JPWO2021038787A1 - 炭化珪素半導体装置、電力変換装置および炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従来のMOSFET炭化珪素半導体装置には、p型のベース領域(ウェル領域)の表面上にn型のソース領域とn型ドリフト層とを繋ぐようにエピタキシャル成長されたn型の表面チャネル層が配置されているものがあった(例えば特許文献1)。
また、表面チャネル層のn型不純物濃度はドリフト層のn型不純物濃度よりも高く形成することが好適であることが知られていた(例えば非特許文献1)。
そこで、特許文献1のようなn型の表面チャネル層を有するMOSFETのゲート絶縁膜下部のn型の表面チャネル層の領域に、特許文献2のようにイオン注入法でp型の領域を形成する方法が考えられるが、p型の領域は、イオン注入法で形成されると、イオンの飛程距離が分布を持つため、p型の領域が深く形成される場合などがあり、電流経路が狭窄され、そのためMOSFETのオン抵抗が増大する場合があった。
まず、本発明の実施の形態1にかかる炭化珪素半導体装置の構成を説明する。なお、本発明において第1導電型をn型、第2導電型をp型として説明する。
図1は、実施の形態1にかかる炭化珪素半導体装置である炭化珪素MOSFET(SiC−MOSFET)のユニットセルの断面模式図である。本実施の形態の炭化珪素MOSFETは、ユニットセルの構造が図1の横方向に複数並んで形成される。
ドリフト層20の表層部には、p型の炭化珪素で構成されるウェル領域30が複数設けられている。ウェル領域30は断面図の奥側でつながっていてもよく、単数であってもよい。ウェル領域30のそれぞれの表層部には、ウェル領域30の外周から所定の間隔だけ内部に入った表面側の位置に、n型の炭化珪素で構成されるソース領域40が形成されている。また、そのさらに内部には、ソース領域40に接して、p型で低抵抗のウェルコンタクト領域35が形成されている。ウェルコンタクト領域35は、ウェル領域30と電気的に接続されている。
ここで、ウェル領域30とソース領域40の表面は、第1導電型伝導領域90の下部において、同一平面になるように形成されている。また、第2導電型エピタキシャル層80と第1導電型伝導領域90との表面は、同一平面になるように形成されている。
また、炭化珪素半導体基板10の第1の主面と反対側の面である第2の主面(裏面)側には、裏面コンタクト71およびドレイン電極101が炭化珪素半導体基板10側から順に形成されている。
具体的には、ドリフト層20の表面の所定の領域にフォトレジスト等により注入マスクを形成し、p型不純物であるアルミニウム(Al)をイオン注入する。このとき、Alのイオン注入の深さはドリフト層20の厚さを超えない0.5〜3μmとする。また、イオン注入されたAlの不純物濃度は、1×1017cm−3以上1×1019cm−3以下の範囲でありドリフト層20のn型不純物濃度より高い濃度とする。その後、注入マスクを除去する。本工程によりAlがイオン注入された領域がウェル領域30となる。
次に、ドリフト層20の表面のウェル領域30の内側の所定の箇所が開口するようにフォトレジスト等により注入マスクを形成し、n型の不純物である窒素(N)をイオン注入する。Nのイオン注入深さはウェル領域30の厚さより浅いものとする。また、イオン注入したNの不純物濃度は、1×1018cm−3以上1×1021cm−3以下の範囲であり、ウェル領域30のp型の不純物濃度を超えるものとする。本工程でNが注入された領域のうちn型を示す領域がソース領域40となる。
このアニールは、p型のエピタキシャル層のエピタキシャル成長工程の前に追加して行なってもよい。p型のエピタキシャル層のエピタキシャル成長の前に注入されたイオンを活性化するアニールを行なうことにより、p型のエピタキシャル層中の欠陥を低減することができる。
つづいて、スパッタ法などによりニッケル(Ni)を主成分とする金属膜を形成し、600℃以上1100℃以下の温度で熱処理を行い、Niを主成分とする金属膜と炭化珪素層とを反応させて炭化珪素層と金属膜との間にシリサイドを形成する。次に、層間絶縁膜55上に残留したシリサイド以外の金属膜をウェットエッチングにより除去する。この処理により、ソースコンタクト70が形成される。
図3および図4においては、第2導電型エピタキシャル層80の厚みが50nm、p型不純物濃度が1×1016cm−3である場合を示しており、それぞれ、深さが50nm以上の領域が、JFET領域21に当たる。
さらに、図3と図4とからわかるように、第1導電型伝導領域90は、NおよびAlを含み、N濃度がAl濃度より高くなっている。
張り出し距離が0.4μm以上になると、ゲート絶縁膜の最大電界が増大し、素子の信頼性が低下する可能性があるので、第1導電型伝導領域90のウェル領域30からJFET領域21側への張り出し距離は、0.4μm未満で形成されることが望ましい。
高濃度化されたJFET領域21のn型不純物濃度は、ウェル領域30のp型不純物濃度より低い、5×1015cm−3以上、1×1018cm−3以下であればよい。高濃度化されたJFET領域21のn型不純物濃度をウェル領域30のp型不純物濃度より低くすることにより、両領域間に形成されるpn接合から逆バイアス時に延びる空乏層が、よりJFET領域21側に延びるようにできる。
本実施の形態の炭化珪素半導体装置であるSiC−MOSFETは、実施の形態1のSiC−MOSFETのソース領域40の表面と第1導電型伝導領域90の表面とが同一平面上に形成されている点が異なる。その他の点については、実施の形態1と同様であるので、詳しい説明は省略する。
つづいて、図9(b)に示すように、イオン注入法により、ウェル領域30とウェルコンタクト領域35とを形成する。
つづいて、実施の形態1と同様に不活性ガス雰囲気中でイオン注入された不純物を電気的に活性化させるアニールを行なう。
次に、図9(e)に示すように、第2導電型エピタキシャル層80の表面および第1導電型伝導領域90の表面を熱酸化してゲート絶縁膜50を形成し、その上にゲート電極60を形成する。ゲート電極60の上に層間絶縁膜55を形成する。
本実施の形態の炭化珪素半導体装置であるSiC−MOSFETは、実施の形態1のSiC−MOSFETのウェル領域30の表面とウェルコンタクト領域35の表面とがゲート絶縁膜50の直下において同一平面上に形成されている点が異なる。その他の点については、実施の形態1と同様であるので、詳しい説明は省略する。
つづいて、図13(b)に示すように、イオン注入法により、ウェル領域30とウェルコンタクト領域35とソース領域40とを形成する。
本実施の形態の炭化珪素半導体装置であるSiC−MOSFETは、実施の形態1のSiC−MOSFETのウェルコンタクト領域35の表面と第1導電型伝導領域90の表面とがゲート絶縁膜50の直下において同一平面上に形成されている点が異なる。その他の点については、実施の形態1と同様であるので、詳しい説明は省略する。
つづいて、図15(b)に示すように、イオン注入法により、ウェル領域30とソース領域40とを形成する。
本実施の形態は、上述した実施の形態1〜4にかかる炭化珪素半導体装置を電力変換装置に適用したものである。本発明は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態5として、三相のインバータに本発明を適用した場合について説明する。
図18に示す電力変換システムは、電源150、電力変換装置200、負荷300から構成される。電源150は、直流電源であり、電力変換装置200に直流電力を供給する。電源150は種々のもので構成することが可能であり、例えば、直流系統、太陽電池、蓄電池で構成することができるし、交流系統に接続された整流回路やAC/DCコンバータで構成することとしてもよい。また、電源150を、直流系統から出力される直流電力を所定の電力に変換するDC/DCコンバータによって構成することとしてもよい。
駆動回路202は、ノーマリオフ型の各スイッチング素子を、ゲート電極の電圧とソース電極の電圧とを同電位にすることによってオフ制御している。
本実施の形態に係る電力変換装置では、主変換回路201のスイッチング素子として実施の形態1〜4にかかる炭化珪素半導体装置を適用するため、低損失、かつ、高速スイッチングの信頼性を高めた電力変換装置を実現することができる。
Claims (17)
- 炭化珪素で構成される半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された第1導電型の炭化珪素半導体で構成されるドリフト層と、
前記ドリフト層表層部に形成された単数または複数の第2導電型のウェル領域と、
前記ウェル領域に挟まれた、前記ドリフト層の一部である、第1導電型のJFET領域と、
前記ウェル領域内の表面側に前記ドリフト層と離間して形成され、前記ドリフト層より第1導電型の不純物濃度が高い、第1導電型のソース領域と、
前記ウェル領域内に形成され、前記ウェル領域より第2導電型不純物濃度が高いウェルコンタクト領域と、
前記ソース領域と前記ウェルコンタクト領域とに接するソースコンタクトと、
前記ソースコンタクトと電気的に接続するソース電極と、
前記JFET領域上に形成された、第2導電型エピタキシャル層と、
前記第2導電型エピタキシャル層と表面が同じ平面内にあり、前記JFET領域および前記ウェル領域上に形成され、前記ソース領域より第1導電型の不純物濃度が低い、第1導電型伝導領域と、
前記第2導電型エピタキシャル層および前記第1導電型伝導領域上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と
を備えたことを特徴とする
炭化珪素半導体装置。 - 前記第1導電型伝導領域に接する前記JFET領域の第1導電型不純物濃度が、
前記第2導電型エピタキシャル層に接する前記JFET領域の第1導電型不純物濃度より高いことを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第1導電型伝導領域の第1導電型不純物濃度は、深さ方向に不均一であることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第1導電型伝導領域は、第1導電型不純物と第2導電型不純物とを有し、第1導電型不純物濃度が第2導電型不純物濃度より高い領域を含むことを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第2導電型エピタキシャル層の第2導電型不純物濃度が1×1017cm−3未満であることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第1導電型領域の前記ウェル領域から前記JFET領域側への張り出し幅が0.4μm未満であることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第2導電型エピタキシャル層の厚さが100nm以下であることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェル領域の表面と前記ソース領域の表面とが同一平面内に形成されることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェル領域の表面と前記ウェルコンタクト領域の表面とが同一平面内に形成されることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ソース領域の表面と前記第1導電型伝導領域の表面とが同一平面内に形成されることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェルコンタクト領域の表面と前記第1導電型伝導領域の表面とが同一平面内に形成されることを特徴とする
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 請求項1から11のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置を有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路と、
前記炭化珪素半導体装置の前記ゲート電極の電圧を前記ソース電極の電圧と同じにすることによってオフ動作させ、前記炭化珪素半導体装置を駆動する駆動信号を前記炭化珪素半導体装置に出力する駆動回路と、
前記駆動回路を制御する制御信号を前記駆動回路に出力する制御回路と、
を備えた電力変換装置。 - 炭化珪素で構成される半導体基板上に第1導電型の炭化珪素半導体で構成されるドリフト層をエピタキシャル成長する工程と、
前記ドリフト層表層部に第2導電型の単数または複数のウェル領域をイオン注入により形成する工程と、
前記ウェル領域が形成された前記ドリフト層上に第2導電型エピタキシャル層をエピタキシャル成長する工程と、
前記単数または複数のウェル領域に挟まれた前記ドリフト層の領域である第1導電型のJFET領域上に形成された前記第2導電型エピタキシャル層を残して前記第2導電型エピタキシャル層に第1導電型不純物をイオン注入することにより、前記JFET領域上および前記ウェル領域上に、前記第2導電型エピタキシャル層と表面が同じ平面内にある第1導電型伝導領域を形成する工程と、
前記ウェル領域内の表面側に前記ドリフト層より第1導電型の不純物濃度が高い第1導電型のソース領域をイオン注入により形成する工程と、
前記ウェル領域内の表面側に前記ウェル領域より第2導電型の不純物濃度が高い第2導電型のウェルコンタクト領域をイオン注入により形成する工程と、
前記第2導電型エピタキシャル層および前記第1導電型伝導領域上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と
を備えた
炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ソース領域を形成する工程は、前記第2導電型エピタキシャル層をエピタキシャル成長する工程より前に行なうことを特徴とする
請求項13に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ソース領域を形成する工程は、前記第2導電型エピタキシャル層をエピタキシャル成長する工程より後に行なうことを特徴とする
請求項13に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ウェルコンタクト領域を形成する工程は、前記第2導電型エピタキシャル層をエピタキシャル成長する工程より前に行なうことを特徴とする
請求項13に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ウェルコンタクト領域を形成する工程は、前記第2導電型エピタキシャル層をエピタキシャル成長する工程より後に行なうことを特徴とする
請求項13に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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