KR100450127B1

KR100450127B1 - 포토 레지스트 노즐용 홈 배스

Info

Publication number: KR100450127B1
Application number: KR10-2001-0083512A
Authority: KR
Inventors: 박종원; 권순호
Original assignee: 동부전자 주식회사
Priority date: 2001-12-22
Filing date: 2001-12-22
Publication date: 2004-09-30
Also published as: KR20030053333A

Abstract

본 발명은 홈 배스의 홀에 포토 레지스트 노즐헤드가 안착시, 홈 배스에 수용된 신너 성분이 대기중으로 누출되지 않도록 하면서 동시에 상기 포토 레지스트 노즐이 홈 배스의 홀 위치에서 별도의 위치 이동없이 바로 더미 디스팬스를 진행하도록 하여 포토 레지스트 노즐의 위치변화에 대한 발생을 방지하고, 그에 따라 장비의 가동률과 수율을 한층 향상시킬 수 있도록 한 것이다.

본 발명은 홈 배스의 홀 주위에 노즐헤드가 안착시 신너 성분이 대기중으로 누출되지 않도록 밀폐시키기 위하여 2°∼ 15°의 경사각도를 갖는 경사면이 형성되어 있고, 상기 홈 배스의 바닥면은 드레인부재를 최하부분에 연결시킨 경사면으로 이루어진 포토 레지스트 노즐용 홈 배스가 제공된다.

Description

포토 레지스트 노즐용 홈 배스{Home Bath for Phpth Resist Nozzle}

본 발명은 포토 레지스트 노즐용 홈 배스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 포토 레지스트 노즐이 홈 배스의 홀 위치에서 별도의 이동없이 바로 더미 디스팬스(dummy dispense)를 진행하도록 하면서, 동시에 노즐헤드가 홈 배스의 홀에 일치하도록 하여 홈 배스의 내부를 밀폐시키도록 한 것이다

일반적으로, 반도체 소자를 제작하는 반도체 공정 중 포토 레지스트 코팅은 매우 중요하며, 이에 따라 포토 레지스트를 공급해 주기 위한 포토 레지스트 노즐의 관리 또한 대단히 중요하다.

상기 포토 레지스트도 화학성을 가지고 있어서 그 특성상 일정 시간별로 더미 디스팬스를 해주어야 최적의 상태를 유지하게 된다. 첨부된 예시도면 도 1에 도시된 바와 같이 포토 레지스트 노즐(10)이 대기중에 그대로 개방되면, 포토 레지스트가 굳어지게 되어 포토 레스트 노즐(10)의 막힘이 발생되는데, 이때 이러한 현상을 방지하기 위하여 포토 레지스트 노즐용 홈 배스(12)가 사용된다.상기 홈 배스(12)의 내부에는 포토 레지스트의 점성도(粘性度)를 낮추기 위해 신너(thinner)를 포토레지스트 노즐(10)부분까지 공급하여 포토 레지스트가 점차 굳어져 가는 현상을 방지하게 한다.

상기 홈 배스(12)의 내부에는 신너가 공급되어 수용되도록 하기 위한 공간부(14)와 포토 레지스트의 배출을 위해 수용되도록 하기 위한 공간부(16)가 격벽(18)에 의하여 밀폐된 상태로 나뉘어져 있다.상기 공간부(14,16)의 각 상면에는 홈 배스(12) 홀(20)과 디스팬스 드레인 홀(22)이 형성되어 있고, 상기 각 공간부(14,16)의 일측면과 저면에는 각각 해당하는 신너공급부재(24)와 드레인부재(26)가 대응.연결되어 있다.

한편, 실린더와 스텝핑모터에 의하여 수직/수평으로 이동이 가능한 디스팬스 암(28)에는 분사부재(30)가 갖추어져 있는데, 이 분사부재(30)의 일끝에는 3개의 포토 레지스트 노즐(10)을 구비한 노즐헤드(32)가 갖추어져 있다.

따라서, 상기 디스팬스암(28)이 동력원에 의해 수직 및 수평으로 정기적으로 구동하게 되면서 포토 레지스트를 디스팬스하게 되는데, 이때 불필요하게 디스팬스 드레인 홀(22)까지 이동하는 스텝(step)을 수행하여 더미 디스팬스를 하게 됨으로써, 자칫 포토 레지스트 노즐(10)이 디스팬스 드레인 홀(22)에 충돌하게 될 경우, 포토 레지스트 노즐(10)의 찌그러짐이 발생하여 사용하지 못하게 된다. 또한 포토 레지스트 노즐(10)의 위치가 틀어졌을 경우에도 포토 레지스트 노즐(10)이 드레인 홀(22)에 주위에 부딪히게 되어 파손이 발생되는 문제점이 있었다.또한, 상기와 같은 파손이 발생되면, 코팅불량을 야기하게 되는데, 이러한 코팅불량의 여부를 판별하기 위해서는 웨이퍼를 정밀검사하여야만 코팅불량여부를 정확히 파악할 수 있어서 자칫 대량의 불량을 발생시킬 수 있고, 이로 인해 수율 및 가동률이 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 더미 디스팬스를 하기 위해서는 디스팬스암(28)이 이동하게 되는데, 이때 각 포토레지스트 노즐(10)별로 동일한 스텝을 각각 수행하게 됨으로써, 더미 디스팬스의 진행 시간이 소요되고, 이에 따라 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

나아가, 상기 노즐헤드(32)와 홈 배스(12)의 홀(20)간에 정확한 밀착이 이루어지지 않고 주위로 미세한 틈새가 발생하여 대기와 통하게 되고, 이로 인해 코팅두께의 균일화에 악영향을 주게 됨으로써, 홈 배스(12)의 기능이 상실되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 포토 레지스트 노즐이 홈 배스 위치에서 별도의 이동없이 바로 더미 디스팬스를 진행하도록 하는 것을 목적으로 한다.

또한, 상기 노즐 헤드와 홈 배스의 홀이 일치되는 밀폐형의 구조로 형성되서 포토 레지스트 노즐의 위치변화를 방지하면서 동시에 홈 배스의 내 분위기를 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 일반적으로 사용되는 포토 레지스트 노즐과 홈 배스의 사용상태를 나타낸 사시도도 2는 본 발명의 포토레지스트 노즐용 홈 배스를 도시한 사시도

도 3은 본 발명의 포토 레지스트 노즐용 홈 배스를 절개하여 내부를 나타낸 사시도도 4는 도 2의 A-A선을 따라 절개한 단면도

도 5는 도 2의 B-B선을 따라 절개한 단면도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 포토 레지스트 노즐 12,38 : 홈 배스

14,16 : 공간부 18 : 격벽

20 : 홀 22 : 드레인 홀

24,48 : 신너공급부재 26,46 : 드레인부재

28 : 디스팬스 암 30 : 분사부재

32 : 노즐헤드 40,44 : 경사면

42 : 수용부

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 홈 배스의 홀 주위에 노즐헤드가 안착시 신너 성분이 대기중으로 누출되지 않도록 밀폐시키기 위하여 2°∼ 15°의 경사각도를 갖는 경사면이 형성되어 있고, 상기 홈 배스의 바닥면은 드레인부재를 최하부분에 연결시킨 경사면으로 이루어진 포토 레지스트 노즐용 홈 배스가 제공된다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명하기로 한다. 먼저, 첨부된 예시도면 도 2는 본 발명의 포토레지스트 노즐용 홈 배스를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 포토 레지스트 노즐용 홈 배스를 절개하여 내부를 나타낸 사시도이다. 그리고 도 4는 도 2의 A-A선을 따라 절개한 단면도이고, 도 5는 도 2의 B-B선을 따라 절개한 단면도이다.상기 도 2 내지 도 4에서 첨부된 예시도면 도 1과 동일한 참조번호는 동일한 부품을 표시하므로 이에 대한 설명은 생략하고 도 1과 상이한 점에 대해서만 설명하기로 한다.

먼저 홈 배스(38) 홀(20)의 주위에는 노즐헤드(32)와 일치하도록 2°∼ 15°의 각도를 형성하는 경사면(40)이 형성되어 있다.또한, 상기 홈 배스(38)의 내부에는 신너가 홈 배스(38)의 내면을 따라 수용되도록 육면체로 이루어진 수용부(42)가 형성되어 있으며, 아울러 홈 배스(38)의 바닥면은 포토 레지스트 및 신너가 일측으로 모여지도록 경사를 갖는 경사면(44)으로 형성되어 있다.

그리고, 상기 경사면(44)의 최하위부분에는 신너와 포토 레지스트가 배출되도록 하나의 드레인부재(46)가 연결되어 있으며, 상기 홈 배스(38)의 측면에는 신너를 수용부(42)에 공급할 수 있도록 신너공급부재(48)가 연결되어 있다.따라서, 노즐헤드(32)에 구비된 포토레지스트 노즐(10)이 홈 배스(38)의 홀(20)에 위치하게 되면, 종래와 같이 더미 디스팬스를 하기 위한 별도의 위치 이동없이 홈 배스(38) 홀(20)에 놓여져 더미 디스팬스를 바로 진행하게 된다.동시에, 상기 홀(20)에 노즐헤드(32)가 안착시, 이 홀(20)의 주위는 경사면(40)으로 형성되어 있어서, 상기 노즐헤드(32)가 홀(20)의 내부로 빠지지 않고 경사면(40)에 밀착되어 홀(20)을 막는 상태로 놓여지게 된다. 이에 따라 홈 배스(38)의 내부와 외부간에 차단이 이루어지게 되어 수용된 신너의 화학성분이 외부로 누출되는 현상을 방지시킨다.

또한, 상기 홈 배스(38)의 연결된 드레인부재(46)는 경사면(44)의 최하위에 연결되어 있어, 상기 공급되는 신너가 수용부(42)에 일정수위 만큼 고여 있다가 수용부(42)로부터 넘치게 되면, 홈 배스(38)의 경사면(44) 쪽으로 유입되어져, 상기 신너와 포토레지스트가 경사면(44)의 일측에 연결된 드레인부재(46)를 통해 배출된다.

위와 같이 본 발명은 포토 레지스트 노즐이 홈 배스의 홀 위치에서 별도의 이동없이 바로 더미 디스팬스를 진행하도록 하여 포토 레지스트 노즐의 위치 변화 및 파손을 방지하고, 이에 따라 장비의 가동률과 수율을 한층 향상시킬 수 있는 효과가 있다.또한, 상기 노즐헤드의 안착시, 홈 배스의 홀 주위에 형성된 경사면에 의하여 홈 배스의 내,외부간에 밀폐됨으로써, 수용된 신너의 화학성분이 외부로 누출되는 현상이 방지되는 효과를 기대할 수 있다.

Claims

포토 레지스트 노즐용 홈 배스에 있어서,

상기 홈 배스의 홀 주위에는 노즐헤드가 안착시 신너 성분이 대기중으로 누출되지 않도록 밀폐시키기 위하여 2°∼ 15°의 경사각도를 갖는 경사면이 형성되어 있고, 상기 홈 배스의 바닥면은 드레인부재를 최하부분에 연결시킨 경사면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토 레지스트 노즐용 홈 배스.
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