JPS61138253A - Ultraviolet-hardenable resin composition - Google Patents
Ultraviolet-hardenable resin compositionInfo
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- JPS61138253A JPS61138253A JP26032084A JP26032084A JPS61138253A JP S61138253 A JPS61138253 A JP S61138253A JP 26032084 A JP26032084 A JP 26032084A JP 26032084 A JP26032084 A JP 26032084A JP S61138253 A JPS61138253 A JP S61138253A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野l
本発明は、プリント配線板の配線パターン形成の際やツ
ルグーマスクなどに用いられる7r)レジストドライフ
ィルムに感光層として塗布して使、 用されたりする
紫外線硬化性樹脂組成物に関するものである。Detailed Description of the Invention [Technical Field 1] The present invention relates to ultraviolet curing, which is applied as a photosensitive layer to 7r) resist dry film used in forming wiring patterns on printed wiring boards and in turret masks. The present invention relates to a synthetic resin composition.
[背景技術J
プリント配線板の配線パターン形成の際のマスクやソル
ダーマスクなどを形t、させるにあたって、レジストイ
ンクをシルクスクリーン印刷などによってプリント配線
板用基板に施すなど7オトレノストエ法によっておこな
われる。そして7t)レノスト工法においでは液状の感
光液である液状7オトレジストをプリント配線板用基板
の表面に印刷塗布する工法が従来上り主流を占めてきた
が、このものでは作業性や安全性等に問題があるため、
近時7オトレノストドライフイルムを用いる工法がその
作業性や安全性等に優れるという点で注目を集め次第に
利用範囲が広がってきている。[Background Art J] When forming a mask, solder mask, etc. for forming a wiring pattern on a printed wiring board, a resist ink is applied to the printed wiring board substrate by silk screen printing, etc., using the 7-Otrenost method. 7t) In the Renost method, the method of printing and applying liquid photoresist, a liquid photosensitive liquid, to the surface of the printed wiring board substrate has become mainstream, but this method has problems with workability, safety, etc. Because there is
Recently, the construction method using Otrenost dry film has been attracting attention due to its excellent workability and safety, and its range of use is gradually expanding.
7オトレノストドライフイルムとして従来より用いられ
ているものは、ポリエチレンテレフタレートフィルム(
PETフィルム)などによる支持体フィルムの片面に紫
外線硬化性樹脂組成物による感光液を塗布乾51!させ
て感光層を施し、この感光層の表面にポリプロピレンフ
ィルムなどポリオレフィンフィルムによるカバーフィル
ムを積層x−(形成されている。そしてこの7オトレノ
ストドライフイルムを用いてプリント配線板用基板に配
線パターンを形成するにあたっては、ドライフィルムラ
ミネーターを使用してまずカバーフィルムをはがして感
光層を露出させながらプリント配線板用基板の表面に支
持体フィルムを外側に感光層を内側にして7r)レノス
トドライフィルムを重ね、加熱ロールなどa−ルによっ
て加圧しつつ感光層がプリント配線板用基板に密着する
ように接着させる6次いで配線パターン形状を有するパ
ターンマスクフィルムを支持体フィルムの上から重ねて
真空吸引によって密着させたりいわゆるソフトコンタク
トの状態にして、例えば365n霞の波長を中心とする
紫外線光を露光し、パターンマスクフィルムを紫外線が
通過した部分において感光層を光硬化させる。こののち
に支持体フィルムを剥離して感光層に現像液を吹き付け
ることによって感光層の未硬化部分を溶解除去する。そ
してエツチングマシンによって感光層が硬化して残留し
ている部分以外におけるプリント配線板用基板の銅箔な
と金属箔をエツチング除去して配線パターンを形成させ
たり、または無電解メッキ装置によって感光層が硬化し
て残留している部分以外におけるプリント配線板用基板
の表面に銅など金属の皮膜を成長形成させて配線パター
ンを形成させる。このように配線パターンを形成したの
ちに、感光層の硬化残留部分が不要の場合には剥111
1!11によってこの部分を溶解乃至は膨潤剥離させる
。7 The conventionally used otorenost dry film is polyethylene terephthalate film (
A photosensitive liquid made of an ultraviolet curable resin composition is coated on one side of a support film such as PET film) and dried 51! A photosensitive layer is applied to the surface of the photosensitive layer, and a cover film made of a polyolefin film such as a polypropylene film is laminated on the surface of the photosensitive layer.Then, this 7-Otrenost dry film is used to form a wiring pattern on a printed wiring board substrate. To form the film, use a dry film laminator to first peel off the cover film to expose the photosensitive layer, and then apply 7r) Renost Dry to the surface of the printed wiring board substrate, with the support film on the outside and the photosensitive layer on the inside. The films are stacked and the photosensitive layer is adhered to the printed wiring board substrate while being pressed with a heating roll or the like.6 Next, a pattern mask film having a wiring pattern shape is stacked on top of the support film and vacuum suction is applied. The patterned mask film is brought into close contact or in a so-called soft contact state, and exposed to ultraviolet light having a wavelength of, for example, 365n haze, to photocure the photosensitive layer in the portions where the ultraviolet light passes through the pattern mask film. Thereafter, the support film is peeled off and a developer is sprayed onto the photosensitive layer to dissolve and remove the uncured portion of the photosensitive layer. The photosensitive layer is then hardened using an etching machine to form a wiring pattern by etching away the copper foil and metal foil of the printed wiring board except for the remaining portions, or the photosensitive layer is removed using an electroless plating machine. A wiring pattern is formed by growing a film of metal such as copper on the surface of the printed wiring board substrate other than the portions that remain after hardening. After forming the wiring pattern in this way, if the hardened portion of the photosensitive layer is not needed, peel it off 111.
1!11 to dissolve or swell this part and peel it off.
そしてかかる従来の7オトレノストドライフイルムにあ
って、支持体フィルムを感光層に被覆させた状態で露光
するのは、一般的に紫外線硬化性樹脂組成物は酸素の存
在によって光重合が阻害されることになるため、支持体
フィルムによって酸素(空気)を遮断した状態で感光層
を光重合させようとすることにある。しかしこの上う−
に支持体フィルムで感光層を被覆した状態で露光するこ
とは、支持体フィルムによる光の屈折や拡故によって解
像性が低下することになって、ファインパターンの作成
が困難になり、また7オトレノストドライフイルムのラ
ミネートやソフトコンタクト露光の自動化も困難になる
ものである。さらには現像に際して支持体フィルムの剥
離をおこなわなければならないため、配線パターン形成
の自動化が困難になるものである。In such conventional 7-otrenost dry film, the photopolymerization of the ultraviolet curable resin composition is generally inhibited by the presence of oxygen, so that the photopolymerization of the ultraviolet curable resin composition is generally inhibited by the presence of oxygen. Therefore, the photosensitive layer is photopolymerized in a state where oxygen (air) is blocked by a support film. But what's more?
If the photosensitive layer is exposed with a support film covering it, the resolution will decrease due to the refraction and spreading of light by the support film, making it difficult to create fine patterns. It also becomes difficult to automate lamination of otorenost dry film and soft contact exposure. Furthermore, since the support film must be peeled off during development, automation of wiring pattern formation becomes difficult.
そこで、支持体フィルムによって被覆しない露出された
状態で感光層の光重合させることができるよう種々の試
みがなされている1例えば特公昭40−17828号公
報、特公昭46−32714号公報、特公昭46−35
687号公報、特公昭46−9179号公報、特公昭5
5−49729号公報、特開昭51−71123号公報
、特開昭56−75643号公報などによって提供され
ているように酸素阻害防止層を感光層の表面に形成させ
て酸素の影響を遮断するようにした試みがあるが、この
ものでは酸素阻害防止層を形成させるだめの工程が必要
になるなどの問題があり、根本的な解決とは言えない、
すなわち、酸素の存在下においても紫外線硬化が可能な
紫外線硬化性樹脂組成物が提供されることによって初め
て、上記のような問題が根本的に解決されるのである。Therefore, various attempts have been made to photopolymerize the photosensitive layer in an exposed state without being covered with a support film. 46-35
687 Publication, Special Publication No. 46-9179, Special Publication No. 5
As provided in JP-A-5-49729, JP-A-51-71123, JP-A-56-75643, etc., an oxygen inhibition prevention layer is formed on the surface of the photosensitive layer to block the influence of oxygen. There have been attempts to do this, but this method requires an additional step to form an oxygen inhibition prevention layer, so it cannot be said to be a fundamental solution.
That is, the above problems can be fundamentally solved only by providing an ultraviolet curable resin composition that can be cured by ultraviolet light even in the presence of oxygen.
しかしこのような酸素の存在下において硬化可能な紫外
線硬化性樹脂組成物として、特公昭46−33530号
公報や特公昭53−40123号公報、特開昭56−1
1904号公報等によって提供されたものはあるものの
、それぞれ一長一短あって実用に耐えるまでは至ってい
ないものである。However, as such ultraviolet curable resin compositions that can be cured in the presence of oxygen, Japanese Patent Publication No. 46-33530, Japanese Patent Publication No. 53-40123, and Japanese Patent Application Laid-open No. 56-1
Although there are some methods provided by Publication No. 1904, etc., they each have their own merits and demerits, and they have not yet been put to practical use.
[発明の目的1
本発明は、上記の点に鑑みて為されたものであり、酸素
の存在下において迅速に硬化可能な紫外線硬化性樹脂組
成物を提供することを目的とするものである。[Object of the Invention 1] The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an ultraviolet curable resin composition that can be rapidly cured in the presence of oxygen.
[発明の開示J
しかして本発明は、
(A)充填ポリマーとしてのアクリル系化合物、(B)
不飽和二重結合を有するラジカル重合性モノマー及び/
又はオリゴマー、
(C)紫外線重合開始剤と増感剤の系
の(A )(B )(C’)を主成分とし、(C)が(
イ)ベンゾフェノン
(ロ)4.4’−ジエチルアミ/ベンゾフェノン(ハ)
トリブロモメチルフェニルスルホン(ニ)2−メルカプ
トベンゾチアゾ−1しの混合物であり、(イ)(ロ)(
ハ)(ニ)の合計量が(B)の5〜15重量%で、(イ
)と(cl)の重量和が(ハ)と(ニ)の重量和よりも
小さく、且つ(イ)討(el)の重量比が10対1〜1
2対1であると共に(ハ)対(ニ)の重量比が2対1〜
10対1であることを特徴とする紫外線硬化性樹脂組成
物を第1の発明とし、
(A)充填ポリマーとしてのビニルトルエン・イタコン
酸・マレイン酸の共重合物の半エステル化物、
(B)不飽和二重結合を有するラノカル重合性モノマー
及び/又はオリゴマー、
(C)紫外線重合開始剤と増感剤の系
の(A)(B)(C)を主成分とし、(C)力C(イ)
ベンゾフェノン
(ロ)4.4’ −ジエチルアミノベンゾ7エ/ン(ハ
)トリブロモメチルフェニルスルホン(ニ)2−ノルカ
プトベンゾチアゾールの混合物であり、(イ)(ロ)(
))、(ニ)の合計量が(B)の5〜15重量%で、(
イ)と(ロ)の重量和が(11)と(ニ)の重量和より
同じか大きく、且つ(イ)対(ロ)の重量比が10対1
〜12対1であると共に<I>対(ニ)の重量比が2対
1〜10対1であることを特徴とする紫外線硬化性樹脂
組成物を第2の発明とするものであり、以下本発明の詳
細な説明する。[Disclosure of the Invention J] However, the present invention comprises (A) an acrylic compound as a filled polymer, (B)
A radically polymerizable monomer having an unsaturated double bond and/or
or oligomer, (C) having (A), (B), and (C') of a system of ultraviolet polymerization initiator and sensitizer as main components, and (C) having (C) as a main component;
a) Benzophenone (b) 4,4'-diethylamide/benzophenone (c)
It is a mixture of tribromomethylphenylsulfone (d) 2-mercaptobenzothiazo-1 and (i) (b) (
c) The total amount of (d) is 5 to 15% by weight of (B), the sum of weights of (a) and (cl) is smaller than the sum of weights of (c) and (d), and (a) The weight ratio of (el) is 10:1 to 1
2:1 and the weight ratio of (c) to (d) is 2:1 ~
The first invention is an ultraviolet curable resin composition characterized by a ratio of 10 to 1, (A) a half-esterified copolymer of vinyltoluene, itaconic acid, and maleic acid as a filled polymer; (B) A lanocal polymerizable monomer and/or oligomer having an unsaturated double bond, (C) a system of ultraviolet polymerization initiator and sensitizer (A), (B), and (C) as main components; stomach)
It is a mixture of benzophenone (b) 4'-diethylaminobenzo7ene/ene (c) tribromomethylphenylsulfone (d) 2-norcaptobenzothiazole, and (a) (b) (
)), the total amount of (d) is 5 to 15% by weight of (B), and (
The sum of weights of (a) and (b) is the same as or greater than the sum of weights of (11) and (d), and the weight ratio of (a) to (b) is 10:1
The second invention is an ultraviolet curable resin composition characterized in that the weight ratio of <I> to (d) is 2:1 to 10:1, and the following: The present invention will be described in detail.
7オトレジストドフイフイルム用の感光層を形成させる
ために本発明に係る紫外線硬化性樹脂組成物を用いる場
合、ネが一ポジ型でもボッ−ポジ型でもいずれでも用い
るようにすることができ、また溶剤現像剥離型でもアル
カリ水溶液現像剥離型でもドライ現像型でもいずれでも
用(するよう1こすることができるが、有機溶剤を使用
しな11アルカリ水溶液現像剥離型が将来的にユーザー
の要望1こ応える上で好ましい、また後述する7オトレ
ジストドライフイルムの使用法に対処して、支持体フィ
ルムの両面に紫外線硬化性樹脂組成物を塗布して両面に
感光層を形成させろ場合、支持体フィルムに対する各面
の感光層の接着力(剥離性)に差を持たせるために、こ
れに応じた接着物性を有する異なる紫外線硬化性樹脂組
成物を調製し、この各紫外線硬化性樹脂組成物をそれぞ
れ支持体フィルムの各面に塗布させるようにすることが
好ましい。7. When using the ultraviolet curable resin composition according to the present invention to form a photosensitive layer for photoresist film, either one-positive type or full-positive type can be used; In addition, it can be used with any of the solvent development stripping type, alkaline aqueous solution development stripping type, and dry development type. In order to meet this requirement, it is preferable to apply an ultraviolet curable resin composition to both sides of the support film to form a photosensitive layer on both sides, in accordance with the method of using the photoresist dry film described below. In order to have different adhesion (peelability) of the photosensitive layer on each side, different UV curable resin compositions with corresponding adhesive properties were prepared, and each UV curable resin composition was It is preferable to coat each side of the support film.
しかし支持体フィルムの各面に物理的乃至化学的処理を
施して支持体フィルムのそれぞれの面の接着性を異なる
ように仕上げることによって、紫外線硬化性樹脂組成物
の配合が同一でも支持体フィルムにおける各面の感光層
の接着性に差を持たせることができ、この場合の方が好
ましいこともある。However, by applying physical or chemical treatment to each side of the support film to make the adhesion of each side of the support film different, even if the formulation of the ultraviolet curable resin composition is the same, The adhesion of the photosensitive layers on each side can be made to differ, and this may be preferable in some cases.
紫外線硬化性樹脂組成物は公知のように、(A)充填ポ
リマー、CB)光重合性モノマー及び/又はオリゴマー
、(C)光重合開始剤、泥進剤系、CD)熱重合禁止剤
、(E)染料系、(F)その他の添加物等、(G)溶剤
、の配合によって111g&される。As is well known, the ultraviolet curable resin composition contains (A) a filled polymer, CB) a photopolymerizable monomer and/or oligomer, (C) a photopolymerization initiator, a polymerization agent system, CD) a thermal polymerization inhibitor, ( E) The dye system, (F) other additives, etc., and (G) the solvent are combined to give 111g&.
まず(A)の充填ポリマーとしでは、第1の発明にあっ
てはアクリル系化合物が用いられ、また第2の発明にあ
ってはビニルトルエン・イタコン酸・マレイン酸の共重
合物の半エステル化物が用いられる。アクリル系化合物
ポリマーとしてはその代表的なものとしてポリメチルメ
タクリレ−Fがあるが、アルカリ溶解〜lI潤のアルカ
リ現像可能とするためにはメチルメタクリレートとメタ
クリル酸の共重合物など米国特許第2893868号や
米国特許$3458311号等に記載されている共重合
物を用いるのがよい、またビニルトルエン・イタコン酸
・マレイン酸の共重合物の半エステル化物としては、特
公昭55−38961号公報や特開昭57−2035号
公報等に記載されるものを用いろことができる。これら
においてアルカリ水溶解〜膨潤型とするために、−〇〇
〇H基、−3O2H基、−N Hs基等を付加反応乃至
グラフト重合させでおくようにしでもよい(特公昭5〇
−15033号公報や特公昭57−40841号公報等
で紹介されている)、もちろん少量であればアルカリ不
溶性のポリマーも混合して使用することができる。First, as the filled polymer (A), an acrylic compound is used in the first invention, and a half-esterified copolymer of vinyltoluene, itaconic acid, and maleic acid is used in the second invention. is used. A typical example of acrylic compound polymers is polymethyl methacrylate-F, but in order to make it possible to develop with alkali dissolution to lI wetness, a copolymer of methyl methacrylate and methacrylic acid, etc., has been developed. It is preferable to use the copolymers described in No. 1, US Pat. Those described in JP-A-57-2035 and the like can be used. In order to make them soluble in alkaline water and swellable, -〇〇〇H groups, -3O2H groups, -NHs groups, etc. may be subjected to addition reaction or graft polymerization (Japanese Patent Publication No. 50-15033). (Introduced in publications such as Japanese Patent Publication No. 57-40841, etc.) However, a small amount of alkali-insoluble polymers can also be mixed and used.
(B)の光重合性のラジカル重合性モノマー及び/又は
オリゴマーとしては、不飽和二重結合を有する単官能及
び/又は多官能のアクリルエステル系のものが使用され
る。アルカリ水溶解〜膨潤型とするためには、−COO
H基、−3o、H基、−NH,基等を含有するものを一
部乃至は全部において使用することになるが、あまり極
端に親水性にすると、現像液やエツチング液、無電解メ
ッキ液などによる作用で硬化膜が侵されていわゆるハロ
ー現象の欠陥を引き起こすおそれがあるため、前記(A
)の充填ポリマーとの兼合いで適宜選択するよう考直す
る必要がある1例えばトリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート等特公昭53−40537号公報、4
#閏昭56−8417号公報、特公昭59−31052
号公報等に記載された重合性モノマーを用いることがで
きる。単官能性モノマーである例えばツメチル7ミノエ
チルメタクリレート、アクリル酸、メチルメタクリレー
ト、2−エチルヘキシル(ツタ)7クリレート等を用い
ることもできるが、これらは主として可塑剤や密着剤、
pH調整剤としての作用をなす、従って、支持体フィル
ムに対する各面の感光層の接着性(剥離性)を異ならせ
るためにこれらのものを各面の感光層の組成として使い
分けることができろことになる。As the photopolymerizable radically polymerizable monomer and/or oligomer (B), monofunctional and/or polyfunctional acrylic ester-based monomers having unsaturated double bonds are used. In order to make it soluble in alkaline water to swellable type, -COO
Some or all of the compounds containing H groups, -3O, H groups, -NH groups, etc. will be used, but if they are made too hydrophilic, they will not be used in developing solutions, etching solutions, or electroless plating solutions. There is a risk that the cured film will be attacked by the action of
) It is necessary to reconsider the selection as appropriate in consideration of the filling polymer.1 For example, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, etc. Japanese Patent Publication No. 1983-40537, 4
# Publication No. 56-8417, Special Publication No. 59-31052
Polymerizable monomers described in Japanese Patent Publication No. 1, etc. can be used. Monofunctional monomers such as trimethyl 7-minoethyl methacrylate, acrylic acid, methyl methacrylate, 2-ethylhexyl (ivy) 7-acrylate, etc. can also be used, but these are mainly used as plasticizers, adhesives,
It acts as a pH adjuster, and therefore, these substances can be used in the composition of the photosensitive layer on each side in order to vary the adhesion (releasability) of the photosensitive layer on each side to the support film. become.
(C1の紫外線重合開始剤と便進剤の系としては、(イ
)ベンゾフェノン(BP)、(ロ)4.4’ −ノエチ
ルアミノペンゾフェノン(EAB)、(ハ)a、a、α
−トリブロモメチルフェニルスルホン(BMPS)、(
1)2−メルカプトベンゾチアゾール(MBT)の4種
のものを四元系として用いる。その他これに加えて多種
のものを使用することができ、多元系の岨み合わせとし
て用いることができる0例えばカルボニル化合物、含窒
素複素環化合物、有機硫黄化合物、過酸化吻、レドック
ス系化合物、アゾ並びにノアゾ化合物、ハロゲン化合物
、光還元性色素などを用いることができる(特公昭42
−16587号公報、特公昭54−25957号公報、
特公昭47−1895号公報、特開昭57−14164
0号公報等で紹介されている)、多元系の組み合わせと
しては、特公昭36−19284号公報、特公昭44−
6361号公報、特公昭44−20067号公報、特公
昭48−38403号公報、特公昭53−37902号
公報、特公昭53−43988号公報、特公昭53−4
3989号公報、特公昭59−818号公報、特公昭5
9−1283号公報、特開昭54−130693号公報
、特公昭53−37211号公報、特開昭55−609
42号公報、特開昭58−171406号公報等に記載
されているところに従っておこなうことができる。これ
らのうちには特公昭40−17986号公報や特公昭4
5−37377号公報などに記載されているように、例
えばハロゲン化合物のように耐塩性の付与ならびに光発
色性化合物の発色剤としての兼用効果を生じるものら多
い。(The system of ultraviolet polymerization initiator and stimulant for C1 includes (a) benzophenone (BP), (b) 4,4'-noethylaminopenzophenone (EAB), (c) a, a, α
-tribromomethylphenylsulfone (BMPS), (
1) Four types of 2-mercaptobenzothiazole (MBT) are used as a quaternary system. In addition to these, a wide variety of substances can be used, and can be used as a combination of multiple elements.For example, carbonyl compounds, nitrogen-containing heterocyclic compounds, organic sulfur compounds, peroxide compounds, redox compounds, azo In addition, noazo compounds, halogen compounds, photoreducible dyes, etc. can be used (Special Publication No. 42
-16587 Publication, Special Publication No. 54-25957,
Japanese Patent Publication No. 47-1895, Japanese Patent Publication No. 57-14164
(Introduced in Japanese Patent Publication No. 19284-19284, Japanese Patent Publication No. 44-1972)
6361 Publication, Japanese Patent Publication No. 44-20067, Japanese Patent Publication No. 48-38403, Publication No. 37902-1982, Publication No. 43988-1988, Japanese Patent Publication No. 53-4
3989 Publication, Special Publication No. 59-818, Special Publication No. 1987
9-1283, JP 54-130693, JP 53-37211, JP 55-609
This can be carried out according to the methods described in Japanese Patent Application Laid-open No. 42, Japanese Patent Application Laid-open No. 171406/1983, and the like. Among these are Special Publication No. 40-17986 and Special Publication No. 40-17986.
As described in Japanese Patent Application No. 5-37377, there are many compounds, such as halogen compounds, which have the effect of imparting salt resistance and also function as coloring agents for photochromic compounds.
(DJの熱重合禁止剤としては、市販の重合用モツマー
に混入されている禁止剤だけでは不足であり、追加して
混合する必要な場合が多い、p−t−プチルカテフール
、p−メトキシフェノール、p−ベンゾキノン、アント
ラキノンその他特公昭55−38961号公報に記載さ
れる熱重合禁止剤を用いることができる。待に本発明に
おいて7t)レジストドライフィルムを後述のような構
造にして使用する場合、カバーフィルムが積層された感
光層はプリント配線板用基板への張り付けの際に熱a−
ルによる加熱が2回加えられるため、カバーフィルムが
積層されていない感光層のものより紫外線硬化性樹脂組
成物への熱重合禁止剤の配合の秤量精度に留意する必要
がある。(As thermal polymerization inhibitors for DJ, the inhibitors mixed in commercially available Motsumar for polymerization are not sufficient, and it is often necessary to add them. p-benzoquinone, anthraquinone, and other thermal polymerization inhibitors described in Japanese Patent Publication No. 55-38961 can be used.In the present invention, 7t) When the resist dry film is used in the structure described below, the cover The photosensitive layer on which the film is laminated is exposed to heat a-
Since heating is applied twice using the UV curable resin composition, it is necessary to pay more attention to the weighing accuracy when adding the thermal polymerization inhibitor to the ultraviolet curable resin composition than in the case of a photosensitive layer on which a cover film is not laminated.
(E)の染料系としては、発色性化合物例えば染料ロイ
コ体が有用に使用される。染料と発色性化合物との混合
系も用いることができる。この場合には特開昭51−7
3432号公報や特開昭56−75642号公報等に例
が示されているように、露光によって染料と発色物の混
合した色調の発色可視陽りm像を与える。もちろん染料
を含有させる必要は特にないが、この場合には特公昭5
9−28325号公報に示唆されてりするように支持体
フィルムとして着色透明のものを使用するのが望ましい
、また発色性化合物を発色させる発色剤は前記の(C)
のものに包含して考慮される。As the dye system (E), color-forming compounds such as leuco dyes are usefully used. A mixed system of a dye and a color-forming compound can also be used. In this case, JP-A-51-7
As shown in Japanese Patent Laid-open No. 3432 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-75642, exposure gives a colored visible bright m-image of a mixed tone of a dye and a colored substance. Of course, it is not necessary to contain dye, but in this case,
As suggested in Japanese Patent No. 9-28325, it is desirable to use a colored and transparent support film, and the coloring agent for coloring the coloring compound is the above-mentioned (C).
It is considered to be included in the
(F)のその他の添加物としては、可塑剤、昏料、分散
剤、カプリ防止剤、帯電防止剤、密着向上剤等があり、
これらは別途で添加されるようにしてもよいし、また前
記(A)〜(E)における配合剤に化学的に結合させた
ものとして使用するようにしてもよい。Other additives in (F) include plasticizers, toners, dispersants, anti-capri agents, antistatic agents, adhesion improvers, etc.
These may be added separately, or may be used as chemically bonded to the compounding agents (A) to (E) above.
(G)の溶剤としては、主として有機溶剤が用いられ、
1種乃至数種の混合物が使用される0例示すればメチル
エチルケトン、トルエン、イソプロピルアルコール等で
ある。As the solvent (G), an organic solvent is mainly used,
Methyl ethyl ketone, toluene, isopropyl alcohol, etc. are used as examples.
しかして上記各配合物を混合して紫外線硬化性樹脂組成
物が調製されるが、±発明ではさらに(C)の紫外線重
合開始剤と増感剤の系における(イ)ベンゾ7ヱノン(
BP)、(ロ)4.4’−ノエチル7ミノベンゾ7工/
ン(EAB)、(ハ)α、α、a−トリブロモメチルフ
ェニルスルホン(BMPSL (ニ)2−フルカプトベ
ンゾチ7ゾール(M B T >の4種のものについて
、その配合量や配合比を特定する必要があろ、すなわち
、(イ):(ロ)の配合比は10:1〜12:1の重量
比に設定されるが、この場合(+7)の比率は非常に微
妙であり、この範囲より(ロ)の比率を高くしても光増
感効果は殆ど向上せず感光層が黄色を帯びて7オトレノ
ストドライフイルムの外観を損ねるおそれが生じ、また
逆にこのII囲より(ロ)の比率を下げると光増感効果
が急激に低下することになる。このように範囲を外れる
と悪い効果のみが現れ、(ロ)の秤量精度は特に留意し
ておこなう必要がある。また(ハ):(ニ)の配合比は
2:1〜10:1の重量比にする必要があり、特に(ニ
)がこの範囲より増量されると現像や剥離時にスカムの
発生が起き易く不都合を生じる。また(二)がこれより
減fiされろと光増感効果が大幅に低下する1次に、(
イ)+(ロ):(ハ)+(ニ)の重量和の配合比につい
ては、その理論的解明は不十分ではあるが、充填ポリマ
ーとしてアクリル系化合物を用いるときは(7%)+(
ニ)の系が光増感においてより敏感に効果し、充填ポリ
マーとしてビニルトルエン・イタコン酸・マレイン酸の
共重合物の半エステル化物を用いるときは(イ)+(f
f)の系が光増感においてより敏感に効果するため、充
填ポリマーとしてアクリル系化合物を用いるときは(イ
)+(ロ)<(ハ)+(ニ)に配合重量比を設定し、ま
た充填ポリマーとしてビニルトルエン・イタコン酸・マ
レイン酸の共重合物の半エステル化物を用いるときは(
イ)+(ロ)≧(ハ)+(ニ)に配合重量比を設定する
必要ある。これは充填ポリマーの「長さ」と「太さ」と
、そこに絡み合う(B)の重合性モノマーと紫外線重合
開始剤及び増感剤の系との「相性」とも考えられるが、
いずれにしても光増感効果の低い方の系も配合すること
は必要である。この理由は特開昭58−171406号
公報に開示された1モル吸光係数」が単体で測定される
場合と、本組成物内で測定される「組み合わせモル吸光
係数Jとが微妙に変化しているためではないかと考えら
れるが、事実は不明である。さらに(イ)+(口)+(
ハ)十(ニ)の合計重量は(B)のラジカル重合性モノ
マー及び/又はオリゴマーに対して5〜15重量%に設
定される。15fi量%を超すとν・わゆるカプリ現象
を生じ易くなって重合禁止剤やカプリ防止剤を多用する
必要が生じ経済的に不利になるものであり、また5重量
%未満になると露光に長時間を必要とし、露光の際の紫
外線ランプからの熱エネルギーにより感光層が加熱され
て温度が上昇し、感光層が粘着性をmvて感光層とパタ
ーンマスクとが粘着する不具合を生じるおそれがしかし
て上記の紫外線硬化性樹脂組成物を支持体フィルムに塗
布して乾燥させることによって感光層を形成させ、感光
層にカバーフィルムをhLMさせることで7オトレノス
トドライフイルムを作成することができ、所定の一定幅
に切断して巻軽取ることによって保管や運搬に供する。Thus, an ultraviolet curable resin composition is prepared by mixing each of the above-mentioned formulations, but in the invention, (a) benzo-7enone (
BP), (b) 4.4'-noethyl 7minobenzo 7/
(EAB), (c) α, α, a-tribromomethylphenylsulfone (BMPSL) (d) 2-Flucaptobenzothi7zole (M B T >), their blending amounts and blending ratios It is necessary to specify, that is, the blending ratio of (a):(b) is set to a weight ratio of 10:1 to 12:1, but in this case, the ratio of (+7) is very delicate, Even if the ratio of (B) is higher than this range, the photosensitization effect will hardly improve, and the photosensitive layer will become yellowish, which may impair the appearance of the 7-otrenost dry film. If the ratio (b) is lowered, the photosensitizing effect will drop sharply.If the ratio is out of this range, only a bad effect will appear, so it is necessary to pay particular attention to the weighing accuracy of (b). In addition, the blending ratio of (c):(d) needs to be a weight ratio of 2:1 to 10:1, and especially if the amount of (d) is increased beyond this range, scum is likely to occur during development and peeling. In addition, if (2) is reduced more than this, the photosensitizing effect will be significantly reduced.
Although the theoretical elucidation of the weight sum ratio of a) + (b): (c) + (d) is insufficient, when using an acrylic compound as the filled polymer, (7%) + (
The system (d) has a more sensitive effect on photosensitization, and when a half-esterified product of a copolymer of vinyltoluene, itaconic acid, and maleic acid is used as the filled polymer, (a) + (f)
Since the system f) has a more sensitive effect on photosensitization, when using an acrylic compound as the filled polymer, set the blending weight ratio to (a) + (b) < (c) + (d), and When using a half-esterified copolymer of vinyltoluene, itaconic acid, and maleic acid as a filled polymer, (
It is necessary to set the blending weight ratio to b) + (b) ≧ (c) + (d). This is thought to be due to the compatibility between the length and thickness of the filled polymer and the system of polymerizable monomer (B), ultraviolet polymerization initiator, and sensitizer entangled therein.
In any case, it is necessary to also include a system with a lower photosensitizing effect. The reason for this is that there is a slight difference between the "1 molar extinction coefficient" disclosed in JP-A-58-171406 when measured alone and the "combined molar extinction coefficient J" measured within this composition. It is thought that this is due to the presence of
c) The total weight of (d) is set at 5 to 15% by weight based on the radically polymerizable monomer and/or oligomer of (B). If the amount of fi exceeds 15% by weight, the so-called ν-capri phenomenon tends to occur, making it necessary to use a large amount of polymerization inhibitors and anti-capri agents, which is economically disadvantageous, and if it is less than 5% by weight, the exposure will take longer. However, it takes time, and the photosensitive layer is heated by the thermal energy from the ultraviolet lamp during exposure, raising the temperature, which may cause the photosensitive layer to become sticky, resulting in problems such as sticking between the photosensitive layer and the pattern mask. A photosensitive layer is formed by coating the above ultraviolet curable resin composition on a support film and drying it, and a cover film is applied to the photosensitive layer to form a 7-otrenost dry film. It is used for storage and transportation by cutting it into a predetermined width and rolling it up.
ここで支持体フィルムとしては従来の7t)レノストド
ライフィルムにおけると同様に透明のPETフィルムを
、カバーフィルムとしては従来の7オトレノストドライ
フイルムにおけると同様にポリプロピレンフィルムなど
ポリオレフィンフィルムを用いろことができる。また従
来の7t)レノストドライフィルムと同様な支持体フィ
ルムと感光層とカバーフィルムとの3層構造に形成でき
るのは勿論であるが、次のように特殊な構造にしていわ
ば特殊な使用をおこなえる・7tトレノストドライフイ
ルムを作成することもできる。Here, as the support film, use a transparent PET film as in the conventional 7t) Rhenost dry film, and as the cover film, use a polyolefin film such as polypropylene film, as in the conventional 7t) Rhenost dry film. I can do it. It goes without saying that it can be formed into a three-layer structure consisting of a support film, a photosensitive layer, and a cover film, similar to the conventional 7t) Renost Dry Film, but it can also be formed into a three-layer structure consisting of a support film, a photosensitive layer, and a cover film, but it can also be formed with a special structure as shown below. You can also create a 7t Trenost dry film.
すなわち、紫外線硬化性樹脂組成物を支持体フィルムに
の両面に塗布して乾燥させることによって支持体フィル
ムの各面に感光層を形成させ、一方の面の感光層にカバ
ーフィルムをm層させることで7オトレノストドライフ
イルムを作成するようにするのであろ、感光層の両面形
成は両面同時押し出しコーティング装置や70−ト乾燥
装置などを用いることによって、自動化ラインで連続生
産が可能である。そしてこのとき、支持体フィルムやカ
バーフィルムに対する支持体フィルムの各面の感光層の
剥離性が異なるようにする。すなわち支持体フィルムに
対するカバーフィルムが積層され°Cいない感光層の剥
離性が支持体フィルムやカバーフィルムに対するカバー
フィルムが積層されている感光層の剥離性よりら良好と
なるようにしたり、あるいは支持体フィルムに対するカ
バーフィルムが積層さ九でいる感光層の剥離性が支持体
フィルムに対するカバーフィルムが積層されていない感
光層の剥離性よりも良好となるようにしたりするもので
ある。このように支持体フィルムの各面における感光層
の剥離性に差を付ける方法は既に説明した。That is, a photosensitive layer is formed on each side of the support film by applying an ultraviolet curable resin composition to both sides of the support film and drying, and m layers of the cover film are formed on the photosensitive layer on one side. In order to prepare a 70-ton dry film, the formation of the photosensitive layer on both sides can be continuously produced on an automated line by using a double-sided simultaneous extrusion coating device, a 70-ton drying device, or the like. At this time, the releasability of the photosensitive layer on each side of the support film with respect to the support film and the cover film is made to be different. In other words, the releasability of the photosensitive layer on which the cover film is not laminated to the support film is better than the releasability of the photosensitive layer on which the cover film is laminated to the support film or the cover film, or The releasability of the photosensitive layer with the cover film laminated to the film is better than the releasability of the photosensitive layer with no cover film laminated to the support film. The method of creating differences in the releasability of the photosensitive layer on each side of the support film has already been described.
次ぎにこのように作成した7r)レノストドライフィル
ムの使用方法を説明する。まず、支持体フィルムに対す
るカバーフィルムが積Mされていない感光層の剥離性が
支持体フィルムやカバーフィルムに対するカバーフィル
ムが積層さhでいる感光層の剥離性よりも良好となるよ
うにして作成した7オトレノストドライフイルムの場合
は、カバーフィルムが積層されていない感光層を内側に
して7オトレノストドライフイルムをプリント配線板用
基板に重ね熱ロールなどに通して加圧することによって
、この感光層をプリント配線板用基板に密着させて張り
付は接着させ、次いでこの張りイ寸(すだ)オドレノス
トドライ7()レムからカバーフィルムが積層された感
光層を剥離する。このときカバーフィルム及びカバーフ
ィルムが積層された感光層及び支持体フィルムの3層を
一体としで剥がすようにするものであり、プリント配線
板用基板に接着された感光層は露出された状態となる。Next, a method of using the 7r) Renost dry film produced in this way will be explained. First, the releasability of the photosensitive layer with no cover film laminated to the support film was better than that of the photosensitive layer with the cover film laminated to the support film or the cover film. In the case of 7 Otrenost dry film, the 7 Otrenost dry film is stacked on a printed wiring board substrate with the photosensitive layer on which the cover film is not laminated on the inside, and the photosensitive layer is pressed by passing it through a heated roll or the like. The layer is brought into close contact with a printed wiring board substrate, and then the photosensitive layer on which the cover film is laminated is peeled off from this adhesive layer. At this time, the three layers of the cover film, the photosensitive layer on which the cover film is laminated, and the support film are peeled off as one, and the photosensitive layer bonded to the printed wiring board substrate is exposed. .
支・特休フィルムに対するカバーフィルムが積層されて
いない感光層の剥離性が良好であるために、このように
3NJが一体として剥離されることになる。またこの剥
離した3層フィルムは巻き収っておく0次ぎに配線パタ
ーン形状を有するパターンマスクをプリント配線板用基
板に接着させた感光層の上から重ねて真空吸引によって
密着させたりいわゆるソフトコンタクトの状態にして、
例えば365nmの波長を中心とする紫外線光を露光し
、パターンマスクを紫外線が通過した部分において感光
層を光硬化させる。こののちに感光層に現像液を吹き付
けろことによりて感光層の未硬化部分を溶解除去する。Since the photosensitive layer on which the cover film is not laminated with respect to the special holiday film has good releasability, 3NJ is thus peeled off as one piece. In addition, this peeled three-layer film is rolled up, and then a pattern mask having a wiring pattern shape is placed over the photosensitive layer bonded to the printed wiring board substrate and brought into close contact by vacuum suction. state,
For example, the photosensitive layer is exposed to ultraviolet light having a wavelength of about 365 nm, and the photosensitive layer is photocured in the portions where the ultraviolet light passes through the pattern mask. Thereafter, the uncured portion of the photosensitive layer is dissolved and removed by spraying a developer onto the photosensitive layer.
そしてエツチングマシンによって感光層が硬化して残留
している部分以外におけるプリント配線板用基板の#!
箔など金属箔をエツチング除去して配線パターンを形成
させたり、または無電解メッキ装置によって感光層が硬
化して残留している部分以外におけるプリント配線板用
基板の表面に銅など金属の皮膜を成長形成させて配線パ
ターンを形成させろ、このように配線パターンを形成し
たのちに、感光層の硬化残留部分が不要の場合には剥離
装置によってこの部分を溶解乃至は膨潤剥#lさせてプ
リント配線板に仕上げるものである。一方7オドレノス
トドライフィルムから上記のように剥がした3層フィル
ムにおり・では、3層フィルムからカバーフィルムを剥
がしてこの3層フィルムにおける感光層を露出させ、露
出させた感光層を内側にして上記とは異なる他のプリン
ト配線板用基板又は上記と同じプリント配線板用基板の
裏側に重ね、熱ロールなどに通しで加圧することによっ
て、この感光層をプリント配線板用基板に密着させて張
り付は接着させる。この感光層にあっては表面が支持体
フィルムによって被覆されているが支持体フィルムはこ
の段階で剥がすようにしてもよい。そして上記と同様に
して支持体フィルムの表面または支持体フィルムを剥が
したときは感光層の表面にパターンマスクを重ねて感光
層を紫外線照射によって光硬化させ、支持体フィルムが
ある場合は支持体フィルムを剥がしたのちに感光層の未
硬化部分を溶解除去し、さらに金属箔のエツチング除去
や無電解メッキによって配線パターンを形成させてプリ
ント配線板に化上げるものである。Then, the photosensitive layer is hardened by the etching machine and the # of the printed wiring board substrate is removed except for the remaining portions.
A wiring pattern is formed by etching away metal foil such as foil, or a film of metal such as copper is grown on the surface of a printed wiring board except for the areas where the photosensitive layer is hardened using electroless plating equipment. After forming the wiring pattern in this way, if the hardened remaining portion of the photosensitive layer is unnecessary, this portion is dissolved or swelled and peeled off using a peeling device to form a printed wiring board. It is something that will be completed. On the other hand, there is a 3-layer film that has been peeled off from the 7-odrenost dry film as described above.The cover film is peeled off from the 3-layer film to expose the photosensitive layer in this 3-layer film, and the exposed photosensitive layer is turned inside. This photosensitive layer is pasted on the back side of another printed wiring board substrate different from the above or the same printed wiring board substrate as above, and is pressed with a hot roll or the like, so that the photosensitive layer is brought into close contact with the printed wiring board substrate. Glue the attachment. Although the surface of this photosensitive layer is covered with a support film, the support film may be peeled off at this stage. Then, in the same manner as above, when the surface of the support film or the support film is peeled off, a pattern mask is placed on the surface of the photosensitive layer and the photosensitive layer is photocured by UV irradiation, and if there is a support film, the support film is removed. After peeling off the photosensitive layer, the uncured portion of the photosensitive layer is dissolved and removed, and a wiring pattern is formed by etching the metal foil or electroless plating to create a printed wiring board.
大に、支持体フィルムに対するカッイーフィルムが積層
されている感光層の剥離性が支持体フィルムに対するカ
バーフィルムが積層されて(Sなり1感光層の剥離性よ
りも良好となるようにして作成した7r)レノストドラ
イフィルムの場合は、カバーフィルムが積層されていな
い感光層を内側にして7オトレノストドライフイルムを
プリント配線板用基板に重ね熱ロールなどに通して加圧
することによって、この感光層をプリント配線板用基板
に密着させて張り付は接着させ、次いでこの張りイ寸け
たフォトレジストドライフィルムからカバーフィルムが
積層された感光層を剥離する。このときカバーフィルム
及びカバーフィルムが積層された感光層の2層を一体と
して支持体フィルムから剥がすようにして、プリント配
線板用基板に接着された感光層が支持体フィルムで被覆
されているようにする。支持体フィルムに対するカバー
フィルムが積層されている感光層の剥離性が良好である
ために、このように支持体フィルムから2層が一体とし
て剥離されることになる。またこの剥離した2層フィル
ムは巻き取っておく1次ぎに配線パターン形状を有する
パターンマスクをプリント配線板用基板に接着させた感
光層を被覆する支持体フィルムの上から重ねて真空吸引
によって密着させたりいわゆる77トコンタクトの状態
にする。In general, the releasability of the photosensitive layer on which the Kawai film is laminated to the support film is better than the releasability of one photosensitive layer on which the cover film is laminated to the support film (S). 7r) In the case of RENOST dry film, the photosensitive layer is layered on the printed wiring board substrate with the photosensitive layer on which the cover film is not laminated on the inside, and the photosensitive layer is pressed by passing it through a heated roll or the like. The layer is brought into close contact with the substrate for a printed wiring board to form an adhesive, and then the photosensitive layer on which the cover film is laminated is peeled off from the photoresist dry film that has become almost taut. At this time, the two layers of the cover film and the photosensitive layer laminated with the cover film are peeled off from the support film as one piece, so that the photosensitive layer adhered to the printed wiring board substrate is covered with the support film. do. Since the photosensitive layer on which the cover film is laminated with respect to the support film has good releasability, the two layers are thus peeled off as one from the support film. The peeled two-layer film is rolled up and then a pattern mask having a wiring pattern shape is placed over the support film covering the photosensitive layer adhered to the printed wiring board substrate and brought into close contact by vacuum suction. or put it in a so-called 77-point contact state.
勿論支持体フィルムを剥がしてからパターンマスクを感
光層に直接重ねるようにしてもよい、こののち例えば3
65nmの波長を中心とする紫外線光を露光し、パター
ンマスクを紫外線が通過した部分において感光層を光硬
化させる。こののちに支持体フィルムがある場合は支持
体フィルムを剥がして感光層に現像液を吹き付けること
によって感光層の未硬化部分を溶解除去する。そしてエ
ンチングマシンによって感光層が硬化して残留している
部分以外におけるプリント配線板用基板の銅箔なと金属
箔をエツチング除去して配線パターンを形成させたり、
または無電解メッキ装置によって感光層が硬化して残留
している部分以外におけるプリント配線板用基板の表面
に銅など金属の皮膜を成長形成させて配線パターンを形
成させる。このように配線パターンを形成したのちに、
感光層の硬化残留部分が不要の場合には剥離装置により
てこの部分を溶解乃至は膨潤剥離させてプリント配線板
に仕上げるものである。一方7オドレノストドライフィ
ルムから上記のように剥がした2層フィルムにおいては
、感光層からカバーフィルムを剥がしつつこの感光層を
上記とは異なる他のプリント配線板用基板又は上記と同
じプリント配線板用基板の裏側に重ねて張り付は接着さ
せる。そして上記と同様にしてこの感光層にパターンマ
スクを重ねて感光層を紫外線照射によって光硬化させ、
さらに感光層の未硬化部分を溶解除去し、二ののち金属
箔のエツチング除去や無電解メッキによって配線パター
ンを形成させてプリント配線板に仕上げるものである。Of course, the pattern mask may be directly overlaid on the photosensitive layer after peeling off the support film.
The photosensitive layer is exposed to ultraviolet light having a wavelength of 65 nm, and the photosensitive layer is photocured in the areas where the ultraviolet light passes through the pattern mask. After this, if a support film is present, the support film is peeled off and a developer is sprayed onto the photosensitive layer to dissolve and remove the uncured portion of the photosensitive layer. Then, an etching machine is used to remove the copper foil and metal foil of the printed wiring board except for the parts where the photosensitive layer is hardened and remains to form a wiring pattern.
Alternatively, a wiring pattern is formed by growing a film of metal such as copper on the surface of the printed wiring board substrate other than the portion where the photosensitive layer remains after hardening using an electroless plating device. After forming the wiring pattern in this way,
If the cured remaining portion of the photosensitive layer is not needed, this portion is dissolved or swelled and peeled off using a peeling device to complete the printed wiring board. On the other hand, in the case of the two-layer film peeled off from the 7-odrenost dry film as described above, the cover film is peeled off from the photosensitive layer and the photosensitive layer is transferred to another printed wiring board substrate different from the above or the same printed wiring board as above. Lay it on the back side of the board and glue it. Then, in the same manner as above, a pattern mask is placed on this photosensitive layer, and the photosensitive layer is photocured by UV irradiation.
Furthermore, the uncured portion of the photosensitive layer is dissolved and removed, and then a wiring pattern is formed by etching the metal foil or electroless plating to complete the printed wiring board.
このようにすれば、支持体フィルムの両面のそれぞれの
感光層によってプリント配線I!泪基板の2面に配線パ
ターンを形成させることができ、2面の配線パターンの
作成に対して支持体フィルムとカバーフィルムとの2枚
のフィルムの廃棄で済むことになる。つまり従来におけ
る支持体フィルムと感光層とカバーフィルムとの3層構
成の7tトレノストドライフイIレム1こあっては、プ
リント配線板用基板の一面に配線パターンを形成させる
毎に支持体フィルムとカバーフィルムとの2枚のフィル
ムを廃棄してしまわなければならないものであり、その
原価は感光層のコストもさることながら支持$フィルム
とカバーフィルムとのコスFも相当な部分を占めている
ところ、プリント配線板用基板の一面に配線パターンを
形成させる毎に支持体フィルムとカバーフィルムとの2
枚のフィルムを廃棄してしまわなければならないという
ことは非常な材料の無駄になるものであり、しかもこめ
廃棄にあたって焼却や埋め立てなど処理費用も必要にな
る。従って上記のように2面の配線パターンの作成に対
して支持体フィルムとカバーフィルムとの2枚のフィル
ムの廃棄で済むようにすれIt、廃棄フィルムを半減す
ることがでさ、経済的(25%程度のフスF低下が可能
)であろと共に省資源の要請にも合致し、また廃棄処理
の費用を削減できるのである。In this way, the printed wiring I! Wiring patterns can be formed on two sides of the tear board, and only two films, the support film and the cover film, need to be discarded to create the wiring patterns on the two sides. In other words, in the conventional 7t Trenost Dry Film I Rem 1, which has a three-layer structure of a support film, a photosensitive layer, and a cover film, each time a wiring pattern is formed on one surface of a printed wiring board substrate, the support film is The two films, the cover film and the cover film, have to be discarded, and the cost includes not only the cost of the photosensitive layer but also the cost of the support film and the cover film. , each time a wiring pattern is formed on one side of a printed wiring board substrate, a support film and a cover film are used.
Having to dispose of each film is a huge waste of material, and furthermore, disposal costs such as incineration and landfilling are required. Therefore, as mentioned above, when creating a wiring pattern on two sides, it is possible to dispose of two films, the support film and the cover film, which reduces the amount of waste film by half, making it economical (25 It is possible to reduce FusF by about 10%), meet the requirements for resource conservation, and reduce disposal costs.
勿論上記のような構成に7オトレジストドライフイルム
を形成して使用する他、従来と同様な支持体フィルムと
感光層とカバーフィルムとの3N構成の7+r)レノス
トドライフィルムに形成したり、または支持体フィルム
に感光層を形成した2層構成にして使用することもでき
る。この場合にあって、感光層をプリント配線板用基板
に張り付けたのち、支持体フィルムを剥がして感光層を
露畠させこの状態でパターンマスクを感光層に直接重ね
て露光するようにするのがよく、このようにすれば露光
の際の解像度が向上してファインパターンで配線パター
ンを作成すること可能になり、また各種工程の自動化が
可能になる。Of course, in addition to forming and using a 7+r) photoresist dry film with the above-mentioned structure, it is also possible to form a 7+r) renost dry film with a 3N structure of a support film, a photosensitive layer, and a cover film as in the past, or A two-layer structure in which a photosensitive layer is formed on a support film can also be used. In this case, after attaching the photosensitive layer to the printed wiring board substrate, the support film is peeled off to expose the photosensitive layer, and in this state, the pattern mask is placed directly on the photosensitive layer and exposed. This often improves the resolution during exposure, making it possible to create wiring patterns with fine patterns, and also making it possible to automate various processes.
次に本発明を実施例によって具体的に説明する。Next, the present invention will be specifically explained with reference to Examples.
及1九Y
以下の配合物を混合することによって紫外線硬化性樹脂
組成物を調製した。and 19Y An ultraviolet curable resin composition was prepared by mixing the following formulations.
(重量部)
一スチレン/ビニルトルエン/マレ
イン酸/イタコン酸共重合物の半
エステル化物(分子量約5万−岡本
化学工業株式会社製ONDポリマ
ーVT/I) 3・O・トリノ
チa−ルプロパント177ク
リレート 2.0・ベンゾ
7エ/ン(BP) 0.14・トリブロ
モメチルフェニルスルホ
ン(BMPS) 0.06・4
.4′−ジエチルアミ/ベンゾフェノン(EAB)
0.012・2ノルカプトベン
ゾチアゾール(M
BT) 0.02・パラ
ノドキシ7エ/−ル 0.04φパラトルエン
スルホンアミド 0.5・ブリリアントグリーン
o、o o s・ロイコクリスタルバイ
オレット 0.03・メチルエチルケトン
台トルエン 2そして厚み2
5μ糟の無処理のPETフイルムを支持体フィルムとし
てその片面に可変ピッチバーコーターを75μmに設定
してこの紫外線硬化性樹脂組成物を塗布し、熱風乾燥機
によって80℃の条件で2分間乾燥して感光層を形成さ
せ、7オトレノストドライフイルムを作成した。感光層
の厚みは25μ慣であった。(Parts by weight) Half-esterified monostyrene/vinyltoluene/maleic acid/itaconic acid copolymer (molecular weight approximately 50,000 - OND Polymer VT/I manufactured by Okamoto Chemical Co., Ltd.) 3.O.trinothialpropane 177 acrylate 2.0・Benzo7ene/one (BP) 0.14・Tribromomethylphenylsulfone (BMPS) 0.06・4
.. 4'-diethylamide/benzophenone (EAB)
0.012・2-norcaptobenzothiazole (MBT) 0.02・paranodoxy7ethyl 0.04φ paratoluenesulfonamide 0.5・brilliant green o, o o s・leuco crystal violet 0.03・methyl ethyl ketone Toluene 2 and thickness 2
Using a 5μ thick untreated PET film as a support film, this ultraviolet curable resin composition was coated on one side using a variable pitch bar coater set to 75μm, and dried for 2 minutes at 80°C in a hot air dryer. A photosensitive layer was formed to prepare a 7-otrenost dry film. The thickness of the photosensitive layer was 25 μm.
次に35μm厚みの銅箔を貼り付けた鉄基材入りプラス
エポキシ積層板をデエボン社製A型ラミネーターに挿入
し、その上に感光層を密着させるように7オトレシスト
ドライフイルムを重ね、熱ロールの積Ma−ルに通して
積層したのち、支持体フィルムを剥がした。Next, the iron-based plus epoxy laminate with a 35 μm thick copper foil pasted was inserted into a Debon A-type laminator, and a 7-oto-resist dry film was layered on top of it so that the photosensitive layer was in close contact with the laminate, and then heated and rolled. The support film was peeled off after lamination was carried out through a lamination mall.
次に米国コライト社i1DMBL露光機の真空ポンプ用
電動機への電気配線を外し、露光機を運献し、パターン
マスクとしてネガパターンイ寸きのがラス乾板を感光層
の上に重ね、20抄開露光した。Next, the electrical wiring to the vacuum pump motor of the i1DMBL exposure machine manufactured by Colite Co., Ltd. (USA) was removed, the exposure machine was put into service, and a lath dry plate with the size of a negative pattern was placed on top of the photosensitive layer as a pattern mask. exposed.
オーク製作所製紫外線照度計(tJV−302)で測定
した露光面の照度は3 、5 mW/am2であり、霧
光積算量は70+mJ/c■2であると換t1.される
6次に1%炭酸ンーグ水溶8!(液温32℃)を60秒
問吹き付け、感光層の未硬化部分を溶解させて除去した
。The illuminance of the exposed surface measured with an ultraviolet light meter (tJV-302) made by Oak Seisakusho is 3.5 mW/am2, and the integrated amount of fog light is 70+mJ/c2. 6 Next, 1% carbonated water soluble 8! (liquid temperature: 32° C.) was sprayed for 60 seconds to dissolve and remove the uncured portion of the photosensitive layer.
こののち、塩化第二銅エツチングt(fi温50’C)
を4分間吹き付け、感光層の除去部分の銅箔面を溶解除
去して配線パターンを作成させ、さらに5%水酸化す)
+7ウム水溶t01L温40°C)を吹き付けて感光
層の硬化部分を除去し、プリント配線板を得た。After this, cupric chloride etching (fi temperature 50'C)
was sprayed for 4 minutes to dissolve and remove the copper foil surface where the photosensitive layer was removed to create a wiring pattern, and then 5% hydroxide)
The cured portion of the photosensitive layer was removed by spraying t01L (temperature: 40°C) dissolved in water to obtain a printed wiring board.
感光層は支持体フィルムによって覆われていず酸素(空
気)と接触する状態であるが、露光によって迅速にかつ
良好に硬化が進行し、またファインパターンで配線パタ
ーンが形成できるものであった。Although the photosensitive layer was not covered by the support film and was in contact with oxygen (air), the curing progressed rapidly and favorably upon exposure, and a fine wiring pattern could be formed.
以下の配合物を混合することによって紫外線硬化性!I
脂M成物を調製した。UV curable by mixing the following formulations! I
A Fat M product was prepared.
(重量部)
・メチルメタクリレート/ブチルア
クリレ−)/2エチルへキンルメ
タフリレート/アクリル酸の典型
合物(分子量約5万)3.0
・トリメチロールプロパントリアク
リ し − ト
2 、0・ベンゾフェノン(
BP) 0.08・トリブロモメチルフェ
ニルスルホ
ン(BMPS) 0.12・
4,4′−ノエチル7ミノベンゾフェノン(EAB)
0.007・2メルカプトベ
ンゾチアゾール(M
BT) 0.02・p−
t−ブチルカテコール 0.04・ノブチ
ル7タレート 0.5・マラカイトグリ
ーン 0.005・ロイコクリスタルバ
イオレフト 0.03・ポリエチレングリコールオ
レイル
エーテル 0.2・メチルエ
チルケトン 10番イソプロピルアルコ
ール 2上記紫外線硬化性樹脂組成物を用い
、実施例1と同様にして7オトレジストドライフイルム
を作成した。そしてこのフォトレノ久トドライフィルム
を用い、実施例1と同様にして銅箔張り鉄基打入9プ2
スエポキシ積層板に露光、現像、エツチング処理をして
、プリント配線板を得た。このものにあっても感光層は
支持体フィルムによって覆われていす酸素(空気)と接
触する状態であるが、露光によって迅速にかつ良好に硬
化が進行し、またファインパターンで配線パターンが形
成できるものであった。(parts by weight) ・Methyl methacrylate/butyl acrylate)/2-ethyl hequinyl methacrylate/typical compound of acrylic acid (molecular weight approximately 50,000) 3.0 ・Trimethylolpropane triacrylate
2,0 benzophenone (
BP) 0.08・Tribromomethylphenylsulfone (BMPS) 0.12・
4,4'-noethyl 7minobenzophenone (EAB)
0.007・2Mercaptobenzothiazole (MBT) 0.02・p-
t-Butylcatechol 0.04, butyl 7-thaletate 0.5, malachite green 0.005, leuco crystal bioleft 0.03, polyethylene glycol oleyl ether 0.2, methyl ethyl ketone No. 10 isopropyl alcohol 2 The above ultraviolet curable resin composition A 7-photoresist dry film was prepared in the same manner as in Example 1 using the following. Then, using this Photoreno-Kuto dry film, the copper foil-covered iron base was implanted in the same manner as in Example 1.
A printed wiring board was obtained by exposing, developing and etching the suede laminate. Even in this case, the photosensitive layer is covered with a support film and is in contact with oxygen (air), but curing progresses quickly and well by exposure, and fine wiring patterns can be formed. It was something.
[発明の効果1
上述のように本発明に係る紫外線硬化性樹脂組成物は、
待にその四元系に組み合わせた紫外線重合開始剤と増感
側の系の作用によって、酸素の存在下においても迅速に
紫外線硬化がなされろものであり、例えば7fトレノス
トドライフイルムの感光層をこの紫外線硬化性樹脂組成
物で形成させた場合において、酸素遮断のために支持体
フィルムで覆った状態で露光をおこなうような必!がな
く、ファインパターンで配線パターンを形成することが
可能になると共に工程の自動化が可能になるものである
。[Effect of the invention 1 As mentioned above, the ultraviolet curable resin composition according to the present invention has
The action of the ultraviolet polymerization initiator combined with the quaternary system and the sensitizing system enables rapid ultraviolet curing even in the presence of oxygen. When formed using this ultraviolet curable resin composition, it is necessary to perform exposure while covered with a support film to block oxygen. This makes it possible to form wiring patterns with fine patterns and to automate the process.
Claims (1)
及び/又はオリゴマー、 (C)紫外線重合開始剤と増感剤の系 の(A)(B)(C)を主成分とし、(C)が(イ)ベ
ンゾフェノン (ロ)4,4′−ジエチルアミノベンゾフェノン(ハ)
トリブロモメチルフェニルスルホン (ニ)2−メルカプトベンゾチアゾール の混合物であり、(イ)(ロ)(ハ)(ニ)の合計量が
(B)の5〜15重量%で、(イ)と(ロ)の重量和が
(ハ)と(ニ)の重量和よりも小さく、且つ(イ)対(
ロ)の重量比が10対1〜12対1であると共に(ハ)
対(ニ)の重量比が2対1〜10対1であることを特徴
とする紫外線硬化性樹脂組成物。 [2](A)充填ポリマーとしてのビニルトルエン・イ
タコン酸・マレイン酸の共重合物の半 エステル化物、 (B)不飽和二重結合を有するラジカル重合性モノマー
及び/又はオリゴマー、 (C)紫外線重合開始剤と増感剤の系 の(A)(B)(C)を主成分とし、(C)が(イ)ベ
ンゾフェノン (ロ)4,4′−ジエチルアミノベンゾフェノン(ハ)
トリブロモメチルフェニルスルホン (ニ)2−メルカプトベンゾチアゾール の混合物であり、(イ)(ロ)(ハ)(ニ)の合計量が
(B)の5〜15重量%で、(イ)と(ロ)の重量和が
(ハ)と(ニ)の重量和より同じか大きく、且つ(イ)
対(ロ)の重量比が10対1〜12対1であると共に(
ハ)対(ニ)の重量比が2対1〜10対1であることを
特徴とする紫外線硬化性樹脂組成物。[Claims] [1] (A) an acrylic compound as a filled polymer, (B) a radically polymerizable monomer and/or oligomer having an unsaturated double bond, (C) an ultraviolet polymerization initiator and a sensitizer The main components are (A), (B), and (C) of the system, and (C) is (a) benzophenone (b) 4,4'-diethylaminobenzophenone (c)
It is a mixture of tribromomethylphenylsulfone (d) 2-mercaptobenzothiazole, in which the total amount of (a), (b), (c), and (d) is 5 to 15% by weight of (B), and (a) and ( The sum of the weights of (b) is smaller than the sum of the weights of (c) and (d), and (a) vs.
The weight ratio of (b) is 10:1 to 12:1, and (c)
An ultraviolet curable resin composition characterized in that the weight ratio of (d) is from 2:1 to 10:1. [2] (A) Half-esterified copolymer of vinyltoluene, itaconic acid, and maleic acid as a filled polymer, (B) Radically polymerizable monomer and/or oligomer having an unsaturated double bond, (C) Ultraviolet light The main components are (A), (B), and (C) of a polymerization initiator and sensitizer system, and (C) is (a) benzophenone (b) 4,4'-diethylaminobenzophenone (c)
It is a mixture of tribromomethylphenylsulfone (d) 2-mercaptobenzothiazole, in which the total amount of (a), (b), (c), and (d) is 5 to 15% by weight of (B), and (a) and ( The sum of the weights of (b) is the same as or greater than the sum of the weights of (c) and (d), and (a)
The weight ratio of (b) is 10:1 to 12:1, and (
An ultraviolet curable resin composition characterized in that the weight ratio of (c) to (d) is from 2:1 to 10:1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26032084A JPS61138253A (en) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | Ultraviolet-hardenable resin composition |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP26032084A JPS61138253A (en) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | Ultraviolet-hardenable resin composition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61138253A true JPS61138253A (en) | 1986-06-25 |
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ID=17346374
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JP26032084A Pending JPS61138253A (en) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | Ultraviolet-hardenable resin composition |
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---|---|
JP (1) | JPS61138253A (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7718255B2 (en) | 2003-08-19 | 2010-05-18 | Nitto Denko Corporation | Cleaning sheets and method of cleaning with the same |
US7793668B2 (en) | 2000-06-06 | 2010-09-14 | Nitto Denko Corporation | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
US8460783B2 (en) | 2002-06-19 | 2013-06-11 | Nitto Denko Corporation | Cleaning sheets, transfer member having cleaning function, and method of cleaning substrate-processing apparatus with these |
-
1984
- 1984-12-10 JP JP26032084A patent/JPS61138253A/en active Pending
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