JPS61201634A - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造方法Info
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- JPS61201634A JPS61201634A JP3868985A JP3868985A JPS61201634A JP S61201634 A JPS61201634 A JP S61201634A JP 3868985 A JP3868985 A JP 3868985A JP 3868985 A JP3868985 A JP 3868985A JP S61201634 A JPS61201634 A JP S61201634A
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- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多孔質ガラス体を成長させ、その多孔質ガラ
ス体を高温に保たれた炉の中に保持するか、または通過
させ、弗素添加・脱水・透明化して光ファイバ用量材ｔ
ｍ造する方法に関し、上記高温炉の炉芯管の劣化および
消耗を防ぐことによシ、生産コス）を下げ元ファイバ用
母材の価格の低減全目的としたものである。
ス体を高温に保たれた炉の中に保持するか、または通過
させ、弗素添加・脱水・透明化して光ファイバ用量材ｔ
ｍ造する方法に関し、上記高温炉の炉芯管の劣化および
消耗を防ぐことによシ、生産コス）を下げ元ファイバ用
母材の価格の低減全目的としたものである。
元ファイバ用母材會製造するための高温炉の炉芯管材料
としては、石英が用いられるが、−例として特開昭５７
−１７４５３号公報に提案されるものを第２図に示す。
としては、石英が用いられるが、−例として特開昭５７
−１７４５３号公報に提案されるものを第２図に示す。
図中１は多孔質カラス母材で、回転かつ上下動可能な軸
２に取付けられている。３は電気炉で、カーボン等の発
熱体４を備えている。２５は炉３内に内装された石英製
の炉芯管である。６は石英製炉芯管２５内にガス（Ｈｅ
＊ Ｃ４等）１供給するために１石英製炉芯管２５下端
罠設けられたガス供給口である。このように構成された
高温炉で、弗素添加・脱水・透明化を行なうと、不純物
による吸収が無く、またＯＨ吸収の実質的に無い元ファ
イバが得られる。
２に取付けられている。３は電気炉で、カーボン等の発
熱体４を備えている。２５は炉３内に内装された石英製
の炉芯管である。６は石英製炉芯管２５内にガス（Ｈｅ
＊ Ｃ４等）１供給するために１石英製炉芯管２５下端
罠設けられたガス供給口である。このように構成された
高温炉で、弗素添加・脱水・透明化を行なうと、不純物
による吸収が無く、またＯＨ吸収の実質的に無い元ファ
イバが得られる。
しかしながら上記公報記載の方法の問題点は、高温て使
用するため、石英炉芯管の寿命が短かいことである。以
下、このことを説明する。石英’１）２００℃以上に加
熱したとき「失透」という現象がおきることが知られて
いる。
用するため、石英炉芯管の寿命が短かいことである。以
下、このことを説明する。石英’１）２００℃以上に加
熱したとき「失透」という現象がおきることが知られて
いる。
失透とは、ガラス状態でめつ次石英が結晶状態（クリス
トバライト）となったもので、失透がおこると石英炉芯
管は白く、もろくなる。さらに失透した炉芯管を３００
℃以下に冷却すると、クリストバライト層に亀裂が入少
炉芯管が割れてしまう。炉芯管の失透による破損を防ぐ
ためＫは、常に５００℃以上に炉芯管を保持する必要が
あるが、このことは困難である。以上の結果として、石
英炉芯管の寿命が短かぐ、生産コス）１上昇せしめ元フ
ァイバ用母材の価格低減の妨げとなっている。
トバライト）となったもので、失透がおこると石英炉芯
管は白く、もろくなる。さらに失透した炉芯管を３００
℃以下に冷却すると、クリストバライト層に亀裂が入少
炉芯管が割れてしまう。炉芯管の失透による破損を防ぐ
ためＫは、常に５００℃以上に炉芯管を保持する必要が
あるが、このことは困難である。以上の結果として、石
英炉芯管の寿命が短かぐ、生産コス）１上昇せしめ元フ
ァイバ用母材の価格低減の妨げとなっている。
本発明は、このような従来法による価格低減の妨けを取
シ除き、しかも、従来法と同程度の元ファイバ用母材を
ｉ造する方法を提供することを目的とするものである。
シ除き、しかも、従来法と同程度の元ファイバ用母材を
ｉ造する方法を提供することを目的とするものである。
本発明は、高温炉で使用する炉芯管として、８１０ ｉ
コーティングしたカーボン裂炉芯管を用い、さらに上記
ａｒｃコーティングの表面を酸化させた状態で使用する
方法である。
コーティングしたカーボン裂炉芯管を用い、さらに上記
ａｒｃコーティングの表面を酸化させた状態で使用する
方法である。
本発明の特に好ましい実施態様としては第１に１回ある
いは数回の脱水処理・弗素添加処理毎に炉芯管を酸°累
算囲気で空焼きする方法が挙げられる。第２に脱水また
は弗素添加を酸素を含む雰囲気で行なう方法が挙げられ
、さらにこの時の酸素雰囲気として、酸素濃度が５％以
上５０％以下の雰囲気で行なう方法が挙げられる。
いは数回の脱水処理・弗素添加処理毎に炉芯管を酸°累
算囲気で空焼きする方法が挙げられる。第２に脱水また
は弗素添加を酸素を含む雰囲気で行なう方法が挙げられ
、さらにこの時の酸素雰囲気として、酸素濃度が５％以
上５０％以下の雰囲気で行なう方法が挙げられる。
以下、図面を使用して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明方法の実施態様を説明する図である。
第１図において１は、多孔質ガラス母材で、回転かつ上
下動可能な軸２に取り付けられている。３は電気炉で、
カーボン等の発熱体４全備えている。１５が炉３内に内
装されたカーボン製の炉芯管であって、表面に８１０コ
ーテイングがなされており、さらにその表面は酸化され
ている。６は上記８１０コートされたカーボン展炉芯管
１５内にガス（” ｅ ｃｔ、 ｅ ０２ ｅ ８ｉＦ
４等）全供給するために該ＳｉＣコートカーボン製炉芯
管１５下端に設けられたガス供給口である。
下動可能な軸２に取り付けられている。３は電気炉で、
カーボン等の発熱体４全備えている。１５が炉３内に内
装されたカーボン製の炉芯管であって、表面に８１０コ
ーテイングがなされており、さらにその表面は酸化され
ている。６は上記８１０コートされたカーボン展炉芯管
１５内にガス（” ｅ ｃｔ、 ｅ ０２ ｅ ８ｉＦ
４等）全供給するために該ＳｉＣコートカーボン製炉芯
管１５下端に設けられたガス供給口である。
カーボン炉表面への８１０コーテイングは通常のＣＶＤ
法あるいはプラズマＣＶＤ法により、８１の原料として
は５１ｃ４ 、８１Ｈ４，５ｉＨＣｔｓ 等が用いられ
、ま念Ｃの原料としてＨ（Ｈ４を使用する。蒸着温度は
通常のＣＶＤ法の場合１０００°〜１６００℃、ｐ−０
ＶＤ 法テプラスマＣｖＤ法で７００〜１０００℃程度
である。
法あるいはプラズマＣＶＤ法により、８１の原料として
は５１ｃ４ 、８１Ｈ４，５ｉＨＣｔｓ 等が用いられ
、ま念Ｃの原料としてＨ（Ｈ４を使用する。蒸着温度は
通常のＣＶＤ法の場合１０００°〜１６００℃、ｐ−０
ＶＤ 法テプラスマＣｖＤ法で７００〜１０００℃程度
である。
またｓｌｃのコーティング厚さは、その表面を酸化させ
た状態で使用すれば１μｍ以上で有効である。
た状態で使用すれば１μｍ以上で有効である。
本発明方法の作用の第１としては、炉芯管の基材として
カーボンを使用しているため、高温に保持した場合炉芯
管が劣化することが無い。
カーボンを使用しているため、高温に保持した場合炉芯
管が劣化することが無い。
そのため、昇降温の速さに注意しさえすれば、何回でも
昇降温することが可能である。Ｈ２にカーボン表面を８
１０でコーティングしているため、炉芯管基材のカーボ
ンの酸化がおこらず、カーボン中に含まれる不純物が元
ファイバ用母材中に侵入することが無い。
昇降温することが可能である。Ｈ２にカーボン表面を８
１０でコーティングしているため、炉芯管基材のカーボ
ンの酸化がおこらず、カーボン中に含まれる不純物が元
ファイバ用母材中に侵入することが無い。
第３に、コーテイング材ｓ１ａの表面は酸化されて、実
質的にｓｌｏ、となっているためｃｚ！、 ｓｌｐ。
質的にｓｌｏ、となっているためｃｚ！、 ｓｌｐ。
に侵されることが無い。
本発明のコーティング材ＳｉＣ表面の酸化膜の作成方法
としては、１回あるいは、数回の脱水処理・弗素添加処
理毎に炉芯管を酸素雰囲気で空焼きする方法、および脱
水または弗素添加全酸素を含む雰囲気で行なう方法があ
る。
としては、１回あるいは、数回の脱水処理・弗素添加処
理毎に炉芯管を酸素雰囲気で空焼きする方法、および脱
水または弗素添加全酸素を含む雰囲気で行なう方法があ
る。
後者の場合には酸素濃度を３−以上としなければ、酸化
膜の形成が充分でな（、ＥｉｉＣがＣ７，１ｓ ｔ７４
に侵されてしまう。また酸素濃度が５０％以下でないと
、光フアイバ用母材中に気泡が取シ込まれ、透明な元フ
ァイバ用母材を得ることができない。
膜の形成が充分でな（、ＥｉｉＣがＣ７，１ｓ ｔ７４
に侵されてしまう。また酸素濃度が５０％以下でないと
、光フアイバ用母材中に気泡が取シ込まれ、透明な元フ
ァイバ用母材を得ることができない。
実施例１
第１図の装置を用いて、元ファイバ用母材を５０本透明
化した後、−たん電気炉の電源を切シ、カーボン炉芯管
を室温まで冷却した。その後再びカーボン炉芯管を加熱
し、１０００℃まで昇温させたがカーボン炉芯管は破損
しなかった。これによりカーボン炉芯管が優れた耐熱性
、耐衝撃性を有することがわかる。
化した後、−たん電気炉の電源を切シ、カーボン炉芯管
を室温まで冷却した。その後再びカーボン炉芯管を加熱
し、１０００℃まで昇温させたがカーボン炉芯管は破損
しなかった。これによりカーボン炉芯管が優れた耐熱性
、耐衝撃性を有することがわかる。
実施例２
第１図の装置を用い、Ｓ１ｃコーテイングに酸化膜をほ
どこさない状態で、炉芯管内を１５０００、 ８１Ｆ４
１０％雰囲気に保持したところ、Ｓ１Ｃコーテイングは
全て輝散してしまった。この時のＳｉＣコーティングの
膜厚は１００μであった。
どこさない状態で、炉芯管内を１５０００、 ８１Ｆ４
１０％雰囲気に保持したところ、Ｓ１Ｃコーテイングは
全て輝散してしまった。この時のＳｉＣコーティングの
膜厚は１００μであった。
実施例３
第１図の装置を用い、８１Ｃコーテイング（厚さ２μｍ
）カーボン炉芯管を散票２０チ雰囲気で１５００℃、２
時間保持し、酸化膜を作成した。
）カーボン炉芯管を散票２０チ雰囲気で１５００℃、２
時間保持し、酸化膜を作成した。
しかる後、この炉芯管を使用して比屈折率差が−（１５
％であるような光フアイバ用母材１＆：２０本作成した
。弗素原料としてはｓｌｐ、を使用した。
％であるような光フアイバ用母材１＆：２０本作成した
。弗素原料としてはｓｌｐ、を使用した。
その後、この炉芯管の表面を観察した結果Ｓ１Ｃコーテ
イング表面に酸化膜が認められた。
イング表面に酸化膜が認められた。
実施例４
第１図の装置を用い５１ｙ４７ｏ！／）１ｅ＝ ｓ ％
／１０％／８７％雰囲気で元ファイバ用母材に弗素添
加全行なった。この元ファイバ用母材を用いシングルそ
一ドファイバを作成したところ１．３μおよび１．５μ
で１５ｄＢ／ｋｍ以下の特性が得られ、不純物の存在も
認められなかった。また、この条件で元ファイバ用母材
を５０本連続して作成した後炉芯管の表面を観察した結
果、表面の酸化したＳｊＯコーティング膜が認められた
。
／１０％／８７％雰囲気で元ファイバ用母材に弗素添
加全行なった。この元ファイバ用母材を用いシングルそ
一ドファイバを作成したところ１．３μおよび１．５μ
で１５ｄＢ／ｋｍ以下の特性が得られ、不純物の存在も
認められなかった。また、この条件で元ファイバ用母材
を５０本連続して作成した後炉芯管の表面を観察した結
果、表面の酸化したＳｊＯコーティング膜が認められた
。
以上の説明及び実施例・比較例の結果から明らかなよう
に、本発明の元ファイバ用母材の製造方法は、高温炉炉
心管としてＳｉｎ！ ’ｉｉコーティングしたカーボン
裂炉心管を用い、該Ｓ１Ｃコーテイングの表面上酸化さ
せた状態で使用することによって、従来の石英炉心管使
用と同程度の元ファイバ用母材を得られしかも炉心管の
寿命は顕著に長くなシ、生産コストの上昇を防止でき、
光フアイバ用母材の価格を低減できる産業上有利な方法
である。
に、本発明の元ファイバ用母材の製造方法は、高温炉炉
心管としてＳｉｎ！ ’ｉｉコーティングしたカーボン
裂炉心管を用い、該Ｓ１Ｃコーテイングの表面上酸化さ
せた状態で使用することによって、従来の石英炉心管使
用と同程度の元ファイバ用母材を得られしかも炉心管の
寿命は顕著に長くなシ、生産コストの上昇を防止でき、
光フアイバ用母材の価格を低減できる産業上有利な方法
である。
第１図は本発明の方法の一実施態様を説明する図、第２
図は従来法を説明する図である。
図は従来法を説明する図である。
Claims (4)
- （１）多孔質ガラス体を高温に保たれた炉の中に保持す
るか、または通過させ、弗素添加・脱水・透明化のうち
１以上の工程を行なって、光ファイバ用母材を製造する
方法において、上記高温炉の炉芯管としてＳｉＣをコー
ティングしたカーボン製炉芯管を用い、上記ＳｉＣコー
ティングの表面を酸化させた状態で使用することを特徴
とする光ファイバ用母材の製造方法。 - （２）１回あるいは数回の脱水処理・弗素添加処理毎に
、炉芯管を酸素雰囲気で空焼きし、 ＳｉＣ表面に酸化膜を作成し、しかる後に脱水または弗
素添加を行なうことを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - （３）脱水または弗素添加を酸素を含む雰囲気で行なう
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の光フ
ァイバ用母材の製造方法。 - （４）上記酸素を含む雰囲気として、酸素濃度が３％以
上５０％以下の雰囲気で、脱水または弗素添加を行なう
ことを特徴とする特許請求の範囲第（３）項記載の光フ
ァイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3868985A JPS61201634A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3868985A JPS61201634A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201634A true JPS61201634A (ja) | 1986-09-06 |
| JPH051220B2 JPH051220B2 (ja) | 1993-01-07 |
Family
ID=12532262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3868985A Granted JPS61201634A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61201634A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006145A1 (en) * | 1987-02-16 | 1988-08-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Heating furnace for glass materials for optical fiber and method of manufacturing same |
| JPH02153835A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| JPH02180729A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| WO1990011974A1 (fr) * | 1989-03-30 | 1990-10-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Four de frittage pour la production de matieres a base de quartz |
| US4969941A (en) * | 1987-02-16 | 1990-11-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Furnace for heating glass preform for optical fiber and method for producing glass preform |
| US5106401A (en) * | 1989-06-29 | 1992-04-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for thermal treatment of glass fiber preform |
| EP1367028A2 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A method for manufacturing a preform using a thermal treatment apparatus and preform obtained by the process |
| CN102596829A (zh) * | 2009-11-09 | 2012-07-18 | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 | 用于生产石英玻璃圆柱体的方法以及用于实施该方法的支撑物 |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP3868985A patent/JPS61201634A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006145A1 (en) * | 1987-02-16 | 1988-08-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Heating furnace for glass materials for optical fiber and method of manufacturing same |
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| JPH02153835A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
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| US5133796A (en) * | 1989-03-30 | 1992-07-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Air-tight sintering furnace for the production of a quartz preform |
| US5106401A (en) * | 1989-06-29 | 1992-04-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for thermal treatment of glass fiber preform |
| EP0529694A2 (en) * | 1989-06-29 | 1993-03-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Process for thermal treatment of glass fiber preform |
| US5306322A (en) * | 1989-06-29 | 1994-04-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for thermal treatment of glass fiber preform |
| EP1367028A2 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A method for manufacturing a preform using a thermal treatment apparatus and preform obtained by the process |
| EP1367028A3 (en) * | 2002-05-31 | 2004-08-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A method for manufacturing a preform using a thermal treatment apparatus and preform obtained by the process |
| CN102596829A (zh) * | 2009-11-09 | 2012-07-18 | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 | 用于生产石英玻璃圆柱体的方法以及用于实施该方法的支撑物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH051220B2 (ja) | 1993-01-07 |
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