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JPS6162739A - クリ−ントンネル - Google Patents

クリ−ントンネル

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Publication number
JPS6162739A
JPS6162739A JP59182734A JP18273484A JPS6162739A JP S6162739 A JPS6162739 A JP S6162739A JP 59182734 A JP59182734 A JP 59182734A JP 18273484 A JP18273484 A JP 18273484A JP S6162739 A JPS6162739 A JP S6162739A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tunnel
section
clean
separators
transport
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59182734A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirokuni Tanaka
田中　博國
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanki Engineering Co Ltd
Original Assignee
Sanki Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanki Engineering Co Ltd filed Critical Sanki Engineering Co Ltd
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Priority to US06/771,225 priority patent/US4649830A/en
Publication of JPS6162739A publication Critical patent/JPS6162739A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B61B13/10—Tunnel systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61C—LOCOMOTIVES; MOTOR RAILCARS
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野Ｊ この発明は、クリーントンネル搬送装置におけるクリー
ントンネルの構造に関する。
「従来の技術」 一般に、半導体ウエノ・−などの高い清浄度を要求され
る搬送物を輸送するには、クリーンルーム内のみを運行
するように、蓋付き収納ケースを有する自走台車を用い
た軽量コンテナ搬送装置が設けられていたが、第５図に
示すように、離れた場所に位置するクリーンルーム８間
を輸送したり、或いは第６図に見られるようなエンバイ
ロメンタルチャンバーＥやライン型りリーンベンチＬ、
簡易型クリーンブースＢなどにそれぞれ連結されて、ク
リーンルーム以外の通常の室内、又は室外を運行させる
ために、装置内全体を清浄空気で充満したクリーントン
ネル搬送装置が、提案されており、この従来のクリーン
トンネル搬送装置としては、例えば第３図及び第４図に
示すようなものがある。
その構成を述べると、１は、クリーントンネルで、横断
面方形の筒状に形成した本体２において、上部に全幅全
長にわたり給気区画２ｋＶＣ続き下方にＨＢＰＡフィル
タ３が設置されており、一方、底板２ｂ中央に長手方向
に敷設した走行レール４の間に、公知の信号用給電レー
ル及び動力供給用給電レール（共に図示省略）が設けで
ある。そして、前記給気区画２ｋには、一方の側壁２Ｓ
に適当な間隔をもって複数個の給気孔５が穿設ブれ、ま
た、該給気孔５に対応した底＠２ｂのめ所に排気孔６が
設けである。なお、７は、搬送用自走台車、８の走行状
況などを外部から視認できるように両側壁２Ｓの中央部
に取り付けられた透明な合成樹脂板である。
搬送用の自走台、屯８は、第４図に示すように、前記給
電レールからの電力により走行レール今に沿って車輪８
Ｗを転動して自走する走行駆動部８ｒと、前記信号レー
ルからの信号により所定位置に停止し、又は発進する機
能を具備した機器部８にと、ｉＢｆを有する搬送物収納
ケース８Ｃとが、一体的に重合して構成されたものであ
る。
セして、図外の送風機から給気孔５に送られた空気は、
空気区画２ｋからＨＥＰＡフィルタ３を通って濾過きれ
、清浄空気の層流となって、はぼ０、５　ｒｎ　／　ｓ
の気迷で下方へ吹き出し、クリーントンネル１の搬送用
トンネル部２ｔの中を清浄空気で充慴させるが、図示省
略の排風機により、排気孔６を介して吸出式れ、外部へ
排出される。
［発明が解決しようとする問題点Ｊ しかしながら、単に搬送物を輸送するだけでなく、加工
ステージに配達し、該ステージにおいて搬送物を自動的
に取り出して加工し、また、次のステージへ発送するよ
うにロボット技術を駆使する自動加工装置に対する搬送
用自走台車としては、これらの動作に備えて搬送物収納
ケースを蓋のないものとする必要がある。この場合、前
記のような従来のクリーントンネル搬送装置にあってに
、自走台車の速力が大きいと、その後方に渦流が発生し
、車輪や走行レールから生ずる微細な粉塵を巻き上げて
トンネル内の清浄度を低下し、ひいては搬送物を汚染す
ることとなるので、渦流を発生しないように、例えば７
．５（至）／Ｓ程度に速力を抑制しなければならず、し
たがって輸送効率が極めて低くなるため、前記自動加工
装置には適用しがたいという問題点がある。
［問題点を解決するための手段」 この発明は、叙上の問題点に着目してなされたもので、
自走台車を走行駆動部の中央に立設した支柱筒に、機器
部支び搬送物蓋なし収納ケースを載設した構成とし、前
記支承筒に対応するりＩＪ　−ントンネルの位置に、該
支柱筒の通行する通路を兼ねた中央空気路と一対の側方
空気路とを形成するように七パレータを配設してクリー
ントンネル内を搬送物用トンネルと走行駆動部用トンネ
ルとに分離することにより、蓋なし収納ケースを有する
自走台車の使用を可能にして、この問題点を解決したも
のである。
「作用」 叙上の構成としたため、ＨｇＰＡフィルタから吹き下り
た・清浄空気層流は、中央空気路および側方空気路にお
いて流路を絞られるため、搬送物用トンネル内の清浄空
気圧に、走行駆動部用トンネル内よりも高い圧力となる
ため、自走台車の走行駆動部後方に渦流が発生しても走
行に基づく摩擦部分からの粉塵は、搬送物用トンネル部
へ侵入することはないので、峻トンネル部の清浄度は高
いまま維持され、蓋なしでも搬送物は汚染されることは
なく、したがって、自走台車の速力も渦流の発生を考慮
せずに所望の高さに選定することができる。
「実施例」 以下、この発明の一実施例を第１図及び第２図に基づい
て説明する。なお、従来例と同一の対応部分は同一の符
号を用い、その説明は省略する。
まず、構成を述べる。
このクリーントンネル搬送装置は、この実施例のクリー
ントンネルＩＩ及び搬送用自走台車１８並びに図外の送
風手段とから主要構成されている。
クリーントンネル１１鉱、第１図及び第２図に示すより
に、角筒状に形成した本体１２において、上部に給気区
画１２ｋに続き下方にＨＥＰＡフィルタ３を設置し、底
板１２ｂ中夫に走行レール４及び図示省略の給電レール
、信号用給電レールが敷設しである。なお、給気区画１
２ｋには、一方の側壁＋２５に適当な間隔をおいて複数
個の給気孔５が設けられておシ、また、同じ側壁１２ｓ
の下°部には該給気孔５に対応した位置で、後述の走行
駆動部用トンネル部２２ｒから排気する排気孔１６が設
けられている。
そして、後述の搬送用の自走台車１８の支柱筒１８ｓを
通行させる中央空気路１９ｃと、一対の側方空気路１９
ｓとを形成するように、一対の中部セパレータ２０ｃ及
び側部セパレータ２０ｓからなるセパレータ２０が、前
記本体１２の両側壁１２ｓ内面に、互いに対向し、かつ
適当な間隔をもって付設てれた複数組の支持板２１に載
設され、搬送用トンネル部２２を、搬送物用トンネル部
２２ｈと走行駆動部用トンネル部２２ｒとに区分してい
る。
また、搬送用自走台車１８は、走行駆動部１８ｒの中央
に立設した支柱筒１８ｓに機器部１８ｋ及び搬送物蓋な
し収納ケース１８ｃを載設して構成したものである。
次に、作用を述べる。
半導体ウェハーなどの搬送物Ｗは、裸のまま搬送物蓋な
し収納ケース１８ｃに搭載されてクリーントンネル１１
内を通り、自動加工装置の各ステージ（図示せず）に順
送りされるわけであるが、。
この際、予め送風手段によシ給気孔５及び給気区画１２
ｋを経てＨＥＰＡフィルタ３に至り、濾過式れた清浄空
気は、層流となって搬送物用トンネル部２２ｈにほぼＱ
、５ｍ／Ｓの気運をもって吹き込まれるがζセパレータ
２０により大部分の進路を阻まれているため空気圧は上
昇する。しかし、中央空気路１９ｃ及び側方空気路１９
ｓからこの清浄空気はほぼ４　ｎｌ　／　Ｓの気運で走
行駆動部用トンネル部２２ｒへ吹き出し、次いで排気孔
１６から外部へ排出される。すなわち、走行駆動部用ト
ンネル部２２「の空気圧は、搬送物用トンネル部２２ｉ
よシも常に低く、シかも仕切られたセパレータ２０の間
の前記空気路１９ｃ、１９ｓからは絶えず清浄空気が吹
き込んで来るので、走行駆動部用トンネル部２２ｒの空
気が搬送物用トンネル部２２ｉ１に侵入することはあシ
得ない。したがって、自走台車１８の走行に伴う粉塵や
渦流の発生があっても搬送物用トンネル部２２ｈ内の清
浄度は、全熱影響を受けることがなく高く維持されるた
め、自走台車１８は、速度を制限されず、所望の、例え
ばほぼ６０　ｃｍ／　ｓの速力をもって走行し、しかも
搬送物Ｗを蓋なしの裸のままで自動加工装置へ配送する
ことができる。
「発明の効果」 以上説明してきたように、この発明は、走行駆動部に立
設した支柱筒に機器部及び搬送物蓋なし収納ケースを載
設して構成した自走台車を走行させるクリーントンネル
搬送装置において、クリーントンネルの搬送用トンネル
部を、前記支柱筒の通る中央空気路と一対の側方空気路
とを形成するセパレータにより搬送物用トンネル部と走
行駆動部用トンネル部とに区分した構成としたため、該
走行駆動部用トンネル部内で発生する粉塵が搬送物用ト
ンネル部内へ侵入することがないので、蓋なし収納ケー
スにより搬送物を裸のまま輸送することが可能となった
ばかりか、自走台車の速力も所望のものに選定できるた
め、ロボット技術を駆使する自動加工装置への適用が効
率よ〈実施し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
８Ｆ！１図は、この発明の一実施例の横断面図、第２図
は、同じく一部の斜視図、第３図は、従来のクリーント
ンネルの横断面図、第４図は、同じく搬送用自走台車の
側面図、第５図及び第６図は、クリーントンネルの配設
状態を示す説明斜視図である。 １１・・・・・・・・・クリーントンネル１８・・・・
・・・・・自走台車 １８ｓ・・・・・・支柱筒 １８「・・・・・・走行駆動部 １８ｋ・・・・・・機器部 １８ｃ・・・・・・搬送物蓋なし収納ケース１９ｃ・・
・・・・中央空気路 １９ｓ・・・・・・側方空気路 ２０・・・・・・・・・セパレータ ２２・・・・・・・・・搬送用トンネル部２２ｈ・・・
・・・搬送物用トンネル部２２ｒ・・・・・・走行駆動
部用トンネル部第１図 υ 第２０

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 走行駆動部に立設した支柱筒に機器部及び搬送物蓋なし
    収納ケースを載設して構成した自走台車を走行させるク
    リーントンネル搬送装置において、搬送用トンネル部を
    、前記支柱筒の通る中央空気路と側方空気路とを形成し
    たセパレータにより、搬送物用トンネル部と走行駆動部
    用トンネル部とに区分する構成としたことを特徴とする
    クリーントンネル。
JP59182734A 1984-09-03 1984-09-03 クリ−ントンネル Pending JPS6162739A (ja)

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JPS6162739A true JPS6162739A (ja) 1986-03-31

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