JPS60140035A - クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
をクリーンルーム内で搬送するのに採用されるクリーン
ルーム内の荷搬送設備に関するものである。

従来例の構成とその問題点 上記のような荷搬送設備において、荷搬送装置側で発生
した塵埃がクリーンルーム内に漏出して悪影響を及ぼす
ことに対しては種々な対策が取られている。一方、ステ
ーションにおいては、移載装置による自動作業により、
あるいは作業員による人手作業によって、荷搬送装置に
対する荷の積み御しが行なわれる。その際に移載装置や
作業員から塵埃が発生し、これがクリーンルーム内での
荷搬送において最大の問題になっている。

発明の目的 本発明の目的とするところは、ステーションで発生した
塵埃を、クリーンルームや荷に悪影響を及ぼすことなく
素早く床下に吸引除去し得、ステーション部の清浄度を
確保し得るクリーンルーム内の荷搬送設備を提供する点
にある。

発明の構成 上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷搬送設備は、天井側からクリーンエアーを下吹
きし、下降するエアーを床下に吸引するクリーンルーム
内に荷搬送装置を配設し、この荷搬送装置の走行経路の
適所に囲壁体によりステーション室を形成し、このステ
ーション室内にクリーンエアーを供給するクリーンユニ
ットを設けて構成している。

実施例と作用 以下に本発明の一実施例を第１図、第２図に基づいて説
明する。（１）はクリーンルームで、天井（２）側から
フィルター（３）を通してクリーンエアー（４）を下吹
きし、下降するエアーをメツシュ形式の床（５）を通し
て該床下に吸引するように構成しである。

前記クリーンルーム（１）内の上部に荷搬送装置（６）
が配設される。すなわち（７）は台車で、下部に走行車
輪（８）を有し、また上部には連結部（９）を介して荷
支持部０１が取付けである。θυは前記台車（７）を支
持案内するレールで、この台車（７）を制御しながら自
動走行させるための給電レール（６）などを有する。前
記台車（７）と１７−ル０］）とは筒形のダクト０１内
に配置しである。このダクト０３の天板には走行経路の
全長に亘るスリット０４が形成され、ここに左右から弾
性シール材ＯＱを設けてシール式スリット部に形成して
いる。そしてこのシール式スリット部に前記連結部（９
）が位置するように構成しである。前記ダクト（至）に
は吸引ダクト（図示せず）が連通し、以ってダクトａ葎
内で発生した塵埃を除去し得るように構成しである。こ
のように構成した荷搬送装置（６）における走行経路の
適所に囲壁体ＯＱによりステーション室α乃を形成して
いる。このステーション室側の上部は天板０樽により閉
塞され、また下部は前記床（５）を介して床下に連通し
ている。前記荷搬送装置（６）はステーション室０７）
を貫通し、そのために囲壁体ＯＱには開口θ１が形成し
である。前記ステーション室０７）内において、前記荷
搬送装置（６）の下方に保管棚（１）が配設しである。

この保管棚（ホ）は、枠組本体な］）と、横方向に多数
並設された縦仕切板（イ）と、上下方向に多数並列され
た横仕切板に）と、前面を開放すべく少なくとも枠組本
体ｃ７◇の後面に取付けた透明板などからなるカバー板
（ハ）とからなり、側仕切板（イ）に）によって上下方
向ならびに横方向に夫々複数の区画収納空間に）を形成
する。各区画収納空間（ハ）を形成する横仕切板σ染上
には夫々受は皿（ホ）が配設され、これら受け皿弼によ
って荷（ロ）を支持する。ここで荷（財）は半導体など
を収納可能なケースを示し、その両側には被係止部（至
）が突設しである。前記ステーション室０η内において
、荷搬送装置（６）の−側外方から保管棚（ホ）の前面
前方に亘って移載装ｗ勾が設けられる。すなわち床（５
）側から枠体（至）が立設され、この枠体…に一対のガ
イドロッド０υが上下方向に配設しである。そして両ガ
イドロッドｃｌＤに案内される昇降枠（２）が設けられ
、その昇降は、枠体くＡの上部に設けた駆動装置（至）
に連動する無端回動体■を介して行なわれる。前記昇降
枠６埠には横方向のガイドロッドに）が取付けられ、こ
のガイドロッド（至）に案内されて横方向移動自在な左
右可動台（至）が設けられる。この左右可動台（１上に
は前後進自在な前後可動台（ロ）が配設され、この前後
可動台（ｍからは左右一対の保持腕■が前方に向けて連
設しである。これら保持腕（２）は、相対向間で荷（ロ
）の相対的な昇降移動を許し、また被係止部（至）に対
しては下方から係合し得るように構成しである。前記ス
テーション室αη内の上部には、該ステーション室Ｑη
内にクリーンエアー（至）を供給するクリーンユニット
■を設けている。

次に上記実施例における作用について説明する。

荷搬送装置（６）で搬送してきた荷（ロ）を保管棚（ホ
）に御ろすに、先ずクリーンルーム（１）内を走行して
きた台車（７）を、開口０９を通してステーション室α
η内に移入させ、移載装置に）に対向させて停止させる
。

このとき移載装置に）においては、第１図実線に示すよ
うに前後可動台（２）と共に保持腕（至）が退入してい
る。次いで昇降枠に）を上昇させると共に左右可動台（
至）を左右動させ、仮想線（イ）で示すように保持腕（
至）を荷（財）に対向させる。そして前後可動台（ロ）
を前進させ、仮想線（ロ）で示すように被係止部（ハ）
の下方に保持腕（至）を位置させる。次いで昇降枠に）
と共に保持腕（７）を上昇させ、被係止部（ハ）を介し
て荷（財）を持ち上げる。そして前後可動台（ロ）を後
退させて荷（イ）を左右可動台（至）の上方に引き込ん
だ後、昇降枠（財）の下降と左右可動台（２）の左右動
とによって荷（ロ）を空の区画収納空間に）に対向させ
る。次いで前後可動台（ロ）の前進によって仮想線（ハ
）に示すように荷（財）を区画収納空間に）内に挿入し
、その後、昇降枠に）を下降して荷（財）を受け皿（ハ
）上に御すと共に、前後可動台（ロ）を後退して保持腕
（至）を抜出することにより、荷御し作業を終了する。

また上述とは逆の作動を行なうことによって、保管棚−
内の荷（財）を台車（７）の荷支持部ＯＩに積込み得る
。このような作業中において、ステーション室（＋７１
では上部のクリーンユニットに）からクリーンエアー（
２）が下吹きされ、そして下降するエアーを床（５）か
ら床下に吸引している。これによりステーション室αη
内には上から下へのエアー流が発生し、したがって移載
装置−で発生した塵埃などはクリーンルーム（１）や荷
（ハ）に悪影響を及ぼすことなく素早く床下に吸引除去
し得る。

第８図〜第５図は移載装置−を使用した自動ステーショ
ンの別の実施例を示す。すなわち移載袋Ｈｐ）は、昇降
枠に）に左右方向駆動自在なコンベヤθ１）とコンベヤ
駆動装置←２とを有し、前記コンベヤθ１）と荷支持部
員との間で荷（ロ）の受け渡しを可能としている。そし
て囲壁体０６の適所に搬入出口−が形成され、この搬入
出口（ハ）に対向してステーション室ＯｆＪ内に搬入用
コンベヤーを配設すると共に、その駆動装置（ハ）を設
けている。なお搬入出口−には開閉扉を設けてもよい。

に）は上部ダクトを示す。

第６図〜第８図は移載装置−を使用しない手動ステーシ
ョンの別の実施例を示す。すなわちステーション室Ｑη
内に上位作業床＠ηと下位作業床−を形成し、そして下
位作業床（財）に、搬入出口（至）に対向する保管棚（
ホ）を設置している。

発明の効果 上記構成の本発明によると、次のような効果を期待でき
る。すなわち、ステーション室ではクリーンユニットか
ら下吹きされるクリーンエアーが下降して床から床下に
吸引されることになり、これにより発生したエアー流に
よって、ステーション室の移載装置や作業員から発生し
た塵埃などを素早く床下に吸引除去でき、以ってクリー
ンルームや荷に悪影響を及ぼすことを防止できる。また
必要箇所であるステーション室のみ高清浄度（高クリー
ン化）を保つことができ、低コスト、省エネルギー化を
可能にできる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は縦
断側面図、第２図は斜視図、第８図〜第５図は移載装置
を使用した別の実施例を示し、第８図は縦断側面図、第
４図は縦断正面図、第５図は一部切欠き平面図、第６図
〜第８図は移載装置を使用しない別の実施例を示し、第
６図は縦断正面図、第７図は縦断正面図、第８図は一部
切欠き平面図である。 （］）・・・クリーンルーム、（２）・・・天井、（３
）・・・フィルター、（４）・・・クリーンエアー、（
５）・・・床、（６）・・・荷搬送装置、（７）・・・
台車、０１・・・荷支持部、α■・・・レール、（至）
・・・箱形ダクト、ＱｆＳ・・・囲壁体、Ｑカ・・・ス
テーション室、（ホ）・・・保管棚、（ロ）・・・荷、
（ハ）・・・被係止部、に）・・・移載装置、（２）・
・・クリーンエアー、輪・・・クリーンユニット、６７
）・・・上位作業床、（財）・・・下位作業床代理人　
森本義弘

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降する
   エアーを床下に吸引するクリーンルーム内に荷搬送装置
   を配設し、この荷搬送装置の走行経路の適所に囲壁体に
   よりステーション室を形成し、このステーション室内に
   クリーンエアーを供給するクリーンユニットを設けたこ
   とを特徴とするクリーンルーム内の荷搬送設備。