KR101235774B1

KR101235774B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치에 있어서의 이상 표시 방법

Info

Publication number: KR101235774B1
Application number: KR1020120061525A
Authority: KR
Inventors: 오사무 모리타
Original assignee: 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
Priority date: 2009-02-13
Filing date: 2012-06-08
Publication date: 2013-02-21
Also published as: JP5635270B2; TWI406354B; KR20120067328A; TW201041072A; JP2010212662A; KR20100092903A; CN101807059A; US20100211216A1; CN101807059B; CN102760673A; US8483870B2; CN102760673B

Abstract

기판 처리 장치의 동작 제어에 있어서, 각 반송 기구를 구동하는 액추에이터마다 안전 범위의 토크 제한치의 설정이나, 토크 제한 기능의 유무를 지정할 수 있는 기능을 갖고, 액추에이터가 정지했을 경우에 적절한 알람 표시가 가능한 기능을 갖는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치에 있어서의 이상 표시 방법을 제공한다.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치가 제공된다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 장치에 있어서의 이상 표시 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF DISPLAYING ABNORMAL STATE OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 실리콘 웨이퍼 등의 기판에 박막의 생성, 산화, 불순물의 확산, 어닐 처리, 에칭 등의 처리를 수행하는 기판 처리 장치, 특히 기판 처리의 동작 제어에 있어서의 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치에 있어서의 이상 표시 방법에 관한 것이다.

기판 처리 장치는, 기판 처리를 수행하기 위해, 기판을 반송하는 반송 기구를 제어하는 모션(동작) 제어부를 구비하고 있다. 한편, 상기 동작 제어부는, 동작 제어를 수행하기 위해 액추에이터(actuator)에 대해서 동작 명령을 실시하고 있고, 상기 액추에이터는 정격 토크의 범위 내에서 동작 명령을 실행함으로써, 상기 액추에이터 자체의 고장이 발생하지 않도록 제어하고 있는데, 정격 토크 범위였다고 하더라도, 상기 기판 처리 장치가 구비하고 있는 각 반송 기구에 대해서 안전하다고는 말할 수 없다.

상기 각 반송 기구에는, 각각에 설정된 안전 범위의 토크치가 있고, 이 값으로 제어함으로써, 상기 기판 처리 장치에게 있어서 안정된 제어, 즉 재료를 운반할 때의 재료에 대한 진동을 억제할 수 있다.

한편, 진동을 너무 억제하면 반송 속도가 저하되어 버리고, 스루풋(throughput)이 저하된다. 또한, 반송 속도를 너무 올린 경우에는, 상기 반송 기구가 충돌 검지용 센서(진동 센서)를 구비하고 있기 때문에, 동작이 정지되어 버린다.

그러나, 종래의 기판 처리 장치에서는, 정지의 요인이 토크 제한에 의한 것인지, 진동 센서에 의한 것인지 구분하기가 불명확하고, 정지 원인에 대한 적절한 알람을 낼 수 없었다.

또한, 종래의 기판 처리 장치에서도, 동작 제어로 사용하고 있는 상기 액추에이터 자체가 보유하고 있는 토크 제한 기능을 사용함으로써 토크 제어 자체를 수행할 수 있었다. 다만, 한번 설정해버리면, 어떤 동작에 있어서도 토크 제어를 실시해버리기 때문에, 오히려 불필요한 토크 제어에 의한 동작 정지가 발생했었다.

종래는, 토크 제한치를 등록하기 위한 조정용 치구(治具)를 별도로 준비하고, 각 액추에이터에 접속하여 상기 반송 기구와 인터페이스의 조정을 수행하고 있는데, 상기 반송 기구와 상기 인터페이스의 조정은 엔드 유저(客先)의 클린 룸(clean room)에 상기 조정용 치구를 반입할 필요가 있어서 용이하지 않았다.

본 발명은 이러한 실정에 비추어, 기판 처리 장치의 동작 제어에 있어서, 각 반송 기구를 구동하는 액추에이터마다 안전 범위의 토크 제한치의 설정이나, 토크 제한 기능의 유무를 지정할 수 있는 기능을 갖고, 상기 액추에이터가 정지한 경우에 적절한 알람 표시가 가능한 기능을 갖는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치에 있어서의 이상(異常) 표시 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치가 제공된다.

본 발명의 다른 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 가지며, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과 중 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치가 제공된다.

본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로서, 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법이 제공된다.

본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치의 파라미터 설정 방법으로서, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 토크 제한에 관한 정보를 설정하는 설정 공정을 포함하고, 상기 설정 공정은, 상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 공정을 포함하는 기판 처리 장치의 파라미터 설정 방법이 제공된다.

본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치의 표시 방법으로서, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 상기 토크 제한에 관한 정보를 설정하는 설정 화면을 표시하는 표시 공정을 포함하고, 상기 표시 공정은, 상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 상기 설정 화면을 표시하는 공정을 포함하는 기판 처리 장치의 표시 방법이 제공된다.

본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부에서 실행되는 파라미터 편집 프로그램을 기록하는 컴퓨터를 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 조작부는, 상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 처리와, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 처리를 포함하는 상기 파라미터 편집 프로그램을 실행하는 것에 의해, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 상기 토크 제한에 관한 정보를 편집하는 기판 처리 장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치에서 실행되는 파라미터 편집 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독가능한 기록매체로서, 상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 처리와, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 처리를 포함하고, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 상기 토크 제한에 관한 정보를 편집하는 파라미터 편집 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체가 제공된다.

본 발명에 의하면, 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 센서의 검출 조건과, 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 유무나 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하기 때문에, 토크 제한에 관한 정보를 설정할 때 기판 처리 장치의 설치 장소에 조정용 치구를 갖고 들어갈 필요가 없고, 각종 기판 반송 기구의 조정이 용이하게 된다. 또한, 각종 기판 반송 기구를 설정한 토크 제한에 관한 정보에 따라서 상세하게 제어할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 상기 기판 기구의 토크 제한치 이상(異常), 또는 복수의 상기 센서 중 진동 센서가 이상을 검지하여 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는 이상 발생 시의 상기 진동 센서의 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 상기 조작 화면에 표시하기 때문에, 발생한 이상의 요인의 조사(調査)가 용이하게 된다.

또한 본 발명에 의하면, 상기 조작부는, 일시적으로 보존되는 이상 발생 전(前)의 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 상기 조작 화면에 표시하기 때문에, 이상 발생 전과 이상 발생 후의 상기 센서에 의한 검출 결과를 비교할 수 있어, 발생한 이상의 요인의 조사가 더욱 용이하게 된다.

더욱이, 본 발명에 의하면, 각 기판 반송 기구 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 공정과, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 조작부에 통지하는 공정과, 상기 조작부가 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 점등 표시하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치에 있어서 이상 표시 방법을 제공하기 때문에, 상기 센서에 의해 검출된 이상 원인을 상기 기판 반송 기구를 조사하지 않고 상기 조작부에서 확인할 수 있고, 정지 원인의 판단이 용이하게 됨과 동시에 정지 원인의 파악에 요하는 시간을 단축할 수 있다는 뛰어난 효과를 발휘한다.

도 1은 본 발명의 기판 처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 기판 처리 장치를 나타내는 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 기판 처리 장치에 있어서의 제어계(制御系)를 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명에 있어서의 알람의 출력예를 나타내는 개략도이다.
도 5는 본 발명에 있어서의 파라미터 편집 방법을 나타내는 플로우 차트이다.
도 6은 본 발명에 있어서의 개개의 액추에이터마다 토크 제한 기능의 유무를 선택하고, 이상을 검출했을 때에는 알람 정보를 표시시키는 동작 제어 처리의 흐름을 나타내는 플로우 차트이다.
도 7은 본 발명이 적용되는 기판 처리 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 8은 본 발명에 있어서의 토크 제어의 설정 화면이며, (A)는 토크 제어의 유무를 설정하는 화면을 나타내고, (B)는 토크의 제한치를 설정하는 화면을 표시하고 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

우선, 도 1, 도 2에 있어서, 본 발명이 실시되는 기판 처리 장치에 대해서 설명한다.

도 1, 도 2는 기판 처리 장치의 일례로서 종형(縱型)의 기판 처리 장치를 도시하고 있다. 한편, 상기 기판 처리 장치에 있어서 처리되는 기판은, 일례로서 실리콘 등으로 이루어진 웨이퍼가 도시되어 있다.

기판 처리 장치(1)는 광체(筐體, 2)를 구비하고, 상기 광체(2)의 정면벽(3)의 하부에는 메인터넌스 가능하도록 설치된 개구부로서의 정면 메인터넌스구(口)(4)가 개설(開設)되고, 상기 정면 메인터넌스구(4)는 정면 메인터넌스도어(5)에 의해 개폐된다.

상기 광체(2)의 상기 정면벽(3)에는 포드 반입 반출구(6)가 상기 광체(2)의 내외를 연통(連通)하도록 개설되어 있고, 상기 포드 반입 반출구(6)는 프론트 셔터(반입 반출구 개폐 기구)(7)에 의해 개폐되고, 상기 포드 반입 반출구(6)의 정면 전방(前方)측에는 로드 포트[기판 반송 용기 수도대(受渡臺)](8)가 설치되어 있고, 상기 로드 포트(load port, 8)는 재치된 포드(pod, 9)를 위치맞춤하도록 구성되어 있다.

상기 포드(9)는 밀폐식의 기판 반송 용기이고, 도시하지 않은 공정 내 반송 장치에 의해 상기 로드 포트(8) 상에 반입되고, 또한, 상기 로드 포트(8) 상으로부터 반출되도록 되어 있다.

상기 광체(2) 내의 전후 방향의 실질적으로 중앙부에 있어서의 상부에는, CR축 방향으로 회전 가능한 회전식 포드 선반(기판 반송 용기 격납 선반)(11)이 설치되어 있고, 상기 회전식 포드 선반(11)은 복수 개의 포드(9)를 격납하도록 구성되어 있다.

상기 회전식 포드 선반(11)은 수직으로 입설(立設)되어 간헐 회전되는 지주(12)와, 상기 지주(12)에 상중하단의 각 위치에 있어서 방사(放射) 형상으로 지지된 복수 단(段)의 선반판(기판 반송 용기 재치 선반)(13)을 구비하고 있고, 상기 선반판(13)은 상기 포드(9)를 복수 개씩 재치한 상태에서 격납되도록 구성되어 있다.

상기 회전식 포드 선반(11)의 하방에는, 포드 오프너(기판 반송 용기 덮개 개폐 기구)(14)가 설치되고, 상기 포드 오프너(14)는 상기 포드(9)를 재치하며, 또한 상기 포드(9)의 덮개를 개폐 가능한 구성을 갖고 있다.

상기 로드 포트(8)와 상기 회전식 포드 선반(11), 상기 포드 오프너(14)와의 사이에는, 포드 반송 장치(용기 반송 장치)(15)가 설치되어 있고, 상기 포드 반송 장치(15)는, 상기 포드(9)를 보지하여 CZ축 방향으로 승강 가능, CX축 방향으로 진퇴 가능, CS축 방향으로 횡행(橫行) 가능하게 되어 있고, 상기 로드 포트(8), 상기 회전식 포드 선반(11), 상기 포드 오프너(14)와의 사이에서 상기 포드(9)를 반송하도록 구성되어 있다.

상기 광체(2) 내의 전후 방향의 실질적으로 중앙부에 있어서의 하부에는, 서브 광체(16)가 후단에 걸쳐 설치되어 있다. 상기 서브 광체(16)의 정면벽(17)에는 웨이퍼(기판)(18)를 상기 서브 광체(16) 내에 대해서 반입 반출하기 위한 웨이퍼 반입 반출구(기판 반입 반출구)(19)가 한 쌍, 수직 방향으로 상하 2단으로 나란히 개설되어 있고, 상하단의 웨이퍼 반입 반출구(19, 19)에 대해서 상기 포드 오프너(14)가 각각 설치되어 있다.

상기 포드 오프너(14)는 상기 포드(9)를 재치하는 재치대(21)와, 상기 포드(9)의 덮개를 개폐하는 개폐 기구(22)를 구비하고 있다. 상기 포드 오프너(14)는 상기 재치대(21)에 재치된 상기 포드(9)의 덮개를 상기 개폐 기구(22)에 의해 개폐함으로써, 상기 포드(9)의 웨이퍼 출입구를 개폐하도록 구성되어 있다.

상기 서브 광체(16)는 상기 포드 반송 장치(15)나 상기 회전식 포드 선반(11)이 배설되어 있는 공간(포드 반송 공간)으로부터 기밀(氣密)하게 되어 있는 이재실(移載室, 23)을 구성하고 있다. 상기 이재실(23)의 전측(前側) 영역에는 웨이퍼 반송 기구(기판 반송 기구)(24)가 설치되어 있고, 상기 웨이퍼 반송 기구(24)는, 웨이퍼(18)를 재치하는 소요 매수(도시에서는 5 매)의 웨이퍼 재치 플레이트(25)를 구비하고, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)는 수평 방향으로 직동(直動) 가능(X축), 수평 방향으로 회전 가능(Y축), 또한 승강 가능(Z축)하게 되어 있다. 상기 웨이퍼 반송 기구(24)는 보트(기판 보지구)(26)에 대해서 웨이퍼(18)를 장전 및 불출(拂出)하도록 구성되어 있다.

또한, 상기 웨이퍼 반송 기구(24)에는, 웨이퍼(18)를 보지하는 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 웨이퍼(18)를 소정의 장소로부터 꺼내고, 소정의 장소에 둘 때, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)의 진입 방향의 동작을 조정하는 축인 X축과, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 웨이퍼(18)를 상기 보트(26)에 이재(이송 및 적재)할 때의 진입 각도를 조정하는 축인 Y축과, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 웨이퍼(18)를 상기 보트(26)에 이재할 때의 진입 높이를 조정하는 축인 Z축 및 Z축의 미세 조정을 수행하여 웨이퍼(18)의 상기 보트(26)에 대한 삽입 간격을 조정하는 V축이라는 4가지 파라미터가 설정되어 있다.

상기 이재실(23)의 후측 영역에는, 상기 보트(26)를 수용하여 대기(待機)시키는 대기부(27)가 구성되고, 상기 대기부(27)의 상방에는 종형의 처리로(處理爐, 28)가 설치되어 있다. 상기 처리로(28)는 내부에 처리실(29)을 형성하고, 상기 처리실(29)의 하단부는 노구부(爐口部)로 되어 있고, 상기 노구부는 노구 셔터(노구 개폐 기구)(31)에 의해 개폐되도록 되어 있다.

상기 광체(2)의 우측 단부와 상기 서브 광체(16)의 상기 대기부(27)의 우측 단부와의 사이에는 상기 보트(26)를 승강시키기 위한 보트 엘리베이터(기판 보지구 승강 장치)(32)가 설치되어 있다. 상기 보트 엘리베이터(32)의 승강대에 연결된 암(33)에는 덮개로서의 씰 캡(seal cap, 34)이 수평으로 설치되어 있고, 상기 씰 캡(34)은 상기 보트(26)를 수직으로 지지하고, 상기 보트(26)를 상기 처리실(29)에 장입(裝入)한 상태에서 상기 노구부를 기밀하게 폐색(閉塞) 가능하게 되어 있다.

상기 보트(26)는, 복수 매(예를 들면, 50 매~125 매 정도)의 웨이퍼(18)를 그 중심을 맞추어 수평 자세에서 다단으로 보지(保持)하도록 구성되어 있다.

상기 보트 엘리베이터(32)측과 대향한 위치에는 클린 유닛(35)이 배설되고, 상기 클린 유닛(35)은, 청정화된 분위기 혹은 불활성 가스인 클린 에어(36)를 공급하도록 공급팬 및 방진(防塵) 필터로 구성되어 있다. 상기 웨이퍼 반송 기구(24)와 상기 클린 유닛(35)과의 사이에는, 웨이퍼(18)의 원주 방향의 위치를 정합시키는 기판 정합 장치로서의 노치(notch) 맞춤 장치(도시하지 않음)가 설치되어 있다.

상기 클린 유닛(35)으로부터 내뿜어진 상기 클린 에어(36)는, 상기 노치 맞춤 장치(도시하지 않음) 및 상기 웨이퍼 반송 기구(24), 상기 보트(26)에 유통된 후에, 도시하지 않은 덕트에 의해 흡입되어, 상기 광체(2)의 외부에 배기되거나, 혹은 상기 클린 유닛(35)에 의해 상기 이재실(23) 내에 내뿜어지도록 나오도록 구성되어 있다.

다음에, 상기 기판 처리 장치(1)의 작동에 대해서 설명한다.

상기 포드(9)가 상기 로드 포트(8)에 공급되면, 상기 포드 반입 반출구(6)가 상기 프론트 셔터(7)에 의해 개방된다. 상기 로드 포트(8) 상의 상기 포드(9)는 상기 포드 반송 장치(15)에 의해 상기 광체(2)의 내부로 상기 포드 반입 반출구(6)를 통하여 반입되고, 상기 회전식 포드 선반(11)의 지정된 상기 선반판(13)에 재치된다. 상기 포드(9)는 상기 회전식 포드 선반(11)에서 일시적으로 보관된 후, 상기 포드 반송 장치(15)에 의해 상기 선반판(13)으로부터 어느 한 쪽의 포드 오프너(14)에 반송되어 상기 재치대(21)에 이재되거나, 혹은 상기 로드 포트(8)로부터 직접 상기 재치대(21)에 이재된다.

이 때, 상기 웨이퍼 반입 반출구(19)는 상기 개폐 기구(22)에 의해 닫혀져 있고, 상기 이재실(23)에는 상기 클린 에어(36)가 유통되고, 충만되어 있다. 예를 들면, 상기 이재실(23)에는 상기 클린 에어(36)로서 질소 가스가 충만함으로써, 산소 농도가 20ppm 이하로, 상기 광체(2)의 내부[대기(大氣) 분위기]의 산소 농도보다 훨씬 낮게 설정되어 있다.

상기 재치대(21)에 재치된 상기 포드(9)는 그 개구측 단면(端面)이 상기 서브 광체(16)의 상기 정면벽(17)에 있어서의 상기 웨이퍼 반입 반출구(19)의 개구 연변부(緣邊部)에 눌려짐과 동시에, 덮개가 상기 개폐 기구(22)에 의해 떼어내지고, 웨이퍼 출입구가 개방된다.

상기 포드(9)가 상기 포드 오프너(14)에 의해 개방되면, 웨이퍼(18)는 상기 포드(9)로부터 상기 웨이퍼 반송 기구(24)에 의해 취출(取出)되고, 상기 노치 맞춤 장치(도시하지 않음)에 이송되며, 상기 노치 맞춤 장치에서 웨이퍼(18)를 정합한 후, 상기 웨이퍼 반송 기구(24)는 웨이퍼(18)를 상기 이재실(23)의 후방에 있는 상기 대기부(待機部, 27)로 반입하고, 상기 보트(26)에 장전(charging)한다.

상기 보트(26)에 웨이퍼(18)를 수도(受渡)한 상기 웨이퍼 반송 기구(24)는 상기 포드(9)로 되돌아오고, 다음의 웨이퍼(18)를 상기 보트(26)에 장전한다.

한 쪽(상단 또는 하단)의 포드 오프너(14)에 있어서의 상기 웨이퍼 반송 기구(24)에 의한 웨이퍼(18)의 상기 보트(26)로의 장전 작업 중에, 다른 쪽(하단 또는 상단)의 포드 오프너(14)에는 상기 회전식 포드 선반(11)으로부터 다른 포드(9)가 상기 포드 반송 장치(15)에 의해 반송되어 이재되고, 상기 다른 쪽의 포드 오프너(14)에 의한 포드(9)의 개방 작업이 동시에 진행된다.

미리 지정된 매수의 웨이퍼(18)가 상기 보트(26)에 장전되면 상기 노구 셔터(31)에 의해 닫혀 있던 상기 처리로(28)의 노구부가 상기 노구 셔터(31)에 의해 개방된다. 계속해서, 상기 보트(26)는 상기 보트 엘리베이터(32)에 의해 상승되고, 상기 처리실(29)에 반입(로딩)된다.

로딩 후에는, 상기 씰 캡(34)에 의해 노구부가 기밀하게 폐색된다.

상기 처리실(29)이 원하는 압력(진공압)이 되도록 가스 배기 기구(도시하지 않음)에 의해 진공 배기된다. 또한, 상기 처리실(29)이 원하는 온도 분포가 되도록 히터 구동부(도시하지 않음)에 의해 소정 온도까지 가열된다.

또한, 가스 공급 기구(도시하지 않음)에 의해, 소정의 유량으로 제어된 처리 가스가 공급되고, 상기 처리 가스가 상기 처리실(29)을 유통하는 과정에서, 웨이퍼(18)의 표면과 접촉하고, 이 때에 열CVD 반응에 의해 웨이퍼(18)의 표면 상에 박막이 성막된다. 그리고, 반응 후의 처리 가스는, 상기 가스 배기 기구에 의해 상기 처리실(29)로부터 배기된다.

미리 설정된 처리 시간이 경과하면, 상기 가스 공급 기구에 의해 불활성 가스 공급원(도시하지 않음)으로부터 불활성 가스가 공급되고, 상기 처리실(29)이 상기 불활성 가스로 치환됨과 동시에, 상기 처리실(29)의 압력이 상압(常壓)으로 복귀된다.

상기 보트 엘리베이터(32)에 의해 상기 씰 캡(34)을 개재하여 상기 보트(26)가 하강된다.

처리 후의 웨이퍼(18)의 반출에 대해서는, 상기 설명과 반대의 순서로, 웨이퍼(18) 및 포드(9)는 상기 광체(2)의 외부로 불출(拂出)된다. 미(未)처리 웨이퍼(18)가, 다시 상기 보트(26)에 장전되고, 웨이퍼(18)의 뱃치(batch) 처리가 반복된다.

상기 복수의 웨이퍼(18)를 수납한 포드(9)를 상기 로드 포트(8), 상기 회전식 포드 선반(11), 상기 포드 오프너(14)와의 사이의 반송 기구, 또한, 보트(26)에 상기 포드(9) 내의 웨이퍼(18)를 반송하거나, 상기 처리로(28)에 상기 보트(26)를 반송하는 반송 기구, 상기 처리로(28)에 처리 가스 등을 공급하는 가스 공급 기구, 상기 처리로(28) 내를 배기하는 가스 배기 기구, 상기 처리로(28)를 소정 온도로 가열하는 히터 구동부 및 각각의 상기 반송 기구, 상기 가스 공급 기구, 상기 가스 배기 기구, 상기 히터 구동부를 각각 제어하는 제어 장치(37)에 대해서, 도 3을 참조하여 설명한다. 한편, 상기 가스 공급 기구, 상기 가스 배기 기구, 상기 처리로(28), 상기 히터 구동부로 기판 처리 기구를 구성하고 있다.

도 3에서, 38은 프로세스계 컨트롤러로서의 프로세스 제어부, 39는 반송계 컨트롤러로서의 반송 제어부, 41은 주(主)제어부를 나타내고 있고, 상기 프로세스 제어부(38)는 기억부(42)를 구비하고, 상기 기억부(42)에는 프로세스를 실행하기 위해 필요한 프로세스 실행 프로그램이 격납되고, 상기 반송 제어부(39)는 기억부(43)를 구비하며, 상기 기억부(43)에는 웨이퍼(18)의 반송 처리를 실행하기 위한 반송 프로그램과, 상기 포드 반송 장치(15), 상기 웨이퍼 반송 기구(24), 상기 보트 엘리베이터(32)의 3 개의 반송 기구의 동작을 제어하는 동작 제어 프로그램이 격납되고, 상기 주제어부(41)는 데이터 격납 수단(44)을 구비하고, 상기 데이터 격납 수단(44)은, 예를 들면 HDD 등의 외부 기억 장치로 이루어진다. 한편, 상기 프로세스 실행 프로그램, 상기 반송 프로그램, 상기 동작 제어 프로그램은 상기 데이터 격납 수단(44)에 격납되어 있어도 무방하다.

또한, 45, 46, 47은 서브 컨트롤러를 예시하고 있고, 예를 들면 45는 상기 처리로(28)의 가열 제어를 수행하는 제1 서브 컨트롤러, 46은 밸브 개폐, 유량 제어기 등의 작동을 제어하여 상기 처리로(28)로의 처리 가스의 공급 유량을 제어하는 제2 서브 컨트롤러, 47은 상기 처리로(28)로부터의 가스의 배기를 제어하고, 혹은 상기 처리로(28)의 압력을 제어하는 제3 서브 컨트롤러를 나타내고 있다. 또한, 48, 49, 51은 각각 액추에이터를 예시하고 있고, 예를 들면 48은 상기 제1 서브 컨트롤러(45)에 의해 제어되는 히터(이하, 제1 프로세스 액추에이터)이고, 49는 상기 제2 서브 컨트롤러(46)에 의해 제어되는 유량 제어기(이하, 제2 프로세스 액추에이터)이고, 51은 상기 제3 서브 컨트롤러(47)에 의해 제어되는 압력 제어 밸브(이하, 제3 프로세스 액추에이터)이다. 한편, 각 프로세스 액추에이터는 도면에서는 1 개씩밖에 도시되어 있지 않은데, 복수 설치해도 무방하다.

또한, 52, 53, 54는 상기 액추에이터의 상태를 검출하고, 검출 결과를 상기 제1 서브 컨트롤러(45), 상기 제2 서브 컨트롤러(46), 상기 제3 서브 컨트롤러(47)에 피드백하는 센서를 예시하고 있고, 예를 들면 52는 온도 검출기(이하, 제1 프로세스 센서), 53은 유량 검출기(이하, 제2 프로세스 센서), 54는 압력 센서(이하, 제3 프로세스 센서)이다. 한편, 각 액추에이터의 상태를 검출하는 검출기 또는 센서류(類)가, 도면에서는 한 개씩 밖에 도시되어 있지 않지만, 복수 설치해도 무방하다. 나아가, 각 액추에이터에 검출기와 센서 양쪽 모두를 설치해도 좋다.

또한, 상기 반송 제어부(39)는 각 반송 제어 모듈을 제어하고, 상기 각종 반송 제어 모듈은 후술하는 액추에이터를 제어하는 제1 동작 제어부(55), 제2 동작 제어부(56), 제3 동작 제어부(57)로 이루어져 있다.

또한, 58은 상기 포드 반송 장치(15)를 CX축 방향으로 구동하는 모터(이하, 제1 동작 액추에이터)를 나타내고, 59는 상기 포드 반송 장치(15)를 CZ축 방향으로 구동하는 모터(이하 제1 동작 액추에이터)를 나타내고, 60은 상기 포드 반송 장치(15)를 CS축 방향으로 구동하는 모터(이하, 제1 동작 액추에이터)를 나타내고 있다. 또한, 61은 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 X축 방향으로 구동하는 모터(이하, 제2 동작 액추에이터)를 나타내고, 62는 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 Y축 방향으로 구동하는 모터(이하, 제2 동작 액추에이터)를 나타내고, 63은 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 Z축 방향으로 구동하는 모터(이하, 제2 동작 액추에이터)를 나타내고, 64는 상기 보트 엘리베이터(32)를 구동하는 모터(이하, 제3 동작 액추에이터)를 나타내고 있다.

또한, 각 동작 액추에이터에는, 진동이나 속도, 한계 지점에 있는지의 여부의 상태를 검출하는 복수의 센서로 이루어지고, 각 축마다 상태를 검출하는 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)가 설치되어 있다. 또한, 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)는, 각 동작 액추에이터의 상태를 검출하고, 검출 결과를 상기 제1 동작 제어부(55), 상기 제2 동작 제어부(56), 상기 제3 동작 제어부(57)에 피드백하는 기능을 갖고 있다. 상기 제1 동작 제어부(55), 상기 제2 동작 제어부(56), 상기 제3 동작 제어부(57)는 메모리를 갖고, 피드백된 데이터(검출 결과)를 일시적으로 보존하는 것이 가능하다. 한편, 도면에서는, 각 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에 1 개의 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)가 설치되어 있는데, 본 형태에 한정되지 않는다. 말할 것도 없이, 각 동작 액추에이터에 복수의 상태 검출 센서를 설치해도 무방하다.

또한, 상기 제1 동작 제어부(55)는 상기 포드(9)를 상기 로드 포트(8)로부터 상기 재치대(21)에 이재하는 상기 포드 반송 장치(15)를 구동 제어하고, 상기 제2 동작 제어부(56)는 상기 포드(9)로부터 웨이퍼(18)를 취출하고, 상기 보트(26)에 장전하는 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 구동 제어하고, 상기 제3 동작 제어부(57)는 웨이퍼(18)가 장전된 상기 보트(26)를 상기 처리로(28)에 반입하는 상기 보트 엘리베이터(32)를 구동 제어한다.

또한, 72는 키보드, 마우스, 조작 패널 등의 입력 디바이스를 나타내고, 73은 조작 화면인 모니터를 나타내고, 80은 상기 모니터(73)로부터 상기 입력 디바이스(72)를 이용하여 각종 지시를 입력하는 조작부를 도시하고 있다.

상기 제1 서브 컨트롤러(45), 상기 제2 서브 컨트롤러(46), 상기 제3 서브 컨트롤러(47)에는 상기 프로세스 제어부(38)로부터 설정치의 지시, 혹은 처리 시퀀스에 따른 지령 신호가 입력되고, 상기 프로세스 제어부(38)는 상기 제1 프로세스 센서(52), 상기 제2 프로세스 센서(53), 상기 제3 프로세스 센서(54)가 검출한 검출 결과를 근거로, 상기 제1 서브 컨트롤러(45), 상기 제2 서브 컨트롤러(46), 상기 제3 서브 컨트롤러(47)를 통괄하여 제어한다.

또한, 상기 프로세스 제어부(38)는, 상기 주제어부(41)를 개재한 상기 조작부(80)로부터의 지령에 의해, 기판 처리를 실행한다. 기판 처리는, 상기 프로세스 제어부(38)가 상기 기억부(42)에 격납된 프로그램에 따라서, 다른 제어계와는 독립하여 실행된다. 따라서, 상기 반송 제어부(39), 상기 주제어부(41)에 문제가 발생하더라도, 기판 처리는 중단되지 않고 완수된다.

각 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에는, 각각 토크 제어를 수행하는지의 여부가 미리 설정되어 있고, 그것에 더하여, 상기 반송 제어부(39)를 개재하여 상기 조작부(80)로부터 목표 위치, 속도, 가속도, 감속도, 토크 제한치 등의 파라미터, 혹은 상기 반송 제어부(39)로부터 처리 시퀀스에 따른 지령 신호가 상기 주제어부(41)에 입력된다.

상기 제1 동작 제어부(55)는 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67)가 검출한 검출 결과를 근거로 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60)를 제어하고, 또한 상기 제2 동작 제어부(56)는 상기 상태 검출 센서(68, 69, 70)가 검출한 검출 결과를 근거로 상기 동작 액추에이터(61, 62, 63)를 제어하고, 또한 상기 제3 동작 제어부(57)는 상기 상태 검출 센서(71)가 검출한 검출 결과를 근거로 상기 동작 액추에이터(64)를 제어하는 등, 각 동작 제어부가 각 상태 검출 센서에 대응하는 각 동작 액추에이터를 제어한다.

또한, 상기 반송 제어부(39)는, 상기 조작부(80)로부터의 지시에 의해 반송 처리를 실행하고, 또한 상기 반송 제어부(39)는 상기 기억부(43)에 격납된 반송 프로그램 및 동작 제어 프로그램에 따라서 다른 제어계와는 독립하여 상기 포드(9)나 웨이퍼(18)를 반송시킨다. 따라서, 상기 프로세스 제어부(38), 상기 주제어부(41)에 문제가 발생하더라도, 웨이퍼(18)의 반송은 중단되지 않고 완수된다.

상기 데이터 격납 수단(44)에는, 기판 처리 진행을 통괄하는 프로그램, 처리 내용, 처리 조건을 설정하기 위한 설정 프로그램, 상기 처리로(28)의 가열이나 처리 가스의 공급 및 배기 등의 설정 정보가 격납된 기판 처리를 위한 레시피(recipe), 통신 프로그램, 알람 정보 표시 프로그램, 파라미터 편집 프로그램 등의 각종 프로그램이 파일로서 격납되어 있다.

상기 통신 프로그램은 상기 프로세스 제어부(38), 상기 반송 제어부(39)와 LAN 등의 통신 수단을 개재하여 데이터의 송수신을 수행하는 것이다. 또한, 상기 알람 정보 표시 프로그램은 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)에 의해 이상이 검출된 경우에, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)의 이상 원인, 예를 들면 정지한 원인의 알람 정보를 상기 모니터(73)에 표시하는 것이고, 상기 파라미터 편집 프로그램은 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에 대해서 구동 제어하고, 혹은 토크 제한치에 의한 상기 반송 기구의 정지 조건 등을 설정하기 위해 필요한 파라미터의 편집을 수행하는 것이다.

또한, 상기 데이터 격납 수단(44)은 데이터 격납 영역을 갖고, 상기 데이터 격납 영역에는 웨이퍼(18)의 반송에 필요한 파라미터가 격납되고, 더욱이 상기 반송 기구에 미리 설정되어 있는 설정 정보, 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)에 의해 검출된 검출 결과 및 처리 상태 등의 정보가 주기적으로 격납된다. 이 주기는, 상기 반송 제어부(39), 상기 프로세스 제어부(38)의 데이터 처리의 부하(負荷)에 따라서 미리 설정되어 있다.

기본적으로, 각 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)가 검출하는 주기보다 길게 설정된다.

상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에는, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64) 자체가 보유하고 있는 토크 제어의 유무가 미리 설정 정보로서 입력되어 있다.

웨이퍼(18)의 반송 처리를 수행할 때에는, 미리 설정되어 있는 토크 제어의 유무에 더하여, 상기 조작부(80)로부터 목표 위치, 속도, 가속도, 감속도, 토크 제어가 수행되는 방향, 토크 제어를 수행하는 경우의 토크 제한치 등의 설정치를 입력하고, 반송 처리의 실행 지시를 입력함으로써, 상기 기억부(43)에 격납되어 있는 반송 프로그램 및 반송 프로그램으로부터의 지시에 따라서 동작 제어 프로그램이 실행된다.

상기 반송 프로그램이 실행되면, 상기 반송 제어부(39)가 상기 제1 동작 제어부(55), 상기 제2 동작 제어부(56), 상기 제3 동작 제어부(57)를 개재하여 상기 포드 반송 장치(15), 상기 웨이퍼 반송 기구(24), 상기 보트 엘리베이터(32)의 각 반송 기구를 구동 제어한다.

또한, 미리 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에 설정되어 있는 토크 제어가 수행되는 경우에는, 상기 조작부(80)로부터 입력된 설정치를 제한치로 하고, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에 각각 설치된 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71) 중 적어도 1 개가 상기 제한치를 초과한 값을 검출했을 때에는, 대응하는 상기 반송 기구를 구동하는 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)가 정지한다.

상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64) 중 적어도 1 개가 정지하면, 대응하는 동작 액추에이터의 정지 원인(상태 검출 센서에 의한 검출 결과)이 알람 신호로서 상기 주제어부(41)에 통지된다. 이 때, 정지한 동작 액추에이터에 대응하는 동작 제어부에 일시적으로 격납되어 있던 데이터(상태 검출 센서의 검출 결과) 중 적어도 정지 시의 데이터를 포함한 알람 신호가 통지된다. 알람 신호가 통지됨으로써 알람 정보 표시 프로그램이 기동되고, 상기 모니터(73)에 알람 정보가 표시된다. 이 때, 알람 정보는 적어도 1 개 이상의 알람 신호로 구성된다.

또한, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)의 적어도 1 개가 정지하고, 알람 신호가 상기 주제어부(41)에 통지되면, 상기 반송 제어부(39)에 대해서 웨이퍼(18)의 반송 처리 중단의 명령이 내려지고, 정지하지 않았던 동작 액추에이터가 모두 정지함으로써 웨이퍼(18)의 반송 처리가 중단되고, 처리가 종료된다.

도 4의 (A)~ 도 4의 (C)는, 상기 모니터(73)에 표시된 알람 정보의 일례이며, 상기 모니터(73)에는 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 파라미터(설정치) 및 상기 상태 검출 센서(68)에 의해 검출된 정지 원인이 표시되어 있다.

도 4에서, 74는 파라미터 표시 윈도우를 나타내고 있으며, 75는 알람 정보 표시 윈도우를 나타내고 있다.

상기 상태 검출 센서(68)가 이상을 검출하고, 상기 제2 동작 액추에이터(61)가 정지했을 때에는, 상기 상태 검출 센서(68)가 검출한 정지 원인을 알람 신호로서 출력하고, 상기 반송 제어부(39)를 개재하여 상기 주제어부(41)가 상기 알람 신호를 수신함으로써, 상기 알람 정보 표시 프로그램이 기동된다.

상기 알람 정보 표시 윈도우(75)에는, 11개 항목의 정지 원인이 표시되어 있고, 상기 상태 검출 센서(68)가 검출한 정지 원인에 따라서, 11개 항목 중 해당하는 개소를 점등(點燈)시킬 수 있다. 상기 11개 항목의 정지 원인을 이하에 나타낸다.

76은, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 X축의 상기 보트(26) 방향의 한계 지점에 있는지의 여부를 나타내는 플러스 리미트 신호(+LIMIT)를 나타내고 있다.

77은, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 X축의 상기 포드(9) 방향의 한계 지점에 있는지의 여부를 나타내는 마이너스 리미트 신호(-LIMIT)를 나타내고 있다.

78은 진동 검지 센서에 의한 진동의 검지를 나타내는 진동 센서 신호(VIB. SNS)를 나타내고 있고, 79는 비상 정지 신호 입력의 유무를 나타내는 비상 정지 신호(ESTP)를 나타내고 있다.

81은 브레이크가 동작 중인지 해제 중인지를 나타내는 브레이크 작동 신호(BRK_ON)를 나타내고 있다.

82는 플러스 리미트에 가까운 쪽으로 설정한 논리적인 위치에 있는지의 여부를 나타내는 플러스 소프트 리미트 신호(+S. LIMIT)를 나타내고 있다.

83은 마이너스 리미트에 가까운 쪽으로 설정한 논리적인 위치에 있는지의 여부를 나타내는 마이너스 소프트 리미트 신호(-S. LIMIT)를 나타내고 있다.

84는 상기 조작부(80)로부터 입력한 토크 제한치 이내에서 동작하고 있는지의 여부를 나타내는 토크 제한 실시 신호(T_LIM)를 나타내고 있다.

85는 상기 조작부(80)로부터 입력한 지정 속도 이내에서 동작하고 있는지의 여부를 나타내는 속도 제한 실시 신호(V_LIM)를 나타내고 있다.

86은 상기 조작부(80)로부터 입력한 지정 속도와 일치하고 있는지의 여부를 나타내는 속도 일치 신호(V_CMP)를 나타내고 있다.

또한, 87은 제로 속도 검출 상태를 나타내는 제로 속도 검출 신호(ZSPD)를 나타내고 있다.

도 4의 (A)의 상기 알람 정보 표시 윈도우(75)에서는, 상기 +LIMIT(76)만이 점등하고 있고, 이것은 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 상기 보트(26) 방향으로 오버런(over run)한 것에 따른 정지를 나타내고 있다.

도 4의 (B)의 상기 알람 정보 표시 윈도우(75)에서는, 상기 +LIMIT(76)와 상기 VIB. SNS78이 점등하고 있고, 이것은 웨이퍼(18)의 반송 송도가 너무 빠른 것에 따른 진동, 혹은 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)가 어딘가에 충돌한 것에 따른 진동이 진동 검지 센서에 의해 검지된 것에 따른 정지를 나타내고 있다.

도 4의 (C)의 상기 알람 정보 표시 윈도우(75)에서는, 상기 +LIMIT(76)와 상기 T_LIM(84)가 점등하고 있고, 이것은 상기 웨이퍼 반송 기구(24)가 상기 조작부(80)로부터 입력한 토크 제한치를 초과한 범위에서 동작한 것에 따른 정지를 나타내고 있다.

한편, 도 4의 (B), 도 4의 (C)에서도, 상기 +LIMIT76가 점등하고 있는 것은, 상기 상태 검출 센서(68)가 이상을 검출했을 때, 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 가장 빠르게 정지시키기 위한 것이다.

다음에, 도 5에서, 웨이퍼(18)의 반송 처리의 전(前)단계에서의 상기 조작부(80)로부터의 파라미터 설정의 흐름을 플로우 차트를 이용하여 설명한다.

상기 조작부(80)로부터 반송 기구의 파라미터 편집을 실행함으로써, 상기 데이터 격납 수단(44)에 격납되어 있는 파라미터 편집 프로그램이 기동되고, 상기 모니터(73)에 파라미터 편집 화면이 표시된다.

STEP:01 상기 입력 디바이스(72)에 의해, 상기 모니터(73)로부터 축계(軸系) 파라미터 편집을 선택하고, 파라미터 편집 메뉴 화면으로 전환한다.

STEP:02 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하고, 반송 기구 선택 화면으로 전환한다.

STEP:03 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택함으로써, 상기 모니터(73)에는 상기 포드 반송 장치(15), 상기 웨이퍼 반송 기구(24), 상기 보트 엘리베이터(32)의 3 개의 반송 기구의 이미지 화상이 표시됨과 동시에, 상기 이미지 화상에는 각 반송 기구를 소정의 방향으로 구동시키는 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64), 예를 들면 상기 포드 반송 기구(15)라면 CX축이나 CZ축 등의 동작축, 상기 웨이퍼 반송기구(24)라면 X축이나 Y축 등의 동작축이 상기 이미지 화상 속에 표시되어 있고, 상기 이미지 화상으로부터 파라미터 편집을 수행하는 반송 기구의 대상축이 선택 가능하게 되어 있다. 이하, 일례로서 상기 웨이퍼 반송 기구(24)의 X축을 선택한 것으로 한다.

STEP:04 상기 모니터(73)에는, 선택한 X축 방향으로 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 구동시키는 상기 제2 동작 액추에이터(61)를 제어하고, 파일로서 상기 기억부(43)에 격납되어 있는 파라미터 편집용의 파일명이 표시되어 있고, 표시되어 있는 파일로부터 편집을 수행하는 파일이 선택된다.

STEP:05 선택한 파일이 전개되고, 상기 모니터(73)에 표시되면, 제어하는 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 X축에 대해서, 토크 제어를 편집하는 항목이 선택된다.

STEP:06 토크 제어를 편집하는 항목이 선택되면, 상기 제2 동작 액추에이터(61)에 대해서 0:기능 없음, 1:+방향 이동시 제한 있음, 2:-방향 이동시 제한 있음, 3:±방향 이동 시 제한 있음의 4 개 중에서 하나가 선택된다. 혹은, 0부터 3까지의 수치가 입력된다.

STEP:07 상기의 4 개 중에서 1 개가 선택되면, 상기 제2 동작 액추에이터(61)에 대해서 목표 위치, 반송 기구를 구동시키는 속도, 가속도, 감속도, 토크의 제한치 등의 파라미터(도 8 참조)가 편집되고, 반송 처리의 전단계에서의 파라미터 설정이 완료된다.

도 8에 도시되어 있는 것은, 토크 제어의 유무나 진동 센서 검지 기능의 유무 등을 각 동작 액추에이터에 설정하는 설정 화면이며, 도 8의 (A)는 토크 제어를 유효로 하는지 무효로 하는지의 항목 등을 설정하는 토크 제어 설정 화면(91)의 일례이고, 도 8의 (B)는 토크 제어치 등을 설정하는 토크 제어치 설정 화면(92)의 일례로 되어 있다. 한편, 도 8에서는 토크 제어의 유무의 설정과, 토크 제어치의 설정을 다른 화면에서 수행하고 있는데, 이들의 설정을 1 개의 화면에서 수행해도 좋음은 말할 나위도 없다.

토크 제어의 설정을 수행할 때에는, 우선 상기 토크 제어 설정 화면(91)에 표시된 설정 항목 중에서 토크 제한 기능의 유무(93)를 선택하고, 설정치로 0~3까지의 수치를 입력하거나, 혹은 0~3까지의 숫자를 선택하여 지정한다. 토크 제한을 무효로 하는 경우, 즉 토크 제한 기능 없음으로 하는 경우에는 0을 설정하고, 토크 제어를 유효로 하는 경우에는 1~3까지 중에서 어떤 수치를 설정한다.

토크 제한 기능의 유무의 설정이 완료되면, 상기 토크 제어치 설정 화면(92)으로 화면이 전환되고, 상기 토크 제어치 설정 화면(92)에 표시된 항목 중에서 상기 토크 제어 설정 화면(91)에서의 설정과 대응한 항목, 즉 1을 선택한 경우에는 정전(正轉) 토크 제한치(94)를 선택하고, 2를 설정한 경우에는 역전(逆轉) 토크 제한치(95)를 선택하고, 3을 설정한 경우에는 상기 정전 토크 제한치(94)과 상기 역전 토크 제한치(95) 양쪽을 선택한다. 한편, 토크 제한치의 항목이 2 개로 나뉘어져 있는 것은, 정부(正負)(±) 방향의 각각의 토크에 대해서 제한을 가하도록 하기 위한 것이다.

상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)는, X축 방향으로 직동 가능, Y축 방향으로 회전 가능, 또한 Z축 방향으로 승강 가능하게 되어 있고, 이 중 X축은 수평 방향으로 웨이퍼 재치 플레이트(25)를 직동하는 방향의 동작을 조정하도록 되어 있다. 이하, X축의 토크 제한을 수행한 경우에 대해서 설명한다.

예를 들면, 웨이퍼 디스차지(wafer discharge) 시의 동작에서는, 상기 보트(26)에 보지되어 있는 웨이퍼(18)를 가지러 갈 때의 속도와, 상기 웨이퍼 재치 플레이트(25)에 웨이퍼(18)를 보지한 상태에서 웨이퍼(18)를 상기 보트(26)로부터 취출할 때의 속도는 다른 설정이 되어 있다. 따라서, 토크 제한치에 대해서도 다른 설정이 되어 있는 것이 바람직하고, 또한 웨이퍼(18)를 보지하지 않는 상태에서의 동작에서는 토크 제한을 유효로 하고, 웨이퍼(18)를 보지하고 있는 상태에서의 동작에서는 토크 제한을 무효로 하는 등, 같은 축이라도 동작의 방향으로 토크 제한의 설정을 다른 것으로 하는 것이 가능하다.

상기 설정은 Y축이나 Z축에 대해서도 동일하게 수행할 수 있고, 각 축에 대해서 세세한 설정이 가능하게 되기 때문에, 토크에 기인하는 불필요한 에러를 억지(抑止)할 수 있다.

다음에, 도 6을 이용하여, 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 X축의 파라미터 설정 후의 반송 처리의 흐름에 대해서 설명한다.

STEP:11 파라미터 설정 후, 상기 조작부(80)로부터 반송 처리 실행의 동작 지시가 입력되어 상기 기억부(43)에 격납되어 있는 반송 프로그램이 기동하고, 상기 반송 프로그램으로부터의 지시에 따라서 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 구동하는 상기 제2 동작 액추에이터(61)를 제어하는 동작 제어 프로그램이 실행됨으로써 반송 처리가 개시(開始)된다.

STEP:12 상기 제2 동작 제어부(56)가, 동작 제어 프로그램에 따라서, 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 구동시키는 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 X축이 토크 제어를 유효로 한 축인지의 여부를 판별한다.

STEP:13 상기 제2 동작 제어부(56)가, 상기 제2 동작 액추에이터(61)에 대해서 X축 방향의 동작 지시를 수행한다. 이 때, 상기 제2 동작 액추에이터(61)에 대해서 높은 부하가 걸린 경우라도, 설정된 파라미터에 따라 반송 프로그램으로부터의 지시에 따라서 처리가 속행(續行)된다.

STEP:14 상기 제2 동작 제어부(56)는, 파라미터 설정 시에 설정한 토크 제한치에 따라서 구동하도록, 상기 제2 동작 액추에이터(61)에 대해서 X축 방향의 동작 지시를 수행한다.

STEP:15 동작 처리 중, 상기 제2 동작 액추에이터(61)는, 상술한 정지 원인이 되는 11항목에 대해서, 상기 상태 검출 센서(68)에 의해 상시(常時) 이상의 유무를 감시받고 있고, 상기 상태 검출 센서(68)는, 이상이 발생했는지의 여부를 판별하고 있다.

STEP:16 상기 제2 동작 액추에이터(61)에 설치된 상기 상태 검출 센서(68)가, 어떠한 이상을 검출했을 경우, 상기 상태 검출 센서(68)로부터 알람 신호가 출력된다.

STEP:17 상기 상태 검출 센서(68)로부터 출력된 알람 신호는, 상기 제2 동작 액추에이터(61)를 제어하는 상기 제2 동작 제어부(56)를 개재하여 상기 반송 제어부(39)에 통지되고, 상기 반송 제어부(39)는 상기 알람 신호를 수신하여 이상이 검지된 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 동작 제어 처리를 중단하고, 상기 웨이퍼 반송 기구(24)를 정지시킨다. 한편, 이상이 검출됐을 때에 알람 신호(이상 시의 검출 결과)뿐 아니라, 상기 제2 동작 제어부(56) 내에 일시적으로 보존되어 있던 검출 결과도 포함하여 알람 신호로서 통지되는 경우도 있다.

STEP:18 상기 상태 검출 센서(68)로부터 출력된 알람 신호는, 상기 제2 동작 제어부(56), 상기 반송 제어부(39)를 개재하여 상기 주제어부(41)에 통지되고, 상기 주제어부(41)는, 상기 알람 신호의 수신에 연동하여 상기 데이터 격납 수단(44)에 격납되어 있는 상기 알람 정보 표시 프로그램을 기동하고, 상기 알람 정보 표시 프로그램은 상기 모니터(73)에 상기 상태 검출 센서(68)가 검출한 정지 원인의 내용을 표시한다(도 4 참조).

STEP:19 상기 반송 제어부(39)는, 동작 제어 처리의 중단에 수반하여 반송 처리를 중단하고, 반송 처리를 종료시킨다. 또한, 파라미터 설정 시에 토크 제어를 무효로 한, 혹은 토크 제어를 유효로 했는데, 상기 상태 검출 센서(68)가 이상을 검출하지 못했을 경우, 상기 제2 동작 액추에이터(61)는, 반송 프로그램의 지시대로 상기 제2 동작 제어부(56)에 의해 제어되며, 그에 따라 동작 제어 처리가 종료되고 반송 처리가 완료된다.

한편, STEP:04 ~ STEP:07, STEP:11 ~ STEP:19에 있어서, 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 X축의 파라미터 설정에 대해서 설명했는데, 다른 동작 액추에이터, 다른 동작축의 파라미터 설정에 있어서도, 상기 제2 동작 액추에이터(61)의 X축과 동일하게 설정 가능한 것은 말할 나위도 없다.

상술한 바와 같이, 본 발명은, 상기 포드 반송 장치(15), 상기 웨이퍼 반송 기구(24), 상기 보트 엘리베이터(32)의 각 반송 기구를, 소정의 축 방향으로 구동시키는 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)마다 토크 제한 기능의 유무를 선택 가능하게 함으로써, 불필요한 토크 제어에 의한 동작 제어 처리의 정지를 방지할 수 있다.

또한, 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)에 의해 이상이 검출될 때, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)의 동작 제어 처리가 중단되고, 상기 각 반송 기구가 정지한 경우에는, 상기 각 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)마다 설치된 복수의 센서로 이루어지는 상기 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)에 의해 상세한 정지 원인이 검출되며, 검출된 정지 원인을 상기 주제어부(41)에 피드백함으로써, 반송 제어부(39)가 각 동작 제어부(55, 56, 57)로부터 수집하는 데이터 수집 주기와 각 동작 제어부(55, 56, 57)가 각 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)로부터 수신하는 주기가 다른 경우라도 상세하게 적절한 알람 정보를 상기 모니터(73)로 표시할 수 있다. 또한, 각 동작 제어부(55, 56, 57)에 메모리를 설치하고, 각 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)에 대응하는 각 상태 검출 센서(65, 66, 67, 68, 69, 70, 71)로부터의 검출 결과를 일시적으로 보존해 둠으로써, 이들의 보존된 검출 결과도 포함하여 알람 정보로서 통지하도록 하면, 이상(異常)의 요인을 조사하는 데 더욱 도움이 된다.

또한, 상기 기판 처리 장치(1)의 상기 조작부(80)로부터 파라미터의 설정을 수행함으로써, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)의 조정을 위해 객처의 클린 룸에 조정 치구를 가지고 들어갈 필요가 없어지고, 또한 파라미터의 조정도 용이하게 됨으로써, 상기 동작 액추에이터(58, 59, 60, 61, 62, 63, 64)의 토크 제어의 유무나 토크 제한치의 설정이나 변경의 노력을 대폭으로 저감할 수 있다.

한편, 도 7에 도시하는 바와 같이, 상기 기판 처리 장치(1)의 제어 장치(37)를 상기 LAN 등의 통신 수단을 개재하여 관리 장치(90)인 호스트 컴퓨터에 접속함으로써, 상기 기판 처리 장치(1)를 원격 조작할 수 있다. 즉, 본 실시예에서는, 기판 처리 장치(1)의 주제어부(41)에 접속되는 모니터(73)에 표시시켜, 각종 반송 기구의 설정을 수행했는데, 이러한 기능을 관리 장치(90)에 부여하여, 본 발명을 적용시킬 수 있다. 또한 상기 호스트 컴퓨터에 복수의 상기 기판 처리 장치(1)를 접속함으로써, 상기 기판 처리 장치(1) 간의 파라미터 비교가 가능하게 되고, 파라미터의 관리가 용이하게 된다.

한편, 본 발명의 기판 처리 장치를 이용한 성막 처리에는, 예를 들면 CVD, PVD, 산화막, 질화막을 형성하는 처리나, 금속을 포함하는 막을 형성하는 처리 등을 포함한다.

또한, 본 발명의 기판 처리 장치는, 반도체 제조 장치뿐 아니라, LCD 장치와 같은 유리 기판을 처리하는 장치에도 적용할 수 있고, 종형 기판 처리 장치뿐 아니라, 매엽식(枚葉式)의 기판 처리 장치나 횡형의 처리로를 갖는 기판 처리 장치에도 적용할 수 있다. 더욱이, 노광(露光) 장치나 리소그래피(lithography) 장치, 도포(塗布) 장치 등의 다른 기판 처리 장치에 대해서도 마찬가지로 적용할 수 있는 것은 말할 나위도 없다.

<부기>

또한, 본 발명은 이하의 실시 형태를 포함한다.

(부기 1) 적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 센서의 검출 조건과, 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 유무나 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 설정 화면 상에서의 설정이 종료되면, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치를 제공한다.

(부기 2) 상기 설정 화면은, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다에 토크 제한에 관한 정보를 설정 가능한 부기 1의 기판 처리 장치를 제공한다.

(부기 3) 상기 반송 제어 모듈은, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구가 구비하는 각종 센서의 검지 결과를 상기 반송계 컨트롤러에 보고하는 부기 1의 기판 처리 장치를 제공한다.

(부기 4) 조작 화면으로부터 소정의 레시피나 파라미터를 포함하는 파일을 편집, 실행을 수행하는 공정과, 제어부에 접속된 반송계 컨트롤러가 상기 조작 화면으로부터 편집, 실행된 상기 파일에 근거하여 반송 제어 모듈에 동작 지시를 수행하는 공정과, 상기 반송 제어 모듈이 상기 반송계 컨트롤러로부터의 동작 지시와 미리 통지되어 있는 설정 정보로부터 기판 반송 기구를 제어하는 공정과, 제어된 상기 기판 반송 기구가 기판을 반송하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조 방법을 제공한다.

(부기 5) 적어도 토크 제어의 유무나 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보를 설정하기 위한 화면이나, 각종 기판 반송 기구나 각종 기판 처리 기구의 상태를 모니터하기 위한 화면을 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 조작 화면으로부터의 지시에 따라, 기판을 반송하도록 제어하는 반송계 컨트롤러를 구비하는 제어부를 갖는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치와 통신 가능하게 접속된 관리 장치를 구비하고, 상기 관리 장치는, 통신 수단을 개재하여 상기 기판 처리 장치의 원격 조작이 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템을 제공한다.

1 : 기판 처리 장치 15 : 포드 반송 장치
18 : 웨이퍼 24 : 웨이퍼 반송 기구
32 : 보트 엘리베이터 39 : 반송 제어부
41 : 주제어부 43 : 기억부
44 : 데이터 격납 수단 55 : 제1 동작 제어부
56 : 제2 동작 제어부 57 : 제3 동작 제어부
58~60 : 제1 동작 액추에이터 61~63 : 제2 동작 액추에이터
64 : 제3 동작 액추에이터 65~71 :상태 검출 센서
72 : 입력 디바이스 73 : 모니터
74 : 파라미터 표시 윈도우 75 : 알람 정보 표시 윈도우
80 : 조작부 90 : 관리 장치
91 : 토크 제어 설정 화면 92 : 토크 제어치 설정 화면

Claims

적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고,
상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치로서,
상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서,
복수의 상기 상태 검출 센서 중 진동 센서가 이상을 검지하여 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는 이상 발생 시의 상기 진동 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서,
복수의 상기 상태 검출 센서 중 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상을 검출하는 센서가 이상을 검지하여 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 조작부가 통지된 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상을 검출한 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치
제1항에 있어서,
상기 상태 검출 결과를 나타내는 신호는, 적어도 토크 제한 실시 신호 또는 진동 센서 신호가 포함되는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 설정 화면은, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 토크 제한에 관한 정보를 설정 가능한 기판 처리 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치에 접속 가능한 관리 장치를 구비하고,
상기 관리 장치는 통신 수단을 개재하여 원격 조작이 가능한 기판 처리 시스템.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 가지며, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치로서,
상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과 중 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구와 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부와, 상기 기판 반송 기구를 제어하는 반송계 컨트롤러를 포함하는 제어부를 구비하고, 상기 조작부는 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖고, 상기 반송계 컨트롤러는 상기 조작부로부터의 지시에 근거하여 반송 제어 모듈에 상기 기판 반송 기구의 동작을 지정하고, 상기 반송 제어 모듈은 상기 조작부로부터 지정된 지시와 상기 토크 제한에 관한 정보로부터 상기 기판 반송 기구를 제어하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로서,
상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 기판 반송 기구나 상기 기판 처리 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법.
제8항에 있어서,
제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 토크 제한에 관한 정보를 설정 가능한 기판 처리 장치의 표시 방법.
제8항에 있어서,
복수의 상기 상태 검출 센서 중 진동 센서가 이상을 검지하여 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는 이상 발생 시의 상기 진동 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법.
제8항에 있어서,
복수의 상기 상태 검출 센서 중 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상을 검출하는 센서가 이상을 검지하여 상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 조작부는, 상기 조작부가 통지된 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상을 검출한 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 상기 조작 화면에 점등 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치의 파라미터 설정 방법으로서,
제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 토크 제한에 관한 정보를 설정하는 설정 공정을 포함하고,
상기 설정 공정은,
상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 공정을 포함하는 기판 처리 장치의 파라미터 설정 방법.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치의 표시 방법으로서,
제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 상기 토크 제한에 관한 정보를 설정하는 설정 화면을 표시하는 표시 공정을 포함하고,
상기 표시 공정은,
상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 상기 설정 화면을 표시하는 공정을 포함하는 기판 처리 장치의 표시 방법.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 상기 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부에서 실행되는 파라미터 편집 프로그램을 기록하는 컴퓨터를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 조작부는, 상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 처리와, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 처리를 포함하는 상기 파라미터 편집 프로그램을 실행하는 것에 의해, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 상기 토크 제한에 관한 정보를 편집하는 기판 처리 장치.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 편집하는 화면을 구비하고, 적어도 기판 반송 기구에 대한 토크 제어의 기능 유무 정보나 토크 제어 기능 사용 시의 토크 제어치를 포함하는 토크 제한에 관한 정보가 설정되는 설정 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치에서 실행되는 파라미터 편집 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독가능한 기록매체로서,
상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 처리와, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 처리와, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 상기 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 처리를 포함하고, 제어 대상인 상기 기판 반송 기구의 축마다 상기 토크 제한에 관한 정보를 편집하는 파라미터 편집 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체.
조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 설정하는 설정 화면을 표시하는 조작부를 구비한 기판 처리 장치의 파라미터 설정 방법으로서,
상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 공정을 포함하는 파라미터 설정 방법.
조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 설정하는 설정 화면을 표시하는 조작부를 구비한 기판 처리 장치에서 실행되는 파라미터 편집 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체로서,
상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 공정을 포함하는 파라미터 편집 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
조작 화면 상에서 편집 조작을 수행하도록 각 파라미터를 설정하는 설정 화면을 표시하는 조작부를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 조작부는, 상기 조작 화면 상에서 파라미터 편집 화면으로부터 축계 파라미터 편집을 선택하여 파라미터 편집 메뉴 화면을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 메뉴 화면으로부터 동작 파라미터 편집을 선택하여 반송 기구 선택 화면을 표시하는 공정과, 상기 반송 기구 및 상기 반송 기구의 대상축을 선택하여 파라미터 편집 파일을 표시하는 공정과, 상기 파라미터 편집 파일 중 편집 대상의 파일을 선택하고, 적어도 토크 제한 기능과 진동 센서 검지 기능의 유무를 설정하는 공정을 포함하는 파라미터 편집 프로그램을 실행하는 기판 처리 장치.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치의 이상 표시 방법으로서,
각 기판 반송 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 공정과, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 상기 조작부에 통지하는 공정과, 상기 조작부가 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 표시하는 공정을 포함하고,
상기 조작부는, 상기 이상을 검출한 상태 검출 센서 중, 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 통지하고, 통지된 상기 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 점등 표시하는 기판 처리 장치에 있어서의 이상 표시 방법.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부를 구비한 기판 처리 장치에서 실행되는 프로그램을 기록하는 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체로서,
각 기판 반송 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 처리와, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 상기 조작부에 통지하는 처리와, 상기 조작부가 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 표시하는 처리를 포함하고,
상기 이상을 검출한 상태 검출 센서 중, 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 통지하고, 통지된 상기 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 점등 표시하는 프로그램을 기록하는 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
적어도 기판을 반송하는 기판 반송 기구나 기판을 처리하는 기판 처리 기구의 상태를 표시하는 조작 화면을 갖는 조작부에서 실행되는 프로그램을 기록하는 컴퓨터를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 조작부는,
각 기판 반송 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 처리와, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 상기 조작부에 통지하는 처리와, 상기 조작부가 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 표시하는 처리를 포함하는 프로그램을 실행하는 것에 의해, 상기 이상을 검출한 상태 검출 센서 중, 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 통지하고, 통지된 상기 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 점등 표시하는 기판 처리 장치.
각 기판 반송 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 공정과, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 통지하는 공정과, 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 표시하는 공정을 포함하는 이상 표시 방법으로서,
상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 이상을 검출한 상태 검출 센서 중, 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 통지하고, 통지된 상기 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 점등 표시하는 이상 표시 방법.
각 기판 반송 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 처리와, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 통지하는 처리와, 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 표시하는 처리를 포함하는 프로그램을 실행하는 기판 처리 장치로서,
상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 이상을 검출한 상태 검출 센서 중, 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 통지하고, 통지된 상기 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 점등 표시하는 기판 처리 장치.
각 기판 반송 기구의 상태를 검출하는 상태 검출 센서에 의해 이상을 검출하는 처리와, 이상 발생 시에 상기 상태 검출 센서가 검출 결과를 포함하는 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보를 통지하는 처리와, 통지된 상기 기판 반송 기구의 정지 원인 정보에 포함되는 정지 원인을 나타내는 신호를 조작 화면에 표시하는 처리를 포함하는 프로그램을 기록하는 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체로서,
상기 기판 반송 기구가 정지했을 때, 상기 이상을 검출한 상태 검출 센서 중, 상기 기판 반송 기구의 토크 제한 이상 또는 진동 센서에 의한 이상을 검지한 상태 검출 센서의 검출 결과를 통지하고, 통지된 상기 상태 검출 센서의 검출 결과를 나타내는 신호를 점등 표시하는 기록 매체.