KR101001093B1 - 특성을 향상시킨 시모스 이미지센서 및 그 제조방법 - Google Patents
특성을 향상시킨 시모스 이미지센서 및 그 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 시모스 이미지센서에 있어서,포토다이오드를 포함한 하부구조 형성이 완료된 기판 상에 형성된 제 1 OCL;상기 제 1 OCL 상에 서로 인접하여 형성된 복수개의 칼라필터;상기 칼라필터 상에 형성된 제 2 OCL;상기 칼라필터에 대응하여 상기 제 2 OCL 상에 형성되되, 일정한 스페이스를 가지며 서로 이격되어 패터닝된 제 3 OCL; 및상기 제 3 OCL 상에 형성된 마이크로렌즈를 포함하며,상기 제 3 OCL은 8각형 형상을 가지며, 상기 마이크로렌즈의 폭은 상기 제 3 OCL의 폭보다 좁은, 시모스 이미지센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 3 OCL이 이격된 스페이서는 0.4 ∼ 0.6㎛이며, 상기 제 3 OCL은 1400 ∼ 1600 Å의 두께를 갖는 시모스 이미지센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 마이크로렌즈는 5500 ∼ 7500Å의 두께를 갖는 시모스 이미지센서.
- 시모스 이미지센서의 제조방법에 있어서,포토다이오드를 포함한 하부구조 형성이 완료된 기판 상에 제 1 OCL을 형성하는 단계;상기 제 1 OCL 상에 복수개의 칼라필터를 서로 인접하여 형성하는 단계;상기 칼라필터 상에 제 2 OCL을 형성하는 단계;상기 제 2 OCL 상에 제 3 OCL을 도포하고 이를 패터닝하여, 일정한 스페이스를 가지며 서로 이격된 제 3 OCL을 상기 칼라필터에 대응하여 제 2 OCL 상에 형성하는 단계;상기 제 3 OCL을 포함하는 제 2 OCL 상에 마이크로렌즈용 감광막을 형성하는 단계;상기 제 3 OCL 상에만 상기 마이크로렌즈용 감광막이 잔존하도록 상기 마이크로렌즈용 감광막을 패터닝하는 단계; 및상기 패터닝된 마이크로렌즈용 감광막을 플로우시켜 상기 제 3 OCL 상에 반구형태의 마이크로렌즈를 형성하는 단계를 포함하며,상기 제 3 OCL은 8각형 형상을 가지며, 상기 마이크로렌즈가 상기 제 3 OCL 상에 형성된 후 상기 마이크로렌즈의 폭은 상기 제 3 OCL의 폭보다 좁은, 시모스 이미지센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 2 OCL 상에 제 3 OCL을 도포, 패터닝하는 단계에서,상기 제 3 OCL은 마이크로렌즈의 폭 보다는 넓은 폭을 갖도록 패터닝되며, 상기 제 3 OCL은 0.4 ∼ 0.6㎛의 스페이스를 갖게 이격되어 패터닝되는 시모스 이미지센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 패터닝된 마이크로렌즈용 감광막을 플로우시키는 단계는,상기 패터닝된 마이크로렌즈용 감광막을 블랭크 노광시키는 단계;150℃의 온도에서 5분 동안 상기 마이크로렌즈용 감광막을 플로우 시키는 단계; 및200℃의 온도에서 5분 동안 상기 마이크로렌즈용 감광막을 큐어링하는 단계를 더 포함하는 시모스 이미지센서의 제조방법.
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