JPS60135564A - 耐摩耗性金属摺動部材 - Google Patents
耐摩耗性金属摺動部材Info
- Publication number
- JPS60135564A JPS60135564A JP24350083A JP24350083A JPS60135564A JP S60135564 A JPS60135564 A JP S60135564A JP 24350083 A JP24350083 A JP 24350083A JP 24350083 A JP24350083 A JP 24350083A JP S60135564 A JPS60135564 A JP S60135564A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sliding
- metal
- sliding member
- vapor deposition
- wear
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/24—Brasses; Bushes; Linings with different areas of the sliding surface consisting of different materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属接触する摺動面に耐摩耗処理を施（−た金
属摺動部材、特に金属摺動部材の摺動面構造に関する。
属摺動部材、特に金属摺動部材の摺動面構造に関する。
回転軸とその軸受あるいは工作機械のテーブル摺動面な
どのように１機械構造物で互いに金属接触する部分は多
い。金属どおしを互いに接触させて相対運動させると摩
擦抵抗が生じ、これが摺動面を摩耗させる原因となる。
どのように１機械構造物で互いに金属接触する部分は多
い。金属どおしを互いに接触させて相対運動させると摩
擦抵抗が生じ、これが摺動面を摩耗させる原因となる。
この摩擦抵抗はせん断項とはシおこし項の和で表わされ
る。摩擦抵抗を小さくするには各々の項を小さくしなけ
ればならない。ここでほりおこし項を小さくするとは表
面あらさの侵入深さ小さくすることであり、表面あらさ
の侵入深さは、互いに接触する組合せ材料の硬さを犬に
すると防げる。結局、はりおこ１−項を小さくすること
は組合せ材料の硬さを大にすることである。
る。摩擦抵抗を小さくするには各々の項を小さくしなけ
ればならない。ここでほりおこし項を小さくするとは表
面あらさの侵入深さ小さくすることであり、表面あらさ
の侵入深さは、互いに接触する組合せ材料の硬さを犬に
すると防げる。結局、はりおこ１−項を小さくすること
は組合せ材料の硬さを大にすることである。
一方、せん断項は、Ｆτ＝Ａ・τで表わされ、これを小
さくするには、明らかに接触面積Ａとせん断応力τをで
きるだけ小さくすることが必要である。しかしこれは前
述のほりおこし項を小さくすることに対して矛盾するこ
とであり、また多くの金属材料では不可能なことである
。つまり、せん断強さの小さい金属材料を選ぶと、それ
は軟かい金属であり、はυおこし項を小さくすることに
：逆行し、また与えられた荷重に対して接触面積Ａも犬
キくなる。このように摩擦抵抗を決定するふたつの要素
、はりおこし項とせん断項とは相反する性質のものであ
り、この両者を同時に満足させる単−の金属を得ること
は難しい。
さくするには、明らかに接触面積Ａとせん断応力τをで
きるだけ小さくすることが必要である。しかしこれは前
述のほりおこし項を小さくすることに対して矛盾するこ
とであり、また多くの金属材料では不可能なことである
。つまり、せん断強さの小さい金属材料を選ぶと、それ
は軟かい金属であり、はυおこし項を小さくすることに
：逆行し、また与えられた荷重に対して接触面積Ａも犬
キくなる。このように摩擦抵抗を決定するふたつの要素
、はりおこし項とせん断項とは相反する性質のものであ
り、この両者を同時に満足させる単−の金属を得ること
は難しい。
本発明は、このような問題を解決し、金属摺動面の表面
処理により摩擦力の軽減および円滑な摺動接触がもたら
され、耐摩耗性に富んだ金属摺動部材、特にその摺動面
構造を提供すること全目的とするものである。
処理により摩擦力の軽減および円滑な摺動接触がもたら
され、耐摩耗性に富んだ金属摺動部材、特にその摺動面
構造を提供すること全目的とするものである。
この目的を達成するために、本発明は、互いに摺動接触
する金属部材のうち少なくとも一方の部材の摺動面に、
ＴｉＮ、Ｔｉｃ等の硬質材料とＡ１□。
する金属部材のうち少なくとも一方の部材の摺動面に、
ＴｉＮ、Ｔｉｃ等の硬質材料とＡ１□。
Ａｇ ｒ Ｍｏ Ｓ２等の固体潤滑に富む材料とを区分
けしてスパッタ蒸着し、この硬質材料蒸着部と固体潤滑
に富む潤滑材料蒸着部とによるまだら状パターンの蒸着
面を前記摺動面上に形成したものである。
けしてスパッタ蒸着し、この硬質材料蒸着部と固体潤滑
に富む潤滑材料蒸着部とによるまだら状パターンの蒸着
面を前記摺動面上に形成したものである。
以下、本発明を、図面を参照しながら、実施例について
説明する。
説明する。
第１図は本発明の実施例に係る金属摺動部材を、その摺
動面に対（〜で垂直な面で裁断した部分的な断面図であ
り、第２図はその摺動面の平面図である。なお、第１図
は第２図の１−１線に沿った断面図である。まず金属部
材１の表面（摺動面）に。
動面に対（〜で垂直な面で裁断した部分的な断面図であ
り、第２図はその摺動面の平面図である。なお、第１図
は第２図の１−１線に沿った断面図である。まず金属部
材１の表面（摺動面）に。
前述したＴｉＮ（窒化チタン） 、 Ｔｉｃ （炭化チ
タン）等の硬い材料２をスポット状にスパッタ蒸着し、
その残りの領域に、Ａｕ（金）、Ａ□（銀）あるいけＭ
ｏ５２（硫化モリブデン）等の如き固体潤滑に富んだ材
料３をスパッタ蒸着し、これらの蒸着表面を平滑に仕上
げる。なお、材料２と材料３の蒸着パターンを逆にして
材料３’＆スポツト状に蒸着し、硬質材料２をその残ｐ
の領域に埋めつくすように蒸着してもよい。このような
蒸着パターンは上述以外にも種々のパターンが採用され
得る。第３図ないし第５図はいずれも他の蒸着パターン
例を示は層状（第５図）に区分されて蒸着されていれば
よく、本発明では、このような２種類の材料による蒸着
パターンを、［まだら状パターン」と称している。摩擦
軽減ならびに耐摩耗性に効果的なまだら状パターンおよ
び２材料の組み合せは、金属部材の使用箇所、摺動ない
し荷重などの態様によって適宜実験的に定められる。
タン）等の硬い材料２をスポット状にスパッタ蒸着し、
その残りの領域に、Ａｕ（金）、Ａ□（銀）あるいけＭ
ｏ５２（硫化モリブデン）等の如き固体潤滑に富んだ材
料３をスパッタ蒸着し、これらの蒸着表面を平滑に仕上
げる。なお、材料２と材料３の蒸着パターンを逆にして
材料３’＆スポツト状に蒸着し、硬質材料２をその残ｐ
の領域に埋めつくすように蒸着してもよい。このような
蒸着パターンは上述以外にも種々のパターンが採用され
得る。第３図ないし第５図はいずれも他の蒸着パターン
例を示は層状（第５図）に区分されて蒸着されていれば
よく、本発明では、このような２種類の材料による蒸着
パターンを、［まだら状パターン」と称している。摩擦
軽減ならびに耐摩耗性に効果的なまだら状パターンおよ
び２材料の組み合せは、金属部材の使用箇所、摺動ない
し荷重などの態様によって適宜実験的に定められる。
このような２材料によるまだら状蒸着パターンを施（〜
た摺動面は、硬い材料の蒸着部分で荷重を受け、他方の
潤滑性材料の蒸着部分で残りの領域部分全域を覆って円
滑な接触摺動を行う。したがって全体として摩擦抵抗が
低減し、耐摩耗性の金属摺動部材が得られる。なお、互
いに接触する両金属部材の摺動面にともに上述の蒸着処
理を施してもよいが、いずれか一方にのみ上述の処理を
施し、他方の金属部材の摺動面は通常の表面処理による
硬い表面に形成してもよい。蒸着パターン表面の作図お
よび成牛は電子部品製造の分野で用いられている方法が
利用され得る。本発明による金属摺動部材は平面接触、
円筒面ないし球面接触するあらゆる摺動接触部分に適用
し得る。
た摺動面は、硬い材料の蒸着部分で荷重を受け、他方の
潤滑性材料の蒸着部分で残りの領域部分全域を覆って円
滑な接触摺動を行う。したがって全体として摩擦抵抗が
低減し、耐摩耗性の金属摺動部材が得られる。なお、互
いに接触する両金属部材の摺動面にともに上述の蒸着処
理を施してもよいが、いずれか一方にのみ上述の処理を
施し、他方の金属部材の摺動面は通常の表面処理による
硬い表面に形成してもよい。蒸着パターン表面の作図お
よび成牛は電子部品製造の分野で用いられている方法が
利用され得る。本発明による金属摺動部材は平面接触、
円筒面ないし球面接触するあらゆる摺動接触部分に適用
し得る。
第１図は本発明に係る金属摺動部材の部分的な縦断面図
、第２図は第１図に示す部材の摺動面の平面図、第３図
ないし第５図はいずれも本発明に係る摺動面のまだら状
蒸着パターンの例を示した図である。 １・・・金属部材、 ２・・・硬い材料、３・・・固体
潤滑に富んだ材料。 代理人 弁理士 染用利吉（ほか１名）第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
、第２図は第１図に示す部材の摺動面の平面図、第３図
ないし第５図はいずれも本発明に係る摺動面のまだら状
蒸着パターンの例を示した図である。 １・・・金属部材、 ２・・・硬い材料、３・・・固体
潤滑に富んだ材料。 代理人 弁理士 染用利吉（ほか１名）第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 互いに摺動接触する金属部材の少なくとも一方の部材の
摺動面に、ＴｉＮ、ＴｉＣ等の硬質材料とＡｕ ｖ Ａ
ｇ ＋ Ｍ（１８２等の固体潤滑に富む材料とを区分け
１−でスパッタ蒸着し、この硬質材料蒸着部および固体
潤滑に富む潤滑材料蒸着部によるまだら状パターンの蒸
着面を前記摺動面上に形成したことを特徴とする金属摺
動部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24350083A JPS60135564A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 耐摩耗性金属摺動部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24350083A JPS60135564A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 耐摩耗性金属摺動部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135564A true JPS60135564A (ja) | 1985-07-18 |
Family
ID=17104813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24350083A Pending JPS60135564A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 耐摩耗性金属摺動部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60135564A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5462362A (en) * | 1993-04-30 | 1995-10-31 | Nsk Ltd. | Wear resisting slide member |
| US5685797A (en) * | 1995-05-17 | 1997-11-11 | United Technologies Corporation | Coated planet gear journal bearing and process of making same |
| US6455475B1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-09-24 | Ebara Corporation | Sliding member and process for producing the same |
| WO2006095907A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| AT510190B1 (de) * | 2010-07-30 | 2012-05-15 | Miba Gleitlager Gmbh | Verfahren zum herstellen eines mehrschichtigen gleitlagers |
| WO2012111530A1 (ja) * | 2011-02-15 | 2012-08-23 | 株式会社神戸製鋼所 | 摺動部材およびその製造方法 |
| CN109468602A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-15 | 东北大学 | 一种TiAlTaN/WS自润滑复合涂层及其制备方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS527270A (en) * | 1975-07-07 | 1977-01-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Watch parts of copper alloy |
| JPS5538925A (en) * | 1978-09-07 | 1980-03-18 | Seiko Epson Corp | Parts for watch |
| JPS58181775A (ja) * | 1982-02-27 | 1983-10-24 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 炭素を含む摺動層およびこの摺動層を有する工具 |
| JPS6071597A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 摺動用機構部品 |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP24350083A patent/JPS60135564A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Cited By (14)
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| WO2006095907A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | The Circle For The Promotion Of Science And Engineering | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| JPWO2006095907A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2008-08-21 | 国立大学法人東京工業大学 | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
| JP4711265B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2011-06-29 | 国立大学法人東京工業大学 | 基体上にセグメント構造硬質膜と固体潤滑層または流体状潤滑層を含む複合摺動構造物、及びそれらの製造方法 |
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| US20130309522A1 (en) * | 2011-02-15 | 2013-11-21 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Sliding member and method for manufacturing the same |
| US9976209B2 (en) | 2011-02-15 | 2018-05-22 | Kobe Steel, Ltd. | Sliding member and method for manufacturing the same |
| CN109468602A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-15 | 东北大学 | 一种TiAlTaN/WS自润滑复合涂层及其制备方法 |
| CN109468602B (zh) * | 2018-12-21 | 2020-06-23 | 东北大学 | 一种TiAlTaN/WS自润滑复合涂层及其制备方法 |
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