JPS6391515A - 光電測角装置 - Google Patents
光電測角装置Info
- Publication number
- JPS6391515A JPS6391515A JP62245939A JP24593987A JPS6391515A JP S6391515 A JPS6391515 A JP S6391515A JP 62245939 A JP62245939 A JP 62245939A JP 24593987 A JP24593987 A JP 24593987A JP S6391515 A JPS6391515 A JP S6391515A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- measuring device
- scale
- angle measuring
- upb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、二つの回転する対象−の角度を測定する光
電測角装置に関するもので、この装置では、一方の対象
に連結する目盛板の格子目盛が、他の対象に連結してい
る走査ユニットの円周上に対向している二つの格子目盛
の領域のところで、光回折によって走査される。
電測角装置に関するもので、この装置では、一方の対象
に連結する目盛板の格子目盛が、他の対象に連結してい
る走査ユニットの円周上に対向している二つの格子目盛
の領域のところで、光回折によって走査される。
この種の測角装置は、加工品に対する工具の相対位置を
測定するため特に工作機械に導入されているものである
。
測定するため特に工作機械に導入されているものである
。
従来の技術
Ｆ、ＩＩｏｃｋによる学位論文「回折格子による長さ又
は角度の変化の光電測定Ｊ １９７５年の第８６図には
、目盛円盤の角度目盛の誤差を取り除くための測角装置
が記述しである。この装置では、光源から出た光が集光
レンズを経由して目盛円盤の角度目盛の第１角度領域を
通過し、第１五角形プリズム、第１反射プリズム及び第
１対象を経由して二つの部分光に分離するウォールアス
トンプリズムに導入される。これ等二つの分離光線は、
第２対象、第２五角形プリズム及び第２反射プリズムを
経由して、第１角度目盛領域に対向した位置にある目盛
円盤の角度目盛の第２角度領域を通過し後、偏光分離プ
リズムを介して二つの光検出器に入る。
は角度の変化の光電測定Ｊ １９７５年の第８６図には
、目盛円盤の角度目盛の誤差を取り除くための測角装置
が記述しである。この装置では、光源から出た光が集光
レンズを経由して目盛円盤の角度目盛の第１角度領域を
通過し、第１五角形プリズム、第１反射プリズム及び第
１対象を経由して二つの部分光に分離するウォールアス
トンプリズムに導入される。これ等二つの分離光線は、
第２対象、第２五角形プリズム及び第２反射プリズムを
経由して、第１角度目盛領域に対向した位置にある目盛
円盤の角度目盛の第２角度領域を通過し後、偏光分離プ
リズムを介して二つの光検出器に入る。
この測角位置は、多数の光学部材を使用するため寸法が
大きく、組立及び調整に多大な出費をついやす。
大きく、組立及び調整に多大な出費をついやす。
出版物ｒＭｏｔｉｏｎＪ７月／８月号、１９８６年の３
．４頁には、画材等の「レーザーロータリーエンコーダ
」の論説で、目盛円盤の角度目盛の誤差を消去するため
の測角装置が記述されている。この装置では、レーザー
ダイオードの光線が偏光分離プリズムを通り抜けると二
つの部分光線に分離される。第１分離光線は、第１フエ
ーズプレートと第１の鏡を経由して回折光線を発生する
目盛円盤の角度目盛の第１角度領域を通過する。即ち、
−次の正の回折光が第１反射体によって第１角度領域、
第１の鏡及び第１フエーズプレートを通り抜け、偏光分
離プリズム上に反射され、第３フエーズプレート、光分
離器及び第１偏光プレートを通り抜けて第１受光体に入
る。第２分離光線は、第２フエーズプレートと第２の鏡
を経由して回折光線を発生させる目盛円盤の角度目盛の
第２角度領域に達する。
．４頁には、画材等の「レーザーロータリーエンコーダ
」の論説で、目盛円盤の角度目盛の誤差を消去するため
の測角装置が記述されている。この装置では、レーザー
ダイオードの光線が偏光分離プリズムを通り抜けると二
つの部分光線に分離される。第１分離光線は、第１フエ
ーズプレートと第１の鏡を経由して回折光線を発生する
目盛円盤の角度目盛の第１角度領域を通過する。即ち、
−次の正の回折光が第１反射体によって第１角度領域、
第１の鏡及び第１フエーズプレートを通り抜け、偏光分
離プリズム上に反射され、第３フエーズプレート、光分
離器及び第１偏光プレートを通り抜けて第１受光体に入
る。第２分離光線は、第２フエーズプレートと第２の鏡
を経由して回折光線を発生させる目盛円盤の角度目盛の
第２角度領域に達する。
即ち、−次の負の回折光線が第２反射体によって第２角
度領域、第２の鏡及び第２フエーズプレートを通過して
偏光分離プリズムに反射され、第３フエーズプレートを
経由して光分離器に、また第２偏光板を経由して第２受
光体に入る。比較的経費の少ないこの測角装置でも、組
立、調整費がかなり必要である。加えて、レーザーダイ
オードの光強度の半分しか両受光体に到達しない。
度領域、第２の鏡及び第２フエーズプレートを通過して
偏光分離プリズムに反射され、第３フエーズプレートを
経由して光分離器に、また第２偏光板を経由して第２受
光体に入る。比較的経費の少ないこの測角装置でも、組
立、調整費がかなり必要である。加えて、レーザーダイ
オードの光強度の半分しか両受光体に到達しない。
発明が解決すべき問題点
この発明の課題は、目盛円盤の角度目盛にある誤差を消
去し、高精度を獲得できる単純な構造を有する前記の種
類に属する小さな構造体の高精度測角装置を提供するこ
とにある。
去し、高精度を獲得できる単純な構造を有する前記の種
類に属する小さな構造体の高精度測角装置を提供するこ
とにある。
問題点を解決するための手段
前記の課題は、この発明により以下のように解決されて
いる。即ち、第１格子目盛領域から一定の回折角度で出
射した両方の一次回折光が、格子目盛の円周上に対向し
て位置にある第２格子目盛領域で一致し、第１格子目盛
領域で生じた二つの回折光線がそれぞれそれ自体に平行
に第２格子目盛領域に現れることによっている。
いる。即ち、第１格子目盛領域から一定の回折角度で出
射した両方の一次回折光が、格子目盛の円周上に対向し
て位置にある第２格子目盛領域で一致し、第１格子目盛
領域で生じた二つの回折光線がそれぞれそれ自体に平行
に第２格子目盛領域に現れることによっている。
発明の効果
この発明によって得られる利点は、特に以下のことにあ
る。即ち、より単純に形成され、従って価格的に有利な
、寸法の小さい測角装置が、光学部材を低減することに
より得られ、同時に目盛の支持が単純化され、組立、調
整経費が低減する。
る。即ち、より単純に形成され、従って価格的に有利な
、寸法の小さい測角装置が、光学部材を低減することに
より得られ、同時に目盛の支持が単純化され、組立、調
整経費が低減する。
更に、光源と受光体の間で実質上光強度の損失が生じな
い。角度目盛と目盛支持体の回転軸との間にある誤差を
効果的に解消し、目盛支持体のガタ付きによる誤差が測
定精度に影響を与えない。
い。角度目盛と目盛支持体の回転軸との間にある誤差を
効果的に解消し、目盛支持体のガタ付きによる誤差が測
定精度に影響を与えない。
この発明の他の有利な構成は、実施態様項に示しである
。
。
実施例と作用
この発明の実施例を図面に基づき詳しく説明する。第１
図には、第１測角装置の側面図が、そして第２図には部
分平面が示しである。回転軸Ｄａの周りに回転できるよ
うに設置しである目盛支持体ＴＴａは、図示していない
回転可能な対象に連結しである。目盛円筒の形状にしで
ある目盛支持体ＴＴａは、回転軸Ｄａに固定しである透
明中空円管によって形成されていて、この円筒は、内壁
Ｗ上に角度目盛ＷＴａを位相格子の形にして保有してい
る。この角度目盛１ｉ１Ｔａは図示していない固設した
対象に連結しである走査ユニットによって走査される。
図には、第１測角装置の側面図が、そして第２図には部
分平面が示しである。回転軸Ｄａの周りに回転できるよ
うに設置しである目盛支持体ＴＴａは、図示していない
回転可能な対象に連結しである。目盛円筒の形状にしで
ある目盛支持体ＴＴａは、回転軸Ｄａに固定しである透
明中空円管によって形成されていて、この円筒は、内壁
Ｗ上に角度目盛ＷＴａを位相格子の形にして保有してい
る。この角度目盛１ｉ１Ｔａは図示していない固設した
対象に連結しである走査ユニットによって走査される。
この走査装置は、形状がレーザーの光源Ｌａ、二つの鏡
５Ｐ１ａ、５Ｐ２ａ及び光電素子Ｐａを有する。レーザ
ーＬａから出射した光ＬＳａは、放射方向に向けて目盛
円筒ＴＴａの角度目盛ＷＴａの第１角度領域ＷＢ１ａを
通過し、位相格子として形成した第１目盛領域１１Ｂ１
ａの角度目盛ＷＴａによって正の回折角＋α１ａのもと
に正の回折光と、負の回折角−α１ａのもとで一次の負
回折光に角度目盛ＷＴａの垂線Ｎａに対して分離される
。即ち、０次の回折光は、位相格子として形、成された
角度目盛ＷＴａでは分解されない。図示してない方法で
、回転する対象はスピンドルによって、また固定してい
る対象は工作機械の固定台によって形成されている。
５Ｐ１ａ、５Ｐ２ａ及び光電素子Ｐａを有する。レーザ
ーＬａから出射した光ＬＳａは、放射方向に向けて目盛
円筒ＴＴａの角度目盛ＷＴａの第１角度領域ＷＢ１ａを
通過し、位相格子として形成した第１目盛領域１１Ｂ１
ａの角度目盛ＷＴａによって正の回折角＋α１ａのもと
に正の回折光と、負の回折角−α１ａのもとで一次の負
回折光に角度目盛ＷＴａの垂線Ｎａに対して分離される
。即ち、０次の回折光は、位相格子として形、成された
角度目盛ＷＴａでは分解されない。図示してない方法で
、回転する対象はスピンドルによって、また固定してい
る対象は工作機械の固定台によって形成されている。
二つの鏡ＳＰ１．ａ、５Ｐ２ａは、目盛円筒ＴＴａに関
して半径方向に向き、互いに平行で走査ユニットの光路
の光軸ＯＡａに対して対称に固定しである。第１角度領
域ＷＢ１ａから二つの回折角＋α１ａ、−α１ａで出射
する二つの回折光＋ＢＳ１ａ、 −ＢＳ１ａは、二つの
鏡５Ｐ１ａ。
して半径方向に向き、互いに平行で走査ユニットの光路
の光軸ＯＡａに対して対称に固定しである。第１角度領
域ＷＢ１ａから二つの回折角＋α１ａ、−α１ａで出射
する二つの回折光＋ＢＳ１ａ、 −ＢＳ１ａは、二つの
鏡５Ｐ１ａ。
５Ｐ２ａによる最初の反射後、目盛円筒ＴＴａの回転軸
Ｄａの中心線Ｍａで交差し、二つの鏡５Ｐ１ａ、５Ｐ２
ａによる二回目の反射後、同じ回折角＋αＩａ。
Ｄａの中心線Ｍａで交差し、二つの鏡５Ｐ１ａ、５Ｐ２
ａによる二回目の反射後、同じ回折角＋αＩａ。
−α１ａで同じ走行方向で自分自身に互いに平行に第２
角度領域ＶＢ２ａで再び一致する。この第２角度領域は
、角度目盛ＷＴａの第１角度目盛領域ＷＢ１ａに円周上
の対向位置にある。角度目盛りＷＴａの第２角度領域Ｖ
Ｂ２ａを通り抜け、二つの一次回折光＋ＢＳ１ａ。
角度領域ＶＢ２ａで再び一致する。この第２角度領域は
、角度目盛ＷＴａの第１角度目盛領域ＷＢ１ａに円周上
の対向位置にある。角度目盛りＷＴａの第２角度領域Ｖ
Ｂ２ａを通り抜け、二つの一次回折光＋ＢＳ１ａ。
−ＢＳｌａは干渉し、受光素子Ｐａに入る。この受光素
子Ｐａは、走査ユニットで角度目盛ＷＴａを走査すると
、周期的な走査信号Ｓａを出す。この走査ユニットに後
続する評価演算処理装置ＡＹａでは、受光素子Ｐａの周
期的な走査信号Ｓａから、互いに回転する二つの相対的
な対象の角度に対する測定値が得られる。
子Ｐａは、走査ユニットで角度目盛ＷＴａを走査すると
、周期的な走査信号Ｓａを出す。この走査ユニットに後
続する評価演算処理装置ＡＹａでは、受光素子Ｐａの周
期的な走査信号Ｓａから、互いに回転する二つの相対的
な対象の角度に対する測定値が得られる。
第３図には、第１測角装置である第２図の変形が示しで
ある。この変形した測角装置では、二つの鏡５Ｐ１ａＳ
ＳＰ２ａを二つの線状回折格子Ｇ１ａ、Ｇ２ａで置き換
えである。残りの部材は、第２図のものと同一であるの
で、同じ引用記号を付す。二つの線状回折格子Ｇ１ａ、
Ｇ２ａは、目盛円筒ＴＴａに関して放射方向に対して垂
直で、走査ユニットの光路の光軸ＯＡａに対して対称で
、互いに平行に設置しである。
ある。この変形した測角装置では、二つの鏡５Ｐ１ａＳ
ＳＰ２ａを二つの線状回折格子Ｇ１ａ、Ｇ２ａで置き換
えである。残りの部材は、第２図のものと同一であるの
で、同じ引用記号を付す。二つの線状回折格子Ｇ１ａ、
Ｇ２ａは、目盛円筒ＴＴａに関して放射方向に対して垂
直で、走査ユニットの光路の光軸ＯＡａに対して対称で
、互いに平行に設置しである。
従って、第２図のとき同じ光路が生じる。二つの線状回
折格子Ｇ１ａ、Ｇ２ａの格子間隔は、二つの角度領域Ｗ
Ｂ１ａ、ＷＢ２ａの対向する半径方向の距離と、両者の
相互の間隔、及び角度目盛１１Ｔａの格子間隔による。
折格子Ｇ１ａ、Ｇ２ａの格子間隔は、二つの角度領域Ｗ
Ｂ１ａ、ＷＢ２ａの対向する半径方向の距離と、両者の
相互の間隔、及び角度目盛１１Ｔａの格子間隔による。
角度目盛１ｆＴａと目盛円筒ＴＴａの回転軸Ｄａ間の誤
差は、第４及び５図の第２測角装置に基づき後で詳しく
説明するように、効果的に消去される。
差は、第４及び５図の第２測角装置に基づき後で詳しく
説明するように、効果的に消去される。
第４図には、第２測角装置の測面図が、また第５図には
、背面図が模式的に示しである。回転軸Ｄｂの周りで回
動可能に支承しである目盛支持体ＴＴｂは、図示してい
ない回動可能な対象に連結しである。この目盛支持体Ｔ
Ｔｂは平坦な目盛円盤の形状をしているが、位相格子の
形状の角度目盛ＷＴｂを表面ＯＦｂ上に有する。この角
度目盛ＷＴｂは、図示していない固設された対象に連結
している走査ユニットによって走査される。この走査ユ
ニットには、レーザー光源Ｌｂ１目盛円盤ＴＴｂに対し
て放射状に配設された反射プリズムＵＰｂ、偏光分離プ
リズムＴＰｂ及び二個の受光素子Ｐｌｂ、Ｐ２ｂがある
。
、背面図が模式的に示しである。回転軸Ｄｂの周りで回
動可能に支承しである目盛支持体ＴＴｂは、図示してい
ない回動可能な対象に連結しである。この目盛支持体Ｔ
Ｔｂは平坦な目盛円盤の形状をしているが、位相格子の
形状の角度目盛ＷＴｂを表面ＯＦｂ上に有する。この角
度目盛ＷＴｂは、図示していない固設された対象に連結
している走査ユニットによって走査される。この走査ユ
ニットには、レーザー光源Ｌｂ１目盛円盤ＴＴｂに対し
て放射状に配設された反射プリズムＵＰｂ、偏光分離プ
リズムＴＰｂ及び二個の受光素子Ｐｌｂ、Ｐ２ｂがある
。
レーザーＬｂから出射した直線偏光した光線ＬＳｂは、
目盛円盤ＴＴｂに垂直に目盛円盤ＴＴｂの角度目盛ＹＴ
ｂの第１角度領域１１８１ｂを通過し、位相格子として
形成しである第１角度領域ＷＢｌｂの角度目盛ＷＴｂに
よって、角度目盛ＷＴｂの垂線Ｎｂに対して正の回折角
＋αｌｂに向かう一次の正の回折光と負の回折角−α１
ｂに向かう一次の負の回折光−ＢＳｌｂに分離される。
目盛円盤ＴＴｂに垂直に目盛円盤ＴＴｂの角度目盛ＹＴ
ｂの第１角度領域１１８１ｂを通過し、位相格子として
形成しである第１角度領域ＷＢｌｂの角度目盛ＷＴｂに
よって、角度目盛ＷＴｂの垂線Ｎｂに対して正の回折角
＋αｌｂに向かう一次の正の回折光と負の回折角−α１
ｂに向かう一次の負の回折光−ＢＳｌｂに分離される。
０次の回折光は、位相格子として形成しである角度目盛
ＷＴｂで分離されないとき生じる。
ＷＴｂで分離されないとき生じる。
図示していない方法で、回転する対象は、スピンドルに
よって、また固設しである対象は工作機械の固定台によ
って形成される。
よって、また固設しである対象は工作機械の固定台によ
って形成される。
第１角度領域ＷＢｌｂから所属する回折角度＋αｌｂ。
＝αｌｂ方向に出射する一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −Ｂ
Ｓ１ｂは、反射プリズムＵＰｂの反射面ＵＦ１ｂによっ
て目盛円盤ＴＴｂに平行な平面Ｅで目盛円盤の回転軸Ｄ
ｂの方向に反射し、平面Ｅの中で最初の反射をした後、
光路の光軸ＯＡｂに対して対称に進む反射プリズムＵＰ
ｂの側面５Ｆ１ｂ、５Ｆ２ｂで全反射して目盛円盤ＴＴ
ｂの回転軸Ｄｂの中心線Ｍｂで交差し、前記両側面５Ｆ
１ｂ、５Ｐ２ｂで全反射によって２回目の反射を行った
後、反射プリズムＵＰｂの第２反射面ＵＦ２ｂによって
目盛円盤ＴＴｂに垂直に反射され、第２角度領域ＶＢ２
ｂで二つの同じ回折角＋αｌｂ、−αｌｂの向きを保っ
て再び一致する。この第２角度領域ＶＢ２ｂは、角度目
盛ＷＴｂの第１角度領域に円周上で対向した位置にある
。第１角度領域で発生した二つの一次回折光は、それぞ
れ自分自身に平行に反対の進行方向の向きで第２角度領
域に現れる。反射プリズムＵＰｂの２回にわたる反射す
ると、二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂは楕
円偏光となる。
Ｓ１ｂは、反射プリズムＵＰｂの反射面ＵＦ１ｂによっ
て目盛円盤ＴＴｂに平行な平面Ｅで目盛円盤の回転軸Ｄ
ｂの方向に反射し、平面Ｅの中で最初の反射をした後、
光路の光軸ＯＡｂに対して対称に進む反射プリズムＵＰ
ｂの側面５Ｆ１ｂ、５Ｆ２ｂで全反射して目盛円盤ＴＴ
ｂの回転軸Ｄｂの中心線Ｍｂで交差し、前記両側面５Ｆ
１ｂ、５Ｐ２ｂで全反射によって２回目の反射を行った
後、反射プリズムＵＰｂの第２反射面ＵＦ２ｂによって
目盛円盤ＴＴｂに垂直に反射され、第２角度領域ＶＢ２
ｂで二つの同じ回折角＋αｌｂ、−αｌｂの向きを保っ
て再び一致する。この第２角度領域ＶＢ２ｂは、角度目
盛ＷＴｂの第１角度領域に円周上で対向した位置にある
。第１角度領域で発生した二つの一次回折光は、それぞ
れ自分自身に平行に反対の進行方向の向きで第２角度領
域に現れる。反射プリズムＵＰｂの２回にわたる反射す
ると、二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂは楕
円偏光となる。
角度目盛ＷＴｂの第２角度領域１１Ｂ２ｂを通り抜けて
、二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂは干渉し
、次いで偏光分離プリズムＴＰｂを通過し、二つの受光
素子ＰｌｂＳＰＺｂ上に入射する。この受光素子Ｐｌｂ
、Ｐ２ｂは、走査ユニットＡｂによって角度目盛ＷＴｂ
を走査すると、９０”位相のずれた二つの周期信号Ｓｌ
ｂ、Ｓ２ｂを供給する。走査ユニットＡｂに後続する評
価演算処理装置ＡＶｂ中で、二つの受光素子Ｐｌｂ、Ｐ
２ｂの両周期走査信号５ｌｂＳＳ２ｂから測定方向（目
盛円盤ＴＴｂの回転の向き）及び相互に回転できる二つ
の対象の角度に対する測定値が得られる。
、二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂは干渉し
、次いで偏光分離プリズムＴＰｂを通過し、二つの受光
素子ＰｌｂＳＰＺｂ上に入射する。この受光素子Ｐｌｂ
、Ｐ２ｂは、走査ユニットＡｂによって角度目盛ＷＴｂ
を走査すると、９０”位相のずれた二つの周期信号Ｓｌ
ｂ、Ｓ２ｂを供給する。走査ユニットＡｂに後続する評
価演算処理装置ＡＶｂ中で、二つの受光素子Ｐｌｂ、Ｐ
２ｂの両周期走査信号５ｌｂＳＳ２ｂから測定方向（目
盛円盤ＴＴｂの回転の向き）及び相互に回転できる二つ
の対象の角度に対する測定値が得られる。
二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂが反射プリ
ズムＵＰｂの両側面５Ｆ１ｂ、５Ｆ２ｂで２回反射する
ことにより、以下のことが生じる。即ち、二つの角度領
域ＷＢ１ｂ、ＷＢ２ｂの逆方向の動きによって、目盛円
盤ＴＴｂが回転する場合、二つの周期走査信号５ｌｂ１
Ｓ２ｂの強度の変調が生じる。この変調は、山角度領域
ＩＢｌｂＪＷＢ２ｂノ接線方向の動きＸｌｂ、Ｘ２ｂ１
７）和ノ二倍の周期を有し、相互に回転する対象に対す
る測定値を与える。
ズムＵＰｂの両側面５Ｆ１ｂ、５Ｆ２ｂで２回反射する
ことにより、以下のことが生じる。即ち、二つの角度領
域ＷＢ１ｂ、ＷＢ２ｂの逆方向の動きによって、目盛円
盤ＴＴｂが回転する場合、二つの周期走査信号５ｌｂ１
Ｓ２ｂの強度の変調が生じる。この変調は、山角度領域
ＩＢｌｂＪＷＢ２ｂノ接線方向の動きＸｌｂ、Ｘ２ｂ１
７）和ノ二倍の周期を有し、相互に回転する対象に対す
る測定値を与える。
両走査信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂの強度のこの変調は、！ ＝
１．＋２ Ａ’ｅｘｐ［４ｙｒ （Ｘ１ｂ＋Ｘ２ｂ）
／ｇ ］によって表わすことができる。ここで、Ａは
両周期信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂの最大振幅、ｇは角度目盛Ｗ
Ｔｂの両角度領域貰旧、ＶＢ２の格子間隔、及び１゜は
一定の係数である。
１．＋２ Ａ’ｅｘｐ［４ｙｒ （Ｘ１ｂ＋Ｘ２ｂ）
／ｇ ］によって表わすことができる。ここで、Ａは
両周期信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂの最大振幅、ｇは角度目盛Ｗ
Ｔｂの両角度領域貰旧、ＶＢ２の格子間隔、及び１゜は
一定の係数である。
ここで、角度目盛りＷＴｂと目盛円盤ＴＴｂの回転軸Ｄ
ｂの間に偏芯ｅがあると、山角度領域ＷＢ１ｂ。
ｂの間に偏芯ｅがあると、山角度領域ＷＢ１ｂ。
ＷＢ２ｂの逆向きの動きの外に、山角度領域ＷＢ１ｂＪ
Ｂ２ｂの同方向の動きも生じる。しかしながら、二つの
一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂの２回の反射によ
り、山角度領域ＷＢｌｂ、 ＷＢ２ｂが同方向に動く場
合、両走査信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂの強度には変調が生じな
い。何故ならば、この場合、第５図に与えたＸ１ｂ、Ｘ
２ｂに対する符号によりＸ１ｂ−−Ｘ２ｂとなり、上式
から一定値１＝ＩＯ＋２Ａ”が生じるからである。この
値は、二つの周期的走査信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂから得た測
定値に何にも影響を与えない。従って、角度目盛ＷＴｂ
と目盛円盤ＴＴｂの回転軸Ｄｂ間にある偏芯ｅは光路上
から消去される。
Ｂ２ｂの同方向の動きも生じる。しかしながら、二つの
一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂの２回の反射によ
り、山角度領域ＷＢｌｂ、 ＷＢ２ｂが同方向に動く場
合、両走査信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂの強度には変調が生じな
い。何故ならば、この場合、第５図に与えたＸ１ｂ、Ｘ
２ｂに対する符号によりＸ１ｂ−−Ｘ２ｂとなり、上式
から一定値１＝ＩＯ＋２Ａ”が生じるからである。この
値は、二つの周期的走査信号Ｓｌｂ、Ｓ２ｂから得た測
定値に何にも影響を与えない。従って、角度目盛ＷＴｂ
と目盛円盤ＴＴｂの回転軸Ｄｂ間にある偏芯ｅは光路上
から消去される。
角度目盛ＷＴｂに対する位相格子の代わりに振幅格子を
使用する場合には、０次の回折光ＢＳＯも使用する。し
かし、この回折光は、主に二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ
、 −ＢＳ１ｂの第１反射領域の反射プリズムＵＰｂ中
の穴Ｂによって第５図のように遮光される。
使用する場合には、０次の回折光ＢＳＯも使用する。し
かし、この回折光は、主に二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ
、 −ＢＳ１ｂの第１反射領域の反射プリズムＵＰｂ中
の穴Ｂによって第５図のように遮光される。
角度目盛ＷＴｂには、格子間隔ｇが半径ｒに依存する放
射状格子を扱っているので、二つの一次回折光＋ＢＳ１
ｂ、 −ＢＳ１ｂの両回折角＋αｌｂ、−αｌｂは、同
じように半径ｒに依存する。
射状格子を扱っているので、二つの一次回折光＋ＢＳ１
ｂ、 −ＢＳ１ｂの両回折角＋αｌｂ、−αｌｂは、同
じように半径ｒに依存する。
第６図には、第２測角装置に対する展開光線図が模式的
に示しである。目盛円盤ＴＴｂの回転軸Ｄｂから距離ｒ
にあるレーザーＬｂから出射した光線ＬＳｂは、第１角
度領域ＷＢ１ｂで二つの回折角＋αｌｂ。
に示しである。目盛円盤ＴＴｂの回転軸Ｄｂから距離ｒ
にあるレーザーＬｂから出射した光線ＬＳｂは、第１角
度領域ＷＢ１ｂで二つの回折角＋αｌｂ。
−αｌｂに向く二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ
１ｂに分離し、両回折光は、反射プリズムＵＰｂの両側
面５ＦＵＳＳＦ２ｂで全反射し、２回反射した後、同じ
回折角＋αｌｂ、−αｌｂの向きで再び角度目盛１ｆＴ
ｂの第２角度領域ＷＢ２ｂで合体する。目盛円盤ＴＴｂ
の回転軸Ｄｂからｒ’＜ｒの距離にあるレーザーＬｂか
ら出射した光線ＬＳｂ’は、第１角度領域ＷＢ１ｂで垂
線Ｎｂに対して二つの回折角＋α１ｂ′、＝αｌｂ’で
進行する二つの一次回折波＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ
’ に分離する。第１角度領域ＷＢ１ｂの光線ＬＳｂ’
の位置では、角度目盛ＹＴｂの格子間隔ｇ′は、第１角
度領域ＷＢ１ｂの光線ＬＳｂの位置での角度目盛ＷＴｂ
の格子間隔ｇよりも小さいので、二つの一次回折光十Ｂ
Ｓ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ の両回折角＋αｌｂ’ 、
−αｌｂ’は、二つの回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂ
の両回折角＋α１ｂ′、−αｉｂよりも大きい。従って
、−次の回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ は、反
射プリズムＵＰｂの両側面５Ｆ１ｂ、５Ｐ２ｂで２回反
射した後、第２角度領域ＷＢ２ｂで合体しなくて、この
第２角度領域ＶＢ２ｂではぼけＳＴを示す（点線の光線
図）。
１ｂに分離し、両回折光は、反射プリズムＵＰｂの両側
面５ＦＵＳＳＦ２ｂで全反射し、２回反射した後、同じ
回折角＋αｌｂ、−αｌｂの向きで再び角度目盛１ｆＴ
ｂの第２角度領域ＷＢ２ｂで合体する。目盛円盤ＴＴｂ
の回転軸Ｄｂからｒ’＜ｒの距離にあるレーザーＬｂか
ら出射した光線ＬＳｂ’は、第１角度領域ＷＢ１ｂで垂
線Ｎｂに対して二つの回折角＋α１ｂ′、＝αｌｂ’で
進行する二つの一次回折波＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ
’ に分離する。第１角度領域ＷＢ１ｂの光線ＬＳｂ’
の位置では、角度目盛ＹＴｂの格子間隔ｇ′は、第１角
度領域ＷＢ１ｂの光線ＬＳｂの位置での角度目盛ＷＴｂ
の格子間隔ｇよりも小さいので、二つの一次回折光十Ｂ
Ｓ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ の両回折角＋αｌｂ’ 、
−αｌｂ’は、二つの回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂ
の両回折角＋α１ｂ′、−αｉｂよりも大きい。従って
、−次の回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ は、反
射プリズムＵＰｂの両側面５Ｆ１ｂ、５Ｐ２ｂで２回反
射した後、第２角度領域ＷＢ２ｂで合体しなくて、この
第２角度領域ＶＢ２ｂではぼけＳＴを示す（点線の光線
図）。
二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’のずれ
ＳＴを、反射プリズムｕｐｂの両側面５Ｆ１ｂ、５Ｆ２
ｂが、平行でなく、くさび角γをなすこ七によって除去
できる。第７図には、反射プリズムＵＰｂを側面図にし
て、また第８図には、くさび角γを有する断面にして示
しである。くさび角γによって、反射プリズムｕｐｂは
、二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳｌｂに対する
平面Ｅより二つの一次回折光＋ＢＳ １ ｂ’、−ＢＳ
１ｂ’ に対する平面Ｅ′で、より広い幅を有する。従
って、−次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ は第
２角度領域ＷＢ２ｂで同じように合体する。
ＳＴを、反射プリズムｕｐｂの両側面５Ｆ１ｂ、５Ｆ２
ｂが、平行でなく、くさび角γをなすこ七によって除去
できる。第７図には、反射プリズムＵＰｂを側面図にし
て、また第８図には、くさび角γを有する断面にして示
しである。くさび角γによって、反射プリズムｕｐｂは
、二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳｌｂに対する
平面Ｅより二つの一次回折光＋ＢＳ １ ｂ’、−ＢＳ
１ｂ’ に対する平面Ｅ′で、より広い幅を有する。従
って、−次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ は第
２角度領域ＷＢ２ｂで同じように合体する。
反射プリズムＵＰｂのくさび角γによって、二つの一次
回折光＋ＢＳ１ｂ１− ＢＳ１ｂに対する平面Ｅ１及び
二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ に対
する平面Ｅ′は、もはや目盛円盤ＴＴｂに対して平行で
ない。従って、−次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂ及
び−次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ は反射プ
リズムＵＰｂの第２反射面ＵＰ２ｂによってもはや目盛
円盤ＴＴｂに垂直には反射されない。この反射誤差は、
屈折プリズムＵＰｂの第２反射面ＵＰ２ｂが第２反射角
β２く４５°を、また反射プリズムＵＰｂの第１反射面
ＵＦ１ｂが第１反射角β１−４５°を有することで除去
できる。図示していないが、両反射角β１、β２が４５
°と異なるβ、β２キ４５°でもよい。
回折光＋ＢＳ１ｂ１− ＢＳ１ｂに対する平面Ｅ１及び
二つの一次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ に対
する平面Ｅ′は、もはや目盛円盤ＴＴｂに対して平行で
ない。従って、−次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂ及
び−次回折光＋ＢＳ１ｂ’ 、−ＢＳ１ｂ’ は反射プ
リズムＵＰｂの第２反射面ＵＰ２ｂによってもはや目盛
円盤ＴＴｂに垂直には反射されない。この反射誤差は、
屈折プリズムＵＰｂの第２反射面ＵＰ２ｂが第２反射角
β２く４５°を、また反射プリズムＵＰｂの第１反射面
ＵＦ１ｂが第１反射角β１−４５°を有することで除去
できる。図示していないが、両反射角β１、β２が４５
°と異なるβ、β２キ４５°でもよい。
光線ＬＳｂを二つの一次回折光＋〇Ｓ１ｂ、−ＢＳＩｂ
に第１角度領域ＷＢｌｂで分離し、この二つの一次回折
光＋ ＢＳ１ｂ、−ＢＳｌｂを第２角度領域ＷＢ２ｂチ
一致させることは、光線ＬＳｂの波長λ に依存する。
に第１角度領域ＷＢｌｂで分離し、この二つの一次回折
光＋ ＢＳ１ｂ、−ＢＳｌｂを第２角度領域ＷＢ２ｂチ
一致させることは、光線ＬＳｂの波長λ に依存する。
光線ＬＳｂが幅の広いスペクトル帯域を有しているとき
には、波長ゲ波処理する必要がある。第９図は、この目
的に対して、第２測角装置に対する他の展開光路を示し
ている。この光路には、波長λ。を有する二つの一次回
折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂと波長λ１、λ２を有す
る他の一次回折光が示しである。波長λ。
には、波長ゲ波処理する必要がある。第９図は、この目
的に対して、第２測角装置に対する他の展開光路を示し
ている。この光路には、波長λ。を有する二つの一次回
折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂと波長λ１、λ２を有す
る他の一次回折光が示しである。波長λ。
を有するふたつの一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂ
を選択し、波長λ１１λ２を有する他の一次回折光を除
去することは、反射プリズムＵＰｂが二つの反射範囲だ
けで幅すを有していると、−次回折光＋ ＢＳ１ｂ、
−ＢＳ１ｂが一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂノ範
囲にのみ反射できることによって実行される。
を選択し、波長λ１１λ２を有する他の一次回折光を除
去することは、反射プリズムＵＰｂが二つの反射範囲だ
けで幅すを有していると、−次回折光＋ ＢＳ１ｂ、
−ＢＳ１ｂが一次回折光＋ＢＳ１ｂ、 −ＢＳ１ｂノ範
囲にのみ反射できることによって実行される。
この発明は、光電測角装置の場合、透過光にも反射光に
も導入できる。
も導入できる。
第１図と第２図は、第１測角装置のそれぞれ模式的側面
図と平面図である。第３図は、第２図の第１測角装置の
変形の平面図、第４と第５図は、第２測角装置のそれぞ
れ模式的側面図と平面図である。第６図は、第２測角装
置に対する模式的展開光線図、第７図と第８図は、それ
ぞれ反射プリズムの側面図と断面図である。第９図は、
第２１１１角装置に対する他の展開光線図である。
図と平面図である。第３図は、第２図の第１測角装置の
変形の平面図、第４と第５図は、第２測角装置のそれぞ
れ模式的側面図と平面図である。第６図は、第２測角装
置に対する模式的展開光線図、第７図と第８図は、それ
ぞれ反射プリズムの側面図と断面図である。第９図は、
第２１１１角装置に対する他の展開光線図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）一つの対象に連結している目盛支持体の格子目盛が
、円周上に対向して置かれた二つの格子目盛領域で、他
の対象に連結している走査ユニットによって光回折を用
いて走査される相対的に回転する二つの対象の角度を測
定する光電測角装置において、第１格子目盛領域（ＷＢ
１）から一定の回折角（＋α１、−α１）で出射した二
つの一次回折波（＋ＢＳ１、−ＢＳ１）は、同じ回折角
（＋α１、−α１）でしかも格子目盛（ＷＴ）の円周上
の対向している第２格子目盛領域（ＷＢ２）で一致し、
第１格子目盛領域（ＷＢ１）で発生した二つの回折光（
＋ＢＳ１、−ＢＳ１）は、それぞれ第２格子目盛領域（
ＷＢ２）で初めの回折方向に平行を保って現れることを
特徴とする測角装置。 ２）第１格子目盛領域から出射した二つの回折光（＋Ｂ
Ｓ１、−ＢＳ１）は、中間配置した光学部材（ＳＰ１ａ
、ＳＰ２ａ；Ｇ１ａ、Ｇ２ａ；ＵＰｂ）のもとで数回反
射した後、第２格子目盛領域（ＷＢ２）で一致すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の測角装置。 ３）二つの回折光（＋ＢＳ１ａ、−ＢＳ１ａ）を２回反
射させるため、平行な二つの鏡（ＳＰ１ａ、ＳＰ２ａ）
が設置してあることを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の測角装置。 ４）二つの回折光（＋ＢＳ１ａ、−ＢＳ１ａ）を２回反
射させるため、二つの線状格子（Ｇ１ａ、Ｇ２ａ）が設
置してあることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の測角装置。 ５）二つの回折光（＋ＢＳ１ａ、−ＢＳ１ａ）を全反射
によって２回反射させるため、１個の反射プリズム（Ｕ
Ｂｂ）が設置してあることを特徴とする特許請求の範囲
第２項記載の測角装置。 ６）反射プリズム（ＵＰｂ）は、断面でくさび角γを有
することを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の測角
装置。 ７）反射プリズム（ＵＰｂ）は、少なくとも一つの反射
角β＿１、β＿２＜４５°を有することを特徴とする特
許請求の範囲第５項記載の測角装置。 ８）反射プリズム（ＵＰｂ）は、幅ｂの二つの反射領域
を有することを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の
測角装置。 ９）反射プリズム（ＵＰｂ）は、第１反射領域で穴（Ｂ
）を有することを特徴とする特許請求の範囲第５項記載
の測角装置。 １０）格子目盛（ＷＴ）は、位相格子で形成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の測角装置
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3633574.6 | 1986-10-02 | ||
| DE19863633574 DE3633574A1 (de) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6391515A true JPS6391515A (ja) | 1988-04-22 |
| JPH0464567B2 JPH0464567B2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=6310911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62245939A Granted JPS6391515A (ja) | 1986-10-02 | 1987-10-01 | 光電測角装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4792678A (ja) |
| EP (1) | EP0262349B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6391515A (ja) |
| DE (2) | DE3633574A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0231111A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-02-01 | Canon Inc | ロータリーエンコーダ |
| JPH032624A (ja) * | 1988-10-28 | 1991-01-09 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 測角装置 |
| JPH04225117A (ja) * | 1990-04-11 | 1992-08-14 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 集積光学センサ装置 |
| JP2019174437A (ja) * | 2017-12-29 | 2019-10-10 | 株式会社ミツトヨ | 変位信号を与える耐汚染性及び耐欠陥性を有する光学式ロータリーエンコーダ構造 |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3706277C2 (de) * | 1986-02-28 | 1995-04-27 | Canon Kk | Drehungsmeßgeber |
| US4819051A (en) * | 1987-06-29 | 1989-04-04 | Honeywell Inc. | Compensated rotary position encoder |
| DE3807011C1 (ja) * | 1988-03-04 | 1989-04-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
| CH680240A5 (ja) * | 1988-06-30 | 1992-07-15 | Politechnika Warszawska | |
| DE3822007A1 (de) * | 1988-06-30 | 1990-01-04 | Bodenseewerk Geraetetech | Digitaler lagesignalgeber |
| JP2586120B2 (ja) * | 1988-09-22 | 1997-02-26 | キヤノン株式会社 | エンコーダー |
| JP2586122B2 (ja) * | 1988-11-18 | 1997-02-26 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
| DE3901534C1 (ja) * | 1989-01-20 | 1990-04-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
| DE3905730C2 (de) * | 1989-02-24 | 1995-06-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| EP0397202B1 (en) * | 1989-05-12 | 1994-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder |
| EP0419701B1 (de) * | 1989-09-27 | 1993-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Winkelmesseinrichtung |
| ATE89411T1 (de) * | 1989-11-02 | 1993-05-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung. |
| GB2239088B (en) * | 1989-11-24 | 1994-05-25 | Ricoh Kk | Optical movement measuring method and apparatus |
| DE69022571T2 (de) * | 1989-12-26 | 1996-03-28 | Canon Kk | Rotations-Detektorapparat. |
| US5323001A (en) * | 1989-12-26 | 1994-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotary encoder with scale member and interference of zero and first order diffraction beam |
| US5079418A (en) * | 1990-02-20 | 1992-01-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring apparatus with reflection |
| DE4006365A1 (de) * | 1990-03-01 | 1991-10-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
| DE4007967A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische positionsmesseinrichtung |
| DE4007968A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische vorrichtung |
| DE4013566A1 (de) * | 1990-04-27 | 1991-11-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung |
| US5138564A (en) * | 1990-07-31 | 1992-08-11 | Xerox Corporation | Automatic encoder calibration |
| JPH05256666A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Canon Inc | ロータリーエンコーダー |
| JP3116535B2 (ja) * | 1992-03-13 | 2000-12-11 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダー及びエンコーダー |
| JP3254737B2 (ja) * | 1992-06-17 | 2002-02-12 | キヤノン株式会社 | エンコーダー |
| JP3478567B2 (ja) * | 1992-09-25 | 2003-12-15 | キヤノン株式会社 | 回転情報検出装置 |
| DE4420276C2 (de) * | 1993-06-10 | 2001-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparat zur Versatzmessung von bewegten Körpern |
| US6154278A (en) * | 1993-06-10 | 2000-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical encoder for optically measuring displacement of moving body |
| DE4337005C2 (de) * | 1993-10-29 | 2000-11-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| JPH08313233A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光センサおよびこれを用いた光学装置 |
| JP3977126B2 (ja) * | 2002-04-12 | 2007-09-19 | キヤノン株式会社 | 変位情報検出装置 |
| EP2963394B1 (de) | 2014-07-01 | 2016-06-08 | SICK STEGMANN GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur diffraktiven Messung eines Drehwinkels |
| DE102015204165A1 (de) | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Winkelmesseinrichtung |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3756723A (en) * | 1970-01-27 | 1973-09-04 | Leitz Ernst Gmbh | Method of measuring the displacement of an object and arrangement therefor |
| JPS50104037A (ja) * | 1974-01-12 | 1975-08-16 | ||
| JPS5826002A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-16 | Toshiba Corp | スチ−ムリホ−ミング法及びスチ−ムリホ−ミング用反応管 |
| JPS5889810U (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-17 | 横河電機株式会社 | 光学式スケ−ル読取装置 |
| JPS6165115A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-03 | Canon Inc | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
| JPS6381212A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-12 | Canon Inc | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL6813749A (ja) * | 1968-09-26 | 1970-04-01 | ||
| NL6900491A (ja) * | 1969-01-11 | 1970-07-14 | ||
| US3628026A (en) * | 1969-09-05 | 1971-12-14 | Dynamics Res Corp | Linear encoder immune to scale bending error |
| SE355667B (ja) * | 1971-08-23 | 1973-04-30 | Aga Ab | |
| DE2431551C2 (de) * | 1974-07-01 | 1981-09-17 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Anordnung zur Messung von Bewegungen und Geschwindigkeiten |
| DD128692B1 (de) * | 1976-12-13 | 1983-05-25 | Wieland Feist | Anordnung zur winkelmessung |
| FR2412822A1 (fr) * | 1977-12-08 | 1979-07-20 | Anvar | Procede et dispositif de mesure du deplacement d'un objet |
| US4629886A (en) * | 1983-03-23 | 1986-12-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corporation | High resolution digital diffraction grating scale encoder |
-
1986
- 1986-10-02 DE DE19863633574 patent/DE3633574A1/de active Granted
-
1987
- 1987-08-08 DE DE8787111500T patent/DE3776742D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-08 EP EP87111500A patent/EP0262349B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-01 JP JP62245939A patent/JPS6391515A/ja active Granted
- 1987-10-02 US US07/103,905 patent/US4792678A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3756723A (en) * | 1970-01-27 | 1973-09-04 | Leitz Ernst Gmbh | Method of measuring the displacement of an object and arrangement therefor |
| JPS50104037A (ja) * | 1974-01-12 | 1975-08-16 | ||
| JPS5826002A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-16 | Toshiba Corp | スチ−ムリホ−ミング法及びスチ−ムリホ−ミング用反応管 |
| JPS5889810U (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-17 | 横河電機株式会社 | 光学式スケ−ル読取装置 |
| JPS6165115A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-03 | Canon Inc | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
| JPS6381212A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-12 | Canon Inc | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0231111A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-02-01 | Canon Inc | ロータリーエンコーダ |
| JPH032624A (ja) * | 1988-10-28 | 1991-01-09 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 測角装置 |
| JPH0749940B2 (ja) * | 1988-10-28 | 1995-05-31 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測角装置 |
| JPH04225117A (ja) * | 1990-04-11 | 1992-08-14 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 集積光学センサ装置 |
| JP2019174437A (ja) * | 2017-12-29 | 2019-10-10 | 株式会社ミツトヨ | 変位信号を与える耐汚染性及び耐欠陥性を有する光学式ロータリーエンコーダ構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0262349B1 (de) | 1992-02-19 |
| JPH0464567B2 (ja) | 1992-10-15 |
| DE3776742D1 (de) | 1992-03-26 |
| DE3633574A1 (de) | 1988-04-14 |
| US4792678A (en) | 1988-12-20 |
| EP0262349A3 (en) | 1989-06-21 |
| DE3633574C2 (ja) | 1989-05-11 |
| EP0262349A2 (de) | 1988-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6391515A (ja) | 光電測角装置 | |
| US4868385A (en) | Rotating state detection apparatus using a plurality of light beams | |
| JP2586120B2 (ja) | エンコーダー | |
| US4979826A (en) | Displacement measuring apparatus | |
| US5026985A (en) | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors | |
| GB2187282A (en) | Rotary encoder | |
| US5000542A (en) | Optical type encoder | |
| US4975570A (en) | Rotary encoder using multiple diffracted beams having co-incident paths | |
| US5017777A (en) | Diffracted beam encoder | |
| JPH046884B2 (ja) | ||
| JPS62200225A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
| JP3038860B2 (ja) | エンコーダ | |
| JPH0462003B2 (ja) | ||
| JPH07117426B2 (ja) | 光学式エンコーダー | |
| JPH0462004B2 (ja) | ||
| JPH07119626B2 (ja) | ロータリーエンコーダー | |
| JPH0781883B2 (ja) | エンコーダー | |
| JPH045142B2 (ja) | ||
| JPH02298804A (ja) | 干渉計測装置 | |
| JP2003035570A (ja) | 回折干渉式リニアスケール | |
| JPH0285717A (ja) | エンコーダ | |
| JP2683098B2 (ja) | エンコーダー | |
| JP2629606B2 (ja) | エンコーダー | |
| JPH0462002B2 (ja) | ||
| JPH07119623B2 (ja) | 変位測定装置 |