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JPS6071040A - 有害ガス吸着剤 - Google Patents

有害ガス吸着剤

Info

Publication number
JPS6071040A
JPS6071040A JP58179870A JP17987083A JPS6071040A JP S6071040 A JPS6071040 A JP S6071040A JP 58179870 A JP58179870 A JP 58179870A JP 17987083 A JP17987083 A JP 17987083A JP S6071040 A JPS6071040 A JP S6071040A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
activated carbon
iodine
gas
adsorbent
hydrides
Prior art date
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Granted
Application number
JP58179870A
Other languages
English (en)
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JPH0424094B2 (ja
Inventor
Hiroshi Nishino
西野　博
Norio Aibe
紀夫 相部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Takeda Pharmaceutical Co Ltd
Original Assignee
Takeda Chemical Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Takeda Chemical Industries Ltd filed Critical Takeda Chemical Industries Ltd
Priority to JP58179870A priority Critical patent/JPS6071040A/ja
Priority to US06/653,093 priority patent/US4578256A/en
Publication of JPS6071040A publication Critical patent/JPS6071040A/ja
Publication of JPH0424094B2 publication Critical patent/JPH0424094B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
    • B01J20/10—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography

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  • Inorganic Chemistry (AREA)
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  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、Ｂ　、Ｐ　、Ａｓ、　８ｂ、　８ｅの水素化
物の吸着剤に関する。
Ｂ２Ｈ６，ＰＨ３，ＡＢＨ３，ＳｂＨ３，Ｈ２Ｓｅ　な
どの水素化物は、半導体製造用材料ガス、くん族ガスな
どに、多量に使用されているが、微量でも人体に極めて
有害である。したがって、ガス中のこれら水素化物を効
率よく除去する吸着剤の出現が強く望まれている。
ガス中のＢ、Ｐ＋Ａｓ＋　Ｓｂ＋　Ｓｅの水素化物を除
去する方法として、酸化性溶液などによる薬液洗浄法あ
るいは塩化第二鉄を主剤とする吸着剤などを用いる吸着
法などが提案されているが、除去効果が悪く、問題であ
る。
本発明者らは、このような実情に鑑み、鋭意検討した結
果、活性炭にヨウ素、ヨウ素化合物、ＮＨ４゜Ａｇｌ　
Ａｌｌ　’Ｉ’Ｌ　Ｌ　Ｃｒ＋　Ｍｎ＋　Ｆｅｎ　Ｃｏ
＋　Ｈｌｔ　Ｃｕｔｚｎ、　ＣｔＬ　Ｐｂ＋　８ｎ　の
硫酸塩、硝酸塩を担持せしめることによって、ガス中の
Ｂ＋Ｐ＋Ａｓ、８ｂ。
Ｓｅ　の水素化物を非常に効率よく除去できることを見
出し、本発明を完成した。
すなわち本発明は、 １、活性炭に■ヨウ素および／またはヨウ素化合物の一
種以上および／ｌたは■ＮＨ４，Ａｓｓ　Ａｌ。
Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ＋　Ｍｎ＋　Ｆｅｎ　Ｇｏｏ　Ｉｔ、Ｃ
ｕｔ　Ｚｎ＋　ＣｃＬｐｂ、　Ｓｎの硫酸塩、硝酸塩の
一種以上を担持せしめてなるＡｌｌ　Ｂ＋　Ｐ＋　８ｂ
ま念はＢｅの水素化物の一種以上を除去するための吸着
剤 ２、Ａｓｓ　Ｂｌ　ｐ＋　Ｓｂｔたは８ｅの水素化物の
一種以上を含有する気体を、活性炭に■ヨウ素および／
またはヨウ素化合物の一種以上（以下第一成分というこ
ともある）および／または■ＮＨ４＋　Ａｇ。
Ａｌｌ　’［’Ｌ　Ｌ　ｃｒ、　Ｍｎ＋　Ｆｅｎ　Ｇｏ
ｔ　ＭＬ　Ｃｕｔ　Ｚｎ＋Ｃ（１＋　Ｐｔ）＋　Ｓｎの
硫酸塩、硝酸塩の一種以上（以下第二成分ということも
ある）を担持せしめてなる吸着剤に接触させることを特
徴とする該気体からＡｓｓ　Ｂ＋　Ｐ、　ＳｂまたはＢ
ｅの水素化物の一種以上を除去する方法 である。
本発明に用いられる活性炭は、石炭、コークス。
木次、ヤシガラ、樹脂などを原料として公知の方法によ
シ製造されたもので、その比表面積が、２００−２．０
０（ｌｒ　／ｆのものであればいかなるものでもよく、
その形状は、たとえば球状１円柱状、破砕状、粉末状、
繊維状などガスの処理方法に応じて適当なものが使用さ
れる。
本発明で使用される第一成分の具体例としては、たとえ
ばＬ１工＋　ＮａＩ、　ＫＩ＋　Ｒｂ工＋　ＣｅＩ、　
Ｂ６エ２゜ＭｇＩ２＋　ＣｅＩ２．Ｓｒ工２＋　Ｂａ工
２．ＮＨ４Ｉ、　Ｔ（Ｉなどのヨウ化物、Ｈ工０３．　
ＮＨ４ＩＯ３，Ｎａ工０３．に工０３などのヨウ素酸お
よびその塩、Ｈ工０４＋　１（Ｈ４Ｉ０４゜Ｈａ工０４
．　［１０４などの過ヨウ素酸およびその塩。
工２０５．工０２などの酸化ヨウ素などが挙げられる。
本発明で使用される第二成分の具体例としては、たとえ
ば（ＮＨ４）２８０４．　Ａｇ２５ｏ４．　ＡＩ、（８
０４）３゜Ｔｉ２（３０４）３　、　ＶＯ３Ｏ４、Ｃｒ
２（８０４）３　ｌＭｎＳＯ４。
Ｆｅ３Ｏ４＋　Ｆｅ２（８０４）３．　Ｃｏ３Ｏ４，Ｎ
ｉＳＯ４＋　ＣｕＳＯ４゜Ｚｎ８０４．　ＣｄＳＯ４，
ＰｂＳＯ４，ＳｎＳＯ４，ＮＨ４ＮＯ３，ＡｇＮＯ３゜
Ａｌ（Ｎｏ３）３．０ｒ（ＮＯ３）３．　Ｍｎ（ＮＯ３
）２．Ｆｅ（ＮＯ３）ｚ＋Ｆｅ（ＮＯ３）３　、　Ｃｏ
（ＮＯ３）２．　Ｎｉ（ＮＯ３）２．　Ｃｕ（［０３）
２＋Ｚｎ（ＮＯ３）２．　Ｃｄ（ＮＯ３１２，Ｐｂ（Ｎ
Ｏ３）２などが挙げられる。
本発明の吸着剤は、活性炭に各成分を担持せしめたもの
であシ、各成分を水（酸またはアルカリ水溶液を含む）
、各種の溶媒（メタノール、エタノールなどのアμコー
μ類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類な
ど）に溶解または懸濁させた液を活性炭に含浸または散
布することにより、また必要によりこれを約１３０℃以
下の温度で乾燥するかまたは１３０℃以上の温度で焼成
することにより製造することができる。
二成分以上を活性炭に添着する場合には、二成分以上を
同時に担持してもよく、また個別に担持してもよい。こ
の場合、担持せしめる順序はいずれでもよい。
活性炭中の第一成分および第二成分の担持量は、活性炭
１ｆ当勺、いずれも５００１ｇ以下（ただし硫酸銀、硝
酸銀は２５０ｇＩｖ以下）、好ましくは５〜４ＱＯＩＩ
ＩＩ（ただし硫酸銀、硝酸銀は１〜１５０１ｑ）である
。
本発明の吸着剤を用いて、ガス中のＢ、Ｐ。
Ａｓｓ　Ｓｂｔ　Ｂｅの水素化物を除去するには、これ
ら水素化物を含有するガスと本発明の吸着剤とを接触さ
せればよい。
接触温度は１５０°Ｃ以下、好ましくは一１０〜１２０
°Ｃ１より好ましくは０〜１００℃で、接触圧力は１０
　ａｔｍ以下、好ましくは０　、０１〜５ａｔｍで、接
触時間は２５°Ｃ，ｌａｔｍ換算で１／２０−１００秒
、好ましくは１７１０〜５０秒である。
また、本吸着剤とＢ　ＩＰ　＋　Ａｓｓ　Ｓｂｔ　８ｅ
の水素化物含有ガスとの接触は、たとえば固定層、移動
層、流動層などを用いて行なうことができる。
以下に実施例を記載して本発明をより具体的に説明する
。
実施例Ｉ ＢＥＴ比表面積１１１５０２７７　７ｆｌの１６〜２４
ｍｅｓｈの活性炭ＡＱに所定量のヨウ素、ヨウ素化合物
および／またはＮＨ４，Ａｓｓ　Ａｌ、　Ｔｉｔ　Ｌ　
Ｃｒ＋Ｍｎ＋　Ｆｅｎ　Ｃｏ、　Ｎｉ＋　ｚｎ、　Ｃｄ
＋　Ｐｂ＋　Ｓｎの硫酸塩。
硝酸塩を溶解または懸濁した水溶液を均一に散布し、１
１０℃で乾燥した。
このようにして得られた種々の咬着剤の各１５犀／ｅｌ
、６ｃＩＩ−のガラス製カヲムに充填し、ＡｓＨ３−１
５ｐｐｍまたはＰＨ３−１５Ｉ）］）ｍ含有の３０°Ｃ
の大気（相対湿度６０％）を線流速４　ＱｃＭ／　Ｓｏ
ｎで流通し、Ａ　ｓ　Ｈ３またはＰＨ３の破過吸着テス
トをそれぞれ単独で行ない各時間におけるＡｓＨ３また
はＰＨ３の除去率を実測し、その結果を第１表に示した
。
−１１− 〇　ｚ ｉ　−Ｃｏ　Ｌｎ　ｃＱｏ　−１’−ｅｌ　Ｃ１■ωω
ωロトのトロ の　呂　−− 項へ ｐ″！ ぐ　腟の′。ｅ：＋　（：１００″０５０ト■ロロ。■
トの。
ＡＰ！　−＝−− ｙ　璽〜、、〜＝〜〜−〜〜 ｔｔＯロロ０ロロロロロ ゆ窮−一一一一一一一− Ｑ　＠Ｉ’−−”　ｕ”＋　００１７’）。。。
の愛トω０１■■トロトロ 国　呂　− の　へ ■ 、Ｑ冒 ｔ　ｃｏ　ＣＦ）。口。０００口 Ａ　呂　−−ｍ− − ８０００口０ロロロロ 愛ｔＯｏ口０ロロロロロ ゆローーーーーーーーー ば） Φ＠、、、、苧や？２゜Ｓｏ。
リ　Ａ９　目 １ぐｂ二λ♂丹乏５γ１ １２一 実施例２ 実施例１の吸着剤Ａ。、Ａ３．Ａ６．Ａ工。、Ａ工、。
Ｂ２　＋Ｂ７　＋ＢＢ　ｗＢｌｌ　ｌＣ１ｌＣ７ｌＣ１
２＋Ｃ１４＋Ｃ１７＋　Ｄ３　＋　ＤＢ　およびＢ１３
の各２０ｇ／を１．６ｃＩＩφのガラス製カラムに充填
し、Ｂ２Ｈ６−１０ｐｐｍ　。
Ｈ２Ｓ　ｅ　−１０ｐｐｔ＋１または８ｂＨ３−１０ｐ
ｐｍ含有の３０℃の大気（相対湿度６０％）を線流速３
０膏伝で流過し、Ｂ２Ｈ６，■２Ｓｅまたはｓ’ｂａ３
の破過吸着テストをそれぞれ単独で行ない、Ｂ２Ｈ６＋
）Ｉ２８ｅまたはＳｂＨ３がカラムからリークするまで
の時間（それぞれの除去率が９５％に達するまで鋼量）
をめ、結果を第２表にまとめた。
（以下余白）

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、活性炭に■ヨウ素および／またはヨウ素化合物ノ１
    ｌｆｔ以上オ、１：ヒ／　’！タハ（ａ’）ＮＨ４，Ａ
    ｇ、　Ａｌ。 Ｔｉ、Ｖ＋　Ｃｒ＋　Ｍｎ＋　Ｆｅｎ　Ｃｏ＋　Ｎｉ＋
    　Ｃｕ＋　Ｚｎ＋　Ｃｄ＋Ｐｂ＋　Ｓｎの硫酸塩、硝酸
    塩の一種以上を担持せしめてなるＡｓ＋　Ｂ＋　Ｐ、　
    ８ｂまたは８ｅの水素化物の一種以上を除去するための
    吸着剤 ２、Ａｓ＋　ＢＩ　ＰＩ　ＳｂまたはＳｅの水素化物の
    一種以上を含有する気体を、活性炭に■ヨウ素および／
    またはヨウ素化合物の一種以上および／または（ｇｌＮ
    ａ４　ｒ　Ａｇｌ　Ａｌｌ　Ｔｉｔ　Ｖ＋　Ｃｒ＋　Ｍ
    ｎ＋　Ｆｅ２　Ｃ０ＩＮｉ＋　Ｃｕ＋　Ｚｎ＋　Ｃｄ＋
    　ｌＰｂ＋　Ｓｎの硫酸塩、硝酸塩の一種以上を担持せ
    しめてなる吸着剤に接触させることを特徴とする該気体
    からＡ８＋　Ｂ＋　ＰＨ８ｂ　またはｓｅの水素化物の
    一種以上を除去する方法
JP58179870A 1983-09-27 1983-09-27 有害ガス吸着剤 Granted JPS6071040A (ja)

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JPH0424094B2 JPH0424094B2 (ja) 1992-04-24

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