KR101337029B1 - Elevator for delivering a cassette - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치의 디스플레이 제품용 카세트 반송장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 다양한 크기의 카세트에 적응할 수 있도록 다양한 폭을 갖는 롤러 쌍들이 형성되어 있는 롤러 컨베이어를 구비한 카세트 반송용 엘리베이터를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송용 엘리베이터는 외관을 형성하는 엘리베이터 케이지와; 상기 엘리베이터 케이지의 일측에 설치되어 있는 제1 엘리베이터 도어와; 카세트를 상기 엘리베이터 도어들 중 어느 하나로 이송하거나 또는 이송받기 위하여 서로 다른 폭을 갖는 롤러 쌍을 적어도 두 개 이상 구비하는 롤러 컨베이어를 포함한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette conveying apparatus for a display product of a liquid crystal display device, and an object of the present invention is to provide a cassette conveying elevator having a roller conveyor in which roller pairs having various widths are formed to be adapted to cassettes of various sizes. To provide. To this end, the cassette transport elevator according to the embodiment of the present invention and the elevator cage to form an appearance; A first elevator door installed at one side of the elevator cage; And a roller conveyor having at least two roller pairs having different widths for transferring or receiving a cassette to any of the elevator doors.
Description
도 1은 종래의 카세트 반송용 엘리베이터가 설치된 다층의 액정표시장치 제조공장 내부의 단면도.1 is a cross-sectional view of a multi-layered liquid crystal display device manufacturing plant equipped with a conventional cassette conveyance elevator.
도 2는 도 1에 도시된 제조공장 내부의 평면도.Figure 2 is a plan view of the interior of the manufacturing plant shown in FIG.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 카세트 반송용 엘리베이터의 평면도를 상세히 나타낸 예시도.3 is an exemplary view showing in detail a plan view of the cassette conveyance elevator shown in FIGS.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터가 설치된 다층의 액정표시장치 제조공장 내부의 평면도.Figure 4 is a plan view of the interior of a multi-layer liquid crystal display device manufacturing plant equipped with a cassette transport elevator according to the present invention.
도 5는 도 4에 도시된 카세트 반송용 엘리베이터의 평면도를 상세히 나타낸 예시도.5 is an exemplary view showing in detail a plan view of the cassette conveyance elevator shown in FIG.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
10 : 클린룸 30 : 승강구10: clean room 30: hatch
40, 80 : 엘리베이터40, 80: elevator
본 발명은 액정표시장치의 디스플레이 제품용 카세트 반송장치에 관한 것으로서, 특히 카세트를 각 층별로 반송할 수 있는 카세트 반송용 엘리베이터에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette conveying apparatus for display products of a liquid crystal display device, and more particularly to a cassette conveying elevator capable of conveying a cassette for each floor.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있다. 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.또한, LCD는 사용자의 요구에 부응하여 대화면화 및 저소비전력화의 방향으로 진행되고 있다.In general, a liquid crystal display (hereinafter referred to as "LCD") is a typical flat panel display that displays an image by adjusting an amount of light beam transmission to correspond to an image signal. Particularly, the application range of LCDs is gradually widening due to characteristics such as weight reduction, thinning, and driving of low power consumption. According to this trend, LCDs are being used as display devices for office automation devices and notebook computers. In addition, LCDs are progressing toward larger screens and lower power consumption in response to user demands.
한편, 상기 액정표시장치의 액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(TFT 기판)(이하, 간단히 '박막트랜지스터 기판'이라 함), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)(이하, 간단히 '칼라필터 기판'이라 함) 및 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.On the other hand, the liquid crystal panel of the liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate (TFT substrate) (hereinafter, simply referred to as a thin film transistor substrate) for receiving a driving signal, and a color filter substrate (C / F substrate) including a color filter layer (hereinafter, referred to as a thin film transistor substrate). , Simply referred to as a color filter substrate) and a liquid crystal layer interposed between the thin film transistor substrate and the color filter substrate.
상기와 같은 구조를 갖는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어지며, 각 공정들은 다시 수많은 단위 공정들로 구성되어 진다.The manufacturing process of the liquid crystal display device having the above structure is largely divided into three processes, a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process, and each process is composed of numerous unit processes.
상기한 바와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정 은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 일단 카세트(Cassette)에 적재된 후 무인 반송차(Automatic Guided Vehicle: AGV)에 의해 클린룸 내의 또 다른 공정장비로 이송된다. The manufacturing process of the liquid crystal display device having a number of unit processes as described above is generally performed in a clean room, and a plurality of substrates completed by a specific process equipment in the clean room are once loaded in a cassette. It is then transported to another process equipment in the clean room by an Automatic Guided Vehicle (AGV).
이때, 또 다른 공정장비들에서 이미 공정이 수행되고 있거나, 또는, 상기 카세트에 적재된 기판을 일시 보관하기 위하여 클린룸 내부에는 다수의 스토커들이 배치되어 있다.At this time, a plurality of stockers are disposed in the clean room to temporarily store the substrate loaded in the cassette or another process equipment.
한편, 상기한 바와 같이 액정표시장치의 제조공정은 클린룸(clean room)에서 이루어지게 되며, 상기 클린룸은 일반적으로 제조공장의 각 층마다 설치되어 있어서 상기 기판들이나 반조립품 등은 각 층의 클린룸으로 반송되어 각 공정장비를 통해 제조된다.Meanwhile, as described above, the manufacturing process of the liquid crystal display device is performed in a clean room, and the clean room is generally installed in each floor of the manufacturing plant, so that the substrates, semi-assemblies, and the like are cleaned on each floor. It is returned to the room and manufactured by each process equipment.
이때, 상기 기판이나 반조립품 등은 일반적으로 카세트에 수납된 상태로 반송되며, 각 층간의 반송을 위하여 각 층의 클린룸들의 일측에는 승강로가 설치되어 있고, 이 승강로에는 엘리베이터(lifter car)가 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 클린룸과 승강로의 경계벽에는 승강로 도어가 형성되어 있고, 엘리베이터의 클린룸쪽 벽에는 엘리베이터 도어가 형성되어 있으며, 이들 도어는 각각 제어장치 및 구동부에 의해 개폐된다.In this case, the substrate or semi-assembly is generally transported in a cassette, and a lift path is provided at one side of the clean rooms on each floor for transport between floors, and an elevator car is lifted on the lift path. It is possibly installed. In addition, hoistway doors are formed on the boundary walls of the clean room and the hoistway, and elevator doors are formed on the cleanroom side walls of the elevator, and these doors are opened and closed by the control device and the drive unit, respectively.
도 1은 종래의 카세트 반송용 엘리베이터가 설치된 다층의 액정표시장치 제조공장 내부의 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제조공장 내부의 평면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional multi-level liquid crystal display manufacturing plant equipped with a cassette transport elevator, and FIG. 2 is a plan view of the inside of the manufacturing plant shown in FIG. 1.
일반적으로, 카세트 반송용 엘리베이터가 설치된 다층의 액정표시장치 제조 공장 내부는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 액정표시장치 제조공장의 각 층별로 형성된 클린룸(10)과, 상기 클린룸의 내부에 설치되어 카세트(90)를 적재 및 반송하는 클린룸 컨베이어(20)와, 상기 클린룸의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로(30) 및 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되는 엘리베이터(40)를 포함하여 구성되어 있다. 또한, 상기 클린룸에는 상기 카세트를 적재하여 보관하기 위한 스토커(50)가 구비될 수 있다.Generally, the interior of a multi-layer liquid crystal display manufacturing plant equipped with a cassette transport elevator includes a
이때, 상기 각 클린룸에는 다수의 공정장비들이 배치되어 있으며, 현재 제작되고 있는 액정표시장치의 크기가 다양하기 때문에 상기 공정장비들에 의해 처리되는 기판의 크기 역시 다양하다.In this case, a plurality of process equipments are disposed in each of the clean rooms, and since the size of the liquid crystal display device being manufactured varies, the size of the substrate processed by the process equipments also varies.
예를 들어, 현재 일반적으로 사용되고 있는 액정표시장치는 15인치, 17인치, 32인치 등이 있으며, 최근에는 100인치급의 초대형 제품들이 개발되고 있다. 즉, 초대형 액정표시장치의 경우 이에 사용되는 기판을 수납하는 카세트는 그 크기가 폭(W)2,500mm ×길이(L) 3,000mm ×높이(H) 2,000mm 정도가 요구되고 있음으로, 15인치 등의 작은 액정표시장치들에 이용되는 카세트와 비교해 볼 때 그 크기가 비교될 수 없을 정도로 큰 것임을 알 수 있다.For example, currently used liquid crystal display devices are 15 inches, 17 inches, 32 inches, and the like, and recently, large-size products of 100 inches have been developed. That is, in the case of the ultra-large liquid crystal display, the cassette for storing the substrate used therein is required to have a width (W) of 2500 mm x length (L) of 3,000 mm x height (H) of about 2,000 mm. Compared with the cassettes used in small liquid crystal display devices, it can be seen that the size is so large that it cannot be compared.
한편, 한 층의 클린룸(10)에는 일반적으로 상기한 바와 같은 다양한 크기의 기판들에 대한 공정이 진행되고 있으며, 따라서, 상기 엘리베이터를 통하여 각 층으로 반송되는 기판의 크기도 다양하므로, 일반적인 클린룸(10)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 다양한 크기의 기판이 탑재되어 있는 카세트를 운반할 수 있도록 다양한 크기의 롤러 컨베이어가 탑재되어 있는 엘리베이터(40)가 다수 개 설치되어 있 다.In the meantime, a process for substrates of various sizes as described above is generally performed in one floor of the
한편, 상기 엘리베이터(40)에 의해 반송되어온 카세트는 상기 클린룸 컨베이어(20)를 통해 클린룸으로 반출되게 되는데, 이때, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 클린룸(10) 내부에는 상기 엘리베이터에 설치되어 있는 롤러 컨베이어와 연결되어 상기 카세트를 반송할 수 있는 클린룸 컨베이어(20)가 배치되어 있다. 상기 클린룸 컨베이어에 의해 클린룸(10) 내부로 반출된 카세트는 상기 클린룸 컨베이어와 연결되어 있는 스토커로 이송되어 적재될 수도 있으며, 무인 반송차(AGV) 등의 반송장비들에 의해 각 공정장비 또는 스토커로 이송될 수 있다.On the other hand, the cassette conveyed by the
그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 클린룸 컨베이어 대신, 상기 롤러 컨베이어로부터 반출되는 카세트를 운반할 수 있는 별도의 장비들이 상기 클린룸(10)에 배치될 수 있다. However, the present invention is not limited thereto, and instead of the clean room conveyor, separate equipments capable of carrying a cassette taken out of the roller conveyor may be disposed in the
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 카세트 반송용 엘리베이터의 평면도를 상세히 나타낸 예시도이다.FIG. 3 is an exemplary view showing in detail a plan view of the cassette conveyance elevator shown in FIGS. 1 and 2.
즉, 도 3은 도 2에서 각 클린룸별로 다수개 설치되어 있는 승강로 및 엘리베이터 중 어느 하나를 선택하여 그 단면을 나타낸 것으로서, 상기 승강로(30)는 그 양쪽의 클린룸(10)에 설치되어 있는 승강로 도어(31, 32)를 포함하여 구성되어 있다. 또한, 상기 승강로(30) 내에는 상기 엘리베이터(40)를 승하강 시키기 위한 다수의 장치들이 구비되어 있으며, 상기 승강로 도어(31, 32) 및 상기 장치들은 미도시된 제어장치에 의하여 구동된다.That is, FIG. 3 is a cross-sectional view of one of a plurality of elevators and elevators installed in each of the clean rooms in FIG. 2, and the
또한, 상기 엘리베이터(40)는 그 외관을 형성하는 엘리베이터 케이 지(Cage)(45), 상기 승강로 도어와 함께 개폐될 수 있도록 상기 엘리베이터 케이지의 양측에 설치되어 있는 엘리베이터 도어(41, 42) 및 카세트를 상기 엘리베이터 도어와 승강로 도어측으로 배출하기 위하여 한 쌍의 롤러(43)로 구성되어 있는 롤러 컨베이어(44)를 포함하여 구성되어 있다. 이때, 상기 롤러 컨베이어(44)의 크기는 반송되는 기판 또는 카세트의 크기마다 다양하게 형성되어 있으며, 상기 한 쌍의 롤러간 간격 역시 기판 또는 카세트의 크기에 따라 다양하게 형성되어 있다.In addition, the
한편, 상기한 바와 같은 구성을 갖는 엘리베이터는 일반적으로 도 2에 대한 설명에서 언급된 바와 같이 제조공장의 각 층에 다수개 설치되어 있는데, 이처럼 다양한 크기의 기판 또는 카세트를 반송하기 위하여 각 층마다 엘리베이터를 다 수개 설치하는 것은 제조공장의 건설비용을 증대시킬 뿐만 아니라, 각 층의 클린룸 내부의 작업 공간을 감소시키게 된다는 문제점이 있다.On the other hand, elevators having the configuration as described above are generally installed on each floor of the manufacturing plant as mentioned in the description of Figure 2, elevators for each floor to transport substrates or cassettes of various sizes as described above The installation of a large number of problems not only increases the construction cost of the manufacturing plant, but also reduces the working space inside each floor of the clean room.
또한, 액정표시장치의 개발 상태에 따라 액정표시장치의 크기 역시 다양하게 형성될 수 있으며, 이로인해 기판 또는 카세트의 크기 역시 다양하게 변경될 수 있음을 고려해 볼 때, 상기와 같이 기판 또는 카세트의 크기 별로 개별적인 엘리베이터를 구성하는 것은 엘리베이터의 설치 비용을 증대시키는 한편, 클린룸 내부의 작업공간을 비효율적으로 사용하게 만든다는 문제점이 있다.In addition, the size of the liquid crystal display device may also be variously formed according to the development state of the liquid crystal display device, and thus the size of the substrate or cassette may be variously changed. Configuring individual elevators has a problem of increasing the installation cost of the elevator and inefficient use of the workspace inside the clean room.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 다양한 크기의 카세트에 적응할 수 있도록 다양한 폭을 갖는 롤러 쌍들이 형성되어 있는 롤 러 컨베이어를 구비한 카세트 반송용 엘리베이터를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention for solving the above problems is to provide a cassette conveying elevator having a roller conveyor in which roller pairs having various widths are formed so as to be adapted to cassettes of various sizes.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송용 엘리베이터는 외관을 형성하는 엘리베이터 케이지와; 상기 엘리베이터 케이지의 일측에 설치되어 있는 제1 엘리베이터 도어와; 카세트를 상기 엘리베이터 도어들 중 어느 하나로 이송하거나 또는 이송받기 위하여 서로 다른 폭을 갖는 롤러 쌍을 적어도 두 개 이상 구비하는 롤러 컨베이어를 포함한다.In order to achieve the above object, the cassette transport elevator according to an embodiment of the present invention and the elevator cage to form an appearance; A first elevator door installed at one side of the elevator cage; And a roller conveyor having at least two roller pairs having different widths for transferring or receiving a cassette to any of the elevator doors.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention will become apparent from the following description of embodiments with reference to the accompanying drawings.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터가 설치된 다층의 액정표시장치 제조공장 내부의 평면도이다.4 is a plan view of a multi-layer liquid crystal display device manufacturing plant equipped with a cassette transport elevator according to the present invention.
즉, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터가 설치된 다층의 액정표시장치 제조공장 내부는, 도 4에 도시한 바와 같이, 액정표시장치 제조공장의 각 층별로 형성된 클린룸(10)과, 상기 클린룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재 및 반송하는 클린룸 컨베이어(20)와, 상기 클린룸의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로(30) 및 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 다양한 폭을 갖는 한 쌍의 롤러가 적어도 두 개 이상 형성되어 있는 롤러 컨베이어를 구비한 엘리베 이터(80)를 포함하여 구성되어 있다.That is, inside the multilayer liquid crystal display manufacturing plant in which the cassette transport elevator according to the present invention is installed, as shown in FIG. 4, a
이때, 상기 각 클린룸에는 다수의 공정장비들이 배치되어 있으며, 현재 제작되고 있는 액정표시장치의 크기가 다양하기 때문에 상기 공정장비들에 의해 처리되는 기판을 적재하는 카세트의 크기 역시 다양하다.In this case, a plurality of process equipments are arranged in each of the clean rooms, and since the size of the liquid crystal display device being manufactured varies, the size of the cassette for loading the substrate processed by the process equipments also varies.
즉, 한 층의 클린룸(10)에는 다양한 크기의 기판들에 대한 공정이 진행되고 있으며, 따라서, 상기 엘리베이터를 통하여 각 층으로 반송되는 기판의 크기도 다양하므로, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터는 상기와 같이 다양한 폭을 갖는 한 쌍의 롤러가 적어도 두 개 이상 형성되어 있는 롤러 컨베이어를 구비함으로써, 다양한 크기의 카세트를 반송할 수 있도록 하고 있다.That is, the process for the substrates of various sizes are in progress in the
한편, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터에 의해 반송되어온 카세트는 상기 컨베이어를 통해 클린룸 내부로 반출되게 되는데, 이때, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 클린룸(10) 내부에는 상기 롤러 컨베이어와 연결되어 상기 카세트를 반송할 수 있는 클린룸 컨베이어(20)가 배치되어 있다. 상기 클린룸 컨베이어에 의해 클린룸(10) 내부로 반출된 카세트는 상기 클린룸 컨베이어와 연결되어 있는 스토커로 이송되어 적재될 수도 있으며, 무인 반송차(AGV) 등의 반송장비들에 의해 각 공정장비 또는 스토커로 이송될 수 있다.On the other hand, the cassette conveyed by the cassette conveying elevator according to the present invention is to be taken out into the clean room through the conveyor, at this time, as shown in Figure 4 connected to the roller conveyor in the clean room (10) The
그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 클린룸 컨베이어 대신, 상기 롤러 컨베이어로부터 반출되는 카세트를 운반할 수 있는 별도의 장비들이 상기 클린룸(10)에 배치될 수 있다. However, the present invention is not limited thereto, and instead of the clean room conveyor, separate equipments capable of carrying a cassette taken out of the roller conveyor may be disposed in the
도 5는 도 4에 도시된 카세트 반송용 엘리베이터의 평면도를 상세히 나타낸 예시도이다.5 is an exemplary view showing in detail a plan view of the cassette conveyance elevator shown in FIG.
즉, 도 5는 도 4에 도시되어 있는 승강로(30)와 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터(80)의 단면을 상세히 나타낸 것으로서, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터(80)가 적용되는 제조공장에는 상기 승강로(30)가 하나만 설치되어 있어도, 다양한 크기의 카세트를 각 층의 클린룸(10)으로 이송할 수 있다는 특징을 가지고 있다.That is, FIG. 5 is a detailed cross-sectional view of the
상기 승강로(30)는 도 5에 도시된 바와 같이 그 양쪽의 클린룸(10)에 설치되어 있는 승강로 도어(31, 32)를 포함하여 구성되어 있다. 또한, 상기 승강로(30) 내에는 상기 엘리베이터(80)를 승하강 시키기 위한 다수의 장치들이 구비되어 있으며, 상기 승강로 도어(31, 32) 및 상기 장치들은 미도시된 제어장치에 의하여 구동된다.As shown in FIG. 5, the
또한, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터(80)는 그 외관을 형성하는 엘리베이터 케이지(Cage)(86), 상기 승강로 도어와 함께 개폐될 수 있도록 상기 엘리베이터 케이지의 양측에 설치되어 있는 엘리베이터 도어(81, 82) 및 카세트를 상기 엘리베이터 도어와 승강로 도어측으로 배출하기 위하여 다양한 폭을 갖는 롤러 쌍들(83, 84)로 구성되어 있는 롤러 컨베이어(85)를 포함하여 구성되어 있다. In addition, the
즉, 도 5에는 'A'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러(83)와 'B'길이의 폭을 갖는 또 다른 한 쌍의 롤러(84)가 형성되어 있는 롤러 컨베이어(85)가 도시되어 있다.5 shows a
이때, 상기 'A'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러(83)는 도 2에 도시된 엘리베이터(40) 중 'A'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러가 형성되어 있는 엘리베이터가 반 송할 수 있는 카세트를 반송하기 위한 것이며, 상기 'B'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러(84)는 도 2에 도시된 엘리베이터(40) 중 'B'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러가 형성되어 있는 엘리베이터가 반송할 수 있는 카세트를 반송하기 위한 것이다.At this time, the pair of
한편, 상기 두 쌍의 롤러(83, 84)는 미도시된 제어장치 및 구동장치에 의해 구동되는 것으로서, 반드시 동시에 구동될 필요는 없다. 즉, 'A'길이의 폭을 갖는 카세트가 입고된 경우에는 상기 'A'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러(83) 만이 구동될 수 있으며, 'B'길이의 폭을 갖는 카세트가 입고된 경우에는 상기 'B'길이의 폭을 갖는 한 쌍의 롤러(84) 만이 구동될 수 있다.On the other hand, the two pairs of rollers (83, 84) are driven by a control device and a driving device not shown, it does not necessarily need to be driven at the same time. That is, when a cassette having a width of 'A' length is worn, only a pair of
또한, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터(80)는 상기한 바와 같이 두 쌍의 롤러(83, 84)를 구비한 롤러 컨베이어(85)만으로 형성되는 것에 한정되는 것은 아니며, 따라서, 액정표시장치의 발전방향을 고려하여, 다 수개의 폭을 갖는 다 수개의 롤러쌍으로 구성된 롤러 컨베이어(85)로 구성될 수 있다.In addition, the
한편, 상기한 바와 같은 본 발명을 이용하여 카세트를 각 층의 클린룸으로 반송하는 과정을 간단히 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the process of conveying the cassette to the clean room of each layer using the present invention as described above will be briefly described as follows.
먼저, 본 발명에 따른 카세트 반송용 엘리베이터(이하, 간단히 '엘리베이터'라 함)(80)를 승강시켜 원하는 클린룸(10)의 위치에 정지시킨 상태에서 먼저, 승강로 도어를 열면, 클린룸(10) 내에는 일정 압력을 유지하도록 청정공기로 채워져 있으므로 이 클린룸 내의 청정공기가 상기 승강로의 경계벽과 엘리베이터 사이의 틈새로 유출되면서 승강로 측의 공기가 클린룸으로 유입되는 것을 방지하게 되며, 이 상태에서 엘리베이터 도어(81, 82)를 열면, 클린룸 내의 청정공기가 엘리베이터 내 부로 유입되어 승강로 내부 공기나 엘리베이터 내부 공기가 클린룸쪽으로 유입되는 것을 방지하게 된다. 즉, 승강로는 통상적으로 클린룸보다는 낮은 등급이지만 어느 정도 클린룸의 조건을 유지하는 것이다.First, in a state in which a cassette conveying elevator (hereinafter, simply referred to as an 'elevator') 80 according to the present invention is lifted and stopped at a desired position of the
상기 승강로 도어 및 엘리베이터 도어들이 개방되면, 엘리베이터의 롤러 컨베이어(85)와 클린룸 컨베이어(20)의 롤러 회전에 의해 카세트가 엘리베이터 내부로 또는 클린룸으로 이송된다. 이때, 상기한 바와 같이 상기 클린룸 컨베이어 대신, 상기 롤러 컨베이어와 연결될 수 있는 별도의 장비들에 의해 카세트가 엘리베이터 내부 또는 클린룸으로 이송될 수 있다.When the hoistway door and the elevator doors are opened, the cassette is transferred into the elevator or into the clean room by the roller rotation of the
이때, 상기한 바와 같이 카세트의 폭에 따라 어느 한 쌍의 롤러가 회전됨으로써, 카세트가 적재 또는 반출될 수 있다. 이때, 상기 한 쌍의 롤러에 대한 선택 및 구동은 제어장치에 의하여 이루어질 수 있다. 그러나, 별도의 제어장치가 구비되어 있지 않은 경우에는 모든 롤러 쌍들이 회전됨으로써, 카세트가 적재 또는 반출될 수도 있다.At this time, as described above, by rotating a pair of rollers according to the width of the cassette, the cassette can be loaded or taken out. At this time, the selection and driving of the pair of rollers may be made by a controller. However, if no separate control device is provided, the rollers may be loaded or unloaded by rotating all the roller pairs.
카세트 이재가 완료되면, 엘리베이터 도어(81, 82)가 닫힌 후 승강로 도어(31, 32)가 닫히게 된다. 상기 도어들이 닫히면 엘리베이터는 승강로를 따라 승강 또는 하강하여 카세트를 이재하고자 하는 또 다른 층의 클린룸에 정지하게 되고, 상술한 바와 마찬가지 과정을 통해 다양한 크기의 카세트를 적재 또는 반출하게 된다.When the cassette transfer is completed, the
상술된 바와 같은 본 발명에 따른 엘리베이터는 다양한 폭을 갖는 카세트를 모두 반송할 수 있기 때문에, 제조공장에는 하나의 엘리베이터만 설치될 수 있으며, 이로인해 제조단가를 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 클린룸 내부의 작업공간을 효율적으로 이용할 수 있다는 우수한 효과가 있다.Since the elevator according to the present invention as described above can carry all the cassettes having a variety of widths, only one elevator can be installed in the manufacturing plant, thereby reducing the manufacturing cost, as well as inside the clean room There is an excellent effect of using the workspace efficiently.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060079372A KR101337029B1 (en) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | Elevator for delivering a cassette |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060079372A KR101337029B1 (en) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | Elevator for delivering a cassette |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080017771A KR20080017771A (en) | 2008-02-27 |
KR101337029B1 true KR101337029B1 (en) | 2013-12-05 |
Family
ID=39385040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060079372A KR101337029B1 (en) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | Elevator for delivering a cassette |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101337029B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108584577A (en) * | 2018-06-21 | 2018-09-28 | 广东嘉腾机器人自动化有限公司 | AGV docks control method, device and the storage medium of elevator |
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KR19990066156A (en) * | 1998-01-22 | 1999-08-16 | 윤종용 | Wafer Cassette Feeder |
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KR20050046220A (en) * | 2003-11-13 | 2005-05-18 | 주식회사 디엠에스 | Multi-type works transporting apparatus |
-
2006
- 2006-08-22 KR KR1020060079372A patent/KR101337029B1/en active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080017771A (en) | 2008-02-27 |
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