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KR100964653B1 - 광 테이프를 이용한 대면적 x선 검출장치의 제조 방법 - Google Patents

광 테이프를 이용한 대면적 x선 검출장치의 제조 방법 Download PDF

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KR100964653B1
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Abstract

본 발명은 광 테이프를 이용하여 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광 테이프를 이용하여 대면적의 센서 패널과 대면적의 신틸레이터 패널을 접착하여 대면적 X선 검출장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 X선을 검출하여 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 있어서, 센서 패널, 신틸레이터 패널 및 제1보호필름과 제2보호필름으로 양면이 보호된 광 테이프를 준비하는 단계; 상기 제1보호필름을 제거한 상기 광 테이프를 상기 센서 패널 상에 위치시키는 단계; 상기 광 테이프를 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계; 상기 광 테이프의 상기 제2보호필름을 제거하는 단계; 상기 광 테이프가 부착된 상기 센서 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 단계; 및 상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
광 테이프, 신틸레이터 패널, 센서 패널, X선 검출장치, 롤러

Description

광 테이프를 이용한 대면적 X선 검출장치의 제조 방법{Method for fabricating large area x-ray detector using an optical tape}
본 발명은 광 테이프를 이용하여 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광 테이프를 이용하여 대면적의 센서 패널과 대면적의 신틸레이터 패널을 접착하여 대면적 X선 검출장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.
X선 검출장치는 피사체의 각 부분을 통과하는 서로 다른 X선을 투과량에 따라 서로 다른 전기 신호로 출력함으로써 상기 피사체의 내부 구조를 이미지로 재구성하는 장치이다.
이러한 X선 검출장치는 산업용, 의료용 등 다양한 분야에서 사용되고 있으며 특히, 의료분야에서는 다양한 신체부위의 고화질 이미지를 획득하기 위하여 활발한 연구개발이 이루어지고 있다.
X선 검출장치의 구조를 간단히 살펴보면, 일반적으로 알루미늄층과 CsI층으로 이루어져 X선을 가시광선으로 변환하는 신틸레이터 패널과 상기 신틸레이터 패널에서 변환된 가시광선을 받아들여 가시광선의 세기에 따른 전기신호를 출력하는 TFT 패널로 이루어진다.
일반적인 X선 검출장치에는 X선이 신틸레이터 패널을 통과하여 TFT 패널까지 도달하는 동안 광학적인 확산이나 산란 등 다양한 원인으로 인하여 이미지의 질이 떨어진다는 문제점이 있다.
이러한 일반적인 X선 검출장치는 상기 신틸레이터 패널과 TFT 패널이 각각 제작되어 서로 접착함으로써 제조하게 되는데, 접착시에 상기 신틸레이터 패널과 TFT 패널은 사이의 거리를 균일하게 하여 접착하거나 기포를 함유하지않도록 하는 것은 매우 어려운 일이다.
또한, 대면적의 신틸레이터 패널이나 TFT 패널을 접합할 수 있는 제조장치의 구성이 어려우며, 신틸레이터 패널의 크기가 크기 때문에 발생하는 수많은 공정상의 어려움이 있었다.
이러한 어려움은 치아나 악궁 등의 이미지를 획득하는 구강센서와 같은 소면적 X선 검출장치를 제조하는데에는 큰 문제가 되지 않지만, 흉부나 두부 및 경부 등과 같은 광범위한 부분의 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치를 제조하는데에는 큰 문제로 작용하게 된다.
이로 인해, 신틸레이터 패널과 TFT 패널을 균일하게 접합시키는 기술이나 기포의 함유를 줄일 수 있는 기술에 대한 개발이 절실히 요구되고 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 대면적의 신틸레이터 패널과 대면적의 센서 패널을 광 테이프와 롤러를 이용하여 압착함으로써 신틸레이터 패널과 센서 패널 사이의 거리를 균일하게 유지하고, 기포의 함유를 줄임으로써 획득하는 이미지의 질을 향상시킬 수 있는 대면적 X선 검출장치의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 X선 검출장치의 제조 방법은 X선을 검출하여 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 있어서, 센서 패널, 신틸레이터 패널 및 제1보호필름과 제2보호필름으로 양면이 보호된 광 테이프를 준비하는 단계; 상기 제1보호필름을 제거한 상기 광 테이프를 상기 센서 패널 상에 위치시키는 단계; 상기 광 테이프를 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계; 상기 광 테이프의 상기 제2보호필름을 제거하는 단계; 상기 광 테이프가 부착된 상기 센서 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 단계; 및 상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 제조 방법은 진공 챔버 내에서 이루어진다.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 광 테이프는 투과율이 90% 이상이며, 굴절 율이 1.45 내지 1.47인 것을 사용할 수 있다. 또한, 상기 광 테이프는 특정온도에서 열적 변형율이 낮은 재료 예를 들면, 60℃ 이하에서 열적 변형율이 낮은 재료를 사용하는 것이 바람직하다.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 센서 패널의 가로 및 세로의 길이는 각각 8 내지 20 인치(inch)이고, 상기 신틸레이터 패널의 가로 및 세로의 길이는 각각 8 내지 20 인치이다. 또한, 상기 제조 방법은 상기 센서 패널의 가로 및 세로의 길이가 각각 20 인치 이상이고, 상기 신틸레이터 패널의 가로 및 세로의 길이도 각각 20인치 이상인 초대형 X선 검출장치를 제조하는데에도 적용될 수 있다.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널의 가로×세로의 길이는 8×8 인치, 10×12 인치 및 17×17 인치 중 어느 하나이다.
본 발명은 대면적의 신틸레이터 패널과 대면적의 센서 패널을 광 테이프와 롤러를 이용하여 압착함으로써 신틸레이터 패널과 센서 패널 사이의 거리를 균일하게 유지하고, 기포의 함유를 줄여 획득하는 이미지의 질을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명은 광 테이프를 이용하여 접합함으로써 센서 패널에 도달하는 빛의 양을 증가시켜 정확하고 효율적인 데이터를 얻을 수 있는 효과가 있다.
일반적으로 대면적 X선 검출장치는 X선을 가시광으로 변환할 수 있는 파장 변환기로서 신틸레이터와 상기 광을 전기 신호로 변환하는 센서소자를 포함하며 매 트릭스 형태로 배열되어 있는 픽셀 및 상기 픽셀로부터 신호를 연속적으로 전송하기 위해 각각의 픽셀과 접속되어 있는 광센서를 포함하고 있는 센서 패널을 포함하고 있다.
즉, 상기 대면적 X선 검출장치는 X선을 가시 광선으로 변환하는 신틸레이터 패널 후면에 상기 가시 광선 신호를 받아 전기신호로 변환하는 센서 패널을 부착하여 제작된다.
본 발명은 상기와 같은 대면적 X선 검출장치를 제작하기 위해 상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널을 광 테이프를 이용하여 접착하는 방법에 관한 것으로 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 상기 가시 광선 신호를 전기신호로 변환하는 수단으로 다양한 수단을 이용할 수 있지만 TFT를 이용하는 것이 일반적이므로, 본 발명에서는 센서 패널로서 TFT 패널을 이용하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프를 이용하여 제조된 대면적 X선 검출장치의 구성도이다.
도 1을 참조하여 설명하면, 본 발명의 실시 예에 따른 X선 검출장치(100)은 대면적 신틸레이터 패널(110)과 대면적 TFT 패널(140) 및 상기 대면적 신틸레이터 패널(110)과 상기 대면적 TFT 패널(140)을 접합하고 있는 접합층(230)으로 이루어져 있다.
상기 대면적 신틸레이터 패널(110)은 알루미늄 플레이트(120) 및 신틸레이터(130)로 이루어져 있다.
상기 신틸레이터 패널(110)의 표면에는 알루미늄 플레이트(120) 반사막을 설치함으로써 신틸레이터 패널(110)의 광 출력을 증가시켜 선명한 이미지를 획득할 수 있도록 하여 준다.
그리고 상기 신틸레이터(130)는 입사되는 X선을 가시광선으로 변환시키는 패널로서, 고휘도 형광물질인 요오드화 세슘(Csl) 등을 퇴적시켜 성막하는 주상 결정구조로 이루어져 있다. 이때, 본 발명에서는 상기 신틸레이터(130)를 이루고 있는 요오드화 세슘으로서 X선 센서의 해상도를 최적화할 수 있는 적절한 두께인 0.5mm의 두께를 갖도록 제작하였다.
상기 TFT 패널(140)은 TFT 및 가시광선을 센싱할 수 있는 포토 다이오드 등으로 이루어져 있다.
이때, 상기 TFT 패널(140)은 가로의 길이가 8 내지 20 인치(inch)이고, 가로의 길이도 8 내지 20 인치인 대면적 TFT 패널을 이용하였다. 또한, 상기 신틸레이터 패널(130) 역시 가로 및 세로의 길이가 모두 8 내지 20 인치인 대면적 신틸레이터 패널을 이용하였다.
즉, 본 발명은 가로 및 세로의 길이가 각각 20 인치 이상인 센서패널과, 가로 및 세로의 길이도 각각 20인치 이상인 신틸레이터 패널을 이용하여 접합함으로써 초대형 X선 검출장치를 제조할 수 있 수 있다. 한편, 바람직한 실시예로서 상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널의 가로×세로의 길이가 8×8 인치, 10×12 인치 또는 17×17 인치인 대면적 X선 검출장치를 제조할 수 있다.
상기 접합층(230)은 광 테이프(200)에 구비된 것으로, 제1보호필름 및 제2보 호필름에 의해 양면이 보호되어 있다. 이때, 상기 광 테이프(200)는 투과율이 90% 이상이며, 굴절율이 1.45 내지 1.47인 것을 사용할 수 있다. 또한, 상기 광 테이프는 특정온도에서 열적 변형율이 낮은 재료 예를 들면, 60℃ 이하에서 열적 변형율이 낮은 재료를 사용하는 것이 바람직하다.
도 2a 내지 2e는 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프와 롤러를 이용하여 TFT 패널 및 신틸레이터 패널을 접착함으로써 X선 검출장치를 제작하는 방법에 대한 공정도이다.
도 2a 내지 도 2e를 참조하여 설명하면, TFT 패널(140)과 신틸레이터 패널(110) 및 제1보호필름(210)과 제2보호필름(220)으로 접합층(230)의 양면이 보호된 광 테이프(200)를 준비한다.
먼저, 진공 챔버(300) 내에 상기 TFT 패널(140)을 로딩한다. 본 발명에서는 접합층(230)에 포함될 수 있는 기포를 제거하기 위하여 상기 진공 챔버(300)내에서 모든 공정을 진행한다.
이어서, 상기 TFT 패널(140) 광 테이프(200)를 위치시키고, 제1보호필름(210)을 제거한다. 이때, 상기 광 테이프(200)는 가시광선의 투과율 높은 광 테이프를 사용한다.
계속하여 상기 제1보호필름이 제거된 광 테이프(200)를 롤러(250)를 이용하여 상기 TFT 패널(104)의 측면에서부터 압착하기 시작한다. 이때, 상기 접합층(230)이 구비된 상기 광 테이프(200)가 상기 TFT 패널(140) 상에 균일하게 접합되도록 상기 롤러(250)를 정밀하게 조절하여 압착한다.
한편, 상기 광 테이프(200)에 형성된 상기 접합층(230)은 그 면적이 상기 신틸레이터 패널(110)의 면적과 동일한 것을 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에서는 상기 접합층(230)의 상기 TFT 패널(140) 상으로의 접합공정을 진공 챔버(300) 내에서 수행하므로 상기 접합층(230)에 포함되어 있는 기포를 제거해 낼 수 있을 뿐만 아니라, 상기 롤러(250)를 이용하므로 상기 접합층(230)의 높이를 균일하게 유지할 수 있다.
계속하여 상기 TFT 패널(140)에 압착되어 부착된 상기 광 테이프(200)의 제2보호필름(220)을 제거한 후 상기 접합층(230)만 부착되어 있는 상기 TFT 패널(140)상부에 상기 신틸레이터 패널(110)을 위치시킨다.
이때, 상기 신틸레이터 패널(110)의 일측 끝단이 상기 TFT 패널(140)의 일측 끝단과 맞닿도록 접촉시킨 후 롤러(250)를 이용하여 압착하기 시작한다. 이때, 상기 접합층(230)이 상기 신틸레이터 패널(110)과 상기 TFT 패널(140) 사이에 균일하게 접합되도록 상기 롤러(250)를 정밀하게 조절하여 압착한다.
본 발명의 실시예에서는 상기 접합층(230)이 접합된 상기 TFT 패널(140) 상에 상기 신틸레이터 패널(110)을 접합하는 공정을 상기 진공 챔버(300) 내에서 수행하므로 상기 접합층(230)에 포함되어 있는 기포를 제거해 낼 수 있을 뿐만 아니라, 상기 롤러(250)를 이용하므로 상기 신틸레이터 패널(110)과 상기 TFT 패널(140) 사이의 상기 접합층(230)의 높이를 균일하게 할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 대면적 X선 검출장치의 제조방법은 대면적의 신틸레이터 패널과 대면적의 센서 패널을 광 테이프와 롤러를 이용하 여 압착함으로써 신틸레이터 패널과 센서 패널 사이의 거리를 균일하게 유지하고, 기포의 함유를 줄여 획득하는 이미지의 질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 광 테이프를 이용하여 접합함으로써 센서 패널에 도달하는 빛의 양을 증가시켜 정확하고 효율적인 데이터를 얻을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 X선 검출장치의 제조방법에 의해 제조된 대면적 X선 검출장치는 치과용 장비 예를 들면, 파노라마 장치, CT 장치 및 세팔로 장치 등 다양한 장비에 응용될 수 있을 뿐만 아니라, 흉부 X선 촬영장치나 맘모 장치 등과 의료용 장비에도 다양하게 적용될 수 있다.
특히, 17×17 인치의 대면적 X선 검출장치를 이용할 경우, 17×17 인치의 신틸레이터 패널과 17×17 인치의 센서 패널을 각각 4장씩 붙여 사용하면 초대형 X선 검출장치를 제조할 수도 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프를 이용하여 제조된 대면적 X선 검출장치의 구성도이다.
도 2a 및 2e는 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프와 롤러를 이용하여 TFT 패널 및 신틸레이터 패널을 접착함으로써 X선 검출장치를 제작하는 방법에 대한 공정도이다.
< 도면의 주호 부호에 대한 설명 >
100 : X선 검출장치 110: 신틸레이터 패널
120 : 알루미늄 플레이트 130 : Csl
140 : TFT 패널 200 : 광테이프
210 : 제 1 보호필름 220 : 제 2 보호필름
230 : 접합층 250 : 롤러

Claims (5)

  1. X선을 검출하여 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 있어서,
    센서 패널, 신틸레이터 패널 및 제1보호필름과 제2보호필름으로 양면이 보호된 광 테이프를 진공 챔버 내에 준비하는 단계;
    상기 제1보호필름을 제거한 상기 광 테이프를 상기 센서 패널 상에 위치시키는 단계;
    상기 광 테이프를 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하되, 상기 광 테이프의 일 측 하부에서부터 타 측 하부까지 순차적으로 압착하여 부착하는 단계;
    상기 광 테이프의 상기 제2보호필름을 제거하는 단계;
    상기 광 테이프가 부착된 상기 센서 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 단계; 및
    상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하되, 상기 신틸레이터 패널의 일 측 하부에서부터 타 측 하부까지 순차적으로 압착하여 부착하는 단계;를 포함하며,
    상기 센서 패널의 가로 및 세로의 길이는 각각 8 내지 20 인치(inch)이고, 상기 신틸레이터 패널의 가로 및 세로의 길이는 각각 8 내지 20 인치인 것을 특징으로 하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 테이프는 투과율이 90% 이상이며, 굴절율이 1.45 내지 1.47인 것을 특징으로 하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법.
  4. 삭제
  5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널의 가로×세로의 길이는 8×8 인치, 10×12 인치 및 17×17 인치 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법.
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