JPS60136048U - 走査電子顕微鏡装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPS60136048U JPS60136048U JP20193384U JP20193384U JPS60136048U JP S60136048 U JPS60136048 U JP S60136048U JP 20193384 U JP20193384 U JP 20193384U JP 20193384 U JP20193384 U JP 20193384U JP S60136048 U JPS60136048 U JP S60136048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- microscope equipment
- sealing means
- vacuum sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の電子顕微鏡の縦断面図、第2図は本考案
の電子顕微鏡の縦断面図である。 1:鏡体枠、2:電子銃、3:電子線、4:集束レンズ
、5:対物レンズ、6:電子線走査コイル、7:非点収
差補正用コイル、10:2次電子線、11:2次電子線
検出器、12:真空引き口、14:鏡体下部、15:鏡
体枠開放端、16:真空シール手段、17:対面台座、
18二球面台座開ロ部、19:真空シール手段、2o:
被検体。 H区II区1〜″ 02− 第 t 図
の電子顕微鏡の縦断面図である。 1:鏡体枠、2:電子銃、3:電子線、4:集束レンズ
、5:対物レンズ、6:電子線走査コイル、7:非点収
差補正用コイル、10:2次電子線、11:2次電子線
検出器、12:真空引き口、14:鏡体下部、15:鏡
体枠開放端、16:真空シール手段、17:対面台座、
18二球面台座開ロ部、19:真空シール手段、2o:
被検体。 H区II区1〜″ 02− 第 t 図
Claims (1)
- 鏡体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、
同開放端に配設された真空シール手段と、同真空シール
手段を介して上記鏡体枠を載置するとともに中央部には
電子線を通過する開口部をそなえた球面台座と、同球面
台座の一側に配設された真空シール手段とをそなえたこ
とを特徴とする走査顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20193384U JPS60136048U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 走査電子顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20193384U JPS60136048U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 走査電子顕微鏡装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60136048U true JPS60136048U (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=30764180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20193384U Pending JPS60136048U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 走査電子顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60136048U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014157772A (ja) * | 2013-02-18 | 2014-08-28 | Horon:Kk | 走査型電子顕微鏡および検査装置 |
JP2018092952A (ja) * | 2018-03-15 | 2018-06-14 | 株式会社ホロン | 走査型電子顕微鏡および検査装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52149062A (en) * | 1976-06-07 | 1977-12-10 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
JPS53120257A (en) * | 1977-03-30 | 1978-10-20 | Hitachi Ltd | Scan-type electronic microscope |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP20193384U patent/JPS60136048U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52149062A (en) * | 1976-06-07 | 1977-12-10 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
JPS53120257A (en) * | 1977-03-30 | 1978-10-20 | Hitachi Ltd | Scan-type electronic microscope |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014157772A (ja) * | 2013-02-18 | 2014-08-28 | Horon:Kk | 走査型電子顕微鏡および検査装置 |
JP2018092952A (ja) * | 2018-03-15 | 2018-06-14 | 株式会社ホロン | 走査型電子顕微鏡および検査装置 |
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