JPS582716A - 差圧変換器 - Google Patents
差圧変換器Info
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- JPS582716A JPS582716A JP10059481A JP10059481A JPS582716A JP S582716 A JPS582716 A JP S582716A JP 10059481 A JP10059481 A JP 10059481A JP 10059481 A JP10059481 A JP 10059481A JP S582716 A JPS582716 A JP S582716A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、差圧変換器に係９．４１にその過圧防止機構
の信頼性向上に関するものである。
の信頼性向上に関するものである。
第１図に従来の差圧変換器の一例を示す。図において、
本体ケース（１）の中心には段階状に径の異なる貫通孔
（２）が、またその上部および下部にはそれぞれ２個の
導入孔（３ａ）、（３ｂ）および（４Ｊ１）（４ｂ）Ｋ
より貫通孔（２）に連通する空間部（５）、（６）が設
けられている。貫通孔（２）には過圧防止機構（７）が
収納され、上部空間部（り一は感圧素子（８）が、下部
空間部（６）Ｋは温度補償用ベローズ（９）が、それぞ
れ収納されている。また、貫通孔（２）の両端はそれぞ
れ受圧ダイ７７ラム（１０ｍ）、（１０ｍ）により１！
對され、上・下部空間部（５） 、 （６）はそれぞれ
ブラダ（ロ）。
本体ケース（１）の中心には段階状に径の異なる貫通孔
（２）が、またその上部および下部にはそれぞれ２個の
導入孔（３ａ）、（３ｂ）および（４Ｊ１）（４ｂ）Ｋ
より貫通孔（２）に連通する空間部（５）、（６）が設
けられている。貫通孔（２）には過圧防止機構（７）が
収納され、上部空間部（り一は感圧素子（８）が、下部
空間部（６）Ｋは温度補償用ベローズ（９）が、それぞ
れ収納されている。また、貫通孔（２）の両端はそれぞ
れ受圧ダイ７７ラム（１０ｍ）、（１０ｍ）により１！
對され、上・下部空間部（５） 、 （６）はそれぞれ
ブラダ（ロ）。
ＵＫより密封されている。さらＫ、貫通孔（２）および
上・下車関部（５） 、 （６）には圧力伝達媒体とな
る封入１１１（１３ｍ）、（１３ｂ）が封入されている
。この封入ｐＩＬ（１３鳳）、（ｔ３ｂ）は前記過圧防
止機構（７）、感圧素子（８）および温度補償用ベロー
ズ（旬によ抄それＰｂ（Ｐｇ）Ｐｂ）を導入する孔（１
４ａ）、（１４ｂ）をそれぞれ有する接液フランジ（１
５ｍ）、（ＩＳｂ）が本体ケース（１）Ｋ気密Ｋｌ１着
されている。
上・下車関部（５） 、 （６）には圧力伝達媒体とな
る封入１１１（１３ｍ）、（１３ｂ）が封入されている
。この封入ｐＩＬ（１３鳳）、（ｔ３ｂ）は前記過圧防
止機構（７）、感圧素子（８）および温度補償用ベロー
ズ（旬によ抄それＰｂ（Ｐｇ）Ｐｂ）を導入する孔（１
４ａ）、（１４ｂ）をそれぞれ有する接液フランジ（１
５ｍ）、（ＩＳｂ）が本体ケース（１）Ｋ気密Ｋｌ１着
されている。
過圧防止機１１１（７）は１貫通孔（爵内に受圧ダイア
フラム（１０ａ）、（１０ｂ）と直交する万両に移動可
能に設けられている。すなわち、貫通孔（２）の中央部
に過圧防止ベローズ■が貫通孔と同軸に設けら札その一
端は貫通孔（２）の図示右方の段部０７３に気密に固定
されている。過圧防止ベローズ曽の部端は貫通孔（２）
と同軸に配設された支軸（至）のＪｌ＃に気密に固定さ
れている。そして、支軸（至）の両端には過大圧封止用
の弁（２０ｍ）、（２０ｂ）が同軸的Ｋｒ１Ａ着５れ、
コノ弁（２０ａ）、（２０ｂ）Ｏ支軸側端ＩＮ （！ｌ
ａ）。
フラム（１０ａ）、（１０ｂ）と直交する万両に移動可
能に設けられている。すなわち、貫通孔（２）の中央部
に過圧防止ベローズ■が貫通孔と同軸に設けら札その一
端は貫通孔（２）の図示右方の段部０７３に気密に固定
されている。過圧防止ベローズ曽の部端は貫通孔（２）
と同軸に配設された支軸（至）のＪｌ＃に気密に固定さ
れている。そして、支軸（至）の両端には過大圧封止用
の弁（２０ｍ）、（２０ｂ）が同軸的Ｋｒ１Ａ着５れ、
コノ弁（２０ａ）、（２０ｂ）Ｏ支軸側端ＩＮ （！ｌ
ａ）。
（２１ｂ）Ｋはそれぞれオーリング（２２ｍ）、（２２
ｂ）が俵着されている。また、弁（２０ｍ）、（２０ｂ
）Ｋはそれぞれ板ばね（２ｓａ）、（２５ｂ）が装着畜
れてお抄、この板ばね（２５ｍ） 、 （２５ｂ）はそ
れぞれ本体ケース（１１に固定されている。かくして、
貫通孔（２）は過圧防止ベローズ（至）により導入孔（
３ｍ）。
ｂ）が俵着されている。また、弁（２０ｍ）、（２０ｂ
）Ｋはそれぞれ板ばね（２ｓａ）、（２５ｂ）が装着畜
れてお抄、この板ばね（２５ｍ） 、 （２５ｂ）はそ
れぞれ本体ケース（１１に固定されている。かくして、
貫通孔（２）は過圧防止ベローズ（至）により導入孔（
３ｍ）。
（４１）と（３ｍ）、（４１＊）との間で区分されてい
る。
る。
マタ、導入孔（３ａ）、（３ｂ）は感圧素子（８）Ｋよ
り遮断され、導入孔（４ｍ）、（４ｂ）は温度補償量ベ
ローズ（９）Ｋよや遮断されている。
り遮断され、導入孔（４ｍ）、（４ｂ）は温度補償量ベ
ローズ（９）Ｋよや遮断されている。
上部空間部（５）内に懐着され九感圧素子（８）は、そ
の１図示下面は導入孔（３１）を通じて封入液（１１ｍ
）に、図示上画状導入孔（３ｂ）を通じて封入液（１３
ｂ）Ｋそれぞれ接液している。さらＫ、感圧素子（６）
の出力信号線（２）はバーメチツタシール■を介して外
部に導出されている。
の１図示下面は導入孔（３１）を通じて封入液（１１ｍ
）に、図示上画状導入孔（３ｂ）を通じて封入液（１３
ｂ）Ｋそれぞれ接液している。さらＫ、感圧素子（６）
の出力信号線（２）はバーメチツタシール■を介して外
部に導出されている。
上記のように構成された差圧変換＠Ｉにおいて。
検出範囲内の圧力Ｐａ、Ｐｂ（Ｐａ＞Ｐｂ ）がそれぞ
れ接液フランジ（１５ｍ）、（ＩＳｂ）２）孔（１４１
）、（１４ｋ）から加えられると、それぞれの圧力Ｐａ
、ＰｂＫ応イカＬ じて受圧ダイアフラム（１０ａ）、（１０ｂ）が変ヰし
、封入液（１３ｍ）、（１３ｂ）が移動する。この封入
液（１３ｍ）、（１３ｂ）９移動により感圧素子ｔｅｌ
） ０両画において（Ｐｇ−Ｐｂ）なる差圧が生じ、そ
の差圧（Ｐａ−Ｐｂ）が電気信号に変換される。
れ接液フランジ（１５ｍ）、（ＩＳｂ）２）孔（１４１
）、（１４ｋ）から加えられると、それぞれの圧力Ｐａ
、ＰｂＫ応イカＬ じて受圧ダイアフラム（１０ａ）、（１０ｂ）が変ヰし
、封入液（１３ｍ）、（１３ｂ）が移動する。この封入
液（１３ｍ）、（１３ｂ）９移動により感圧素子ｔｅｌ
） ０両画において（Ｐｇ−Ｐｂ）なる差圧が生じ、そ
の差圧（Ｐａ−Ｐｂ）が電気信号に変換される。
次Ｋ、高圧側に検出範囲以上の圧力Ｐａが加わった場合
には、受圧ダイアフラム（１０ａ）、封入液 １゛（１
３ｍ）を介して過圧防止ベローズ（至）が図示右方へ変
位する。これＫｆＰ％／Ｊ支軸（至）、弁（２０ｍ）も
右方へ移動し、オーりング（２２ｍ）が弁座（２４ａ）
Ｋ！！＆接する。これＫよ抄封入液（ｉ”’３畠）は受
圧ダイアフラム（１０ｍ）と弁（２０ｍ）との間、およ
び弁（２０ａ）と感圧素子（８）、過圧防止ベローズ輔
。
には、受圧ダイアフラム（１０ａ）、封入液 １゛（１
３ｍ）を介して過圧防止ベローズ（至）が図示右方へ変
位する。これＫｆＰ％／Ｊ支軸（至）、弁（２０ｍ）も
右方へ移動し、オーりング（２２ｍ）が弁座（２４ａ）
Ｋ！！＆接する。これＫよ抄封入液（ｉ”’３畠）は受
圧ダイアフラム（１０ｍ）と弁（２０ｍ）との間、およ
び弁（２０ａ）と感圧素子（８）、過圧防止ベローズ輔
。
温度補償量ベローズ（９）との間でそれぞれ封止される
。したがって封入液（１３ｍ）の移動は停止され、それ
以上の過大圧カが・・感圧素子（ｇ） Ｋ加わることが
防止される。
。したがって封入液（１３ｍ）の移動は停止され、それ
以上の過大圧カが・・感圧素子（ｇ） Ｋ加わることが
防止される。
しかしながら、差圧変換−を構成している各部品に付着
しているごみ中、金ＩＩ粉、さらに封入液を封入する封
入装置のタンク系、配管系に付着しているご皐等が封入
液中に混入し、それらがたまたまオーリング（２２ｍ）
や弁座（２４ａ）Ｋ付着し７１、−留し九抄すると、検
出範囲以上の圧力が加わ抄、前述の如くオーリング（２
２暑）が弁座（２４１）に当接しても、封入液が完全く
停止されず、除々Ｋｍ大な圧力が感圧素子（８）ｋ加わ
り、感圧素子の破壊限界を超えて遂には破壊に至る惧れ
があった。
しているごみ中、金ＩＩ粉、さらに封入液を封入する封
入装置のタンク系、配管系に付着しているご皐等が封入
液中に混入し、それらがたまたまオーリング（２２ｍ）
や弁座（２４ａ）Ｋ付着し７１、−留し九抄すると、検
出範囲以上の圧力が加わ抄、前述の如くオーリング（２
２暑）が弁座（２４１）に当接しても、封入液が完全く
停止されず、除々Ｋｍ大な圧力が感圧素子（８）ｋ加わ
り、感圧素子の破壊限界を超えて遂には破壊に至る惧れ
があった。
本発明は上記のような欠点に鑑みてなされえもので、も
し封入液中にごみ中金属粉等の異物が入っていても、そ
れらに影響されることなく確実に過圧防止゛機構を動作
させることのできる信頼性の高い差圧変換器を提供する
ことを目的とする。このため本発明では、各受圧ダイア
フラムと過圧防止機構の各弁の間および各弁と感圧素子
との閾ならびに各封入液充填孔の開口部にそれぞれ目の
細かいフィルターを配設し、過圧防止機構そのものをと
与や金属粉等の異物から保護するようＫして所期の目的
を達成した。
し封入液中にごみ中金属粉等の異物が入っていても、そ
れらに影響されることなく確実に過圧防止゛機構を動作
させることのできる信頼性の高い差圧変換器を提供する
ことを目的とする。このため本発明では、各受圧ダイア
フラムと過圧防止機構の各弁の間および各弁と感圧素子
との閾ならびに各封入液充填孔の開口部にそれぞれ目の
細かいフィルターを配設し、過圧防止機構そのものをと
与や金属粉等の異物から保護するようＫして所期の目的
を達成した。
以下１本発明の実施例を図面を参照して説明する。第２
図は本発明による差圧変換−の−実施例を示す断藺図で
１例えば接液フランジなど説明に不必要な詳細は省略し
である゛。本体ケース員の中心には両端面を連通する段
階状に径の異なる貫通孔−が設けられ、貫通孔■の両端
面はそれぞれ受圧ダイアフラムｍ、（４１）Ｋよａｍ塞
されている。貫通孔＠力の中央部には過圧防止ベローズ
−が貫通孔と同軸に設けられ、その一端は貫通孔の図示
右質０段部−に気密に固着され１貫通孔−内部を高圧室
（３１ａ）と低圧室（３１ｂ）とに２分している。
図は本発明による差圧変換−の−実施例を示す断藺図で
１例えば接液フランジなど説明に不必要な詳細は省略し
である゛。本体ケース員の中心には両端面を連通する段
階状に径の異なる貫通孔−が設けられ、貫通孔■の両端
面はそれぞれ受圧ダイアフラムｍ、（４１）Ｋよａｍ塞
されている。貫通孔＠力の中央部には過圧防止ベローズ
−が貫通孔と同軸に設けられ、その一端は貫通孔の図示
右質０段部−に気密に固着され１貫通孔−内部を高圧室
（３１ａ）と低圧室（３１ｂ）とに２分している。
本体ケース（至）の貫通孔（２）の上方には空間部−が
設けられ、この空間部−を上部空間部（３５ａ）と下部
空間部（３Ｓｂ）とに仕切って感圧素子−が装着されて
いる。感圧素子の出力信号線（財）はハーメチックシー
ル（至）を介して外部に導出される。そして下部空間部
（３５ｂ）は導通孔＠により貫通孔−の高圧室（３１ａ
）に、上部空間（３５ａ）は導通孔−によ抄貫通孔（ロ
）の低圧＠（３１ｂ）に、それぞれ連通されてお炒、上
部空間部（３５ｍ）は有底円筒部材−により密封されて
いる。貫通孔（至）、上・下車間部（３５履）、（３５
ｂ）、導通孔（至）、−には圧力伝媒体となる封入液（
例えばシリコン油）が充填されている。また、下部空間
部（３５ｂ）には同軸に温度補償用ベローズ−がその伸
縮方向を過圧防止ベローズ−の伸縮方向と直角にして、
・設けられ、一端は下部空間部（３５ｂ）の底面に気密
に固着され。
設けられ、この空間部−を上部空間部（３５ａ）と下部
空間部（３Ｓｂ）とに仕切って感圧素子−が装着されて
いる。感圧素子の出力信号線（財）はハーメチックシー
ル（至）を介して外部に導出される。そして下部空間部
（３５ｂ）は導通孔＠により貫通孔−の高圧室（３１ａ
）に、上部空間（３５ａ）は導通孔−によ抄貫通孔（ロ
）の低圧＠（３１ｂ）に、それぞれ連通されてお炒、上
部空間部（３５ｍ）は有底円筒部材−により密封されて
いる。貫通孔（至）、上・下車間部（３５履）、（３５
ｂ）、導通孔（至）、−には圧力伝媒体となる封入液（
例えばシリコン油）が充填されている。また、下部空間
部（３５ｂ）には同軸に温度補償用ベローズ−がその伸
縮方向を過圧防止ベローズ−の伸縮方向と直角にして、
・設けられ、一端は下部空間部（３５ｂ）の底面に気密
に固着され。
温度補償用ベローズ−の内部は導通孔軸ＫＸＦ）導通孔
−を介して貫通孔働の低圧室（３１ｂ）Ｋ”連通されて
いる。過圧防止ベローズ−の自由端に＃４１１により同
軸に固着され九支軸−の両端にはそれぞれ過大圧封止用
の弁補、＠が同軸的ＫＩＤ着され、こＯ弁働、−の支軸
−儒の端面にはそれぞれオーリング−１＠が装着されて
いる。また弁（ロ）、−にはそれぞれ板ばね６飢（２）
５取着されでおり、この板ばねａｉ）、ａｉはそれぞれ
本体ケース■に固定され、弁四。
−を介して貫通孔働の低圧室（３１ｂ）Ｋ”連通されて
いる。過圧防止ベローズ−の自由端に＃４１１により同
軸に固着され九支軸−の両端にはそれぞれ過大圧封止用
の弁補、＠が同軸的ＫＩＤ着され、こＯ弁働、−の支軸
−儒の端面にはそれぞれオーリング−１＠が装着されて
いる。また弁（ロ）、−にはそれぞれ板ばね６飢（２）
５取着されでおり、この板ばねａｉ）、ａｉはそれぞれ
本体ケース■に固定され、弁四。
−と本体ケース輔とを弾性的に連結している。そして、
この板ばね６１）、−はそれぞれ過圧防止ベローズ−の
変位によや、支軸−が図示右方または左方へ移動して、
弁Ｑη、−のオーリング−１＠が本体ケース−の弁座（
至）またはａＩＫ当接して圧縮され、弁義−の硬質の端
面（至）、６４が弁座（至）または＠ＫＩｌｋ＊１．．
たとき、オーリング−０−と弁座（至）、−とＯ粘着力
を超え九反発力を弁１ηまえは−に与えるようなばね定
数と寸法とを具備している。上記の各要素は過圧防止機
構−を形成する。また、本体ケース−には、貫通孔輸の
高圧室（：Ｈｍ’）、低圧室（Ｓｌｂ）Ｋそれぞれ連通
した１対の封入液充填孔−１Ｉｌが設けられてお９、そ
の外部への開口端はプラグ−０−で封止されている。
この板ばね６１）、−はそれぞれ過圧防止ベローズ−の
変位によや、支軸−が図示右方または左方へ移動して、
弁Ｑη、−のオーリング−１＠が本体ケース−の弁座（
至）またはａＩＫ当接して圧縮され、弁義−の硬質の端
面（至）、６４が弁座（至）または＠ＫＩｌｋ＊１．．
たとき、オーリング−０−と弁座（至）、−とＯ粘着力
を超え九反発力を弁１ηまえは−に与えるようなばね定
数と寸法とを具備している。上記の各要素は過圧防止機
構−を形成する。また、本体ケース−には、貫通孔輸の
高圧室（：Ｈｍ’）、低圧室（Ｓｌｂ）Ｋそれぞれ連通
した１対の封入液充填孔−１Ｉｌが設けられてお９、そ
の外部への開口端はプラグ−０−で封止されている。
さらＫ、ステレスの細線等で作られたフィルター（至）
、■、Ｉυ、１３．Ｅｌ、（財）がそれぞれ受圧ダイア
フラム輪と弁＠ηの間、受圧ダイアフラム１１）と弁−
の間、導通路−の一端、導通路−の一端、封入液充填孔
−９輪の各入口部に隙間なく取抄付けられている。
、■、Ｉυ、１３．Ｅｌ、（財）がそれぞれ受圧ダイア
フラム輪と弁＠ηの間、受圧ダイアフラム１１）と弁−
の間、導通路−の一端、導通路−の一端、封入液充填孔
−９輪の各入口部に隙間なく取抄付けられている。
上記のように構成された本発明一実施例の差圧変換器に
おいて、検出範囲内の圧力Ｐａ、Ｐｂ（Ｐａ）Ｐｂ）が
それぞれ受圧ダイアフラム（４１，４１）Ｋ印加される
と、それぞれの圧力Ｐａ、Ｐｂ ４Ｃ応じて受圧ダイア
フラム伽コ、（イ）が変位し、中の封入液を介して圧力
は感圧素子＃に伝達され、感圧素子（至）は（Ｐａ−ｐ
ｂ）なる差圧として検出し、この差圧を電気信号に変換
して出力する。
おいて、検出範囲内の圧力Ｐａ、Ｐｂ（Ｐａ）Ｐｂ）が
それぞれ受圧ダイアフラム（４１，４１）Ｋ印加される
と、それぞれの圧力Ｐａ、Ｐｂ ４Ｃ応じて受圧ダイア
フラム伽コ、（イ）が変位し、中の封入液を介して圧力
は感圧素子＃に伝達され、感圧素子（至）は（Ｐａ−ｐ
ｂ）なる差圧として検出し、この差圧を電気信号に変換
して出力する。
次に１図示の圧力Ｐａが検出範囲以上であり九場合を説
明すると、圧力Ｐａは受圧ダイアフラム＠Ｉ／Ｃ印加さ
れた後、封入液を介して過圧防止ベローズ−に伝達され
る。このため過圧防止ベローズ−は図°示右方へ変位す
る。これに伴ない過圧防止ベローズの支軸−の両端の弁
−９＠も右方へ移動し、ついには弁−のオーリング−が
弁座（至）に当接する。
明すると、圧力Ｐａは受圧ダイアフラム＠Ｉ／Ｃ印加さ
れた後、封入液を介して過圧防止ベローズ−に伝達され
る。このため過圧防止ベローズ−は図°示右方へ変位す
る。これに伴ない過圧防止ベローズの支軸−の両端の弁
−９＠も右方へ移動し、ついには弁−のオーリング−が
弁座（至）に当接する。
これＫより、封入液は、受圧ダイアフラムＱｌｌと弁−
の間、および弁−と感圧素子軸、過圧防止ベローズ−１
温変補償用ベローズ−との間でそれぞれ封止される。し
たがって、オーリング槌が弁座■に当接し始める圧力を
検出範囲の上限圧力に定めておけば、それ以上の圧力が
印加されたときＫも感圧素子＠には検出範囲の上限を趙
える圧力は加わらないので、感圧素子−の過大圧力によ
る破壊を完全に防止することができる。以上はＰａが過
大圧力である場合を説明し九が、図示Ｐｂが過大圧力で
ある場合も全（同様に作用することは言うまでもない。
の間、および弁−と感圧素子軸、過圧防止ベローズ−１
温変補償用ベローズ−との間でそれぞれ封止される。し
たがって、オーリング槌が弁座■に当接し始める圧力を
検出範囲の上限圧力に定めておけば、それ以上の圧力が
印加されたときＫも感圧素子＠には検出範囲の上限を趙
える圧力は加わらないので、感圧素子−の過大圧力によ
る破壊を完全に防止することができる。以上はＰａが過
大圧力である場合を説明し九が、図示Ｐｂが過大圧力で
ある場合も全（同様に作用することは言うまでもない。
次に本発明による効果につき述べ本。第２図の構成によ
る差圧変換器は１組立履から見ると、先ず各構成部品は
、油分、ごみ、金閤粉等を落す目的で、有機溶剤中で入
念な洗浄（例えば超音波洗浄）がなされる。組立もごみ
、はこ秒の少ないクリーンな雰囲気で行ない、本体ケー
ス輔内に過圧防止機＠＠、感圧素子−等が収納され九後
、受圧ダイアラ２ム輔、θ聾を本体ケース曽に電子ビー
ム溶接によって敗り付ける。しかるＩＫ、本体ケース輔
は図示してない封入液封入装置に接続され、封入液充填
孔■、ＩＩの入口を真空にするとともＫ。
る差圧変換器は１組立履から見ると、先ず各構成部品は
、油分、ごみ、金閤粉等を落す目的で、有機溶剤中で入
念な洗浄（例えば超音波洗浄）がなされる。組立もごみ
、はこ秒の少ないクリーンな雰囲気で行ない、本体ケー
ス輔内に過圧防止機＠＠、感圧素子−等が収納され九後
、受圧ダイアラ２ム輔、θ聾を本体ケース曽に電子ビー
ム溶接によって敗り付ける。しかるＩＫ、本体ケース輔
は図示してない封入液封入装置に接続され、封入液充填
孔■、ＩＩの入口を真空にするとともＫ。
受圧ダイアフラム（ＩＩＩＪ、＠＊に印加される圧力Ｐ
ｇ、Ｐｂも真空にする。本体ケース■内が充分に真空に
なったら、封入液封入装置の弁操作により、封入液充填
孔−２ａｌＯ入コから封入液（シリコンオイルなど）を
入れる。そして、封入液が本体ケース（至）内に充分に
満ちたら、封入液充填孔■、−の入口と受圧ダイアフラ
ム輔、１１の圧力Ｐｇ、Ｐｂを大気圧ＫｊｌＬ、、本体
ケース曽を封入液封入装置から取抄外す。最後に封入液
充填孔−１＃４をプラグ−９−で封止して差圧変換器の
組立を完了する。
ｇ、Ｐｂも真空にする。本体ケース■内が充分に真空に
なったら、封入液封入装置の弁操作により、封入液充填
孔−２ａｌＯ入コから封入液（シリコンオイルなど）を
入れる。そして、封入液が本体ケース（至）内に充分に
満ちたら、封入液充填孔■、−の入口と受圧ダイアフラ
ム輔、１１の圧力Ｐｇ、Ｐｂを大気圧ＫｊｌＬ、、本体
ケース曽を封入液封入装置から取抄外す。最後に封入液
充填孔−１＃４をプラグ−９−で封止して差圧変換器の
組立を完了する。
上記の組立順のなかに４１に本体ケース輔内にごみ、は
こ９が入＃）Ｊ＆い工程が二つある。一つは受圧ダイア
ラツム−１θカの溶接時であり、この際本体ケース軸の
移動や作業待ちがあり、さらＫｍｍ待時スラグ等により
ごみが入抄島い状態にある。
こ９が入＃）Ｊ＆い工程が二つある。一つは受圧ダイア
ラツム−１θカの溶接時であり、この際本体ケース軸の
移動や作業待ちがあり、さらＫｍｍ待時スラグ等により
ごみが入抄島い状態にある。
これらのごみから守るために過圧防止機構（２）を収納
している空間部をとり囲むようにフィルター−９ｉｎ、
ｔｅ、匈、＄１．Ｎが取炒付けられ、内部にごみ等の異
物が侵入しないようになっている。もう一つの工程は、
封入液を封入する工程であ抄、この際は、封入液である
シリコンオイルがクリーンであっても、封入液封入装置
の配管系や、差圧変換器と封入液封入装置との接続治具
等にごみが付着し易く、封入液を封入すると同時に混入
する惧れがあるが、これは封入液充填孔−１−の入口部
に設けられ九フィルター（至）、ｔ４により捕獲される
ようになっている。
している空間部をとり囲むようにフィルター−９ｉｎ、
ｔｅ、匈、＄１．Ｎが取炒付けられ、内部にごみ等の異
物が侵入しないようになっている。もう一つの工程は、
封入液を封入する工程であ抄、この際は、封入液である
シリコンオイルがクリーンであっても、封入液封入装置
の配管系や、差圧変換器と封入液封入装置との接続治具
等にごみが付着し易く、封入液を封入すると同時に混入
する惧れがあるが、これは封入液充填孔−１−の入口部
に設けられ九フィルター（至）、ｔ４により捕獲される
ようになっている。
以上述べたようＫ、組立時のごみ等が入り墨い二つの工
ｌ！において本体ケース曽内部にごみ等の異物が入るの
を防止する構造にしたので、過圧防止機構−の弁（ロ）
、（４１に装着されているオーりング＠、ｆＳＪ中弁座
（至）、−＠にと与等の異物の付着することが防止され
、オーリング−１ｒ４が弁座（至）、＠に １・尚接
しても封入液の移動が完全に停止されず過圧防止機構−
が正常に動作しないという不具合がな（な抄、極めて信
頼性の高い過圧防止機構を＾えた差圧変換器を提供する
ことができる。なお、オーリング−９ｅ４がシール機番
を妨げられるごみ等の異物の大きさは、オーリング−１
−のつぶれ代が小数点以下数−であるので、それと同程
度の大きさのごみ等の異物が除去されるような目のフィ
ルターを用いて本構成の各フィルター（至）、１１１．
ＩＩ。
ｌ！において本体ケース曽内部にごみ等の異物が入るの
を防止する構造にしたので、過圧防止機構−の弁（ロ）
、（４１に装着されているオーりング＠、ｆＳＪ中弁座
（至）、−＠にと与等の異物の付着することが防止され
、オーリング−１ｒ４が弁座（至）、＠に １・尚接
しても封入液の移動が完全に停止されず過圧防止機構−
が正常に動作しないという不具合がな（な抄、極めて信
頼性の高い過圧防止機構を＾えた差圧変換器を提供する
ことができる。なお、オーリング−９ｅ４がシール機番
を妨げられるごみ等の異物の大きさは、オーリング−１
−のつぶれ代が小数点以下数−であるので、それと同程
度の大きさのごみ等の異物が除去されるような目のフィ
ルターを用いて本構成の各フィルター（至）、１１１．
ＩＩ。
ｗ、ａｌ、ｓｏを作ることは勿論である。
以上詳述しえように本発明によれば、ごみ等の異物によ
る過圧防止機構の横能飾書を確実に解消することができ
、感圧素子の破壊が完全に防止されるので、長寿命、高
信頼性の差圧変換器を提供することができる。
る過圧防止機構の横能飾書を確実に解消することができ
、感圧素子の破壊が完全に防止されるので、長寿命、高
信頼性の差圧変換器を提供することができる。
第１図は差圧変換器の従来例を示す断面図、第２図は本
発明による差圧変換器の一実施例を示す断面図である。 ３０・・°°・本体ケース ３１・・・・・貫通孔
３１ａ°°°°高圧室 ３１ ｂ Ｌ−・低圧
電３２．３３．３４・・・・導通孔 ３５・・・・・
空間部３５ａ・・°゛上部空間部 ３５ｂ・・・
・下部空間部３７・・・・・過圧防止機構 ３８・
・・・・温度補償用ベローズ３９・・・・・感圧素子
４０．４１− 受圧ダイアフラム４３・・・
・・過圧防止ベローズ ４５・・・・・支 軸４６°°
°°°鍔 ４７，４８曲弁４９．５０・用オ
ーリング ５１．５２・・・・板ばね５３．５４・
・・・弁の硬質の端面 ５５，５６・・・・弁 座５７
・・・・出力信号線５８・・・・ハーメチックシール５
９．６０，６１，６２，６３．６４・・・・・ フィル
ター６５．６６・・・・封入液充填孔 ６７．６８曲プ
ラグ代理人 弁理士 井 上 −男 第１！１ 第２Ｉ！ｌ ＝７９
発明による差圧変換器の一実施例を示す断面図である。 ３０・・°°・本体ケース ３１・・・・・貫通孔
３１ａ°°°°高圧室 ３１ ｂ Ｌ−・低圧
電３２．３３．３４・・・・導通孔 ３５・・・・・
空間部３５ａ・・°゛上部空間部 ３５ｂ・・・
・下部空間部３７・・・・・過圧防止機構 ３８・
・・・・温度補償用ベローズ３９・・・・・感圧素子
４０．４１− 受圧ダイアフラム４３・・・
・・過圧防止ベローズ ４５・・・・・支 軸４６°°
°°°鍔 ４７，４８曲弁４９．５０・用オ
ーリング ５１．５２・・・・板ばね５３．５４・
・・・弁の硬質の端面 ５５，５６・・・・弁 座５７
・・・・出力信号線５８・・・・ハーメチックシール５
９．６０，６１，６２，６３．６４・・・・・ フィル
ター６５．６６・・・・封入液充填孔 ６７．６８曲プ
ラグ代理人 弁理士 井 上 −男 第１！１ 第２Ｉ！ｌ ＝７９
Claims (1)
- 貫通孔を有しその両端がそれぞ、れ受圧ダイアフラムで
閉塞された本体ケースと、この本体ケースの貫通孔を高
圧室と低圧室とに区分する過圧防止ベローズおよびこの
ベローズの自由端に固定された支軸の両端に設けられ前
記各受圧ダイア７ツムに過大圧が加わったときＫｍ記各
室をそれぞれ封止する１対の弁を有する過圧防止機構と
、前記本体ケース内に収納されその両面が高圧室および
低圧室へ連通された感圧素子と、前記本体ケースの高圧
室および低圧室へ圧力伝達媒体となる封入液をそれぞれ
充填する１対の封入液充填孔と、ｍ記各受圧ダイアツラ
ムと各弁との間および各弁と感圧素子との間ならびに各
封入液充填孔の開口部にそれぞれ配設されたフィルター
とを具備してなる差圧変換Ｓ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10059481A JPS582716A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 差圧変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10059481A JPS582716A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 差圧変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582716A true JPS582716A (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=14278192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10059481A Pending JPS582716A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 差圧変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582716A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121095A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 洗濯機の制御装置 |
| CN106546377A (zh) * | 2015-09-18 | 2017-03-29 | 泰科思股份有限公司 | 具有过载保护的压差换能器组件 |
| US10421013B2 (en) | 2009-10-27 | 2019-09-24 | Harmonix Music Systems, Inc. | Gesture-based user interface |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP10059481A patent/JPS582716A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121095A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 洗濯機の制御装置 |
| US10421013B2 (en) | 2009-10-27 | 2019-09-24 | Harmonix Music Systems, Inc. | Gesture-based user interface |
| CN106546377A (zh) * | 2015-09-18 | 2017-03-29 | 泰科思股份有限公司 | 具有过载保护的压差换能器组件 |
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