JPS60181267A - 金属溶融装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はるつぼで金属全容融する金属溶融装置に関す
る。

〔従来技術〕

従来、常温固体状の物質を加熱して蒸発させ、被蒸着材
上に蒸着して薄膜を形成する真空蒸着においては、特公
昭５４−９５９２号公報に示されているように、常温固
体状の物質を人ねたるつぼの外側に加熱手段を配置する
構成であった。即ち、第１図において、（１］は噴出孔
（ｌａ）が設けらねたるつぼで、常温固体状の余端部材
が収容される。（２）は電源、（３）にるつぼ（１）全
囲続し１こフィラメントからなる加熱手段で、るつぼｉ
ｌｌ全囲繞するように配置さねている。なお、加熱手段
：３）としては、ジュール加熱によるもの、あるいけ加
速させた電−子ケるつぼ（１）に衝突させて、電子の運
動エネルギーを熱に変換させるもの等が採用さねでいる
。

上記構成によると、加熱手段の外周部から放出される熱
敞けるつぼの加熱には寄与しないので、熱損失が大きい
という欠点があった。

〔発明の概要〕

この発明け、るつぼで加熱手段を囲繞し、加熱手段と対
向した而とけ反対の而の小つぼの構成材料を断熱材とす
ることに工って、加熱手段から発生する熱叫を効率工〈
利用できる金属溶融装置を提供する。

〔発明の実柿例〕

以下、図について説明するっ第２図において、１４）は
フイシン　ントからなる加熱手段、（５）は金属蒸気の
噴出孔（５ａ）　Ｔｈ有するるつぼで、内側容器（６）
と内側容器（６）より断熱性の大きな材料でつくらｔ′
また外側容器（７）とから構成されている。断熱材とし
ては、例えば、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、ム
ーライト、ＢＮ、ｐＢｙ等のセラミックである。（８）
は電源で、加熱手段：４）上置側容器（６）との間に接
続されている。

次に動作を説明するう第２図において、加熱手段１４１
で内１１１１１容器（６）全加熱すると、加熱手段１４
）から発生した熱量のＩよとんどが内１ｊｌ！ｌ谷器１
６１　ｆｔ伝伝導−で、るつぼ（５１内の常温固体状の
物質を加熱する。そして、物質全加熱した熱量の一部は
外側容器（７）を介して外界に放散される。

上記央怖例において、るつぼ（５１は複数個に分割して
も同様の効果が期待される。

〔発明の効果〕

この発明によると、加熱手段をるつぼで囲繞し、るつぼ
の加熱手段と対向ｌ〜た而とは反対の面を加熱手段と対
向した面の材料より断熱性の高い材料で構成することに
よって、加熱手段から発生する熱量のほとんど全るつぼ
内に収容さ７″ｌた常温固体状の物質の加熱に利用でき
るので、熱損失全低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図に従来の金屑浴融装置の構成図、第２１′Ａはこ
の発明の一実施例ケ示す構成図である。 図において、（４）は加熱手段、（５１はるつぼである
。 代理人　大岩増雄 ○　ｏｏｏ　。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｉｌ＋　金属全溶融させる加熱手段をるつぼで囲続し、
   上記るつぼの上記７１Ｄ熱手段と対向した面とは反対の
   而の上記るつぼケ断熱材で構成した金属溶融装置。 （２）　るつぼは複数個で構成されていること全特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の金属溶融装置。