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KR100262268B1 - Carrier module of test tray for testing semiconductor device - Google Patents

Carrier module of test tray for testing semiconductor device Download PDF

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Publication number
KR100262268B1
KR100262268B1 KR1019980016811A KR19980016811A KR100262268B1 KR 100262268 B1 KR100262268 B1 KR 100262268B1 KR 1019980016811 A KR1019980016811 A KR 1019980016811A KR 19980016811 A KR19980016811 A KR 19980016811A KR 100262268 B1 KR100262268 B1 KR 100262268B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
housing
carrier module
test tray
testing
semiconductor device
Prior art date
Application number
KR1019980016811A
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Korean (ko)
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KR19990084808A (en
Inventor
김희수
Original Assignee
정문술
미래산업주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 정문술, 미래산업주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR1019980016811A priority Critical patent/KR100262268B1/en
Publication of KR19990084808A publication Critical patent/KR19990084808A/en
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Publication of KR100262268B1 publication Critical patent/KR100262268B1/en

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device is provided to lengthen the life of holding members in spite of the repetition operation according to load/unload of the device and be capable of moving a device load member from a housing in testing the device. CONSTITUTION: A cover is coupled to an aperture of a housing(16) and has a through hole in the center of the cover. A loading member is mounted to be lifted to the housing and has a cavity for loading the semiconductor device. A plurality of first elastic members(24) are mounted between the cover and the loading member to push the loading member. A pair of holding members(25) are hinged to be horizontally moved to the loading member to support the semiconductor device within the cavity. Two drivers(28) are mounted to be contacted to one side of the loading member to compress the holding member. Two links(29) switch the lift movement of the drivers by 90 deg. to transfer a horizontal movement to the holding member. A plurality of second elastic members(30) are mounted between the cover and driver to push the driver.

Description

반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈Carrier module of test tray for semiconductor device test

본 발명은 반도체 소자의 테스트시 반도체 소자를 테스트 트레이(test tray)상에 실어 반송하기 위해 사용되고, 반도체 소자를 수용하여 테스트 트레이에 유지시키는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈(carrier moudle)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, which is used to carry and transport a semiconductor device on a test tray during testing of the semiconductor device. will be.

근래에는 부품의 경박 단소화 추세에 따라 반도체 소자(이하 "소자"라 함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 크기 또한 작아지는데, 그 중 대표적인 소자로는 TSOP(Thin Small Outline Package), μBGA(Micro Ball Grid Array) 등이 있다.In recent years, semiconductor devices (hereinafter referred to as "devices") are also gradually thinner and smaller in size, due to the trend toward thinner and shorter components. Among them, thinner small outline packages (TSOP) and micro-BGA (Micro) Ball Grid Array).

상기 TSOP 또는 μBGA는 그 두께가 약 1mm 정도로서, 제조공정에서 생산 완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급 부주의 등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 핸들러(handler)내부에서의 이송간 또는 테스트 중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.The TSOP or μBGA has a thickness of about 1 mm, and when the impact is applied to the upper or lower surface due to carelessness or the like between test processes that are completed in the manufacturing process and inspect the performance, the characteristics of the device are deteriorated and the impact is severe. The molded chip is damaged during the process, so care must be taken not to impact the device during transfer or testing within the handler.

이러한 TSOP 또는 μBGA는 도 1에 나타낸 바와 같은 금속재의 테스트 트레이(1)에 실려져 테스트공정간에 이송된다.This TSOP or [mu] BGA is loaded on the metal test tray 1 as shown in FIG. 1 and transferred between the test processes.

상기 테스트 트레이(1)는 4각틀형태의 프레임(2)에 복수개의 살(3)이 등간격으로 평행하게 형성되어 있고 이들 살의 양측 및 상기 살과 대향하는 프레임(2)의 변(2a)(2b)에는 각각 장치편(4)이 등간격으로 돌출 형성되어 있으며, 상기 살(3) 또는 변(2a)(2b)사이와, 2개의 장치편(4)에 의해 약 64개의 캐리어 모듈 수납부(5)가 테스트 트레이(1)에 구비된다.The test tray 1 has a plurality of flesh 3 formed parallel to each other at equal intervals in a frame 2 of a quadrangular frame shape, and the sides 2a of the frame 2 opposing both sides of the flesh and the flesh ( Apparatuses 4 are projected at equal intervals in 2b), respectively, and approximately 64 carrier module accommodating portions are formed between the flesh 3 or the sides 2a and 2b and by the two apparatus pieces 4. (5) is provided in the test tray 1.

상기 각 캐리어 모듈 수납부(5)에는 소자가 실려지는 캐리어 모듈(6)이 파스너(7)에 의해 플로팅상태로 장착된다.In each of the carrier module accommodating parts 5, a carrier module 6 on which an element is loaded is mounted in a floating state by the fastener 7.

첨부도면 도 2는 종래 캐리어 모듈의 일 실시예를 나타낸 사시도이고 도 3은 도 2의 A - A선 단면도로서, 캐리어 모듈(6)의 상면에 소자(8)가 안착되는 캐비티(Cavity)(9)가 형성되어 있고 상기 캐비티의 양측으로는 소자의 리드(8a)가 하방으로 노출되도록 길다랗게 장홈(10)이 형성되어 있으며, 캐리어 모듈(6)의 양측부분에 형성된 날개편(11)에는 소자(8)의 로딩시 캐리어 모듈의 위치를 결정하는 위치 결정홈(12)과, 상기 캐리어 모듈(6)을 테스트 트레이(1)에 파스너(7)로 장착하기 위한 체결공(13)이 형성되어 있다.Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of a conventional carrier module and Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of Figure 2, the cavity (Cavity) 9 is seated on the upper surface of the carrier module 6 (Cavity) (9) And long grooves 10 are formed on both sides of the cavity so that the lead 8a of the device is exposed downward, and the wing pieces 11 formed on both sides of the carrier module 6 Positioning groove 12 for determining the position of the carrier module at the time of loading (8), and fastening hole 13 for mounting the carrier module 6 to the test tray 1 as a fastener 7 is formed have.

따라서 상기한 구조의 캐리어 모듈(6)을 테스트 트레이(1)에 복수개 결합시킨 상태에서 이송수단에 의해 테스트 트레이(1)를 소자(8)의 로딩위치로 이송시키면 고객 트레이내에 담겨져 있던 소자를 별도의 소자 흡착수단이 흡착하여 테스트 트레이(1)의 상부로 이송되어와 소자의 흡착력을 해제하므로써 픽커에 흡착되어 있던 소자가 자중에 의해 캐리어 모듈(6)의 캐비티(9)내에 얹혀지게 되므로 소자의 리드(8a)가 캐비티(9)의 양측으로 길게 형성된 장홈(10)을 통해 하방으로 노출된다.Therefore, when the plurality of carrier modules 6 of the above structure are coupled to the test tray 1 and the test tray 1 is transferred to the loading position of the element 8 by the transfer means, the elements contained in the customer tray are separated. Element adsorption means is absorbed and transferred to the upper part of the test tray 1, and the element absorbed by the picker is released into the cavity 9 of the carrier module 6 by its own weight by releasing the element's attraction force. The lid 8a is exposed downward through the long groove 10 formed long on both sides of the cavity 9.

그 후, 이송수단에 의해 테스트 트레이(1)가 테스트 싸이트(test site)로 이송된 상태에서 절연체(도시는 생략함)가 테스트 트레이의 상부로부터 내려와 소자의 리드를 눌러줌과 동시에 콘택터(도시는 생략함)가 장홈(10)을 통해 상승되어 소자의 리드(8a)와 접속되면 리드(8a)와 콘택터가 전기적으로 통하여지게 되므로 CPU(중앙 처리장치)에서 소자의 전기적 특성이 테스트된다.Then, the insulator (not shown) comes down from the top of the test tray while the test tray 1 is transferred to the test site by the transfer means, and presses the lead of the device, and at the same time, the contactor (not shown) When omitted) is raised through the long groove 10 is connected to the lead (8a) of the device, the lead (8a) and the contactor is electrically through the electrical properties of the device in the CPU (central processing unit) is tested.

그러나 이러한 종래의 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(6)에 형성된 캐비티(9)의 길이방향 폭이 소자(8)의 용이한 로딩을 위해 소자의 길이방향 폭(L)보다 크게 형성되므로 인해 소자 흡착수단이 소자(8)를 흡착하여와 캐비티(9)의 상부에서 소자를 자유 낙하시켜 캐비티(9)내에 로딩하였을 때 도 3에 도시한 바와 같이 소자(8)가 캐비티(9)내에 정확히 로딩되지 않는 경우가 빈번히 발생되었다.However, because the longitudinal width of the cavity 9 formed in the carrier module 6 of this conventional test tray 1 is larger than the longitudinal width L of the device for easy loading of the device 8 When the adsorption means adsorbs the element 8 and free-falls the element from the top of the cavity 9 and loads it into the cavity 9, the element 8 is correctly loaded into the cavity 9 as shown in FIG. Not frequently occurred.

만약, 이러한 상태에서 테스트 싸이트에서 소자(8)의 리드(8a)를 콘택터에 접촉시켜 테스트를 실시하면 콘택터가 리드와 정확히 접속되지 않게 되므로 양품의 소자를 불량품으로 오판정하게 되는 치명적인 문제점을 나타낸다.If the test is conducted by contacting the lead 8a of the element 8 to the contactor in such a state in this state, the contactor may not be connected to the lead correctly, thereby causing a fatal problem in that the good element is incorrectly judged as defective.

또한, 소자(8)가 캐비티(9)내에 정확히 로딩되었더라도 테스트 트레이(1)의 이송시 진동 등으로 인하여 테스트 트레이에 충격이 가해질 경우에는 소자(8)가 단순히 캐리어 모듈(6)의 캐비티(9)내에 얹혀진 상태이므로 소자의 정위치가 벗어나게 되고, 이에 따라 전술한 바와 같은 문제점을 야기시키게 된다.In addition, even when the device 8 is correctly loaded in the cavity 9, when the test tray is shocked due to vibration or the like during the transfer of the test tray 1, the device 8 is simply the cavity 9 of the carrier module 6. Since it is in the state of), the correct position of the device is off, thereby causing the problem as described above.

도 4a 내지 도 4d는 종래 캐리어 모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도로서, 전술한 일 실시예와 같은 캐리어 모듈(6)의 문제점을 해결하기 위해 개발된 것이다.4A to 4D are perspective views showing another embodiment of the conventional carrier module, and have been developed to solve the problems of the carrier module 6 as in the above-described embodiment.

그 구성을 살펴보면, 캐리어 모듈(6)에 형성된 캐비티(9)의 양측으로 한쌍의 래치(14)가 캐비티로부터 좌,우 이동가능하게 일체로 형성되어 있다.Looking at the configuration, a pair of latches 14 are integrally formed to move left and right from the cavity to both sides of the cavity 9 formed in the carrier module 6.

이러한 구조의 래치(14)는 캐비티(9)의 저면에서 상방으로 일체 형성되어 캐리어 모듈(6)의 재질인 수지재의 탄성력을 이용하여 소자(8)를 캐비티(9)내에 수용할 때, 또는 캐비티(9)로부터 꺼낼 때 소자(8)를 흡착하는 소자 흡착수단과 동시에 이동하는 래치 해방기구(15)에 의해 2개의 래치(14)를 양측으로 동시에 벌린 상태에서 소자(8)를 캐비티내에 수용하거나, 캐비티내에 수용되어 있던 소자를 꺼내게 된다.The latch 14 of this structure is integrally formed upward from the bottom of the cavity 9 to accommodate the element 8 in the cavity 9 by using the elastic force of the resin material of the carrier module 6, or in the cavity The element 8 is accommodated in the cavity while the two latches 14 are simultaneously opened to both sides by the latch release mechanism 15 which moves simultaneously with the element adsorption means for adsorbing the element 8 when taken out from the (9). The device stored in the cavity is taken out.

상기 캐비티(9)내에 소자(8)를 로딩한 다음 래치 해방기구(15)가 래치(14)로부터 이탈되면 래치(14)가 자체 탄성력에 의해 초기상태로 환원되어 캐리어 모듈에 로딩된 소자(8)의 상면을 눌러주게 되므로 테스트 트레이(1)가 공정간에 이송될 때 충격이 가해지더라도 캐리어 모듈에 로딩된 소자(8)의 위치가 가변되지 않는다.When the element 8 is loaded into the cavity 9 and the latch release mechanism 15 is released from the latch 14, the latch 14 is reduced to its initial state by its elastic force and the element 8 loaded on the carrier module is loaded. Since the upper surface of the) is pressed, the position of the element 8 loaded in the carrier module is not changed even when an impact is applied when the test tray 1 is transferred between processes.

그러나 이러한 구조의 캐리어 모듈(6) 또한 래치(14)가 수지물인 몸체와 일체로 형성되므로 인해 반복 사용시 래치의 복원력이 떨어지게 되므로 수명이 매우 짧은 결점을 갖는다.However, the carrier module 6 of this structure also has a drawback of very short life because the latch 14 is formed integrally with the resin body so that the restoring force of the latch is decreased when repeated use.

또한, 상기한 구조의 캐리어 모듈은 소자(8)가 캐비티(9)내에 수용되어 있어 테스트 작업시 테스트 콘택터(test contactor)가 캐비티의 내부까지 삽입되어야 리드(8a)와 전기적인 접속이 가능해지게 되므로 테스트 콘택터의 길이가 길어져야 한다는 문제점도 있었다.In addition, the carrier module having the above-described structure has an element 8 housed in the cavity 9 so that a test contactor should be inserted into the cavity during the test operation so that electrical connection with the lead 8a is possible. Another problem was that the length of the test contactor had to be long.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 목적은 캐리어 모듈의 구조를 개선하여 소자의 수납과 배출에 따른 반복 동작시에도 수명이 긴 홀딩부재를 갖는 캐리어 모듈을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem in the related art, and an object thereof is to improve the structure of a carrier module to provide a carrier module having a holding member having a long life even in a repeated operation according to the storage and discharging of the device. .

본 발명의 다른 목적은 소자의 테스트시 소자 수납부재가 하우징으로부터 이동 가능한 캐리어 모듈을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a carrier module in which the element receiving member is movable from the housing during the test of the element.

본 발명의 또 다른 목적은 홀딩부재를 벌려주기 위한 일정의 외부 구동 스트로크(stroke)에 대하여 소자를 억제하는 홀딩부재의 구동 스트로크가 조절되는 캐리어 모듈을 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a carrier module in which the driving stroke of the holding member which suppresses the element with respect to a constant external driving stroke for opening the holding member is adjusted.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 중심부에 통공이 형성된 하우징과, 상기 하우징에 승강가능하게 탄력 설치되어 소자가 얹혀지는 캐비티가 통공을 통해 외부로 노출되는 수납부재와, 상기 하우징과 수납부재사이에 설치되어 수납부재를 편의하는 제 1 탄성부재와, 상기 수납부재에 좌우이동가능하게 축결합되어 캐비티내의 소자를 지지하는 한쌍의 홀딩부재와, 상기 수납부재의 일측에 접속되게 설치되어 누름동작에 따라 홀딩부재를 상호 오므려주는 구동체와, 상기 구동체의 승강운동을 90°절환하여 홀딩부재에 좌,우 직선운동으로 전달하는 링크와, 상기 하우징과 구동체사이에 설치되어 구동체를 편의하는 제 2 탄성부재로 구성된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈이 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a housing formed with a through-hole in the center, the receiving member is resiliently installed in the housing so that the cavity on which the element is placed is exposed to the outside through the through-hole, the housing and A first elastic member provided between the receiving members to bias the receiving member, a pair of holding members axially coupled to the receiving member to support the elements in the cavity, and connected to one side of the receiving member; Drive body for mutually retracting the holding member in accordance with the pressing operation, the link is transferred between the housing and the drive body and the link to transfer the left and right linear movement to the holding member by switching the lifting movement of the drive 90 ° A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, which is composed of a second elastic member for biasing a sieve, is provided.

본 발명의 다른 형태에 따르면, 일측에 개방부를 갖는 하우징과, 상기 하우징의 개방부에 결합되며 중심부에 통공이 형성된 커버와, 상기 하우징에 승강가능하게 탄력 설치되어 소자가 얹혀지는 캐비티가 통공을 통해 외부로 노출되는 수납부재와, 상기 커버와 수납부재사이에 설치되어 수납부재를 편의하는 제 1 탄성부재와, 상기 수납부재에 좌우이동가능하게 축결합되어 캐비티내의 소자를 지지하는 한쌍의 홀딩부재와, 상기 수납부재의 일측에 접속되게 설치되어 누름동작에 따라 홀딩부재를 상호 오므려주는 구동체와, 상기 구동체의 승강운동을 90°절환하여 홀딩부재에 좌,우 직선운동으로 전달하는 링크와, 상기 커버와 구동체사이에 설치되어 구동체를 편의하는 제 2 탄성부재로 구성된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈이 제공된다.According to another aspect of the present invention, a housing having an opening on one side, a cover coupled to the opening of the housing and having a hole formed in the center thereof, and a cavity in which the element is placed on the housing so as to be lifted and lowered, is placed through the hole. A first elastic member provided between the cover and the housing member to be exposed to the outside, the first elastic member to bias the housing member, and a pair of holding members axially coupled to the housing member to support the element in the cavity; A drive body installed to be connected to one side of the housing member to retract the holding members according to a pressing operation, and a link for transferring the lifting member of the drive body by 90 ° to transfer the left and right linear motions to the holding member; And a carrier module of the test tray for testing a semiconductor device, comprising a second elastic member provided between the cover and the driving body to bias the driving body. Ball.

도 1은 종래의 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이를 나타낸 분해사시도1 is an exploded perspective view showing a test tray for testing a conventional semiconductor device

도 2는 종래 캐리어 모듈의 일 실시예를 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of a conventional carrier module

도 3은 도 2의 A - A선 단면도3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4a 내지 도 4d는 종래 캐리어 모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도4a to 4d is a perspective view showing another embodiment of the conventional carrier module

도 5는 본 발명의 일 실시예를 분해하여 나타낸 저면 사시도5 is an exploded bottom perspective view of an embodiment of the present invention;

도 6은 도 5의 결합상태 종단면도Figure 6 is a longitudinal cross-sectional view of the coupled state of FIG.

도 7은 도 6의 저면도FIG. 7 is a bottom view of FIG. 6

도 8은 도 6의 B - B선 단면도8 is a cross-sectional view taken along the line B-B of FIG.

도 9는 본 발명에 적용되는 홀딩부재의 사시도9 is a perspective view of a holding member applied to the present invention

도 10은 구동체의 직선운동을 90°절환하여 홀딩부재에 전달하는 링크의 사시도10 is a perspective view of a link for transferring the linear motion of the driving body by 90 ° to the holding member;

도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 상태도로서,11A to 11C are state diagrams for explaining the operation of the present invention.

도 11a는 캐리어 모듈로부터 수납부재가 하강하여 홀딩부재가 양측으로 벌어진 상태도Figure 11a is a state in which the holding member is opened to both sides by the storage member is lowered from the carrier module

도 11b는 구동체의 누름동작으로 홀딩부재가 상호 내측으로 오므러들어 홀딩부재가 캐비티내의 소자를 홀딩한 상태도11B is a state in which the holding members are retracted inward to each other by pressing the driving body, and the holding members hold the elements in the cavity.

도 11c는 테스트시를 나타낸 상태도11C is a state diagram showing the test

도 12는 본 발명의 다른 실시예를 분해하여 나타낸 저면 사시도12 is an exploded bottom perspective view showing another embodiment of the present invention.

도 13은 도 12의 결합상태 종단면도13 is a longitudinal cross-sectional view of the coupled state of FIG.

도 14는 도 13의 저면도FIG. 14 is a bottom view of FIG. 13

도 15는 도 13의 C - C선 단면도15 is a cross-sectional view taken along the line C-C of FIG.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

16 : 하우징 19 : 수납부재16 housing 19 storage member

20 : 캐비티 24 : 제 1 탄성부재20: cavity 24: first elastic member

25 : 홀딩부재 28 : 구동체25 holding member 28 driving body

29 : 링크 30 : 제 2 탄성부재29 link 30 second elastic member

36 : 커버36: cover

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 5 내지 도 11을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 5 to 11 as an embodiment.

도 5는 본 발명의 일 실시예를 분해하여 나타낸 저면 사시도이고 도 6은 도 5의 결합상태 종단면도이며 도 8은 도 6의 B - B선 단면도로서, 본 발명은 하우징(16)의 중심부에 기다란 장방형의 통공(17)이 형성되어 있고 상기 하우징(16)의 내부에는 통공을 통해 외부로 노출되며 양측에는 대향된 제 1 가이드편(18)이 일체로 형성된 수납부재(19)가 승강가능하게 탄력 설치되어 있다.5 is an exploded bottom perspective view showing an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a longitudinal cross-sectional view of the coupled state of FIG. 5, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 6, and the present invention is provided in the center of the housing 16. An elongated rectangular through hole 17 is formed and the housing member 19 is exposed to the outside through the through hole inside the housing 16, and the receiving member 19 integrally formed with the opposite first guide pieces 18 on both sides thereof is liftable. It is installed elastically.

상기 수납부재(19)의 일면에 소자(8)가 얹혀지는 캐비티(20)가 형성되어 있고 상기 캐비티(20)의 양측면에는 로딩되는 소자가 정확한 위치를 유지하도록 제 2 가이드편(21)이 형성되어 있다.The cavity 20 on which the element 8 is placed is formed on one surface of the housing member 19, and the second guide piece 21 is formed on both sides of the cavity 20 to maintain the correct position of the loaded element. It is.

상기 소자(8)가 로딩되는 캐비티(20)에는 공지의 검출수단에 의해 소자의 로딩상태를 확인하기 위한 소자 검출공(22)이 관통되게 형성되어 있다.In the cavity 20 in which the element 8 is loaded, an element detecting hole 22 for confirming the state of loading of the element by a known detection means is formed therethrough.

이는, 도 6에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이 소자(8)의 로딩시 스프링(도시는 생략함)으로 탄력 설치된 소자 검출핀(23)이 소자 검출공(22)을 통해 캐비티(20)상으로 노출되도록 하여 소자 검출공(22)상으로 노출된 검출핀이 소자에 의한 눌림 여부를 인식하여 그 결과를 중앙 처리장치(CPU)에 알리기 위함이다.This is because, as indicated by the double-dotted line in FIG. 6, the element detecting pin 23 elastically installed with a spring (not shown) when the element 8 is loaded is exposed on the cavity 20 through the element detecting hole 22. This is to detect whether the detection pin exposed on the element detection hole 22 is pressed by the element and to inform the CPU of the result.

상기 하우징(16)과 수납부재(19)사이에는 수납부재에 외력이 작용되지 않을 때 상기 수납부재를 상방으로 편의하는 4개의 제 1 탄성부재(24)가 설치되어 있고 상기 수납부재에는 캐비티(20)내에 로딩되는 소자(8)를 지지하는 한쌍의 홀딩부재(25)가 좌,우 이동가능하게 축(26)으로 결합되어 있다.When the external force is not applied to the housing member between the housing 16 and the housing member 19, four first elastic members 24 for biasing the housing member upward are provided, and the cavity 20 is installed in the housing member. The pair of holding members 25 supporting the elements 8 loaded in the c) are coupled to the shaft 26 so as to be movable left and right.

상기 한쌍의 홀딩부재(25)는 도 7에 나타낸 바와 같이 수납부재(19)에 형성된 캐비티(20)의 양측에 위치되는데, 상기 홀딩부재(25)의 일단과 통공(17)의 끝단사이에는 홀딩부재가 좌,우로 이송될 수 있도록 공간(S)이 형성된다.The pair of holding members 25 are located at both sides of the cavity 20 formed in the receiving member 19 as shown in FIG. 7, and is held between one end of the holding member 25 and the end of the through hole 17. Space (S) is formed so that the member can be transferred to the left and right.

상기 수납부재(19)의 캐비티(20)에 로딩되는 소자(8)를 홀딩하는 홀딩부재(25)에는 도 9에 나타낸 바와 같이 소자(8)의 상면을 구속하는 상면 억제편(27a)과, 양측면을 구속하는 측면 억제편(27b)이 구비되어 있고 상기 억제편의 측면, 즉 소자와의 접속면(27c)은 경사면으로 이루어져 있다.The holding member 25 holding the element 8 loaded in the cavity 20 of the accommodating member 19 includes an upper surface inhibiting piece 27a that restrains the upper surface of the element 8, as shown in FIG. The side restraining piece 27b which restrains both side surfaces is provided, and the side surface of the said restraining piece, ie, the connection surface 27c with an element, consists of an inclined surface.

이는, 한쌍의 홀딩부재(25)가 상호 반대방향으로 이동하면서 소자(8)를 홀딩하거나, 홀딩상태를 해제하므로 인해 홀딩부재의 이동시 소자와의 간섭을 일으키지 않고 안정적으로 이동하면서 소자(8)를 홀딩할 수 있도록 하기 위함이다.This is because the pair of holding members 25 hold the device 8 while moving in opposite directions, or release the holding state, so that the device 8 can be stably moved without causing interference with the device when the holding member is moved. To hold it.

상기 상면 억제편(27a)과 측면 억제편(27b)은 일체로 형성되어 있어 한쌍의 홀딩부재(25)가 내측으로 이동하면 도 7과 같이 소자(8)를 감싼 형태로 홀딩하게 된다.The upper surface restraining piece 27a and the side restraining piece 27b are integrally formed. When the pair of holding members 25 move inward, the upper restraining piece 27a and the side restraining piece 27b are held in the form of being wrapped around the element 8 as shown in FIG.

상기 수납부재(19)의 일측에 도 6과 같이 구동체(28)가 승강 가능하게 설치되어 저면이 제 1 가이드편(18)에 접속되어 있고 상기 홀딩부재(25)와 구동체(28)사이에는 상기 구동체의 승강운동을 90°절환하여 홀딩부재에 좌,우 직선운동으로 전달하는 링크(29)가 회동가능하게 설치되어 있으며 상기 하우징(16)과 구동체(28)사이에는 구동체(28)에 외력이 작용되지 않을 때 상기 구동체를 상방으로 편의하는 제 2 탄성부재(30)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 6, a driving body 28 is provided at a side of the accommodating member 19 so that the bottom surface thereof is connected to the first guide piece 18 and between the holding member 25 and the driving body 28. The link 29 which rotates the lifting movement of the driving body by 90 ° and transmits it to the holding member in a left and right linear motion is rotatably installed, and the driving body is connected between the housing 16 and the driving body 28. The second elastic member 30 is provided to bias the driving body upward when no external force is applied to the 28.

본 발명의 일 실시예에서는 상기 제 1, 2 탄성부재(24)(30)를 코일 스프링으로 적용하였으나, 토션 스프링이나, 완충부재 등 여러 형태의 탄성부재를 적용할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the first and second elastic members 24 and 30 are applied as coil springs, but various types of elastic members such as torsion springs and shock absorbing members may be applied.

상기 홀딩부재(25)와 구동체(28)사이에 회동가능하게 설치되는 링크(29)의 일단에 힌지핀(31)이 일체로 형성되거나, 삽입 고정되어 있고 홀딩부재(25)에는 상기 힌지핀(31)이 끼워지는 걸개홈(25a)이 형성되어 있다.The hinge pin 31 is integrally formed or inserted into and fixed to one end of the link 29 which is rotatably installed between the holding member 25 and the driving body 28, and the hinge pin is connected to the holding member 25. A hook groove 25a into which the 31 is fitted is formed.

그리고 링크(29)의 다른 일단에 삽입공(29a)이 형성되어 있고 구동체에 형성된 하향 돌출편(32)에도 삽입공(32a)이 형성되어 있어 상기 삽입공(29a)(32a)을 통해 핀(33)을 삽입하여 조립하게 된다.In addition, an insertion hole 29a is formed at the other end of the link 29, and an insertion hole 32a is also formed in the downwardly protruding piece 32 formed in the driving body, so that the pins are inserted through the insertion holes 29a and 32a. 33 will be inserted and assembled.

따라서 구동체(28)에 외력이 작용되면 링크(29)의 회동운동으로 인해 그 힘이 홀딩부재(25)에 전달된다.Therefore, when an external force is applied to the driving body 28, the force is transmitted to the holding member 25 due to the rotational movement of the link 29.

상기 링크(29)의 힌지점(O)(O')이 상호 어긋나게 형성되어 있다.The hinge point O (O ') of the said link 29 is mutually shift | deviated.

따라서 홀딩부재(25)와 구동체(28)사이에 설치되는 링크(29)의 설치각도(θ)에 따라 홀딩부재(25)의 좌,우 이송량을 가변시킬 수 있게 된다.Therefore, it is possible to vary the left and right feed amount of the holding member 25 according to the installation angle θ of the link 29 installed between the holding member 25 and the driving body 28.

또한, 링크(29)의 힌지점(O)(O')간의 거리를 조절하여 홀딩부재(25)의 좌,우 이송량을 가변시킬 수도 있다.In addition, the left and right conveying amounts of the holding member 25 may be varied by adjusting the distance between the hinge points O and O 'of the link 29.

이는, 캐비티(20)에 로딩되는 소자의 타입에 따라 홀딩부재(25)의 이동량을 가변시킬 필요가 있기 때문이다.This is because it is necessary to vary the amount of movement of the holding member 25 according to the type of element loaded in the cavity 20.

즉, 소자(8)의 타입에 따라 홀딩부재(25)와 소자 상면과의 접속면적을 가변시킬 필요가 있는데, 이 경우에 구동체(28)를 눌러주는 핸들러에 설치되어 승강운동하는 제 2 푸셔(40)의 스트로크를 조절하지 않고도 링크(29)의 설치각도 또는 힌지점(O)(O')간의 간격만을 가변시켜 홀딩부재(25)의 스트로크를 조절할 수 있도록 하기 위함이다.That is, it is necessary to vary the connection area between the holding member 25 and the top surface of the device according to the type of the device 8, in which case the second pusher is installed in the handler for pressing the driving body 28 and moves up and down. This is to adjust the stroke of the holding member 25 by varying only the installation angle of the link 29 or the interval between the hinge points O and O 'without adjusting the stroke of the 40.

상기 하우징(16)과 구동체(28)사이, 그리고 하우징(16)과 수납부재(19)사이에 제 1, 2 탄성부재(24)(30)가 설치되므로 인해 상기 구동체(28)가 하우징(16)으로부터 이탈되지 않도록 하우징(16)과 구동체(28)에 걸림수단이 구비되어 있다.The first and second elastic members 24 and 30 are installed between the housing 16 and the driving body 28, and between the housing 16 and the receiving member 19, so that the driving body 28 is disposed in the housing. A locking means is provided in the housing 16 and the drive body 28 so as not to be separated from the 16.

상기 걸림수단은 하우징(16)의 양측에 상호 대향되게 형성된 한쌍의 후크(34)와, 상기 후크가 걸려 구동체(28)가 하우징(16)으로부터 이탈되지 않도록 걸림턱(28a)이 형성된 구동체(28)로 구성되어 있다.The locking means includes a pair of hooks 34 formed on both sides of the housing 16 so as to face each other, and a driving body in which the hooking jaw 28a is formed so that the hook is caught and the driving body 28 is not separated from the housing 16. It consists of 28.

이에 따라, 수납부재(19) 또는 구동체(28)에 외력이 가해지면 캐비티(20)에 로딩된 소자(8)가 콘택터(35)와 전기적으로 통하여지게 수납부재(19)가 하우징(16)으로부터 빠져 나오게 된다.Accordingly, when an external force is applied to the housing member 19 or the driving body 28, the housing member 16 is connected to the housing 16 so that the element 8 loaded in the cavity 20 is electrically connected to the contactor 35. Exit from

도 12 내지 도 15는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 것으로서, 도 12는 본 발명의 다른 실시예를 분해하여 나타낸 저면 사시도이고 도 13은 도 12의 결합상태 종단면도이며 도 14는 도 13의 저면도이다.12 to 15 show another embodiment of the present invention, FIG. 12 is an exploded bottom perspective view showing another embodiment of the present invention, FIG. 13 is a longitudinal cross-sectional view of FIG. 12, and FIG. 14 is a bottom view of FIG. 13. It is also.

본 발명의 다른 실시예의 구성 중 일 실시예의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 일 실시예에 부여하였던 도면부호를 동일하게 부여한다.In the configuration of another embodiment of the present invention, the same parts as those of the embodiment are omitted, and the same reference numerals are given to the embodiments.

본 발명의 다른 실시예가 일 실시예와 다른 점은 하우징(16)의 일면이 완전히 개방되어 있고 반대편에는 내장되는 부품의 탈락을 방지하기 위한 걸림턱(16a)이 형성되어 있어 개방된 부위를 통해 하우징(16)내에 구동체(28) 그리고 홀딩부재(25) 및 링크(29)가 결합된 수납부재(19) 등을 차례로 삽입한 다음 별도의 커버(36)로 개방부를 폐쇄하도록 되어 있다.Another embodiment of the present invention is different from the one embodiment is that one side of the housing 16 is completely open and on the opposite side is formed with a latching jaw (16a) for preventing the falling of the built-in parts through the housing The driving body 28 and the receiving member 19 in which the holding member 25 and the link 29 are coupled to each other are sequentially inserted in the 16, and then the opening is closed by a separate cover 36.

상기 커버(36)는 하우징(16)에 복수개의 핀(37)으로 결합되어 있어 부품(링크, 홀딩부재 등)의 파손에 따른 교체작업시 하우징(16)으로부터 분리가 용이해지게 된다.The cover 36 is coupled to the housing 16 by a plurality of pins 37, so that the cover 36 is easily separated from the housing 16 during the replacement operation due to the breakage of a part (link, holding member, etc.).

상기 핀(37)의 조립작업이 용이해지도록 커버(36)의 양측면에 요입홈(36a)이 형성되어 있다.Concave grooves 36a are formed on both sides of the cover 36 to facilitate the assembly of the pins 37.

따라서 길이가 짧은 핀(37)을 이용하여 커버(36)를 하우징(16)에 조립할 수 있다.Therefore, the cover 36 can be assembled to the housing 16 using the short pin 37.

또한, 홀딩부재(25) 및 링크(29)가 결합된 수납부재(19)가 하우징(16)에 결합된 상태에서는 구동체(28)가 걸림턱(16a)에 걸려 하우징(16)으로부터 이탈되지 않는다.In addition, in a state in which the housing member 19 coupled with the holding member 25 and the link 29 is coupled to the housing 16, the driving body 28 is caught by the locking jaw 16a so as not to be separated from the housing 16. Do not.

상기한 본 발명의 다른 실시예에서는 일 실시예와는 달리 구동체(28)가 1개로 구성되어 있다.In another embodiment of the present invention described above, unlike one embodiment, the driving body 28 is composed of one.

따라서 구동체(28)의 누름 동작시 수납부재(19)와 간섭이 발생되지 않도록 중심부에 통공(28b)을 형성하여야 된다.Therefore, the through hole 28b should be formed in the center of the driving body 28 so as not to interfere with the receiving member 19 during the pressing operation.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows.

상기한 구조의 캐리어 모듈은 하우징(16)에 대향되게 형성된 체결공(13)을 이용하여 테스트 트레이(도시는 생략함)의 프레임상에 복수개(약 64개 정도) 장착된다.The plurality of carrier modules having the above-described structure are mounted on the frame of the test tray (not shown) by using the fastening hole 13 formed to face the housing 16 (about 64).

본 발명에서는 캐비티(20)가 하방을 향하도록 캐리어 모듈을 프레임에 장착한 상태에서 소자(8)를 로딩 및 언로딩하는 과정을 설명하겠으나, 반드시 이에 한정하지는 않는다.In the present invention, the process of loading and unloading the device 8 in a state in which the carrier module is mounted on the frame such that the cavity 20 faces downward, will not be limited thereto.

그 이유는, 캐비티(20)가 상방을 향하고 있는 상태에서도 소자(8)의 로딩 및 언로딩작업이 가능하기 때문인데, 이에 대한 구체적인 설명은 후술하겠다.The reason for this is that loading and unloading of the element 8 can be performed even in the state where the cavity 20 faces upwards, which will be described later.

또한, 도 5 내지 도 11에 나타낸 일 실시예와, 도 12 내지 도 15에 나타낸 다른 실시예는 그 원리가 동일하므로 도 11a 내지 도 11c를 참고하여 동작 설명을 함께 한다.5 to 11 and another embodiment shown in FIGS. 12 to 15 are the same in principle, and therefore, the operation will be described with reference to FIGS. 11A to 11C.

도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 상태도로서, 복수개의 캐리어 모듈이 장착된 테스트 트레이가 소자의 로딩 및 언로딩 포지션으로 이송된 상태에서 테스트할 소자(8)를 캐리어 모듈에 형성된 캐비티(20)내에 로딩하기 위해 소자가 담겨진 얼라이너(38)가 테스트 트레이의 하방으로 이송되어 하우징(16)에 형성된 캐비티(20)와 수직방향으로 일치되면 얼라이너의 이송을 중단하게 된다.11A to 11C are state diagrams for explaining the operation of the present invention, in which a test tray equipped with a plurality of carrier modules is formed on the carrier module to test the device 8 to be tested while being transferred to the loading and unloading position of the device. When the aligner 38 containing the element for loading in the cavity 20 is transferred downward of the test tray and vertically coincides with the cavity 20 formed in the housing 16, the transfer of the aligner is stopped.

이와 같이 얼라이너(38)가 1열의 캐리어 모듈과 일치되게 테스트 트레이의 하방으로 이송되고 나면 제 1 푸셔(39)가 하강하여 수납부재(19)를 하방으로 눌러주게 되므로 상기 수납부재는 제 1 탄성부재(24)를 압축시키면서 하방으로 이동하여 하우징(16)으로부터 인출된다.In this way, after the aligner 38 is transferred to the lower side of the test tray in accordance with the carrier modules in the first row, the first pusher 39 is lowered to press the receiving member 19 downward so that the receiving member has a first elasticity. The member 24 is moved downward while being compressed, and is drawn out of the housing 16.

상기한 바와 같은 동작시 수납부재(19)에 축(26)으로 결합된 한쌍의 홀딩부재(25)도 수납부재(19)와 함께 하강하게 된다.In the operation as described above, the pair of holding members 25 coupled to the shaft 26 to the housing member 19 is also lowered together with the housing member 19.

이 때, 상기 홀딩부재(25)의 걸개홈(25a)에 링크(29)에 고정된 힌지핀(31)이 걸려 있고 링크(29)의 다른 일단은 제 2 탄성부재(30)에 의해 상방으로 편의하는 구동체(28)에 핀(33)으로 끼워져 있어 핀(33)의 위치는 가변되지 않는 반면, 수납부재(19)의 하강으로 힌지핀(31)의 위치는 가변되므로 결국 링크(29)는 핀(33)을 중심으로 회동하게 된다.At this time, the hinge pin 31 fixed to the link 29 is caught in the hanging groove 25a of the holding member 25 and the other end of the link 29 is upwardly by the second elastic member 30. Since the pin 33 is fitted to the convenient driving body 28, the position of the pin 33 is not variable, while the position of the hinge pin 31 is variable due to the lowering of the receiving member 19, so that the link 29 is eventually used. Rotates about the pin 33.

이에 따라, 힌지핀(31)으로 결합된 홀딩부재(25)가 축(26)을 따라 양측으로 벌어져 도 11a와 같은 상태가 된다.Accordingly, the holding member 25 coupled with the hinge pin 31 is opened to both sides along the shaft 26 to be in a state as shown in FIG. 11A.

이와 같이 수납부재(19)가 하우징(16)으로부터 하방으로 빠져 나오고 한쌍의 홀딩부재(25)가 양측으로 벌어지고 나면 얼라이너(38)내의 소자(8)가 소자 안착블럭에 얹혀진 상태로 상승하게 되므로 소자는 캐비티(20)내에 위치된다.In this manner, when the housing member 19 exits downward from the housing 16 and the pair of holding members 25 are extended to both sides, the elements 8 in the aligner 38 are raised in a state where they are placed on the element seating block. The device is thus located in the cavity 20.

상기한 동작시 소자 안착블럭에 얹혀진 소자(8)는 캐비티(20)의 양측에 형성된 제 2 가이드편(21)에 의해 안내되어 캐비티(20)내에 정확히 위치된다.In the above operation, the element 8 mounted on the element seating block is guided by the second guide pieces 21 formed on both sides of the cavity 20 to be accurately positioned in the cavity 20.

그 후, 캐비티(20)내에 위치된 소자(8)를 홀딩하기 위해 제 2 푸셔(40)가 하강하여 제 2 탄성부재(30)에 의해 상방으로 편의하고 있던 구동체(28)를 하방으로 눌러주면 하향 돌출편(32)에 핀(33)으로 끼워진 링크(29)의 일단이 눌려지게 되므로 링크(29)의 수평거리인 힌지점(O)(O')간의 거리가 가변된다.Thereafter, the second pusher 40 is lowered to hold the element 8 positioned in the cavity 20 and the downwardly presses the driving body 28 biased upward by the second elastic member 30. Since one end of the link 29 fitted into the pin 33 on the main projection downwardly protruding piece 32 is pressed, the distance between the hinge points O and O ', which is the horizontal distance of the link 29, is varied.

즉, 상호 외측으로 벌어져 최소화되어 있던 힌지점(O)(O')간의 수평거리가 링크(29)의 회동으로 최대한 커지면서 걸개홈(25a)에 끼워진 힌지핀(31)이 홀딩부재(25)를 캐비티(20)측으로 밀게 되므로 상기 홀딩부재(25)가 축(26)을 따라 내측으로 이동하면서 캐비티(20)내에 위치되어 있던 소자(8)를 도 11b와 같이 홀딩하게 된다.That is, while the horizontal distance between the hinge points (O) (O ') minimized apart from each other is maximized by the rotation of the link 29, the hinge pin (31) fitted in the hook groove (25a) is holding the holding member (25) Since the holding member 25 is moved inward along the axis 26, the holding member 25 is held in the cavity 20 to hold the device 8 positioned in the cavity 20 as shown in FIG. 11B.

상기 홀딩부재(25)에는 상면 억제편(27a)과 측면 억제편(27b)이 형성되어 있어 캐비티(20)내에 위치된 소자(8)를 감싼 형태로 지지하게 되므로 테스트 트레이의 이송간 또는 테스트 공정간에 소자(8)의 안정된 홀딩상태를 유지할 수 있게 된다.The holding member 25 is provided with an upper surface restraining piece 27a and a side restraining piece 27b so as to support the element 8 positioned in the cavity 20 in a wrapped form. It is possible to maintain a stable holding state of the element 8 in between.

캐비티(20)내에 위치된 소자(8)를 홀딩하기 위해 제 1 푸셔(39)가 하강시 소자 검출핀(23)도 함께 하강하여 캐비티(20)내에 소자(8)가 로딩되었는지를 검출하여 그 결과를 중앙 처리장치에 알리게 된다.In order to hold the device 8 located in the cavity 20, the first pusher 39 is lowered together with the device detection pin 23 when the device is lowered to detect whether the device 8 is loaded in the cavity 20. The result is reported to the central processing unit.

상기한 바와 같은 동작으로 캐비티(20)내의 소자(8)를 홀딩하고 나면 하강하여 수납부재(19)와 구동체(28)를 누르고 있던 제 1, 2 푸셔(39)(40)가 상승함과 동시에 소자 안착블럭이 하강하여 소자의 로딩을 완료하게 된다.After holding the element 8 in the cavity 20 in the above-described operation, the first and second pushers 39 and 40 which are pressed down while the housing member 19 and the driving body 28 are raised are raised. At the same time, the device seating block descends to complete the loading of the device.

상기한 동작시 제 1, 2 푸셔(39)(40)가 동시에 상승하여도 되지만, 보다 안정된 소자(8)의 홀딩상태를 유지할 수 있도록 제 1 푸셔(39)가 먼저 상승한 다음 제 2 푸셔(40)가 상승하는 것이 보다 바람직하다.In the above operation, the first and second pushers 39 and 40 may simultaneously rise, but the first pusher 39 first raises the second pusher 40 so that the holding state of the more stable element 8 can be maintained. It is more preferable that) increases.

그 이유는, 구동체(28)가 눌려 있는 동안에는 한쌍의 홀딩부재(25)가 상호 내측방향으로 이동할려는 힘이 작용되기 때문이다.The reason is that while the driving body 28 is pressed, a force is applied to move the pair of holding members 25 inwardly.

반복되는 동작으로 복수열의 캐리어 모듈에 소자가 전부 로딩되고 나면 상기 테스트 트레이를 수평 또는 수직상태로 유지시킨 상태에서 이송수단에 의해 테스트 싸이트측으로 이동하여 소자의 전기적인 특성 검사를 실시하게 되는데, 상기 동작시에는 캐비티(20)에 로딩된 소자를 콘택터(35)에 접속시켜야 된다.After the device is completely loaded in a plurality of rows of carrier modules in a repeated operation, the test tray is moved to the test site by a transfer means while the test tray is maintained in a horizontal or vertical state, and the electrical characteristics of the device are examined. At the time, the element loaded in the cavity 20 should be connected to the contactor 35.

이를 위해, 구동체(28)를 제 3 푸셔(41)가 눌러주면 상기 구동체의 저면이 수납부재(19)의 양측으로 연장되게 형성된 제 1 가이드편(18)에 닿아 있어 수납부재(19)가 동시에 눌리게 되므로 링크(29)의 위치가 가변되지 않게 되고, 이에 따라 캐비티(20)내의 소자가 홀딩부재(25)에 의해 지지된 상태에서 하우징(16)의 하방으로 빠져 나와 소자의 리드 또는 볼이 도 11c와 같이 콘택터(35)와 접속되므로 테스트가 가능해지게 된다.To this end, when the third pusher 41 presses the driving body 28, the bottom surface of the driving body contacts the first guide piece 18 formed to extend to both sides of the housing member 19, thereby accommodating the housing member 19. Since the position of the link 29 is not changed because it is pressed at the same time, the element in the cavity 20 is pulled out of the housing 16 under the state supported by the holding member 25, the lead of the element or Since the ball is connected to the contactor 35 as shown in Figure 11c it becomes possible to test.

도 11c와 같은 상태에서 설정된 시간동안 테스트를 실시하고 난 다음 제 3 푸셔(41)가 초기 상태로 복원되고 나면 하우징(16)으로부터 빠져 나온 수납부재(19) 및 구동체(28)는 제 1, 2 탄성부재(24)(30)의 복원력에 의해 하우징(16)내에 수용되므로 테스트 트레이의 이송이 가능해지게 된다.After the test is performed for a predetermined time in the state as shown in FIG. 11C, and after the third pusher 41 is restored to the initial state, the housing member 19 and the driving body 28 which are pulled out of the housing 16 are removed. 2 is accommodated in the housing 16 by the restoring force of the elastic members 24, 30, it is possible to transfer the test tray.

이하에서는 테스트 완료후 캐비티(20)에 로딩되어 있던 소자(8)를 언로딩하는 과정을 간략하게 설명한다.Hereinafter, a process of unloading the device 8 loaded in the cavity 20 after completion of the test will be briefly described.

테스트 트레이가 언로딩 포지션에 위치된 상태에서 캐리어 모듈에 매달려 있던 소자(8)를 언로딩하기 위해서는 로딩시와 마찬가지로 얼라이너(38)가 테스트 트레이의 하방으로 이송되어 하우징(16)에 형성된 캐비티(20)와 수직방향으로 일치되어야 한다.In order to unload the device 8 suspended from the carrier module while the test tray is located at the unloading position, the aligner 38 is transferred to the lower side of the test tray in the same manner as in loading, so that the cavity formed in the housing 16 ( 20) should be vertically aligned.

그러나 소자(8)의 로딩시와는 달리 얼라이너(38)에는 소자가 얹혀져 있지 않다.However, the element is not mounted on the aligner 38 unlike when the element 8 is loaded.

이와 같이 소자(8)가 로딩된 캐비티(20)의 직하방으로 얼라이너가 이송된 다음 소자 안착블럭이 상승하여 소자의 저면에 닿은 상태에서 제 1 푸셔(39)가 하강하여 수납부재(19)를 눌러 주면 전술한 바와 같이 소자를 지지하고 있던 한쌍의 홀딩부재(25)가 양측으로 벌어지게 되므로 소자의 홀딩상태가 해제된다.As such, the aligner is transferred directly below the cavity 20 loaded with the element 8, and then the first pusher 39 descends while the element seating block rises to reach the bottom of the element, thereby lowering the housing member 19. When pressed, the pair of holding members 25 supporting the device are opened to both sides as described above, so that the holding state of the device is released.

이에 따라, 캐비티(20)내에 위치되어 있던 소자가 소자 안착블럭의 하강으로 얼라이너(38)내에 안착된다.As a result, the element located in the cavity 20 is seated in the aligner 38 by the lowering of the element mounting block.

지금까지는 캐비티(20)가 하방을 향한 상태에서 홀딩부재(25)에 의해 소자(8)를 매달은 상태로 로딩 및 언로딩하는 상태를 설명하였으나, 이하의 설명에 따라 캐비티(20)가 상방을 향하고 있는 상태에서도 캐비티(20)내에 소자를 로딩 및 언로딩할 수 있게 됨을 알 수 있을 것이다.Until now, the state in which the device 20 is loaded and unloaded by the holding member 25 in the suspended state in the state in which the cavity 20 faces downward has been described, but according to the following description, the cavity 20 moves upward. It will be appreciated that the device can be loaded and unloaded into the cavity 20 even when facing.

이 경우에는 소자(8)의 로딩 및 언로딩 동작시 구동체(28)를 별도로 눌러줄 필요가 없다.In this case, it is not necessary to press the driving body 28 separately during the loading and unloading operation of the device 8.

즉, 제 1 탄성부재(24)에 의해 탄력 설치된 수납부재(19)만을 상방으로 밀어 올려 주기만 하면 축(26)으로 수납부재(19)에 결합된 홀딩부재(25)가 양측으로 벌어지게 되고, 소자(8)를 캐비티(20)내에 로딩한 다음 밀어 올렸던 수납부재(19)로부터 외력을 제거하면 수납부재가 하강하면서 제 1 탄성부재(24)의 복원력에 의해 외측으로 벌어져 있던 홀딩부재(25)가 내측으로 이동하면서 캐비티(20)내의 소자(8)를 홀딩하게 되므로 구동체(28)를 눌러주지 않아도 된다.That is, only pushing the storage member 19 elastically installed by the first elastic member 24 upwards to open the holding member 25 coupled to the storage member 19 by the shaft 26 to both sides, When the element 8 is loaded into the cavity 20 and the external force is removed from the housing member 19 which has been pushed up, the housing member 25 descends while the housing member descends and is opened outward by the restoring force of the first elastic member 24. Since the holding element 8 in the cavity 20 while moving inward, it is not necessary to press the driving body 28.

단지, 테스트 싸이트에서 소자(8)를 콘택터(35)와 전기적으로 접속시에만 구동체(28)를 눌러주면 된다.Only when the device 8 is electrically connected to the contactor 35 at the test site, the driving body 28 needs to be pressed.

이상에서와 같은 본 발명은 종래의 캐리어 모듈에 비하여 다음과 같은 장점을 갖는다.The present invention as described above has the following advantages over the conventional carrier module.

첫째, 수지재의 탄성력을 이용한 초기 위치로의 복원이 아닌 코일 스프링과 같은 탄성부재를 이용하여 홀딩부재를 동작시키게 되므로 캐리어 모듈의 수명이 더욱 길어진다.First, since the holding member is operated using an elastic member such as a coil spring instead of restoring to an initial position using the elastic force of the resin material, the life of the carrier module becomes longer.

둘째, 외부로부터의 외력에 대하여 집중되는 힘이 없이 구동체와 홀딩부재를 링크로 연결하여 힘을 전달하므로 힘의 분산이 가능해지므로 각 부품의 내구 수명이 길어진다.Second, since the force is transmitted by connecting the driving member and the holding member with a link without the force concentrated on the external force from the outside, the dispersion of the force is possible, so that the endurance life of each component is long.

셋째, 수납부재가 하우징의 외부로 빠져 나오는 구조로 되어 있어 수납부재의 인출량만큼 콘택터의 길이를 줄일 수 있게 되므로 고용량의 소자를 테스트시 고주파에 의한 영향을 최소화할 수 있게 되고, 이에 따라 테스트에 따른 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다.Third, since the housing member is drawn out of the housing to reduce the length of the contactor as much as the draw amount of the housing member, it is possible to minimize the effects of high frequency when testing a high-capacity device. It is possible to improve the reliability.

넷째, 여러 가지 크기 및 형태를 갖는 소자의 로딩에 따라 홀딩부재의 형상이나 크기가 달라지더라도 초기 셋팅된 푸셔의 스트로크를 가변시키지 않고도 링크의 설치 각도 및 힌지점간의 간격을 가변시키므로 인해 홀딩부재의 벌어짐량을 조절할 수 있게 되므로 고가 장비의 가동률을 극대화시킬 수 있게 된다.Fourth, even if the shape or size of the holding member is changed according to the loading of devices having various sizes and shapes, the distance between the linking angle and the hinge point is changed without changing the stroke of the initially set pusher. As the amount of spread can be controlled, the utilization rate of expensive equipment can be maximized.

다섯째, 홀딩부재에 의해 소자를 감싼 형태로 홀딩가능하므로 테스트 트레이의 이송간 또는 테스트 공정간에 소자의 안정된 홀딩상태를 유지할 수 있게 된다.Fifth, since the device can be held in the form of a device wrapped by the holding member, it is possible to maintain a stable holding state of the device between the transfer of the test tray or the test process.

Claims (25)

중심부에 통공이 형성된 하우징과, 상기 하우징에 승강가능하게 탄력 설치되어 소자가 얹혀지는 캐비티가 통공을 통해 외부로 노출되는 수납부재와, 상기 하우징과 수납부재사이에 설치되어 수납부재를 편의하는 제 1 탄성부재와, 상기 수납부재에 좌우이동가능하게 축결합되어 캐비티내의 소자를 지지하는 한쌍의 홀딩부재와, 상기 수납부재의 일측에 접속되게 설치되어 누름동작에 따라 홀딩부재를 상호 오므려주는 구동체와, 상기 구동체의 승강운동을 90°절환하여 홀딩부재에 좌,우 직선운동으로 전달하는 링크와, 상기 하우징과 구동체사이에 설치되어 구동체를 편의하는 제 2 탄성부재로 구성된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A housing having a through-hole formed in the center thereof, a receiving member elastically installed to be movable up and down on the housing, and having a cavity on which the element is placed to be exposed to the outside through the through-hole; An elastic member, a pair of holding members which are axially coupled to the housing member to support the elements in the cavity, and a driving body which is installed to be connected to one side of the housing member to retract the holding members according to the pressing operation And a link for transferring the lifting motion of the driving body by 90 ° to transfer the left and right linear motions to the holding member, and a second elastic member installed between the housing and the driving body to comfort the driving body. Carrier module in test tray for test. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 링크의 힌지점이 상호 어긋나게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, wherein the hinge points of the links are shifted from each other. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 홀딩부재와 구동체사이에 설치된 링크의 설치각도에 따라 홀딩부재의 좌,우 이송량이 가변되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The carrier module of the test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the left and right transfer amount of the holding member is variable according to the installation angle of the link provided between the holding member and the driving body. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 링크의 힌지점간의 거리 변화에 따라 홀딩부재의 좌,우 이송량이 가변되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The carrier module of the test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the left and right conveying amount of the holding member is variable according to the change in distance between the hinge points of the link. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 홀딩부재에 소자의 상면을 구속하는 상면 억제편과, 양측면을 구속하는 측면 억제편이 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A holding module comprising a top restraining piece for restraining an upper surface of an element and a side restraining piece for restraining both sides on a holding member. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 소자의 접속면이 경사면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, wherein the connection surface of the device comprises an inclined surface. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상면 억제편과 측면 억제편이 일체로 형성되어 한쌍의 홀딩부재가 소자를 감싼 형태로 홀딩 가능한 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the upper restraining piece and the side restraining piece are integrally formed so that a pair of holding members can hold the device in a form of wrapping the device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 공지의 검출수단에 의해 소자의 로딩상태를 확인하기 위한 소자 검출공이 캐비티상에 관통되게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that an element detecting hole for checking an element loading state is formed through a cavity by known detection means. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 수납부재의 양측에 한쌍의 제 1 가이드편이 형성되고, 상기 제 1 가이드편의 상면에 저면이 접속되는 구동체에는 제 1 가이드편의 내측면에 밀착되어 링크에 연결되는 하향 돌출편이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A pair of first guide pieces are formed on both sides of the housing member, and a driving body having a bottom surface connected to an upper surface of the first guide piece is provided with a downwardly protruding piece that is in close contact with an inner surface of the first guide piece and connected to a link. Carrier module in the test tray for device testing. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 수납부재의 캐비티가 하우징으로부터 인출된 상태에서 로딩된 소자를 컨넥터와 전기적으로 접속되도록 수납부재가 하우징에 출몰가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the housing member is mounted on the housing such that the loaded device is electrically connected to the connector while the cavity of the housing member is drawn out from the housing. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 하우징으로부터 한쌍의 구동체가 이탈되지 않도록 하우징과 구동체에 걸림수단이 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that a locking means is provided in the housing and the drive body so that the pair of drive bodies are not separated from the housing. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 걸림수단은 하우징의 양측에 상호 대향되게 형성된 한쌍의 후크와, 상기 후크가 걸려 구동체가 하우징으로부터 이탈되지 않도록 걸림턱이 형성된 구동체로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The locking means is a carrier module of a test tray for a semiconductor device test, comprising a pair of hooks formed opposite to each other on both sides of the housing, and a driving member having a locking jaw formed to prevent the hook from being caught from the housing. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 제 1, 2 탄성부재가 코일 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the first and second elastic members are made of coil springs. 일측에 개방부를 갖는 하우징과, 상기 하우징의 개방부에 결합되며 중심부에 통공이 형성된 커버와, 상기 하우징에 승강가능하게 탄력 설치되어 소자가 얹혀지는 캐비티가 통공을 통해 외부로 노출되는 수납부재와, 상기 커버와 수납부재사이에 설치되어 수납부재를 편의하는 제 1 탄성부재와, 상기 수납부재에 좌우이동가능하게 축결합되어 캐비티내의 소자를 지지하는 한쌍의 홀딩부재와, 상기 수납부재의 일측에 접속되게 설치되어 누름동작에 따라 홀딩부재를 상호 오므려주는 구동체와, 상기 구동체의 승강운동을 90°절환하여 홀딩부재에 좌,우 직선운동으로 전달하는 링크와, 상기 커버와 구동체사이에 설치되어 구동체를 편의하는 제 2 탄성부재로 구성된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A housing having an opening on one side, a cover coupled to the opening of the housing and having a through hole formed in the center thereof, and a housing in which the cavity on which the element is placed is resiliently installed on the housing and exposed to the outside through the through hole; A first elastic member provided between the cover and the housing member to bias the housing member, a pair of holding members pivotally coupled to the housing member to support the element in the cavity, and connected to one side of the housing member; A drive body which is installed to hold the holding members mutually according to the pressing operation, a link transferring 90 degrees of the lifting body of the driving body to the holding member in a left and right linear motion, and between the cover and the driving body. A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, comprising a second elastic member provided to bias the driving body. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 링크의 힌지점이 상호 어긋나게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, wherein the hinge points of the links are shifted from each other. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 홀딩부재와 구동체사이에 설치된 링크의 설치각도에 따라 홀딩부재의 좌,우 이송량이 가변되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The carrier module of the test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the left and right transfer amount of the holding member is variable according to the installation angle of the link provided between the holding member and the driving body. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 링크의 힌지점간의 거리 변화에 따라 홀딩부재의 좌,우 이송량이 가변되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The carrier module of the test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the left and right conveying amount of the holding member is variable according to the change in distance between the hinge points of the link. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 홀딩부재에 소자의 상면을 구속하는 상면 억제편과, 양측면을 구속하는 측면 억제편이 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A holding module comprising a top restraining piece for restraining an upper surface of an element and a side restraining piece for restraining both sides on a holding member. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 소자의 접속면이 경사면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, wherein the connection surface of the device comprises an inclined surface. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상면 억제편과 측면 억제편이 일체로 형성되어 한쌍의 홀딩부재가 소자를 감싼 형태로 홀딩 가능한 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the upper restraining piece and the side restraining piece are integrally formed so that a pair of holding members can hold the device in a form of wrapping the device. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 공지의 검출수단에 의해 소자의 로딩상태를 확인하기 위한 소자 검출공이 캐비티상에 관통되게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that an element detecting hole for checking an element loading state is formed through a cavity by known detection means. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 수납부재의 양측에 한쌍의 제 1 가이드편이 형성되고, 상기 제 1 가이드편의 상면에 저면이 접속되는 구동체에는 제 1 가이드편의 내측면에 밀착되어 링크에 연결되는 하향 돌출편이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A pair of first guide pieces are formed on both sides of the housing member, and a driving body having a bottom surface connected to an upper surface of the first guide piece is provided with a downwardly protruding piece that is in close contact with an inner surface of the first guide piece and connected to a link. Carrier module in the test tray for device testing. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 수납부재의 캐비티가 하우징으로부터 인출된 상태에서 로딩된 소자를 컨넥터와 전기적으로 접속되도록 수납부재가 하우징에 출몰가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the housing member is mounted on the housing such that the loaded device is electrically connected to the connector while the cavity of the housing member is drawn out from the housing. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 제 1, 2 탄성부재가 코일 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the first and second elastic members are made of coil springs. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 구동체가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The carrier module of the test tray for testing a semiconductor device, characterized in that the driving body is formed integrally.
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