JPS5951329A

JPS5951329A - 差圧発信器

Info

Publication number: JPS5951329A
Application number: JP58146263A
Authority: JP
Inventors: ロバート・シー・ホワイトヘツド・ジユニア
Original assignee: Honeywell Inc
Current assignee: Honeywell Inc
Priority date: 1976-05-03
Filing date: 1983-08-10
Publication date: 1984-03-24
Also published as: DE2718931A1; CA1076832A; JPS52148181A; JPS5737019B2; US4072058A; GB1573030A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は圧力を電気信号に変換して発信する発信器に関
し、特に２つの流体圧力の差圧に対応した電気信号を発
生する差圧検出素子を具備する発信器に関する。この種
の発信器は、一般に差圧発信器と呼ばれている。更に詳
しく云えば、本発明は該差圧検出素子に流体圧力を伝達
するためにバリヤ・ダイヤフラムと封入液とを用いる差
圧発信器に関する。

このような差圧発信器は公知である。この種の差圧発信
器の一例は米国特許第３７１２１４３号に開示されてお
シ、全動作範囲にわたって微小な変位を行う検出素子、
すなわち半導体歪感知ウエーファを具備する。他の一例
は米国特許第３６１８３９０号に開示されておシ、全動
作範囲にわたって比較的大きな変位を行う検出素子を具
備する。

これら差圧発信器は、いずれも２個のバリヤ拳ダイヤフ
ラムを具備するヘッド部を有する。１つのダイヤスラム
の一方側の室は第１の圧力を有する第１の流体で圧力を
印加され、他の１つのダイヤフラムの一方側の室は第２
の圧力を有する第２の流体で圧力を印加される。これら
２つの流体（以下導入流体と呼ぶ。）は、例えばプロセ
ス流路中のオリフィスの両側から取シ出されたプロセス
流体である。

各ダイヤフラムの反対側には隔離された室が設けられ、
該室は封入液で満されている。これら封入液は差圧検出
素子の両側に通じておシ、該差圧検出素子は印加された
封入液の差圧、従って差圧発信器に導入された流体の圧
力の差に対応する量だけ変位する。すると差圧検出素子
はその変位量に対応した、従って印加された差圧に対応
した電気的出力信号を発生する。従来のこの種発信器に
於ては、差圧検出素子はバリヤ・ダイヤフラムに接近し
て、ヘッド部内に設置されていた。

これら公知の発信器は多くの分野で望ましい結果を得て
いるが、万おいくつかの欠点が残っている。すなわち、
上述の発信器は動作の全範囲で微小変位するものである
ために、過大な導入流体の圧力によって過度に変位させ
られて、損傷ないし特性劣化をもたらすような事態を防
心するための過負荷保護装置を必ず備えなければならな
い。上述の米国特許第３７１２１４３号に開示されてい
る発信器は、ベロー駆動形過負荷保護弁によって、過負
荷保護を実現している。ところが、このような過負荷保
護装置を採用すると、発信器のサイズが犬きくなシ、値
段も高くなる等の欠点がある。

比較的大きな変位を行う上述の第２の型式の発信器では
過負荷保護を行うことは容易であるが、この発信器で用
いられる比較的大きな変位を行う検出素子は上述の第１
の型式の発信器に用いられる微小変位形検出素子よシも
特性が悪い。

従来装置の他の欠点は、２個のバリヤ・ダイヤフラムの
外側には高温の流体が導入され、または流体の脈動を受
けることに起因するものである。

まなわち、差圧検出素子がヘッド内に、バリヤ・ダイヤ
フラムの近傍に設置されているために、バリヤ・ダイヤ
フラふと封入液は差圧検出素子に導入流体の温度や脈動
を伝えやすい傾向にある。このため差圧検出素子は不正
確な動作をしたシ、損傷したりするという欠点がある。

さらに、差圧検出素子をヘッド本体内に設置すると、該
本体の壁を貫通して電気導線を外に出すことになるので
、液密のシールが、との部分にも必要となる。ところが
、とのシールはプロセス流体の熱の影響を受けるので、
比較的高価な金属でなければ所望のシールを行うことが
できない。

従って本発明の目的は、従来の装置の欠点を除去した改
良された差圧発信器を提供するにある。

本発明の他の目的は微小変位形基圧検出器の過負荷保護
を、比較的簡単でコンパクトな構造で実現した差圧発信
器を提供するにある。

本発明の他の目的はヘッド部から検出素子への熱や脈動
の伝達を減少させた改良された差圧発信器を提供するに
ある。

上述の目的を達成すべく提案された本発明差圧発信器は
中心ダイヤフラムすなわち調節ダイヤフラムを含む、中
心ダイヤフラムの両側には２つの液体圧力が印加される
。とれら液体圧力は差圧検出素子の両面にも印加される
。この中心ダイヤフラムすなわち調節ダイヤフラムはバ
リヤＯダイヤフラムの流体が導入される側に過大な過負
荷圧力が現われると、バリヤ・ダイヤフラムをバック・
アップ面に着座させて、差圧検出素子に過大な差圧がか
からないようにして、差圧検出素子を保護する。

本発明差圧発信器においては、差圧検出素子はバリヤΦ
ダイヤフラムを含む差圧発信器ヘッド部から離れた位置
に設置され、導入流体とヘッド部から差圧検出素子への
熱と脈動の伝達を減少させるような寸法と配置のキャピ
ラリー・チューブで差圧発信器ヘッドの液体室に接続さ
れている。このような分離設置形構成の差圧発信器は、
上述の高価な金属によるシールを不要とする。

以下図面について説明する。

第１図は本発明の構成例を示す差圧発信器の斜視図であ
る。

第１図に於て差圧を電気信号すなわち電流信号に変換し
て発信する差圧発信器１０は圧力検出ヘッド１２、とれ
と離れた位置に設置された分離設置差圧検出カプセル１
４、およびヘッド１２とカプセル１４０間に延びて、こ
れらを接続する一対のキャピラリー・チューブ１６と１
８を含む、カプセル１４とキャピラリーＯチューブ１６
と１８は樋２３とハウジング２４とによってカバーされ
る。樋２３とハウジング２４はヘッド１２にネジ２５に
よって固着される。

カプセル１４はプリント回路板２２の電気ソケット２１
に、導電性ピン２０を介して接続されるヘッド１２は２
個の同じようなブロック２６と２８を含む、これらブロ
ックはＡＮＳＩタイプ３１６のステンレス鋼で作ること
が望ましい。第２図に示す如く、ブロック２６と２８は
皿状の波形面３０．３２’をそれぞれ有する。波形可撓
性中心ダイヤフラム３４はこれらブロック２６と２８・
の間に延びて、２つの隔離室３６と３８を形成する。ダ
イヤフラム３４に形成された波形は多数の同心円から成
シ、ブロック２６と２８の内側表面３０と３２に形成さ
れた多数の同心円から成る波形の輪郭に従う。ダイヤフ
ラム３４はＡＮＳＩタイプ３１６のステンレス鋼の如き
金属で作ることが望ましい。ダイヤフラム３４（Ｄ外周
縁部はブロック２６，２８の対応する平坦面にはさまれ
て固定される。ブロック２６と２８及びダイヤフラノ３
４間の液密結合は、これら３つの構成要素をその外周縁
全周にわたって、Ｔ工Ｇ溶接と呼ばれる不活性ガスを用
いるタングステン溶接法で溶接して達成することが望ま
しい。

ブロック２６と２８のそれぞれの反対側面にも多数の同
心円から成る波形面４２．４４がそれぞれ形成される。

この波形面４２に沿って、かつ間隔をおいて１枚の波形
バリヤ・ダイヤフラム４６が設けられる。同様に、波形
面４４に沿って、かつ間隔をおいて他の１枚の波形バリ
ヤ拳ダイヤスラム４８が設けられる。これらバリヤ・ダ
イヤフラムは同一形状であること、およびＡ、ＮＳＩタ
イプ３１６のステンレス鋼で作られることが望ましい。

ブロック２６と２８のそれぞれの外周縁に凹みが設けら
れ、この凹みに角形フレーム又は環状部材５０と５２が
それぞれ取付けられる。この部材もＡＮＳＩタイプ３１
６のステンレス鋼で作うれている。環状部材５０と５２
はその外周縁をブロック２６と２８のそれぞれにＴＩＧ
溶接によって液密に結合され、かつバリヤ・ダイヤフラ
ム４６と４８は環状フレーム部材５０と５２にそれぞれ
の外周縁全周にわたってＴＩＧ溶接によシ、液密に結合
される。

２つの皿状ヘッド室６２と６４はＯ−リング６６と６８
を介して対応する環状部材５０と５２に、ボルトとナツ
ト７０，７２，７４及び７６によって液密に結合される
。これらのヘッド室６２と６４も、ボルトとナツト７０
，７２，７４及び７６もＡＮＳＩり・イブ３．１６のス
テンレス鋼で作られている。隔離入口通路７・８と８０
はヘッド室６２と６４にそれぞれ形成される。基圧を測
定されるべき２つの流体、すなわち高圧力流体８２と低
圧力流体８４は、それぞれの入口通路７８と８０を経て
ヘッド室６２と６４にそれぞれ導入され、バリヤ・ダイ
ヤフラム４６と４８にそれぞれ圧力を加える。

複数の通路８６は中心ダイヤフラム３４の左側の室３６
と、バリヤ・ダイヤフラム４６と波形面４２との間の室
８７とを連結する。絶縁性の非圧縮性封入液８８が、こ
の領域全体に充填される。

複数の通路９０は中心ダイヤフラム３４の右側の室３８
と、バリヤ・ダイヤフラム４８と波形面４４との間の室
８７／とを連絡する。絶縁性の非圧縮性封入液８９が、
この領域全体に充填される。

これら封入液は特性が同じであることが望ましい。

一対の通路９１と９３はキャピラリー・チューブ１６と
１８を対応する封入液８８と８９にそれぞれ連結する。

第１図から第３図に於て、低圧側キャピラリー。

チューブ１８はカプセル１４の金属壁９２に形成された
通路９４まで延び、カプセル１４と液密に結合している
。ガラス管９．５・はキャピラリー・チュ、−ブ１８の
端部に近接した通路９４中の位置から１、シ・リコン支
持板１００の通路９８の中まで延びている。ガラス管９
５は通路９４とエポキシ・クール９６、によって液密に
結合さ些、通路１９８と米国特許第３８０３８７４号に
開示されている如き方法のシニル・で液密に結合される
。

・高圧、側キヤ、ピ、ラリー０チュ、ナ７″１・６、は
カプセル１４のカバー〇プレート１０６中の開口１０４
まで延び、これと液密に結合される。

シリコンＯウエーファの如きコツプ形半導体ウエーファ
１０２は金共晶ボンディング法によって支持板１００に
接着される。高圧側キャピラリーチューブ１６とカプセ
ル１４の検出器室には高圧側封入液８８が充填され、ウ
エーファ１０２の外側面に圧力が印加される。低圧側キ
ャピラリｍ−チューブ１８、チューブ９５及び支持板１
００とウエーファ１０２との間の検出器室には低圧側封
入液８９が充填され、ウエーファ１０２の内側面に圧力
が印加される。とのように、２つの封入液８８と８９は
ウエーファ１０２の両面にそれぞれ作用する。

イオン移動シールド１０８は多数の隔離支持棒１１．０
によって、゛ウェーフチ１０２の近傍に設置される。シ
ールド１０８は一対の導線１１２によって、ウエーファ
１０２に電気的に接続されている。　　　・　　　　　
　　　　・ストレイ・ン・ゲージ゛から成るホイートストン・プリ
ッジ１１４は、ウエーファ１０２の外側の表面に拡散法
によって形成される。必要数の細線１１６、　１１８．
　１２０．　１２２及び１２３がブリッジ１１４とピン
２ｏとの間に延びている。ピン２０はカプセル１４から
壁部９２に設けられた孔１２６を経て外に延びておシ、
液密のシール１２４がピン２０とカプセル壁部９２との
間に介挿される。

代表的な差圧発信器回路を第５図に示す。ホイートスト
ン・ブリッジ１１４はウェー７ア１０２に拡散法によシ
形成されているものである。温度補償形増幅器１３０と
定電流制御器１３２はプリント回路板２２に取付けられ
る。

増幅器１３０の詳細は米国特許第３６５．４５４５号に
開示されているので、ここでは省略する。電流計１３４
、電源１２８はブリッジ回路１１４に接続される。ウェ
ーファ１０２に印加される差圧は電流計１３４に、例え
ば発信器１ｏの全動作範囲を４ｍＡから２０．ｍＡの電
流値として指示される。

ウェー７７１０２と、これに拡散形成されたブリッジと
は上述の微小変位形検出器素子を構成する。この検出器
素子は、導入流体の圧力の差が、発信器の全動作範囲に
わたって変化するとき、どのような圧力の差においても
変位量は微小である。

もしもこの圧力の差が過大になシ、この過大な差圧がウ
エーファ１０２に加われば、ウェーファ１０２とその拡
散ブリッジ１１４は特性劣化ないし損傷してしまう。

第６図は第２図に示した発明の装置のヘッド部の他の実
施例を示す、このヘッド部は第２図に示すものと異なシ
、２枚の波形ダイヤフラムの代シに２枚の薄い可撓性平
板製ダイヤフラムをバリヤ・ダイヤフラム用として用い
、かつ比較高いスチフネスを有する１枚の平板ダイヤフ
ラムを中心ダイヤフラムとして用いている。第２図との
他の相違は、波形面の代シに滑らかな皿状内側面２２４
と２２６および平らな外側面２２８と２３０を設けるこ
とである０通路２４０．　２４１はダイヤフラム２１６
の内側面と、中心ダイヤフラム２１６の一方側面とキャ
ピラリー−チューブ２３６との間の流体通路を提供し、
通路２４２．　２４３はダイヤフラム２１８の内側面と
、中心ダイヤフラム２１４の他方側面とキャピラリー・
チューブ２３８との間の流体通路を提供する。

第１と第２封入液２３２と２３４は加圧状態にあシ、そ
れぞれの通路、室およびキャピラリー・チューブに充満
する。封入液は、第２図の場合と異なシ、バリヤ・ダイ
ヤフラム２１６．！＝２１８を外方に、球状の、ドーム
形の、もしくはコツプ形の凹面を作るように、弓形に撓
ませるまで封入される。皿状ヘッド室６２，６４を含む
他の構成要素は第２図のものと同じである。

中心ダイヤフラム２１４のスチフネスは、バリヤ―ダイ
ヤスラム２１６，２１８のスチフネスの１００倍のオー
ダーである。これに対し、第２図の中心ダイヤフラム３
４のスチフネスは、バリヤ・ダイヤフラム４６，４８の
スチフネスの約４０倍である。

次に動作を説明する。図示されていない流路中のオリフ
ィスの高圧側７５島ら取り出されたプロセス流体８２の
圧力は通路７８によってヘッド室６２に伝えられ、バリ
ヤ・ダイヤフラム４６を押圧する。この高圧流体に圧力
変化が発生すると、これはバリヤ・ダイヤフラム４６と
封入液８８によって中心ダイヤフラム３４の一方側面に
伝えられ、かつキャピラリー・チューブ１６を介して第
３図の検出器素子すなわちウエーファ１０２の１つの面
にも伝えられる。

上述のオリアイスの低圧側から取シ出されたプロセス流
体８４の圧力は通路８０を経てヘッド室６４に伝えられ
、バリヤ・ダイヤフラム４Ｂを押圧する。この低圧流体
に圧力変化が発生すると、これはバリヤ・ダイヤフラム
４８と封入液８９によって中心ダイヤフラム３４の他方
側面に伝えられ、かつキャピラリー−チューブ１８を介
してウエーファ１０２の他の１つの面にも伝えられる。

プロセス流体の温度が上昇すると、バリヤーダイヤフラ
ム４６，４８を介して封入液８８．８９にそれに伴う熱
が伝えられ、封入液８８．８９の温度を上昇させる。封
入液の温度上昇はバリヤ・ダイヤフラム４６を図の右か
ら左へ外向きに拡張させ、かつバリヤ・ダイヤフラム４
８を図の左から右へ外向きに拡張させる。このような温
度変化を生じると、封入液８８は封入液８９が中心ダイ
ヤフラム３４の一側面に加える増加圧力と同じ増加圧力
を中心ダイヤフラム３４の他の一側面に加える。従って
中心ダイヤフラムの位置は、プロセス流体の温度変化に
よっては何ら影響を受けず、また検出器素子１０２０両
面に作用する封入液８８．８９にも何らの不平衡は生じ
ない。本発明は、このように測定中のプロセス流体の温
度が一定な又は基準レベルから変動する高い温度であっ
てもプロセス流体の差圧を正確に、対応する電流信号に
変換することができる差圧発信器を提供するものである
。

本発明の他の特徴は、検出器素子１０２が圧力検出ヘッ
ド中の、バリヤ・ダイヤフラムに接した封入液中に設置
されるのでなく、圧力検出ヘッドから離れた位置に設置
され、これによってプロセス流体の熱と脈動からの影響
を除去したことである。本発明によれば、封入液８８．
８９が対応するプロセス流体から受ける熱と脈動は、例
えば、？、　６２　ａ車上の長さのキャピラリー〇チュ
ーブ１６．１８と、冷い大気にさらされるようなキャピ
ラリー・チューブの設置構造によって、はとんど消散さ
せられる。このようにして、封入液によって検出器素子
に伝えられるプロセス流体の危険な熱や脈動の伝達の程
度は著しく減少させられる。

分離設置形検出器構造では検出器素子は検出ヘッド内に
設置されないから、ヘッドの内部から外部へ電気信号を
取シ出すリード線は不要である。

従ってヘッド内設置形検出器に必要な耐熱シールによる
リード線のシールは、不要となる。

さらに分離設置形検出器構造は、他にいくつかの特長が
ある。１つは検出ヘッドと検出器カプセルとのいずれか
を交換するような場合、他方は交換しなくてもよいこと
である。他の１つはヘッド部の溶接過程で、検出器素子
が損傷されることがないことである。さらに他の１つは
、カプセルが構成されるやいなや、カプセルに封入液を
直ちに充填するととができ、従って検出器の試験は容易
とカシ、また検出器の特性を安定に保つことができる点
である。

中心ダイヤフラム３４は、高圧側バリヤ・ダイヤフラム
４６と低圧側バリヤΦダイヤフラム４８のいずれかに加
わる過大なプロセス流体圧力即ち過負荷圧力が、該過負
荷圧力が加えられたノ（リヤ・ダイヤプラムを対応する
波形バック・アップ面４２又は４４に着座させ、かつ中
心ダイヤフラム３４は着座動作しないような所定の大き
さのスチフネスを有する。これによって、検出ヘッド１
２の高圧側ヘッド室又は低圧側ヘッド室のいずれかに加
わる過負荷プロセス流体圧が封入液８８゜８９を介して
検出器素子１０２に伝達されることが阻止され、従って
検出器素子１０２の特性劣化と損傷は防止される。

上述の着座動作は中心ダイヤフラム３４をブロック２６
の波形面３０又はブロック２８の波形面３２のいずれに
も着座させることなく起る。これはバリヤ・ダイヤフラ
ム４６．４８の１つを対応するバック自アップ面４２．
４４の１つに着座させる過負荷状態の下で、バリヤ・ダ
イヤフラムの１つによって変位させられる封入液８８．
８９の体積は、中心ダイヤフラム３４がブロックの側壁
３０又は３２＆Ｃ着座させられる前に変位させられなけ
ればならない封入液の体積変化よシも小さいからである
。

ダイヤフラム４６，３４及び４８は発信器の指定された
動作範囲に対応して寸法が決められておシ、上述の着座
動作はフル・スケール圧力値すなわち１００チ指示値を
越えた後に起る。これは２個の整合した可撓性バリヤ・
ダイヤフラム４６゜４８を選び、かつ中心ダイヤフラム
を指定動作範囲に適合するよりなスチフネスのものに選
ぶことによって達成される。

検出器素子１０２のブリッジ１１４に接続されたピン２
０は、ハウジング２４に設けられた板２２のソケット２
１にプラグ・インされる。この構造は、ブリッジ１１４
の導線をプリント回路板２２に容易かつ確実に接続する
ものである。

第６図に示す装置はバリヤ・ダイヤフラムとして平板ダ
イヤフラム２１６，２１８を用い、かつ中心ダイヤフラ
ムすなわち調節ダイヤフラムとして平板ダイヤフラム２
１４を用いる。高圧側封入液２３２と低圧側封入液２３
４は、バリヤ・ダイヤフラム２１６，２１Ｂをドーム形
に撓ませ、この状態を維持するような容積で充填される
。実質的に平らな中心ダイヤフラムのスチフネスはバリ
ヤ・ダイヤフラムのスチフネスよシも大きく、従って差
圧がフル・スケール値を越えるまではバリヤ・ダイヤフ
ラムは決して着座動作を行わない。

差圧がフル・スケール値を越えると、中心ダイヤフラム
２１４は、バリヤ魯ダイヤフラム２１６または２１８が
そのバック・アップ面に着座するまで移動し続ける。い
ずれかのバリヤＯダイヤフラムが着座した後も、中心ダ
イヤフラムは封入液２３２．２３４の熱膨張によって更
に移動する余地がある。高差圧用、中蓋圧用および低差
圧用の、それぞれスチフネスの異なる３種類の中心ダイ
ヤフラムが準備された。

本発明に係る差圧発信器に用いられたバリヤ・ダイヤフ
ラム２１６．２１８（第６図）はＡＮＳＩタイプ３１Ｇ
のステンレス鋼で通常は作られるが、プロセス流体が高
腐食性のものである場合、ハステロイ、モネルまたはタ
ンタルの如き材料で作られる。中心ダイヤフラムはＡＮ
ＳＩタイプ３１６のステンレス鋼で作られる。

ここに開示した差圧発信器は、差圧を検出される２つの
導入流体の圧力が、それぞれのバリヤ・ダイヤフラム、
封入液およびキャピラリｍ−チューブに作用を及ぼす形
式の発信器であった。しかしながら検出されるべき差圧
が、バリヤ拳ダイヤフラム、封入液およびキャピラリｍ
−チューブを経て検出器素子の１つの面に印加される電
力と、該検出器素子の他方の面に印加される大気圧また
は一定圧力との差であるような発信器にも本発明は有効
に適用できる。すなわち単一のバリヤ・ダイヤフラム、
１つの封入液、１つのキャピラリー・チューブを経て検
出器素子すなわちウエーファ１０２の１つの面に伝達さ
れるプロセス流体圧力と、該ウエーファの他の面に印加
される一定圧力との差を該ウエーファが検出する発信器
においても、調節ダイヤフラム等は過負荷保護を達成し
、かつキャピラリー・チューブは検出器素子へのプロセ
ス流体の熱や脈動の伝達を減少する。

調節ダイヤフラムとキャピラリー・チューブは検出器素
子の保護を協動して行うものではあるが、一方のみを用
いることも必要に応じて可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は測定すべき差圧を検出し、対応する電気信号に
変換して発信する本発明の実施例を示す発信器の圧力検
出ヘッドと分離設置形差圧検出カプセルの斜視図である
。第２図は第１図の圧力検出ヘッドの断面図である。第
３図は第１図の分離設置形差圧検出カプセルの断面図で
ある。第４図は第３図の線４−４に沿って切断した差圧
検出カプセルの断面図である。第５図は差圧検出回路の
一例である。第６図は本発明のヘッド部の他の実施例装
置の断面図である。１０・・・・・・発信器、１２・・・・・・圧力検出ヘ
ッド、１４・・・・・・分離設置形差圧検出カプセル、
１６と１８・・・・・・キャピラリー・チューブ、２６
と２８・・・ブロック、３０と３２・・・・・・皿状の
波形面、３４・・・調節ダイヤフラムすなわち中心ダイ
ヤフラム、４２と４４・・・・・・波形バック・アップ
面、４６と４８・・・・・・波形バリヤ１ダイヤフラム
、６２と６４・・・・・・ヘッド室、８２・・・・・・
高圧側プロセス流体、８４・・・・・・低圧側プロセス
流体、８８と８９・・・・・・封入液、１００・・・・
・・シリコン支持板、１０２・・・・・・ウエーファす
なわち差圧検出器素子、１１４・・・・・・ホイートス
トン・ブリッジ、１３４・・・・・・電流計、２３６及
び２３８・・・・・・キャピラリー・チューブ。特許出願人　　ハネウェル・インコーボレーテツド代理
人　　　弁理士　松　下　義　治ｆｂ −１５８− ｔｔｕ　　　　ｍｔ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）個々に第１および第２の面を含む第１および第２
のブロック部材を具えるヘッド部本体と、前記第１のブ
ロック部材の第１の面にこれと間隔をおいて、かつ、シ
ール状態にして取シ付けられるダイヤフラムであって、
このダイヤフラムの一方の面と前記第１の面との間に第
１の流体室を形成する第１のバリヤダイヤフラムと、前
記第２のブロック部材の第１の面にこれと間隔をおいて
、かつ、シール状態にして取シ付けられるダイヤフラム
であって、このダイヤフラムの一方の面と前記第１の面
との間に第２の流体室を形成する第２のバリヤダイヤフ
ラムと、第１の流体圧を表わす第１の力を前記第１のバ
リヤダイヤフラムの他方の面に与え、この第１のバリヤ
ダイヤフラムを前記第・１の面に押し付ける第１の給圧
手段と、第２の流体圧を表わす第２の力を前記第２のバリヤダイ
ヤフラムの他方の面に与え、この第２のバリヤダイヤフ
ラムを前記第１の面に押し付ける第２の給圧手段と、前記第１および第２のブロック部材の第２の面に挾まれ
、これら各第２の面と間隔をおいて、かつ、シール状態
にして取シ付けられて第１のブロック部材の第２の面と
の間に第３の流体室を、第２のブロック部材の第２の面
との間に第４の流体室をそれぞれ形成する調節ダイヤフ
ラムと、前記第１の流体室と第３の流体室とを連結する
第１の流体通路と、゛前記第２の流体室と第４の流体室とを連結する第２の流
体通路と、□ 前記ヘッド部本体から離隔した位置に設けられ、かつ、
第１検出器室と第２検出器室と電気的出力接続部および
差圧検出素子とを有し、差圧検出素子が前記第１および
第２検出器室内の流体間の差に応動して対応する大きさ
の電気信号を前記電気的出力接続部に発生する差圧検出
器部と、前記第１の流体通路と前記第１検出器室とを連
結する第３の流体通路と、前記第２の流体通路と前記第２検出器室とを連結する第
４の流体通路と、前記第１および第２検出器室と第１ないし第４の流体通
路および第１ないし第４の流体室に完全に充満するよう
にして封入された実質的に非圧縮性の封入液とを具備し
、前記調節ダイヤフラムとバリヤダイヤフラムとの相対的
なスチフネスはバリヤダイヤフラムに過度の流体圧が前
記第１または第２０給圧手段から与えられたときバリヤ
ダイヤフラムは対応するブロック部材の第１の面に着座
するが、調節ダイヤフラムは関連するブロック部材の第
２の面に着座しない関係で与えられ、これによシ差圧検
出素子に印加される差圧は正規の動作範囲を超えること
がないようになされてなる差圧発信器。
（２）第３および第４の流体通路は差圧検出器部に悪影
響を与える熱と封入液の脈動の伝達を小ならしめる寸法
を有するキャピラリ・チューブで与えられることを特徴
とする第１項に記載の差圧発信器。
（３）　　各ダイヤフラムとこれらダイヤフラムにそれ
ぞれ対面する各ブロック部材の面の形状は相互に補完し
合うパターンであることを特徴とする第１項または第２
項に記載の差圧発信器。
（４）補完し合うパターンは同心円の波形パターンであ
ることを特徴とする第３項に記載の差圧発信器。
（５）補完し合うパターンはバリヤダイヤフラムとこれ
に対面するブロック部材の第１の面については同心円の
波形パターンで与えられ、調節ダイヤフラムとこれに対
面するブロック部材の第２の面については調節ダイヤフ
ラムは平板状で、第２の面は凹面で与えられることを特
徴とする第３項に記載の差圧発信器。