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JPS60136048U - 走査電子顕微鏡装置 - Google Patents

走査電子顕微鏡装置

Info

Publication number
JPS60136048U
JPS60136048U JP20193384U JP20193384U JPS60136048U JP S60136048 U JPS60136048 U JP S60136048U JP 20193384 U JP20193384 U JP 20193384U JP 20193384 U JP20193384 U JP 20193384U JP S60136048 U JPS60136048 U JP S60136048U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron microscope
scanning electron
microscope equipment
sealing means
vacuum sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20193384U
Other languages
English (en)
Inventor
上原 勝景
高野 勇作
廣松 一男
Original Assignee
三菱重工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱重工業株式会社 filed Critical 三菱重工業株式会社
Priority to JP20193384U priority Critical patent/JPS60136048U/ja
Publication of JPS60136048U publication Critical patent/JPS60136048U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の電子顕微鏡の縦断面図、第2図は本考案
の電子顕微鏡の縦断面図である。 1:鏡体枠、2:電子銃、3:電子線、4:集束レンズ
、5:対物レンズ、6:電子線走査コイル、7:非点収
差補正用コイル、10:2次電子線、11:2次電子線
検出器、12:真空引き口、14:鏡体下部、15:鏡
体枠開放端、16:真空シール手段、17:対面台座、
18二球面台座開ロ部、19:真空シール手段、2o:
被検体。 H区II区1〜″ 02− 第 t 図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 鏡体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、
    同開放端に配設された真空シール手段と、同真空シール
    手段を介して上記鏡体枠を載置するとともに中央部には
    電子線を通過する開口部をそなえた球面台座と、同球面
    台座の一側に配設された真空シール手段とをそなえたこ
    とを特徴とする走査顕微鏡装置。
JP20193384U 1984-12-27 1984-12-27 走査電子顕微鏡装置 Pending JPS60136048U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20193384U JPS60136048U (ja) 1984-12-27 1984-12-27 走査電子顕微鏡装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20193384U JPS60136048U (ja) 1984-12-27 1984-12-27 走査電子顕微鏡装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60136048U true JPS60136048U (ja) 1985-09-10

Family

ID=30764180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20193384U Pending JPS60136048U (ja) 1984-12-27 1984-12-27 走査電子顕微鏡装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60136048U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014157772A (ja) * 2013-02-18 2014-08-28 Horon:Kk 走査型電子顕微鏡および検査装置
JP2018092952A (ja) * 2018-03-15 2018-06-14 株式会社ホロン 走査型電子顕微鏡および検査装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52149062A (en) * 1976-06-07 1977-12-10 Hitachi Ltd Scanning electronic microscope
JPS53120257A (en) * 1977-03-30 1978-10-20 Hitachi Ltd Scan-type electronic microscope

Patent Citations (2)

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