JPS5821147A - 印刷配線基板の検査装置 - Google Patents
印刷配線基板の検査装置Info
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- JPS5821147A JPS5821147A JP12032481A JP12032481A JPS5821147A JP S5821147 A JPS5821147 A JP S5821147A JP 12032481 A JP12032481 A JP 12032481A JP 12032481 A JP12032481 A JP 12032481A JP S5821147 A JPS5821147 A JP S5821147A
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- printed wiring
- wiring board
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- circuit pattern
- reference signal
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は印刷配線基板の検査装置に関し、その目的とす
るところは印刷配線基板の回路パターンの亀裂や回路パ
ターン間の短絡等の異常を高精度で齋ψζ見できるよう
にし、かつこの作業を自動的に行うこともできるように
することにある。
るところは印刷配線基板の回路パターンの亀裂や回路パ
ターン間の短絡等の異常を高精度で齋ψζ見できるよう
にし、かつこの作業を自動的に行うこともできるように
することにある。
一般に印刷配線基板の製造工程においては、エツチング
工程前にその基板上にエツチングレジストインクによっ
て回路パターンが正しく描かれているかどうか検査する
ことが行なわれている。第７１図にエツチングレジスト
インクで回路パターン１（図に魚群で示す）を描いた印
刷配線基板２を示しており１ この基板２上の回路パタ
ーン１を検査者が直接目で見て、回路パターン１の開放
人。
工程前にその基板上にエツチングレジストインクによっ
て回路パターンが正しく描かれているかどうか検査する
ことが行なわれている。第７１図にエツチングレジスト
インクで回路パターン１（図に魚群で示す）を描いた印
刷配線基板２を示しており１ この基板２上の回路パタ
ーン１を検査者が直接目で見て、回路パターン１の開放
人。
短絡Ｂ、亀裂Ｃ等の異常を発見するのが従来の検査方法
である。
である。
しかしながら、との種の検査方法では検査層の目の疲れ
が激しゃこと、また回路パターン１の異常を見逃してし
まうことがしばしばある等の問題があった。
が激しゃこと、また回路パターン１の異常を見逃してし
まうことがしばしばある等の問題があった。
本発明はとのような従来の欠点を解消するものであり、
′以下にその一実施例について図面と共に説明する。本
実施例装置では第２図あるいは第３図に示すような基準
板３．４を用いる。ｊなわち第２図の基準板３は第１図
の基板２のエツチングレジストインクで描いた回路パタ
ーン部分１の要部（パターンの異常が起こり易い細描き
の部分）に沿った基準線５を有するもので、この基準線
５と回路パターン１を対応させると第４図のようになる
。第３図の基へ（）反４は第１図の基板２の回路パター
ン１以外の部分１＆の要部（パターン間の短絡が起こり
易いパターン間隔の狭い部分）に沿った基準線６を有す
るもので、この基準線６と回路パターン１を対応させる
と第５図のようになる。
′以下にその一実施例について図面と共に説明する。本
実施例装置では第２図あるいは第３図に示すような基準
板３．４を用いる。ｊなわち第２図の基準板３は第１図
の基板２のエツチングレジストインクで描いた回路パタ
ーン部分１の要部（パターンの異常が起こり易い細描き
の部分）に沿った基準線５を有するもので、この基準線
５と回路パターン１を対応させると第４図のようになる
。第３図の基へ（）反４は第１図の基板２の回路パター
ン１以外の部分１＆の要部（パターン間の短絡が起こり
易いパターン間隔の狭い部分）に沿った基準線６を有す
るもので、この基準線６と回路パターン１を対応させる
と第５図のようになる。
とのような２種の基１＄＝板を用いて印刷配線基板の回
路パターンを検査する方法について説明する。
路パターンを検査する方法について説明する。
゛まず第２図の基準３を用いて行なう検査について第６
図と共に説明する。上記基準板３と印刷配線基板２をそ
れぞれテレビジョンカメラで撮像して、同じ部分の信号
を比較すると第６図に示すようになる。たとえば基準板
３の撮像信号中の水平走査線Ｌｉ−ｒの信号は同図（ｃ
ｌとなり、印刷配線基板２の対応撮像信号は同図（ｂｌ
となる。これら両信号の論理積いわゆるアンドをとると
、出力は全てＬとなってしまう。とれは走査線Ｌｉ−ｒ
に関しては回路パターンに異常が存在しないことを意味
している。１７かるに水平走査線Ｌｉについての基準板
３、印刷配線基板２の各撮像信号は第６図＋８１ 、
（（１１となり、これら両信号のアンドをとると同図（
ｆｌのＨパルス出力が得られる。このＨパルス出力は印
刷配線基板２の開放Ａ部分に対応しており、このパルス
出力で回路パターンの異常を検出できる。印刷配線基板
２の亀裂Ｃも同様にして検出できる。
図と共に説明する。上記基準板３と印刷配線基板２をそ
れぞれテレビジョンカメラで撮像して、同じ部分の信号
を比較すると第６図に示すようになる。たとえば基準板
３の撮像信号中の水平走査線Ｌｉ−ｒの信号は同図（ｃ
ｌとなり、印刷配線基板２の対応撮像信号は同図（ｂｌ
となる。これら両信号の論理積いわゆるアンドをとると
、出力は全てＬとなってしまう。とれは走査線Ｌｉ−ｒ
に関しては回路パターンに異常が存在しないことを意味
している。１７かるに水平走査線Ｌｉについての基準板
３、印刷配線基板２の各撮像信号は第６図＋８１ 、
（（１１となり、これら両信号のアンドをとると同図（
ｆｌのＨパルス出力が得られる。このＨパルス出力は印
刷配線基板２の開放Ａ部分に対応しており、このパルス
出力で回路パターンの異常を検出できる。印刷配線基板
２の亀裂Ｃも同様にして検出できる。
次に第３図の基準板４を用いて行ガう検査について第７
図と共に説明する。先の場合と同様に、基準板４と印刷
配線基板２をそれぞれテレビジョンカメラで撮像して同
じ部分の信号を比較すると、水平走査線Ｌｊ−ｑについ
て基準板４、印刷配線基板２の対応撮像信号は第７図（
Ｃ１、（ｂｌとなり、これら両信号の論理和いわゆるオ
アをとると出力は全てＨとなる。これは走査線Ｌｊ−ｑ
に関しては回路パターン間に異常が存在しないことを意
味している。しかるに水平走査線Ｌｊについての基準板
４、印刷配線基板２の各撮像信号は第７図（ｅｌ 、
ｌｄｌとなり、とｉら両信号のオアをとると同図（ｆｌ
のＬパルス出力が得られる。このＬパルス出力は印刷配
線基板２のパターン短絡部分Ｂに対応しており、このパ
ルス出力で回路パターンの異常を検出できる。
図と共に説明する。先の場合と同様に、基準板４と印刷
配線基板２をそれぞれテレビジョンカメラで撮像して同
じ部分の信号を比較すると、水平走査線Ｌｊ−ｑについ
て基準板４、印刷配線基板２の対応撮像信号は第７図（
Ｃ１、（ｂｌとなり、これら両信号の論理和いわゆるオ
アをとると出力は全てＨとなる。これは走査線Ｌｊ−ｑ
に関しては回路パターン間に異常が存在しないことを意
味している。しかるに水平走査線Ｌｊについての基準板
４、印刷配線基板２の各撮像信号は第７図（ｅｌ 、
ｌｄｌとなり、とｉら両信号のオアをとると同図（ｆｌ
のＬパルス出力が得られる。このＬパルス出力は印刷配
線基板２のパターン短絡部分Ｂに対応しており、このパ
ルス出力で回路パターンの異常を検出できる。
このように本実施例の検査装置は、基準板と印刷配線基
板をテレビジョンカメラでそれぞれ同倍率で同じ位置を
撮像し、各撮像信号を論理積や論理和をとることで比較
し、その圧設の結果、パルへ出力が出なければ異常なし
、・・・・へ出力ぷ出れば異常ありとの判定するもので
ある。
板をテレビジョンカメラでそれぞれ同倍率で同じ位置を
撮像し、各撮像信号を論理積や論理和をとることで比較
し、その圧設の結果、パルへ出力が出なければ異常なし
、・・・・へ出力ぷ出れば異常ありとの判定するもので
ある。
６ページ
なお、上記基ハＬ板の撮像信号を予め大容量メモリ等に
記憶させておき、印刷配線基板を撮像するに際して、上
記メモリから記憶内容を読み出して、撮像信号と比較す
ることもでき、このようにすればテレビジョンカメラは
１台だけで検査することができる。
記憶させておき、印刷配線基板を撮像するに際して、上
記メモリから記憶内容を読み出して、撮像信号と比較す
ることもでき、このようにすればテレビジョンカメラは
１台だけで検査することができる。
さらに上記基準板３，４は別個に準備しなくとも、良品
の印刷配線基鈑を用いて基準板３，４から得られる信号
と同じ信号を電気的に作り出すことができる。すなわち
、まず第８図に示すテレビジョンカメラ７で、基台８上
のガイド９により定位置に位置決めした良品の印刷配線
基板１０を撮像する。上記カメラ７は、支持台１１に位
置調整可能なテーブルいわゆるＸ−Ｙテーブル１２でも
って取付けられ、上記支持台１１もＸ−Ｙテーブル１３
でもって取付台１４に取付けられているので、印１ｉｉ
ｌＪ配線基板１ｏに対して任意の位置をとるととができ
る。上記カメラ７で撮像した信号はカメラコントロール
部１６を介してモニターテレビジョン受像機１６に画像
として映出される。検査者はこの画像を見ながら、操作
キー１７を操作し、基準映像信号作成器１８を制御して
、その出力を映像信号重畳器１９を介してモニターテレ
ビジョン受像機１６に供給し、印刷配線基板１０の画像
上に第２図、第３図に示す基準線６，６を描いていく、
そしてこの基準線５．６が完成した時点でそれに伴う基
準信号はコンビコータ２ｏに塔載された高速度、大容量
メモリに読込まれ記憶される。
の印刷配線基鈑を用いて基準板３，４から得られる信号
と同じ信号を電気的に作り出すことができる。すなわち
、まず第８図に示すテレビジョンカメラ７で、基台８上
のガイド９により定位置に位置決めした良品の印刷配線
基板１０を撮像する。上記カメラ７は、支持台１１に位
置調整可能なテーブルいわゆるＸ−Ｙテーブル１２でも
って取付けられ、上記支持台１１もＸ−Ｙテーブル１３
でもって取付台１４に取付けられているので、印１ｉｉ
ｌＪ配線基板１ｏに対して任意の位置をとるととができ
る。上記カメラ７で撮像した信号はカメラコントロール
部１６を介してモニターテレビジョン受像機１６に画像
として映出される。検査者はこの画像を見ながら、操作
キー１７を操作し、基準映像信号作成器１８を制御して
、その出力を映像信号重畳器１９を介してモニターテレ
ビジョン受像機１６に供給し、印刷配線基板１０の画像
上に第２図、第３図に示す基準線６，６を描いていく、
そしてこの基準線５．６が完成した時点でそれに伴う基
準信号はコンビコータ２ｏに塔載された高速度、大容量
メモリに読込まれ記憶される。
このよう々一連の’ＩＬ（ｌａｉｒ作業を終えた後、基
台８に被検査体である印刷配線基板２を載置して、とれ
をテレビジョンカメラ７で撮像し、その撮像信号と上記
記憶された基準信号とをコンビ；−−タ２０内で先述し
たと同様な方法で比較し、その結果、すなわち異常なし
とか異常ありとか異常ある場合はその異常発生個所をモ
ニターテレビジョン受像機１６の画面上に表示する。も
しくは印刷配線基イ反１上に直接マーキング盲竺る。な
お第９図ン で２１はカメラコントロール部１５とコンピュータ２０
を接続するだめのインターフェース、２２は電源部、２
３はＸ−Ｙテーブル１２．１３のパルスモータ１２ａ
、 １３ａヲ制御するパルスモータ駆動部、２４はこの
駆動部２３とコンピュータ２０を接続するだめのインタ
ーフェースである。
台８に被検査体である印刷配線基板２を載置して、とれ
をテレビジョンカメラ７で撮像し、その撮像信号と上記
記憶された基準信号とをコンビ；−−タ２０内で先述し
たと同様な方法で比較し、その結果、すなわち異常なし
とか異常ありとか異常ある場合はその異常発生個所をモ
ニターテレビジョン受像機１６の画面上に表示する。も
しくは印刷配線基イ反１上に直接マーキング盲竺る。な
お第９図ン で２１はカメラコントロール部１５とコンピュータ２０
を接続するだめのインターフェース、２２は電源部、２
３はＸ−Ｙテーブル１２．１３のパルスモータ１２ａ
、 １３ａヲ制御するパルスモータ駆動部、２４はこの
駆動部２３とコンピュータ２０を接続するだめのインタ
ーフェースである。
このような検査装置を用いれば、高密度実装用の回路パ
ターンが細かい印刷配線基板の検査を高速で、しかも高
精度で行なうことができる。また印刷配線基４反の回路
パターンが変更になっても、基準映像信号を検査前に予
め作成して記憶させておけば、何の間預もなく検査を続
行することができる。この基準信号は、種々のものを磁
気テープ装置等の安価な記憶装置に収納しておいて、検
査を開始する際に、ＲＡＭ （ＲａｎｄＯｍ 、 Ａｃ
ｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ ）等の高速度記憶装置に記憶し
直して検査を行なうこととすれば、安価にして種々の印
刷配線基板の検査を行左うことができる。両面印刷配線
基板やエツチング処理後の印刷配線基板についても同様
にして検査することができ、検査の自動化も容易に行な
える。なお、エツチング処理前の回路パターンはエツチ
ングレジストインクによって形成されるが、エツチング
処理後の回路パターンは導電箔に」：って形成される。
ターンが細かい印刷配線基板の検査を高速で、しかも高
精度で行なうことができる。また印刷配線基４反の回路
パターンが変更になっても、基準映像信号を検査前に予
め作成して記憶させておけば、何の間預もなく検査を続
行することができる。この基準信号は、種々のものを磁
気テープ装置等の安価な記憶装置に収納しておいて、検
査を開始する際に、ＲＡＭ （ＲａｎｄＯｍ 、 Ａｃ
ｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ ）等の高速度記憶装置に記憶し
直して検査を行なうこととすれば、安価にして種々の印
刷配線基板の検査を行左うことができる。両面印刷配線
基板やエツチング処理後の印刷配線基板についても同様
にして検査することができ、検査の自動化も容易に行な
える。なお、エツチング処理前の回路パターンはエツチ
ングレジストインクによって形成されるが、エツチング
処理後の回路パターンは導電箔に」：って形成される。
以」二説明したように本発明の印刷配線基板の検査装置
は、基準板を撮像するかあるいは良品の印刷配線基板の
映像上に電気的にかき込むことによって得られる基ｉｐ
信号と被検査体である印刷配線基板の撮像信号とを比較
して回路パターンの異常を見イ（１け出すようにしてい
るので、パターン異常を高精度で迅速に発見できると共
にその検査の自動化も可能ならしめることができるもの
である０
は、基準板を撮像するかあるいは良品の印刷配線基板の
映像上に電気的にかき込むことによって得られる基ｉｐ
信号と被検査体である印刷配線基板の撮像信号とを比較
して回路パターンの異常を見イ（１け出すようにしてい
るので、パターン異常を高精度で迅速に発見できると共
にその検査の自動化も可能ならしめることができるもの
である０
第１図ｔｉエソチンゲレジストインクが塗布されたエツ
チング処理ｒｊｆｊの印刷配線基板の平面図、第２図、
第３図は本発明の一実施例における検査装置に用いる基
１′１Ｌ飯の平面図、第４図、第５図は上記基準板の基
準線と印刷配線基板の回路パターンとの関係を示す平面
図、第６図（ａｌ〜（ｆ）、第７図（ａ１〜（ｆｌは上
記基準板を用いた検査について説明するための図、第８
図は本発明の（＋Ｉｖの実施例における検査装置のカメ
ラとその周辺部分を示す側面図、柁９図は同装置のブロ
ック構成図である。 １０ ページ ト−・・・回路パターン、２・・・・・・印刷配線基板
、Ａ・・・・・開放、Ｂ・・・・・・短絡、Ｃ・・・・
・・亀裂、３，４・・・−・・基準板、ｓ 、 ６・・
・・・・基準線、７・・・・・・テレビジョンカメラ、
１０・・・・・・良品の印刷配線基板、１６・・、・・
。 モニターテレビジョン受像機、１７・・・・・・操作キ
ー、１８・・・・・・基準映像信号作成器、１９・・・
・・・映像信号重畳器、２０・・・・・コンピュータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 特開昭り８−２１１４７ （４） 第４図 第５図 、゛、：゛、°゛゛Ｓ′、“パパ
チング処理ｒｊｆｊの印刷配線基板の平面図、第２図、
第３図は本発明の一実施例における検査装置に用いる基
１′１Ｌ飯の平面図、第４図、第５図は上記基準板の基
準線と印刷配線基板の回路パターンとの関係を示す平面
図、第６図（ａｌ〜（ｆ）、第７図（ａ１〜（ｆｌは上
記基準板を用いた検査について説明するための図、第８
図は本発明の（＋Ｉｖの実施例における検査装置のカメ
ラとその周辺部分を示す側面図、柁９図は同装置のブロ
ック構成図である。 １０ ページ ト−・・・回路パターン、２・・・・・・印刷配線基板
、Ａ・・・・・開放、Ｂ・・・・・・短絡、Ｃ・・・・
・・亀裂、３，４・・・−・・基準板、ｓ 、 ６・・
・・・・基準線、７・・・・・・テレビジョンカメラ、
１０・・・・・・良品の印刷配線基板、１６・・、・・
。 モニターテレビジョン受像機、１７・・・・・・操作キ
ー、１８・・・・・・基準映像信号作成器、１９・・・
・・・映像信号重畳器、２０・・・・・コンピュータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 特開昭り８−２１１４７ （４） 第４図 第５図 、゛、：゛、°゛゛Ｓ′、“パパ
Claims (2)
- （１）印刷配線基板の回路パターン部分とその回路パタ
ーン以外の部分のうちの少なくともいずれか一方の部分
に沿って基準線を有する基準板を設け、上記印刷配線基
板をテレビジョンカメラで撮像した際のその撮像信号と
、上記基準板をテレビジョンカメラで撮像したときの基
準信号とを比較し、この比較結果によって回路パターン
の亀裂や回路パターン間の短絡等の異常部分の有無を検
査するように構成した印刷配線基板の検査装置。 - （２）良品の印刷配線基板をテレビジョンカメラで撮像
し、テレビジョン受像機に映出して、上記印刷配線基板
の回路パターン部分とその回路パターン以外の部分のう
ちの少なくともいずれか一方の部分に沿った基準となる
信号を、上記テレビジョン受像機上の画像をもとに形成
し、上２ ページ ・ 記基準信号を記憶し、被検査体である印刷配線基板
をテレビジョンカメラで撮像した際、その撮像信号と対
応する基準信号を読出して比較し、この比較結果によっ
て回路パターンの亀裂や回路パターン間の短絡等の有無
を検査するように構成した印刷配線基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12032481A JPS5821147A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 印刷配線基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12032481A JPS5821147A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 印刷配線基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821147A true JPS5821147A (ja) | 1983-02-07 |
Family
ID=14783427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12032481A Pending JPS5821147A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 印刷配線基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821147A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1300572C (zh) * | 2003-06-13 | 2007-02-14 | 三井金属矿业株式会社 | 电子元件安装用印刷电路板的检测装置及图形不良的确认方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5398871A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-29 | Nec Corp | Shape inspecting apparatus |
| JPS5398870A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-29 | Nec Corp | Shape inspecting apparatus |
| JPS5444769A (en) * | 1977-09-14 | 1979-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device for inspecting displacement of chipplike parts |
-
1981
- 1981-07-30 JP JP12032481A patent/JPS5821147A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5398871A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-29 | Nec Corp | Shape inspecting apparatus |
| JPS5398870A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-29 | Nec Corp | Shape inspecting apparatus |
| JPS5444769A (en) * | 1977-09-14 | 1979-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device for inspecting displacement of chipplike parts |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1300572C (zh) * | 2003-06-13 | 2007-02-14 | 三井金属矿业株式会社 | 电子元件安装用印刷电路板的检测装置及图形不良的确认方法 |
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