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KR100793918B1 - Gas measuring device - Google Patents

Gas measuring device Download PDF

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Publication number
KR100793918B1
KR100793918B1 KR1020060065714A KR20060065714A KR100793918B1 KR 100793918 B1 KR100793918 B1 KR 100793918B1 KR 1020060065714 A KR1020060065714 A KR 1020060065714A KR 20060065714 A KR20060065714 A KR 20060065714A KR 100793918 B1 KR100793918 B1 KR 100793918B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
gas
magnet
gas measuring
measuring device
Prior art date
Application number
KR1020060065714A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정일권
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020060065714A priority Critical patent/KR100793918B1/en
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Abstract

A gas measuring device is provided to reduce the overall size of the device by integrating a sensor sensing smell or gas in the air, a pump guiding the air flow actively, and a measuring chamber, and by placing an optical waveguide sensor within the chamber. A gas measuring device comprises a chamber(100), a moving plate(140), a magnet(145), a plurality of coils(130), and a sensor(160). The chamber includes a plurality of gas inlets(110) on the bottom. The moving plate is elastically supported by a spring(150) within the chamber. The vertically mounted magnet is protruded upward in the center of the moving plate. The coils, mounted on an outer periphery of the magnet, are protruded downward on a circuit board(120) defined in an area except for a moving path of the magnet. The sensor is disposed on the bottom of the chamber. The coils are cylindrical to surround the outer periphery of the magnet, or provided in plural at regular intervals along the outer periphery of the magnet. The upper surface of the chamber, corresponding to the position of the magnet, allows entrance of the magnet.

Description

가스 측정 장치{GAS MEASURING DEVICE}Gas measuring device {GAS MEASURING DEVICE}

도 1은 종래 기술에 따른 가스 측정 장치 구조를 나타낸 정면도.1 is a front view showing a gas measuring apparatus structure according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 따른 또 다른 가스 측정 장치의 구성도.2 is a block diagram of another gas measuring apparatus according to the prior art.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도.3 is a perspective view showing the structure of a gas measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV ′ of FIG. 3.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면.5 is a view showing in detail the position of the coil according to the first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 변형예를 나타낸 단면도.6 is a cross-sectional view showing a modification of the gas measuring device according to the first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도.7 is a cross-sectional view for explaining the operation of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도.8 is a perspective view showing the structure of a gas measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention;

도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.9 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII ′ of FIG. 8.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면.10 is a view showing in detail the position of the coil according to the second embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도.11 is a cross-sectional view for explaining the operation of the gas measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 챔버 105 : 걸림턱100: chamber 105: locking jaw

110 : 가스 출입공 120 : 회로기판110: gas entrance hole 120: circuit board

130 : 코일 140 : 유동판130: coil 140: fluid plate

145 : 마그네트 150 : 스프링145: magnet 150: spring

160 : 센서 170 : 밀폐 공간160: sensor 170: airtight space

본 발명은 가스 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공기 중의 냄새나 가스 등을 측정하는 센서와 공기의 흐름을 유도하는 펌프 및 측정용 챔버를 일체화시키고, 상기 챔버 내에 광도파로를 이용한 센서를 위치시켜 크기를 감소시킴으로써, 측정 속도 및 정확도를 향상시킬 수 있는 가스 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas measuring apparatus, and more particularly, to integrate a sensor for measuring the smell or gas in the air, a pump for inducing the flow of air and a measuring chamber, and a sensor using an optical waveguide in the chamber. The present invention relates to a gas measuring device capable of improving the measuring speed and accuracy by reducing the size.

일반적으로, 공기 중에는 여러 가지 냄새 등과 같은 화학적인 성분을 갖는 기체들이 포함되어 있다. 이러한 공기 중의 냄새 또는 가스 성분들은 여러 가지 형태로 직접 또는 간접적으로 사람들에게 해를 가할 수 있고, 역으로 유익한 수많은 정보를 줄 수도 있다. In general, air contains gases having chemical components such as various odors. These odor or gaseous constituents in the air can harm people directly or indirectly in various forms, and conversely can give a great deal of useful information.

이에 따라, 종래에는 공기 중의 냄새 또는 가스 성분을 검출하여 식품의 변 질 여부, 인간의 질병 유무, 수입 농산물이나 축산물의 판별, 마약 탐지, 다이옥신과 같은 유해물질 검출, 생화학 테러 예방 및 군사 분야 등에 유용한 정보를 주기 위하여 공기 중에 화학적인 성분을 갖는 기체들을 검출할 수 있는 방법을 연구하고 있다.Accordingly, it is conventionally used to detect odors or gaseous components in the air, which is useful for food quality, human disease, discrimination of imported agricultural and livestock products, drug detection, detection of harmful substances such as dioxins, biochemical terrorism prevention, and military fields. In order to provide information, we are investigating how to detect gases with chemical components in the air.

그러면, 이하 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기술에 따른 가스 측정 장치에 대해 상세히 설명한다.Next, a gas measuring apparatus according to the prior art will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 선행기술 문헌 1(일본 공개특허 공개번호 제2005-127743호)의 도 2에 개시된 종래의 가스 측정 장치 구조를 나타낸 정면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a front view showing the structure of a conventional gas measuring apparatus disclosed in Fig. 2 of Prior Art Document 1 (Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2005-127743).

도 1을 참고하면, 종래의 가스 측정 장치는, 암모니아 가스 측정 장치로 통상의 센서 박스(40)와, 상기 센서 박스(40)의 바닥부를 겸하는 수지제의 베이스(도시하지 않음)와, 상기 베이스(30)를 관통하고 상기 센서 박스(40)의 내외에 돌출되어 있는 3개의 단자(101, 102, 103) 및 상기 단자(101, 102, 103)에 백금 또는 백금 합금으로부터 형성되는 히터 겸용 및 심 선상의 전극(201, 202, 203)을 접속하고 고정시키는 가스체(도시하지 않음)를 포함하여 이루어진 센싱부 A와, 상기 센서 박스(40)의 상면에 설치되는 가스 도입용의 스테인리스(stainless)제의 철망(41)으로 구성되어 있다.Referring to FIG. 1, a conventional gas measuring apparatus includes a conventional sensor box 40 as ammonia gas measuring apparatus, a resin base (not shown) that serves as a bottom of the sensor box 40, and the base. Three terminals 10 1 , 10 2 , 10 3 and 30, which penetrate 30 and protrude into and out of the sensor box 40 and the terminals 10 1 , 10 2 , 10 3 from platinum or a platinum alloy A sensing unit A including a gas body (not shown) for connecting and fixing the combined heater and core wire electrodes 20 1 , 20 2 , and 20 3 to be formed, and installed on an upper surface of the sensor box 40. It consists of the stainless steel wire mesh 41 for gas introduction.

그리고, 상기와 같은 가스 측정 장치는, 이하와 같이 동작한다.The gas measuring device as described above operates as follows.

상기 센싱부 A의 내부에 위치하는 전극(201, 202, 203) 간의 전기 저항치를 측정하며, 이때, 측정된 전기 저항치를 근거로 상기 가스 도입용 철망(41)으로 유 입된 가스 중 포함된 암모니아 가스 농도를 검출한다. The electric resistance value between the electrodes 20 1 , 20 2 , and 20 3 positioned in the sensing unit A is measured, and at this time, the gas is introduced into the gas introduction wire mesh 41 based on the measured electric resistance value. Detected ammonia gas concentration.

그러나, 상기와 같은 종래 가스 측정 장치는, 상기 센싱부 A로 공기가 유입될 수 있는 입구인 철망(41)을 구비하여 상기 철망(41)을 통해 센싱부 A로 유입된 공기 중의 암모니아 가스만을 검출하고 있을 뿐, 상기 철망(41) 즉, 센싱부 A로 주변 공기의 흐름을 유도할 수 있는 기능이 없으며, 또한, 상기 센싱부 A로 유입된 공기들을 능동적으로 배출시키는 기능을 구비하고 있지 않다. However, the conventional gas measuring apparatus as described above has a wire mesh 41 which is an inlet through which air can flow into the sensing unit A, and detects only ammonia gas in the air introduced into the sensing unit A through the wire mesh 41. It does not have a function of inducing the flow of ambient air to the wire mesh 41, that is, the sensing unit A, and also does not have a function of actively discharging the air introduced into the sensing unit A.

다시 말해, 종래 기술에 따른 가스 측정 장치는, 수동적이기 때문에 주변 공기 중에 분포되어 있는 가스를 측정할 수 있는 속도 및 정확도에서 우수한 성능을 낼 수 없고, 신속하고 완전하게 센싱부 A 내의 가스를 배출하기가 어려워 반복 측정시 오차 범위가 넓으며 측정 시간이 길어지는 단점이 있다. In other words, the gas measuring apparatus according to the prior art is not passive, and because it is passive, does not have excellent performance in speed and accuracy capable of measuring the gas distributed in the surrounding air, and quickly and completely discharges the gas in the sensing unit A. It is difficult to have a disadvantage in that the error range is wide and repeated measurement time is long.

이러한 문제를 해결하기 위해, 선행기술문헌 2의 도 1에 개시된 바와 같이, 능동적으로 가스를 유입 및 배출시킬 수 있는 펌프(pump)를 갖는 가스 측정 장치가 제안되었다. 도 2는 선행기술문헌 2(미국 등록특허 제6212938호)의 도 1에 개시된 종래의 가스 측정 장치 구조를 나타낸 개략도이다.In order to solve this problem, as disclosed in FIG. 1 of the prior art document 2, a gas measuring apparatus having a pump capable of actively introducing and discharging gas has been proposed. Figure 2 is a schematic diagram showing a conventional gas measurement apparatus structure disclosed in Figure 1 of the prior art document 2 (US Patent No. 6212938).

도 2에 나타낸 종래의 가스 측정 장치는, 신속하고 정확하게 공기 중의 가스들을 분석하기 위해 공기의 흐름을 능동적으로 유도하는 펌프(pump)를 별도로 구비하고 있다.The conventional gas measuring apparatus shown in FIG. 2 is provided with a separate pump for actively inducing the flow of air in order to analyze the gases in the air quickly and accurately.

그러나, 상기와 같이 별도의 펌프를 구비하게 되면, 가스 측정 장치의 크기가 커지게 되어 소형화가 어려운 문제가 있다.However, when a separate pump is provided as described above, the size of the gas measuring device becomes large, which makes it difficult to downsize.

또한, 펌프를 구비한 종래의 가스 측정 장치는 측정시, 공기의 흐름, 온도 등의 외부 환경에 영향을 받지 않고 안정적으로 가스 측정이 가능하도록 밀폐된 측정 공간을 구비하고 있지 않아 정확도가 낮은 문제가 있다.In addition, the conventional gas measuring device equipped with a pump has a problem of low accuracy because it does not have a closed measuring space so that the gas can be measured stably without being influenced by the external environment such as air flow and temperature during measurement. have.

따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 공기의 흐름을 능동적으로 유도할 수 있는 펌프와, 측정용 챔버 및 센서를 포함하여 소형화된 일체형 가스 측정 장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a miniaturized integrated gas measuring apparatus including a pump capable of actively inducing air flow, a measuring chamber and a sensor in order to solve the above problems.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되는 유동판과, 상기 유동판의 중앙부에 상향 돌출되게 수직 설치된 마그네트와, 상기 마그네트의 외주면에 위치하며, 상기 챔버 내부 상면의 마그네트 이송 경로를 제외한 영역에 형성된 회로기판에서 하향 돌출된 코일 및 상기 챔버의 바닥면에 배치된 센서를 포함하는 가스 측정 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a chamber having a plurality of gas access holes at the bottom, a flow plate elastically supported by a spring inside the chamber, and a magnet installed vertically protruding upward from the center of the flow plate And a coil disposed on an outer circumferential surface of the magnet, the coil protruding downward from a circuit board formed in an area excluding the magnet transfer path of the upper surface of the chamber, and a sensor disposed on the bottom surface of the chamber.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 코일은 상기 마그네트의 외주면을 감싸는 원통형으로 형성되거나, 상기 마그네트의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형성될 수 있다.In the gas measuring apparatus of the present invention, the coil may be formed in a cylindrical shape surrounding the outer circumferential surface of the magnet, or a plurality of coils may be formed at equal intervals along the outer circumferential surface of the magnet.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 마그네트의 위치와 대응되 는 상기 챔버의 상면은 상기 마그네트의 상부 유입이 가능하도록 상향 돌출되어 있는 것이 바람직하다.In addition, in the gas measuring device of the present invention, the upper surface of the chamber corresponding to the position of the magnet is preferably protruded upward to enable the upper flow of the magnet.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 챔버는 상기 가스 출입공보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱이 위치하는 것이 바람직하다. 보다 상세하게, 상기 걸림턱은 상기 챔버의 내주면을 따라 균일하게 돌출되거나, 균일한 높이의 돌기가 등간격으로 복수개 돌출 형성될 수 있다.In addition, in the gas measuring apparatus of the present invention, the chamber is preferably located on the inner circumferential surface of the position higher than the gas entrance hole is a locking step formed so as to span a portion of the outer peripheral portion of the flow plate. In more detail, the locking jaw may be uniformly protruded along the inner circumferential surface of the chamber, or a plurality of protrusions having a uniform height may be formed at equal intervals.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 코일은, 외부의 전원 인가에 의해서 그 내측에 위치한 마그네트와의 간극에 전자기력을 발생시켜 상기 마그네트가 콩일 내부에서 수직 이송되도록 한 것이 바람직하다.In the gas measuring apparatus of the present invention, it is preferable that the coil generates an electromagnetic force in a gap with a magnet located inside by applying an external power source so that the magnet is vertically conveyed inside the bean.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 챔버는 하부가 개방된 개구부가 형성되고, 그 개구부를 밀폐하는 하판과 결합된 것이 바람직하다.In addition, in the gas measuring device of the present invention, the chamber is preferably formed with an opening of the lower opening, it is coupled to the lower plate sealing the opening.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 챔버는 원통형으로 형성된 것이 바람직하다.In the gas measuring apparatus of the present invention, the chamber is preferably formed in a cylindrical shape.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 센서는, 광도파로를 이용하여 제작된 것이 바람직하다.In the gas measuring apparatus of the present invention, the sensor is preferably manufactured using an optical waveguide.

상기한 목적을 달성하기 위한 다른 본 발명은, 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되며, 자성체로 이루어진 유동판과, 상기 챔버 내부 상면에 형성된 회로기판의 하면에 하향 돌출된 코일 및 상기 챔버 바닥면에 배치된 센서를 포함하는 가스 측정 장치를 제공한다.Another object of the present invention for achieving the above object is a chamber having a plurality of gas access holes at the bottom, the elastic plate is elastically supported by a spring in the interior of the chamber, a magnetic plate, and a circuit formed on the upper surface inside the chamber The present invention provides a gas measuring apparatus including a coil protruding downwardly from a bottom surface of a substrate and a sensor disposed on the bottom surface of the chamber.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 코일은 상기 회로기판의 하면에서 상기 유동판을 향하여 적어도 하나 이상 돌출 형성된 것이 바람직하다.In the gas measuring apparatus of the present invention, the coil is preferably formed at least one protruding from the lower surface of the circuit board toward the flow plate.

이하 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하였다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like reference numerals designate like parts throughout the specification.

이제 본 발명의 실시예에 따른 가스 측정 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.A gas measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

실시예Example 1 One

우선, 도 3 내지 도 6을 참고하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조에 대하여 상세히 설명한다.First, the structure of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 6.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.3 is a perspective view showing the structure of a gas measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV 'of FIG.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치는, 크게 챔버(100), 유동판(140), 마그네트(magnet; 145), 코일(30) 및 센서(160)로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a chamber 100, a fluid plate 140, a magnet 145, a coil 30, and a sensor. It consists of 160.

상기 챔버(100)는, 하부에 공기의 흡입 및 배출을 위한 복수의 가스 출입공(110)을 가지고 있다. 이때, 상기 가스 출입공(110)은, 상기 챔버의 하부 외주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.The chamber 100 has a plurality of gas inlet and outlet 110 for intake and discharge of air in the lower portion. At this time, the gas inlet and outlet 110 is preferably formed at equal intervals on parallel lines along the lower outer circumferential surface of the chamber.

특히, 본 실시예에 따른 상기 챔버(100)는, 하부가 개방된 개구부를 가지고, 그 개구부를 밀폐하는 하판(100a)과의 결합으로 이루어져 있다. 이는 상기 챔버(100)의 내부를 수리하거나 청소하기 용이하게 하기 위한 것으로, 본 발명의 기술적 과제를 이루기 위한 필수 구성요소는 아니다.In particular, the chamber 100 according to the present embodiment has an opening with a lower portion, and is composed of a combination with a lower plate 100a for sealing the opening. This is to facilitate the repair or cleaning of the interior of the chamber 100, it is not an essential component for achieving the technical problem of the present invention.

또한, 본 실시예에서는 상기 챔버(100)가 원통형의 형상을 가지고 있는 것을 도시하고 있으나, 이는 이에 한정되지 않고 상기 챔버(100)의 사용 공간 및 사용 특성에 따라 변경 가능하다.In addition, although the chamber 100 has a cylindrical shape in the present embodiment, this is not limited thereto and may be changed according to the use space and use characteristics of the chamber 100.

그리고, 본 실시예에 따른 상기 챔버(100)는 후술하는 마그네트의 위치와 대응되는 상면이 마그네트의 상부 유입이 가능하도록 상향 돌출된 돌출부(103)로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the chamber 100 according to the present embodiment preferably includes a protrusion 103 protruding upward so that the upper surface corresponding to the position of the magnet to be described later can be introduced into the magnet.

상기 유동판(140)은, 상기 챔버(100)의 내부에 형성된 스프링(150)에 의해서 탄성 지지된다. 즉, 상기 유동판(140)의 상하 움직임에 의해 상기 챔버(100)의 하부에 형성된 가스 출입공(110)을 통해 가스를 흡입 또는 배출할 수 있다.The flow plate 140 is elastically supported by a spring 150 formed inside the chamber 100. That is, the gas may be sucked or discharged through the gas access hole 110 formed in the lower portion of the chamber 100 by the vertical movement of the flow plate 140.

한편, 상기 유동판(140)이 가스의 유입을 위해 상하로 움직일 경우, 상기 유동판(140)이 상기 챔버(100)의 가스 출입공(110)을 차단하여 공기의 흡입 및 배출을 방해하는 것을 방지하여야 한다. On the other hand, when the flow plate 140 moves up and down for the inflow of gas, the flow plate 140 to block the gas entrance hole 110 of the chamber 100 to prevent the intake and discharge of air Should be prevented.

따라서, 본 실시예에 따른 챔버(100)는 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 가스 출입공(110)보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판(140)의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱(105)을 가지는 것이 바람직하다. 여기서, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 변형예를 나타낸 단면도이다.Therefore, as shown in FIG. 6, the chamber 100 according to the present exemplary embodiment includes a latching jaw formed to cover a portion of the outer circumferential edge of the flow plate 140 on an inner circumferential surface of a position higher than the gas access hole 110. 105). 6 is a cross-sectional view showing a modification of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention.

보다 상세하게, 상기 걸림턱(105)은 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행하게 둘러진 폐곡선으로 형성되거나, 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 복수개 형성될 수 있다. In more detail, the locking jaw 105 may be formed as a closed curve enclosed in parallel along the inner circumferential surface of the chamber 100, or may be formed in plural at equal intervals on the parallel line along the inner circumferential surface of the chamber 100.

상기 마그네트(140)는, 상기 유동판(140)의 중앙부에 상기 챔버(100)의 상면을 향하도록 상향 돌출되게 수직 설치되어 있다.The magnet 140 is vertically installed to protrude upward to face the upper surface of the chamber 100 at the central portion of the flow plate 140.

상기 코일(130)은, 상기 마그네트(140)의 외주면에 위치하며, 상기 챔버(100) 내부 상면의 마그네트(140) 이송 경로를 제외한 영역에 형성된 회로기판(120)에서 하향 돌출되어 있다.The coil 130 is positioned on the outer circumferential surface of the magnet 140 and protrudes downward from the circuit board 120 formed in an area excluding the transfer path of the magnet 140 on the upper surface of the chamber 100.

보다 상세하게, 상기 코일(130)은 상기 마그네트(145)의 외주면을 감싸는 원통형으로 형성되는 것이 바람직하다(도 5 참조). 여기서, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면이다.More specifically, the coil 130 is preferably formed in a cylindrical shape surrounding the outer circumferential surface of the magnet 145 (see Fig. 5). 5 is a view showing in detail the position of the coil according to the first embodiment of the present invention.

한편, 상기 코일(130)은, 상기 마그네트(145)의 외주면에 위치하여 상기 마그네트(145)와 자기장(magnetic field)을 형성하는 것을 목적으로 하고 있으므로, 이에 한정되지 않고, 도시하지 않았지만 상기 마그네트(145)의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형성될 수도 있다.On the other hand, since the coil 130 is located on the outer circumferential surface of the magnet 145 to form a magnetic field with the magnet 145, the coil 130 is not limited thereto, but the magnet (not shown) A plurality of 145 may be formed along the outer circumferential surface at equal intervals.

즉, 상기 코일(130)과 마그네트(145)는 자기장에 의해 상기 유동판(140)을 상하로 움직여 펌프(pump) 기능을 하도록 형성되어 있다.That is, the coil 130 and the magnet 145 are formed to function as a pump by moving the flow plate 140 up and down by a magnetic field.

상기 센서(160)는 상기 챔버(100)의 바닥면, 즉, 하판(100a)의 상면에 배치되어 있다. 이에 따라, 상기 센서(160)는, 상기 유동판(140)의 하면과 상기 챔버(100)의 바닥면 사이에 형성된 밀폐 공간(170)으로 상기 가스 출입공(110)을 통해 능동적으로 유입된 공기 중의 가스 성분 및 농도 등을 정확하고 안정되게 측정할 수 있다.The sensor 160 is disposed on the bottom surface of the chamber 100, that is, the upper surface of the lower plate 100a. Accordingly, the sensor 160 actively enters the air through the gas access hole 110 into the sealed space 170 formed between the bottom surface of the flow plate 140 and the bottom surface of the chamber 100. The gas component, concentration, etc. in the measurement can be measured accurately and stably.

바람직하게, 상기 센서(160)는 광도파로를 이용하여 제작된 센서로 구성되어 측정하고자 하는 가스에 대한 민감도를 향상시켜 더 정확한 가스 측정이 이루어질 수 있다.Preferably, the sensor 160 is composed of a sensor manufactured by using an optical waveguide to improve the sensitivity to the gas to be measured, thereby allowing more accurate gas measurement.

이하, 도 7을 참고하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 작용에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 7.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도이다.7 is a cross-sectional view for explaining the operation of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention.

우선, 상기 마그네트(145)의 외주면에 위치한 상기 코일(130)에 회로기판(120)을 통해 일정 전류를 인가한다.First, a constant current is applied to the coil 130 located on the outer circumferential surface of the magnet 145 through the circuit board 120.

그러면, 상기 마그네트(145)와 코일(130) 사이에 자기장이 형성되고, 상기 마그네트(145)는 이러한 자기장의 영향으로 직선 운동을 하게 되어 위쪽으로 움직이게 되는 바, 이와 연결된 유동판(140) 또한 위쪽으로 움직이게 된다. 이에 따라 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 늘어나고, 압력은 낮아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)으로 외부 공기가 흡입되게 된다.Then, a magnetic field is formed between the magnet 145 and the coil 130, the magnet 145 is a linear movement under the influence of this magnetic field to move upwards, the fluid plate 140 connected thereto is also upward Will be moved. Accordingly, the volume of the interior of the chamber 100 is instantaneously increased and the pressure is lowered to allow the outside air to be sucked into the sealed space 170 through the gas entrance hole 110.

그 다음, 상기 밀폐 공간(170)에 흡입된 외부 공기를 상기 센서(160)를 통해 측정한다.Next, the outside air sucked into the sealed space 170 is measured through the sensor 160.

그런 다음, 상기 코일(130)에 전류의 인가를 중지하면 상기 코일(130)과 마그네트(145) 사이에 형성된 자기장이 사라지게 된다. 따라서, 상기 마그네트(145)는 아래쪽으로 움직여 원래의 위치로 되돌아가게 되고, 상기 걸림턱(105)에 의해 지지된다. 이때, 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 줄어들고, 압력은 높아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)에 위치하던 내부 공기가 외부로 배출되게 된다.Then, when the application of the current to the coil 130 is stopped, the magnetic field formed between the coil 130 and the magnet 145 disappears. Therefore, the magnet 145 moves downward to return to its original position and is supported by the locking jaw 105. At this time, the volume of the space inside the chamber 100 is instantaneously reduced and the pressure is increased so that the internal air located in the closed space 170 through the gas entrance hole 110 is discharged to the outside.

본 발명은 상기와 같은 원리를 통하여 측정하고자 하는 가스가 포함된 공기의 흡입 및 배출을 능동적으로 행함으로써, 센서의 가스 검출 속도를 높일 수 있고, 다음 동작을 위한 빠른 회복(recovery) 동작이 가능하다.The present invention can increase the gas detection speed of the sensor by actively performing the suction and discharge of the air containing the gas to be measured on the basis of the above principle, it is possible to fast recovery (recovery) operation for the next operation .

또한, 상기 센서(160)가 위치하는 챔버(100)의 내부 공간은 밀폐된 공간이므로, 챔버(100)의 주변 환경에 영향을 받지 않고 안정되고 정확한 가스의 측정이 가능하다.In addition, since the internal space of the chamber 100 in which the sensor 160 is located is a closed space, it is possible to measure a stable and accurate gas without being affected by the surrounding environment of the chamber 100.

또한, 상기 가스 출입공(110)이 챔버(100)의 외주면에 형성되어 있으므로, 흡입 또는 배출되는 공기가 바닥면에 배치된 센서(160)에 직접적으로 영향을 미치지 않으므로, 공기의 흐름으로부터 이에 민감한 센서(160)를 보호할 수 있다. In addition, since the gas entrance hole 110 is formed on the outer circumferential surface of the chamber 100, since the air sucked or discharged does not directly affect the sensor 160 disposed on the bottom surface, it is sensitive to the flow of air. The sensor 160 may be protected.

실시예Example 2 2

그러면, 이하 도 8 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가 스 측정 장치에 대하여 설명한다.Next, a gas measuring apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 to 11.

먼저, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조에 대하여 상세히 설명한다. 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.First, the structure of the gas measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 8 and 9. 8 is a perspective view illustrating a structure of a gas measuring apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII 'of FIG. 8.

도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치는, 크게 챔버(100), 자성체로 이루어진 유동판(140), 코일(30) 및 센서(160)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 8 and FIG. 9, the gas measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a chamber 100, a fluid plate 140 made of magnetic material, a coil 30, and a sensor 160. Consists of.

상기 챔버(100)는, 제1 실시예와 마찬가지로 하부에 공기의 흡입 및 배출을 위한 복수의 가스 출입공(110)을 가지고 있다. 이때, 상기 가스 출입공(110)은, 상기 챔버의 하부 외주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.The chamber 100, like the first embodiment, has a plurality of gas inlet and outlet 110 for intake and discharge of air in the lower portion. At this time, the gas inlet and outlet 110 is preferably formed at equal intervals on parallel lines along the lower outer circumferential surface of the chamber.

특히, 본 실시예에 따른 상기 챔버(100)는, 하부가 개방된 개구부를 가지고, 그 개구부를 밀폐하는 하판(100a)과의 결합으로 이루어져 있다. 이는 상기 챔버(100)의 내부를 수리하거나 청소하기 용이하게 하기 위한 것으로, 본 발명의 기술적 과제를 이루기 위한 필수 구성요소는 아니다.In particular, the chamber 100 according to the present embodiment has an opening with a lower portion, and is composed of a combination with a lower plate 100a for sealing the opening. This is to facilitate the repair or cleaning of the interior of the chamber 100, it is not an essential component for achieving the technical problem of the present invention.

또한, 본 실시예에서는 상기 챔버(100)가 원통형의 형상을 가지고 있는 것을 도시하고 있으나, 이는 이에 한정되지 않고 상기 챔버(100)의 사용 공간 및 사용 특성에 따라 변경 가능하다.In addition, although the chamber 100 has a cylindrical shape in the present embodiment, this is not limited thereto and may be changed according to the use space and use characteristics of the chamber 100.

상기 유동판(140)은, 상기 챔버(100)의 내부에 형성된 스프링(150)에 의해서 탄성 지지된다. 즉, 상기 유동판(140)의 상하 움직임에 의해 상기 챔버(100)의 하부에 형성된 가스 출입공(110)을 통해 공기를 흡입 또는 배출할 수 있다.The flow plate 140 is elastically supported by a spring 150 formed inside the chamber 100. That is, the air may be sucked or discharged through the gas access hole 110 formed in the lower portion of the chamber 100 by the vertical movement of the flow plate 140.

한편, 상기 유동판(140)이 가스의 유입을 위해 상하로 움직일 경우, 상기 유동판(140)이 상기 챔버(100)의 가스 출입공(110)을 차단하여 공기의 흡입 및 배출을 방해하는 것을 방지하기 위하여 본 실시예에 따른 챔버(100)는 상기 가스 출입공(110)보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판(140)의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱(105)을 가지고 있다.On the other hand, when the flow plate 140 moves up and down for the inflow of gas, the flow plate 140 to block the gas entrance hole 110 of the chamber 100 to prevent the intake and discharge of air In order to prevent the chamber 100 according to the present embodiment has a locking step 105 formed to cover a portion of the outer periphery of the flow plate 140 on the inner peripheral surface of the position higher than the gas entrance hole 110.

보다 상세하게, 상기 걸림턱(105)은 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행하게 둘러진 폐곡선으로 형성되거나, 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 복수개 형성될 수 있다. In more detail, the locking jaw 105 may be formed as a closed curve enclosed in parallel along the inner circumferential surface of the chamber 100, or may be formed in plural at equal intervals on the parallel line along the inner circumferential surface of the chamber 100.

상기 코일(130)은, 상기 챔버(100) 내부 상면에 형성된 회로기판(120)의 하면에서 하향 돌출되어 있다.The coil 130 protrudes downward from the lower surface of the circuit board 120 formed on the upper surface of the chamber 100.

보다 상세하게, 상기 코일(130)은 상기 회로기판(120)의 하면에서 상기 유동판(140)을 향하여 적어도 하나 이상 돌출 형성되는 것이 바람직하다. 도 10을 참조하면, 본 실시예에서는 상기 코일(130)을 상기 회로기판(120)의 하면에 균일하게 3개 형성한 것을 도시하고 있다. 여기서, 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면이다.More specifically, the coil 130 is preferably formed to protrude at least one toward the flow plate 140 from the lower surface of the circuit board 120. Referring to FIG. 10, three coils 130 are uniformly formed on the bottom surface of the circuit board 120. 10 is a view showing in detail the position of the coil according to the second embodiment of the present invention.

한편, 상기 코일(130)은, 자성체로 이루어진 상기 유동판(140)과 자기장(magnetic field)을 형성하는 것을 목적으로 하고 있으므로, 이에 한정되지 않고, 도시하지 않았지만 상기 마그네트(145)의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형 성될 수도 있다.On the other hand, since the coil 130 is intended to form a magnetic field with the fluid plate 140 made of a magnetic material, it is not limited thereto, and although not shown, along the outer circumferential surface of the magnet 145. Multiple pieces may be formed at equal intervals.

즉, 상기 코일(130)과 자성체로 이루어진 상기 유동판(140)은 자기장에 의해 펌프(pump) 기능을 하도록 형성되어 있다.That is, the fluid plate 140 formed of the coil 130 and the magnetic material is formed to function as a pump by a magnetic field.

상기 센서(160)는 상기 챔버(100)의 바닥면, 즉, 하판(100a)의 상면에 배치되어 있다. 이에 따라, 상기 센서(160)는, 상기 유동판(140)의 하면과 상기 챔버(100)의 바닥면 사이에 형성된 밀폐 공간(170)으로 상기 가스 출입공(110)을 통해 능동적으로 유입된 공기 중의 가스 성분 및 농도 등을 정확하고 안정되게 측정할 수 있다.The sensor 160 is disposed on the bottom surface of the chamber 100, that is, the upper surface of the lower plate 100a. Accordingly, the sensor 160 actively enters the air through the gas access hole 110 into the sealed space 170 formed between the bottom surface of the flow plate 140 and the bottom surface of the chamber 100. The gas component, concentration, etc. in the measurement can be measured accurately and stably.

바람직하게, 상기 센서(160)는 광도파로를 이용하여 제작된 센서로 구성되어 측정하고자 하는 가스에 대한 민감도를 향상시켜 더 정확한 가스 측정이 이루어질 수 있다.Preferably, the sensor 160 is composed of a sensor manufactured by using an optical waveguide to improve the sensitivity to the gas to be measured, thereby allowing more accurate gas measurement.

이하, 도 11을 참고하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 작용에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an operation of the gas measuring apparatus according to the second exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 11.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도이다.11 is a cross-sectional view for explaining the operation of the gas measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention.

우선, 상기 코일(130)에 회로기판(120)을 통해 일정 전류를 인가한다.First, a constant current is applied to the coil 130 through the circuit board 120.

그러면, 상기 코일(130)과 자성체로 이루어진 유동판(140) 사이에 자기장이 형성되고, 상기 유동판(140)는 이러한 자기장의 영향으로 직선 운동을 하게 되어 위쪽으로 움직이게 되는 바, 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 늘어 나고, 압력은 낮아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)으로 외부 공기가 흡입되게 된다.Then, a magnetic field is formed between the coil 130 and the fluid plate 140 made of a magnetic material, and the fluid plate 140 is linearly moved under the influence of the magnetic field, and moves upwards. The chamber 100 ) The volume of the inner space is instantaneously increased and the pressure is lowered so that the outside air is sucked into the sealed space 170 through the gas entrance hole 110.

그 다음, 상기 밀폐 공간(170)에 흡입된 외부 공기를 상기 센서(160)를 통해 측정한다.Next, the outside air sucked into the sealed space 170 is measured through the sensor 160.

그런 다음, 상기 코일(130)에 전류의 인가를 중지하면 상기 코일(130)과 자성체로 이루어진 유동판(140) 사이에 형성된 자기장이 사라지게 된다. 따라서, 상기 유동판(140)은 아래쪽으로 움직여 원래의 위치로 되돌아가게 되고, 상기 걸림턱(105)에 의해 지지된다. 이때, 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 줄어들고, 압력은 높아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)에 위치하던 내부 공기가 외부로 배출되게 된다.Then, when the application of current to the coil 130 is stopped, the magnetic field formed between the coil 130 and the flow plate 140 made of a magnetic material disappears. Therefore, the flow plate 140 moves downward to return to its original position, and is supported by the locking step 105. At this time, the volume of the space inside the chamber 100 is instantaneously reduced and the pressure is increased so that the internal air located in the closed space 170 through the gas entrance hole 110 is discharged to the outside.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention as defined in the following claims also fall within the scope of the present invention.

상기한 바와 같이, 본 발명은 공기의 흐름을 능동적으로 유도할 수 있는 펌 프와, 측정용 챔버 및 센서를 포함하여 소형화된 일체형 가스 측정 장치를 제공할 수 있다.As described above, the present invention can provide a miniaturized integrated gas measuring apparatus including a pump capable of actively inducing air flow, a measuring chamber and a sensor.

또한, 본 발명은 측정하고자 하는 공기의 흡입 및 배출을 능동적으로 행함으로써, 센서의 가스 검출 속도를 높일 수 있고, 다음 동작을 위한 빠른 회복 동작이 가능하다.In addition, the present invention can increase the gas detection speed of the sensor by actively inhaling and discharging the air to be measured, and a fast recovery operation for the next operation is possible.

또한, 본 발명은 상기 밀폐된 별도의 측정용 챔버를 구비함으로써, 챔버의 주변 환경에 영향을 받지 않고 안정되고 정확한 가스의 측정이 가능하다.In addition, the present invention is provided with a separate separate chamber for measurement, it is possible to measure a stable and accurate gas without being affected by the surrounding environment of the chamber.

또한, 본 발명은 상기 가스 출입공이 챔버의 외주면에 형성되어 있으므로, 흡입 또는 배출되는 가스가 바닥면에 배치된 센서에 직접적으로 영향을 미치지 않으므로, 가스의 흐름으로부터 이에 민감한 센서를 보호할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is because the gas entrance hole is formed on the outer circumferential surface of the chamber, the gas to be sucked or discharged does not directly affect the sensor disposed on the bottom surface, it is effective to protect the sensor sensitive to the flow of gas There is.

Claims (17)

하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버;A chamber having a plurality of gas access holes in the lower portion; 상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되는 유동판;A flow plate elastically supported by a spring in the chamber; 상기 유동판의 중앙부에 상향 돌출되게 수직 설치된 마그네트;A magnet installed vertically to protrude upward from a central portion of the flow plate; 상기 마그네트의 외주면에 위치하며, 상기 챔버 내부 상면의 마그네트 이송 경로를 제외한 영역에 형성된 회로기판에서 하향 돌출된 코일; 및A coil positioned on an outer circumferential surface of the magnet and protruding downward from a circuit board formed in an area excluding a magnet transfer path of an upper surface of the chamber; And 상기 챔버의 바닥면에 배치된 센서;A sensor disposed on the bottom surface of the chamber; 를 포함하는 가스 측정 장치.Gas measuring apparatus comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 코일은, 상기 마그네트의 외주면을 감싸는 원통형으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The coil is a gas measuring device, characterized in that formed in a cylindrical shape surrounding the outer peripheral surface of the magnet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 코일은, 상기 마그네트의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The coil is a gas measuring device, characterized in that formed in plural at equal intervals along the outer peripheral surface of the magnet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마그네트의 위치와 대응되는 상기 챔버의 상면은 상기 마그네트의 상부 유입이 가능하도록 상향 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The upper surface of the chamber corresponding to the position of the magnet is protruded upwards to enable the upper flow of the magnet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 챔버는, 상기 가스 출입공보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱이 위치된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The chamber is a gas measuring device, characterized in that the locking step formed so as to span a portion of the outer peripheral portion of the flow plate on the inner peripheral surface of the position higher than the gas entrance hole. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 걸림턱은, 상기 챔버의 내주면을 따라 균일하게 돌출되거나, 균일한 높이의 돌기가 등간격으로 복수개 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The locking jaw, the gas measuring device, characterized in that a plurality of protrusions are uniformly protruded along the inner circumferential surface of the chamber, or projections of uniform height are formed at equal intervals. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 코일은, 외부의 전원 인가에 의해서 그 내측에 위치한 마그네트와의 간극에 전자기력을 발생시켜 상기 마그네트가 상기 코일 내부에서 수직 이송되도록 한 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The coil is a gas measuring device, characterized in that by applying an external power source generates an electromagnetic force in the gap with the magnet located inside so that the magnet is vertically transferred in the coil. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 챔버는, 하부가 개방된 개구부가 형성되고, 그 개구부를 밀폐하는 하판과 결합된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The chamber has a gas opening, the opening is formed in the lower portion, characterized in that coupled to the lower plate sealing the opening. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 챔버는, 원통형으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The chamber is a gas measuring device, characterized in that formed in a cylindrical shape. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 센서는, 광도파로를 이용하여 제작된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The sensor is a gas measurement device, characterized in that the production using an optical waveguide. 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버;A chamber having a plurality of gas access holes in the lower portion; 상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되며, 자성체로 이루어진 유동판;A fluid plate elastically supported by a spring in the chamber and made of a magnetic material; 상기 챔버 내부 상면에 형성된 회로기판의 하면에 하향 돌출된 코일; 및A coil protruding downward on a lower surface of the circuit board formed on the upper surface of the chamber; And 상기 챔버 바닥면에 배치된 센서;를 포함하는 가스 측정 장치.And a sensor disposed on the bottom surface of the chamber. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 코일은, 상기 회로기판의 하면에서 상기 유동판을 향하여 적어도 하나 이상 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.And at least one coil is formed to protrude from the lower surface of the circuit board toward the flow plate. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 챔버는, 상기 가스 출입공보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱이 위치된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The chamber is a gas measuring device, characterized in that the locking step formed so as to span a portion of the outer peripheral portion of the flow plate on the inner peripheral surface of the position higher than the gas entrance hole. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 걸림턱은, 상기 챔버의 내주면을 따라 균일하게 돌출되거나, 균일한 높이의 돌기가 등간격으로 복수개 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The locking jaw, the gas measuring device, characterized in that a plurality of protrusions are uniformly protruded along the inner circumferential surface of the chamber, or projections of uniform height are formed at equal intervals. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 챔버는, 하부가 개방된 개구부가 형성되고, 그 개구부를 밀폐하는 하판과 결합된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The chamber has a gas opening, the opening is formed in the lower portion, characterized in that coupled to the lower plate sealing the opening. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 챔버는, 원통형으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The chamber is a gas measuring device, characterized in that formed in a cylindrical shape. 제11항에 있어서, The method of claim 11, 상기 센서는, 광도파로를 이용하여 제작된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치.The sensor is a gas measurement device, characterized in that the production using an optical waveguide.
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