KR101044875B1 - Copolymer, Resin Composition, Overcoating Film and Process for Forming the Same - Google Patents
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Abstract
본 발명의 조성물은 (a1) 옥실라닐기 또는 옥세타닐기를 갖는 중합성 불포화 화합물, (a2) 1-디에틸프로필메타크릴레이트로 대표되는 특정 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위 및 (a3) 상기 중합 단위(a1), (a2)와는 다른 중합 단위를 함유하여 형성되는 공중합체를 함유한다. 이 조성물은 보존 안정성이 우수하며 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 또한 투명성 및 표면 경도가 높으며, 내열 내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터링성, 내에칭성 등의 각종 내성이 우수한 광 장치용 보호막을 형성하기 때문에 바람직하게 이용된다. The composition of the present invention comprises (a1) a polymerizable unsaturated compound having an oxylalanyl group or an oxetanyl group, a polymerized unit derived from a polymerizable unsaturated compound having a specific structure represented by (a2) 1-diethylpropyl methacrylate, and (a3) A copolymer formed by containing a polymerized unit different from the polymerized units (a1) and (a2). This composition can form a cured film having excellent storage stability, high flatness, high transparency and surface hardness, and excellent optical resistance for various resistances such as heat resistance, acid resistance, alkali resistance, sputtering resistance, and etching resistance. Since a protective film is formed, it is used preferably.
공중합체, 수지 조성물, 광 장치용 보호막 Copolymer, resin composition, protective film for optical devices
Description
본 발명은 공중합체, 수지 조성물, 이 조성물로부터 보호막을 형성하는 방법 및 보호막에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 액정 표시 소자(LCD)용 컬러 필터 및 전하 결합 소자(CCD)용 컬러 필터에 이용되는 보호막을 형성하기 위한 재료로서 바람직한 조성물, 이 조성물을 사용한 보호막의 형성 방법 및 그 조성물로부터 형성된 보호막에 관한 것이다. The present invention relates to a copolymer, a resin composition, a method of forming a protective film from the composition, and a protective film. More specifically, a composition suitable as a material for forming a protective film for use in a color filter for a liquid crystal display device (LCD) and a color filter for a charge coupled device (CCD), a method of forming a protective film using the composition, and a composition formed from the composition It is about a protective film.
[종래기술의 문헌 정보][Documentation information of the prior art]
<특허 문헌 1> 일본 특허 공개 (평)5-78453호 공보<Patent Document 1> Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-78453
<특허 문헌 2> 일본 특허 공개 2001-91732호 공보 <Patent Document 2> Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-91732
<특허 문헌 3> 일본 특허 공개 (평)4-218561호 공보<Patent Document 3> Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-218561
LCD나 CCD 등의 방사선 디바이스는, 그의 제조 공정 중에 용제, 산 또는 알칼리 용액 등에 의한 표시 소자의 침지 처리가 행해지고, 또한 스퍼터링(sputtering)에 의해 배선 전극층을 형성할 때는, 소자 표면이 국부적으로 고온에 노출된다. 따라서, 이러한 처리에 의해서 소자가 열화 또는 손상되는 것을 방 지하기 위해서, 이들 처리에 대하여 내성을 갖는 박막으로 형성된 보호막을 소자의 표면에 설치하는 것이 행해지고 있다. Radiation devices such as LCDs and CCDs are immersed in a display element by a solvent, an acid or an alkaline solution, or the like during its manufacturing process, and when the wiring electrode layer is formed by sputtering, the surface of the element is locally exposed to high temperature. Exposed. Therefore, in order to prevent the element from being deteriorated or damaged by such a treatment, a protective film formed of a thin film resistant to these treatments is provided on the surface of the element.
이러한 보호막은, 이 보호막을 형성해야 할 기체(基體) 또는 하층, 또한 보호막 상에 형성되는 층에 대하여 밀착성이 높은 것, 막 자체가 평활하며 강인한 것, 투명성을 갖는 것, 내열성 및 내광성이 높고, 장기간에 걸쳐 착색, 황변, 백화 등의 변질을 일으키지 않는 것, 내수성, 내용제성, 내산성 및 내알칼리성이 우수한 것 등의 성능이 요구된다. 이들 다양한 특성을 만족시키는 보호막을 형성하기 위한 재료로서는, 예를 들면 글리시딜기를 갖는 중합체를 포함하는 열경화성 조성물이 알려져 있다(일본 특허 공개 (평)5-78453호 공보 및 일본 특허 공개 2001-91732호 공보 참조). Such a protective film has a high adhesiveness with respect to the base or lower layer on which the protective film should be formed, and also a layer formed on the protective film, the film itself is smooth and strong, has transparency, high heat resistance and light resistance, The performance which does not cause deterioration, such as coloring, yellowing, whitening, etc. over the long term, and is excellent in water resistance, solvent resistance, acid resistance, and alkali resistance is calculated | required. As a material for forming the protective film which satisfy | fills these various characteristics, the thermosetting composition containing the polymer which has glycidyl group, for example is known (Unexamined-Japanese-Patent No. 5-78453 and Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-91732). See publication number).
또한, 이러한 보호막을 컬러 액정 표시 장치나 전하 결합 소자의 컬러 필터의 보호막으로서 사용하는 경우에는, 일반적으로 바탕 기판 상에 형성된 컬러 필터에 의한 단차를 평탄화할 수 있는 것이 요구된다. In addition, when using such a protective film as a protective film of the color filter of a color liquid crystal display device or a charge coupling element, it is generally required to be able to planarize the level | step difference by the color filter formed on the base substrate.
또한, 컬러 액정 표시 장치, 예를 들면 STN(Super Twisted Nematic) 방식 또는 TFT(Thin Film Transister) 방식의 컬러 액정 표시 소자에서는, 액정층의 셀 간격을 균일하게 유지하기 위해서 비드상의 스페이서를 보호막 상에 산포한 후에 패널을 접합시키는 것이 행해지고 있다. 그 후에 밀봉재를 열 압착함으로써 액정 셀을 밀봉하게 되지만, 그 때에 가해지는 열과 압력에서, 비드가 존재하는 부분의 보호막이 움푹 패이는 현상이 보이고, 셀 간격이 틀려지는 것이 문제가 되었다. In addition, in a color liquid crystal display device, for example, a color liquid crystal display device of a super twisted nematic (STN) method or a thin film transistor (TFT) method, a bead-shaped spacer is formed on a protective film in order to maintain a uniform cell gap of the liquid crystal layer. After spreading, joining of panels is performed. Thereafter, the liquid crystal cell is sealed by thermocompression bonding of the sealing material. However, the phenomenon that the protective film in the portion where the beads exist is dented by the heat and pressure applied at that time has been a problem, and the cell spacing has become a problem.
특히 STN 방식의 컬러 액정 표시 소자를 제조할 때는, 컬러 필터와 대향 기 판과의 접합 정밀도를 매우 엄밀하게 행해야만 하고, 보호막에는 매우 고도한 단차의 평탄화 성능 및 내열 내압 성능이 요구되고 있다. In particular, when manufacturing the STN type color liquid crystal display device, the bonding accuracy of the color filter and the opposing substrate must be very strictly performed, and a very high leveling leveling performance and heat resistance resistance performance are required for the protective film.
또한, 최근에는 스퍼터링에 의해 컬러 필터의 보호막 상에 배선 전극(인듐 주석 옥시드: ITO 또는 인듐 아연 옥시드: IZO)을 막 형성하고, 강산이나 강알칼리 등으로 ITO 또는 IZO를 패터닝하는 방식도 채용되고 있다. 이 때문에, 컬러 필터 보호막은 스퍼터링시에 표면이 국부적으로 고온에 노출되거나, 수많은 약품 처리가 행해진다. 따라서, 이들 처리에 견디는 것, 및 약품 처리시에 ITO 또는 IZO가 보호막 상에서 박리되지 않도록 배선 전극과의 밀착성도 요구되고 있다. In recent years, a method of forming a wiring electrode (indium tin oxide: ITO or indium zinc oxide: IZO) on the protective film of the color filter by sputtering and patterning ITO or IZO with a strong acid or strong alkali is also employed. have. For this reason, the surface of a color filter protective film is locally exposed to high temperature at the time of sputtering, or many chemical treatments are performed. Therefore, adhesiveness with wiring electrodes is also required to withstand these treatments and to prevent ITO or IZO from peeling off on the protective film during chemical treatment.
이러한 보호막의 형성에는, 간편한 방법으로 경도가 우수한 보호막을 형성할 수 있는 이점이 있는 열경화성 조성물을 사용하는 것이 편리하지만, 상기한 것과 같은 다양한 특성을 발현시키기 위한 보호막 수지 조성물은, 강고한 가교를 형성시키는 반응성이 양호한 가교기 또는 촉매를 가지며, 그렇기 때문에 조성물 자체의 저장 수명이 매우 짧다는 문제가 있으며, 취급이 매우 곤란하였다. 즉, 조성물의 도포 성능 자체가 경시적으로 악화될 뿐 아니라, 도장기의 빈번한 정비, 세정 등이 필요하여 조작시에도 번잡하였다. Although it is convenient to use the thermosetting composition which has the advantage of forming the protective film which is excellent in hardness by the easy method for formation of such a protective film, the protective film resin composition for expressing various characteristics as mentioned above forms strong crosslinking. It has a crosslinking group or catalyst having a good reactivity, and thus has a problem that the shelf life of the composition itself is very short, and handling is very difficult. That is, not only the coating performance itself of the composition deteriorated with time, but also frequent maintenance, cleaning, etc. of the coating machine were necessary, and it was complicated at the time of operation.
투명성 등의 보호막으로서의 일반적인 요구 성능을 만족시킬 뿐 아니라 상기한 바와 같은 여러 성능을 만족시키는 보호막을 간편하게 형성할 수 있고, 또한 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 재료는 아직 알려져 있지 않다. A material which not only satisfies the general required performance as a protective film such as transparency, but also satisfies various performances as described above, can be easily formed, and a material excellent in storage stability as a composition is not yet known.
또한, 일본 특허 공개 (평)4-218561호 공보에는, 도료, 잉크, 접착제, 성형품에 이용되는, 잠재화 카르복실 화합물을 포함하는 열경화성 조성물이 개시되어 있지만, 컬러 필터의 보호막에 대해서는 아무런 개시가 되어 있지 않다. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 4-218561 discloses a thermosetting composition containing a latent carboxyl compound used in paints, inks, adhesives, and molded articles, but no disclosure is made regarding the protective film of the color filter. It is not.
본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것이며, 그의 목적은 표면의 평탄성이 낮은 기체라도 해당 기체 상에 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 투명성 및 표면 경도가 높으며, 내열 내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터링성, 내에칭성 등의 각종 내성이 우수한 광 장치용 보호막을 형성하기 위해 바람직하게 이용되고, 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 조성물, 또한 상기 조성물을 이용한 보호막의 형성 방법, 및 상기 조성물로부터 형성된 보호막을 제공하는 것에 있다. The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and an object thereof is to form a cured film having a high flatness on the substrate even with a gas having a low surface flatness, high transparency and surface hardness, heat resistance, acid resistance, and resistance to heat. A composition which is preferably used to form a protective film for an optical device that is excellent in various resistances such as alkali resistance, sputtering resistance, and etching resistance, and has excellent storage stability as a composition, a method of forming a protective film using the composition, and from the composition It is to provide the formed protective film.
본 발명에 따르면, 본 발명의 상기 목적은 첫째로,〔A-1〕(a1) 옥실라닐기 또는 옥세타닐기를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위 및 (a2) 하기 화학식 01로 표시되는 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위를 함유하여 제조되는 것을 특징으로 하는 공중합체에 의해서 달성된다. According to the present invention, the above object of the present invention is, firstly, a polymerized unit derived from a polymerizable unsaturated compound having [A-1] (a1) an oxylalanyl group or an oxetanyl group and (a2) It is achieved by the copolymer characterized by containing the polymerized unit derived from the polymerizable unsaturated compound which has a structure.
여기서, R은 탄소수 5 이상의 3급 알킬기, 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로 치환된 탄소수 4 이상의 3급 알킬기, 표시된 상기 화학식에 있어서 R과 결합하고 있 는 산소 원자(-O-)에 3급 탄소 원자로 결합하고 있는, 환원 탄소수 3 이상의 시클로알킬기, 또는 표시된 상기 화학식에 있어서 R과 결합하고 있는 산소 원자(-O-)에 3급 탄소 원자로 결합하고 있는, 4원환 이상의 락톤환 또는 락탐환이다. Where R is a tertiary alkyl group having at least 5 carbon atoms, a tertiary alkyl group having at least 4 carbon atoms substituted with an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and a tertiary carbon atom as an oxygen atom (-O-) bonded to R in the above-described formula It is a 4-membered ring or more lactone ring or lactam ring couple | bonded with the cycloalkyl group of 3 or more carbon atoms which are couple | bonded, or the oxygen atom (-O-) couple | bonded with R in the said chemical formula shown with the tertiary carbon atom.
본 발명에 따르면, 본 발명의 상기 목적은 둘째로, 본 발명의 상기 공중합체〔A-1〕을 함유하는 것을 특징으로 하는 수지 조성물(이하,「수지 조성물(α1)」이라 함)에 의해서 달성된다. According to this invention, the said objective of this invention is achieved by the resin composition (henceforth "resin composition ((alpha) 1)") characterized by containing the said copolymer [A-1] of this invention secondly. do.
본 발명에 따르면, 본 발명의 상기 목적은 셋째로,〔A-2〕상기 중합성 불포화 화합물(a1) 및 중합성 불포화 화합물(a3)의 공중합체, 및〔A-3〕상기 중합성 불포화 화합물(a2) 및 중합성 불포화 화합물(a3)의 공중합체를 함유하는 것을 특징으로 하는 수지 조성물(이하,「수지 조성물(α2)」라 함)에 의해서 달성된다. According to the present invention, the above object of the present invention is thirdly [A-2] a copolymer of the polymerizable unsaturated compound (a1) and the polymerizable unsaturated compound (a3), and [A-3] the polymerizable unsaturated compound It is achieved by the resin composition (henceforth "resin composition ((alpha) 2)") containing the copolymer of (a2) and a polymerizable unsaturated compound (a3).
본 발명의 상기 목적은 넷째로, 상기〔A-3〕성분, 및 양이온 중합성 화합물〔B〕를 함유하는 것을 특징으로 하는 수지 조성물(이하,「수지 조성물(α3)」이라 함)에 의해서 달성된다. The said objective of this invention is 4th achieved by the resin composition (henceforth "resin composition ((alpha) 3)") containing the said [A-3] component and a cationically polymerizable compound [B]. do.
본 발명의 상기 목적은 다섯째로, 상기 각 수지 조성물(α1), 수지 조성물(α2), 수지 조성물(α3)을 이용하여 도막을 형성하고, 계속해서 가열 처리하는 것을 특징으로 하는, 컬러 필터의 보호막의 형성 방법에 의해서 달성된다. The said objective of this invention is fifth, The coating film is formed using each said resin composition ((alpha) 1), resin composition ((alpha) 2), and resin composition ((alpha) 3), and it heat-processes, The protective film of the color filter characterized by the above-mentioned. It is achieved by the formation method of.
본 발명의 상기 목적은 여섯째로, 상기 수지 조성물로부터 형성된, 컬러 필터의 보호막에 의해서 달성된다. The said object of this invention is 6th achieved by the protective film of a color filter formed from the said resin composition.
본 발명의 또 다른 목적 및 이점은 이하의 설명으로부터 명백하게 될 것이다. Still other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description.
<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention
이하, 본 발명의 수지 조성물의 각 성분에 대하여 설명한다. Hereinafter, each component of the resin composition of this invention is demonstrated.
공중합체〔A-1〕Copolymer [A-1]
본 발명의 공중합체〔A-1〕은, (a1) 옥실라닐기 또는 옥세타닐기를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위, (a2) 상기 화학식 01로 표시되는 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위 및 (a3) 상기 (a1) 및 (a2)의 중합 단위 이외의, 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위를 함유하여 형성된다. The copolymer [A-1] of the present invention is a polymerized unit derived from a polymerizable unsaturated compound having (a1) an oxylanyl group or an oxetanyl group, and (a2) a polymerizable unsaturated compound having a structure represented by the formula (01). It is formed by containing the polymerization unit derived from (a3), and the polymerization unit derived from a polymerizable unsaturated compound other than the polymerization unit of said (a1) and (a2).
화학식 01 중의 R은 탄소수 5 이상의 3급 알킬기, 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로 치환된 탄소수 4 이상의 3급 알킬기, 표시된 화학식 01에 있어서 R과 결합하고 있는 산소 원자(-O-)에 3급 탄소 원자로 결합되어 있는, 환원 탄소수 3 이상의 시클로알킬기, 또는 표시된 화학식 01에 있어서 R과 결합하고 있는 산소 원자(-O-)에 3급 탄소 원자로 결합하고 있는 4원환 이상의 락톤환 또는 락탐환이다. R in the formula (01) is a tertiary alkyl group having 5 or more carbon atoms, a tertiary alkyl group having 4 or more carbon atoms substituted with an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and an oxygen atom (-O-) bonded to R in the formula (01) as a tertiary carbon atom. It is a 4-membered or more lactone ring or lactam ring couple | bonded with the cycloalkyl group of 3 or more carbon atoms which are couple | bonded, or the oxygen atom (-O-) couple | bonded with R in the formula (01) shown by the tertiary carbon atom couple | bonded together.
R이 탄소수 5 이상의 3급 알킬기 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로 치환된 탄소수 4 이상의 3급 알킬기일 때, 화학식 01은 하기 화학식 1로 표시된다.When R is a C4 or more tertiary alkyl group substituted with a C5 or more tertiary alkyl group or a C1 to C4 alkoxy group, Formula 01 is represented by the following Formula (1).
여기서, R1 및 R2는 서로 독립적으로 탄소수 1 내지 8의 알킬기 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로 치환된 탄소수 1 내지 8의 알킬기이고, R3은 탄소수 2 내지 8의 알킬기 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로 치환된 탄소수 1 내지 8의 알킬기이다. Herein, R 1 and R 2 are each independently an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms substituted with an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and R 3 is an alkyl group having 2 to 8 carbon atoms or 1 to 4 carbon atoms. It is a C1-C8 alkyl group substituted by the alkoxy group.
R이 환원 탄소수 3 이상의 시클로알킬기인 경우, 화학식 01은 하기 화학식 2로 표시된다. When R is a cycloalkyl group having 3 or more carbon atoms, formula 01 is represented by the following formula (2).
여기서, R1의 정의는 상기 화학식 1과 동일하고, n은 1 내지 8의 정수이며, R4, R5, R6 및 R7은 서로 독립적으로 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 알킬기의 말단 또는 측쇄에 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 갖는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 나타내거나, 또는 R4, R5, R6 및 R7은 2개 이상이 결합하여 이들이 결합하고 있는 탄소 원자 및 R1이 결합하고 있는 탄소 원자와 함께 총 환원 탄소수 7 내지 16의 디시클로알칸 또는 트리시클로알칸 구조를 형성할 수도 있되, 단, n=2 내지 8일 때, 복수의 R6끼리 및 R7끼리는 동일할 수도 상이할 수도 있다. Herein, the definition of R 1 is the same as that of Chemical Formula 1, n is an integer of 1 to 8, R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or C1-C8 alkyl group or C1-C4 alkoxy group which has a C1-C4 alkoxy group in the terminal or side chain of an alkyl group, or R <4> , R <5> , R <6> and R <7> combine two or more To form a dicycloalkane or tricycloalkane structure having a total reduced carbon number of 7 to 16 together with the carbon atom to which they are bonded and the carbon atom to which R 1 is bonded, provided that when n = 2 to 8, a plurality of R 6 and R 7 may be the same or different.
또한, R이 4원환 이상의 락톤환 또는 락탐환인 경우, 상기 화학식 01은 하기 화학식 3으로 표시되는 구조이다. In addition, when R is a 4- or more-membered or more lactone ring or lactam ring, Formula 01 is a structure represented by the following formula (3).
여기서, R1의 정의는 상기 화학식 1과 동일하고, l은 0, 1 또는 2이며, m은 1 내지 4의 정수이고, X는 산소 원자 또는 질소 원자이며, R8, R9, R10 및 R11은 서로 독립적으로 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 알킬기의 말단 또는 측쇄에 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 갖는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기이되, 단 l=2일 때의 2개의 R8 및 2개의 R9, 및 m이 2 내지 4의 정수일 때의 복수의 R10 및 복수의 R11은 동일할 수도 상이할 수도 있다. Herein, the definition of R 1 is the same as that of Formula 1, l is 0, 1 or 2, m is an integer of 1 to 4, X is an oxygen atom or a nitrogen atom, R 8 , R 9 , R 10 and R 11 is independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms at the end or side chain of the alkyl group, or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, provided that two R 8 and two R 9 when l = 2, And a plurality of R 10 and a plurality of R 11 when m is an integer of 2 to 4 may be the same or different.
상기 화학식 1, 2 또는 3 중의 R1, 및 화학식 1 중의 R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 알킬기의 말단 또는 측쇄에 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 갖는 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 나타낸다. 탄소수 1 내지 8의 알킬기로서는, 예를 들면 메틸, 에틸, (이소)프로필, (이소)부틸, (이소)펜틸, (이소)헥실, (이소)헵틸, (이소)옥틸을 들 수 있다. 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로서는, 예를 들면 메톡시, 에톡시, (이소)프로폭시, (이소)부톡시 등을 들 수 있다. R 1 in Formula 1, 2 or 3 and R 2 in Formula 1 represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms at the terminal or side chain of the alkyl group. Examples of the alkyl group having 1 to 8 carbon atoms include methyl, ethyl, (iso) propyl, (iso) butyl, (iso) pentyl, (iso) hexyl, (iso) heptyl, and (iso) octyl. As a C1-C4 alkoxy group, methoxy, ethoxy, (iso) propoxy, (iso) butoxy, etc. are mentioned, for example.
R3은 탄소수 2 내지 8의 알킬기, 또는 알킬기의 말단 또는 측쇄에 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 갖는 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 나타낸다. 탄소수 2 내지 8의 알킬기로서는, 예를 들면 에틸, (이소)프로필, (이소)부틸, (이소)펜틸, (이소)헥실, (이소)헵틸, (이소)옥틸을 들 수 있다. 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로서는, 메톡시, 에톡시, (이소)프로폭시, (이소)부톡시 등을 들 수 있다. R <3> represents a C2-C8 alkyl group or a C1-C8 alkyl group which has a C1-C4 alkoxy group in the terminal or side chain of an alkyl group. Examples of the alkyl group having 2 to 8 carbon atoms include ethyl, (iso) propyl, (iso) butyl, (iso) pentyl, (iso) hexyl, (iso) heptyl, and (iso) octyl. Examples of the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms include methoxy, ethoxy, (iso) propoxy and (iso) butoxy.
화학식 2 중의 환상 구조는 n=1 내지 8의 시클로알칸 구조를 나타낸다. 시클로알칸으로서는 시클로프로판, 시클로부탄, 시클로펜탄, 시클로헥산, 시클로헵탄, 시클로옥탄, 시클로노난, 시클로데칸을 들 수 있다. R4 내지 R7은 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 알킬기의 말단 또는 측쇄에 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 갖는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 나타낸다. 환상 알칸 상의 R6 및 R7은, n=2 이상인 경우, 복수개 갖지만 동일할 필요는 없고, 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 알킬기의 말단 또는 측쇄에 탄소수 1 내지 4의 알콕시기를 갖는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 또는 탄소수 1 내지 4의 알콕시기 중 어느 것일 수도 있다. 탄소수 1 내지 8의 알킬기로서는, 예를 들면 메틸, 에틸, (이소)프로필, (이소)부틸, (이소)펜틸, (이소)헥실, (이소)헵틸, (이소)옥틸 등을 들 수 있다. 탄소수 1 내지 4의 알콕시기로서는, 예를 들면 메톡시, 에톡시, (이소)프로폭시, (이소)부톡시 등을 들 수 있다. The cyclic structure in the formula (2) represents a cycloalkane structure of n = 1 to 8. Cycloalkanes include cyclopropane, cyclobutane, cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane, cyclooctane, cyclononane, and cyclodecane. R <4> -R <7> represents a hydrogen atom or a C1-C8 alkyl group, or a C1-C8 alkyl group which has a C1-C4 alkoxy group in the terminal or side chain of an alkyl group, or a C1-C4 alkoxy group. When n = 2 or more, R <6> and R <7> on a cyclic alkane have two or more, but it does not need to be the same, It has a hydrogen atom or a C1-C8 alkyl group, or a C1-C4 alkoxy group in the terminal or side chain of an alkyl group. Either a C1-C8 alkyl group or a C1-C4 alkoxy group may be sufficient. Examples of the alkyl group having 1 to 8 carbon atoms include methyl, ethyl, (iso) propyl, (iso) butyl, (iso) pentyl, (iso) hexyl, (iso) heptyl, (iso) octyl, and the like. As a C1-C4 alkoxy group, methoxy, ethoxy, (iso) propoxy, (iso) butoxy, etc. are mentioned, for example.
또한, R4 내지 R7은 그 중 2개 이상이 결합하여 이들이 결합하고 있는 탄소 원자 및 R1이 결합하고 있는 탄소 원자와 함께 총 환원 탄소수 7 내지 16의 디시클로알칸 또는 트리시클로알칸 구조를 형성할 수도 있다. 이러한 디시클로알칸 또는 트리시클로알칸으로서는, 예를 들면 2-에틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-2-일기, 2-메틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-2-일기, 1-에틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-1-일기, 1-메틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-1-일기, 3-히드록시트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-1-일기를 들 수 있다. R 4 to R 7 may be bonded to two or more of them to form a dicycloalkane or tricycloalkane structure having 7 to 16 carbon atoms in total together with the carbon atom to which they are bonded and the carbon atom to which R 1 is bonded. You may. Examples of such dicycloalkane or tricycloalkane include 2-ethyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decan-2-yl group and 2-methyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decan-2-yl group. , 1-ethyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decan-1-yl group, 1-methyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decan-1-yl group, 3-hydroxytricyclo [3.3.1.1 3 , 7 ] decane-1-yl group.
화학식 3에 있어서의 R8 내지 R11로서는, R4 내지 R7에 대하여 상기한 기와 동일한 기를 예시할 수 있다. As R <8> -R <11> in General formula (3), the group similar to the group mentioned above with respect to R <4> -R <7> can be illustrated.
X가 산소 원자일 때의 화학식 3 중에서의 락톤환으로서는, 예를 들면 2-에틸-γ-부티로락톤-2-일기, 2-메틸-γ-부티로락톤-2-일기, 2-에틸-γ-부티로락톤-3-일기, 2-메틸-γ-부티로락톤-3-일기, 2-에틸-γ-부티로락톤-4-일기, 2-메틸-γ-부티로락톤-4-일기, 2-에틸-δ-발레로락톤-2-일기, 2-에틸-δ-발레로락톤-2-일기, 2-에틸-δ-발레로락톤-3-일기, 2-메틸-δ-발레로락톤-3-일기, 2-에틸-δ-발레로락톤-4-일기, 2-메틸-δ-발레로락톤-4-일기, 2-에틸-δ-발레로락톤-5-일기 및 2-메틸-δ-발레로락톤-5-일기 등을 들 수 있다. As a lactone ring in General formula (3) when X is an oxygen atom, 2-ethyl- (gamma) -butyrolactone-2-yl group, 2-methyl- (gamma) -butyrolactone-2-yl group, 2-ethyl- γ-butyrolactone-3-yl group, 2-methyl-γ-butyrolactone-3-yl group, 2-ethyl-γ-butyrolactone-4-yl group, 2-methyl-γ-butyrolactone-4- Diary, 2-ethyl-δ-valerolactone-2-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactone-2-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactone-3-yl group, 2-methyl-δ- Valerolactone-3-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactone-4-yl group, 2-methyl-δ-valerolactone-4-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactone-5-yl group and 2-methyl-δ-valerolactone-5-yl group, etc. are mentioned.
또한, X가 질소 원자일 때의 화학식 3 중에서의 락탐환으로서는, 예를 들면 2-에틸-γ-부티로락탐-2-일기, 2-메틸-γ-부티로락탐-2-일기, 2-에틸-γ-부티로락탐-3-일기, 2-메틸-γ-부티로락탐-3-일기, 2-에틸-γ-부티로락탐-4-일기, 2-메틸- γ-부티로락탐-4-일기, 2-에틸-δ-발레로락탐-2-일기, 2-메틸-δ-발레로락탐-2-일기, 2-에틸-δ-발레로락탐-3-일기 및 2-메틸-δ-발레로락탐-3-일기, 2-에틸-δ-발레로락탐-4-일기, 2-메틸-δ-발레로락탐-4-일기, 2-에틸-δ-발레로락탐-5-일기 및 2-메틸-δ-발레로락탐-5-일기 등을 들 수 있다. As the lactam ring in the general formula (3) when X is a nitrogen atom, for example, 2-ethyl-γ-butyrolactam-2-yl group, 2-methyl-γ-butyrolactam-2-yl group, 2- Ethyl-γ-butyrolactam-3-yl group, 2-methyl-γ-butyrolactam-3-yl group, 2-ethyl-γ-butyrolactam-4-yl group, 2-methyl-γ-butyrolactam 4-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactam-2-yl group, 2-methyl-δ-valerolactam-2-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactam-3-yl group and 2-methyl- δ-valerolactam-3-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactam-4-yl group, 2-methyl-δ-valerolactam-4-yl group, 2-ethyl-δ-valerolactam-5- Diary, 2-methyl-δ-valerolactam-5-yl group, and the like.
공중합체〔A-1〕에 있어서 중합성 불포화 화합물(a1)로서는, 옥실라닐기 또는 옥세타닐기 및 중합성 불포화기를 갖는 한 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 옥실라닐기 함유 중합성 불포화 화합물로서는, 예를 들면 아크릴산글리시딜, 메타크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, 아크릴산-3,4-에폭시부틸, 메타크릴산-3,4-에폭시부틸, 아크릴산-6,7-에폭시헵틸, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등을 들 수 있다. In the copolymer [A-1], the polymerizable unsaturated compound (a1) is not particularly limited as long as it has an oxiranyl group or an oxetanyl group and a polymerizable unsaturated group. For example, as an oxiranyl-group containing polymerizable unsaturated compound, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, the glycidyl (alpha)-ethyl acrylate, the glycidyl (alpha) -n-propyl acrylate, alpha-n, for example Glycidyl butyl acrylate, 3,4-epoxy butyl acrylate, methacrylic acid-3,4-epoxy butyl, acrylic acid 6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid 6,7-epoxyheptyl, α-ethyl Acrylic acid-6,7-epoxyheptyl, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether, and the like.
옥세타닐기 함유 중합성 불포화 화합물로서는, 예를 들면 3-메틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-(메트)아크로일옥시메틸옥세탄 등을 들 수 있다. Examples of the oxetanyl group-containing polymerizable unsaturated compound include 3-methyl-3- (meth) acryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3- (meth) acryloyloxymethyloxetane, and the like.
이들 중, 메타크릴산글리시딜, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등이 공중합 반응성, 및 얻어지는 보호막 또는 절연막의 내열성, 표면 경도를 높인다는 점에서 바람직하게 이용된다. Of these, methacrylic acid glycidyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether, and the like are copolymerized. It is preferably used in view of increasing the reactivity and the heat resistance and surface hardness of the protective film or insulating film to be obtained.
공중합체〔A-1〕에 있어서 중합성 불포화 화합물(a2)로서는, 상기 화학식 1, 2 또는 3의 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물인 한 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 화학식 1의 구조를 갖는 중합성 불포화 중합체로서는, 예를 들면 1-디메틸(이소)프로필(메트)아크릴레이트, 1-디메틸(이소)부틸(메트)아크릴레이트, 1-디메틸(이소)옥틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸-1-에틸에틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸-1-에틸(이소)프로필(메트)아크릴레이트, 1-메틸-1-에틸(이소)부틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸-1-에틸(이소)옥틸아크릴레이트, 1-디에틸(이소)프로필(메트)아크릴레이트, 1-디에틸(이소)부틸(메트)아크릴레이트, 1-디에틸(이소)옥틸(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. In the copolymer [A-1], the polymerizable unsaturated compound (a2) is not particularly limited as long as it is a polymerizable unsaturated compound having a structure of the general formula (1), (2) or (3). For example, as a polymerizable unsaturated polymer which has a structure of General formula (1), it is 1-dimethyl (iso) propyl (meth) acrylate, 1-dimethyl (iso) butyl (meth) acrylate, 1-dimethyl (iso), for example. Octyl (meth) acrylate, 1-methyl-1-ethylethyl (meth) acrylate, 1-methyl-1-ethyl (iso) propyl (meth) acrylate, 1-methyl-1-ethyl (iso) butyl (Meth) acrylate, 1-methyl-1-ethyl (iso) octylacrylate, 1-diethyl (iso) propyl (meth) acrylate, 1-diethyl (iso) butyl (meth) acrylate, 1- Diethyl (iso) octyl (meth) acrylate etc. are mentioned.
또한, 화학식 2의 구조를 갖는 중합성 불포화 중합체로서는, 예를 들면 1-메틸시클로프로판(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로부탄(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로헵탄(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로옥탄(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로노난(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로데칸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로프로판(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로부탄(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헵탄(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로옥탄(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로노난(메트)아크릴레이트, 1-메틸시클로데칸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로프로판(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로부탄(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로헵탄(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로옥탄(메트)아크릴레 이트, 1-(이소)프로필시클로노난(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로데칸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로프로판(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로부탄(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로헵탄(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로옥탄(메트)아크릴레이트, 1-(이소)-부틸시클로노난(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로데카닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로프로파닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로부타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로헵타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로옥타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로노나닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)펜틸시클로데카닐(메트)아크릴레이트, Moreover, as a polymerizable unsaturated polymer which has a structure of General formula (2), for example, 1-methylcyclopropane (meth) acrylate, 1-methylcyclobutane (meth) acrylate, 1-methylcyclopentyl (meth) acrylate, 1-methylcyclohexyl (meth) acrylate, 1-methylcycloheptane (meth) acrylate, 1-methylcyclooctane (meth) acrylate, 1-methylcyclononane (meth) acrylate, 1-ethylcyclodecane ( Meth) acrylate, 1-ethylcyclopropane (meth) acrylate, 1-ethylcyclobutane (meth) acrylate, 1-ethylcyclopentyl (meth) acrylate, 1-ethylcyclohexyl (meth) acrylate, 1 -Ethylcycloheptane (meth) acrylate, 1-ethylcyclooctane (meth) acrylate, 1-ethylcyclononane (meth) acrylate, 1-methylcyclodecane (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclo Propane (meth) acrylate, 1- (iso) propyl Cyclobutane (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclopentyl (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclohexyl (meth) acrylate, 1- (iso) propylcycloheptane (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclooctane (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclononane (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclodecane (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclo Propane (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclobutane (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclopentyl (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclohexyl (meth) acrylate, 1 -(Iso) butylcycloheptane (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclooctane (meth) acrylate, 1- (iso) -butylcyclononane (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclodeca Ne (meth) acrylate, 1- (iso) pentylcyclopropaneyl (meth) acrylate, 1- (iso) pentylcyclobutanyl (meth) acrylate ) Acrylate, 1- (iso) pentylcyclopentyl (meth) acrylate, 1- (iso) pentylcyclohexyl (meth) acrylate, 1- (iso) pentylcycloheptanyl (meth) acrylate, 1- ( Iso) pentylcyclooctanyl (meth) acrylate, 1- (iso) pentylcyclononanyl (meth) acrylate, 1- (iso) pentylcyclodecanyl (meth) acrylate,
1-(이소)헥실시클로프로파닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로부타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로헵타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로옥타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로노나닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헥실시클로데카닐(메트)아크릴레이트, 1- (iso) hexylcyclopropanyl (meth) acrylate, 1- (iso) hexylcyclobutanyl (meth) acrylate, 1- (iso) hexylcyclohexyl (meth) acrylate, 1- ( Iso) hexylcycloheptanyl (meth) acrylate, 1- (iso) hexylcyclooctanyl (meth) acrylate, 1- (iso) hexylcyclononanyl (meth) acrylate, 1- (iso) Hexylcyclodecanyl (meth) acrylate,
1-(이소)헵틸시클로프로파닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로부타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로헵틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로헵타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로옥타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)헵틸시클로노나닐(메트)아크릴레 이트, 1-(이소)헵틸시클로데카닐(메트)아크릴레이트, 1- (iso) heptylcyclopropanyl (meth) acrylate, 1- (iso) heptylcyclobutanyl (meth) acrylate, 1- (iso) heptylcycloheptyl (meth) acrylate, 1- (iso) heptyl Cyclohexyl (meth) acrylate, 1- (iso) heptylcycloheptanyl (meth) acrylate, 1- (iso) heptylcyclooctanyl (meth) acrylate, 1- (iso) heptylcyclononanyl (meth) Acrylate, 1- (iso) heptylcyclodecanyl (meth) acrylate,
1-(이소)옥틸시클로프로파닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로부타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로옥틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로헵타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로옥타닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로노나닐(메트)아크릴레이트, 1-(이소)옥틸시클로데카닐(메트)아크릴레이트, 1- (iso) octylcyclopropanyl (meth) acrylate, 1- (iso) octylcyclobutanyl (meth) acrylate, 1- (iso) octylcyclooctyl (meth) acrylate, 1- (iso) octyl Cyclohexyl (meth) acrylate, 1- (iso) octylcycloheptanyl (meth) acrylate, 1- (iso) octylcyclooctanyl (meth) acrylate, 1- (iso) octylcyclononanyl (meth) Acrylate, 1- (iso) octylcyclodecanyl (meth) acrylate,
2-에틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-2-일-(메트)아크릴레이트, 1-에틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-1-일-(메트)아크릴레이트, 1-메틸트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-1-일-(메트)아크릴레이트, 3-히드록시트리시클로[3.3.1.13,7]데칸-1-일-(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 2-ethyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decan-2-yl- (meth) acrylate, 2-methyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decan-2-yl- (meth) acrylate, 1-ethyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decane-1-yl- (meth) acrylate, 1-methyltricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decane-1-yl- (meth) acrylate, 3-hydroxy tricyclo [3.3.1.1 3,7 ] decane-1-yl- (meth) acrylate, etc. are mentioned.
이들 중에서 1-디에틸프로필(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)프로필시클로헥실(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-(이소)부틸시클로헥실(메트)아크릴레이트를 이용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직한 것은 1-디에틸프로필(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴레이트이고, 특히 바람직한 것은 1-에틸시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 1-에틸시클로헥실(메트)아크릴 레이트이다. 이들은 공중합 반응성, 및 얻어지는 보호막 또는 절연막의 내열성, 표면 경도를 높인다는 점에서 바람직하게 이용된다. Among these, 1-diethylpropyl (meth) acrylate, 1-ethylcyclopentyl (meth) acrylate, 1-ethylcyclohexyl (meth) acrylate, 1- (iso) propylcyclopentyl (meth) acrylate, 1 -(Iso) propylcyclohexyl (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclopentyl (meth) acrylate, 1- (iso) butylcyclohexyl (meth) acrylate are preferably used, more preferably 1 -Diethylpropyl (meth) acrylate, 1-ethylcyclopentyl (meth) acrylate, 1-ethylcyclohexyl (meth) acrylate, and particularly preferred 1-ethylcyclopentyl (meth) acrylate, 1-ethyl It is cyclohexyl (meth) acrylate. These are preferably used in terms of increasing the copolymerization reactivity and the heat resistance and surface hardness of the resulting protective film or insulating film.
또한, 화학식 3의 구조를 갖는 중합성 불포화 화합물로서는, 예를 들면 2-에틸-γ-부티로락톤-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-γ-부티로락톤-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-γ-부티로락톤-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-γ-부티로락톤-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-γ-부티로락톤-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-γ-부티로락톤-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락톤-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락톤-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락톤-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락톤-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락톤-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락톤-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락톤-5-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락톤-5-일-(메트)아크릴레이트와 같은 락톤: Moreover, as a polymerizable unsaturated compound which has a structure of General formula (3), 2-ethyl- (gamma) -butyrolactone-2-yl- (meth) acrylate and 2-methyl- (gamma) -butyrolactone-2-yl, for example. -(Meth) acrylate, 2-ethyl-γ-butyrolactone-3-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-γ-butyrolactone-3-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl -γ-butyrolactone-4-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-γ-butyrolactone-4-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactone-2-yl -(Meth) acrylate, 2-methyl-δ-valerolactone-2-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactone-3-yl- (meth) acrylate, 2-methyl -δ-valerolactone-3-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactone-4-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-δ-valerolactone-4-yl Lactones such as-(meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactone-5-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-δ-valerolactone-5-yl- (meth) acrylate:
2-에틸-γ-부티로락탐-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-γ-부티로락탐-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-γ-부티로락탐-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-γ-부티로락탐-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-γ-부티로락탐-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-γ-부티로락탐-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락탐-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락탐-2-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락탐-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락탐-3-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락탐-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ-발레로락탐-4-일-(메트)아크릴레이트, 2-에틸-δ-발레로락탐-5-일-(메트)아크릴레이트, 2-메틸-δ- 발레로락탐-5-일-(메트)아크릴레이트와 같은 락탐을 들 수 있다. 2-ethyl-γ-butyrolactam-2-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-γ-butyrolactam-2-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-γ-butyrolactam- 3-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-γ-butyrolactam-3-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-γ-butyrolactam-4-yl- (meth) acrylate, 2-Methyl-γ-butyrolactam-4-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactam-2-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-δ-valerolactam- 2-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactam-3-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-δ-valerolactam-3-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactam-4-yl- (meth) acrylate, 2-methyl-δ-valerolactam-4-yl- (meth) acrylate, 2-ethyl-δ-valerolactam- And lactams such as 5-yl- (meth) acrylate and 2-methyl-δ-valerolactam-5-yl- (meth) acrylate.
공중합체〔A-1〕은 (a1) 및 (a2) 이외에, (a3) (a1) 및 (a2) 이외의 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 중합 단위를 더 함유할 수 있다. 중합성 불포화 화합물(a3)으로서는, 예를 들면 (메트)아크릴산알킬에스테르, (메트)아크릴산 환상 알킬에스테르, 메타크릴산아릴에스테르, 아크릴산아릴에스테르, 불포화 디카르복실산디에스테르, 비시클로 불포화 화합물, 말레이미드 화합물, 불포화 방향족 화합물, 공액 디엔계 화합물, 불포화 모노카르복실산, 불포화 디카르복실산, 불포화 디카르복실산 무수물, 그 밖의 불포화 화합물을 들 수 있다. The copolymer [A-1] may further contain a polymer unit derived from polymerizable unsaturated compounds other than (a3) (a1) and (a2) in addition to (a1) and (a2). As a polymerizable unsaturated compound (a3), for example, (meth) acrylic-acid alkylester, (meth) acrylic-acid cyclic alkylester, methacrylic acid aryl ester, acrylic acid aryl ester, unsaturated dicarboxylic acid diester, a bicyclo unsaturated compound, and Malay Mid compound, unsaturated aromatic compound, conjugated diene type compound, unsaturated monocarboxylic acid, unsaturated dicarboxylic acid, unsaturated dicarboxylic acid anhydride, and other unsaturated compounds are mentioned.
이들의 구체예로서는, 예를 들면 메타크릴산알킬에스테르로서, 히드록시메틸메타크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 3-히드록시프로필메타크릴레이트, 4-히드록시부틸메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜 모노메타크릴레이트, 2,3-디히드록시프로필메타크릴레이트, 2-메타크릴옥시에틸글리코사이드, 4-히드록시페닐메타크릴레이트, 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, sec-부틸메타크릴레이트, 2-에틸헥실메타크릴레이트, 이소데실메타크릴레이트, n-라우릴메타크릴레이트, 트리데실메타크릴레이트, n-스테아릴메타크릴레이트 등; As these specific examples, for example, as methacrylic acid alkyl ester, hydroxymethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, di Ethylene glycol monomethacrylate, 2,3-dihydroxypropyl methacrylate, 2-methacryloxyethyl glycoside, 4-hydroxyphenyl methacrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl Methacrylate, sec-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, isodecyl methacrylate, n-lauryl methacrylate, tridecyl methacrylate, n-stearyl methacrylate and the like;
아크릴산알킬에스테르로서 메틸아크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트 등; As alkyl acrylate, methyl acrylate, isopropyl acrylate, etc .;
메타크릴산 환상 알킬에스테르로서, 시클로헥실메타크릴레이트, 2-메틸시클로헥실메타크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일메타크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일옥시에틸메타크릴레이트, 이소보로닐메타크릴레이트 등; As methacrylic acid cyclic alkyl esters, cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] decane-8-yloxyethyl methacrylate, isoboroyl methacrylate and the like;
아크릴산 환상 알킬에스테르로서, 시클로헥실아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일옥시에틸아크릴레이트, 이소보로닐아크릴레이트 등; As acrylic acid cyclic alkylester, cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8 -Yloxyethyl acrylate, isoboroyl acrylate and the like;
메타크릴산아릴에스테르로서, 페닐메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트 등; As methacrylic acid aryl ester, Phenyl methacrylate, benzyl methacrylate, etc .;
아크릴산아릴에스테르로서, 페닐아크릴레이트, 벤질아크릴레이트 등; As acrylic acid aryl ester, Phenyl acrylate, Benzyl acrylate, etc .;
불포화 디카르복실산디에스테르로서, 말레산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸 등; Examples of the unsaturated dicarboxylic acid diester include diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate and the like;
비시클로 불포화 화합물로서, 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디메톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디에톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-(2'-히드록시에틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디히드록시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(히드록시메틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(2'-히드록시에틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시메틸-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등; As the bicyclo unsaturated compound, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene , 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2.1] hept-2- N, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2'-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dihydrate Roxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (2'-hydroxyethyl) Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept 2-ene, 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, and the like;
말레이미드 화합물로서, 페닐말레이미드, 시클로헥실말레이미드, 벤질말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부틸레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드 프로피오 네이트, N-(9-아크리디닐)말레이미드 등; As a maleimide compound, Phenyl maleimide, cyclohexyl maleimide, benzyl maleimide, N-succinimidyl-3- maleimide benzoate, N-succinimidyl-4- maleimide butyrate, N-succinimidyl- 6-maleimide caproate, N-succinimidyl-3-maleimide propionate, N- (9-acridinyl) maleimide and the like;
불포화 방향족 화합물로서, 스티렌, α-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, 비닐톨루엔, p-메톡시스티렌 등; As an unsaturated aromatic compound, styrene, (alpha) -methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, p-methoxystyrene, etc .;
공액 디엔계 화합물로서, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 2,3-디메틸-1,3-부타디엔 등; As a conjugated diene type compound, 1, 3- butadiene, isoprene, 2, 3- dimethyl- 1, 3- butadiene, etc .;
불포화 모노카르복실산으로서, 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산 등; As unsaturated monocarboxylic acid, acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, etc .;
불포화 디카르복실산으로서, 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등; As unsaturated dicarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, etc .;
불포화 디카르복실산 무수물로서, 상기 불포화 디카르복실산의 각 무수물; As unsaturated dicarboxylic anhydride, each anhydride of the said unsaturated dicarboxylic acid;
그 밖의 불포화 화합물로서, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산비닐 등을 들 수 있다. As another unsaturated compound, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, etc. are mentioned.
이들 중에서 스티렌, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일메타크릴레이트, p-메톡시스티렌, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 1,3-부타디엔, 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, N-시클로헥실말레이미드 등이 공중합 반응성, 내열성 등의 점에서 바람직하다. Among them, styrene, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-ylmethacrylate, p-methoxystyrene, 2-methylcyclohexyl acrylate, 1,3-butadiene, bicyclo [2.2.1] Hept-2-ene, N-cyclohexylmaleimide, etc. are preferable at the point of copolymerization reactivity, heat resistance, etc.
이들은 단독으로 또는 조합하여 이용된다. These are used alone or in combination.
공중합체〔A-1〕은 중합성 불포화 화합물 단량체에서 유래하는 구조 단위를, 바람직하게는 (a1) 5 내지 95 중량%, (a2) 5 내지 95 중량% 및 (a3) 0 내지 90 중량%, 더욱 바람직하게는 (a1) 20 내지 80 중량%, (a2) 20 내지 80 중량% 및 (a3) 0 내지 60 중량%, 가장 바람직하게는 (a1) 30 내지 60 중량%, (a2) 30 내지 60 중량%, 및 (a3) 10 내지 40 중량% 함유한다. 이 범위의 함유량에 있어서, 양호한 평탄화 성능 및 내열성을 실현할 수 있다. The copolymer [A-1] is a structural unit derived from the polymerizable unsaturated compound monomer, preferably (a1) 5 to 95% by weight, (a2) 5 to 95% by weight and (a3) 0 to 90% by weight, More preferably (a1) 20 to 80% by weight, (a2) 20 to 80% by weight and (a3) 0 to 60% by weight, most preferably (a1) 30 to 60% by weight, (a2) 30 to 60 It contains 10 weight% and (a3) 10 weight%. In this range, good flattening performance and heat resistance can be realized.
공중합체(A-1)의 바람직한 구체예로서는, 예를 들면 As a preferable specific example of copolymer (A-1), for example
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-diethylpropyl methacrylate / methacrylic tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / N-phenylmaleimide / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-diethylpropyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / methacrylate tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-phenylmaleimide / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / methacrylate tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산글리시 딜 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-phenylmaleimide / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산글리시딜 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide / glycidyl methacrylate copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-diethylpropyl methacrylate / methacrylate tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-diethylpropyl methacrylate / N-phenylmaleimide / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / N-cyclohexylmaleimide / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / methacrylic tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-phenylmaleimide / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / methacrylate tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-phenylmaleimide / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산글리시딜/메타크릴산 공중합체 등을 들 수 있다. Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-cyclohexyl maleimide / methacrylic acid glycidyl / methacrylic acid copolymer, and the like.
(공)중합체〔A-2〕(Co) polymer [A-2]
(공)중합체〔A-2〕는 상기 중합성 불포화 화합물(a1)을 함유하는 성분을 중합시켜 얻어지는 (공)중합체(상술한 공중합체〔A-1〕을 제외함)이다. (Co) polymer [A-2] is a (co) polymer (except copolymer [A-1] mentioned above) obtained by superposing | polymerizing the component containing the said polymerizable unsaturated compound (a1).
(공)중합체〔A-2〕는 중합성 불포화 화합물(a1) 이외에, 또한 상기 중합성 불포화 화합물(a3)과의 공중합체로 할 수 있다. The (co) polymer [A-2] can be a copolymer with the polymerizable unsaturated compound (a3) in addition to the polymerizable unsaturated compound (a1).
(공)중합체〔A-2〕는 중합성 불포화 화합물 단량체에서 유래하는 구조 단위를, 바람직하게는 (a1) 5 내지 100 중량% 및 (a3) 0 내지 95 중량%, 더욱 바람직하게는 (a1) 20 내지 100 중량% 및 (a3) 0 내지 80 중량%, 가장 바람직하게는 (a1) 30 내지 90 중량% 및 (a3) 10 내지 70 중량% 함유한다. 이 범위의 함유량에 있어서 양호한 평탄화 성능 및 내열성을 실현할 수 있다. The (co) polymer [A-2] is a structural unit derived from the polymerizable unsaturated compound monomer, preferably (a1) 5 to 100% by weight and (a3) 0 to 95% by weight, more preferably (a1) 20 to 100% by weight and (a3) 0 to 80% by weight, most preferably (a1) 30 to 90% by weight and (a3) 10 to 70% by weight. In this range, good flattening performance and heat resistance can be realized.
공중합체〔A-2〕의 바람직한 구체예로서는, 예를 들면 As a preferable specific example of copolymer [A-2], for example
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / methacrylate tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / N-phenylmaleimide / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / N-cyclohexylmaleimide / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / methacrylate tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-phenylmaleimide / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / methacrylic tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl / methacrylic acid copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드/메타크릴산 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-phenylmaleimide / methacrylic acid copolymer,
*스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드/메타크릴산 공중합체 등을 들 수 있다. A styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-cyclohexyl maleimide / methacrylic acid copolymer etc. are mentioned.
(공)중합체〔A-3〕(Co) polymer [A-3]
(공)중합체〔A-3〕은 상기 중합성 불포화 화합물(a2)를 함유하는 성분을 중합시켜 얻어지는 (공)중합체(상술한 공중합체〔A-1〕을 제외함)이다. (Co) polymer [A-3] is a (co) polymer (except copolymer [A-1] mentioned above) obtained by superposing | polymerizing the component containing the said polymerizable unsaturated compound (a2).
(공)중합체〔A-3〕은 중합성 불포화 화합물(a2) 이외에, 또한 상기 중합성 불포화 화합물(a3)과의 공중합체로 할 수 있다. The (co) polymer [A-3] can be a copolymer with the polymerizable unsaturated compound (a3) in addition to the polymerizable unsaturated compound (a2).
(공)중합체〔A-3〕은 중합성 불포화 화합물 단량체에서 유래하는 구조 단위 를, 바람직하게는 (a2) 5 내지 100 중량% 및 (a3) 0 내지 95 중량%, 더욱 바람직하게는 (a2) 20 내지 100 중량% 및 (a3) 0 내지 80 중량%, 가장 바람직하게는 (a2) 30 내지 90 중량% 및 (a3) 10 내지 70 중량% 함유한다. 이 범위의 함유량에 있어서 양호한 평탄화 성능 및 내열성을 실현할 수 있다. The (co) polymer [A-3] is a structural unit derived from the polymerizable unsaturated compound monomer, preferably (a2) 5 to 100% by weight and (a3) 0 to 95% by weight, more preferably (a2) 20 to 100% by weight and (a3) 0 to 80% by weight, most preferably 30 to 90% by weight (a2) and 10 to 70% by weight (a3). In this range, good flattening performance and heat resistance can be realized.
공중합체〔A-3〕의 바람직한 구체예로서는, 예를 들면 As a preferable specific example of copolymer [A-3], for example
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / methacrylic tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / N-phenylmaleimide copolymer,
스티렌/1-디에틸프로필메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드 공중합체, Styrene / 1-diethylpropylmethacrylate / N-cyclohexylmaleimide copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / tricyclo methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer,
스티렌/1-에틸시클로헥실메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclohexyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentylmethacrylate / methacrylic tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, Styrene / 1-ethylcyclopentylmethacrylate / N-phenylmaleimide copolymer,
스티렌/1-에틸시클로펜틸메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드 공중합체 등을 들 수 있다. Styrene / 1-ethylcyclopentyl methacrylate / N-cyclohexylmaleimide copolymer, etc. are mentioned.
공중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕은 겔 투과 크로마토그래피(용출 용매: 테 트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(이하,「Mw」라 함)이 바람직하게는 1,000 내지 100,000이고, 더욱 바람직하게는 2,000 내지 50,000이며, 특히 바람직하게는 3,000 내지 40,000이다. 이 경우, Mw가 1,000 미만이면, 조성물의 도포성이 불충분해지거나, 또는 형성되는 보호막의 내열성이 부족한 경우가 있고, 한편 Mw가 100,000을 초과하면, 평탄화 성능이 불충분해지는 경우가 있다. The copolymers [A-1], [A-2], and [A-3] are polystyrene-based weight average molecular weights (hereinafter referred to as "Mw") measured by gel permeation chromatography (elution solvent: tetrahydrofuran). It is preferably 1,000 to 100,000, more preferably 2,000 to 50,000, and particularly preferably 3,000 to 40,000. In this case, when Mw is less than 1,000, the coating property of a composition may become inadequate, or the heat resistance of the protective film formed may be inadequate, while when Mw exceeds 100,000, planarization performance may become inadequate.
또한, 공중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕의 분자량 분포(Mw/Mn)는 바람직하게는 5.0 이하이고, 더욱 바람직하게는 3.0 이하이다. In addition, the molecular weight distribution (Mw / Mn) of the copolymers [A-1], [A-2] and [A-3] is preferably 5.0 or less, and more preferably 3.0 or less.
이러한 공중합체는, 공중합체〔A-1〕에 있어서는 상기 중합성 불포화 화합물(a1) 및 (a2)를, 중합체〔A-2〕에 있어서는 상기 중합성 불포화 화합물(a1)을, 그리고 중합체〔A-3〕에 있어서는 상기 중합성 불포화 화합물(a2)를 적당한 용매 및 적당한 중합 개시제의 존재하에 공지된 방법, 예를 들면 라디칼 중합에 의해서 합성할 수 있다. Such a copolymer is the said polymerizable unsaturated compound (a1) and (a2) in copolymer [A-1], the said polymerizable unsaturated compound (a1) in polymer [A-2], and the polymer [A -3], the polymerizable unsaturated compound (a2) can be synthesized by a known method such as radical polymerization in the presence of a suitable solvent and a suitable polymerization initiator.
양이온 중합성 화합물〔B〕Cationically polymerizable compound [B]
본 발명에 사용되는 양이온 중합성 화합물〔B〕는 분자 내에 2개 이상의 옥실라닐기 또는 옥세타닐기를 갖는 화합물(단, 상술한 공중합체〔A-1〕,〔A-2〕를 제외함)이다. 상기 분자 내에 2개 이상의 옥실라닐기 또는 옥세타닐기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면 분자 내에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물, 또는 3,4-에폭시시클로헥실기를 갖는 화합물을 들 수 있다. The cationically polymerizable compound [B] used in the present invention is a compound having two or more oxylanyl groups or oxetanyl groups in the molecule (except the copolymers [A-1] and [A-2] described above). to be. As a compound which has two or more oxylanyl groups or an oxetanyl group in the said molecule, the compound which has two or more epoxy groups in a molecule | numerator, or the compound which has a 3, 4- epoxycyclohexyl group is mentioned, for example.
상기 분자 내에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면 비스페놀 A 디글리시딜에테르, 비스페놀 F 디글리시딜에테르, 비스페놀 S 디글리시딜에 테르, 수소 첨가 비스페놀 A 디글리시딜에테르, 수소 첨가 비스페놀 F 디글리시딜에테르, 수소 첨가 비스페놀 AD 디글리시딜에테르, 브롬화 비스페놀 A 디글리시딜에테르, 브롬화 비스페놀 F 디글리시딜에테르, 브롬화 비스페놀 S 디글리시딜에테르와 같은 비스페놀 화합물의 디글리시딜에테르; Examples of the compound having two or more epoxy groups in the molecule include bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol S diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, Bisphenol compounds, such as hydrogenated bisphenol F diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol AD diglycidyl ether, brominated bisphenol A diglycidyl ether, brominated bisphenol F diglycidyl ether, and brominated bisphenol S diglycidyl ether Diglycidyl ether of;
1,4-부탄디올 디글리시딜에테르, 1,6-헥산디올 디글리시딜에테르, 글리세린 트리글리시딜에테르, 트리메틸올프로판 트리글리시딜에테르, 폴리에틸렌글리콜 디글리시딜에테르, 폴리프로필렌글리콜 디글리시딜에테르와 같은 다가 알코올의 폴리글리시딜에테르; 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol digly Polyglycidyl ethers of polyhydric alcohols such as cydyl ether;
에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 글리세린 등의 지방족 다가 알코올에 1종 또는 2종 이상의 알킬렌옥시드를 부가함으로써 얻어지는 폴리에테르폴리올의 폴리글리시딜에테르; Polyglycidyl ethers of polyether polyols obtained by adding one or two or more alkylene oxides to aliphatic polyhydric alcohols such as ethylene glycol, propylene glycol and glycerin;
페놀 노볼락형 에폭시 수지; Phenol novolac type epoxy resins;
크레졸 노볼락형 에폭시 수지;Cresol novolac type epoxy resins;
폴리페놀형 에폭시 수지; Polyphenol type epoxy resins;
지방족 장쇄 이염기산의 디글리시딜에스테르; Diglycidyl esters of aliphatic long chain dibasic acids;
고급 지방산의 글리시딜에스테르; Glycidyl esters of higher fatty acids;
에폭시화 대두유, 에폭시화 아마인유 등을 들 수 있다. Epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, etc. are mentioned.
상기 분자 내에 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물의 시판품으로서는, 예를 들면 비스페놀 A 형 에폭시 수지로서, 에피코트 1001, 동 1002, 동 1003, 동 1004, 동 1007, 동 1009, 동 1010, 동 828(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등; As a commercial item of the compound which has two or more epoxy groups in the said molecule | numerator, it is a bisphenol-A epoxy resin, for example, Epicoat 1001, copper 1002, copper 1003, copper 1004, copper 1007, copper 1009, copper 1010, copper 828 (or more) Japan Epoxy Resin Co., Ltd.);
비스페놀 F형 에폭시 수지로서, 에피코트 807(재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등; As bisphenol F type epoxy resin, Epicoat 807 (made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) etc .;
페놀 노볼락형 에폭시 수지로서, 에피코트 152, 동 154, 동 157S65(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조), EPPN201, 동 202(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조) 등; As a phenol novolak-type epoxy resin, Epicoat 152, Copper 154, Copper 157S65 (above, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. product), EPPN201, Copper 202 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd. product) etc .;
크레졸 노볼락형 에폭시 수지로서, EOCN102, 동 103S, 동 104S, 1020, 1025, 1027(이상, 닛본 가야꾸(주) 제조), 에피코트 180S75(재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등; As a cresol novolak-type epoxy resin, EOCN102, 103S, 104S, 1020, 1025, 1027 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd. make), Epicoat 180S75 (made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), etc .;
폴리페놀형 에폭시 수지로서, 에피코트 1032H60, 동 XY-4000(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조) 등; As a polyphenol type epoxy resin, Epicoat 1032H60, XY-4000 (above, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. product) etc. are mentioned;
환상 지방족 에폭시 수지로서, CY-175, 동 177, 동 179, 아랄다이트 CY-182, 동 192, 184(이상, 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미칼즈(주) 제조), ERL-4234, 4299, 4221, 4206(이상, U.C.C사 제조), 쇼다인 509(쇼와 덴꼬(주) 제조), 에피크론 200, 동400(이상, 다이니폰 잉크(주) 제조), 에피코트 871, 동 872(이상, 재팬 에폭시 레진(주) 제조), ED-5661, 동 5662(이상, 세라니즈 코팅(주) 제조) 등; As the cyclic aliphatic epoxy resin, CY-175, copper 177, copper 179, araldite CY-182, copper 192, 184 (above, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), ERL-4234, 4299, 4221, 4206 (above, UCC company), Shodine 509 (Showa Denko Co., Ltd.), epicron 200, copper 400 (above, Dainippon ink, Ltd.), epicoat 871, east 872 (more, Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), ED-5661, Copper 5662 (above, manufactured by Ceraniz Coating Co., Ltd.), etc .;
지방족 폴리글리시딜에테르로서 에포라이트 100MF(교에이샤 가가꾸(주) 제조), 에피올 TMP(닛본 유시(주) 제조) 등을 들 수 있다. Examples of the aliphatic polyglycidyl ethers include epolite 100MF (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Epiol TMP (manufactured by Nippon Yushi Co., Ltd.), and the like.
상기 분자 내에 2개 이상의 3,4-에폭시시클로헥실기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 2-(3,4-에폭시시클로헥실-5,5-스피로-3,4-에폭시)시클로헥산-메타-디옥산, 비스(3,4-에폭시시클로헥실메틸)아디페이트, 비스(3,4-에폭시-6-메틸시클로헥실메틸)아디페 이트, 3,4-에폭시-6-메틸시클로헥실-3',4'-에폭시-6'-메틸시클로헥산카르복실레이트, 메틸렌비스(3,4-에폭시시클로헥산), 디시클로펜타디엔디에폭시드, 에틸렌글리콜의 디(3,4-에폭시시클로헥실메틸)에테르, 에틸렌비스(3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트), 락톤 변성 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트 등을 들 수 있다. Examples of the compound having two or more 3,4-epoxycyclohexyl groups in the molecule include 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ', 4'-epoxycyclohexanecarboxylate and 2- (3,4 -Epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy) cyclohexane-meta-dioxane, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, bis (3,4-epoxy-6-methyl Cyclohexylmethyl) adipate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexyl-3 ', 4'-epoxy-6'-methylcyclohexanecarboxylate, methylenebis (3,4-epoxycyclohexane), Dicyclopentadiene diepoxide, di (3,4-epoxycyclohexylmethyl) ether of ethylene glycol, ethylenebis (3,4-epoxycyclohexanecarboxylate), lactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ', 4'-epoxycyclohexanecarboxylate and the like.
이러한 양이온 중합성 화합물〔B〕중, 페놀 노볼락형 에폭시 수지 및 폴리페놀형 에폭시 수지가 바람직하다. Among these cationic polymerizable compounds [B], phenol novolak type epoxy resins and polyphenol type epoxy resins are preferable.
본 발명의 수지 조성물 중에서의 양이온 중합성 화합물〔B〕의 사용량은 중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕의 합계량 100 중량부 당, 바람직하게는 3 내지 200 중량부, 더욱 바람직하게는 5 내지 100 중량부, 특히 10 내지 50 중량부이다. 양이온 중합성 화합물〔B〕의 사용량이 200 중량부보다 많으면, 조성물의 도포성에 문제가 생기는 경우가 있고, 한편 3 중량부 미만이면, 얻어지는 보호막의 경도가 부족한 경우가 있다. The amount of the cationically polymerizable compound [B] in the resin composition of the present invention is preferably 100 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the polymers [A-1], [A-2] and [A-3]. More preferably 5 to 100 parts by weight, in particular 10 to 50 parts by weight. When the usage-amount of a cationically polymerizable compound [B] is more than 200 weight part, a problem may arise in the coating property of a composition, and when it is less than 3 weight part, the hardness of the protective film obtained may be insufficient.
감열성 산 발생제〔C〕Thermosensitive acid generator [C]
감열성 산 발생제로서는, 술포늄염류, 벤조티아조늄염류, 암모늄염류, 포스포늄염류 등을 들 수 있고, 이들 중에서도 술포늄염류, 벤조티아조늄염류가 바람직하게 이용된다. Examples of the thermosensitive acid generator include sulfonium salts, benzothiazonium salts, ammonium salts, and phosphonium salts. Among these, sulfonium salts and benzothiazonium salts are preferably used.
상기 술포늄염류의 구체예로서는, 4-아세토페닐디메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐디메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디메틸-4-(벤질옥시카르보닐옥시)페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디메틸-4-(벤조일옥시) 페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디메틸-4-(벤조일옥시)페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디메틸-3-클로로-4-아세톡시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트 등의 알킬술포늄염; Specific examples of the sulfonium salts include 4-acetophenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroarsenate, and dimethyl-4- (benzyloxycarbonyloxy) phenylsulphur. Phosphorous hexafluoroantimonate, dimethyl-4- (benzoyloxy) phenylsulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl-4- (benzoyloxy) phenylsulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl-3-chloro- Alkylsulfonium salts such as 4-acetoxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate;
벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트, 4-아세톡시페닐벤질메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-메톡시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-2-메틸-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-3-클로로-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 4-메톡시벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트 등의 벤질술포늄염; Benzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluorophosphate, 4-acetoxyphenylbenzylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl- 4-methoxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl-2-methyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, benzyl-3-chloro-4-hydroxyphenylmethylsulfonium Benzylsulfonium salts such as hexafluoroarsenate and 4-methoxybenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluorophosphate;
디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로포스페이트, 4-아세톡시페닐디벤질술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-메톡시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-3-클로로-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디벤질-3-메틸-4-히드록시-5-tert-부틸페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-메톡시벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로포스페이트 등의 디벤질술포늄염; Dibenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate, dibenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluorophosphate, 4-acetoxyphenyldibenzylsulfonium hexafluoroantimonate, dibenzyl 4-methoxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate, dibenzyl-3-chloro-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluoroarsenate, dibenzyl-3-methyl-4-hydroxy-5- dibenzylsulfonium salts such as tert-butylphenylsulfonium hexafluoroantimonate and benzyl-4-methoxybenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluorophosphate;
p-클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, p-니트로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, p-클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트, p-니트로벤질-3-메틸-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 3,5-디클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, o-클로로벤질-3-클로로-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트 등의 치환 벤질술포늄염 등을 들 수 있다. p-chlorobenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, p-nitrobenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, p-chlorobenzyl-4-hydroxyphenyl Methylsulfonium hexafluorophosphate, p-nitrobenzyl-3-methyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, 3,5-dichlorobenzyl-4-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoro Substituted benzyl sulfonium salts, such as an antimonate and o-chlorobenzyl-3- chloro-4- hydroxyphenyl methyl sulfonium hexafluoro antimonate, etc. are mentioned.
이들 중에서도 4-아세톡시페닐디메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐벤질메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐벤질술포늄 헥사플루오로안티모네이트 등이 바람직하게 이용된다. Among these, 4-acetoxyphenyl dimethyl sulfonium hexafluoro arsenate, benzyl-4-hydroxyphenyl methyl sulfonium hexafluoro antimonate, 4-acetoxy phenyl benzyl methyl sulfonium hexafluoro antimonate, Dibenzyl-4-hydroxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenylbenzylsulfonium hexafluoroantimonate, etc. are used preferably.
상기 벤조티아조늄염류로서는 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로포스페이트, 3-벤질벤조티아조늄 테트라플루오로보레이트, 3-(p-메톡시벤질)벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질-2-메틸티오벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질-5-클로로벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트 등의 벤질벤조티아조늄염을 들 수 있다. Examples of the benzothiazonium salts include 3-benzylbenzothiazonium hexafluoroantimonate, 3-benzylbenzothiazonium hexafluorophosphate, 3-benzylbenzothiazonium tetrafluoroborate, and 3- (p-methoxybenzyl). Benzyl benzothiazo such as benzothiazonium hexafluoroantimonate, 3-benzyl-2-methylthiobenzothiazonium hexafluoroantimonate, 3-benzyl-5-chlorobenzothiazonium hexafluoroantimonate A tan salt is mentioned.
이들 중에서 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트 등이 바람직하게 이용된다. Among these, 3-benzyl benzothiazonium hexafluoro antimonate etc. are used preferably.
감열성 산 발생제로서 바람직하게 이용되는 산 발생제의 시판품으로서는, 알킬술포늄염으로서, 아사히 덴까 고교(주) 제조 상품명: 아데카옵톤 CP-66, CP-77을 들 수 있다. As a commercial item of the acid generator used preferably as a thermosensitive acid generator, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. brand name: Adeka optone CP-66, CP-77 is mentioned as an alkylsulfonium salt.
또한, 벤질술포늄염으로서, 산신 가가꾸 고교(주) 제조 상품명: SI-60, SI-80, SI-100, SI-110, SI-145, SI-150, SI-80L, SI-100L, SI-110L을 들 수 있다. Moreover, as a benzyl sulfonium salt, Sanshin Kagaku Kogyo Co., Ltd. brand name: SI-60, SI-80, SI-100, SI-110, SI-145, SI-150, SI-80L, SI-100L, SI -110L may be mentioned.
이들 중에서 SI-80, SI-100, SI-110이, 얻어지는 보호막이 높은 표면 경도를 갖기 때문에 바람직하다. Among them, SI-80, SI-100, and SI-110 are preferable because the protective film obtained has high surface hardness.
본 발명의 수지 조성물이〔C〕감열성 산 발생제를 함유하는 것인 경우, 그의 사용량은 중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕의 합계량 100 중량부에 대하여, 바람직하게는 0.05 내지 20 중량부, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 10 중량부이다. 사용량을 이 범위로 함으로써 충분한 경도를 갖는 보호막을 얻을 수 있다. 또한,〔C〕감열성 산 발생제는 감방사선성 산 발생제로 대체할 수 있다. When the resin composition of this invention contains a [C] thermosensitive acid generator, the usage-amount is 100 weight part with respect to the total amount of polymer [A-1], [A-2], and [A-3], Preferably it is 0.05-20 weight part, More preferably, it is 0.1-10 weight part. By setting the amount to be within this range, a protective film having sufficient hardness can be obtained. [C] The thermosensitive acid generator may be replaced with a radiation sensitive acid generator.
감방사선성 산 발생제는, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등의 방사선의 조사에 의해 산을 발생할 수 있는 화합물이다. A radiation sensitive acid generator is a compound which can generate an acid by irradiation of visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and the like.
이러한 감방사선성 산 발생제로서는, 디아릴요오도늄염류, 트리아릴술포늄염류, 디아릴포스포늄염류 등을 들 수 있고, 이들을 바람직하게 사용할 수 있다. Diaryl iodonium salts, triarylsulfonium salts, diaryl phosphonium salts, etc. are mentioned as such a radiation sensitive acid generator, These can be used preferably.
상기 디아릴요오도늄염류로서는, 예를 들면 디페닐요오도늄 테트라플루오로보레이트, 디페닐요오도늄 헥사플루오로포스포네이트, 디페닐요오도늄 헥사플루오로아르세네이트, 디페닐요오도늄 트리플루오로메탄술포네이트, 디페닐요오도늄 트리플루오로아세테이트, 디페닐요오도늄-p-톨루엔술포네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄 테트라플루오로보레이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄 헥사플루오로포스포네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄 헥사플루오로아르세네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄 트리플루오로메탄술포네이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄 트리플루오로아세테이트, 4-메톡시페닐페닐요오도늄-p-톨루엔술포네이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄 테트라플루오로보레이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄 헥사플루오로아르세네이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄 트리플루오로메탄술포네이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄 트리플루오로아세테이트, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄-p-톨 루엔술포네이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 디페닐요오도늄 헥사플루오로포스포네이트가 바람직하게 이용된다. Examples of the diaryl iodonium salts include diphenyl iodonium tetrafluoroborate, diphenyl iodonium hexafluorophosphonate, diphenyl iodonium hexafluoroarsenate, and diphenyl iodo. Trifluoromethanesulfonate, diphenyliodonium trifluoroacetate, diphenyliodonium-p-toluenesulfonate, 4-methoxyphenylphenyliodonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenylphenyl Iodonium hexafluorophosphonate, 4-methoxyphenylphenyl iodonium hexafluoroarsenate, 4-methoxyphenylphenyl iodonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenylphenyliodo Trifluoroacetate, 4-methoxyphenylphenyliodonium-p-toluenesulfonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium tetrafluoroborate, bis (4-tert-butylphenyl) iodo Hexafluoroarsenate, bis (4-t ert-butylphenyl) iodonium trifluoromethanesulfonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium trifluoroacetate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium-p-toluenesulfo Nate etc. are mentioned. Among these, diphenyl iodonium hexafluorophosphonate is used preferably.
상기 트리아릴술포늄염류로서는, 예를 들면 트리페닐술포늄 테트라플루오로보레이트, 트리페닐술포늄 헥사플루오로포스포네이트, 트리페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 트리페닐술포늄 트리플루오로메탄술포네이트, 트리페닐술포늄 트리플루오로아세테이트, 트리페닐술포늄-p-톨루엔술포네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄 테트라플루오로보레이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄 헥사플루오로포스포네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄 트리플루오로메탄술포네이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄 트리플루오로아세테이트, 4-메톡시페닐디페닐술포늄-p-톨루엔술포네이트, 4-페닐티오페닐디페닐 테트라플루오로보레이트, 4-페닐티오페닐디페닐 헥사플루오로포스포네이트, 4-페닐티오페닐디페닐 헥사플루오로아르세네이트, 4-페닐티오페닐디페닐 트리플루오로메탄술포네이트, 4-페닐티오페닐디페닐 트리플루오로아세테이트, 4-페닐티오페닐디페닐-p-톨루엔술포네이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 트리페닐술포늄 트리플루오로메탄술포네이트가 바람직하게 이용된다. Examples of the triarylsulfonium salts include triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium hexafluorophosphonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, and triphenylsulfonium trifluoromethane. Sulfonate, triphenylsulfonium trifluoroacetate, triphenylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluorophosph Phonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluoroarsenate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoroacetate, 4 -Methoxyphenyldiphenylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenyl tetrafluoroborate, 4-phenylthiophenyldiphenyl hexafluorophosphonate, 4-phenylthiophenyldiphenyl Hexafluoroarsenate, 4-phenylthiophenyldiphenyl trifluoromethanesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenyl trifluoroacetate, 4-phenylthiophenyldiphenyl-p-toluenesulfonate, and the like. have. Among these, triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate is used preferably.
상기 디아릴포스포늄염류로서는, (1-6-η-쿠멘) (η-시클로펜타디에닐)철 헥사플루오로포스포네이트 등을 들 수 있다. As said diaryl phosphonium salt, (1-6- (eta)-cumene) ((eta) -cyclopentadienyl) iron hexafluoro phosphonate, etc. are mentioned.
감방사선성 산 발생제로서 바람직하게 이용되는 산 발생제의 시판품으로서는, 디아릴요오도늄염류로서, 유니온 카바이드사 제조 상품명: UVI-6950, UVI-6970, UVI-6974, UVI-6990, 미도리 가가꾸(주) 제조 상품명: MPI-103, BBI-103 등 을 들 수 있다. As a commercially available product of the acid generator used suitably as a radiation sensitive acid generator, it is a diaryl iodonium salt made by Union Carbide brand name: UVI-6950, UVI-6970, UVI-6974, UVI-6990, and Midori. The brand name of Maku-Co., Ltd. make, MPI-103, BBI-103, etc. are mentioned.
또한, 트리아릴술포늄염류로서, 아사히 덴까 고교(주) 제조 상품명: 아데카 옵토마 SP-150, SP-151, SP-170, SP-171, 니혼 소다(주) 제조 상품명: CI-2481, CI-2624, CI-2639, CI-2064, 미도리 가가꾸(주) 제조 상품명: DTS-102, DTS-103, NAT-103, NDS-103, TPS-103, MDS-103, 사토마사 제조 상품명: CD-1010, CD-1011, CD-1012 등을 들 수 있다. Moreover, as a triaryl sulfonium salt, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. brand name: Adeka Optoma SP-150, SP-151, SP-170, SP-171, Nihon Soda Co., Ltd. brand name: CI-2481, CI -2624, CI-2639, CI-2064, Midori Kagaku Co., Ltd. brand name: DTS-102, DTS-103, NAT-103, NDS-103, TPS-103, MDS-103, Satoma company brand name: CD -1010, CD-1011, CD-1012, etc. are mentioned.
또한, 디아릴포스포늄염류로서 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미칼즈(주) 제조 상품명: 이루가큐어-261, 닛본 가야꾸(주) 제조 상품명: PCI-061T, PCI-062T, PCI-020T, PCI-022T 등을 들 수 있다. Moreover, as a diaryl phosphonium salt, Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. brand name: Irgacure-261, Nippon Kayaku Co., Ltd. brand name: PCI-061T, PCI-062T, PCI-020T, PCI-022T Etc. can be mentioned.
이들 중에서 유니온 카바이드사 제조 상품명: UVI-6970, UVI-6974, UVI-6990, 아사히 덴까 고교(주) 제조 상품명: 아데카 옵토마 SP-170, SP-171, 사토마사 제조 상품명: CD-1012, 미도리 가가꾸(주) 제조 상품명: MPI-103이, 얻어지는 보호막이 높은 표면 경도를 갖기 때문에 바람직하다. Among these, Union Carbide Co., Ltd. Brand Name: UVI-6970, UVI-6974, UVI-6990, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. Since the protective film obtained has a high surface hardness, the Kagaku Co., Ltd. brand name: MPI-103 is preferable.
본 발명의 수지 조성물이 감방사선성 산 발생제를 함유하는 것인 경우, 그의 사용량은 중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕의 합계량 100 중량부에 대하여, 바람직하게는 0.05 내지 20 중량부, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 10 중량부이다. 사용량을 이 범위로 함으로써 충분한 경도를 갖는 보호막을 얻을 수 있다. When the resin composition of this invention contains a radiation sensitive acid generator, the usage-amount is preferably with respect to 100 weight part of total amounts of a polymer [A-1], [A-2], and [A-3]. Is 0.05 to 20 parts by weight, more preferably 0.1 to 10 parts by weight. By setting the amount to be within this range, a protective film having sufficient hardness can be obtained.
〔D〕접착 보조제[D] adhesion aid
상기〔D〕접착 보조제는 형성되는 보호막과 기판과의 밀착성을 향상시키기 위해 첨가할 수 있다. Said [D] adhesion | attachment adjuvant can be added in order to improve the adhesiveness of the protective film formed and a board | substrate.
이러한〔D〕접착 보조제로서는, 예를 들면 반응성 치환기를 갖는 관능성 실란 커플링제를 사용할 수 있다. 상기 반응성 치환기로서는, 예를 들면 카르복실기, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 등을 들 수 있다. As such [D] adhesion | attachment adjuvant, the functional silane coupling agent which has a reactive substituent can be used, for example. As said reactive substituent, a carboxyl group, methacryloyl group, an isocyanate group, an epoxy group, etc. are mentioned, for example.
〔D〕접착 보조제의 구체예로서는, 예를 들면 트리메톡시실릴벤조산, γ-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이트 프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있다. As a specific example of the [D] adhesion | attachment adjuvant, For example, trimethoxy silyl benzoic acid, (gamma)-methacryloxypropyl trimethoxysilane, vinyl triacetoxysilane, vinyl trimethoxysilane, (gamma) -isocyanate propyl triethoxysilane, (gamma) -glycidoxypropyl trimethoxysilane, (gamma)-glycidoxy propyl triethoxysilane, (beta)-(3, 4- epoxycyclohexyl) ethyl trimethoxysilane, etc. are mentioned.
이러한〔D〕접착 보조제는 공중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕의 합계량 100 중량부 당, 바람직하게는 30 중량부 이하, 보다 바람직하게는 25 중량부 이하의 양으로 이용된다. 〔D〕접착 보조제의 양이 30 중량부를 초과하면, 얻어지는 보호막의 내열성이 불충분해지는 경우가 있다. The adhesive aid [D] is preferably 100 parts by weight or less, more preferably 25 parts by weight or less, per 100 parts by weight of the total amount of the copolymers [A-1], [A-2] and [A-3]. It is used in quantity. [D] When the amount of the adhesion assistant exceeds 30 parts by weight, the heat resistance of the protective film obtained may be insufficient.
〔E〕 계면활성제[E] surfactant
상기 계면활성제는 본 발명의 수지 조성물의 도포 성능을 향상시키기 위해 첨가할 수 있다. The said surfactant can be added in order to improve the application | coating performance of the resin composition of this invention.
이러한 계면활성제로서는, 예를 들면 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 비이온계 계면활성제, 그 밖의 계면활성제를 들 수 있다. As such surfactant, a fluorochemical surfactant, silicone type surfactant, nonionic surfactant, other surfactant is mentioned, for example.
상기 불소계 계면활성제로서는, 예를 들면 BM CHIMIE사 제조 상품명: BM-1000, BM-1100, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조 상품명: 메가팩 F142D, 동 F172, 동 F173, 동 F183, 스미토모 쓰리엠(주) 제조 상품명: 플로우라이드 FC-135, 동 FC-170C, 동 FC-430, 동 FC-431, 아사히 글라스(주) 제조 상품명: 사프론 S-112, 동 S-113, 동 S-131, 동 S-141, 동 S-145, 동 S-382, 동 SC-101, 동 SC-102, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC-106 등의 시판품을 들 수 있다. As said fluorine-type surfactant, BM CHIMIE company brand names: BM-1000, BM-1100, Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd. brand name: Megapack F142D, copper F172, copper F173, copper F183, Sumitomo 3M Manufacture name: Flowride FC-135, East FC-170C, East FC-430, East FC-431, Asahi Glass Co., Ltd. Manufacture Name: Saffron S-112, East S-113, East S-131 Commercial items, such as S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-106 Can be.
상기 실리콘계 계면활성제로서는, 예를 들면 도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190, 신에츠 가가꾸 고교(주) 제조 상품명: KP341, 신아끼다 가세이(주) 제조 상품명: 에프톱 EF301, 동 EF303, 동 EF352 등의 시판품을 들 수 있다. As said silicone type surfactant, Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd. brand name: SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190, Shin-Etsu Commercial products, such as Kagaku Kogyo Co., Ltd. brand name: KP341, Shin-Kagawa Kasei Co., Ltd. brand name: F-top EF301, copper EF303, copper EF352, are mentioned.
상기 비이온계 계면활성제로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌 알킬에테르, 폴리옥시에틸렌 아릴에테르, 폴리옥시에틸렌 디알킬에스테르 등을 들 수 있다. As said nonionic surfactant, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene dialkyl ester, etc. are mentioned, for example.
상기 폴리옥시에틸렌 알킬에테르로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌 라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌 스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌 올레일에테르 등을 들 수 있고, 폴리옥시에틸렌 아릴에테르로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌 옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 노닐페닐에테르를 들 수 있고, 폴리옥시에틸렌 디알킬에스테르로서는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌 디라우레이트, 폴리옥시에틸렌 디스테아레이트 등을 들 수 있다. As said polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, etc. are mentioned, for example, As polyoxyethylene aryl ether, For example, polyoxyethylene Octyl phenyl ether and polyoxyethylene nonylphenyl ether are mentioned, As a polyoxyethylene dialkyl ester, polyoxyethylene dilaurate, polyoxyethylene distearate, etc. are mentioned, for example.
상기 그 밖의 계면활성제로서, 교에이샤 가가꾸(주) 제조 상품명: (메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No. 57, 동 No. 90 등을 들 수 있다. As said other surfactant, Kyoeisha Chemical Co., Ltd. brand name: (meth) acrylic-acid type copolymer polyflow No. 57, East No. 90 etc. are mentioned.
이들〔E〕계면활성제의 첨가량은 중합체〔A-1〕,〔A-2〕및〔A-3〕의 합계량 100 중량부 당, 바람직하게는 5 중량부 이하, 보다 바람직하게는 2 중량부 이하로 사용된다. 계면활성제의 양이 5 중량부를 넘는 경우에는, 도포 공정에 있어서 도 막의 막 거칠음이 생기기 쉬워지는 경우가 있다. The addition amount of these [E] surfactants per 100 weight part of total amounts of polymer [A-1], [A-2], and [A-3], Preferably it is 5 weight part or less, More preferably, it is 2 weight part or less. Used as When the amount of the surfactant exceeds 5 parts by weight, the film roughness of the film may easily occur in the coating step.
수지 조성물의 실시 형태Embodiment of the resin composition
본 발명의 수지 조성물의 바람직한 실시 형태로서는, 하기 (가) 내지 (다)의 것을 들 수 있다. As preferable embodiment of the resin composition of this invention, the following (a)-(c) is mentioned.
(가) 공중합체〔A-1〕과, 경우에 따라서 양이온성 중합성 화합물〔B〕, 감열성 산 발생제〔C〕를 함유하는 수지 조성물. (A) The resin composition containing copolymer [A-1], a cationic polymeric compound [B], and a thermosensitive acid generator [C] as needed.
(나) 공중합체〔A-2〕및 공중합체〔A-3〕과, 경우에 따라서 양이온성 중합성 화합물〔B〕, 감열성 산 발생제〔C〕를 함유하는 수지 조성물. 조성물(나)에 있어서, 공중합체〔A-3〕의 사용량은 공중합체〔A-2〕,〔A-3〕의 합계량 100 중량부 당, 10 내지 90 중량부이고, 바람직하게는 20 내지 80 중량부이다. 공중합체〔A-3〕의 양이 10 중량부 미만인 경우에는, 경화 부족이 되는 경우가 있고, 90 중량부를 넘는 경우에는 내열성이 악화하는 경우가 있다. (B) A resin composition containing a copolymer [A-2] and a copolymer [A-3], and optionally a cationic polymerizable compound [B] and a thermosensitive acid generator [C]. In the composition (b), the amount of the copolymer [A-3] is 10 to 90 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the copolymers [A-2] and [A-3], preferably 20 to 80 parts by weight. Parts by weight. When the amount of the copolymer [A-3] is less than 10 parts by weight, the curing may be insufficient, and when it exceeds 90 parts by weight, the heat resistance may deteriorate.
(다) 공중합체〔A-3〕 및 양이온성 중합성 화합물〔B〕와, 경우에 따라서 감열성 산 발생제〔C〕를 함유하는 수지 조성물. (C) The resin composition containing a copolymer [A-3] and a cationic polymeric compound [B], and optionally a thermosensitive acid generator [C].
본 발명의 수지 조성물은 상기 각 성분을 바람직하게는 적당한 용매 중에 균일하게 용해 또는 분산시킴으로써 제조된다. 사용되는 용매로서는, 조성물의 각 성분을 용해 또는 분산시키고, 각 성분과 반응하지 않는 것이 바람직하게 이용된다. The resin composition of this invention is manufactured by dissolving or disperse | distributing each said component uniformly in a suitable solvent preferably. As a solvent used, what melt | dissolves or disperse | distributes each component of a composition and does not react with each component is used preferably.
이러한 용매로서는, 알코올, 에테르, 글리콜에테르, 에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노알킬에테르, 디에틸렌글리콜 디알킬에테르, 프 로필렌글리콜 모노알킬에테르, 프로필렌글리콜 알킬에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 알킬에테르 프로피오네이트, 방향족 탄화수소, 케톤, 에스테르 등을 들 수 있다. As such a solvent, alcohol, ether, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol alkyl ether acetate, propylene glycol alkyl ether pro Cypionate, aromatic hydrocarbon, ketone, ester, etc. are mentioned.
이들 구체예로서는, 예를 들면 알코올로서, 메탄올, 에탄올, 벤질 알코올 등; As these specific examples, For example, as alcohol, methanol, ethanol, benzyl alcohol, etc .;
에테르로서, 테트라히드로푸란 등; As ether, tetrahydrofuran and the like;
글리콜에테르로서, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등; Examples of the glycol ethers include ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether;
에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트로서, 메틸셀로솔브 아세테이트, 에틸셀로솔브 아세테이트, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트 등; As ethylene glycol alkyl ether acetate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, etc .;
디에틸렌글리콜 모노알킬에테르로서, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등; As diethylene glycol monoalkyl ether, Diethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether, etc .;
디에틸렌글리콜 디알킬에테르로서, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르 등; As diethylene glycol dialkyl ether, Diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, etc .;
프로필렌글리콜 모노알킬에테르로서, 프로필렌글리콜 메틸에테르, 프로필렌글리콜 에틸에테르, 프로필렌글리콜 프로필에테르, 프로필렌글리콜 부틸에테르 등; As propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol ethyl ether, propylene glycol propyl ether, propylene glycol butyl ether, etc .;
프로필렌글리콜 알킬에테르 아세테이트로서, 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 프로필에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 부틸에테르 아세테이트 등; As propylene glycol alkyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, propylene glycol butyl ether acetate, etc .;
프로필렌글리콜 알킬에테르 프로피오네이트로서, 프로필렌글리콜 메틸에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 프로필에테르 프로피오네이트, 프로필렌글리콜 부틸에테르 프로피오네이트 등; Examples of the propylene glycol alkyl ether propionate include propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate, propylene glycol butyl ether propionate and the like;
방향족 탄화수소로서, 톨루엔, 크실렌 등; As an aromatic hydrocarbon, toluene, xylene, etc .;
케톤으로서, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 메틸이소아밀케톤 등; Examples of the ketone include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, methyl isoamyl ketone, and the like;
에스테르로서, 아세트산메틸, 아세트산에틸, 아세트산프로필, 아세트산부틸, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 히드록시아세트산메틸, 히드록시아세트산에틸, 히드록시아세트산부틸, 락트산메틸, 락트산에틸, 락트산프로필, 락트산부틸, 3-히드록시프로피온산메틸, 3-히드록시프로피온산에틸, 3-히드록시프로피온산프로필, 3-히드록시프로피온산부틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 메톡시아세트산메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산프로필, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 에톡시아세트산프로필, 에톡시아세트산부틸, 프로폭시아세트산메틸, 프로폭시아세트산에틸, 프로폭시아세트산프로필, 프로폭시아세트산부틸, 부톡시아세트산메틸, 부톡시아세트산에틸, 부톡시아세트산프로필, 부톡시아세트산부틸, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산부틸, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-에톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산부틸, 2-부톡시프로피온산메틸, 2-부톡시프로 피온산에틸, 2-부톡시프로피온산프로필, 2-부톡시프로피온산부틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산프로필, 3-메톡시프로피온산부틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산프로필, 3-에톡시프로피온산부틸, 3-프로폭시프로피온산메틸, 3-프로폭시프로피온산에틸, 3-프로폭시프로피온산프로필, 3-프로폭시프로피온산부틸, 3-부톡시프로피온산메틸, 3-부톡시프로피온산에틸, 3-부톡시프로피온산프로필, 3-부톡시프로피온산부틸 등을 각각 들 수 있다. As the ester, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl hydroxyacetate, and hydroxy Ethyl hydroxy acetate, butyl hydroxy acetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, 2 Methyl hydroxy-3-methyl butyrate, methyl methoxy acetate, ethyl methoxy acetate, methoxy acetate propyl, butyl butyl acetate, ethoxy acetate, ethoxy acetate, ethoxy acetate, ethoxy acetate Methyl propoxy acetate, ethyl propoxy acetate, propyl propoxy acetate, butyl propoxy acetate, methyl butoxy acetate, butoxya Ethyl acetate, propyl butoxy acetate, butyl butoxy acetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, 2 Ethyl ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate, propyl 2-butoxypropionate, butyl 2-butoxypropionate, 3-methoxy methyl propionate, 3-methoxy ethylpropionate, 3-methoxy propylpropionate, 3-methoxy butyl propionate, 3-ethoxy propylpropionate, 3-ethoxy propylpropionate, 3-ethoxy propylpropionate, 3 Butyl ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, propyl 3-propoxypropionate, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, 3- part When there may be mentioned acid profile, such as 3-butoxy-propionic acid butyl, respectively.
이들 중에서 알코올, 디에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 알킬아세테이트, 에틸렌글리콜 알킬에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 디알킬에테르가 바람직하고, 특히 벤질알코올, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르, 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르가 바람직하다. Among these, alcohol, diethylene glycol, propylene glycol alkyl acetate, ethylene glycol alkyl ether acetate and diethylene glycol dialkyl ether are preferable, and benzyl alcohol, diethylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate and propylene glycol ethyl ether are particularly preferred. Acetate, diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether are preferable.
용매의 사용량으로서는, 본 발명의 조성물 중의 전체 고형분(용매를 포함하는 조성물의 총량에서 용매량을 제외한 양)의 함유량이 바람직하게는 1 내지 50 중량%, 보다 바람직하게는 5 내지 40 중량%가 되도록 하는 범위이다. As the usage-amount of a solvent, content of the total solid in the composition of this invention (amount except solvent amount from the total amount of the composition containing a solvent) becomes like this. Preferably it is 1-50 weight%, More preferably, it is 5-40 weight%. It is a range.
상기 용매와 함께 고비점 용매를 병용할 수 있다. 여기서 병용할 수 있는 고비점 용매로서는, 예를 들면 N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드, N-메틸포름아닐리드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸술폭시드, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프로산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 아세트산벤질, 벤조산에틸, 옥살산디에틸, 말레산디에틸, γ-부티로락톤, 탄산에틸렌, 탄산프로필렌, 페닐셀로솔브 아세테이트 등을 들 수 있다. A high boiling point solvent can be used together with the said solvent. As a high boiling point solvent which can be used together here, for example, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, and N-methyl Pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, Diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate, and the like.
고비점 용매를 병용할 때의 사용량으로서는, 전체 용매량에 대하여 바람직하게는 90 중량% 이하, 더욱 바람직하게는 80 중량% 이하이다. As a usage-amount when using a high boiling point solvent together, Preferably it is 90 weight% or less with respect to the total solvent amount, More preferably, it is 80 weight% or less.
상기와 같이 하여 제조된 조성물은, 공경 0.2 내지 3.0 ㎛, 바람직하게는 공경 0.2 내지 0.5 ㎛ 정도의 밀리포어 필터 등을 이용하여 여과, 분별한 후, 사용할 수도 있다. The composition prepared as described above may be used after filtration and fractionation using a Millipore filter having a pore size of 0.2 to 3.0 μm, preferably about 0.2 to 0.5 μm, and the like.
컬러 필터의 보호막의 형성Formation of protective film of color filter
다음에, 본 발명의 조성물을 이용하여 컬러 필터의 보호막을 형성하는 방법에 대하여 설명한다. Next, the method of forming the protective film of a color filter using the composition of this invention is demonstrated.
본 발명의 수지 조성물 용액을 기판 표면에 도포하고, 예비소성하여 용매를 제거함으로써 도막을 형성한 후, 가열 처리함으로써 목적으로 하는 컬러 필터의 보호막을 형성할 수 있다. After coating the resin composition solution of this invention on the surface of a board | substrate, prebaking and removing a solvent, and forming a coating film, it can heat-process and can form the protective film of the target color filter.
상기 기판으로서 사용할 수 있는 것으로서는, 예를 들면 유리, 석영, 실리콘, 수지 등의 기판을 사용할 수 있다. 수지로서는, 예를 들면 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르술폰, 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 및 환상 올레핀의 개환 중합체 및 그의 수소 첨가물과 같은 수지를 들 수 있다. As what can be used as said board | substrate, board | substrates, such as glass, quartz, a silicone, resin, can be used, for example. As resin, resin, such as a ring-opening polymer of polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyether sulfone, polycarbonate, polyimide, and cyclic olefin, and its hydrogenated substance, is mentioned, for example.
도포 방법으로서는, 예를 들면 분무법, 롤 코트법, 회전 도포법, 바 도포법, 잉크젯트법 등의 적절한 방법을 채용할 수 있고, 특히 스핀 코터, 스핀리스(spinless) 코터, 슬릿 다이 코터를 이용한 도포를 바람직하게 사용할 수 있다. As the coating method, for example, a spraying method, a roll coating method, a rotary coating method, a bar coating method, an inkjet method, or the like may be adopted. In particular, a coating method using a spin coater, a spinless coater, and a slit die coater may be employed. Can be preferably used.
상기 예비소성의 조건은 각 성분의 종류나 배합 비율 등에 따라서도 다르지만, 통상 70 내지 90 ℃에서 1 내지 15 분간 정도의 조건을 채용할 수 있다. 도막의 두께는 바람직하게는 0.15 내지 8.5 ㎛, 보다 바람직하게는 0.15 내지 6.5 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.15 내지 4.5 ㎛로 할 수 있다. 또한, 여기서 말하는 도막의 두께는 용매 제거 후의 두께로 이해되어야 한다. Although the conditions of the said prefiring differ also with the kind of each component, a compounding ratio, etc., the conditions of about 1 to 15 minutes are employable normally at 70-90 degreeC. The thickness of the coating film is preferably 0.15 to 8.5 mu m, more preferably 0.15 to 6.5 mu m, still more preferably 0.15 to 4.5 mu m. In addition, the thickness of the coating film here should be understood as the thickness after solvent removal.
도막 형성 후의 가열 처리는 핫 플레이트나 크린 오븐 등의 적절한 가열 장치에 의해 실시할 수 있다. 처리 온도로서는 150 내지 250 ℃ 정도가 바람직하고, 가열 시간은 핫 플레이트를 사용하는 경우에는 5 내지 30 분간, 오븐을 사용하는 경우에는 30 내지 90 분간의 처리 시간을 채용할 수 있다. The heat treatment after coating film formation can be performed by appropriate heating apparatuses, such as a hotplate and a clean oven. As processing temperature, about 150-250 degreeC is preferable, The heating time can employ | adopt the processing time for 5 to 30 minutes when using a hotplate, and 30 to 90 minutes when using an oven.
또한, 수지 조성물에 감방사선성 산 발생제를 이용하는 경우에는, 상기 수지 조성물을 기판 표면에 도포하고, 예비소성에 의해 용매를 제거하여 도막으로 만든 후, 방사선 조사 처리(노광 처리)를 실시함으로써 목적으로 하는 보호막을 형성할 수 있다. 필요에 따라서, 노광 처리 후에 가열 처리를 더 행할 수도 있다. In addition, when using a radiation sensitive acid generator for a resin composition, after apply | coating the said resin composition to the board | substrate surface, removing a solvent by prebaking and making it into a coating film, the objective is performed by performing a radiation irradiation process (exposure process). A protective film can be formed. If necessary, heat treatment may be further performed after the exposure treatment.
상기 방사선의 조사 처리에 있어서 사용할 수 있는 방사선으로서는 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 들 수 있지만, 190 내지 450 nm 파장의 빛을 포함하는 자외선이 바람직하다. Examples of the radiation that can be used in the irradiation treatment of the radiation include visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X rays, and the like, but ultraviolet rays containing light having a wavelength of 190 to 450 nm are preferable.
노광량은 통상 100 내지 20,000 J/m2, 바람직하게는 150 내지 10,000 J/m2이다. The exposure dose is usually 100 to 20,000 J / m 2 , preferably 150 to 10,000 J / m 2 .
방사선 조사 후 임의적으로 가열 처리를 더 행할 수도 있다. 이 때의 가열 온도로서는 150 내지 250 ℃ 정도가 바람직하고, 가열 장치로서 예를 들면 핫 플레이트, 크린 오븐 등의 적절한 장치를 사용할 수 있다. 가열 시간은 핫 플레이트를 사용하는 경우에는 5 내지 30 분간, 오븐을 사용하는 경우에는 30 내지 90 분간의 처리 시간을 채용할 수 있다. The heat treatment may optionally be further performed after irradiation. As heating temperature at this time, about 150-250 degreeC is preferable, and a suitable apparatus, such as a hotplate and a clean oven, can be used as a heating apparatus, for example. Heating time can employ | adopt the processing time for 5 to 30 minutes, when using a hotplate, and 30 to 90 minutes, when using an oven.
컬러 필터의 보호막Shield of color filter
이와 같이 형성된 보호막은, 그의 막 두께가 바람직하게는 0.1 내지 8 ㎛, 보다 바람직하게는 0.1 내지 6 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 4 ㎛이다. 또한, 본 발명의 보호막이 컬러 필터의 단차를 갖는 기판 상에 형성되는 경우에는, 상기 막 두께는 컬러 필터의 최상부에서부터의 두께로 이해되어야 한다. The protective film thus formed has a film thickness of preferably 0.1 to 8 mu m, more preferably 0.1 to 6 mu m, still more preferably 0.1 to 4 mu m. In addition, when the protective film of the present invention is formed on a substrate having a step of the color filter, the film thickness should be understood as the thickness from the top of the color filter.
본 발명의 보호막은, 하기 실시예로부터 분명한 바와 같이, 밀착성, 표면 경도, 투명성, 내열성, 내광성, 내용제성 등을 만족시킴과 동시에, 열이 가해진 상태에서 하중에 의해서도 움푹 패이지 않고, 또한 바탕 기판 상에 형성된 컬러 필터의 단차를 평탄화하는 성능이 우수한 광 장치용 보호막으로서 바람직하다. As apparent from the following examples, the protective film of the present invention satisfies adhesion, surface hardness, transparency, heat resistance, light resistance, solvent resistance, and the like, and does not dent under load even when heat is applied, and on the base substrate. It is preferable as a protective film for optical devices which is excellent in the performance of flattening the level difference of the color filter formed in the film filter.
특히, 본 발명의 보호막이 패널 제조 공정에서 250 ℃를 초과하는 가열에 노출되는 경우가 있으므로, 그 경우에도 충분히 견딜 수 있는 내열성을 갖는 것이, 270 ℃에서 충분한 치수 안정성을 갖는 것에 의해 보증된다. In particular, since the protective film of this invention may be exposed to the heating exceeding 250 degreeC in a panel manufacturing process, having sufficient heat resistance even in that case is ensured by having sufficient dimensional stability at 270 degreeC.
본 발명에 따르면, 표면의 평탄성이 낮은 기체라도, 상기 기체 상에 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 또한 투명성 및 표면 경도가 높으며 내열 내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터링성, 내에칭성 등의 각종 내성이 우수한 광 장치용 보호막을 형성하기 위해 바람직하게 이용되고, 또한 조성물로서의 보존 안정성이 우수한 수지 조성물, 이 수지 조성물을 이용한 보호막의 형성 방법, 및 상기 조성물로부터 형성된 보호막이 제공된다. According to the present invention, even in a gas having a low surface flatness, a cured film having a high flatness can be formed on the substrate, and transparency and surface hardness are high, and heat resistance pressure resistance, acid resistance, alkali resistance, sputtering resistance, etching resistance, etc. The resin composition which is preferably used in order to form the protective film for optical devices which is excellent in various tolerances, and is excellent in the storage stability as a composition, the formation method of the protective film using this resin composition, and the protective film formed from the said composition are provided.
본 발명에 따르면, 본 발명의 조성물은 보존 안정성이 우수하며 평탄성이 높은 경화막을 형성할 수 있고, 투명성 및 표면 경도가 높고, 내열 내압성, 내산성, 내알칼리성, 내스퍼터링성, 내에칭성 등의 각종 내성이 우수한 광 장치용 보호막을 형성한다.According to the present invention, the composition of the present invention can form a cured film having excellent storage stability and high flatness, high transparency and surface hardness, and various kinds of heat resistance pressure resistance, acid resistance, alkali resistance, sputtering resistance, and etching resistance. The protective film for optical devices excellent in resistance is formed.
<실시예> <Examples>
이하에 합성예, 실시예를 나타내어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명이 이하의 실시예로 한정되는 것은 아니다. Although a synthesis example and an Example are shown to the following and this invention is demonstrated to it further more concretely, this invention is not limited to a following example.
(공)중합체의 제조 Preparation of (co) polymer
합성예 1Synthesis Example 1
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 50 중량부, 1-에틸시클로펜틸메타아크릴레이트 50 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A1-1)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.9 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 50 weight part of glycidyl methacrylate and 50 weight part of 1-ethylcyclopentyl methacrylates were added, nitrogen-substituted, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C, and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A1-1). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 32.9%.
합성예 2Synthesis Example 2
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 40 중량부, 1-디에틸프로필메타아크릴레이트 40 중량부, 스티렌 10 중량부 및 메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액의 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A1-2)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 40 parts by weight of 1-diethylpropylmethacrylate, 10 parts by weight of styrene and 10 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl After nitrogen was replaced, stirring was started slowly. The temperature of the solution was raised to 70 ° C, and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A1-2). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.0%.
합성예 3Synthesis Example 3
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 40 중량부, 1-에틸시클로헥실메타아크릴레이트40 중량부, 스티렌 10 중량부 및 시클로헥실말레이미드 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A1-3)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 40 parts by weight of 1-ethylcyclohexyl methacrylate, 10 parts by weight of styrene and 10 parts by weight of cyclohexylmaleimide were added thereto, followed by nitrogen replacement, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C. and maintained at this temperature for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A1-3). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.0%.
합성예 4Synthesis Example 4
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 40 중량부, 1-에틸시클로펜틸메타아크릴레이트40 중량부, 스티렌 10 중량부 및 N-시클로헥실말레이미드 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A1-4)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.7 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 40 parts by weight of 1-ethylcyclopentyl methacrylate, 10 parts by weight of styrene and 10 parts by weight of N-cyclohexylmaleimide were added thereto, followed by nitrogen replacement, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A1-4). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 32.7%.
합성예 5Synthesis Example 5
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 40 중량부, 1-에틸시클로펜틸메타아크릴레이트 40 중량부, 메타크릴산 10 중량부, 스티렌 5 중량부 및 N-시클로헥실말레이미드 5 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A1-5)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 32.8 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of diethylene glycol ethylmethyl ether were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 40 parts by weight of 1-ethylcyclopentyl methacrylate, 10 parts by weight of methacrylic acid, 5 parts by weight of styrene, and 5 parts by weight of N-cyclohexylmaleimide were substituted with nitrogen. Agitation was started slowly. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A1-5). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 32.8%.
합성예 6Synthesis Example 6
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 40 중량부, 2-메틸-γ-락톤-2-일-메타아크릴레이트 40 중량 부, 스티렌 10 중량부 및 N-시클로헥실말레이미드 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A1-6)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 31.9 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of diethylene glycol ethylmethyl ether were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 40 parts by weight of 2-methyl-γ-lactone-2-yl-methacrylate, 10 parts by weight of styrene, and 10 parts by weight of N-cyclohexylmaleimide were substituted with nitrogen. Agitation was started slowly. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A1-6). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 31.9%.
합성예 7Synthesis Example 7
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 100 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A2-1)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.2 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 100 weight part of glycidyl methacrylates were added, nitrogen-substituted, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C. and maintained at this temperature for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A2-1). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.2%.
합성예 8Synthesis Example 8
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 80 중량부, 스티렌 20 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A2-2)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.3 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 80 parts by weight of glycidyl methacrylate and 20 parts by weight of styrene were added thereto, followed by nitrogen replacement, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A2-2). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.3%.
합성예 9Synthesis Example 9
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트 릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 1-에틸시클로헥실메타아크릴레이트 100 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A3-1)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 100 weight part of 1-ethylcyclohexyl methacrylates were added, nitrogen-substituted, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A3-1). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.0%.
합성예 10Synthesis Example 10
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 1-에틸시클로헥실메타아크릴레이트 80 중량부, 스티렌 10 중량부 및 메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(A3-2)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.3 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 80 parts by weight of 1-ethylcyclohexyl methacrylate, 10 parts by weight of styrene, and 10 parts by weight of tricyclo methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl were added thereto, followed by nitrogen replacement. It was. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (A3-2). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.3%.
비교 합성예 1Comparative Synthesis Example 1
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 디에틸렌글리콜 에틸메틸에테르 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 스티렌 25 중량부, 메타크릴산 20 중량부, 메타크릴산글리시딜 45 중량부 및 메타크릴산트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액의 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유 지하여 공중합체(a-1)을 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of diethylene glycol ethylmethyl ether were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 25 parts by weight of styrene, 20 parts by weight of methacrylic acid, 45 parts by weight of glycidyl methacrylate, and 10 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl were substituted with nitrogen. Agitation was started slowly. The temperature of the solution was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (a-1). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.0%.
비교 합성예 2Comparative Synthesis Example 2
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5 중량부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200 중량부를 투입하였다. 계속해서 메타크릴산글리시딜 40 중량부, 스티렌 10 중량부, t-부틸메타크릴레이트 40 중량부 및 시클로헥실말레이미드 10 중량부를 넣고 질소 치환한 후, 서서히 교반을 시작하였다. 용액 온도를 70 ℃로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 공중합체(a-2)를 포함하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액의 고형분 농도는 33.0 %였다. 5 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. Subsequently, 40 parts by weight of glycidyl methacrylate, 10 parts by weight of styrene, 40 parts by weight of t-butyl methacrylate and 10 parts by weight of cyclohexylmaleimide were added thereto, followed by nitrogen replacement, and stirring was gradually started. The solution temperature was raised to 70 ° C., and the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing a copolymer (a-2). Solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.0%.
수지 조성물의 제조 및 평가 Preparation and Evaluation of Resin Compositions
실시예 1Example 1
상기 합성예 1에서 얻어진 공중합체(A1-1)을 포함하는 용액(공중합체(A1-1) 100 중량부(고형분)에 상당하는 양)과 (E) 계면활성제로서 SH-28PA(도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조) 0.1 중량부를 첨가하고, 고형분 농도가 20 %가 되도록 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트를 더 첨가한 후, 공경 0.5 ㎛의 밀리포어 필터로 여과하여 수지 조성물을 제조하였다. SH-28PA (Toray Dow) as a solution containing copolymer (A1-1) obtained in Synthesis Example 1 (amount equivalent to 100 parts by weight (solid content) of copolymer (A1-1)) and (E) surfactant 0.1 weight part of Corning Silicone Co., Ltd. was added, and propylene glycol monomethyl ether acetate was further added so that solid content concentration might be 20%, and it filtered with the Millipore filter of 0.5 micrometer of pore diameters, and manufactured the resin composition.
스피너를 이용하여 상기 조성물을 SiO2 침지 유리 기판 상에 도포한 후, 핫 플레이트 상에서 80 ℃, 5 분간 예비소성하여 도막을 형성하고, 오븐 중에서 230 ℃에서 60 분간 더 가열 처리하여 막 두께 2.0 ㎛의 보호막을 형성하였다. After applying the composition on a SiO 2 immersed glass substrate using a spinner, the composition was prebaked on a hot plate for 5 minutes at 80 ° C. for 5 minutes, and further heated at 230 ° C. for 60 minutes in an oven to obtain a film thickness of 2.0 μm. A protective film was formed.
보호막의 평가Evaluation of the shield
(1) 투명성의 평가(1) evaluation of transparency
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 분광 광도계(150-20형 더블 빔(히타치 세이사꾸쇼(주) 제조))을 이용하여 400 내지 800 nm의 투과율을 측정하였다. 400 내지 800 nm의 투과율의 최소값을 하기 표 1에 나타내었다. 이 값이 95 % 이상일 때, 보호막의 투명성은 양호하다고 할 수 있다. About the board | substrate with a protective film formed as mentioned above, the transmittance | permeability of 400-800 nm was measured using the spectrophotometer (150-20 type double beam (made by Hitachi Seisakusho Co., Ltd.)). The minimum values of transmittance between 400 and 800 nm are shown in Table 1 below. When this value is 95% or more, it can be said that transparency of a protective film is favorable.
(2) 내열 치수 안정성의 평가(2) Evaluation of heat resistance dimensional stability
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 오븐 중에서 250 ℃에서 1 시간의 조건으로 가열하고, 가열 전후의 막 두께를 측정하였다. 하기 식에 따라 산출한 내열 치수 안정성을 표 1에 나타내었다. 이 값이 95 % 이상일 때, 내열 치수 안정성은 양호하다고 할 수 있다. About the board | substrate which has a protective film formed as mentioned above, it heated in 250 degreeC on condition of 1 hour in oven, and measured the film thickness before and behind heating. Table 1 shows the heat-resistant dimensional stability calculated according to the following formula. When this value is 95% or more, it can be said that heat-resistant dimensional stability is favorable.
내열 치수 안정성=(가열 후의 막 두께)/(가열 전의 막 두께)×100(%)Heat-resistant dimensional stability = (film thickness after heating) / (film thickness before heating) * 100 (%)
(3) 내열 변색성의 평가(3) Evaluation of heat discoloration resistance
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 오븐 중에서 250 ℃에서 1 시간 가열하고, 가열 전후의 투명성을 상기 (1)과 같이 하여 측정하였다. 하기 식에 따라 산출한 내열 변색성을 표 1에 나타내었다. 이 값이 5 % 이하일 때, 내열 변색성은 양호하다고 할 수 있다. About the board | substrate with a protective film formed as mentioned above, it heated at 250 degreeC in oven for 1 hour, and the transparency before and behind heating was measured as said (1). Table 1 shows the heat discoloration resistance calculated according to the following formula. When this value is 5% or less, it can be said that heat discoloration resistance is favorable.
내열 변색성=가열 전의 투과율-가열 후의 투과율(%)Heat discoloration resistance = transmittance before heating-transmittance after heating (%)
(4) 표면 경도의 측정(4) measurement of surface hardness
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, JIS K-5400-1990의 8.4.1 연필 긁기 시험에 의해 보호막의 표면 경도를 측정하였다. 이 값을 표 1에 나타내었다. 이 값이 4H 또는 그보다 단단할 때, 표면 경도는 양호하다고 할 수 있다. About the board | substrate which has a protective film formed as mentioned above, the surface hardness of the protective film was measured by the 8.4.1 pencil scraping test of JISK-5400-1990. This value is shown in Table 1. When this value is 4H or harder, the surface hardness can be said to be good.
(5) 다이나믹 미소 경도의 측정(5) Measurement of dynamic microhardness
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 시마즈 다이나믹 미소 경도계 DUH-201((주)시마즈 세이사꾸쇼 제조)을 이용하여 능각(稜角) 115° 삼각 압자(헤르코비치형)의 압입 시험에 의해, 하중: 0.1 gf, 속도: 0.0145 gf/초, 유지 시간: 5 초, 온도 23 ℃ 및 140 ℃의 측정 조건에서 보호막의 다이나믹 미소 경도를 측정하였다. 결과를 표 1에 나타내었다. The substrate having the protective film formed as described above was subjected to the indentation test of a ridge angle 115 ° triangular indenter (Herkovitch type) using Shimadzu dynamic micro hardness tester DUH-201 (manufactured by Shimadzu Corporation). By this, the dynamic microhardness of the protective film was measured under measurement conditions of load: 0.1 gf, speed: 0.0145 gf / sec, holding time: 5 seconds, temperature 23 ° C, and 140 ° C. The results are shown in Table 1.
(6) 밀착성의 평가(6) Evaluation of adhesiveness
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 압력 밥솥 시험(120 ℃, 습도 100 %, 4 시간)을 행한 후, JIS K-5400-1990의 8.5.3 부착성 격자 테이프법에 의해 보호막의 밀착성(SiO2에 대한 밀착성)을 평가하였다. 격자 100개 중, 남은 격자의 개수를 하기 표 2에 나타내었다. After the pressure cooker test (120 degreeC, 100% of humidity, 4 hours) was performed with respect to the board | substrate which has the protective film formed as mentioned above, the protective film was adhered by 8.5.3 adhesive lattice tape method of JISK-5400-1990. Adhesion (adhesion to SiO 2 ) was evaluated. The number of remaining grids among the 100 grids is shown in Table 2 below.
또한, Cr에 대한 밀착성의 평가로서, SiO2 침지 유리 기판 대신에 Cr 기판을 이용한 것 이외에는 상기와 동일하게 하여 막 두께 2.0 ㎛의 보호막을 형성하고, 상기 격자 테이프법에 의해 동일하게 평가하였다. 결과는 표 1에 나타내었다. Further, as an evaluation of the adhesion to the Cr, SiO 2 glass was immersed except that the Cr substrate instead of the substrate forming a protective film of the same thickness of 2.0 ㎛ above, and the same evaluation by the grid tape method. The results are shown in Table 1.
(7) ITO 에칭 내성의 평가(7) Evaluation of ITO Etch Resistance
상기와 같이 하여 형성한 보호막을 갖는 기판에 대하여, 닛본 신꾸 기쥬쯔 사 제조의 고속 스퍼터링 장치 SH-550-C12에서 ITO 타겟(ITO 충전율 95 % 이상, In2O3/SnO2=90/10 중량비)을 이용하여 60 ℃에서 ITO 스퍼터링을 실시하였다. 이 때의 분위기는 감압도 1.0×10-5 Pa, Ar 가스 유량 3.12×10-3 m3/h, O2 가스 유량 1.2×10-5 m3/h였다. 스퍼터링 후의 기판을 상기 크린 오븐에서 240 ℃×60 분으로 가온하여 어닐링을 실시하였다. 다음에 스피너에 기판을 셋팅하고, JSR(주) 제조 G선용 포지티브 레지스트 PFR3650-21cp를 기판 상에 적하하고, 3500 rpm×30 초로 도장하였다. 기판을 핫 플레이트에서 90 ℃×2 분으로 가온하여 용제를 제거하였다. 그 후, 10 ㎛/10 ㎛의 패턴 마스크를 개재하고, 노광기 캐논(Canon) PLA501F(캐논(주) 제조)를 이용하여 ghi선(파장 436 nm, 405 nm, 365 nm의 강도비=2.7:2.5:4.8)을 i선 환산으로 조도 23 mW/m2, 25 mJ/m2의 노광량으로 조사하며, 실온하에 2.4 % TMAH 수용액을 이용하여 60 초간 침지 현상하여, 초순수로써 60 초간 린스한 후, 풍건하였다. 그 후, 크린 오븐에서 150 ℃×60 분으로 후소성하였다. 에칭제는 질산/염산을 1/3의 중량비로 혼합하여 사용하였다. 기판을 에칭제에 침지하고, 10 초마다 기판을 꺼내, 10 ㎛의 ITO 라인을 형성하는 정확한(just) 에칭 시간을 결정하고, 정확한 에칭 시간의 1.2배일 때의 ITO 라인 폭을 광학 현미경으로써 계측하여, 결과를 표 1에 나타내었다. 10 ㎛의 ITO 라인의 유지율이 높으면 높을수록, ITO 에칭 내성이 우수하다고 하였다. With respect to the substrate having the protective film formed as described above, an ITO target (ITO filling rate of 95% or more and In 2 O 3 / SnO 2 = 90/10 weight ratio in a high-speed sputtering apparatus SH-550-C12 manufactured by Nippon Shinjuku Co., Ltd.) ITO sputtering was carried out at 60 ° C. At this time, the atmosphere had a reduced pressure of 1.0 × 10 −5 Pa, an Ar gas flow rate of 3.12 × 10 −3 m 3 / h, and an O 2 gas flow rate of 1.2 × 10 −5 m 3 / h. The board | substrate after sputtering was heated in 240 degreeC x 60 minutes in the said clean oven, and it annealed. Next, the board | substrate was set to the spinner, JSR Corporation G-ray positive resist PFR3650-21cp was dripped on the board | substrate, and it coated at 3500 rpm x 30 second. The substrate was warmed on a hot plate at 90 ° C. × 2 minutes to remove the solvent. Subsequently, an ghi line (wavelength ratio of 436 nm, 405 nm, and 365 nm = 2.7: 2.5) using an exposure machine Canon PLA501F (manufactured by Canon Corporation) via a pattern mask of 10 µm / 10 µm. : 4.8) was irradiated with an exposure dose of roughness 23 mW / m 2 , 25 mJ / m 2 in terms of i-rays, immersed for 60 seconds using a 2.4% TMAH aqueous solution at room temperature, rinsed with ultrapure water for 60 seconds, and then air-dried. It was. Thereafter, the plate was baked in a clean oven at 150 ° C for 60 minutes. The etchant was used by mixing nitric acid / hydrochloric acid in a weight ratio of 1/3. The substrate was immersed in an etchant, the substrate was taken out every 10 seconds to determine the exact etching time for forming a 10 μm ITO line, and the ITO line width at 1.2 times the correct etching time was measured by an optical microscope. , The results are shown in Table 1. It was said that the higher the retention rate of the 10-micrometer ITO line, the better the ITO etching resistance.
(8) 평탄화성의 평가 (8) Evaluation of flatness
안료계 컬러 레지스트(상품명「JCR RED 689」,「JCR GREEN 706」,「CR 8200B」, 이상 JSR (주) 제조)를 스피너에 의해 SiO2 침지 유리 기판 상에 도포하고, 핫 플레이트 상에서 90 ℃, 150 초간 예비소성하여 도막을 형성하였다. 그 후, 소정의 패턴 마스크를 개재하고, 노광기 캐논 PLA501F(캐논(주) 제조)를 이용하여 ghi선(파장 436 nm, 405 nm, 365 nm의 강도비=2.7:2.5:4.8)을 i선 환산으로 2,00O J/m2의 노광량으로 조사하며, 0.05 % 수산화칼륨 수용액을 이용하여 현상하고, 초순수로써 60 초간 린스한 후, 오븐 중에서 230 ℃에서 30 분간 더 가열 처리하여 적색, 녹색 및 청색의 3색의 스트라이프상 컬러 필터(스트라이프 폭 100 ㎛)를 형성하였다. Pigment-based color resists (trade names "JCR RED 689", "JCR GREEN 706", "CR 8200B", manufactured by JSR Co., Ltd.) were coated on a SiO 2 immersion glass substrate by a spinner, and then heated to 90 ° C on a hot plate. Prebaking was carried out for 150 seconds to form a coating film. Then, i-line conversion of ghi line (wavelength 436 nm, 405 nm, 365 nm intensity ratio = 2.7: 2.5: 4.8) using the exposure machine Canon PLA501F (made by Canon Co., Ltd.) via a predetermined | prescribed pattern mask. Irradiated with an exposure dose of 2,00 J / m 2 , developed using 0.05% potassium hydroxide aqueous solution, rinsed with ultrapure water for 60 seconds, and further heated at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to obtain red, green and blue colors. Three color stripe-like color filters (stripe width of 100 mu m) were formed.
이 컬러 필터가 형성된 기판 표면의 요철을 표면 조도계「α-스텝」(상품명; 텐콜사 제조)으로 측정하였더니 1.0 ㎛였다. 단, 측정 길이 2,000 ㎛, 측정 범위 2,000 ㎛변, 측정 점수 n=5로 측정하였다. 즉, 측정 방향을 적색, 녹색, 청색 방향의 스트라이프 라인 단축 방향 및 적색ㆍ적색, 녹색ㆍ녹색, 청색ㆍ청색의 동일 색의 스트라이프 라인 장축 방향의 2 방향으로 하여, 각 방향에 대해 n=5로 측정하였다(합계의 n수는 10). It was 1.0 micrometer when the unevenness | corrugation of the surface of the board | substrate with which this color filter was formed was measured with the surface roughness meter "(alpha) -step" (brand name; Tencol company make). However, it measured by the measurement length 2,000 micrometers, the measurement range 2,000 micrometers side, and the measurement score n = 5. That is, the measurement direction is set as two directions of the stripe line short axis direction in the red, green, and blue directions and the stripe line major axis direction of the same color of red, red, green, green, blue, and blue, and n = 5 for each direction. It measured (the n-number of the sum is 10).
이 위에, 상기 보호막 형성용 조성물을 스피너로써 도포한 후, 핫 플레이트 상에서 90 ℃, 5 분간 예비소성하여 도막을 형성하고, 오븐 중에서 230 ℃에서 60 분간 더 가열 처리하여 막 두께가 컬러 필터의 상면으로부터의 2.0 ㎛인 보호막을 형성하였다. 단, 여기서 말하는 막 두께는 기판 상에 형성된 컬러 필터의 최상면에서부터의 두께를 의미한다. After applying the composition for forming a protective film thereon with a spinner, the film is prebaked on a hot plate for 5 minutes at 90 ° C. for 5 minutes, and further heated at 230 ° C. for 60 minutes in an oven to obtain a film thickness from the upper surface of the color filter. A protective film having a thickness of 2.0 μm was formed. However, the film thickness here means the thickness from the uppermost surface of the color filter formed on the substrate.
상기와 같이 하여 형성한, 컬러 필터 상에 보호막을 갖는 기판에 대하여, 접촉식 막 두께 측정 장치 α-스텝(텐콜 재팬(주) 제조)으로 보호막의 표면 요철을 측정하였다. 단, 측정 길이 2,000 ㎛, 측정 범위 2,000 ㎛변, 측정 점수 n=5로 측정하였다. 즉, 측정 방향을 적색, 녹색, 청색 방향의 스트라이프 라인 단축 방향 및 적색ㆍ적색, 녹색ㆍ녹색, 청색ㆍ청색의 동일 색의 스트라이프 라인 장축 방향의 2 방향으로 하여, 각 방향에 대해 n=5로 측정하였다(합계의 n수는 10). 각 측정마다의 최고부와 최저부의 고저차(nm)의 10회 평균값을 표 1에 나타내었다. 이 값이 300 nm 이하일 때, 평탄화성은 양호하다고 할 수 있다. The surface unevenness | corrugation of the protective film was measured with the contact type film thickness measuring apparatus (alpha) -step (made by Tencol Japan Co., Ltd.) with respect to the board | substrate which has a protective film on the color filter formed as mentioned above. However, it measured by the measurement length 2,000 micrometers, the measurement range 2,000 micrometers side, and the measurement score n = 5. That is, the measurement direction is set as two directions of the stripe line short axis direction in the red, green, and blue directions and the stripe line major axis direction of the same color of red, red, green, green, blue, and blue, and n = 5 for each direction. It measured (the n-number of the sum is 10). Table 1 shows ten average values of the height difference (nm) of the highest part and the lowest part of each measurement. When this value is 300 nm or less, it can be said that planarization property is favorable.
(9) 보존 안정성의 평가 (9) Evaluation of storage stability
실시예 1에서 제조한 보호막 형성용 수지 조성물에 있어서의 점도를, 도꾜 게이끼(주) 제조 ELD형 점도계를 이용하여 측정하였다. 그 후, 상기 조성물을 25 ℃에서 정치하면서 25 ℃에 있어서의 용액 점도를 매일 측정하였다. 제조 직후의 점도를 기준으로 5 % 증점하는 데 소요되는 일수를 구하고, 이 일수를 표 1에 나타내었다. 이 일수가 20 일 이상일 때, 보존 안정성은 양호하다고 할 수 있다. The viscosity in the resin composition for protective film formation manufactured in Example 1 was measured using the Tokyo Keiki Co., Ltd. product ELD type viscometer. Thereafter, the solution viscosity at 25 ° C. was measured daily while the composition was left at 25 ° C. The number of days required to thicken 5% based on the viscosity immediately after manufacture was calculated | required, and this day is shown in Table 1. When this number of days is 20 days or more, it can be said that storage stability is favorable.
실시예 2 내지 28 및 비교예 1, 2Examples 2 to 28 and Comparative Examples 1 and 2
조성물의 각 성분의 종류 및 양을 표 1 및 표 2에 기재된 대로 하고, 표 1 및 표 2에 기재된 용매를 사용하여 표 1 및 표 2에 기재된 고형분 농도로 맞춘 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 수지 조성물을 제조하였다. The type and amount of each component of the composition were as described in Tables 1 and 2, and were adjusted in the same manner as in Example 1 except that the solids concentrations shown in Tables 1 and 2 were adjusted using the solvents shown in Tables 1 and 2. To prepare a resin composition.
상기와 같이 제조한 보호막 형성용 수지 조성물을 사용하여, 실시예 1과 동일하게 보호막을 형성하여 평가하였다. 결과를 표 1 및 표 2에 나타내었다. The protective film was formed and evaluated similarly to Example 1 using the resin composition for protective film formation manufactured as mentioned above. The results are shown in Table 1 and Table 2.
실시예 29 내지 32Examples 29-32
조성물의 각 성분의 종류 및 양을 표 2에 기재된 대로 하고, 표 2에 기재된 용매를 사용하여 표 2에 기재된 고형분 농도로 맞춘 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 수지 조성물을 제조하였다. The resin composition was produced like Example 1 except having set the kind and quantity of each component of a composition as Table 2, and using the solvent of Table 2 to the solid content concentration of Table 2.
스핀 코터 대신에 슬릿 다이 코터를 이용하여 도포한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 수지 조성물을 제조하고, 보호막을 형성하여 평가하였다. 결과를 표 2에 나타내었다. The resin composition was produced like Example 1 except having apply | coated using the slit die coater instead of a spin coater, and the protective film was formed and evaluated. The results are shown in Table 2.
*또한, 표 1 및 표 2에 있어서, 양이온 중합성 화합물(B), 감열성 산 발생제(C), 접착 보조제(D) 및 용매(S)의 약칭은 각각 이하의 것을 나타낸다. In addition, in Table 1 and Table 2, abbreviated-name of a cationically polymerizable compound (B), a thermosensitive acid generator (C), an adhesion | attachment adjuvant (D), and a solvent (S) shows the following, respectively.
B-1: 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지(재팬 에폭시 레진(주) 제조 상품명: 에피코트 157S65) B-1: Bisphenol A novolak-type epoxy resin (Japan Epoxy Resin Co., Ltd. make brand name: Epicoat 157S65)
C-1: 트리페닐술포늄 트리플루오로메탄술포네이트 C-1: triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate
D-1: γ-글리시독시프로필트리메톡시실란 D-1: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane
D-2: γ-글리시독시프로필트리에톡시실란D-2: γ-glycidoxypropyltriethoxysilane
E-1: 실리콘계 계면활성제(도레이ㆍ다우코닝ㆍ실리콘(주) 제조 상품명: SH-28PA) E-1: Silicone type surfactant (Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd. make brand name: SH-28PA)
S-1: 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 S-1: Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate
S-2: 디에틸렌글리콜 디메틸에테르S-2: diethylene glycol dimethyl ether
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Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JPH0578453A (en) * | 1991-09-20 | 1993-03-30 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | Protecting film material |
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