JPS60136046U - 走査電子顕微鏡装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPS60136046U JPS60136046U JP20193184U JP20193184U JPS60136046U JP S60136046 U JPS60136046 U JP S60136046U JP 20193184 U JP20193184 U JP 20193184U JP 20193184 U JP20193184 U JP 20193184U JP S60136046 U JPS60136046 U JP S60136046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens frame
- vacuum sealing
- sealing means
- electron microscope
- microscope equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の電子顕微鏡の縦断側面図、第２図は本考
案の電子顕微鏡の一実施例の縦断側面図、第３図は同上
の平面図である。 １：鏡木枠、２：電子銃、３：電子線、４：集束レンズ
、５：対物レンズ、６：電子線走査コイル、７：非点収
差補正用コイル、１０：２次電子線、１１：２次電子線
検出器、１２：真空引き口、１５：鏡体枠開放端、１６
：リングパツキン、１７：視野移動台、１８：視野移動
台開口部、１９：ネジ、２０：四角状パツキン、２１：
被検体、２２：締付バンド固定具、２３：締付バンド、
２４：締付用ボルト。・
案の電子顕微鏡の一実施例の縦断側面図、第３図は同上
の平面図である。 １：鏡木枠、２：電子銃、３：電子線、４：集束レンズ
、５：対物レンズ、６：電子線走査コイル、７：非点収
差補正用コイル、１０：２次電子線、１１：２次電子線
検出器、１２：真空引き口、１５：鏡体枠開放端、１６
：リングパツキン、１７：視野移動台、１８：視野移動
台開口部、１９：ネジ、２０：四角状パツキン、２１：
被検体、２２：締付バンド固定具、２３：締付バンド、
２４：締付用ボルト。・
Claims (1)
- 鏡体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、
同開放端に配設された真空シール手段、と、同真空シー
ル手段を介して上記鏡体枠を載置するとともに中央部に
は電子線を通過する開口部を側部には上記鏡体枠の移動
手段をそなえた視野移動台と、同視野移動台の一側に被
検体試料の曲面に接するよう配設された真空シール手段
と、同真空シール手段を上記被検体試料の曲面に締着固
定する手段とをそなえたことを特徴とする走査型、
子顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20193184U JPS60136046U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 走査電子顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20193184U JPS60136046U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 走査電子顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136046U true JPS60136046U (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=30764177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20193184U Pending JPS60136046U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 走査電子顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136046U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52149062A (en) * | 1976-06-07 | 1977-12-10 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP20193184U patent/JPS60136046U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52149062A (en) * | 1976-06-07 | 1977-12-10 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
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