1352 mm x 1132 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the bulge amount to the outside of the initial shape was 30.0 mm and the short side was 22.0 mm.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서, 또한 단변부도 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame, and the pellicle frame was pressed with a jig toward the inner side of 7.0 mm from the swollen part of the longer side of the pellicle frame while the shorter side was also pressed with jig toward 7.0 mm from the swollen part. And then the excess membrane was removed.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 펠리클 프레임이 대략 사각형으로는 되지 않았다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. In this comparative example, the pellicle frame was not substantially rectangular.

또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.78mm, 단변측의 막 침량은 2.37mm였다.In addition, in the comparative example 4, the film deposition on the side of the long side of the pellicle film was 2.78 mm, and the film deposition on the short side was 2.37 mm.

(비교예 6)(Comparative Example 6)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 9mm, 단변부의 폭이 7mm, 안쪽 치수가 1346mm×1122mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 8.0mm, 단변부측이 7.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle was made of an aluminum alloy, the thickness was 5.5 mm, the corner portion was an outer corner R5, and the inner corner R2 was 9 mm in width, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward. The amount of bulge with respect to the outside of the initial shape was 8.0 mm in the long side and 7.0 mm in the short side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 단변부도 팽출부로부터 1.2mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 장변부는 아무것도 하지 않은 상태로 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame, and the pellicle frame was bonded to the pellicle frame in such a state that the short side of the pellicle frame was pressed by the jig toward the inner side of 1.2 mm from the bulged portion, Respectively.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 대형 펠리클의 핸들링시에 펠리클막에 자중 휨이 발생하였다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 2.53mm, 단변측의 막 침량은 2.21mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. In this comparative example, when the large pellicle was handled, self-weight deflection occurred in the pellicle film. In addition, the film deposition on the long side of the pellicle film in Comparative Example 4 was 2.53 mm, and the film deposition on the short side was 2.21 mm.

(비교예 7)(Comparative Example 7)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R6, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 8mm, 단변부의 폭이 7mm, 안쪽 치수가 1346mm×1124mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 9.0mm, 단변부측이 8.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle is made of aluminum alloy, the thickness is 5.5 mm, the corner portion is the outside corner R6, the inside corner R2 is 8 mm, the width of the short side is 7 mm, the inside dimension is 1346 mm x 1124 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of bulge to the outside of the initial shape was 9.0 mm on the side of the long side and 8.0 mm on the side of the short side.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 2.3mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 단변부는 아무것도 하지 않은 상태로 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film glue was applied to the upper surface of the pellicle frame, and the pellicle frame was bonded to the pellicle frame in a state in which the short side portion was not pressed while being jigged 2.3 mm inward from the bulged portion of the long side portion of the pellicle frame, Respectively.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 대형 펠리클의 핸들링시에 펠리클 프레임의 단변부에 지그가 닿고, 지그가 닿은 부분에 인접하는 펠리클막의 부분에 주름이 발생하였다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.97mm, 단변측의 막 침량은 2.35mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. In this comparative example, when handling a large pellicle, a jig touches the short side of the pellicle frame, and wrinkles are generated in a portion of the pellicle film adjacent to the portion where the jig touches. In addition, in the comparative example 4, the film deposition on the side of the long side of the pellicle film was 1.97 mm and the film deposition on the side of the short side was 2.35 mm.

(비교예 8)(Comparative Example 8)

대형 펠리클용 프레임체로서 실시예 4와 마찬가지의 프레임체를 준비하였다. 별도로, 대형 펠리클용 펠리클 프레임으로서, 재질이 알루미늄 합금, 두께가 5.5mm, 코너부는 외측 코너 R5, 내측 코너 R2로 하고, 장변부의 폭이 8mm, 단변부의 폭이 10mm, 안쪽 치수가 1340mm×1124mm, 각 변부의 중앙 부근이 외측으로 볼록해지도록 만곡 팽출한 형상이고, 초기 형상의 외측에 대한 팽출량으로서 장변부측이 15.0mm, 단변부측이 4.0mm인 것을 준비하였다.A frame body similar to that of Example 4 was prepared as a frame body for a large pellicle. Separately, the pellicle frame for a large pellicle is made of aluminum alloy, the thickness is 5.5 mm, the corner portion is the outside corner R5, the inside corner R2 is 8 mm, the width of the short side is 10 mm, the inside dimension is 1340 mm x 1124 mm, The central portion of each of the sides was curved and bulged so as to be convex outward, and the amount of bulge with respect to the outside of the initial shape was 15.0 mm and the short side was 4.0 mm.

대형 펠리클은 다음과 같이 제조하였다. 대형 펠리클용 프레임체에, 기판 상에 성막한 셀룰로오스에스테르의 펠리클막에 접착시키고, 그 후 기판으로부터 펠리클막을 박리시켰다. 대형 펠리클용 펠리클 프레임의 하연면에는 스티렌에틸렌부틸렌스티렌계 마스크 점착재를 도포하였다. 펠리클 프레임의 상연면에는 아크릴계의 막 접착제를 도포하고, 펠리클 프레임의 장변부의 팽출부로부터 7.0mm 내측을 향하여 지그로 누르면서 단변부는 아무것도 하지 않는 상태로 펠리클 프레임에 펠리클막을 접착하고, 그 후 잉여막을 절제하였다.The large pellicle was prepared as follows. The pellicle for large pellicle was adhered to the pellicle film of the cellulose ester film formed on the substrate, and then the pellicle film was peeled from the substrate. A styrene-ethylene-butylene styrene-based mask adhesive material was applied to the lower surface of the pellicle frame for a large pellicle. An acrylic film adhesive was applied to the upper surface of the pellicle frame, and the pellicle frame was bonded to the pellicle frame in such a state that the short side portion was not pressed while jig was pushed toward the inner side of 7.0 mm from the swollen portion of the long side portion of the pellicle frame. Respectively.

실시예 1과 마찬가지로 주름의 유무와 핸들링성을 평가하였다. 평가 결과를 도 10에 나타낸다. 본 비교예에 있어서는 펠리클 프레임의 단변부 근방의 펠리클막에 주름이 발생하였다. 또한, 비교예 4에 있어서의 펠리클막의 장변측의 막 침량은 1.35mm, 단변측의 막 침량은 1.8mm였다.As in Example 1, the presence or absence of wrinkles and handling properties were evaluated. The evaluation results are shown in Fig. In this comparative example, wrinkles occurred in the pellicle film near the short side of the pellicle frame. In addition, in the comparative example 4, the film deposition on the long side of the pellicle film was 1.35 mm and the film deposition on the short side was 1.8 mm.

1 : 펠리클
10 : 펠리클 프레임
10a : 장변부
10b : 단변부
11 : 펠리클막
12 : 점착제
13 : 보호 필름
20 : 프레임체
20a : 장변부
20b : 단변부
30 : 기판
F : 개구부
G : 개구부
S : 팽출량1: Pellicle
10: Pellicle frame
10a: long side
10b: short side
11: Pellicle membrane
12: Adhesive
13: Protective film
20: frame body
20a: long side
20b: short side
30: substrate
F: opening
G: opening
S: Amount of bulge

Claims

(a) a step of attaching a pellicle film made of a polymer material formed on a substrate so as to cover the opening portion with the frame body having the opening portion;
(b) peeling the pellicle film attached to the frame body from the substrate,
(c) a pellicle frame formed in a substantially rectangular frame shape by four edges, wherein at least one pair of the side portions bulges to the outside of the pellicle frame, and the ratio of the long side width / long side length of the side portion is not less than 0.3% 2.2% or less, and the ratio of short side / short side length of the side edge is 0.3% or more and 3.8% or less;
(d) applying an external force to the at least one pair of the side edges of the pellicle frame, thereby elastically deforming the at least one pair of side edges so that the at least one pair of side edges is straight,
(e) After the step (d), the pellicle frame in a state in which the at least one pair of the sides are linearly deformed so as to be in a straight line, the pellicle frame attached to the frame body so as to cover the opening of the pellicle frame A step of attaching,
(f) after the step (e), removing the external force applied to the at least one pair of the side edges to thereby electrically support the pellicle film by the pellicle frame;
(g) After the step (e), a step of removing the surplus portion of the pellicle film and the frame body
Wherein the pellicle is made of a metal.

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