KR101085727B1 - 임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 - Google Patents
임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101085727B1 KR101085727B1 KR1020100048647A KR20100048647A KR101085727B1 KR 101085727 B1 KR101085727 B1 KR 101085727B1 KR 1020100048647 A KR1020100048647 A KR 1020100048647A KR 20100048647 A KR20100048647 A KR 20100048647A KR 101085727 B1 KR101085727 B1 KR 101085727B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- circuit board
- printed circuit
- embedded printed
- insulating layer
- cavity
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000011161 development Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 28
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 28
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 17
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 12
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 6
- 125000001731 2-cyanoethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C([H])([H])C#N 0.000 claims description 5
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 claims description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 5
- -1 imidazole compound Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 4
- ATMLPEJAVWINOF-UHFFFAOYSA-N acrylic acid acrylic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C ATMLPEJAVWINOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 2
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 abstract 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 abstract 1
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 abstract 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 44
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 3
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000013036 cure process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4697—Manufacturing multilayer circuits having cavities, e.g. for mounting components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/182—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
- H05K1/185—Components encapsulated in the insulating substrate of the printed circuit or incorporated in internal layers of a multilayer circuit
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0017—Etching of the substrate by chemical or physical means
- H05K3/0023—Etching of the substrate by chemical or physical means by exposure and development of a photosensitive insulating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/11—Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
- H05K2203/1105—Heating or thermal processing not related to soldering, firing, curing or laminating, e.g. for shaping the substrate or during finish plating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
Description
도 6 내지 도 11은 본 발명에 의한 임베디드 인쇄회로기판의 제 2 실시예를 나타내는 단면도이다.
10b : 동박층 20, 300 : 캐비티
30, 400 : 칩 40 : 회로층
100 : 코아층 500 : 전극 패턴
Claims (16)
- 캐비티가 형성된 절연층;
상기 캐비티에 실장된 칩; 및
상기 절연층 상에 형성된 회로층;
을 포함하며,
상기 절연층은 광감응성 모노머 및 광개시제를 포함하는 감광성 조성물로 형성되는 임베디드 인쇄회로기판.
- 제 1 항에 있어서,
상기 캐비티는,
노광 및 현상 공정을 통해 형성되는 임베디드 인쇄회로기판.
- 제 1 항에 있어서,
상기 절연층은,
나프탈렌계 에폭시 수지 및 고무 변성형 에폭시 수지를 포함하는 복합 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 무기 충전제를 포함하는 수지 조성물을 포함하는 임베디드 인쇄회로기판.
- 제 3 항에 있어서,
상기 경화제는,
페놀 노블락, 비스페놀 노블락 및 이들의 혼합물로 이루어진 군 중 어느 하나 이상의 화합물인 임베디드 인쇄회로기판.
- 제 3 항에 있어서,
상기 경화촉진제는,
이미다졸계 화합물이며, 2-메틸 이미다졸, 1-(2-시아노에틸)-2-알킬 이미다졸, 2-페닐 이미다졸 및 이들의 혼합물로 이루어진 군 중 어느 하나 이상의 화합물인 임베디드 인쇄회로기판.
- 제 3 항에 있어서,
상기 무기 충전제는,
그라파이트(Graphite), 카본블랙, 실리카 및 그레이(Clay)로 이루어진 군 중 어느 하나 이상의 무기물인 임베디드 인쇄회로기판.
- 제 1 항에 있어서,
상기 광감응성 모노머는,
아크릴레이트(Acrylate) 수지를 포함하는 임베디드 인쇄회로기판.
- 감광성 조성물을 포함하는 절연층을 형성하는 단계;
상기 절연층 상에 감광성 레지스트를 형성한 후 상기 감광성 레지스트를 노광 및 현상 공정으로 캐비티를 형성하는 단계;
캐비티에 칩을 배치하는 단계; 및
칩이 배치된 절연층 상에 도금층을 형성하고, 도금층을 식각하여 패턴을 형성하는 단계;
를 포함하는 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,
상기 절연층의 형태는,
RCC, 빌드업 필름(Bulid Up Film) 및 CCL 형태 중 어느 하나인 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,
상기 절연층은 광감응성 모노머 및 광개시제를 포함하는 감광성 조성물로 형성되는 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 절연층은,
나프탈렌계 에폭시 수지 및 고무 변성형 에폭시 수지를 포함하는 복합 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 무기 충전제를 포함하는 수지 조성물을 포함하는 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 11 항에 있어서,
상기 경화제는,
페놀 노블락, 비스페놀 노블락 및 이들의 혼합물로 이루어진 군 중 어느 하나 이상의 화합물인 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 11 항에 있어서,
상기 경화촉진제는,
이미다졸계 화합물이며, 2-메틸 이미다졸, 1-(2-시아노에틸)-2-알킬 이미다졸, 2-페닐 이미다졸 및 이들의 혼합물로 이루어진 군 중 어느 하나 이상의 화합물인 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 11 항에 있어서,
상기 무기 충전제는,
그라파이트(Graphite), 카본블랙, 실리카 및 그레이(Clay)로 이루어진 군 중 어느 하나 이상의 무기물인 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,
상기 광감응성 모노머는,
아크릴레이트(Acrylate) 수지를 포함하는 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
- 감광성 조성물을 포함하는 절연층을 형성하는 단계;
상기 절연층 상에 마스크 패턴을 형성하고, 상기 마스크 패턴이 형성된 상기 절연층을 노광 및 현상 공정으로 캐비티를 형성하는 단계;
캐비티에 칩을 배치하는 단계; 및
칩이 배치된 절연층 상에 도금층을 형성하고, 도금층을 식각하여 패턴을 형성하는 단계;
를 포함하는 임베디드 인쇄회로기판 제조 방법.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100048647A KR101085727B1 (ko) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 |
US13/064,986 US20110290540A1 (en) | 2010-05-25 | 2011-04-29 | Embedded printed circuit board and method of manufacturing the same |
JP2011104071A JP2011249792A (ja) | 2010-05-25 | 2011-05-09 | 埋め込み印刷回路基板及びその製造方法 |
JP2013011873A JP2013093614A (ja) | 2010-05-25 | 2013-01-25 | 埋め込み印刷回路基板及びその製造方法 |
JP2013011853A JP2013093613A (ja) | 2010-05-25 | 2013-01-25 | 埋め込み印刷回路基板の製造方法 |
US14/495,513 US20150022984A1 (en) | 2010-05-25 | 2014-09-24 | Embedded printed circuit board and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100048647A KR101085727B1 (ko) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101085727B1 true KR101085727B1 (ko) | 2011-11-21 |
Family
ID=45398049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100048647A KR101085727B1 (ko) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101085727B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101472633B1 (ko) * | 2012-10-16 | 2014-12-15 | 삼성전기주식회사 | 하이브리드 적층기판, 그 제조방법 및 패키지 기판 |
KR101609268B1 (ko) | 2014-02-10 | 2016-04-20 | 삼성전기주식회사 | 임베디드 기판 및 임베디드 기판의 제조 방법 |
KR20160109810A (ko) | 2015-03-13 | 2016-09-21 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
KR20160122437A (ko) * | 2015-04-14 | 2016-10-24 | 엘지이노텍 주식회사 | 임베디드 인쇄회로기판 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002084063A (ja) | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Rohm Co Ltd | 電子部品の実装方法、およびこの方法によって製造された電子回路装置 |
JP2003152304A (ja) | 2000-12-27 | 2003-05-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
WO2007043714A1 (ja) | 2005-10-14 | 2007-04-19 | Ibiden Co., Ltd. | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
WO2007126090A1 (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Nec Corporation | 回路基板、電子デバイス装置及び回路基板の製造方法 |
-
2010
- 2010-05-25 KR KR1020100048647A patent/KR101085727B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002084063A (ja) | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Rohm Co Ltd | 電子部品の実装方法、およびこの方法によって製造された電子回路装置 |
JP2003152304A (ja) | 2000-12-27 | 2003-05-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
WO2007043714A1 (ja) | 2005-10-14 | 2007-04-19 | Ibiden Co., Ltd. | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
WO2007126090A1 (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Nec Corporation | 回路基板、電子デバイス装置及び回路基板の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101472633B1 (ko) * | 2012-10-16 | 2014-12-15 | 삼성전기주식회사 | 하이브리드 적층기판, 그 제조방법 및 패키지 기판 |
KR101609268B1 (ko) | 2014-02-10 | 2016-04-20 | 삼성전기주식회사 | 임베디드 기판 및 임베디드 기판의 제조 방법 |
KR20160109810A (ko) | 2015-03-13 | 2016-09-21 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
KR20160122437A (ko) * | 2015-04-14 | 2016-10-24 | 엘지이노텍 주식회사 | 임베디드 인쇄회로기판 |
KR102426528B1 (ko) | 2015-04-14 | 2022-07-29 | 엘지이노텍 주식회사 | 임베디드 인쇄회로기판 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011249792A (ja) | 埋め込み印刷回路基板及びその製造方法 | |
KR100965339B1 (ko) | 전자부품 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
KR100792352B1 (ko) | 패키지 온 패키지의 바텀기판 및 그 제조방법 | |
US20100288535A1 (en) | Electronic component-embedded printed circuit board comprising cooling member and method of manufacturing the same | |
US20090250253A1 (en) | Printed circuit board and manufacturing method thereof | |
KR100859004B1 (ko) | 전자소자 내장형 인쇄회로기판의 제조방법 | |
KR20090130727A (ko) | 전자부품 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
KR102194721B1 (ko) | 인쇄회로기판 및 그 제조 방법 | |
WO2011052399A1 (ja) | 配線板及びその製造方法 | |
KR101085727B1 (ko) | 임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 | |
KR20160090625A (ko) | 전자소자내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
KR101167787B1 (ko) | 임베디드 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 | |
US11882648B2 (en) | Dielectric layer for component carrier with varying material properties | |
KR102691326B1 (ko) | 인쇄회로기판 및 패키지 | |
JP5147843B2 (ja) | 配線基板 | |
JP2008166456A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP2015122472A (ja) | ビルドアップ絶縁フィルム、それを用いた電子部品内蔵型印刷回路基板、及びその製造方法 | |
JP2009111332A (ja) | 印刷回路基板の製造方法 | |
JP7531652B1 (ja) | 回路基板、回路基板の製造方法、及び電子機器 | |
KR100674304B1 (ko) | 경연성 인쇄회로기판의 제조방법 | |
JP5111500B2 (ja) | 配線基板 | |
KR101084776B1 (ko) | 전자소자 내장 기판 및 그 제조방법 | |
KR100658437B1 (ko) | 범프기판를 이용한 인쇄회로기판 및 제조방법 | |
KR20100053761A (ko) | 언클래드를 이용한 임베디드 인쇄회로기판의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 인쇄회로기판 | |
CN105282972A (zh) | 器件内置型印刷电路板、半导体封装及其制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20100525 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20110803 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20111109 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20111115 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20111115 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141001 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20141001 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151005 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20151005 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161004 Year of fee payment: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20161004 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171011 Year of fee payment: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20171011 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181002 Year of fee payment: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20181002 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
PC1903 | Unpaid annual fee |
Termination category: Default of registration fee Termination date: 20200826 |