JP2003139720A - ベリファイ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】欠陥部のあるピースを容易にかつ間違えること
なく探してマーキングすることができる作業性を向上す
ること。 【解決手段】プリント基板２の各ピース１毎に良否の判
定結果を一括登録し表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば多面取りさ
れたプリント基板のピースを拡大観察して良否判定し、
不良のピースにマーキングを施すベリファイ装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図５に示すように複数のピース１、例え
ば２０〜５０ピースを有する多面取りされたプリント基
板２がプリント基板製造工程で製造される。このプリン
ト基板２は、同製造工程中の検査プロセスにおいて欠陥
検査装置により１ロッド単位で欠陥検査が行われる。

【０００３】この欠陥検査は、例えばプリント基板２を
１枚ずつ撮像装置を用いて撮像し、この撮像により取得
された画像データを画像処理することによって各ピース
１内の欠陥部、例えばボンディングパッドの欠けなどを
検出する。この欠陥検査の欠陥データは、１枚のプリン
ト基板２ごとに記録される。

【０００４】次に、欠陥検査結果から欠陥部があると判
定されたプリント基板１をベリファイ装置に搬送し、各
欠陥部を顕微鏡で拡大目視観察し、この観察によって例
えば欠けなどのプリント基板２の品質に影響を与える欠
陥部の有無により良否判定を行なう。そして、この判定
の結果に基づいて、欠陥部のある不良のピース１に対し
てマーキングが行われる。

【０００５】従来のベリファイ装置では、プリント基板
１が移動ステージ上に吸着固定される。この移動ステー
ジの上方には、撮像装置（例えばＣＣＤカメラ）付きの
顕微鏡が配置されている。

【０００６】移動ステージは、プリント基板１をＸ−Ｙ
方向に移動して各欠陥部を順次顕微鏡の対物レンズの光
軸に位置合わせし、顕微鏡の視野中心に欠陥部を１つず
つ入れる。このとき撮像装置は、顕微鏡を通して選択さ
れた欠陥部の拡大像を撮像するので、その画像がモニタ
表示画面上に表示される。

【０００７】オペレータは、モニタ表示画面上に表示さ
れた拡大欠陥画像を観察して、欠けなどの欠陥部の有無
を判定し、品質に影響を与える欠陥部があると判定され
ると、該当するピースを不良と判断しマーキングを行な
う。

【０００８】このマーキングは、例えばオペレータの手
作業でマジックインキを用いて印や記号を付けたり、パ
ンチングにより孔を開けたり、シールを貼りつけたり、
打ち抜きを行なう。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マーキ
ングの作業は、オペレータによって１ピース毎に良否判
定し、不良品と判定した場合に、移動ステージの吸着を
解除してそのプリント基板２を移動ステージ上から取り
出し、不良と判定されたピース１に対してオペレータの
手作業でマジックインキを用いて印や記号を付けたり、
パンチングにより孔を開けたり、シールを貼りつけた
り、打ち抜きを行なう。

【００１０】１つの不良ピース１のマーキングが終了す
ると、プリント基板２を再び移動ステージ上に載置して
吸着固定させ、続いて別のピース１上の欠陥画像をモニ
タ表示画面上に表示させて拡大目視観察を行なう。そし
て、不良ピースと判断すると、上記同様に、移動ステー
ジの吸着を解除してプリント基板２を移動ステージ上か
ら取り出し、オペレータの手作業でマーキングを行な
う。

【００１１】このようなマーキング処理方法では、１つ
の不良ピースを発見する毎に、その都度手作業でマーキ
ングを行なわなければならず、そのうえマーキングする
には、移動ステージの吸着をその都度解除しプリント基
板２をマーキングの場所まで移動させなければならず、
その作業が煩雑で時間がかかる。そのうえ、プリント基
板２を顕微鏡で観察した位置からマーキング一まで移動
する際に、プリント基板２の複数のピース（例えば２０
〜５０ピース）１から不良品と判断したピース１から視
線がずれると、間違えてマーキングすることが生じる。

【００１２】そこで本発明は、不良のピースを容易にか
つ間違えることなく探してマーキングすることができる
作業性を向上させたベリファイ装置を提供することを目
的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の検査部
位を有する被検査体の欠陥検査データに基づいて欠陥部
があるとされている検査部位の像を顕微鏡を用いて観察
し、この観察結果から各検査部位の良否の判定を行なう
ベリファイ装置において、各検査部位ごとに良否の判定
結果を登録操作する操作手段と、この操作手段により登
録操作された各検査部位ごとの良否の判定結果を各検査
部位の位置と対応させて記憶する判定結果記憶手段と、
この判定結果記憶手段に記憶された各検査部位の良否の
判定結果を一括して報知出力する報知手段とを具備した
ことを特徴とするベリファイ装置である。

【００１４】本発明は、複数の検査部位を有する被検査
体の欠陥検査データに基づいて欠陥部があるとされてい
る検査部位の像を顕微鏡を用いて観察し、この観察結果
から各検査部位の良否の判定を行なうベリファイ装置に
おいて、欠陥検査データと各検査部位が示された被検査
体の外観を模式的に表わした被検査体マップとを表示す
る基板情報表示手段と、各検査部位が示された被検査体
の外観を模式的に表わした被検査体マップを表示するマ
ップ表示手段と、欠陥検査データに基づいて被検査体マ
ップにおいて表示された検査部位の欠陥検査データを表
示する欠陥位置表示手段と、欠陥検査データに基づいて
被検査体マップにおいて表示された検査部位に対応する
被検査体の検査部位に対して顕微鏡を位置合わせし、当
該検査部位の顕微鏡像を取得して表示する観察像表示手
段と、顕微鏡像を観察して得られた各検査部位ごとに良
否の判定結果を登録操作する操作手段と、この操作手段
により登録操作された各検査部位ごとの良否の判定結果
を各検査部位の位置と対応させて記憶する判定結果記憶
手段と、この判定結果記憶手段に記憶された各検査部位
の良否の判定結果を一括して報知出力する報知手段とを
具備したことを特徴とするベリファイ装置である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１６】図１は本発明のベリファイ装置を用いたプ
リント基板検査システムの全体構成図である。検査装置
１０は、プリント基板２をステージ上に載置すると、プ
リント基板２に対して照明が行われると共に、ステージ
が移動してプリント基板２と撮像装置との相対的な位置
が変えられ、プリント基板２の全面又はプリント基板２
の各ピース１毎に撮像を行ない、この撮像により取得さ
れた画像データを画像処理して各ピース１内の欠陥部、
例えばボンディングパッドの欠けなどの品質に影響を与
える欠陥部を検出する。

【００１７】検査装置１０は、複数の検査モードによる
検査が可能で、これら検査モード毎にプリント基板２の
各ピース１に対して欠陥部を検出する。これら検査モー
ドは、例えば、画像データの輝度値と予め設定された輝
度の閾値とを比較して欠陥部を検出するモードや、画像
データ中のボンディングパッドの面積と予め設定された
面積の閾値とを比較して欠陥部を検出するモード、画像
データ中のボンディングパッドの形状と予め設定された
パターン形状とを比較して欠陥部を検出するモードなど
がある。

【００１８】従って、検査装置１０は、１枚のプリント
基板２に対して複数の検査モードの検査結果を集計した
欠陥検査データを作成する。この欠陥検査データは、プ
リント基板２の基板名、ロット番号、欠陥数、欠陥座
標、欠陥種類を示すマーク等が付された各ピース毎の検
査画像データ、検査モードなどの各情報を含む。

【００１９】ベリファイ装置１１は、検査装置１０から
送出された欠陥検査データを受け取り、この欠陥検査デ
ータに基づいて検査装置１０で検出された各欠陥部を顕
微鏡を用いてオペレータが実際に目視により拡大観察
し、この目視観察による良否判断で品質に影響を与える
欠陥部を有する不良のピース１に対してマーキングを促
す表示を行なう。

【００２０】このベリファイ装置１１は、ユーザインタ
フェースパーソナルコンピュータ（以下、コンピュータ
と省略する）１２と、液晶又はＣＲＴからなるディスプ
レイ１３と、コンピュータ１２に接続された操作ボック
ス１４と、プリント基板２が載置される移動ステージ１
５と、この移動ステージ１５の上方に設けられた照明装
置１６と、ＣＣＤ（固体撮像素子）等の撮像装置１７が
取付けられた実体顕微鏡１８とからなる。

【００２１】移動ステージ１５は、互いに直交するＸＹ
方向に移動可能で、載置されているプリント基板２上の
登録された各欠陥部を順次撮像装置１７の撮像視野中心
に入るように動作する。

【００２２】なお、移動ステージ１５を固定ステージに
代え、実体顕微鏡１８をＸＹ方向に移動させて、プリン
ト基板２上の各欠陥部が順次実体撮像装置１８の撮像視
野内に入るようにしてもよい。又、撮像装置１７だけで
各ピース１上の欠陥を観察するのに充分な分解能が得ら
れる場合には、実体顕微鏡１８を省略してもよい。

【００２３】操作ボックス１４は、移動ステージ１５の
制御や実体顕微鏡１８の倍率、欠陥部の指定（再指定を
含む）、各ピース１に対する良否判定の結果などを入力
するものである。

【００２４】コンピュータ１２は、操作ボックス１４か
らの指示を受けて、ディスプレイ１３の表示動作や、移
動ステージ１５の動作、照明装置１６の動作、撮像装置
１７の動作、実体顕微鏡１８の動作をそれぞれ制御し、
かつプリント基板２の各ピース１毎の良否判定結果を記
録整理する機能を有する。

【００２５】図２はベリファイ装置の制御システムの具
体的な構成図である。主制御部２０には、ディスプレイ
１３と、操作ボックス１４と、移動ステージ１５と、照
明装置１６と、撮像装置１７と、各伝送部２１、２２と
が接続されている。

【００２６】一方の伝送部２１は、検査装置１０との間
でデータの授受を行なうもので、検査装置１０から送信
された欠陥検査データを受信する。他方の伝送部２２
は、プリント基板２の各ピース１に対する良否判定結果
を後述するパンチング装置２３に送信する。

【００２７】又、主制御部２０には、欠陥検査データメ
モリ２４と、画像メモリ２５と、判定結果メモリ２６と
が接続され、かつ主制御部２０からの指令により基板情
報表示処理部２７と、欠陥位置表示処理部２８と、観察
像表示処理部２９と、判定結果処理部３０と、マップ表
示処理部３１とが作動するものとなっている。

【００２８】欠陥検査データメモリ２４には、検査装置
１０から送信されてきた欠陥検査データが記憶される。

【００２９】画像メモリ２５には、撮像装置１７から出
力された欠陥部分の画像信号がキャプチャ画像データと
して記憶される。

【００３０】判定結果メモリ２６には、操作ボックス１
４から入力されたプリント基板２の各ピース１の良否判
定結果が記憶される。この良否判定結果は、各プリント
基板２毎に記憶され、かつ各ピースの位置と対応をとっ
た良否判定結果マップとして記憶される。

【００３１】基板情報表示処理部２７は、欠陥検査デー
タメモリ２４に記憶されている欠陥検査データを読み出
し、この欠陥検査データの中から例えば基板名、ロット
番号、欠陥数など必要な情報を抽出して図３に示すよう
にディスプレイ１３の画面上に表示（ＤＰ_１）する機能
を有する。

【００３２】又、基板情報表示処理部２７は、欠陥検査
データの中からプリント基板２の種類を判別し、この種
別のプリント基板２の各ピース１が示されたプリント基
板２の外観を模式的に表わした基板マップ３２をディス
プレイ１３の画面上に表示（ＤＰ_１）する機能を有す
る。

【００３３】この基板マップ３２は、プリント基板２を
表わす枠３３内に各ピース１を示す四辺形３４が配列し
ている。ピース１を観察しているときには、観察中のピ
ース１を示す四辺形３４の表示色を変えて表示する。な
お、図３では観察中のピース１を示す四辺形３４を斜線
で示している。なお、これら基板情報の表示ＤＰ_１は、
ディスプレイ１３の画面上の左上側である。

【００３４】欠陥位置表示処理部２８は、基板マップ３
２において表示色の変化したピース１の四辺形３４に対
応する検査画像データ、すなわち欠陥検査データメモリ
２４に記憶されている欠陥検査データ中にある検査画像
データを読み出し、この検査画像データを図３に示すよ
うにディスプレイ１３の画面上に表示（ＤＰ_２）する機
能を有する。さらに、特定のピース１を指定した場合に
は、基板情報の表示（ＤＰ_１）の基板マップ３２の所望
のピース１をポインタで指定すると、指定されたピース
１の検査画像データを欠陥検査データメモリ２４から読
み出して表示する機能を付加することも可能である。

【００３５】検査画像データでは、ピース１の各ボンデ
ィングパッド１ａ内の欠陥部に対して印「○」が付さ
れ、後述するキャプチャ画像ＤＰ_３に表示されている欠
陥部を示すために表示色又は点滅表示する。この欠陥位
置の表示ＤＰ_２は、ディスプレイ１３の画面上の左下側
である。

【００３６】観察像表示処理部２９は、欠陥検査データ
メモリ２４に記憶されている各欠陥の座標データを読み
出し、この座標データに基づき欠陥部が実体顕微鏡１８
の視野中心に入るように移動ステーシ１５に駆動指令を
発して、当該ピース１の各欠陥を実体顕微鏡１８の視野
中心に位置合わせる機能を有する。

【００３７】さらに、特定の欠陥部を拡大観察した場合
には、欠陥位置の表示（ＤＰ_２）上の欠陥位置をポイン
タで指定すると、この指定された欠陥部の座標データを
欠陥検査データメモリ２４から読み出し、この欠陥部を
実体顕微鏡１８の視野中心に合わせる機能を付加するこ
とも可能である。

【００３８】又、観察像表示処理部２９は、実体顕微鏡
１８を通して撮像装置１７により拡大撮像された当該ピ
ース１内の欠陥部に対応する画像信号をキャプチャ画像
データとして画像メモリ２５に記憶し、このキャプチャ
画像データを図３に示すようにディスプレイ１３の画面
上の左下側にキャプチャ画像ＤＰ_３として表示する機能
を有する。図３に示すキャプチャ画像ＤＰ_３には、拡大
されたボンディングパッド１ａ上の欠陥部に印「○」が
付されている。

【００３９】ディスプレイ１３の画面上には、検査モー
ドを表示する検査モード表示部ＤＰ _４と、プリント基板
２の各ピース１の良否判定結果を表示する良否判定表示
部ＤＰ_５とが表示される。

【００４０】判定結果処理部３０は、操作ボックス１４
から操作入力されたプリント基板２の各ピース毎の良否
判定結果を受け、各プリント基板２の表裏面の各ピース
１に対する良否判定結果をマップ形式に作成し、判定結
果メモリ２６に記憶する機能を有する。この良否判定結
果マップ（一括表示）データは、少なくともプリント基
板２の表裏側別の各ピース１の位置情報（例えば中心座
標）と、これらピース１の良否判定結果の情報とからな
る。

【００４１】マップ表示処理部３１は、判定結果メモリ
２６に記憶されたプリント基板２の各ピース毎の良否判
定結果を一括して読み出し、これら良否判定結果を図４
に示すようにディスプレイ１３の画面上に一括して表示
する機能を有する。

【００４２】この良否判定結果の表示画面は、プリント
基板２を表わす枠４０内に各ピース１の位置に対応する
複数の四辺形４１を配列している。これらピース１を示
す四辺形４１の配列には、配列番号（例えば縦方向
「１」「２」、横方向「１」〜「６」）が付されてい
る。

【００４３】良否判定結果は、各ピース１毎に表示形態
を異ならせて表示している。例えば、良品は白色、不良
は黒色で表示し、さらに不良でも表側の不良（欠陥部）
に対しては濃い黒色で表示し、裏側の不良（欠陥部）に
対しては薄い黒色で表示する。なお、図４では不良のピ
ース１を斜線により示している。

【００４４】表示色は、黒色に限らず、他の任意の色に
よって表示してもよい。又、良品と不良とを区別する表
示は、表示形態を任意の形態、例えば任意の形状のマー
ク、文字、記号を用いてもよい。

【００４５】なお、マップ表示処理部３１は、プリント
基板２の各ピース毎の良否判定結果のマップデータを一
括してディスプレイ１３の画面上に表示するのに限ら
ず、コンピュータ１２にプリンタを接続し、良否判定結
果の一覧をプリントアウトしてもよい。

【００４６】検査者は、ディスプレイ１３の画面上に表
示された１枚のプリント基板２の各ピース１に対する良
否判定結果の一括表示マップを見ながら、プリント基板
２における不良のピース１に対して手作業でマーキング
を行なう。このマーキングは、例えばオペレータの手作
業でマジックインキを用いて印や記号を付けたり、パン
チングにより孔を開けたり、シールを貼りつけたり、打
ち抜きを行なう。

【００４７】この場合、マーキング処理位置に搬送され
たプリント基板２に近接する位置に小型ディスプレイと
して液晶モニタを配置すると、視線の移動が少なく、マ
ーキングが容易となるので好ましい。

【００４８】一方、プリント基板検査システムでは、自
動でマーキングを行なうことが可能である。例えばコン
ピュータ１２には、パンチング装置２３が接続されてい
る。このパンチング装置２３は、コンピュータ１２から
伝送部２２を通して送られてくる良否判定結果データを
受け、この良否判定結果データの各ピース１の位置情報
とそのピース１の良否判定結果情報とを読み取って、不
良のピース１に対してパンチングを自動で行なうことも
可能である。

【００４９】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００５０】検査装置１０には、ロッド単位でプリント
基板２の検査を行なう。この検査装置１０では、ステー
ジ上に載置されたプリント基板２に対して照明を行い、
ステージの移動によりプリント基板２と撮像装置との相
対的な位置が変えられる。撮像装置は、プリント基板２
の全面又はプリント基板２の各ピース１毎に撮像を行な
う。

【００５１】次に、検査装置１０は、撮像装置の撮像に
より取得された画像データを画像処理して各ピース１毎
に欠陥部、例えばボンディスングパッドの欠けなどを検
出する。このとき、検査装置１０は、複数の検査モード
毎にプリント基板２の各ピース１毎に欠陥部を検出し、
欠陥検査データをベリファイ装置１１に送信する。これ
と共に検査装置１０で検査されたプリント基板２は、ベ
リファイ装置１１の設置位置まで搬送される。

【００５２】ベリファイ装置１１は、伝送部２１を通し
て欠陥検査データを受信して欠陥検査データメモリ２４
に記憶する。

【００５３】搬送されてきたプリント基板２は、移動ス
テージ１５上に吸着保持される。

【００５４】次に、オペレータによって操作ボックス１
４に対して動作開始ボタンを操作すると、コンピュータ
１２は、欠陥検査データメモリ２４に記憶されている欠
陥検査データ中のプリント基板２の基板名を読み取り、
この基板名に対応する各欠陥部位置情報を読み取って、
移動ステージ１５に対して移動指令を発する。

【００５５】この移動ステージ１５は、コンピュータ１
２からの移動指令を受け、プリント基板２における各欠
陥部が順次実体顕微鏡１８の視野中心に入るように移動
動作する。

【００５６】撮像装置１７は、実体顕微鏡１８により拡
大されたプリント基板２におけるピース１の欠陥像を撮
像し、その画像信号を出力する。

【００５７】観察像表示処理部２９は、撮像装置１７か
ら出力された画像信号をキャプチャ画像データとして画
像メモリ２５に記憶する。

【００５８】これと共に観察像表示処理部２９は、キャ
プチャ画像データを図３に示すようにディスプレイ１３
の画面上の左下側にキャプチャ画像ＤＰ_３として表示す
る。このキャプチャ画像ＤＰ_３には、欠陥を含むボンデ
ィングパット１ａの拡大像が表示される。

【００５９】一方、基板情報表示処理部２７は、欠陥検
査データメモリ２４に記憶されている欠陥検査データを
読み出し、この欠陥検査データの中から例えば基板名、
ロット番号、欠陥数などを抽出して図３に示すようにデ
ィスプレイ１３の画面上に表示する。

【００６０】又、基板情報表示処理部２７は、欠陥検査
データの中からプリント基板２の種類を判別し、この種
別のプリント基板２の各ピース１が示されたプリント基
板２の外観を模式的に表わした基板マップ３２をディス
プレイ１３の画面上に表示する。

【００６１】欠陥位置表示処理部２８は、基板マップ３
２において表示色の変化したピース２の四辺形３４に対
応する画像データ、すなわち欠陥検査データメモリ２４
に記憶されている欠陥検査データ中にある検査画像デー
タを読み出し、この検査画像データを図３に示すように
ディスプレイ１３の画面上に表示する。

【００６２】オペレータは、ディスプレイ１３の画面に
表示されている欠陥の拡大像を示すキャプチャ画像ＤＰ
_３を観察し、例えば欠けなどのプリント基板２の品質に
影響を与える欠陥部であるかの良否判定を行なう。

【００６３】この良否判定の結果は、１つのピース１ず
つオペレータによって操作ボックス１４から操作入力さ
れる。プリント基板２の表裏側にピース１が形成されて
いれば、これら表裏側別の良否判定結果が操作入力され
る。

【００６４】判定結果処理部３０は、操作ボックス１４
から操作入力されたプリント基板２の各ピース１毎の良
否判定結果を受け、各プリント基板２の表裏面の各ピー
ス１に対する良否判定結果をマップ形式に作成し判定結
果メモリ２６に記憶する。

【００６５】１枚分のプリント基板２の良否判定結果の
操作入力が終了すると、判定結果処理部３０により１枚
分のプリント基板２に対する良否判定結果データが作成
される。このようにして例えば１ロット分の各プリント
基板２の各良否判定結果データが作成される。

【００６６】次に、マップ表示処理部３１は、判定結果
メモリ２６に記憶されたプリント基板２の各ピース毎の
良否判定結果を一括して読み出し、これら良否判定結果
を図４に示すようにディスプレイ１３の画面上にマップ
形式にて表示する。

【００６７】この良否判定結果の表示画面は、プリント
基板２を表わす枠４０内に各ピース１の位置に対応する
複数の四辺形４１を配列し、これらピース１毎に、例え
ば、良品は白色、表側の不良に対して濃い黒色、裏側の
不良に対しては薄い黒色のように表示形態を異ならせて
良否判定結果を表示する。

【００６８】オペレータは、良否判定が終了したプリン
ト基板２を例えば近接配置された液晶ディスプレイの画
面上に表示されている良否判定結果の一括表示を見なが
ら、プリント基板２における不良のピース１に対して手
作業でマーキングを行なう。

【００６９】このマーキングは、例えばオペレータの手
作業でマジックインキを用いて印や記号を付けたり、パ
ンチングにより孔を開けたり、シールを貼りつけたり、
打ち抜きを行なう。

【００７０】一方、自動でマーキングを行なう場合、コ
ンピュータ１２は、伝送部２２を通して良否判定結果デ
ータをパンチング装置２３に送る。

【００７１】このパンチング装置２３は、良否判定結果
データの各ピース１の位置情報とそのピース１の良否判
定結果情報とを読み取って、不良のピース１に対してパ
ンチングを自動で行なう。

【００７２】このように上記一実施の形態においては、
プリント基板２の各ピース１毎に良否の判定結果を一括
登録し表示するので、１枚分のプリント基板２のマーキ
ングを一括して行なうことができる。

【００７３】従って、従来のように１つの不良ピースを
検出する毎にその都度手作業でマーキングをすることが
なくなりマーキング処理スピードを速くし、かつ良否判
定結果を例えば良品は白色、表側の不良は濃い黒色、裏
側の不良は薄い黒色などの表示形態を異ならせて表示す
ることにより、不良のピース１が視覚的に分かり易く表
示でき、一括表示された良否判定結果を前にして間違え
ることなく確実にマーキングができる。これにより、マ
ーキングの作業性を向上できる。

【００７４】又、コンピュータ１２から良否判定結果デ
ータをパンチング装置２３に送ることによって自動で不
良のピース１のパンチング（マーキング）ができる。

【００７５】従って、検査装置１０とベリファイ装置１
１とパンチング装置２３とを接続することによって、プ
リント基板２の検査からマーキングまでを自動化できる
プリント基板検査システムを構築できる。

【００７６】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【００７７】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００７８】例えば、上記一実施の形態では、ディスプ
レイ１３に一括表示された１枚分のプリント基板２の各
ピース１毎の良否判定結果をオペレータが見ながらマー
キングしているが、１枚分のプリント基板２の良否判定
結果をプリントアウトし、このプリントを見ながらマー
キングを行なってもよい。

【００７９】又、上記一実施の形態では、良否判定結果
を登録作業とマーキング作業とを同一場所で行なってい
るが、登録作業の場所とは異なる場所にマーキング作業
の場所を設け、ここにディスプレイを設置して良否判定
結果を表示し、マーキングを行なうようにしてもよい。

【００８０】標本としてはプリント基板２を例に挙げて
説明したが、これに限らず、多面取りされた標本、例え
ば携帯電話機に使用する液晶基板を複数配列したガラス
基板の検査にも適用できる。

【００８１】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、欠
陥部のあるピースを容易にかつ間違えることなく探して
マーキングすることができる作業性を向上させたベリフ
ァイ装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるベリファイ装置の一実施の形態
を用いたプリント基板検査システムの全体構成図。

【図２】本発明に係わるベリファイ装置の一実施の形態
における制御システムの具体的な構成図。

【図３】本発明に係わるベリファイ装置の一実施の形態
における良否判定の画面を示す図。

【図４】本発明に係わるベリファイ装置の一実施の形態
における良否判定結果の画面を示す図。

【図５】プリント基板の外観図。

【符号の説明】

１：ピース ２：プリント基板 １０：検査装置 １１：ベリファイ装置 １２：ユーザインタフェースパーソナルコンピュータ １３：ディスプレイ １４：操作ボックス １５：移動ステージ １６：照明装置 １７：撮像装置 １８：実体顕微鏡 ２０：主制御部 ２１，２２：伝送部 ２３：パンチング装置 ２４：欠陥検査データメモリ ２５：画像メモリ ２６：判定結果メモリ ２７：基板情報表示処理部 ２８：欠陥位置表示処理部 ２９：観察像表示処理部 ３０：判定結果処理部 ３１：マップ表示処理部 ３２：基板マップ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の検査部位を有する被検査体の欠陥
   検査データに基づいて欠陥部があるとされている前記検
   査部位の像を顕微鏡を用いて観察し、この観察結果から
   前記各検査部位の良否の判定を行なうベリファイ装置に
   おいて、 前記各検査部位ごとに良否の判定結果を登録操作する操
   作手段と、 この操作手段により登録操作された前記各検査部位ごと
   の良否の判定結果を前記各検査部位の位置と対応させて
   記憶する判定結果記憶手段と、 この判定結果記憶手段に記憶された前記各検査部位の良
   否の判定結果を一括して報知出力する報知手段と、を具
   備したことを特徴とするベリファイ装置。
2. 【請求項２】 複数の検査部位を有する被検査体の欠陥
   検査データに基づいて欠陥部があるとされている前記検
   査部位の像を顕微鏡を用いて観察し、この観察結果から
   前記各検査部位の良否の判定を行なうベリファイ装置に
   おいて、 前記欠陥検査データと前記各検査部位が示された前記被
   検査体の外観を模式的に表わした被検査体マップとを表
   示する基板情報表示手段と、 前記欠陥検査データに基づいて前記被検査体マップにお
   いて表示された前記検査部位の前記欠陥検査データを表
   示する欠陥位置表示手段と、 前記欠陥検査データに基づいて前記被検査体マップにお
   いて表示された前記検査部位に対応する前記被検査体の
   前記検査部位に対して前記顕微鏡を位置合わせし、当該
   検査部位の顕微鏡像を取得して表示する観察像表示手段
   と、 前記顕微鏡像を観察して得られた前記各検査部位ごとに
   良否の判定結果を登録操作する操作手段と、 この操作手段により登録操作された前記各検査部位ごと
   の良否の判定結果を前記各検査部位の位置と対応させて
   記憶する判定結果記憶手段と、 この判定結果記憶手段に記憶された前記各検査部位の良
   否の判定結果を一括して報知出力する報知手段と、を具
   備したことを特徴とするベリファイ装置。
3. 【請求項３】 前記判定結果記憶手段は、前記操作手段
   により登録操作された前記被検査体の表裏側の前記各検
   査部位ごとの良否の判定結果を前記各検査部位の位置と
   対応させて記憶することを特徴とする請求項１又は２記
   載のベリファイ装置。
4. 【請求項４】 前記報知手段は、前記各検査部位が示さ
   れた前記被検査体の外観を模式的に表わし、かつ前記各
   検査部位ごとに前記良否の判定結果をそれぞれ異なる表
   記形態で表わす良否判定結果マップを報知出力すること
   を特徴とする請求項１又は２記載のベリファイ装置。
5. 【請求項５】 前記報知手段は、前記被検査体の表裏側
   の前記良否の判定をそれぞれ異なる表記形態で表わすこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載のベリファイ装置。
6. 【請求項６】 前記報知手段は、前記各検査部位ごとに
   前記良否の判定結果をそれぞれ異なる色で表示出力する
   ことを特徴とする請求項１乃至５のうち少なくとも１項
   記載のベリファイ装置。