KR100759211B1

KR100759211B1 - 몰드 경화용 지그

Info

Publication number: KR100759211B1
Application number: KR1020060092618A
Authority: KR
Inventors: 이진향; 이영철; 정창호; 한두석; 이준석
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2006-09-25
Filing date: 2006-09-25
Publication date: 2007-09-14

Abstract

본 발명은 몰드 경화용 지그에 관한 것으로서, 몰드액을 도포시키기 위해 중앙부가 오목하게 패인 몰드액도포부(12)와, 이 몰드액도포부(12)의 바닥면(13)에 상하로 관통된 관통공(14)을 갖는 상판(10); 상기 상판(10)의 관통공(14) 저면에 밀착 배치되는 마스터글라스(20); 및 상기 마스터글라스(20)의 저면에 밀착 지지되는 지지면(32)이 구비되고 상판(10)과 결합되는 하판(30)을 포함하여 구성된다. 따라서, 몰드액의 진공 탈포시 몰드액이 마스터글라스의 저면으로 스며드는 것을 방지함으로써 마스터글라스의 균일한 평탄도를 지속적으로 유지할 수 있도록 하는 동시에, 마스터글라스와 지그 간의 접착력 및 밀봉력을 향상시켜 마스터글라스의 교체수명을 장시간 연장시킬 수 있도록 함으로써 수명 연장에 따른 비용 절감 및 기존의 테이프 교체 작업이 삭제되어 작업 시간이 단축 되는 등 전반적으로 작업능률을 향상시킬 수 있도록 하는 등의 효과를 얻는다.

몰드 경화용 지그, 상판, 마스터글라스, 하판, 체결구

Description

몰드 경화용 지그{Jig for hardening of mold}

도 1은 종래 기술의 몰드 경화용 지그를 나타낸 개략도

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그를 나타낸 사시도

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그의 상, 하판이 분리된 상태를 나타낸 개략 단면도

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그의 상, 하판이 결합된 상태를 나타낸 개략 단면도

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 몰드 경화용 지그로서, 마스터글라스의 상면과 상판의 관통공 테두리 사이에 보조접착부가 추가된 상태를 나타낸 개략 단면도.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

6 : 지그본체 6a : 몰드액도포부

6b : 글라스배치홈 8 : 마스터글라스

9 : 테이프 10 : 상판

12 : 몰드액도포부 13 : 바닥면

14 : 관통공 16 : 체결공

20 : 마스터글라스 30 : 하판

32 : 지지면 34 : 비접촉홈부

36 : 체결홈 40 : 접착부

50 : 체결구 60 : 보조접착부

본 발명은 임프린트 리소그래피 기술에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 임프린트 리소그래피용 패턴몰드를 형성하기 위한 몰드 경화용 지그에 관한 것이다.

기판 표면에 임의의 패턴을 형성하는 여러가지 리소그래피 기술이 개발되어 왔다. 예를 들어, 포토 리소그래피 기술은 집적 회로의 제조에 일반적으로 사용되는 기술로서, 노광 장치로 기하학적인 형상의 패턴을 마스크로부터 기판 표면을 커버하는 포토레지스트에 전사하고 현상액으로 포토레지스트를 선택적으로 제거하는 방법이다.

한편, 현재 포토 리소그래피의 해상도와 정확도를 향상시키기 위해 다른 리소그래피 기술이 개발되고 있는데, 그 중의 하나가 임프린트(imprint) 리소그래피 기술이다. 임프린트 리소그래피 기술은 상대적으로 강도가 강한 물질의 표면에 필요로 하는 형상(이하 "패턴몰드"라 칭함)을 미리 제작하여 이를 다른 물질 위에 마치 도장을 찍듯이 찍어서 패턴을 형성 시키거나 원하는 형상의 몰드를 제작한 후 몰드 내부로 폴리머 물질을 도포하여 패턴을 형성하는 방법이다.

상기 패턴몰드의 성형을 위해 사용되는 액상의 합성수지 재료는 성형 후 표 면 안정성 및 점착력 등이 우수한 연질의 투명 또는 반투명한 수지 예를들면, PDDP와 같은 수성우레탄이나 PDMS(POLY DIMETHYLSILOXANE)와 같은 원료가 사용될 수 있다.

상기 PDMS수지 재료는 상대적으로 넓고 평탄하지 않은 표면 영역에 대응하여 안정적인 점착력을 얻을 수 있으며, 폴리머 수지 등을 프린트할 때에 접착 면측에서 일체의 접착 현상 등이 잘 일어나지 않으므로 성형 및 가공성이 우수하고 만족할 만한 내구성 등을 얻을 수 있다.

상기 임프린트 리소그래피 기술에 의해 패턴몰드를 형성하기 위해 몰드 경화용 지그를 사용하고 있는 바, 종래 기술에 따른 몰드 경화용 지그는 도 1에 도시된 바와 같이, 중앙부가 오목하게 패인 소정의 몰드액도포부(6a)를 갖는 판 형상의 지그본체(6)가 마련되고, 그 바닥면 중앙에는 패턴이 형성된 마스터글라스(8)가 장착되도록 하는 글라스배치홈(6b)이 형성되어 있다.

이와 같이 구성된 몰드 경화용 지그를 이용하여 패턴몰드를 형성하는 과정을 설명하면 이하와 같다.

먼저, 상기 지그본체(6)의 글라스배치홈(6a)에 마스터글라스(8)를 배치한 후, 상기 마스터글라스(8)의 상면 테두리에 테이프(9)를 부착시켜 마스터글라스(8)를 고정한다.

다음, 디스펜서 장치(미도시)를 이용하여 몰드액을 몰드액도포부(6a) 상으로 도포한 후, 소정시간 동안 경화시키면, 소정의 패턴을 가진 패턴몰드가 형성된다.

한편, 몰드액를 도포 및 경화시키는 과정에서 몰드액에는 마이크로 버블이 생성되고, 상기 마이크로 버블은 진공 탈포 공정에 의해 제거한다.

그러나, 종래 기술에 따른 몰드 경화용 지그는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 마이크로 버블을 제거하기 위한 진공 탈포 공정에서 진공압에 의해 상기 마스터글라스(8)와 이 마스터글라스(8)가 배치되는 글라스배치홈(6b) 간의 미세한 틈새 사이에 숨어있던 마이크로 버블이 새어나와 테이프(9)를 들어 올리게 된다. 이때, 틈새를 통해 몰드액이 마스터글라스(8)의 배면으로 스며들게 되어 마스터글라스(8)의 평탄도를 저하시키는 문제점이 있었고, 결국 패턴몰드의 평탄도가 저하되는 문제점을 갖고 있었다.

둘째, 상기 마스터글라스(8)를 고정시키기 위해 사용된 테이프는 비교적 접착력이 약하기 때문에 진공 탈포 공정시 들뜨거나 몰드와 접착되면서 접착력이 쉽게 상실되기 때문에 테이프(9)를 빈번하게 교체하여야 하는 문제점을 갖고 있었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 몰드액의 진공 탈포시 몰드액이 마스터글라스의 저면으로 스며드는 것을 방지함으로써 마스터글라스의 균일한 평탄도를 지속적으로 유지할 수 있도록 하는 몰드 경화용 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 마스터글라스와 지그 간의 접착력 및 밀봉력을 향상시켜 마스터글라스의 교체수명을 장시간 연장시킬 수 있도록 함으로써 수명 연장에 따른 비용 절감 및 기존의 테이프 교체 작업이 삭제되어 작업 시간이 단축 되는 등 전반 적으로 작업능률을 향상시킬 수 있도록 하는 몰드 경화용 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 몰드액을 도포시키기 위해 중앙부가 오목하게 패인 몰드액도포부와, 이 몰드액도포부의 바닥면에 상하로 관통된 관통공을 갖는 상판; 상기 상판의 관통공 저면에 밀착 배치되는 마스터글라스; 및 상기 마스터글라스의 저면에 밀착 지지되는 지지면이 구비되고 상판과 결합되는 하판을 포함하여 이루어진 몰드 경화용 지그를 제공한다.

또한, 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그에 있어서, 상기 마스터글라스의 테두리와 상판의 저면이 접하는 부위에는 상기 마스터글라스와 상판을 접착 및 밀봉시키기 위한 접착부가 구비된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그에 있어서, 상기 마스터글라스의 상면과 상판의 관통공 테두리가 접하는 부위에는 상기 마스터글라스와 상판을 접착 및 밀봉시키기 위한 보조접착부 더 구비될 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그에 있어서, 상기 마스터글라스와 상판의 접경의 접착부 및 보조접착부는 접착력이 뛰어난 실리콘 재질로 된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그에 있어서, 상기 마스터글라스의 접착부와 대응되는 하판의 상면에는 이 접착부에 접촉되지 않도록 오목하게 패인 비접촉홈부가 형성된 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그에 대해 자세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그의 상, 하판이 분리된 상태를 나타낸 개략 단면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그의 상, 하판이 결합된 상태를 나타낸 개략 단면도이다.

도 2 내지 도 4에서 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 몰드 경화용 지그는 몰드액을 도포시키기 위해 중앙부가 오목하게 패인 몰드액도포부(12)와, 몰드액도포부(12)의 바닥면(13)이 상하로 관통된 관통공(14)을 갖는 상판(10)과, 상기 상판(10)의 관통공(14) 저면에 배치되는 마스터글라스(20) 그리고, 상기 마스터글라스(20)의 저면에 밀착 지지되는 지지면(32)이 구비되고 상판(10)과 결합되는 하판(30)을 포함하여 이루어진다.

상기 상판(10)은 몰드액을 도포시키기 위해 중앙부가 오목하게 패인 몰드액도포부(12)를 갖는 사각틀 형상으로, 이 몰드액도포부(12)의 바닥면(13) 중앙부에는 상기 몰드액도포부(12)보다 크기가 작은 소관통부로 된 관통공(14)이 형성된다.

그리고, 상기 상판(10)의 테두리 소정 부위에는 하판(20)과 별도의 체결구(50)로 체결 고정시키기 위해 관통된 복수의 체결공(16)이 형성된다.

상기 마스터글라스(20)는 상판(10)의 관통공(14) 저면에 접착 배치되는 판재 형상으로, 상기 마스터글라스(20)의 테두리와 상판(10)의 저면이 접하는 부위에는 상기 마스터글라스(20)와 상판(10)을 접착 및 밀봉시키기 위한 접착부(40)가 구비 되는 것이 바람직하다.

한편, 도 5에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 다른 실시예로서, 상기 접착부(40) 이외에 마스터글라스(20)와 상판(10) 사이의 접착 및 밀봉 상태를 더욱 향상시키기 위해, 상기 마스터글라스(20)의 상면과 상판(10)의 관통공(14) 테두리가 접하는 부위에도 상기 마스터글라스(20)와 상판(10)을 접착 및 밀봉시키기 위한 보조접착부(60)가 더 구비될 수 있다.

여기서, 상기 각 실시예에서 제시된 접착부(40) 및 보조접착부(60)는 접착력이 뛰어난 실리콘 재질로 된 것이 바람직하다.

상기 하판(30)은 중앙부 상면에 마스터글라스(20)를 밀착 지지하기 위한 평평한 형상의 지지면(32)이 형성되고, 그 테두리의 소정 부위에 상기 상판(10)의 체결공(16)과 동일선상에 놓여 이 체결공(16)을 관통한 체결구(50)가 체결되도록 복수의 체결홈(36)이 형성된다.

한편, 상기 하판(30) 중 마스터글라스(20)의 접착부(40)와 대응되는 하판(30)의 상면에는 이 접착부(40)에 접촉되지 않도록 오목하게 패인 비접촉홈부(34)가 형성되는 것이 바람직하다.

이상 전술한 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그의 결합과정 및 작용을 설명하면 이하와 같다.

먼저, 상판(10)의 관통공(14) 저면으로 마스터글라스(20)를 밀착 배치시킨 후, 상기 마스터글라스(20)의 테두리에 실리콘 재질의 접착부(40)를 형성시켜 마스터글라스(20)를 상판(10)의 저면에 고정시킨다.

이때, 상기 접착부(40)를 형성시킨 후에도 마스터글라스(20)와 상판(10) 사이의 접착력 및 밀봉력을 보다 견고히 하기 위해서 추가로 마스터글라스(20) 상면과 상판(10)의 관통공(14) 내주면의 서로 맞닿는 접경에도 보조접착부(60)를 더 형성시킬 수 있다.

다음, 하판(30)의 지지면(32)이 마스터글라스(20)의 저면에 밀착 지지되도록 하는 동시에 테두리의 체결홈(36)들을 상판(10)의 체결공(16)들과 일치시킨 후 별도의 체결구(50)로 체결시켜 상판(10)과, 하판(10,20)을 상호 결합시킨다.

이와 같은 일련의 과정을 통해 몰드 경화용 지그의 결합이 완성된다.

이렇게 완성된 몰드 경화용 지그의 몰드액도포부(12)의 마스터글라스(20) 상으로 몰드액을 도포하고 나서 진공 탈포 공정을 거치게 되면, 접착부 및 보조접착부(40, 60)에 의해 마스터 글라스(20)의 저면측으로 몰드액이 침투되는 현상을 방지하게 되어 평탄도가 균일한 패턴몰드를 얻을 수 있게 된다.

상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 몰드 경화용 지그는 다음과 같은 효과를 갖는다.

첫째, 본 발명에 의하면, 마스터 글라스를 실리콘 재질을 통해 접착 및 밀봉시킴에 따라 진공 탈포시 몰드액이 마스터글라스의 저면으로 스며드는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 마스터글라스의 균일한 평탄도를 지속적으로 유지할 수 있는 효과를 가지며, 결국 평탄도가 균일한 패턴몰드를 얻을 수 있는 효과를 가진다.

둘째, 본 발명에 의하면, 마스터글라스와 지그 간의 접착력 및 밀봉력을 향 상시켜 마스터글라스의 교체수명을 장시간 연장시킬 수 있도록 함으로써 수명 연장에 따른 비용 절감 및 기존의 테이프 교체 작업이 삭제되어 작업 시간이 단축 되는 등 전반적으로 작업능률을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

Claims

몰드액을 도포시키기 위해 중앙부가 오목하게 패인 몰드액도포부와, 상기 몰드액도포부의 바닥면에 상하로 관통된 관통공을 갖는 상판;

상기 상판의 관통공 저면에 밀착 배치되는 마스터글라스; 및

상기 마스터글라스의 저면에 밀착 지지되는 지지면이 구비되고 상판과 결합되는 하판;

을 포함하여 구성되는 몰드 경화용 지그.
제1항에 있어서, 상기 마스터글라스의 테두리와 상판의 저면이 접하는 부위에는 상기 마스터글라스와 상판을 접착 및 밀봉시키기 위한 접착부가 구비된 것을 특징으로 하는 몰드 경화용 지그.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마스터글라스의 상면과 상판의 관통공 테두리가 접하는 부위에는 상기 마스터글라스와 상판을 접착 및 밀봉시키기 위한 보조접착부가 구비된 것을 특징으로 하는 몰드 경화용 지그.
제3항에 있어서, 상기 마스터글라스와 상판의 접경의 접착부 및 보조접착부는 접착력이 뛰어난 실리콘 재질로 된 것을 특징으로 하는 몰드 경화용 지그.
제4항에 있어서, 상기 마스터글라스의 접착부와 대응되는 하판의 상면에는 이 접착부에 접촉되지 않도록 오목하게 패인 비접촉홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 몰드 경화용 지그.