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KR100788366B1 - 카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법 - Google Patents

카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법 Download PDF

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KR100788366B1
KR100788366B1 KR1020060137332A KR20060137332A KR100788366B1 KR 100788366 B1 KR100788366 B1 KR 100788366B1 KR 1020060137332 A KR1020060137332 A KR 1020060137332A KR 20060137332 A KR20060137332 A KR 20060137332A KR 100788366 B1 KR100788366 B1 KR 100788366B1
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electromagnet
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동부일렉트로닉스 주식회사
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Abstract

본 발명은 카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 관한 것으로, 다수의 돌추부를 구비하는 카세트 상태를 확인하는 카세트 플레이트에 있어서, 상기 카세트의 다수의 돌출부를 삽탈할 수 있는 상기 카세트 플레이트 평면의 일측에 형성한 다수의 삽입부와, 상기 삽입부 하부에 형성되고 전원의 온(on) 또는 오프(Off)에 따라 전자석의 기능을 수행하는 다수의 전자석부와, 각 부로 전원을 인가하고 상기 삽입부에 상기 카세트 돌출부의 삽입 유무를 감지하며, 제어신호에 따라 상기 전자석부의 전원을 온(on) 또는 오프(off)하는 카세트 감지 장치와, 상기 카세트 감지 장치로부터 전원을 인가받는 상태에서 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부의 삽입 감지신호를 전송받아 웨이퍼를 이송하는 로봇 암을 제어하고, 상기 로봇 암의 동작 유무를 실시간 확인하여 상기 로봇 암이 동작하지 않는 경우에 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부를 뺄 수 있도록 상기 카세트 감지 장치로 전원 오프(off) 제어신호를 전송하는 제어부를 포함한다.
카세트, 카세트 플레이

Description

카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법{Cassette Plate and Method for Confirming Cassette State Using the Same}
도 1은 본 발명에 따른 카세트 및 카세트 플레이트 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 플레이트의 카세트 감지 장치를 도시한 블록도.
도 3은 본 발명에 따른 카세트 플레이트를 이용한 카세트 상태 확인 방법을 설명하기 위한 흐름도.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***
100: 카세트 102: 돌출부
108: 카세트 플레이트 110: 삽입부
112: 제어부 200:카세트 감지장치
201: 전원부 202:스위치부
206: 전자석부
본 발명은 카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 관한 것으로, 특히, 카세트 상태를 확인할 수 있는 카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 관한 것이다.
종래의 반도체 제조 장비에 있어서, SMIF(Standard Mechanical Interface)장치(미도시)에 의해 카세트 플레이트(Cassette Plate) 위에 안착되는 카세트(Cassette)는 웨이퍼(Wafer)의 수납 공간을 제공한다.
로봇 암은 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이로 잠입하여 수납되어 있는 웨이퍼를 추출하여 프리 얼라이너(Pre-aligner)에서 웨이퍼의 방향을 맞춘 후 추출한 웨이퍼를 공정 챔버로 이송한다.
또한, 로봇 암은 공정 챔버에서 처리가 완료된 웨이퍼를 꺼내어 프리 얼라이너에서 방향을 맞춘 후 카세트로 이송하여 처리가 완료된 웨이퍼를 카세트의 수납공간에 수납한다.
그러나, 로봇 암을 이용하여 카세트의 웨이퍼를 이송하는 중에 카세트를 이동시켜 웨이퍼를 파손되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 카세트 상태를 확인할 수 있는 카세트 플레이트를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명은 카세트 상태를 확인할 수 있는 카세트 플레이트를 이용한 카세트 상태 확인 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은 다수의 돌추부를 구비하는 카세트 상태를 확인하는 카세트 플레이트에 있어서, 상기 카세트의 다수의 돌출부를 삽탈할 수 있는 상기 카세트 플레이트 평면의 일측에 형성한 다수의 삽입부와, 상기 삽입부 하부에 형성되고 전원의 온(on) 또는 오프(Off)에 따라 전자석의 기능을 수행하는 다수의 전자석부와, 각 부로 전원을 인가하고 상기 삽입부에 상기 카세트 돌출부의 삽입 유무를 감지하며, 제어신호에 따라 상기 전자석부의 전원을 온(on) 또는 오프(off)하는 카세트 감지 장치와, 상기 카세트 감지 장치로부터 전원을 인가받는 상태에서 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부의 삽입 감지신호를 전송받아 웨이퍼를 이송하는 로봇 암을 제어하고, 상기 로봇 암의 동작 유무를 실시간 확인하여 상기 로봇 암이 동작하지 않는 경우에 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부를 뺄 수 있도록 상기 카세트 감지 장치로 전원 오프(off) 제어신호를 전송하는 제어부를 포함하는 카세트 플레이트에 관한 것이다.
본 발명에서 상기 카세트의 돌출부는 금속 또는 전자석으로 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 카세트 감지 장치는, 전원을 상기 전자석부로 인가할 수 있는 온(On) 상태에서 상기 제어부의 전원 오프(Off) 또는 온(On) 제어신호에 따라 상기 전자석부의 전원 공급을 온 또는 오프하는 스위치부와, 상기 제어부 및 상기 스위치부를 통해 상기 전자석부로 전원을 인가하는 상태에서 상기 삽입부에 상기 돌출부를 삽입한 경우에 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호를 인가하는 전원부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 제어부는 상기 스위치부에 전원 오프(Off) 제어신호를 전송하고 상기 삽입부에서 상기 돌출부를 뺀 후에 상기 스위치부로 전원 온(On) 제어 신호를 전송하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 전원부는 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호의 로우(low) 신호를 인가하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 전원부와 상기 제어부 간 중간에 소정의 저항값을 갖는 저항체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징은 카세트 플레이트를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 있어서, 카세트 감지 장치에서 제어부 및 온(On) 상태의 스위치부를 통해 전자석부로 전원을 인가하는 단계와, 상기 카세트 감지 장치에서 상기 카세트 플레이트의 삽입부에 상기 카세트의 돌출부의 삽입 유무를 감지하는 단계와, 상기 카세트 감지 장치에서 감지 결과 상기 삽입부에 상기 돌출부를 삽입한 경우 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호를 전송하는 단계와, 상기 제어부에서 상기 돌출부 삽입 감지 신호에 따라 웨이퍼를 이송하는 로봇 암을 제어하고 아울러, 로봇 암의 동작 유무를 감지하는 단계와, 상기 제어부에서 상기 로봇 암이 동작을 멈추는 경우에 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부를 뺄 수 있도록 상기 카세트 감지 장치의 스위치부로 전원 오프(Off) 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하는 카세트 플레이트를 이용하여 카세트 상태 확인 방법에 관한 것이다.
본 발명에서 상기 제어부에서 상기 돌출부를 상기 삽입부에서 뺀 후 상기 스위치부로 전원 온(On) 제어신호를 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한 다.
본 발명에서 상기 삽입부에 상기 돌출부를 삽입한 경우 상기 카세트 감지 장치의 전원부에서 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호의 로우(low) 신호를 전송하는 것을 특징으로 한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 플레이트 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 대해서 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트 및 카세트 플레이트 도시한 사시도이다.
도 1에서 나타낸 바와 같이, 카세트(Cassette)(100)는 웨이퍼(Wafer)(104)들을 수납할 수 있는 수납 공간을 제공하고 카세트(100)의 하부에 돌출된 적어도 하나 이상의 돌출부(102)를 구비한다.
여기서, 로봇 암(106)은 카세트(100) 내의 웨이퍼(104)를 이송하는 기능을 수행한다.
또한, 카세트(100)의 돌출부(102)는 금속 또는 전자석으로 형성하는 것이 바람직하다.
카세트 플레이트(Cassette Plate)(108)는 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽탈할 수 있는 적어도 하나 이상의 삽입부(110)를 평면 일측에 구비한다.
또한, 카세트 플레이트(108)는 도 2에서 나타낸 바와 같이, 삽입부(110)의 하부에 적어도 하나 이상의 전자석부(206) 및 삽입부(110)에 카세트 돌출부(102)의 삽입 여부를 감지하여 제어부(112)로 전송하는 카세트 감지 장치(200)를 구비한다.
여기서, 도 2는 본 발명에 따른 카세트 플레이트의 카세트 감지 장치(200)를 도시한 블록도이다.
카세트 감지 장치(200)는 전원부(201) 및 스위치부(202)를 구비하고, 전원부(201)는 스위치부(202)를 통해 전자석부(206) 및 제어부(112)에 전원을 인가한다.
스위치부(202)는 최초(카세트 플레이트(108)의 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입하지 않은 상태) 전원부(201)에서 전자석부(206)로 전원을 인가할 수 있는 온(On)(A) 상태에서 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입한 후 제어부(112)의 전원 오프(off) 제어신호에 따라 전자석부(206)의 전원을 차단하도록 오프(Off)(B) 한다.
또한, 스위치부(202)는 카세트 플레이트(108)의 삽입부(110)에서 카세트(100)의 돌출부(102)를 뺀 후 제어부(112)의 전원 온(On) 제어신호에 따라 전원부(201)에서 전자석부(206)로 전원을 인가할 수 있도록 온(On)(A) 상태를 유지한다.
제어부(112)는 최초, 카세트 감지 장치(200)의 전원부(201)로부터 인가되는 전원 즉, 하이(High) 신호를 인가받는 상태를 카세트 플레이트(108)의 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입하지 않은 것으로 감지하고, 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입하여 전원부(200)의 전원을 스위치(202)를 통해 전자석부(206) 및 카세트(100)의 돌출부(102)로 인가되어 로우(Low) 신호를 입력받는 상태를 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입 즉, 카세트 플레이트(108)에 카세트(100)를 안착한 것으로 감지한다.
이후, 제어부(112)는 웨이퍼(104)를 이송하는 로봇 암(106)을 제어하고 아울러, 로봇 암(106)의 동작 유무를 실시간으로 확인하여 동작하지 않는 경우(카세트의 웨이퍼 이송 공정 수행을 완료한 경우)에 스위치부(202)로 전원 오프(off) 제어신호를 전송하고, 삽입부(110)에서 카세트(100)의 돌출부(102)를 뺀 후 전원부(201)에서 전자석부(206)로 전원을 인가할 수 있도록 스위치(202)로 전원 온(On) 제어신호를 전송한다.
여기서, 전원부(200)과 제어부(112) 간 사이에 소정의 저항값을 갖는 저항체를 구비할 수도 있다.
도 3은 본 발명에 따른 카세트 플레이트를 이용한 카세트 상태 확인 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
최초, 카세트 감지 장치(200)의 스위치(202)는 전원부(201)의 전원을 전자석(206)으로 인가될 수 있도록 온(On)(A) 상태를 유지한다. 이때, 제어부(112)는 전원부(201)로부터 전원 즉, 하이(High) 신호를 인가받아 카세트 플레이트(108)의 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입하지 않은 상태 즉, 카세트 플레이트(108)에 카세트(100)를 안착하지 않은 것으로 감지한다.
여기서, 전자석부(206)의 다음 단 이후에는 전기적으로 연결되어 있지 않은 상태 즉, 오픈(Open) 된 상태로 전원부(201)에서 전자석부(206) 이후로 전원을 인가하지 못하고 제어부(112)로 전원 즉, 하이(High) 신호를 인가할 수 있어 제어부(112)에서 카세트 플레이트(108)에 카세트(100)를 안착하지 않은 것으로 감지할 수 있다.
또한, 전원부(200)와 제어부(112) 간 사이에 소정의 저항값을 갖는 저항체를 구비할 수도 있다.
이후, SMIF(Standard Mechanical Interface)장치(미도시)에 의해 카세트 플레이트(108)의 삽입부(110)에 카세트(100)의 돌출부(102)를 삽입하는 경우에(S300), 전자석부(206)는 카세트(100)의 돌출부(102)와 전기적으로 연결되고 전자석에 의해 카세트 플레이트(108)에 카세트(100)를 고정할 수 있다.
여기서, 전자석부(206)는 스위치부(202)를 통해 전원부(200)로부터 전원을 인가받아 전자석의 기능을 수행하여 카세트(100)는 전자석부(206)의 전자석에 의해 카세트 플레이트(108)에서 쉽게 뺄 수 없다.
이때, 카세트 감지 장치(200)의 전원부(201)는 제어부(112)로 전원(하이(high) 신호)을 인가하지 않고, 스위치(202)를 통해 전자석부(206) 및 카세트(100)의 돌출부(102)로 전원을 인가한다.
이때, 제어부(112)는 전원부(201)로부터 로우(Low) 신호를 입력받아 카세트 플레이트(108)에 카세트(100)를 안착한 것으로 감지(S301)하고, 카세트(100) 내의 웨이퍼(104)를 이송하는 로봇 암(106)을 제어하며 아울러, 로봇 암(106)의 동작 유무를 실시간으로 확인한다(S302).
상기한 (S302)단계에서 로봇 암(106)이 동작하지 않는 경우에, 제어부(112)는 카세트 감지 장치(200)의 스위치부(202)로 전원 오프(off) 제어신호를 전송한다(S303).
그러면, 스위치부(202)는 제어부(112)의 전원 오프(off) 제어신호에 따라 스 위치를 오프(off)(B) 하여 전원부(201)에서 전자석부(206)로 인가되는 전원을 차단한다(S304).
이때, 전자석부(206)는 전원부(200)로부터 전원이 차단되어 전자석의 기능을 수행하지 못하여 삽입부(110)에서 카세트(110)를 쉽게 뺄 수 있다.
이 후, SMIF(Standard Mechanical Interface)장치(미도시)에 의해 카세트 플레이트(108)의 삽입부(110)에서 카세트(100)를 뺀 후(S305) 제어부(112)는 소정 시간 이후 스위치부(202)에 전원부(201)에서 전자석부(206)로 전원을 인가할 수 있도록 전원 온(on) 제어신호를 전송한다.
스위치부(202)는 제어부(112)의 전원 온(On) 제어 신호에 따라 전원부(201)에서 전자석부(206)로 전원을 인가할 수 있는 온(On)(A) 상태를 유지한다(S306).
이때, 제어부(112)는 전원부(201)로부터 전원 즉, 하이(high) 신호를 인가받아 카세트 플레이트(108)에 카세트(100)를 안착하지 않은 것으로 감지한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 카세트 플레이트 및 이를 이용한 카 세트 상태 확인 방법에 따라 카세트의 상태를 감지할 수 있어 로봇 암의 웨이퍼 이송 중에 카세트 플레이트에서 카세트의 이탈을 방지함으로써, 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 다수의 돌출부를 구비하는 카세트 상태를 확인하는 카세트 플레이트에 있어서,
    상기 카세트의 다수의 돌출부를 삽탈할 수 있는 상기 카세트 플레이트 평면의 일측에 형성한 다수의 삽입부와,
    상기 삽입부 하부에 형성되고 전원의 온(on) 또는 오프(Off)에 따라 전자석의 기능을 수행하는 다수의 전자석부와,
    각 부로 전원을 인가하고 상기 삽입부에 상기 카세트 돌출부의 삽입 유무를 감지하며, 제어신호에 따라 상기 전자석부의 전원을 온(on) 또는 오프(off)하는 카세트 감지 장치와,
    상기 카세트 감지 장치로부터 전원을 인가받는 상태에서 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부의 삽입 감지신호를 전송받아 웨이퍼를 이송하는 로봇 암을 제어하고, 상기 로봇 암의 동작 유무를 실시간 확인하여 상기 로봇 암이 동작하지 않는 경우에 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부를 뺄 수 있도록 상기 카세트 감지 장치로 전원 오프(off) 제어신호를 전송하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 카세트의 돌출부는
    금속 또는 전자석으로 형성하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 카세트 감지 장치는,
    전원을 상기 전자석부로 인가할 수 있는 온(On) 상태에서 상기 제어부의 전원 오프(Off) 또는 온(On) 제어신호에 따라 상기 전자석부의 전원 공급을 온 또는 오프하는 스위치부와,
    상기 제어부 및 상기 스위치부를 통해 상기 전자석부로 전원을 인가하는 상태에서 상기 삽입부에 상기 돌출부를 삽입한 경우에 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호를 인가하는 전원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 스위치부에 전원 오프(Off) 제어신호를 전송하고 상기 삽입부에서 상기 돌출부를 뺀 후에 상기 스위치부로 전원 온(On) 제어 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 전원부는
    상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호의 로우(low) 신호를 인가하는 것 을 특징으로 하는 카세트 플레이트.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 전원부와 상기 제어부 간 중간에 소정의 저항값을 갖는 저항체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트.
  7. 카세트 플레이트를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 있어서,
    카세트 감지 장치에서 제어부 및 온(On) 상태의 스위치부를 통해 전자석부로 전원을 인가하는 단계와,
    상기 카세트 감지 장치에서 상기 카세트 플레이트의 삽입부에 상기 카세트의 돌출부의 삽입 유무를 감지하는 단계와,
    상기 카세트 감지 장치에서 감지 결과 상기 삽입부에 상기 돌출부를 삽입한 경우 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호를 전송하는 단계와,
    상기 제어부에서 상기 돌출부 삽입 감지 신호에 따라 웨이퍼를 이송하는 로봇 암을 제어하고 아울러, 로봇 암의 동작 유무를 감지하는 단계와,
    상기 제어부에서 상기 로봇 암이 동작을 멈추는 경우에 상기 삽입부에 삽입한 상기 돌출부를 뺄 수 있도록 상기 카세트 감지 장치의 스위치부로 전원 오프(Off) 제어 신호를 전송하는 단계를 포함하는 카세트 플레이트를 이용하여 카세트 상태 확인 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어부에서 상기 돌출부를 상기 삽입부에서 뺀 후 상기 스위치부로 전원 온(On) 제어신호를 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트를 이용하여 카세트 상태 확인 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 삽입부에 상기 돌출부를 삽입한 경우 상기 카세트 감지 장치의 전원부에서 상기 제어부로 상기 돌출부 삽입 감지 신호의 로우(low) 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 카세트 플레이트를 이용하여 카세트 상태 확인 방법.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050017505A (ko) * 2003-08-14 2005-02-22 동부아남반도체 주식회사 카세트 이송 시스템 및 방법
JP2005166842A (ja) 2003-12-01 2005-06-23 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 半導体ウェーハの処理方法
KR20060008164A (ko) * 2004-07-23 2006-01-26 삼성전자주식회사 웨이퍼 카세트 위치 고정장치
KR20060075908A (ko) * 2004-12-29 2006-07-04 동부일렉트로닉스 주식회사 Ｓｍｉｆ 그리퍼 아암의 인터록 장치 및 그 제어방법
KR20070062776A (ko) * 2005-12-13 2007-06-18 삼성전자주식회사 반도체 소자 제조 설비

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050017505A (ko) * 2003-08-14 2005-02-22 동부아남반도체 주식회사 카세트 이송 시스템 및 방법
JP2005166842A (ja) 2003-12-01 2005-06-23 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 半導体ウェーハの処理方法
KR20060008164A (ko) * 2004-07-23 2006-01-26 삼성전자주식회사 웨이퍼 카세트 위치 고정장치
KR20060075908A (ko) * 2004-12-29 2006-07-04 동부일렉트로닉스 주식회사 Ｓｍｉｆ 그리퍼 아암의 인터록 장치 및 그 제어방법
KR20070062776A (ko) * 2005-12-13 2007-06-18 삼성전자주식회사 반도체 소자 제조 설비

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