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JPS58163406A - 液体の「ろ」過方法 - Google Patents

液体の「ろ」過方法

Info

Publication number
JPS58163406A
JPS58163406A JP4686882A JP4686882A JPS58163406A JP S58163406 A JPS58163406 A JP S58163406A JP 4686882 A JP4686882 A JP 4686882A JP 4686882 A JP4686882 A JP 4686882A JP S58163406 A JPS58163406 A JP S58163406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
membrane
treated
water
permeation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4686882A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Kamibayashi
政博 上林
Keisuke Nakagome
中込 敬祐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Electric Industrial Co Ltd filed Critical Nitto Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4686882A priority Critical patent/JPS58163406A/ja
Publication of JPS58163406A publication Critical patent/JPS58163406A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は液体のf過方法に関する。
限外r過膜や逆浸透膜のような半透膜を用いて液体をr
過処理することが、近年、工業的にも実施されるに至っ
ている。これら半透膜による液体の1通は、一般的には
液体を膜面に対して一定の流速を有するように接触させ
ることにより行なわれている。この方法は所謂クロスフ
a−と称されており、処理液体中に含まれる溶質や懸濁
物が膜面に濃度分極層やゲル層を形成して透液速度を低
下させるのを妨げる利点を有する。しかし、クロスフロ
ーにおいては、通常、回収率が数%乃至数十%の範囲で
液体を処理するためΦ、液体の損失が大きい。
しかしながら、本発明者らは、例えば半導体工業や医療
分野で用いられる超純水の製造工種において、微粒子を
僅かに含む水を限外r過膜にて最終的に処理するような
場合、分画分子量が適切な半透膜を用いれば、処理すべ
き水を全量透過法でf遇することにより、高い回収率で
超純水を得ることができることを電比して、本発明に至
ったものである。
本発明による液体のr過方法は、分画分子量50000
0以下の半透膜を用いて液体を処理する方法において、
上記半透膜を透過しない粒径の微粒子を10000個/
 ml 以下の割合で含有する液体を上記半透膜に加圧
下に接触させ、全量透過法にてf遇すると共に、間断的
に膜面を7ラツシユ洗滌することを特徴とする特 ζζに全量透過法とは、処理すべき液体を膜面に対して
線速をもたせることなく、加圧下に膜面に接触させてP
遇する方法を意味し、いわば膜で−じられた空間に処理
すべき液体を加圧供給してr遇する方法である。
本発明において用いる半透膜の素材及び形態は側ら制限
されていないが、その分−分子量は5oooo。
以下である。分画分子量が5oooooより犬会い場合
には、超純杢の製造のような場合、粒SO,Sμ以下の
微粒子を濾過し−くなり、高品質の超純水が得られない
おそれがある。好ましくは、半透膜の分画分子量は20
0000以下、特に好ましくは100000以下である
本発明において処理する液体は、上記¥透膜を透過しな
い粒径の微粒子を10000個/ml  より多量に含
有していてはならない。処理液中の微粒子数は、処理液
を微粒子捕捉用フィルターで捕捉し、直接顕鏡法1こて
測定することができる。処理液中の微粒子数が1000
0個/ml  を越えると、処理液を全量透過法でr遇
する場合に膜面の目詰まり゛が著しく、後述するフラッ
シュ洗滌によっても透液速度が充分に回復しないか、又
は頻繁な洗滌を要するので、f液の回収率が低下する。
好ましくは、処理液中の微粒子数は1000個/m1 
以下である。
図面は本発明の濾過方法の一例を示し、例えば超純水の
製造における最終工程としての限外濾過に好適である。
即ち、上水を適宜に前処理した後、逆浸透濾過、イオン
交換樹脂による処理を経て一次純水を得、これを更にイ
オン交換樹脂処理し、紫外線殺菌した水を原水とし、ポ
ンプ2により限外濾過膜モジュール3に全量透過法にて
加圧供給する。以下、超純水の製造を例として本発明を
説明するが、本発明の方法の利用はこの例に限定されな
い。本発明の方法においては、パルプ4及び5を開け、
バルブ6を閉じて、原水を膜モジュールに供給し、クロ
スフローすることなく、全量透過法にて半透膜7を透過
させて超純水を得る。−b1膜性能、特に透液速度を高
く保つために断続的に或いは定期的に膜面をフラッシュ
洗滌する。
即ち、パルプ6を開け、バルブ5を閉じて原水を膜面に
対して線速を有するように通過させて膜面を洗滌する。
この場合、透過液量が当初のレベルから10%程度低下
したときに原水で7ラツシユ洗滌するのが好ましく、ま
た、洗滌に使用する液量はその時点までのf液量03%
程度以下が好ましい。余りに多量に使用すれば、原水か
らの超純水の回収率が小さくなるからである。勿論、原
水の例えば2%程度を洗滌液として別に確保しておき、
これをフラッシングに繰返し使用することもでき、この
方法によれば極めて高い回収率で超純水を得ることがで
きる。淘、フラッシュ洗滌時の洗滌液の膜面に対する流
速は特に制限されないが、0.7m/秒以上が好適であ
る。
向、微粒子には種々おるが、例えば超純水の製造の場合
には、生菌、死菌微生物、シリカ、ごみ等が挙げられる
。生菌の場合、処理中に増殖するおそれもあるので、膜
面の洗滌に際して殺菌処理を行なうことが望ましい。
本発明によれば、微粒子含量の小さい処理液を全1−透
過法にて膜処理しつつ、間断的に膜面をフラッシュ洗滌
して透液速度を高く維持するので、f液の回収率を高め
ることができ、例えば前記したように超純水の製造ξζ
好遍である。
実施例 111記したように上水から一連の処理を経て紫外いて
、1kf/−の圧力下に原水を全量透過法により処理し
た。当初の原水から0.20μ径微粒子捕捉用フィルタ
ーにて微粒子を捕捉し、1500倍直接顕鏡法にて原水
中の微粒子数を測定したところ、263個/ml  で
あり、当初の透水速度−80t/♂・hr%f液中の微
粒子数は12個/ml であった。3か月の連続運転後
、膜モジュールの透水速度は5121/ al−hrに
低下し、また、原水中における微粒子数は1080個/
ml  まで増加したが、r液中の微粒子数は13個/
ml  であって、当初と実質的に同じであった。ここ
で前記したように、原水を膜面に対して1.5m/秒の
線速で供給して膜面を15分間フラツシエ洗滌したとζ
ろ、透水速度は当初と実質的に変らない578 L/d
・hrまで回復すると共に、モジュールの微粒子r過能
力も変化なく、安定した水質の超純水を得ることができ
た。
このようにして間断的にフラッシュ洗滌を行ないつつ、
原水処理を1年間続けたが、モジューJし性能は変化せ
ず、安定した品質O超純水を製造することができた。
実施例2 井水を前記した一連の処理後、紫外線殺菌して原水とし
、分画分子量2000Gの中空糸鳳ポリスルホン限外r
過モジュールを用い、1]#/−の圧力下に全量透過法
により処理した。当初、原水中の微粒子数は2820個
/ml、f液中のそれは10個/ml であり、透水速
度は268 L/d・hrであった。1週間の連続運転
後、透水速度が232 t/♂・hrに低下したが、膜
の微粒子r過能には変化がなかった。この時点でフラッ
シュ洗滌を15分間行なったところ、膜モジュールの透
水速度は266 t/♂・hrに回復し、微粒子r過能
にも変化はなかった。
このような運転を3か月にわたって行なったが、モジュ
ール性能は変化なく、安定した水質の超純水を製造する
ことができた。
実施例3 実施例2において、膜モジュールとして分画分子ii5
0000のスパイラル型ポリスルホン限外濾過モジュー
ルを用い、2ke/cJの圧力下で原水を処理した。当
初、原水中の微粒子数は2140個/ ”’ s iP
液液中それは11個/ ml  であり、透水速度は2
53 t/rl ehrであった。1週間の連続運転鏝
、透水速度が224 t/♂・hrに低下したが、膜の
微粒子f過能には変化がなく、P液中の微粒子数は10
個/ ml  であった。この時点でフラッシュ洗滌を
15分間行なったところ、膜モジュールの透水速度は2
48 t/♂・hrに回復し、微粒子f過能にも変化は
なかった。
このような運転を3か月にわたって行なったが、モジュ
ール性能は変化なく、安定した水質の超純水を製造する
ことができた。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の方法を実施するための装置構成の一例を
示す。 1・・・原水、3・・・膜モジュール、7・・・半透膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 11)分画分子量5ooooo以下の半透膜を用いて液
    体を処理する方法において、上記半透膜を透過しな°い
    粒径の微粒そを10000個/ ml 以下の割合で含
    有する液体を上記半透膜に加圧下に接触させ、全量透過
    法にてr遇すると共に、間断的に膜面をフラッシュ洗滌
    することを特徴とする液体のf過方法。
JP4686882A 1982-03-23 1982-03-23 液体の「ろ」過方法 Pending JPS58163406A (ja)

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JP4686882A JPS58163406A (ja) 1982-03-23 1982-03-23 液体の「ろ」過方法

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JPS58163406A true JPS58163406A (ja) 1983-09-28

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JP4686882A Pending JPS58163406A (ja) 1982-03-23 1982-03-23 液体の「ろ」過方法

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