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KR100943324B1 - 슬릿 코터 및 코팅액 도포방법 - Google Patents

슬릿 코터 및 코팅액 도포방법 Download PDF

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Publication number
KR100943324B1
KR100943324B1 KR1020090050223A KR20090050223A KR100943324B1 KR 100943324 B1 KR100943324 B1 KR 100943324B1 KR 1020090050223 A KR1020090050223 A KR 1020090050223A KR 20090050223 A KR20090050223 A KR 20090050223A KR 100943324 B1 KR100943324 B1 KR 100943324B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
dummy plate
nozzle
coating liquid
coated
cleaning
Prior art date
Application number
KR1020090050223A
Other languages
English (en)
Inventor
이진우
Original Assignee
에스브이에스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to KR1020090050223A priority Critical patent/KR100943324B1/ko
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Abstract

슬릿 코터 및 이를 이용한 코팅액 도포방법이 개시된다. 슬릿 코터는 피코팅물을 지지하는 테이블; 상기 테이블의 상면을 따라 평행이동하며, 코팅액을 상기 피코팅물에 분사하는 노즐; 및 상기 노즐이 수평 이동하는 초기에 상기 노즐에서 분사되는 상기 코팅액이 도포되는 슬릿 코터용 서비스 유닛;을 포함한다. 코팅액 도포방법은 슬릿형 노즐을 이동하여 피코팅물에 코팅액을 도포하는 방법에 있어서, 피코팅물에 인접하여 더미 플레이트를 위치시키는 제 1 단계; 및 상기 슬릿형 노즐을 상기 더미 플레이트의 상측에서 가속함과 동시에 코팅액을 토출하는 제 2 단계; 및 상기 제 2 단계 이후, 일정 속도까지 가속된 상기 슬릿형 노즐을 균일 속도로 진행하여 상기 피코팅물의 상면에 코팅액을 토출하는 제 3 단계;를 포함한다. 따라서, 연속적으로 코팅액을 토출함과 동시에 균일 속도구간에서 피코팅물에 코팅액을 도포함으로써, 종래에 비해 훨씬 일정한 두께의 양질의 코팅 품질을 얻을 수 있다는 장점이 있다.
슬릿 코터

Description

슬릿 코터 및 코팅액 도포방법{Slit coater and coting method using coating liquid}
본 발명은 슬릿 코터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평편 디스플레이 장치나, 대직경 반도체 웨이퍼의 제조에 사용되는 슬릿 코터에 관한 것이다.
평판표시장치 또는 반도체 소자의 제조공정에는 박막 증착공정과 상기 박막 중 선택된 영역을 노출시키는 포토리소그래피 공정 및 상기 선택된 영역의 박막을 제거하는 식각공정이 다수회 포함되어 있다. 상기 포토리소그래피공정은 기판 또는 웨이퍼 상에 포토레지스트와 같은 감광성 물질의 감광막을 형성하는 코팅공정과 소정의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 이를 패터닝하는 노광 및 현상공정으로 이루어져 있다.
일반적으로 기판 또는 웨이퍼 상에 감광막을 형성하는 상기 코팅공정에는 스프레이(spray) 코팅방법, 롤 코팅방법 또는 스핀(spin) 코팅방법 등이 사용된다. 상기 스프레이 코팅방법과 롤 코팅방법의 경우는 코팅막의 균일성과 막 두께 조정에서 고정밀도용으로는 적합하지 않다는 단점이 있다.
스핀 코팅방법은 소직경 웨이퍼와 같이 크기가 작은 피처리물에 감광막을 코 팅하는 데 적합하며, 피처리물의 크기가 크고 중량이 무거운 평판표시장치용 기판(예를들면, 액정표시패널용 유리기판)에 감광막을 코팅하는 데는 적합하지 않다. 이는 감광막이 코팅될 기판이 크고 중량이 무거울수록 기판을 고속으로 회전시키기 매우 어려우며, 고속 회전시 기판의 파손 및 에너지 소모가 매우 큰 문제점을 갖기 때문이다.
이와 같은 문제점을 해소하고자, 긴 슬릿을 구비한 노즐을 평행이동하여 피처리물에 코팅하는 슬릿 코터가 개발되었다.
도 1은 종래의 슬릿코터의 작동개념을 도시한 개념도이다.
도시된 바와 같이, 종래의 슬릿코터는 정반(40)위에 배치된 피코팅물(100)의 상면에 슬릿이 형성된 노즐(22)을 평행이동시킴으로서, 코팅막(30)을 피코팅물(100)에 도포를 한다. 따라서, 균일한 코팅막(30)을 형성하기 위해서는 노즐에서 나오는 코팅액의 양이 일정하여야 할 뿐만 아니라, 코팅액의 농도도 일정하여야 한다. 그러나, 하나의 피코팅물(100)을 코팅한 후, 새로운 피코팅물이 배치되기까지는 시간이 소요되며, 따라서, 노즐의 끝단에 위치하여 외부에 드러나 코팅액은 농도가 변화된다는 문제점이 있다.
이와 같은 문제점을 해소하기 위해, 한국공개특허 제10-2006-0079073호(이하, '공개발명')가 개발되었다. 공개발명은 별도의 회전롤러를 구비하여 코팅 전에 코팅액을 일부 토출한 후, 피코팅물에 도포하는 것을 개시하고 있다. 다만, 공개발명의 경우, 피코팅물의 코팅 시작점을 다른 부분과 동일하게 코팅하는 것이 매우 어렵다. 이는 시작점(30a)에서 코팅액이 토출되기 시작하므로, 연속적으로 토출되 는 과정에 코팅되는 다른 부분과 코팅액의 두께를 맞추기가 어렵기 때문이다. 그 결과, 도2a, 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 코팅 시작점(30a)에서 코팅액의 두께가 두텁거나 얇아짐으로써, 불량이 빈번히 발생한다는 문제점이 있다.
또한, 가속구간 내에서 코팅액을 토출하므로, 일정한 두께로 코팅액을 도포하기 위해서는, 토출되는 코팅액의 양을 변화시켜야 한다. 수 마이크로 단위로 코팅하는 공정에서 이를 정밀히 제어한다는 것은 매우 어려워, 불량의 원인이 된다.
또한, 공개 발명의 경우, 롤러와 이를 구동하는 구동장치 및 롤러를 세정하는 장치 등, 전체 장비가 복잡하고 커져 비용증대의 원인이 되며, 롤러에 코팅액을 과다하게 토출함으로서, 고가의 코탱액을 낭비한다는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 소형의 간단한 장비로 코팅을 균일하게 할 수 있는 슬릿코터 및 코팅액 도포방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하고자, 피코팅물을 지지하는 테이블; 상기 테이블의 상면을 따라 평행이동하며, 코팅액을 상기 피코팅물에 분사하는 노즐; 및 상기 노즐이 수평 이동하는 초기에 상기 노즐에서 분사되는 상기 코팅액이 도포되는 슬릿 코터용 서비스 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터를 제공한다.
여기서, 상기 슬릿 코터용 서비스 유닛은, 상기 노즐이 이동하는 직선 방향으로 상기 피코팅물과 나란히 배치되는 더미 플레이트;를 포함하고, 상기 노즐은 수평 이동하는 초기에 상기 더미 플레이트의 상면에 코팅액을 분사하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 더미 플레이트에 도포된 코팅액을 세정하는 더미 플레이트 세정장치; 및 상기 더미 플레이트를 상기 더미 플레이트 세정장치로 이송하는 더미 플레이트 이송장치;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 세정장치는, 상기 더미 플레이트의 상기 테이블을 바라보는 모서리를 감싸도록 형성되며, 세정액을 분사하는 노즐이 구비된 세정캡; 상기 세정캡 의 하부에 형성되어, 상기 세정액 및 세정된 상기 코팅액을 흡입하는 흡입장치;를 포함한다.
그리고, 상기 세정장치는, 상기 세정캡이, 상기 더미 플레이트의 모서리를 따라 왕복운동할 수 있도록 하는 세정캡 직선 이동장치;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 더미 플레이트 이송장치는, 서비스 유닛 프레임; 상기 서비스 유닛 프레임에 상기 더미 플레이트를 회전 구동하는 더미 플레이트 회전장치; 및 상기 서비스 유닛 프레임을 상기 테이블에 대해 수평이동하도록 하는 서비스 유닛 이동장치;를 포함한다.
또한, 상기 더미 플레이트는, 몸체를 구성하는 후판부; 및 상기 후판부의 상기 테이블을 바라보는 끝단에 배치되며, 상기 후판부에 비해서 얇게 형성된 블레이드;를 포함한다.
그리고, 상기 블레이드는, 상기 피코팅체의 끝단 모서리에 걸쳐지도록 한다.
또한, 상기 블레이드의 두께는 상기 노즐과 피코팅체 사이의 간극 보다 얇은 것이 바람직하다.
그리고, 상기 테이블의 상기 더미 플레이트를 바라보는 모서리는 요입되어 상기 더미 플레이트의 끌단이 수용될 수 있도록 형성된 것이 바람직하다.
한편 본발명의 다른 카테고리로, 슬릿형 노즐을 이동하여 피코팅물에 코팅액을 도포하는 방법에 있어서, 피코팅물에 인접하여 더미 플레이트를 위치시키는 제 1 단계; 및 상기 슬릿형 노즐을 상기 더미 플레이트의 상측에서 가속함과 동시에 코팅액을 토출하는 제 2 단계; 및 상기 제 2 단계 이후, 일정 속도까지 가속된 상기 슬릿형 노즐을 균일 속도로 진행하여 상기 피코팅물의 상면에 코팅액을 토출하는 제 3 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅액 도포방법이 제시된다.
여기서, 상기 더미 플레이트는, 몸체를 구성하는 후판부; 및 상기 후판부의 상기 피코팅물 측에 배치되며, 상기 후판부에 비해서 얇게 형성된 블레이드;를 포함하며, 상기 제 1 단계는 상기 블레이드를 상기 피코팅물의 끝단 모서리에 걸쳐지도록 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 코팅액을 도포한 후, 상기 더미 플레이트를 상기 피코팅물의 표면에서 수직방향으로 이동시켜, 상기 더미 플레이트를 상기 피코팅물에서 분리하는 것이 효과적이다.
그리고, 분리된 상기 더미 플레이트를 세정하는 세정단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 과제해결 수단에 의하면 다음과 같은 사항을 포함하는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 다만, 본 발명이 하기와 같은 효과를 모두 발휘해야 성립되는 것은 아니다.
먼저, 본 발명은 더미 플레이트를 구비함으로써, 연속적으로 코팅액을 토출함과 동시에 균일 속도구간에서 피코팅물에 코팅액을 도포함으로써, 종래에 비해 훨씬 일정한 두께의 양질의 코팅 품질을 얻을 수 있다는 장점이 있다.
또한, 더미 플레이트의 블레이드로 인해, 피코팅물의 모서리에 코팅액이 도 포되는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 관하여 상세히 설명한다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흩트리지 않도록 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예의 슬릿코터를 도시한 평면도, 도 4는 도 3의 측면도, 도 5는 도 4의 Ⅴ부분의 확대도, 도 6은 도 5의 Ⅵ 부분의 확대도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 슬릿코터는 피코팅물(100)을 지지하는 테이블(200), 상기 테이블(200)의 상면을 따라 평행이동하며, 코팅액을 상기 피코팅물에 분사하는 노즐(300)과, 상기 노즐(300)이 수평 이동하는 초기에 상기 노즐(300)에서 분사되는 상기 코팅액이 도포되는 슬릿 코터용 서비스 유닛(1000)을 포함한다.
테이블(200)은 평편한 석정반으로 형성되며, 피코팅물(100)은 평판형 디스플레이의 경우 일반적으로 유리판이 사용된다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며, 대직경의 반도체 웨이퍼 등도 사용될 수 있다. 테이블(200)의 더미 플레이트(1100)를 바라보는 모서리(210)는 요입되어 상기 더미 플레이트(1100)의 끌단이 수용될 수 있도록 형성된다. 이는 후술하는 더미 플레이트(1100)에 얇게 형성되는 블레이드(1120)의 폭(B)의 크기를 줄여 줌으로써, 더미 플레이트(1100)의 제조를 용이하게 할 뿐만 아니라, 블레이드(1120)의 변형을 줄여줄 수 있다.
노즐(300)은 피코팅물(100)의 폭 크기로 길게 형성되며, 피코팅물(100)을 바 라보는 면에 슬릿이 형성되어, 이 슬릿으로 코팅액이 토출된다. 별도로 도시하지 않았으나, 노즐(300)은 노즐 구동 프레임에 설치되어, 노즐 구동 프레임이 수평이동함으로서, 피코팅물의 상측에서 화살표 방향(D)으로 평행이동할 수 있다.
슬릿 코터용 서비스 유닛(1000)은, 상기 노즐(300)이 이동하는 직선 방향으로 상기 피코팅물(100)과 나란히 배치되는 더미 플레이트(1100)를 포함하며, 상기 노즐(300)은 수평 이동하는 초기에 상기 더미 플레이트(1100)의 상면에 코팅액을 분사하도록 한다. 또한, 상기 더미 플레이트(1100)에 도포된 코팅액을 세정하는 더미 플레이트 세정장치(1200)와, 상기 더미 플레이트(1100)를 상기 더미 플레이트 세정장치(1200)로 이송하는 더미 플레이트 이송장치(1300)를 포함한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 더미 플레이트(1100)는, 몸체를 구성하는 후판부(1110)와, 상기 후판부(1110)의 상기 테이블(200)을 바라보는 끝단에 배치되며, 상기 후판부(1110)에 비해서 얇게 형성된 블레이드(1120)를 포함한다. 더미 플레이트(1100)는 금속성 재질로 형성되며, 블레이드는 피코팅체(100)의 끝단 모서리에 걸쳐진다. 일반적으로 피코팅체(100)의 모서리는 제조공정 중 가공기계의 클램핑 등의 용도로 사용되므로, 코팅이 되지 않아야 한다. 따라서, 블레이드가 피코팅체(100)의 끝단 모서리에 걸쳐져, 피코팅체(100)의 끝단 모서리에 코팅되는 것을 간단히 방지할 수 있다. 상기 블레이드(1120)의 두께는 상기 노즐과 피코팅체 사이의 간극 보다 얇게 형성된다. 일반적으로 노즐과 피코팅체 사이의 두께는 100~150μm 정도가 되므로, 블레이드(1120)의 두께는 50μm 정도로 형성되는 것이 바람직하다.
더미 플레이트(1100)의 위치는 노즐(300)의 초기 대기 위치(Ⅰ)에 위치한다. 따라서, 노즐(300)은 더미 플레이트(1100)의 상측에서 가속하기 시작하여 피코팅물의 상측으로 이동하여 일정한 속도에 도달하며, 피코팅물의 상측에서는 균일한 속도로 이동할 수 있다. 이때, 노즐(300)은 더미 플레이트(1100) 상측에서부터, 코팅액을 토출한다. 따라서, 별도의 코팅액을 디스펜스 하는 서비스 유닛이 필요없으며, 균일한 속도로 수렴된 상태에서 연속적으로 코팅액을 토출하므로, 일정한 두께로 피코팅물의 상면을 코팅할 수 있다.
도 7은 도 3의 더미 플레이트 이송장치의 일부 사시도이다.
더미 플레이트 이송장치(1300)는, 서비스 유닛 프레임(1310)과, 상기 서비스 유닛 프레임(1310)에 상기 더미 플레이트(1100)를 회전 구동하는 더미 플레이트 회전장치(1320)와, 상기 서비스 유닛 프레임(1310)을 상기 테이블(200)에 대해 수평이동하도록 하는 서비스 유닛 이동장치(1330)을 포함한다.
서비스 유닛 프레임(1310)에는 더미 플레이트(1100), 더미 플레이트 이송장치(1300) 및 더미 플레이트 세정 장치가 결합된다.
더미 플레이트 회전장치(1320)는 서비스 유닛 프레임에 고정된 구동모터(1321)와, 구동모터(1321)에 연결된 회전축(1323)과, 회전축(1323)에 고정되고 더미 플레이트(1100)를 회전축(1323)에 고정하는 클램퍼(1322)를 포함한다. 구동모터(1321)는 위치를 제어할 수 있는 서보모터 등이 사용될 수 있다. 따라서, 구동모터(1321)를 구동하여, 더미 플레이트(1100)를 도 7의 회전방향(R)으로 회전시킬 수 있다.
서비스 유닛 이동장치(1330)는 서비스 유닛 프레임(1310)을 노즐의 진행방향(도 3의 화살표 D 방향)으로 직선 구동하는 직선 구동장치(1331)와, 서비스 유닛 이동장치의 직선 방향의 이동을 가이드 하도록 노즐의 진행방향으로 배치된 레일(1332)를 포함한다. 직선 구동장치(1331)는 리니어 모터 혹은 랙 피니언 장치 등과 같은 다양한 구성이 사용될 수 있다.
도 8은 도 3의 세정장치의 일부 사시도이다.
세정장치(1200)는, 더미 플레이트(1100)가 더미 플레이트 이송장치(1300)에 의해 도 8과 같이 세정위치로 이동하였을 때, 상기 더미 플레이트(1100)의 상기 테이블을 바라보는 모서리를 감싸도록 형성되며, 세정액을 분사하는 노즐(1211)이 구비된 세정캡(1210)과, 상기 세정캡(1210)의 하부에 형성되어, 상기 세정액 및 세정된 상기 코팅액을 흡입하는 흡입장치(미도시)와, 상기 세정캡(1210)이, 상기 더미 플레이트(1100)의 모서리를 따라 왕복운동할 수 있도록 하는 세정캡 직선 이동장치(1220)을 포함한다.
세정캡(1210)은 'U'자 형상으로 형성되며, 세정액인 신너 및 에어를 토출하는 노즐(1211)이 내측벽에 다수 형성되어 있다. 세정캡(1210)의 하면에는 세정액 및 세정된 코팅액을 흡입할 수 있도록 흡입구(1213)가 형성된다. 미도시한 흡입장치는 상기 흡입구(1213)에 연결되어 세정액 및 세정된 코팅액을 흡입한다.
세정캡 직선 이동장치(1220)는 구동모터(1221)와, 세정캡(1210)을 더미 플레이트(1100)의 길이방향으로 직선 이동시키는 볼스크류(1222)로 구성된다.
도 5의 도면번호 1400은 노즐 위치 레퍼런스(1400)로 테이블의 측면에 고정 되어, 노즐의 위치를 결정하는 기준이 되는 역할을 한다.
이하에서는 슬릿 코터의 작동방법 및 이를 이용한 코팅액 도포방법을 기술한다.
코팅액 도포방법은 피코팅물(100)에 인접하여 더미 플레이트(1100)를 위치시키는 제 1 단계(도 5)와, 슬릿형 노즐(300)을 더미 플레이트(1100)의 상측에서 가속함과 동시에 코팅액을 토출하는 제 2 단계(도 9)와, 상기 제 2 단계 이후, 일정 속도까지 가속된 상기 슬릿형 노즐(300)을 균일한 속도로 진행하여 상기 피코팅물의 상면에 코팅액을 토출하는 제 3 단계(도 10)를 포함한다.
상기 제 1 단계는 상기 블레이드(1120)를 상기 피코팅물(100)의 끝단 모서리에 걸쳐지도록 배치하도록 한다.
제 2 단계에서 노즐(300)은 정지 위치에서 가속을 한다. 속도 그래프는 도 9의 상측에 도시된 속도 다이어그램과 유사하다. 가장 이상적인 모델은 더미 플레이트(1100)의 상측에서 가속을 마쳐 균일 속도 구간에 진입한 후, 제 3 단계(도 10)로 넘어가는 것이다. 다만, 이에만 한정되는 것은 아니며, 대부분의 가속구간이 더미 플레이트(1100)의 상측에 위치하는 것만으로 원하는 효과를 달성할 수 있다.
또한, 2 단계에서 노즐(300)이 코팅액을 더미 플레이트(1100)의 상측에 토출한다. 이와 같이 함으로써, 제 3 단계에서 피코팅물에 코팅되는 코팅액의 농도를 일정하게 할 수 있다는 장점이 있다.
상기 제 3 단계이후에, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 더미 플레이트(1100)를 상기 피코팅물의 표면에서 수직방향(P)으로 이동시켜, 상기 더미 플레 이트를 상기 피코팅물에서 분리하는 것이 바람직하다. 본 발명의 실시예에서는 더미플레이트 회전장치(1320)를 이용하여 더미 플레이트를 도 11의 P 방향으로 회동시킴으로써, 더미 플레이트(1100)를 피코팅물의 표면에서 수직방향으로 이동시킬 수 있다. 이와 같이 함으로써, 블레이드(1120)와, 피코팅물(100)의 경계선 상의 코팅액을 보다 깨끗하게 분리할 수 있다는 장점이 있다.
그 다음, 분리된 상기 더미 플레이트(1100)를 세정하는 세정단계(도 12 및 도 13)을 더 포함한다.
보다 자세히 살펴보면, 도 11과 같이, 더비 플레이트(1100)를 상측으로 일부 회동시킨 후, 도 12에 도시된 바와 같이, 서비스 유닛 이동장치(1330)을 이용하여, 서비스 유닛 프레임(1310)을 테이블에서 멀어지는 방향으로 이송시킨다. 이송 거리는 더미 플레이트(1100)가 회동을 하더라도 테이블과 간섭이 일으나지 않는 정도면 족하다.
그 다음, 도 13과 같이, 더미플레이트 회전장치(1320)을 이용하여 더미 플레이트(1100)를 회동하여, 더미 플레이트의 블레이드(1120)가 형성된 모서리가 세정장치의 세정캡(1210)의 노즐(1211)이 형성된 홈에 나란하도록 배치한다.
그 다음, 세정캡 직선 이동장치(1220)을 이용하여 세정캡(1210)이 이 더미 플레이트의 모서리를 감싸며 길이방향으로 왕복하도록 한다. 이때, 노즐(1211)에서 세정액 및 공기를 분사하며, 흡입구(1213)를 통해서 흡입하여, 더미 플레이트에 코팅된 코팅액을 세정한다.
상기와 같이, 본 발명은 더미 플레이트를 구비함으로써, 연속적으로 코팅액 을 토출함과 동시에 균일 속도구간에서 피코팅물에 코팅액을 도포함으로써, 종래에 비해 훨씬 일정한 두께의 양질의 코팅 품질을 얻을 수 있다는 장점이 있다.
즉, 종래에는 롤러에 미리 코팅액을 도포한 후, 피코팅물의 코팅 시작 위치에 위치하고, 코팅액을 도포하여야 함으로, 코팅액의 토출량을 노즐의 속도에 따라서 조절하여야 하므로, 제어가 복잡할 뿐만 아니라, 코팅의 두께의 균일도도 떨어진다는 문제점이 있었다. 이에 반해 본 발명은 일정한 속도로 일정한 양의 코팅액을 연속적으로 토출하면서, 피코팅물의 코팅을 시작하므로 이러한 문제점을 완벽하게 해소할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
도 1은 종래의 슬릿코터의 작동개념을 도시한 개념도
도 2a 및 도 2b는 종래의 슬릿코터를 이용하여 코팅한 일단의 확대도
도 3은 본 발명의 일실시예의 슬릿코터를 도시한 평면도
도 4는 도 3의 측면도
도 5는 도 4의 Ⅴ부분의 확대도
도 6은 도 5의 Ⅵ 부분의 확대도
도 7은 도 3의 더미 플레이트 이송장치의 일부 사시도
도 8은 도 3의 세정장치의 일부 사시도
도 9 내지 도 13은 도 1의 슬릿 코터용 서비스 유닛의 동작을 단계별로 도시한 측면도
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100: 피코팅물 200: 테이블
300: 노즐 1000: 슬릿 코터용 서비스 유닛
1100: 더미 플레이트 1200: 더미 플레이트 세정장치
1300: 더미 플레이트 이송장치 1210: 세정캡
1220: 세정캡 직선 이동장치 1310: 서비스 유닛 프레임
1320: 더미 플레이트 회전장치 1330: 서비스 유닛 이동장치
1110: 후판부 1120: 블레이드

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 피코팅물을 지지하는 테이블;
    상기 테이블의 상면을 따라 평행이동하며, 코팅액을 상기 피코팅물에 분사하는 노즐; 및
    상기 노즐이 수평 이동하는 초기에 상기 노즐에서 분사되는 상기 코팅액이 도포되는 슬릿 코터용 서비스 유닛;
    을 포함하고,
    상기 슬릿 코터용 서비스 유닛은,
    상기 노즐이 이동하는 직선 방향으로 상기 피코팅물과 나란히 배치되는 더미 플레이트;
    를 포함하고,
    상기 더미 플레이트는, 몸체를 구성하는 후판부; 및
    상기 후판부의 상기 테이블을 바라보는 끝단에 배치되며, 상기 후판부에 비해서 얇게 형성된 블레이드; 를 포함하며,
    상기 노즐은 수평 이동하는 초기에 상기 더미 플레이트의 상면에 코팅액을 분사하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 더미 플레이트에 도포된 코팅액을 세정하는 더미 플레이트 세정장치; 및
    상기 더미 플레이트를 상기 더미 플레이트 세정장치로 이송하는 더미 플레이트 이송장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  4. 피코팅물을 지지하는 테이블;
    상기 테이블의 상면을 따라 평행이동하며, 코팅액을 상기 피코팅물에 분사하는 노즐; 및
    상기 노즐이 수평 이동하는 초기에 상기 노즐에서 분사되는 상기 코팅액이 도포되는 슬릿 코터용 서비스 유닛;
    을 포함하고,
    상기 슬릿 코터용 서비스 유닛은,
    상기 노즐이 이동하는 직선 방향으로 상기 피코팅물과 나란히 배치되는 더미 플레이트;
    상기 더미 플레이트에 도포된 코팅액을 세정하는 더미 플레이트 세정장치; 및
    상기 더미 플레이트를 상기 더미 플레이트 세정장치로 이송하는 더미 플레이트 이송장치;
    를 포함하고,
    상기 노즐은 수평 이동하는 초기에 상기 더미 플레이트의 상면에 코팅액을 분사하며,
    상기 세정장치는,
    상기 더미 플레이트의 상기 테이블을 바라보는 모서리를 감싸도록 형성되며, 세정액을 분사하는 노즐이 구비된 세정캡;
    상기 세정캡의 하부에 형성되어, 상기 세정액 및 세정된 상기 코팅액을 흡입하는 흡입장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 세정장치는,
    상기 세정캡이, 상기 더미 플레이트의 모서리를 따라 왕복운동할 수 있도록 하는 세정캡 직선 이동장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  6. 피코팅물을 지지하는 테이블;
    상기 테이블의 상면을 따라 평행이동하며, 코팅액을 상기 피코팅물에 분사하는 노즐; 및
    상기 노즐이 수평 이동하는 초기에 상기 노즐에서 분사되는 상기 코팅액이 도포되는 슬릿 코터용 서비스 유닛;
    을 포함하고,
    상기 슬릿 코터용 서비스 유닛은,
    상기 노즐이 이동하는 직선 방향으로 상기 피코팅물과 나란히 배치되는 더미 플레이트;
    상기 더미 플레이트에 도포된 코팅액을 세정하는 더미 플레이트 세정장치; 및
    상기 더미 플레이트를 상기 더미 플레이트 세정장치로 이송하는 더미 플레이트 이송장치;
    를 포함하고,
    상기 노즐은 수평 이동하는 초기에 상기 더미 플레이트의 상면에 코팅액을 분사하며,
    상기 더미 플레이트 이송장치는,
    서비스 유닛 프레임;
    상기 서비스 유닛 프레임에 상기 더미 플레이트를 회전 구동하는 더미 플레이트 회전장치; 및
    상기 서비스 유닛 프레임을 상기 테이블에 대해 수평이동하도록 하는 서비스 유닛 이동장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  7. 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 더미 플레이트는, 몸체를 구성하는 후판부; 및
    상기 후판부의 상기 테이블을 바라보는 끝단에 배치되며, 상기 후판부에 비해서 얇게 형성된 블레이드;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  8. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 블레이드는, 상기 피코팅체의 끝단 모서리에 걸쳐지는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 블레이드의 두께는 상기 노즐과 피코팅체 사이의 간극 보다 얇은 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 테이블의 상기 더미 플레이트를 바라보는 모서리는 요입되어 상기 더미 플레이트의 끌단이 수용될 수 있도록 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 블레이드는, 상기 피코팅체의 끝단 모서리에 걸쳐지며,
    상기 테이블의 상기 더미 플레이트를 바라보는 모서리는 요입되어 상기 더미 플레이트의 끌단이 수용될 수 있도록 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 코터.
  12. 슬릿형 노즐을 이동하여 피코팅물에 코팅액을 도포하는 방법에 있어서,
    피코팅물에 인접하여 더미 플레이트를 위치시키는 제 1 단계; 및
    상기 슬릿형 노즐을 상기 더미 플레이트의 상측에서 가속함과 동시에 코팅액을 토출하는 제 2 단계; 및
    상기 제 2 단계 이후, 일정 속도까지 가속된 상기 슬릿형 노즐을 균일 속도로 진행하여 상기 피코팅물의 상면에 코팅액을 토출하는 제 3 단계;
    를 포함하며,
    상기 더미 플레이트는,
    몸체를 구성하는 후판부; 및
    상기 후판부의 상기 피코팅물 측에 배치되며, 상기 후판부에 비해서 얇게 형성된 블레이드;
    를 포함하며,
    상기 제 1 단계는 상기 블레이드를 상기 피코팅물의 끝단 모서리에 걸쳐지도록 배치하는 것을 특징으로 하는 코팅액 도포방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 코팅액을 도포한 후,
    상기 더미 플레이트를 상기 피코팅물의 표면에서 수직방향으로 이동시켜, 상기 더미 플레이트를 상기 피코팅물에서 분리하는 것을 특징으로 하는 코팅액 도포방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    분리된 상기 더미 플레이트를 세정하는 세정단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅액 도포 방법.
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