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KR100984349B1 - 도포 장치 - Google Patents

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KR100984349B1
KR100984349B1 KR1020030034013A KR20030034013A KR100984349B1 KR 100984349 B1 KR100984349 B1 KR 100984349B1 KR 1020030034013 A KR1020030034013 A KR 1020030034013A KR 20030034013 A KR20030034013 A KR 20030034013A KR 100984349 B1 KR100984349 B1 KR 100984349B1
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coating
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photosensitive liquid
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남효락
오상우
강호민
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삼성전자주식회사
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Abstract

기판이 장착되는 받침대; 받침대 위의 기판에 감광액을 도포하는 노즐; 노즐에 감광액을 공급하는 감광액 공급 장치; 노즐과 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 장치를 포함하고, 노즐은 복수개의 감광액 토출부로 형성되어 있는 도포 장치.
감광액, 도포장치

Description

도포 장치{SPREADING APPARATUS}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치의 개략적인 사시도이고,
도 2는 도 1에 도시된 노즐을 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 정면 단면도이고,
도 3은 도 1에 도시된 노즐의 일부 절개 사시도이고,
도 4는 도 1에 도시된 노즐을 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 측면 단면도이고,
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치가 기판 위에 감광액을 도포하는 일 실시예를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치가 기판 위에 도포액을 도포하는 다른 실시예를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 도포 장치의 개략적인 사시도이고,
도 8은 도 7에 도시된 노즐을 Ⅷ-Ⅷ'선을 따라 절단한 정면 단면도이고,
도 9는 도 7에 도시된 노즐의 일부 절개 사시도이고,
도 10은 도 7에 도시된 노즐의 저면도이고,
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 도포 장치가 기판 위에 도포액을 도포하는 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 ; 감광액 200a ; 제1 감광액 토출부
200b ; 제2 감광액 토출부 200c ; 제3 감광액 토출부
본 발명은 도포 장치에 관한 것으로서, 반도체 디바이스나 액정 표시 장치의 감광액을 도포하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스나 액정 표시 장치의 제조 프로세스에서 행하여지는 포토리소그래피라고 불리우는 기술은, 기판에 감광액을 도포하여 당해 기판의 표면에 감광막을 형성하고, 포토마스크를 사용하여 당해 감광막을 노광한 후에 현상처리를 함으로써 감광막 패턴을 얻는 것이다.
상기한 공정에 있어서의 감광액의 도포 공정은 기판을 따라 노즐을 이동시켜며 노즐 토출구를 통해 감광액을 기판에 형성하는 슬릿 노즐법 등에 의하여 이루어지고 있다.
그러나, 대형 기판의 넓은 영역을 슬릿이 이동하면서 전체적으로 기판에 도포하는 경우에, 도포가 불필요한 영역에도 감광액을 도포하고, 이에 따라 도포가 불필요한 영역에는 별도의 도포막 제거 과정을 진행하여야 한다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 도포가 필요한 영역에만 선택적으로 감광액을 도포시키는 도포 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 도포 장치는 기판이 장착되는 받침대; 상기 받침대 위의 기판에 감광액을 도포하는 노즐; 상기 노즐에 감광액을 공급하는 감광액 공급 장치; 상기 노즐과 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 장치를 포함하고, 상기 노즐은 복수개의 감광액 토출부로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 감광액 토출부는 서로 소정 간격 이격되어 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 감광액 토출부 사이에는 차단벽이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 감광액 토출부 중 어느 하나의 감광액 토출부는 상기 감광액 공급 장치에 연결되어 있는 감광액 공급관, 상기 감광액 공급관을 통해 공급된 감광액을 저장하는 감광액 저장부, 상기 감광액 저장부의 저면과 연결되어 있는 감광액 유로, 상기 감광액 유로와 연결되어 있는 감광액 슬릿부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 도포 장치는 기판이 장착되는 받침대; 상기 받침대 위의 기판에 도포액을 도포하는 노즐; 상기 노즐에 도포액을 공급하는 도포액 공급 장치; 상기 노즐과 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 장치를 포함하고, 상기 노즐은 복수개의 도포액 토출부로 형성되어 있으며, 상기 복수개의 도포액 토출부 중 어는 하나의 도포액 토출부는 상기 도포액 공급 장치에 연결되어 있는 도포액 공급관, 상기 도포액 공급관을 통해 공급된 도포액을 저장하는 도포액 저장부, 상기 도포액 저장부의 저면과 연결되어 있는 도포액 유로를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 도포액 유로는 노즐의 저면과 연결되어 있는 홀 형태인 것이 바람직하다.
또한, 상기 도포액 공급 장치는 서로 다른 도포액을 각각 포함하고 있는 복수개의 도포액 공급 장치인 것이 바람직하다.
또한, 상기 도포액은 감광액이거나 색필터 용액인 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 도포액 토출부는 서로 소정 간격 이격되어 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 도포액 토출부 사이에는 차단벽이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치의 개략적인 사시도가 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치는 기판(10)이 장착되는 받침대(100), 받침대(100) 위의 기판(10)에 감광액을 도포하는 노즐(200), 노즐(200)에 감광액을 공급하는 감광액 공급 장치(300) 및 노즐(200)과 기판(10)을 상대적으로 이동시키는 이동 장치(500)를 포함한다.
감광액 공급 장치(300)는 가스 압송 방식을 이용하여 감광액(20)을 1 내지 2 kgf/cm2의 압력으로 노즐(200)로 공급한다. 감광액 공급 장치(300)에서 감광액(20)의 농도 및 온도가 고정밀도로 조정된다. 또한, 감광액 공급 장치(300)의 감광액(20)에는 미량의 용재, 예컨대 신너(Thinner)가 포함되어 있어서 감광액(20)이 기판에 도포되기 쉬운 상태로 존재한다.
노즐(200)과 기판(10)을 상대적으로 이동시키는 이동 장치(500)는 아암(510)과 가이드 레일(520)을 포함한다. 노즐(200)은 아암(510)의 일단부에 장착 및 이탈이 가능하도록 부착되어 있다. 아암(510)에 연결되어 가이드 레일(520)이 설치되어 있으며, 제어 장치에 의해 노즐(200)은 가이드 레일(520)을 따라 좌우로 이동하도록 되어 있다.
도 2에는 노즐의 정면 단면도가 도시되어 있고, 도 3에는 노즐의 일부 절개 사시도가 도시되어 있다. 그리고, 도 4에는 노즐의 측면 단면도가 도시되어 있다. 도 1 내지 도 4를 참조하여 노즐에 대하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 노즐(200)의 본체(210)는 직선 형태의 박스 형상을 이루고 있으며, 그 내부에 감광액이 토출되는 감광액 토출부가 복수개 형성되어 있다. 예컨대, 도 3에는 3개의 감광액 토출부(220a, 220b, 220c)즉, 제1 감광액 토출부(220a), 제2 감광액 토출부(220b) 및 제3 감광액 토출부(220c)가 형성되어 있는 것을 도시하였다. 이하에서는 노즐에 제1 내지 제3 감광액 토출부가 형성되어 있는 것으로 하여 상세히 설명한다.
노즐의 본체(210)의 상부에는 덮개(211)가 씌워져 있으며, 이 덮개(211)는 3 개의 감광액 토출부(220a, 220b, 220c)를 모두 덮고 있다. 덮개(211)의 적절한 부위에는 복수개의 감광액 공급관(221a, 221b, 221c)이 연결되어 있다. 이러한 복수개의 감광액 공급관(221a, 221b, 221c)은 감광액 공급 장치(300)에 연결되어 있다. 이러한 감광액 공급관(221a, 221b, 221c)을 통해 노즐 내부의 복수개의 감광액 저장부(222a, 222b, 222c)로 감광액(20)이 공급된다. 여기서, 감광액 공급 장치(300)는 한 종류의 감광액을 공급 할 수도 있도록 복수개의 감광액 공급관이 연결될 수도 있고, 여러 종류의 감광액을 공급할 수도 있도록 감광액 공급 장치 자체가 복수개이고, 각각의 감광액 공급 장치에 하나의 감광액 공급관이 연결될 수도 있다.
제1 내지 제3 감광액 토출부(220a, 220b, 220c)는 감광액 공급관(221a, 221b, 221c), 감광액 저장부(222a, 222b, 222c), 감광액 유로(224a, 224b, 224c) 및 감광액 슬릿부(225a, 225b, 225c)를 포함한다. 제1 감광액 토출부(220a)와 제2 감광액 토출부(220b) 사이에는 제1 차단벽(281)이 형성되어 있으며, 제2 감광액 토출부(220b)와 제3 감광액 토출부(220c) 사이에는 제2 차단벽(282)이 형성되어 있다. 따라서, 제1 내지 제3 감광액 토출부(220a, 220b, 220c)는 서로 소정 간격 이격되어 형성되어 있다.
제1 내지 제3 감광액 토출부(220a, 220b, 220c)는 서로 동일한 구조와 동일한 기능을 하므로 제1 감광액 토출부(220a)에 대해 상세히 설명한다.
제1 감광액 토출부(220a)는 위에서부터 차례로 감광액 공급관(221a), 감광액 저장부(222a), 감광액 유로(224a) 및 감광액 슬릿부(225a)가 형성되어 있으며 이들은 연이어 통하고 있다.
감광액 공급관(221a)은 노즐의 본체(210)에서 상부로 연장되며 감광액 공급 장치(300)에 연결되어 있다. 감광액 공급관(221a)의 개구(21)는 감광액 저장부(222a)로 연이어 통하기 때문에, 감광액 공급 장치(300)로부터 감광액 공급관(221)을 통해 감광액 저장부(222a)로 감광액(20)이 도입되도록 되어 있다. 또한, 하나 이상의 감광액 공급관(221)을 덮개(211)에 설치할 수도 있다.
감광액 저장부(222a)는 감광액 공급관(221)을 통해 공급된 감광액(20)을 일시적으로 저장한다.
감광액 저장부(222a)의 하부 중앙에는 오목한 감광액 유출구(223a)가 형성되어 있다. 감광액 유출구(223a)의 바닥부에는 복수개의 미세한 구멍으로 이루어진 감광액 유로(224a)가 형성되어 있다. 이러한 감광액 유로(224a)는 본체(210)의 긴 방향을 따라 동일한 피치 간격으로 직렬로 배치되어 있다.
이러한 감광액 저장부(222a)는 감광액 유로(224a)를 통해 감광액 슬릿부(225a)와 연이어 통하고 있다. 감광액 유로(224a)는 유체의 저항으로서 작용하여, 감광액 저장부(222a)로부터의 감광액(20)의 압력을 손실시켜, 저압의 감광액(20)을 감광액 슬릿부(225a)로 보내는 기능을 한다.
이러한 감광액 슬릿부(225a)는 감광액 유로(224a)의 별개의 미세한 구멍들을 통해 토출된 감광액(20)들이 다시 모여 기판(10) 위에 도포되도록 감광액 유로(224a)의 지름보다 확장되어 있으며 본체의 긴 방향을 따라 직선 형태로 연결되어 있다. 그리고, 감광액 슬릿부(225a)는 노즐의 본체(210)의 최하부에 형성되어 있으며, 감광액 슬릿부(225a)를 통해 감광액(20)이 기판(10) 위로 토출 공급된 다.
제2 및 제3 감광액 토출부(220b, 220c)의 감광액 공급관(221b, 221c), 감광액 저장부(222b, 222c), 감광액 유로(224b, 224c) 및 감광액 슬릿부(225b, 225c)의 구조 및 기능도 제1 감광액 토출부와 동일하다.
도 5에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치가 기판 위에 감광액을 선택적으로 도포하는 것을 개략적으로 도시하였다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 감광액 토출부(220a)와 제2 감광액 토출부(220b) 사이에 형성되어 있는 제1 차단벽(281), 제2 감광액 토출부(220b)와 제3 감광액 토출부(220c) 사이에 형성되어 있는 제2 차단벽(282)에 의해 제1 내지 제3 감광액 토출부(220a, 220b, 220c)는 서로 소정 간격 이격되어 있으므로, 감광액 슬릿부를 통해 기판 위로 토출 공급되는 감광액(20)은 차단벽(281, 282)의 폭에 대응되는 기판 위의 영역에는 형성되지 않는다.
따라서, 도포가 불필요한 영역은 도포하지 않으므로 별도의 도포막 제거 공정이 필요하지 않고, 감광액도 최소화 할 수 있다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 노즐을 이용해 기판 위에 감광액을 도포하는 공정 중에 도포를 중단하고, 소정 간격 노즐을 이동시킨 후에 다시 기판 위에 감광액을 도포함으로써 사각형 단위로 도포막을 형성할 수도 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 도포 장치가 도 7에 도시되어 있다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도 7에는 본 발명의 제2 실시예에 따른 도포 장치의 개략적인 사시도가 도시되어 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 도포 장치는 기판(10)이 장착되는 받침대(100), 받침대(100) 위의 기판(10)에 도포액을 도포하는 노즐(200), 노즐(200)에 도포액을 공급하는 도포액 공급 장치(300) 및 노즐(200)과 기판(10)을 상대적으로 이동시키는 이동 장치(500)를 포함한다.
도포액 공급 장치(300)는 가스 압송 방식을 이용하여 도포액(20)을 1 내지 2 kgf/cm2의 압력으로 노즐(200)로 공급한다. 도포액 공급 장치(300)에서 도포액(20)의 농도 및 온도가 고정밀도로 조정된다. 이러한 도포액 공급 장치는 복수개가 설치되어 있으며, 각각의 도포액 공급 장치에는 서로 다른 종류의 도포액이 저장되어 있다. 도포액은 감광액일 수도 있고, R, G, B 의 세가지 색필터 용액일 수도 있다.
노즐(200)과 기판(10)을 상대적으로 이동시키는 이동 장치(500)는 아암(510)과 가이드 레일(520)을 포함한다. 노즐(200)은 아암(510)의 일단부에 장착 및 이탈이 가능하도록 부착되어 있다. 아암(510)에 연결되어 가이드 레일(520)이 설치되어 있으며, 제어 장치에 의해 노즐(200)은 가이드 레일(520)을 따라 좌우로 이동하도록 되어 있다.
도 8에는 Ⅷ-Ⅷ'을 따라 잘라진 노즐의 정면 단면도가 도시되어 있고, 도 9에는 노즐의 일부 절개 사시도가 도시되어 있다. 그리고, 도 10에는 노즐의 저면도 가 도시되어 있다. 도 7 내지 도 10을 참조하여 노즐에 대하여 상세히 설명한다.
도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 노즐(200)의 본체(210)는 직선 형태의 박스 형상을 이루고 있으며, 그 내부에 도포액이 토출되는 도포액 토출부가 복수개 형성되어 있다. 복수개의 도포액 토출부는 노즐(200)의 폭을 따라 복수개가 형성되어 있다. 예컨대, 도 7에는 3개의 도포액 토출부(2200a, 2200b, 2200c) 즉, 제1 도포액 토출부(2200a), 제2 도포액 토출부(2200b) 및 제3 도포액 토출부(2200c)가 형성되어 있는 것을 도시하였다. 이하에서는 노즐에 제1 내지 제3 도포액 토출부가 형성되어 있는 것으로 하여 상세히 설명한다.
노즐의 본체(210)의 상부에는 덮개(211)가 씌워져 있으며, 이 덮개(211)는 3개의 도포액 토출부(2200a, 2200b, 2200c)를 모두 덮고 있다. 덮개(211)의 적절한 부위에는 복수개의 도포액 공급관(2210a, 2210b, 2210c)이 연결되어 있다. 이러한 복수개의 도포액 공급관(2210a, 2210b, 2210c)은 복수개의 도포액 공급 장치(3000a, 3000b, 3000c)에 각각 연결되어 있다. 이러한 도포액 공급관(2210a, 2210b, 2210c)을 통해 노즐 내부의 복수개의 도포액 저장부(2220a, 2220b, 2220c)로 도포액(200)이 공급된다. 여기서, 복수개의 도포액 공급 장치(3000a, 3000b, 3000c) 즉, 제1 도포액 공급 장치(3000a), 제2 도포액 공급 장치(3000b), 제3 도포액 공급 장치(3000c)에는 서로 다른 종류의 도포액이 저장되어 있어, 노즐에 여러 종류의 도포액을 공급할 수 있다.
제1 내지 제3 도포액 토출부(2200a, 2200b, 2200c)는 도포액 공급관(2210a, 2210b, 2210c), 도포액 저장부(2220a, 2220b, 2220c), 도포액 유로(2240a, 2240b, 2240c)를 포함한다. 제1 도포액 토출부(2200a)와 제2 도포액 토출부(2200b) 사이에는 제1 차단벽(281)이 형성되어 있으며, 제2 도포액 토출부(2200b)와 제3 도포액 토출부(2200c) 사이에는 제2 차단벽(281)이 형성되어 있다. 따라서, 제1 내지 제3 도포액 토출부(2200a, 2200b, 2200c)는 서로 소정 간격 이격되어 형성되어 있다.
제1 내지 제3 도포액 토출부(2200a, 2200b, 2200c)는 서로 동일한 구조와 동일한 기능을 하므로 중심에 위치한 제2 도포액 토출부(2200b)에 대해 상세히 설명한다.
제2 도포액 토출부(2200b)는 위에서부터 차례로 도포액 공급관(2210b), 도포액 저장부(2220b), 도포액 유로(2240b)가 형성되어 있으며 이들은 연이어 통하고 있다.
도포액 공급관(2210b)은 노즐의 본체(210)에서 상부로 연장되며 도포액 공급 장치(3000b)에 연결되어 있다. 도포액 공급관(2210b)의 개구(21)는 도포액 저장부(2220b)로 연이어 통하기 때문에, 도포액 공급 장치(3000b)로부터 도포액 공급관(2210b)을 통해 도포액 저장부(2220b)로 도포액(200)이 도입되도록 되어 있다.
도포액 저장부(2220b)는 도포액 공급관(2210b)을 통해 공급된 도포액(200)을 일시적으로 저장한다.
도포액 저장부(2220b)의 하부 중앙에는 오목한 도포액 유출구(2230b)가 형성되어 있다. 도포액 유출구(2230b)의 바닥부에는 복수개의 미세한 구멍으로 이루어진 도포액 유로(2240b)가 형성되어 있다. 이러한 도포액 유로(2240b)는 본체(210)의 긴 방향을 따라 동일한 피치 간격으로 직렬로 배치되어 있다.
도포액 유로(2240b)는 유체의 저항으로서 작용하여, 도포액 저장부(2220b)로부터의 도포액(200)의 압력을 손실시켜 저압의 도포액(200)을 기판 위로 토출 공급한다.
도포액 유로(2240b)는 도 10에 도시된 바와 같이, 노즐의 저면을 통해 외부와 통해 있으며 홀 형태로 형성되어 있다.
제1 및 제3 도포액 토출부(2200a, 2200c)의 도포액 공급관(2210a, 2210c), 도포액 저장부(2220a, 2220c), 도포액 유로(2240a, 2240c)의 구조 및 기능도 제2 도포액 토출부와 대부분 동일하다.
그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 도포액 유로는 제1 도포액 토출부(2200a)에 연결된 제1 도포액 유로(2240a), 제2 도포액 토출부(2200b)에 연결된 제2 도포액 유로(2240b) 및 제3 도포액 토출부(2200c)에 연결된 제3 도포액 유로(2240c)의 순서대로 소정 간격 이격되어 교대로 형성되어 있다.
따라서, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 도포액 공급 장치(3000a)에 연결된 제1 도포액 유로(2240a)를 통해서는 제1 도포액 공급 장치(3000a)에 저장되어 있던 제1 도포액(20a)이 토출 공급되고, 제2 도포액 공급 장치(3000b)에 연결된 제2 도포액 유로(2240b)를 통해서는 제2 도포액 공급 장치(3000b)에 저장되어 있던 제2 도포액(20b)이 토출 공급되고, 제3 도포액 공급 장치(3000c)에 연결된 제3 도포액 유로(2240c)를 통해서는 제3 도포액 공급 장치(3000c)에 저장되어 있던 제3 도포액(20c)이 토출 공급된다. 따라서, 제1 도포액(20a)과 제2 도포액(20b)은 서로 소정 간격을 두고 기판(10) 위에 도포되고, 제2 도포액(20b)과 제3 도포액(20c)도 서로 소정 간격을 두고 기판 위에 도포된다.
그러므로, 여러 종류의 도포액을 선택적으로 기판 위에 도포할 수 있다. 예컨대, 제1 도포액(20a)이 R 색 필터 용액이고, 제2 도포액(20b)이 G 색 필터 용액이며, 제3 도포액(20c)이 B 색 필터 용액인 경우에는 색필터 제조에도 적용 가능하다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
본 발명에 따른 도포 장치는 노즐에 복수개의 감광액 토출부를 형성함으로써 도포가 필요한 영역에만 선택적으로 감광액이 도포할 수 있도록 하여 감광액의 사용을 최소화하고, 별도의 도포막 제거 공정을 사용하지 않아도 된다는 장점이 있다.

Claims (11)

  1. 기판이 장착되는 받침대;
    상기 받침대 위의 기판에 감광액을 도포하는 노즐;
    상기 노즐에 감광액을 공급하는 감광액 공급 장치;
    상기 노즐과 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 장치;
    를 포함하고,
    상기 노즐은 복수개의 감광액 토출부로 형성되어 있고,
    상기 복수개의 감광액 토출부 중 어느 하나의 감광액 토출부는 상기 감광액 공급관을 통해 공급된 감광액을 저장하는 감광액 저장부,
    상기 감광액 저장부의 저면과 연결되어 있으며 관모양인 복수의 감광액 유로,
    상기 감광액 유로와 연결되어 있으며 상기 복수의 감광액 유로로부터 전달되는 감광액을 모으는 감광액 슬릿부
    를 포함하는 도포 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 복수개의 감광액 토출부는 서로 소정 간격 이격되어 형성되어 있는 도포 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 복수개의 감광액 토출부 사이에는 차단벽이 형성되어 있는 도포 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 감광액 토출부는 상기 감광액 공급 장치에 연결되어 있는 감광액 공급관을 더 포함하는 도포 장치.
  5. 기판이 장착되는 받침대;
    상기 받침대 위의 기판에 도포액을 도포하는 노즐;
    상기 노즐에 도포액을 공급하는 도포액 공급 장치;
    상기 노즐과 기판을 상대적으로 이동시키는 이동 장치;
    를 포함하고,
    상기 노즐은 복수개의 도포액 토출부로 형성되어 있으며,
    상기 복수개의 도포액 토출부 중 어는 하나의 도포액 토출부는 상기 도포액 공급 장치에 연결되어 있는 도포액 공급관,
    상기 도포액 공급관을 통해 공급된 도포액을 저장하는 도포액 저장부,
    상기 도포액 저장부의 저면과 연결되어 있으며 관모양인 복수개의 도포액 유로를 포함하고, 서로 다른 상기 도포액 토출부에 연결되어 있는 도포액 유로는 상기 노즐의 저면 상에 소정 방향을 따라 인접하여 교대로 배치되어 있는 도포 장치.
  6. 삭제
  7. 제5항에서,
    상기 도포액 공급 장치는 서로 다른 도포액을 각각 포함하고 있는 복수개의 도포액 공급 장치인 도포 장치.
  8. 제7항에서,
    상기 도포액은 감광액인 도포 장치.
  9. 제7항에서,
    상기 도포액은 색필터 용액인 도포 장치.
  10. 제5항에서,
    상기 복수개의 도포액 토출부는 서로 소정 간격 이격되어 형성되어 있는 도포 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 복수개의 도포액 토출부 사이에는 차단벽이 형성되어 있는 도포 장치.
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