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KR100917001B1 - 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한트레이 이송방법 - Google Patents

테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한트레이 이송방법 Download PDF

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KR100917001B1
KR100917001B1 KR1020070120081A KR20070120081A KR100917001B1 KR 100917001 B1 KR100917001 B1 KR 100917001B1 KR 1020070120081 A KR1020070120081 A KR 1020070120081A KR 20070120081 A KR20070120081 A KR 20070120081A KR 100917001 B1 KR100917001 B1 KR 100917001B1
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KR
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tray
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박영화
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세크론 주식회사
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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치에 관한 것으로서, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 트레이를 저장하는 로딩 적재부, 상기 트레이를 로딩영역에 공급하고 빈 트레이를 상기 로딩영역에서 회수하는 로딩 안착부, 빈 트레이를 저장하는 빈 트레이 적재부, 빈 트레이를 언로딩영역에 공급하고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 상기 트레이를 상기 언로딩영역에서 회수하는 언로딩 안착부, 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 트레이를 저장하는 언로딩 적재부, 및 상기 트레이를 각각 파지하여 독립적으로 이송하는 제1ㆍ제2이송부를 포함한다.
본 발명에 의하면, 제1ㆍ제2이송부가 트레이를 각각 파지하여 독립적으로 이송할 수 있으므로 트레이의 회수 준비 및 회수 동작을 수행함과 동시에, 필요한 다른 트레이의 공급 준비 및 공급 동작을 수행할 수 있어 트레이의 공급 및 회수 속도를 증가시킴으로써 테스트 핸들러의 UPH(Unit Per Hour)를 향상시킬 수 있다.
Figure R1020070120081
테스트 핸들러, 트레이, 공급, 회수, 이송방법

Description

테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한 트레이 이송방법 {Tray supplying and collecting apparatus for test handler and tray transferring method using the same}
본 발명은 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한 트레이 이송방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 트레이의 회수 준비 및 회수 동작을 수행함과 동시에 필요한 다른 트레이의 공급 준비 및 공급 동작을 수행할 수 있어 트레이의 공급 및 회수 속도를 증가시킬 수 있는 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한 트레이 이송방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자를 제조하는 후공정에 있어서, 웨이퍼(Wafer)에서 절단되고 낱개로 분리된 복수의 반도체칩을 보조기판에 부착한 후 몰딩재료로 외부를 감싸 완성된 반도체소자는, 챔버 내부에 위치되어 고온에서 저온에 이르는 다양한 온도의 환경에서 전기적 성능을 테스트하는 공정을 거친다.
이러한 테스트 공정은 트레이 공급회수장치 및 테스트부를 포함하는 테스트 핸들러(Test handler)에 의해 수행된다.
상기 트레이 공급회수장치는 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스터머 트 레이를 로딩영역에 공급하고, 테스트 완료된 반도체소자가 안착된 커스터머 트레이를 언로딩영역으로부터 회수한다.
상기 테스트부에는 테스트 대상 반도체소자에 대한 전기적 성능 테스트를 수행하는 테스터(Tester)가 구비된다. 상기 테스트부는 커스터머 트레이에 적재되어 상기 로딩영역에 공급된 테스트 대상 반도체소자를 빈 테스트 트레이에 옮겨 적재하고, 테스트 트레이에 적재된 테스트 대상 반도체소자는 테스트를 위해 상기 테스터로 전달된다.
테스트가 완료되면, 상기 테스트부는 테스트 완료된 반도체소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 구분하여 테스트 트레이에서 언로딩영역에 위치된 빈 커스터머 트레이로 옮겨 적재한다.
이후, 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 커스터머 트레이는 전술한 바와 같이 트레이 공급회수장치에 의해 언로딩영역으로부터 회수된다.
이와 같은 동작을 하는 종래의 트레이 공급회수장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 대상 반도체소자를 적재한 커스터머 트레이(CT1 ; Customer Tray)가 저장되는 로딩 적재부(10), 커스터머 트레이(CT1)를 로딩영역(LA ; Loading Area)에 공급하는 로딩 안착부(20), 언로딩영역(UA ; Unloading Area)로부터 빈 커스터머 트레이(CT2)를 회수하는 언로딩 안착부(30), 커스터머 트레이(CT3)가 그 내부에 적재된 테스트 완료 반도체소자의 등급에 따라 구분되어 저장되는 언로딩 적재부(40), 빈 커스터머 트레이(CT2)가 저장되는 빈 트레이 적재부(50), 및 상술한 각 구성요소 간을 이동하며 커스터머 트레이(CT)를 이송하는 이송부(60)로 구성된다.
여기서 상기 이송부(60)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 커스터머 트레이(CT)를 파지하는 한 쌍의 그리퍼(61a, 61b), 그리퍼(61)가 승강할 수 있도록 연결된 이송몸체(62), 그리퍼(61)의 승강을 안내하는 제1가이드부(63), 모터(64a-1, 64b-1)와 볼스크류(64a-2, 64b-2)를 포함하여 그리퍼(61)를 승강시키는 제1구동부(64), 이송몸체(62)의 왕복이송을 안내하는 제2가이드부(65) 및 모터(66-1)와 볼스크류(66-2)를 포함하여 상기 이송몸체(62)를 왕복이송시키는 제2구동부(66)로 구성된다.
이하, 도 3a 내지 3d를 참조하여, 로딩영역(LA)의 빈 커스터머 트레이(CT2)를 회수하여 빈 트레이 적재부(50)에 저장하고, 로딩 적재부(10)에 저장되고 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스터머 트레이(CT1)를 로딩영역(LA)에 공급하는 것을 예로 들어 상술한 종래의 트레이 공급회수장치의 동작을 설명한다.
먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 그리퍼(61) 중 어느 하나(61a)가 로딩 적재부(10)로 이송되고 하강하여 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스터머 트레이(CT1)를 파지한다. 그리고, 도 3b에 도시된 바와 같이, 로딩 안착부(20)가 하강하여 빈 커스터머 트레이(CT2)를 회수할 수 있도록, 이송몸체(62)가 로딩 안착부(20)의 승강 경로로부터 회피된다.
이후, 도 3c에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 그리퍼(61) 중 다른 하나(61b)가 로딩 안착부(20)의 빈 커스터머 트레이(CT2)를 파지하여 이송하고, 한 쌍의 그리퍼(61) 중 어느 하나(61a)가 파지했던 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스터머 트레이(CT1)를 로딩 안착부(20)에 안착시킨다.
그 후, 도 3d에 도시된 바와 같이, 로딩 안착부(20)가 상승하여 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스터머 트레이(CT1)를 로딩영역(LA)에 공급할 수 있도록 이송몸체(62)가 로딩 안착부(20)의 승강 경로로부터 회피되고, 로딩 안착부(20)가 상승한다. 그리고, 빈 커스터머 트레이(CT2)를 파지한 그리퍼(61)는 빈 트레이 적재부(50)에 빈 커스터머 트레이(CT2)를 저장한다.
이렇게 동작하는 종래의 트레이 공급회수장치는, 상기 한 쌍의 그리퍼(61)가 하나의 이송몸체(62)에 구비되어 어느 하나의 그리퍼(61a) 이동을 위해 다른 하나의 그리퍼(61b)도 함께 이동되어야 하는 단점이 있다.
따라서, 한 쌍의 그리퍼(61)가 모든 구성요소 사이를 함께 이동하며 커스터머 트레이(CT)를 이송하므로, 순서대로 작업을 수행할 수밖에 없어 커스터머 트레이(CT)의 공급 및 회수 속도가 느린 문제점이 있다.
그리고 상기 이송몸체(62)는 한 쌍의 그리퍼(61)가 모두 구비될 수 있을 만큼 큰 폭을 갖도록 구비되므로, 로딩ㆍ언로딩 안착부(20, 30)의 승강 시, 큰 폭을 갖는 이송몸체(62)가 그 승강 경로로부터 완전히 회피하기 위해 이동되어야 하는 거리가 길어져 이송몸체(62)의 회피 이동에 걸리는 시간이 긴 단점이 있다.
이와 같이, 종래의 트레이 공급회수장치는, 한 쌍의 그리퍼(61)에 의한 커스터머 트레이(CT)의 이송 효율이 감소되어 로딩ㆍ언로딩영역(LA, UA)에 대한 커스터머 트레이(CT) 공급 및 회수 속도가 느리다.
따라서, 테스트 대상 반도체소자가 테스터에 전달되는 속도, 및 테스트 완료된 반도체소자가 테스터로부터 수거되는 속도가 느려 테스트 핸들러의 시간당 생산 량(UPH; Unit Per Hour)이 저조한 문제점이 있다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 커스토머 트레이의 회수 준비 및 회수 동작을 수행함과 동시에, 필요한 다른 커스토머 트레이의 공급 준비 및 공급 동작을 수행할 수 있어 커스토머 트레이 공급 및 회수 속도를 증가시킬 수 있는 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한 트레이 이송방법을 제공하고자 한다.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 커스토머 트레이에 적재된 상태로 로딩영역에 공급되는 테스트 대상 반도체소자를 테스트 트레이로 옮긴 상태에서 품질테스트를 수행한 다음 테스트 완료된 반도체소자를 언로딩영역에 공급되는 커스토머 트레이로 옮겨 배출하는 테스트 핸들러에 부속되어, 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 로딩영역에 공급한 다음 빈 커스토머 트레이를 상기 로딩영역으로부터 회수하고, 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역에 공급한 다음 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역으로부터 회수하는 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치에 있어서, 일렬로 나란하게 배치되는, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 다수의 커스토머 트레이를 저장하는 하나 이상의 로딩 적재부, 빈 커스토머 트레이를 저장하는 하나 이상의 빈 트레이 적재부, 및 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 저장하는 하나 이상의 언로딩 적재부를 포함하는 다수의 적재부; 상기 로딩영역에서 승강하면서, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 로딩영역에 공급하고, 빈 커스토머 트레이를 상기 로딩영역에서 회수하는 하나 이상의 로딩 안착부; 상기 언로딩영역에서 승강하면서, 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역에 공급하고, 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역에서 회수하는 하나 이상의 언로딩 안착부; 및 각각 독립적으로, 일렬로 정렬된 상기 로딩 적재부, 상기 빈 트레이 적재부, 및 상기 언로딩 적재부를 따라 수평으로 이동가능하고, 커스토머 트레이의 파지와 승강운동이 가능하도록 형성되어, 각각 독립적으로, 로딩 안착부 및 언로딩 안착부에 각각 상기 로딩 적재부 및 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 이송하거나, 로딩 안착부 및 언로딩 안착부로부터 각각 회수한 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부 및 상기 언로딩 적재부로 이송하여 저장하는, 제1ㆍ제2이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 제공한다.
상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치는, 상기 제1이송부가 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키도록 구비될 수 있다.
상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치는, 상기 제1이송부가 상기 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키도록 구비될 수 있다.
상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치는, 상기 로딩 안착부에서 이송된 빈 커스토머 트레이의 상기 반도체소자 잔존 여부를 확인하는 확인부를 더 포함하되, 상기 제1이송부가 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 확인부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키도록 구비될 수 있다.
상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치는, 상기 제2이송부가 상기 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때, 상기 제1이송부가 상기 확인부에서 확인 완료된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키도록 구비될 수 있다.
한편, 본 발명은, 각각 독립적으로, 일렬로 정렬된 로딩 적재부, 빈 트레이 적재부, 및 언로딩 적재부를 포함하는 다수의 적재부를 따라 수평으로 이동가능하고, 각각의 적재부에서 커스토머 트레이의 파지와 승강운동이 가능하도록 형성되는 제1이송부 및 제2이송부를 통해, 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 로딩 안착부로 이송하고, 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부로 이송하거나 빈 커스토머 트레이에 반도체소자가 잔존하는지 여부를 확인하는 확인부로 이송하며, 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 빈 커스토머 트레이를 언로딩 안착부로 이송하고, 상기 언로딩 안착부에 위치된 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송하는, 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용한 트레이 이송방법에 있어서, 제1이송부가 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부로 이송할 때, 제2이송부가 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송방법을 제공한다.
상기 트레이 이송방법은, 상기 제1이송부가 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 언로딩 적재부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 이송방법은, 상기 제1이송부가 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 확인부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 트레이 이송방법은, 상기 제2이송부가 상기 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때, 상기 제1이송부가 상기 확인부에서 확인 완료된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
이러한 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한 트레이 이송방법에 의하면, 제1ㆍ제2이송부가 커스토머 트레이를 각각 파지하여 독립적으로 이송할 수 있으므로 커스토머 트레이의 회수 준비 및 회수 동작을 수행함과 동시에, 필요한 다른 커스토머 트레이의 공급 준비 및 공급 동작을 수행할 수 있다.
또한, 로딩ㆍ언로딩 안착부의 승강시 제1ㆍ제2이송부가 각각 독립적으로 이송되어 로딩ㆍ언로딩 안착부의 승강 경로에서 회피할 수 있으므로, 제1ㆍ제2이송부의 회피에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
따라서, 커스토머 트레이의 회수 준비 및 공급 준비 동작을 동시에 수행하고 로딩ㆍ언로딩 안착부의 승강 경로에서 빠르게 회피하여, 커스토머 트레이의 공급 및 회수 속도를 증가시킴으로써 테스트 핸들러의 시간당 생산량을 향상시킬 수 있다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세 히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 그 범위가 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치는 테스트부를 포함하는 테스트 핸들러에 구비된다. 상기 트레이 공급회수장치는 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 로딩영역에 전달하고, 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 언로딩영역으로부터 회수한다.
상기 테스트부는 커스토머 트레이에 적재되어 전달된 테스트 대상 반도체소자를 빈 테스트 트레이에 옮겨 적재하고, 테스트 트레이에 적재된 테스트 대상 반도체소자에 대한 전기적 성능 테스트를 수행한다. 그리고, 테스트가 완료되면, 테스트 완료된 반도체소자를 커스토머 트레이로 다시 옮긴다. 그 후, 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이는 전술한 바와 같이 공급회수장치에 의해 언로딩영역으로부터 회수된다.
이하, 첨부된 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다. 상기 트레이 공급회수장치는 로딩 적재부(100), 로딩 안착부(200), 빈 트레이 적재부(300), 언로딩 안착부(400), 언로딩 적재부(500), 확인부(600) 및 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)를 포함한다.
상기 로딩 적재부(100)는 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)가 저장되는 곳이다. 로딩 적재부(100)는 복수 개로 구비될 수도 있으며, 이 경우 각각의 로딩 적재부(100)에는 동일한 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)가 저장된다.
상기 로딩 안착부(200)는 로딩 적재부(100)의 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)가 안착되어 로딩영역(LA)에 공급되는 곳으로서 역시 복수 개로 구비될 수 있다.
그리고, 상기 로딩 안착부(200)는 승강할 수 있도록 구비되어, 하강한 상태로 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)에 의해 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)가 안착되면, 상승하여 이를 로딩영역(LA)에 전달한다. 또한, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)가 모두 비어 빈 커스토머 트레이(CT2)가 되면 하강하여 빈 커스토머 트레이(CT2)를 로딩영역(LA)으로부터 회수한다.
상기 빈 트레이 적재부(300)는 빈 커스토머 트레이(CT2)가 로딩 안착부(200) 또는 확인부(600)로부터 이송되어 저장되는 곳이다.
상기 언로딩 안착부(400)는 테스트 완료된 반도체소자가 소정의 동일 등급별로 구분되어 적재될 빈 커스토머 트레이(CT2)가 위치되는 곳으로서, 복수 개로 구비된다. 이때, 각 언로딩 안착부(400)에 위치된 복수의 빈 커스토머 트레이(CT2)에는 테스트 결과에 따른 등급별로 반도체소자가 구분되어 적재된다.
상기 언로딩 안착부(400)는 로딩 안착부(200)와 마찬가지로 승강될 수 있도록 구비되어, 하강한 상태로 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)에 의해 빈 커스토머 트레이(CT2)가 안착되고, 상승하여 이를 언로딩영역(UA)에 공급한다. 그리고, 빈 커스토머 트레이(CT2)에 테스트 완료 반도체소자가 모두 적재되면 하강하여 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)를 언로딩영역(UA)으로부터 회수한다.
상기 언로딩 적재부(500)는 하강한 언로딩 안착부(400)의 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)가 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)에 의해 이송되어 저장되는 곳이다. 상기 언로딩 적재부(230)는 복수 개로 구비되어 각각 동일한 등급의 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)가 각각 구분되어 저장된다.
상기 확인부(600)는 로딩영역(LA)으로부터 회수된 빈 커스토머 트레이(CT2)에 반도체소자가 잔존해 있는지 여부를 검사한다. 상기 확인부(600)는 회수된 빈 커스토머 트레이(CT2)를 뒤집어 반도체소자가 잔존해 있을 경우, 잔존한 반도체소자가 하측으로 배출되고, 하측에는 이와 같이 배출되는 반도체소자를 수거하는 수거함(미도시)이 구비된다.
상기 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)는 각각 커스토머 트레이(CT)를 파지하여 독립적으로 이송함으로써, 상술한 바와 같은 각 구성요소 간의 커스토머 트레이(CT) 이송을 담당한다. 이를 위해 상기 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1ㆍ제2그리퍼(710a, 710b), 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b), 제1ㆍ제2가이드부(730a, 730b), 제1ㆍ제2승강구동부(740a, 740b), 지지플레이트(SP; Supporting Plate), 중앙가이드부(MGP; Main Guiding Part) 및 제1ㆍ제2구동부(750a, 750b)를 각각 포함한다.
상기 제1ㆍ제2그리퍼(710a, 710b)는 커스토머 트레이(CT)를 상측에서 파지 또는 분리할 수 있도록 구비되고, 승강 가능하도록 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)에 각각 설치된다. 상기 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)는 수평으로 왕복 이송 가능하도록 지지플레이트(SP)에 설치된다.
상기 제1ㆍ제2가이드부(730a, 730b)는 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)에 각각 구비되고, 제1ㆍ제2그리퍼(710a, 710b)의 승강을 각각 안내한다. 상기 제1ㆍ제2승강구동부(740a, 740b)는 모터(740a-1, 740b-1), 풀리(740a-2, 740b-2) 및 벨트(740a-3, 740b-3)를 포함하여 제1ㆍ제2그리퍼(710a, 710b)를 각각 승강시킨다.
상기 지지플레이트(SP)는 바닥면에 설치된 테스트 핸들러의 몸체에 고정설치되고, 중앙가이드부(MGP)는 지지플레이트(SP)에 대한 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)의 수평 왕복 이송을 안내한다. 그리고 상기 제1ㆍ제2구동부(750a, 750b)는 모터(750a-1, 750b-1), 풀리(750a-2, 750b-2) 및 벨트(750a-3, 750b-3)를 포함하여 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)를 각각 수평 이송시킨다.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 제1ㆍ제2승강구동부(740a, 740b) 및 제1ㆍ제2구동부(750a, 750b)는 각각 모터(740a-1, 740b-1, 750a-1, 750b-1), 풀리(740a-2, 740b-2, 750a-2, 750b-2) 및 벨트(740a-3, 740b-3, 750a-3, 750b-3)로 이루어졌으나, 그 구성은 제1ㆍ제2그리퍼(710a, 710b)를 승강시키거나 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)를 이송시킬 수 있는 것이라면 충분하고 이에 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 따른 트레이 공급회수장치는 상술한 바와 같이, 제1ㆍ제2그리퍼(710a, 710b)가 각각 독립적으로 수평 이송될 수 있는 제1ㆍ제2이송몸체(720a, 720b)에 각각 설치되어 서로 다른 커스토머 트레이(CT) 이송 작업을 동시에 수행할 수 있고, 서로 반대 방향으로 이송될 수도 있어 로딩ㆍ언로딩 안착부(200, 400)의 승강 경로에서 빠르게 회피할 수 있다.
이하, 도 6a 내지 7d를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용한 트레이 이송방법을 구체적으로 설명한다.
일반적으로 테스트부(미도시)는 공급받은 테스트 대상 반도체소자를 커스토머 트레이(CT1)에서 순서대로 꺼내어 전기적 테스트를 수행한다. 따라서, 로딩영역(LA)에 공급 또는 회수되는 커스토머 트레이(CT1, CT2)의 이송은 비교적 규칙적이다.
그러나, 테스트 완료 반도체소자는 테스트 결과의 등급에 따라 구분되어 언로딩영역(UA)의 빈 커스토머 트레이(CT2)에 적재되므로, 다수를 차지하는 등급의 반도체소자가 적재되는지, 소수를 차지하는 등급의 반도체소자가 적재되는지에 따라 복수의 언로딩 안착부(400)에 위치된 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)들은 그 회수 시기가 달라진다. 따라서, 언로딩영역(UA)에 공급 또는 회수되는 커스토머 트레이(CT2, CT3)의 이송은 불규칙적이다.
그러므로, 이러한 로딩영역(LA)과 언로딩영역(UA)에 커스토머 트레이(CT)를 공급, 회수하는 로딩ㆍ언로딩 안착부(200, 400) 및 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)의 움직임은 불규칙적이다. 따라서, 테스트 핸들러에는 중앙제어기(미도시)가 구비되어 커스토머 트레이(CT)의 공급 또는 회수가 필요하다는 신호, 및 신호를 받았을 때 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)의 위치를 고려하여 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)의 최적화된 이송경로를 산출하고, 이송 명령을 내린다.
그 결과 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)가 커스토머 트레이를 이송하는 방법은 많은 경우의 수를 가지는데, 이하에서 설명하는 경우에 있어 본 발명의 트레이 공급회수장치를 이용한 트레이 이송방법을 이용하면, 종래의 트레이 공급회수장치를 이용하는 경우에 비해 커스토머 트레이 이송시간을 크게 단축시킬 수 있다.
우선, 도 6a 내지 6d를 참조하여, 로딩 안착부(200)에 위치된 빈 커스토머 트레이(CT2)를 회수하고, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)를 로딩 안착부(200)에 공급하는 트레이 이송방법을 설명한다.
먼저, 로딩 안착부(200)에 커스토머 트레이(CT) 회수 및 공급이 필요하다는 신호가 감지되면, 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)는 해당 로딩 안착부(200)가 하강할 수 있도록 승강 경로에서 회피한다. 이때, 도 6a에 도시된 바와 같이, 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)는 후속 동작을 위해 해당 로딩 안착부(200)의 좌우측으로 각각 회피되는 것이 바람직하다.
다음, 도 6b에 도시된 바와 같이, 로딩 안착부(200)가 하강하면 제1이송부(700a)가 해당 로딩 안착부(200)로 이동하여 빈 커스토머 트레이(CT2)를 파지한다. 이때, 제2이송부(700b)는 로딩 적재부(100)에 저장되고 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)를 파지한다.
그리고, 도 6c에 도시된 바와 같이, 제1이송부(700a)는 파지한 빈 커스토머 트레이(CT2)를 이송하여 빈 트레이 적재부(300)에 저장한다. 이때, 제2이송부(700b)는 파지한 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)를 이송하여 해당 로딩 안착부(200)에 안착시킨다.
이후, 도 6d에 도시된 바와 같이, 제2이송부(700b)가 로딩 안착부(200)의 승강 경로로부터 회피되고, 로딩 안착부(200)는 상승하여 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)를 로딩영역(LA)에 공급한다. 물론, 이때 제1이송부(700a)는 후속작업을 위해 자유롭게 이송될 수 있다.
상술한 바와 같은 도 6a 내지 6d에서 보여주는 트레이의 이송은 일례에 불과하다. 상황에 따라 적절하게 제1이송부(700a)와 제2이송부(700b)의 역할이 바뀔 수도 있다.
또한, 로딩영역(LA)에서 회수된 빈 커스토머 트레이(CT2)에 대한 반도체소자 잔존 여부의 확인이 필요한 경우, 빈 커스토머 트레이(CT2)를 언로딩 적재부(500) 대신 확인부(600)로 이송할 수도 있다. 즉, 제2이송부(700b)가 로딩 안착부(200)에 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT1)를 안착시킨 후, 로딩 안착부(200)의 승강 경로에서 회피되고 로딩 안착부(200)는 상승하는 동안, 제1이송부(700a)는 파지한 빈 커스토머 트레이(CT2)를 확인부(600)로 이송하는 것이다.
이하, 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용한 트레이 이송방법의 다른 실시예로서, 도 7a 내지 7d를 참조하여, 언로딩 안착부(400)에 위치되고 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)를 회수하고, 빈 커스토머 트레이(CT2)를 언로딩 안착부(400)에 공급하는 트레이 이송방법을 설명한다.
먼저, 언로딩 안착부(400)에 커스토머 트레이(CT) 회수 및 공급이 필요하다는 신호가 감지되면, 도 7a에 도시된 바와 같이, 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)는 해당 언로딩 안착부(400)가 하강할 수 있도록 승강 경로에서 회피한다.
그 다음, 도 7b에 도시된 바와 같이, 언로딩 안착부(400)가 하강하면 제1이송부(700a)가 해당 언로딩 안착부(400)로 이동하여 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)를 파지한다. 이때, 제2이송부(700b)는 빈 트레이 적재부(300)에 저장된 빈 커스토머 트레이(CT2)를 파지한다.
그리고, 도 7c에 도시된 바와 같이, 제1이송부(700a)는 파지한 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)를 이송하여 대응되는 언로딩 적재부(500)에 저장한다. 이때, 제2이송부(700b)는 파지한 빈 커스토머 트레이(CT2)를 이송하여 해당 언로딩 안착부(400)에 안착시킨다.
이후, 도 7d에 도시된 바와 같이, 제2이송부(700b)가 언로딩 안착부(400)의 승강 경로로부터 회피되고, 언로딩 안착부(400)는 상승하여 빈 커스토머 트레이(CT2)를 언로딩영역(UA)에 공급한다. 여기서 제2이송부(700b)는 회피 시 제1이송부(700a)와 무관하게 독립적으로 회피할 수 있고, 이때, 제1이송부(700a)는 후속작업을 위해 자유롭게 이송될 수 있다.
상술한 바와 같은 도 7a 내지 7d에서 보여주는 커스토머 트레이(CT)의 이송의 경우에도 상황에 따라 적절하게 제1이송부(700a)와 제2이송부(700b)의 역할이 바뀔 수 있다. 또한, 확인부(600)가 빈 커스토머 트레이(CT2)에 반도체소자가 잔존해 있는지 여부를 확인하여 확인부(600)의 빈 커스토머 트레이(CT2)를 이송해야 할 경우에는, 빈 트레이 적재부(300)에 저장된 빈 커스토머 트레이(CT2)가 아닌 확인부(600)의 빈 커스토머 트레이(CT2)를 언로딩 안착부(400)에 안착시킬 수도 있다.
즉, 언로딩 안착부(400)가 하강하면, 제2이송부(700b)가 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)를 파지할 때, 제1이송부(700a)가 확인부(600)의 빈 커스토머 트레이(CT2)를 파지하고, 제2이송부(700b)가 파지한 테스트 완료 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이(CT3)를 해당 언로딩 적재부(500)에 저장할 때, 제1이송부(700a)가 파지한 빈 커스토머 트레이(CT2)를 언로딩 안착부(400)에 안착시킬 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용한 트레이 이송방법은, 제1ㆍ제2이송부(700a, 700b)가 각각 독립적으로 이송될 수 있어, 서로 다른 커스토머 트레이 이송을 동시에 수행할 수 있으므로 커스토머 트레이(CT)의 공급 및 회수 속도를 향상시킬 수 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도 1은 종래의 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 보여주는 개략도,
도 2는 종래의 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치에 구비된 이송부를 보여주는 개략도,
도 3a 내지 3d는 종래의 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치가 로딩 안착부에 안착된 빈 트레이를 회수하고, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 트레이를 로딩 안착부에 공급하는 동작 순서를 보여주는 개략도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 보여주는 개략도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치에 구비된 제1ㆍ제2이송부를 보여주는 개략도,
도 6a 내지 6d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용하여 로딩 안착부에 안착된 빈 트레이를 회수하고, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 트레이를 로딩 안착부에 공급하는 트레이 이송방법을 보여주는 개략도,
도 7a 내지 7d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용하여 언로딩 안착부에 안착되고 테스트 완료 반도체소자가 적재된 트레이를 회수하고, 빈 트레이를 언로딩 안착부에 공급하는 트레이 이송방법을 보여주는 개략도이다.
＊ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 로딩 적재부 200 : 로딩 안착부
300 : 빈 트레이 적재부 400 : 언로딩 안착부
500 : 언로딩 적재부 600 : 확인부
700a : 제1이송부 700b : 제2이송부
710a : 제1그리퍼 710b : 제2그리퍼
720a : 제1이송몸체 720b : 제2이송몸체
730a : 제1가이드부 730b : 제2가이드부
740a : 제1승강구동부 740b : 제2승강구동부
750a : 제1구동부 750b : 제2구동부
740a-1, 740b-1, 750a-1, 750b-1 : 모터
740a-2, 740b-2, 750a-2, 750b-2 : 풀리
740a-3, 740b-3, 750a-3, 750b-3 : 벨트
CT : 트레이
CT1 : 테스트 대상 반도체소자가 적재된 트레이
CT2 : 빈 트레이
CT3 : 테스트 완료 반도체소자가 적재된 트레이
SP : 지지플레이트
MGP : 중앙가이드부

Claims (9)

  1. 커스토머 트레이에 적재된 상태로 로딩영역에 공급되는 테스트 대상 반도체소자를 테스트 트레이로 옮긴 상태에서 품질테스트를 수행한 다음 테스트 완료된 반도체소자를 언로딩영역에 공급되는 커스토머 트레이로 옮겨 배출하는 테스트 핸들러에 부속되어, 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 로딩영역에 공급한 다음 빈 커스토머 트레이를 상기 로딩영역으로부터 회수하고, 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역에 공급한 다음 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역으로부터 회수하는 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치에 있어서,
    일렬로 나란하게 배치되는, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 다수의 커스토머 트레이를 저장하는 하나 이상의 로딩 적재부, 빈 커스토머 트레이를 저장하는 하나 이상의 빈 트레이 적재부, 및 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 저장하는 하나 이상의 언로딩 적재부를 포함하는 다수의 적재부;
    상기 로딩영역에서 승강하면서, 테스트 대상 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 로딩영역에 공급하고, 빈 커스토머 트레이를 상기 로딩영역에서 회수하는 하나 이상의 로딩 안착부;
    상기 언로딩영역에서 승강하면서, 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역에 공급하고, 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩영역에서 회수하는 하나 이상의 언로딩 안착부; 및
    각각 독립적으로, 일렬로 정렬된 상기 로딩 적재부, 상기 빈 트레이 적재부, 및 상기 언로딩 적재부를 따라 수평으로 이동가능하고, 커스토머 트레이의 파지와 승강운동이 가능하도록 형성되어,
    각각 독립적으로, 로딩 안착부 및 언로딩 안착부에 각각 상기 로딩 적재부 및 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 이송하거나, 로딩 안착부 및 언로딩 안착부로부터 각각 회수한 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부 및 상기 언로딩 적재부로 이송하여 저장하는, 제1ㆍ제2이송부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1이송부가,
    상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부로 이송할 때,
    상기 제2이송부가,
    상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1이송부가,
    상기 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때,
    상기 제2이송부가,
    상기 빈 트레이 적재부에 저장된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 로딩 안착부에서 이송된 빈 커스토머 트레이의 상기 반도체소자 잔존 여부를 확인하는 확인부;를 더 포함하되,
    상기 제1이송부가,
    상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 확인부로 이송할 때,
    상기 제2이송부가,
    상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2이송부가,
    상기 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때,
    상기 제1이송부가,
    상기 확인부에서 확인 완료된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치.
  6. 각각 독립적으로, 일렬로 정렬된 로딩 적재부, 빈 트레이 적재부, 및 언로딩 적재부를 포함하는 다수의 적재부를 따라 수평으로 이동가능하고, 각각의 적재부에서 커스토머 트레이의 파지와 승강운동이 가능하도록 형성되는 제1이송부 및 제2이송부를 통해,
    상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 로딩 안착부로 이송하고, 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부로 이송하거나 빈 커스토머 트레이에 반도체소자가 잔존하는지 여부를 확인하는 확인부로 이송하며, 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 빈 커스토머 트레이를 언로딩 안착부로 이송하고, 상기 언로딩 안착부에 위치된 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송하는, 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치를 이용한 트레이 이송방법에 있어서,
    제1이송부가 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 빈 트레이 적재부로 이송할 때, 제2이송부가 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1이송부가 상기 언로딩 안착부에 위치된 테스트 완료된 상기 반도체소자가 적재된 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 빈 트레이 적재부에 저장된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 이송방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1이송부가 상기 로딩 안착부에 위치된 빈 커스토머 트레이를 상기 확인부로 이송할 때, 상기 제2이송부가 상기 로딩 적재부에 저장된 커스토머 트레이를 상기 로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 이송방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2이송부가 상기 언로딩 안착부에 위치되고 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 상기 커스토머 트레이를 상기 언로딩 적재부로 이송할 때, 상기 제1이송부가 상기 확인부에서 확인 완료된 빈 커스토머 트레이를 상기 언로딩 안착부로 이송하여 안착시키는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 이송방법.
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