JPH1152010A - バーンインボードおよびそれを備えたバーンイン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １度にバーンインができるパッケージのサブ
ボードへの装着密度を増加し、さらに均一なバーンイン
ができるバーンインボードを得ることである。 【解決手段】 パッケージ４０を載置するサブボード３
と、サブボード３を配置する領域を有するメインボード
１ａと、メインボード１ａにサブボード３を傾斜して取
着する可動ソケット３０を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は半導体デバイスに
バーンインを実施する際に用いるバーンインボードおよ
びそれを備えたバーンイン装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】バーンインはパッケージ（半導体集積回
路素子を含み、テスト時等の取り扱いを容易にしたも
の。以下、パッケ−ジという。）に通常動作よりも高い
電源電圧および温度ストレスを与えて、パッケ−ジの初
期不良（破損原因となる不良）を取り除くための試験で
ある。このバーンインに使用される用具をバーンインボ
ードと言う。図２８は従来のバーンインボードの構成図
であり、図２９はその側面構成図を示す。図２８および
図２９においてバーンインボード１０００の表面にはパ
ッケージ４０００を固定するためのソケット５０００が
一定の間隔をおいて設けられている。バーンインボード
１０００の一端部には信号を供給するコネクタ１０００
ａが設けられ、他端部には入力信号が正確に供給されて
いるかモニターできるチェック端子１０００ｂが設けら
れている。入力信号が正確に供給されているかどうかは
パッケージ４０００を装着した状態での波形のチェック
で確認できる。このバーンインボードがレール３０００
に乗せられて、バーンイン装置内に設置される。また、
図３０は従来の小型のバーンインボードの連結図を示
す。図３１は小型のバーンインボードの平面図であり、
図３２はその側面図を示す。図３１および図３２におい
て小型のバーンインボード３３００上にはパッケ−ジ固
定用ソケット５３００が保持されて、このパッケ−ジ固
定用ソケット５３００の中にパッケ−ジ４３００が配設
される。また、小型のバーンインボード３３００の長手
方向の一端部には、別の小型のバーンインボードの凹型
コネクタに接続するための凸型コネクタ３３００ａが、
他端部には別の小型のバーンインボードの凸型コネクタ
に接続するための凹型コネクタ３３００ｂが付設されて
いる。この小型のバーンインボードがレール３０００ａ
に乗せられて、バーンイン装置内に設置される。また、
図３３は従来のバーンインボードの側面図を示す。図３
４はそのサブボードの平面図であり、図３５はその側面
図を示す。図３４および図３５において、サブボード３
１００上にはパッケージ固定用ソケット５５００が保持
されて、このパッケージ固定用ソケット５５００の中に
パッケージ４５００が配設される。また、サブボード３
１００の長手方向の一端部にはメインボードのコネクタ
に接続するための凸型コネクタ３１００ａが付設されて
いる。

【０００３】さらに、図３６は、例えば特開平４−２６
３４５０号公報に示された従来のバーンインボードの斜
視図である。図３６においてメインボード５４００上に
は複数のカ−トリッジコネクタ５５００がほぼ直角に設
置され、コネクタ４８００が付設されている。また、コ
ネクタ４８００にはメインボード５４００上のパタ−ン
配線が接続している。次にサブボード３５００上にはパ
ッケージ固定用のソケット４１００が持設され、コネク
タ３７００が付設されている。また、コネクタ３７００
にはサブボード３５００上のパタ−ン配線が接続してい
る。そしてコネクタ３７００をカートリッジコネクタ５
５００に挿嵌することによりサブボード３５００をメイ
ンボード５４００に、ほぼ直角に装着して、林立させて
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のバ
ーンインボードでは、メインボードに林立させているサ
ブボードの高さは必然的にバーンイン装置の高さに制約
され、１枚のサブボードに装着できるパッケージ数が限
定される。また、バーンイン装置内は対流熱が生じてい
るため、メインボードにほぼ直角に林立させたサブボー
ドでは対流熱の死点、即ち熱たまりが発生する。この熱
たまり発生箇所が多いと均一なバーンインができなくな
る。従って、この発明は１度にバーンインができるパッ
ケージのサブボードへの載置密度を増加し、さらに均一
なバーンインができるバーンインボードを得ることを目
的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に係わるバーン
インボードは、バーンイン処理される複数の半導体装置
が載置され、半導体装置と電気的に導通される第１の配
線基板と、第１の配線基板が配置される領域を有し、第
１の配線基板と電気的に導通される第２の配線基板と、
第２の配線基板に設けられ、第１の配線基板を第２の配
線基板に対して傾斜させるように保持するソケットとを
有するものである。

【０００６】また、バーンイン処理される複数の半導体
装置が載置され、半導体装置と電気的に導通される第１
の配線基板と、第１の配線基板が配置される領域を有
し、第１の配線基板と電気的に導通される第２の配線基
板と、第１の配線基板に設けられ、第２の配線基板に対
して第１の配線基板を傾斜させるように保持するソケッ
トとを有するものである。

【０００７】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第１の配線基板と第２の配線基
板との相対的な傾斜角度を任意に保持するソケットを有
するものである。

【０００８】また、請求項３記載のバーンインボードに
おいて、ソケットは第１の配線基板が取り付けられる凹
型コネクタと、凹型コネクタに固着されたアームと、第
２の配線基板に取り付けられる保持具と、凹型コネクタ
に咬合され第２の配線基板に接合されるフレキシブル基
板と、アームが保持具に締め付けられる締め付け具とで
構成されるものである。

【０００９】また、請求項３記載のバーンインボードに
おいて、ソケットは第１の配線基板が取り付けられる凹
型コネクタと、凹型コネクタに固着されたアームと、第
２の配線基板に取り付けるための凸型コネクタが設けら
れた箱状保持具と、凹型コネクタに咬合され凸型コネク
タに接合されたフレキシブル基板と、アームが箱状保持
具に締め付けられる締め付け具とで構成されるものであ
る。

【００１０】また、請求項３記載のバーンインボードに
おいて、ソケットは第１の配線基板が取り付けられる凹
型コネクタと、第２の配線基板に取り付けられ一定角度
に開口が設けられた分度器型保持具と、凹型コネクタに
咬合され第２の配線基板に接合されたフレキシブル基板
と、凹型コネクタに固着され分度器型保持具の開口に嵌
合される突起を設けたアームとで構成されるものであ
る。

【００１１】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第１の配線基板に開口部を設け
たものである。

【００１２】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第１の配線基板および第２の配
線基板の電気的波形の確認を共通の確認器によって行う
ものである。

【００１３】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、確認器に内蔵した凸型コネクタ
を接続するための凹型コネクタを第１の配線基板および
第２の配線基板に付設したものである。

【００１４】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第２の配線基板に対して複数の
第１の配線基板を、それらの端部の軌跡が略流線形を描
くように傾斜させて保持したものである。

【００１５】また、請求項１０記載のバーンインボード
において、第２の配線基板に対して複数の第１の配線基
板を、それらの端部の軌跡が略双曲螺線を描くように傾
斜させて保持したものである。

【００１６】また、請求項１０記載のバーンインボード
において、第２の配線基板に対して複数の第１の配線基
板を、それらの端部の軌跡が略リチュウスを描くように
傾斜させて保持したものである。

【００１７】さらに、請求項１ないし請求項１２記載の
いずれかのバーンインボードと、バーンインボードを支
えるための仕切が設けられた炉部と、熱源部と、制御部
とを備えたバーンイン装置である。

【００１８】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．以下、この発明について図面を参照して
説明する。図１は実施の形態１によるバーンインボード
を示す。図１において、メインボード１ａ上には任意角
度に設定が可能である可動ソケット３０が複数取り付け
てあり、バーンイン前後で各サブボードとの電気的な波
形を確認するチェック端子７を有している。また、図２
は実施の形態１によるサブボードの平面図であり、図３
はその側面図を示す。図２および図３において、サブボ
ード３上にはパッケージ固定用ソケット５０が保持され
て、このパッケージ固定用ソケット５０の中にパッケー
ジ４０が配設される。また、サブボード３の長手方向の
一端部には可動ソケット３０に接続するための凸型コネ
クタ３ａが付設されている。さらに、凸型コネクタ３ａ
近傍には開口部３ｃを設けている。可動ソケット３０を
一定の角度に設定した後、サブボード３の凸型コネクタ
３ａを可動ソケット３０の凹型コネクタ３０ａに挿嵌し
て取り付けている。尚、メインボード１ａ上のチェック
端子７は各々のサブボードに対して電気的に正常な波形
が得られるように、メインボード１ａおよびサブボード
３の配線を設定している。この状態でバーンイン装置内
に設置して対流熱８を加えてバーンインを行う。

【００１９】次に、図４に可動ソケット３０の第１の実
施例を示す。図４において、この可動ソケット３０はサ
ブボード３の端部に付設される凸型コネクタ３ａが挿入
される凹型コネクタ３０ａと、凹型コネクタ３０ａに固
着したアーム３０ｂと、メインボード１ａに取り付けし
た保持具３０ｄと、凹型コネクタ３０ａに咬合されメイ
ンボード１ａに接合するフレキシブル基板３０ｅと、ア
ーム３０ｂと保持具３０ｄを締め付けるネジ３０ｃとで
構成される。従って、アーム３０ｂと保持具３０ｄを任
意の角度に設定してネジ３０ｃで締め付けることによ
り、サブボード３をメインボード１ａに対して任意の角
度に取り付けることができ、サブボード３の凸型コネク
タ３ａと可動ソケット３０の凹型コネクタ３０ａとの着
脱も自在である。

【００２０】また、図５に可動ソケットの第２の実施例
を示す。図５において、この可動ソケット３１は第１の
実施例における保持具以外は全て同一である。即ち、保
持具３０ｄの代わりに箱状保持具３１ｄを有する。箱状
保持具３１ｄには凸型コネクタ３１ｆを設け、凹型コネ
クタ３１ａから延在したフレキシブル基板３１ｅの一端
と接続している。この可動ソケットによればメインボー
ド１ａ上に凹型コネクタが設置されている既存のメイン
ボードをそのまま使用することが可能である。

【００２１】さらに、図６に可動ソケットの第３の実施
例を示す。図６において、この可動ソケット３２は第１
の実施例における保持具およびネジの代わりに一定角度
に開口３２ｇを設けた分度器型保持具３２ｄを有し、ア
ーム３２ｂに突起３２ｈを設けて分度器型保持具３２ｄ
の開口３２ｇに嵌合している。その他の構成は第１の実
施例と同様である。この可動ソケットによれば第１の実
施例に比べてネジの締め付け力に頼る必要がなく、アー
ム３２ｂの角度固定が容易である。

【００２２】この実施の形態１によると、従来例と比べ
て単に実装密度を向上させるためにサブボードを立設す
るだけでなく、熱効率を考慮し、サブボードをメインボ
ードに対して角度をつけて斜めに取り付けるため、パッ
ケージ周辺の熱が循環し易い上により多くのパッケージ
が装着可能で、バーンインボードの数が少なくても１回
あたりのバーンイン能力を上げることができる。また、
サブボードに熱風が通り抜けることが可能な開口部を設
けることにより、熱通りを良くして対流をおこさせ、パ
ッケージ周辺の熱だまりを防止して各パッケージに熱が
均等にかかるようにした。また、パッケージ固定用ソケ
ットによる接触不良の場合でも、サブボードの取り替え
交換のみで寸時に対応できてメンテナンスが容易であ
る。さらに、同一信号を与える種類の異なるパッケー
ジ、例えばＰＧＡ（Ｐｉｎ ＧｒｉｄＡｒｒａｙ、以下
ＰＧＡという。）のサブボードとＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆ
ｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ、以下ＱＦＰという。）のサブ
ボード組み合わせ等においてサブボードを差し替えるだ
けで容易に接続が可能である。

【００２３】実施の形態２．図７は実施の形態２による
バーンインボードを示す。図７において、メインボード
１ｂ上には任意角度に設定が可能である可動ソケット３
０が複数取り付けてあり、長手方向の一端部に後述のチ
ェッカー７０に内蔵した凸型コネクタに接続するための
凹型コネクタ２を付設する。また、図８は実施の形態２
によるサブボードの平面図であり、図９はその側面図を
示す。図８および図９において、サブボード３００上に
はパッケージ固定用ソケット５１が保持されて、このパ
ッケージ固定用ソケット５１の中にパッケージ４１が配
設される。また、サブボード３００の長手方向の一端部
には可動ソケット３０に接続するための凸型コネクタ３
００ａが、他端部には後述のチェッカー７０に内蔵した
凸型コネクタに接続するための凹型コネクタ３００ｂが
付設されている。さらに、凸型コネクタ３００ａ近傍に
は開口部３００ｃを設けている。可動ソケット３０を一
定の角度に設定した後、サブボード３００の凸型コネク
タ３００ａを可動ソケット３０に挿嵌して取り付けてい
る。この状態でバーンイン装置内に設置して対流熱を加
えてバーンインを行う。

【００２４】また、メインボード１ｂには電気的な波形
を確認するチェック端子が存在しない。電気的な波形チ
ェックは別体のチェッカー７０で行う。図１０はこのチ
ェッカーの平面図であり、図１１はその側面図を示す。
図１０および図１１において、チェッカー７０は角度調
整可能な可動ソケット７０ｂ、チェック端子７０ａ、ケ
−ブル７０ｃ等で構成する。尚、チェッカー７０を挿嵌
すれば電気的に正常な波形が得られるように、メインボ
ード１ａおよびサブボード３の配線を設定している。メ
インボード１ｂの凹型コネクタ２にチェッカー７０に内
蔵した凸型コネクタを挿嵌する。また、サブボードにも
同様に凸型コネクタを挿嵌してチェックができるように
なっている。まずメインボード１ｂのチェックで、どの
サブボードに電気的に正常な波形と異なる波形が存在す
るかを探知し、タ−ゲットとなるサブボードにチェッカ
ー７０を挿嵌して、どのパッケージが電気的に正常な波
形と異なる波形であるかをチェックする。

【００２５】この実施の形態２によると、実施の形態１
に比べ、メインボード上のチェック端子が不要であり、
メインボードの配線構造が簡単であり製造も容易であ
る。また、１つのチェッカーでメインボードもサブボー
ドもチェックを行うことができるので、チェック部品の
共通化を図ることができコンパクトなバーンインボード
を構成することが可能である。また各々のサブボードに
対して最小数量のパッケージまで踏み込んだ詳細な電気
的な波形チェックができ、チェック端子の見ずらさを角
度調整することで見易くできるので作業効率を向上する
ことが可能である。また、サブボードに熱風が通り抜け
ることが可能な開口部を設けることにより、熱通りを良
くして対流をおこさせ、パッケージ周辺の熱だまりを防
止して各パッケージに熱が均等にかかるようにした。ま
た、パッケージ固定用ソケットによる接触不良の場合で
も、サブボードの取り替え交換のみで寸時に対応できて
メンテナンスが容易である。さらに、同一信号を与える
種類の異なるパッケージ、例えばＰＧＡのサブボードと
ＱＦＰのサブボード組み合わせ等においてサブボードを
差し替えるだけで容易に接続が可能である。

【００２６】実施の形態３．図１２は実施の形態３によ
るバーンインボードを示す。図１２において、メインボ
ード１ｃ上に凹型コネクタ１０が複数取り付けてあり、
バーンイン前後で各サブボードとの電気的な波形を確認
するチェック端子７ａを有している。また、図１３は実
施の形態３によるサブボードの平面図であり、図１４は
その側面図を示す。図１３および図１４において、サブ
ボード３１０上にはパッケージ固定用ソケット５３が保
持されて、このパッケージ固定用ソケット５３の中にパ
ッケージ４３が配設される。また、サブボード３１０の
長手方向の一端部には可動ソケット３３が付設されてい
る。さらに、可動ソケット３３近傍には開口部３１０ｃ
を設けている。サブボード３１０の可動ソケット３３の
凸型コネクタ３３ａをメインボード１ｃの凹型コネクタ
１０に挿嵌して取り付けする前後において、可動ソケッ
ト３３をサブボード３１０に装着するパッケージおよび
取り付けられるサブボード３１０の数によって自由に傾
きを設定することができる。また、パッケージ周辺の熱
が循環し易いように取り付け位置およびサブボード３１
０の傾きを変更することが可能である。尚、メインボー
ド１ｃ上のチェック端子７ａは各々のサブボードに対し
て電気的に正常な波形が得られるように、メインボード
１ｃおよびサブボード３１０の配線を設定している。こ
の状態でバーンイン装置内に設置して対流熱８ａを加え
てバーンインを行う。

【００２７】この実施の形態３によると、実施の形態１
と同様の効果がある。

【００２８】実施の形態４．図１５は実施の形態４によ
るバーンインボードを示す。図１５において、メインボ
ード１ｄ上に凹型コネクタ１０が複数取り付けてあり、
長手方向の一端部に実施の形態２と同様のチェッカー７
１に内蔵した凸型コネクタに接続するための凹型コネク
タ２０を付設する。また、図１６は実施の形態４による
サブボードの平面図であり、図１７はその側面図を示
す。図１６および図１７において、サブボード３３０上
にはパッケージ固定用ソケット５５が保持されて、この
パッケージ固定用ソケット５５の中にパッケージ４５が
配設される。また、サブボード３３０の長手方向の一端
部には可動ソケット３３が付設され、可動ソケット３３
近傍には開口部３３０ｃを設けている。さらに、他端部
には実施の形態２と同様のチェッカー７１に内蔵した凸
型コネクタに接続するための凹型コネクタ３３０ｂが付
設されている。サブボード３３０の可動ソケット３３の
凸型コネクタ３３ａをメインボード１ｄの凹型コネクタ
１０に挿嵌して取り付けする前後において、可動ソケッ
ト３３をサブボード３３０に装着するパッケージおよび
取り付けられるサブボード３３０の数によって自由に傾
きを設定することができる。また、パッケージ周辺の熱
が循環し易いように取り付け位置およびサブボード３３
０の傾きを変更することが可能である。メインボード１
ｄにサブボード３３０を取り付けた状態でバーンイン装
置内に設置し対流熱を加えてバーンインを行う。

【００２９】尚、上述したチェッカー７１の構成および
機能は実施の形態２と同様である。

【００３０】また、この実施の形態４も実施の形態２と
同様の効果がある。

【００３１】実施の形態５．図１８は実施の形態５によ
るバーンインボードを示す。図１８において、メインボ
ード１ｅ上にはほぼ等間隔で、メインボード１ｅの水平
線に対して一定の角度に傾斜した凹型コネクタ３５が複
数取り付けてあり、バーンイン前後で各サブボードとの
電気的な波形を確認するチェック端子７ｂを有してい
る。また、図１９は実施の形態１と同様のサブボードの
平面図であり、図２０はその側面図を示す。図１９およ
び図２０において、サブボード３５０上にはパッケージ
固定用ソケット５７が保持されて、このパッケージ固定
用ソケット５７の中にパッケージ４７が配設される。ま
た、サブボード３５０の長手方向の一端部には凹型コネ
クタ３５に接続するための凸型コネクタ３５０ａが付設
されている。さらに、凸型コネクタ３５０ａ近傍には開
口部３５０ｃを設けている。サブボード３５０の凸型コ
ネクタ３５０ａをメインボード１ｅの凹型コネクタ３５
に挿嵌して取り付けている。尚、メインボード１ｅ上の
チェック端子７ｂは各々のサブボードに対して電気的に
正常な波形が得られるように、メインボード１ｅおよび
サブボード３５０の配線を設定している。この状態でバ
ーンイン装置内に設置して対流熱８ｂを加えてバーンイ
ンを行う。

【００３２】この実施の形態５によると、実施の形態１
と同様の効果がある。また、メインボードへのサブボー
ド取り付け角度はメインボード上に取り付けた凹型コネ
クタの傾斜によって固定されてしまうが、他の実施の形
態による可動ソケットに比べて、最も構造が単純であ
り、安定した取り付けを得ることができる。

【００３３】実施の形態６．図２１は実施の形態６によ
るバーンインボードを示す。図２１において、メインボ
ード１ｆ上にはほぼ等間隔で、メインボード１ｆの水平
線に対して一定の角度に傾斜した凹型コネクタ３５が複
数取り付けてあり、、長手方向の一端部に実施の形態２
と同様のチェッカー７３に内蔵した凸型コネクタに接続
するための凹型コネクタ２１を付設する。また、図２２
は実施の形態６によるサブボードの平面図であり、図２
３はその側面図を示す。図２２および図２３において、
サブボード３７０上にはパッケージ固定用ソケット５７
が保持されて、このパッケージ固定用ソケット５７の中
にパッケージ４７が配設される。また、サブボード３７
０の長手方向の一端部には凹型コネクタ３５に接続する
ための凸型コネクタ３７０ａが、他端部には実施の形態
２と同様のチェッカー７３に内蔵した凸型コネクタに接
続するための凹型コネクタ３７０ｂが付設されている。
さらに、凸型コネクタ３７０ａ近傍には開口部３７０ｃ
を設けている。サブボード３７０の凸型コネクタ３７０
ａをメインボード１ｆの凹型コネクタ３５に挿嵌して取
り付けている。この状態でバーンイン装置内に設置して
対流熱を加えてバーンインを行う。

【００３４】この実施の形態６によると、実施の形態２
と同様の効果がある。

【００３５】実施の形態７．図２４は実施の形態７によ
るバーンインボードの第１の実施例を示す。図２４にお
いて、メインボード１ｇ上には実施の形態１同様の可動
ソケットが、ほぼ対数的な間隔を設けて複数個配置して
ある。また、可動ソケットは各々傾斜角度を変えてい
る。その可動ソケットに実施の形態１記載のサブボード
を装着するわけであるが、サブボードの可動ソケットに
装着されていない方の端部の軌跡が、ほぼ双曲螺線（ｒ
＝ａ／θ）を描くように可動ソケットの角度調整および
メインボード１ｇへの配置を行う。尚、前記双曲螺線の
極座標に関する方程式ｒにおいてａは半径、θは回転角
を示す。

【００３６】このようにサブボードを装着したバーンイ
ンボードでは、対流熱のレイノルズ数Ｒｅがバーンイン
装置内の風速に比例するので、例えばＲｅ＝１０００未
満の場合、対流熱８ｃは各々のサブボードの軌跡を描く
端部に当たって、層流域であってもその渦を可動ソケッ
ト側の端部へと導く。また、可動ソケット近傍に達した
渦は可動ソケットの隙間から抜け出て、対流熱の本流と
同化する。

【００３７】図２５は同様の実施の形態によるバーンイ
ンボードの第２の実施例を示す。図２５において、メイ
ンボード１ｈ上には実施の形態１同様の可動ソケット
が、ほぼ対数的な間隔を設けて複数個配置してある。ま
た、可動ソケットは各々傾斜角度を変えている。その可
動ソケットに実施の形態１記載のサブボードを装着する
わけであるが、サブボードの可動ソケットに装着されて
いない方の端部の軌跡が、ほぼリチュウス（ｒ＝｜ａ／
√θ｜）を描くように可動ソケットの角度調整およびメ
インボード１ｆへの配置を行う。尚、前記リチュウスの
極座標に関する方程式ｒにおいてａは半径、θは回転角
を示す。

【００３８】このようにサブボードを装着したバーンイ
ンボードでは、前記同様、対流熱のレイノルズ数Ｒｅが
バーンイン装置内の風速に比例するので、例えばＲｅ＝
１０００以上の場合、対流熱８ｄは各々のサブボードの
軌跡を描く端部に当たって、その渦を可動ソケット側の
端部へと導く。また、可動ソケット近傍に達した渦は可
動ソケットの隙間から抜け出て、対流熱の本流と同化す
る。

【００３９】この実施の形態７によると、実施の形態１
あるいは実施の形態３によるバーンインボード比べ、対
流熱をさらに均一に加えることができ、バーンインの熱
効率を向上することが可能である。

【００４０】実施の形態８．図２６は実施の形態８によ
るバーンイン装置の全体図を示す。また、図２７は例え
ば実施の形態１のバーンインボードをバーンインしてい
る状態を示す。図２６において、このバーンイン装置１
００は炉部１１０と熱源部１２０と制御部１３０とで構
成され、炉部１１０にはバーンインボードを支えるため
の仕切１１０ａが設けられ、炉部１１０と熱源部１２０
との境にはファン１１０ｂが設けられている。熱源部１
２０の熱調整およびファン１１０ｂの速度調整等は制御
部１３０で行われる。次に、図２７において、仕切１１
０ａで支えられたバーンインボードは熱源部１２０から
の熱風１２０ａがファン１１０ｂによって絶えず供給さ
れ、その熱風１２０ａも炉部１１０内部で循環されてい
る。

【００４１】

【発明の効果】この発明に係わるバーンインボードにお
いては、バーンイン処理される複数の半導体装置が載置
され、半導体装置と電気的に導通される第１の配線基板
と、第１の配線基板が配置される領域を有し、第１の配
線基板と電気的に導通される第２の配線基板と、第２の
配線基板に設けられ、第１の配線基板を第２の配線基板
に対して傾斜させるように保持するソケットとを有する
ことによりバーンインボードの数が少なくても１回あた
りのバーンイン能力を向上することができる。

【００４２】また、バーンイン処理される複数の半導体
装置が載置され、半導体装置と電気的に導通される第１
の配線基板と、第１の配線基板が配置される領域を有
し、第１の配線基板と電気的に導通される第２の配線基
板と、第１の配線基板に設けられ、第２の配線基板に対
して第１の配線基板を傾斜させるように保持するソケッ
トとを有することによりバーンインボードの数が少なく
ても１回あたりのバーンイン能力をさらに向上すること
ができる。

【００４３】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第１の配線基板と第２の配線基
板との相対的な傾斜角度を任意に保持するソケットを有
することによりバーンインの作業効率を向上することが
可能である。

【００４４】また、請求項３記載のバーンインボードに
おいて、ソケットは第１の配線基板が取り付けられる凹
型コネクタと、凹型コネクタに固着されたアームと、第
２の配線基板に取り付けられる保持具と、凹型コネクタ
に咬合され第２の配線基板に接合されるフレキシブル基
板と、アームが保持具に締め付けられる締め付け具とで
構成されることにより第１の配線基板をメインボードに
対して任意の角度に取り付けすることができ、第１の配
線基板の凸型コネクタとソケットの凹型コネクタとの着
脱も自在である。

【００４５】また、請求項３記載のバーンインボードに
おいて、ソケットは第１の配線基板が取り付けられる凹
型コネクタと、凹型コネクタに固着されたアームと、第
２の配線基板に取り付けるための凸型コネクタが設けら
れた箱状保持具と、凹型コネクタに咬合され凸型コネク
タに接合されたフレキシブル基板と、アームが箱状保持
具に締め付けられる締め付け具とで構成されることによ
り第２の配線基板上に凹型コネクタが設置されている既
存のメインボードをそのまま使用することが可能であ
る。

【００４６】また、請求項３記載のバーンインボードに
おいて、ソケットは第１の配線基板が取り付けられる凹
型コネクタと、第２の配線基板に取り付けられ一定角度
に開口が設けられた分度器型保持具と、凹型コネクタに
咬合され第２の配線基板に接合されたフレキシブル基板
と、凹型コネクタに固着され分度器型保持具の開口に嵌
合される突起を設けたアームとで構成されることにより
締め付け具の締め付け力に頼る必要がなく、アームの角
度固定が容易である。

【００４７】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第１の配線基板に開口部を設け
たことにより熱通りを良くして対流をおこさせ、パッケ
ージ周辺の熱だまりを防止できるので各パッケージに熱
を均等にかけることが可能である。

【００４８】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、第１の配線基板および第２の配
線基板の電気的波形の確認を共通の確認器によって行う
ことにより確認部品の共通化を図ることができコンパク
トなバーンインボードを構成することが可能である。

【００４９】また、請求項１または請求項２記載のバー
ンインボードにおいて、確認器に内蔵した凸型コネクタ
を接続するための凹型コネクタを第１の配線基板および
第２の配線基板に付設したことによりさらに確認部品の
共通化を図ることができコンパクトなバーンインボード
を構成することが可能である。

【００５０】さらに、請求項１または請求項２記載のバ
ーンインボードにおいて、第２の配線基板に対して複数
の第１の配線基板を、それらの端部の軌跡が略流線形を
描くように傾斜させて保持したことによりバーンインの
熱効率を向上することが可能である。

【００５１】また、請求項１０記載のバーンインボード
において、第２の配線基板に対して複数の第１の配線基
板を、それらの端部の軌跡が略双曲螺線を描くように傾
斜させて保持したことによりバーンインの熱効率をさら
に向上することが可能である。

【００５２】また、請求項１０記載のバーンインボード
において、第２の配線基板に対して複数の第１の配線基
板を、それらの端部の軌跡が略リチュウスを描くように
傾斜させて保持したことによりバーンインの熱効率をさ
らに向上することが可能である。

【００５３】さらに、請求項１ないし請求項１２記載の
いずれかのバーンインボードと、バーンインボードを支
えるための仕切が設けられた炉部と、熱源部と、制御部
とを備えたバーンイン装置とすることによりバーンイン
の熱効率をさらに向上することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるバーンインボ
ード図である。

【図２】 この発明の実施の形態１によるサブボードの
平面図である。

【図３】 この発明の実施の形態１によるサブボードの
側面図である。

【図４】 この発明の実施の形態１による可動ソケット
の第１の実施例である。

【図５】 この発明の実施の形態１による可動ソケット
の第２の実施例である。

【図６】 この発明の実施の形態１による可動ソケット
の第３の実施例である。

【図７】 この発明の実施の形態２によるバーンインボ
ード図である。

【図８】 この発明の実施の形態２によるサブボードの
平面図である。

【図９】 この発明の実施の形態２によるサブボードの
側面図である。

【図１０】この発明の実施の形態２によるチェッカーの
平面図である。

【図１１】この発明の実施の形態２によるチェッカーの
側面図である。

【図１２】この発明の実施の形態３によるバーンインボ
ード図である。

【図１３】この発明の実施の形態３によるサブボードの
平面図である。

【図１４】この発明の実施の形態３によるサブボードの
側面図である。

【図１５】この発明の実施の形態４によるバーンインボ
ード図である。

【図１６】この発明の実施の形態４によるサブボードの
平面図である。

【図１７】この発明の実施の形態４によるサブボードの
側面図である。

【図１８】この発明の実施の形態５によるバーンインボ
ード図である。

【図１９】この発明の実施の形態５によるサブボードの
平面図である。

【図２０】この発明の実施の形態５によるサブボードの
側面図である。

【図２１】この発明の実施の形態６によるバーンインボ
ード図である。

【図２２】この発明の実施の形態６によるサブボードの
平面図である。

【図２３】この発明の実施の形態６によるサブボードの
側面図である。

【図２４】この発明の実施の形態７によるバーンインボ
ードの第１の実施例である。

【図２５】この発明の実施の形態７によるバーンインボ
ードの第２の実施例である。

【図２６】この発明の実施の形態８によるバーンイン装
置の全体図である。

【図２７】この発明の実施の形態８によるバーンイン状
態図である。

【図２８】従来のバーンインボードの構成図である。

【図２９】従来のバーンインボードの側面構成図であ
る。

【図３０】従来の小型のバーンインボードの連結図であ
る。

【図３１】従来の小型のバーンインボードの平面図であ
る。

【図３２】従来の小型のバーンインボードの側面図であ
る。

【図３３】従来のバーンインボードの側面図である。

【図３４】従来のサブボードの平面図である。

【図３５】従来のサブボードの側面図である。

【図３６】従来のバーンインボードの斜視図である。

【符号の説明】

１ａ メインボード １ｂ
メインボード １ｃ メインボード １ｄ
メインボード １ｅ メインボード １ｆ
メインボード １ｇ メインボード １ｈ
メインボード ２ 凹型コネクタ ３
サブボード ３ｃ 開口部 ２０ 凹型コネクタ ２１
凹型コネクタ ３０ 可動ソケット ３１
可動ソケット ３０ａ 凹型コネクタ ３０ｂ
アーム ３０ｃ ネジ ３０ｄ
保持具 ３０ｅ フレキシブル基板 ３１ａ 凹型コネクタ ３１ｄ
箱状保持具 ３１ｅ フレキシブル基板 ３１ｆ
凸型コネクタ ３２ 可動ソケット ３２ｂ アーム ３２ｄ
分度器型保持具 ３２ｇ 開口 ３２ｈ
突起 ３３ 可動ソケット ３５
凹型コネクタ ４０ パッケージ ７０ チェッカー ７１
チェッカー ７３ チェッカー １００ バーンイン装置 ３００ サブボード ３００ｂ
凹型コネクタ ３１０ サブボード ３１０ｃ
開口部 ３３０ サブボード ３３０ｂ
凹型コネクタ ３５０ サブボード ３５０ｃ
開口部 ３７０ サブボード ３７０ｂ
凹型コネクタ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年１１月１８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１７】さらに、請求項１ないし請求項１２記載の
いずれかのバーンインボードと、バーンインボードを支
えるための仕切が設けられた炉部と、炉部との境にファ
ンが設けられている熱源部と、熱源部の熱調整およびフ
ァンの速度調整を行う制御部とを備えたバーンイン装置
である。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５３】さらに、請求項１ないし請求項１２記載の
いずれかのバーンインボードと、バーンインボードを支
えるための仕切が設けられた炉部と、炉部との境にファ
ンが設けられている熱源部と、熱源部の熱調整およびフ
ァンの速度調整を行う制御部とを備えたバーンイン装置
とすることによりバーンインの熱効率をさらに向上する
ことが可能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊木 哲 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バーンイン処理される複数の半導体装置
   が載置され、前記半導体装置と電気的に導通される第１
   の配線基板と、 前記第１の配線基板が配置される領域を有し、前記第１
   の配線基板と電気的に導通される第２の配線基板と、 前記第２の配線基板に設けられ、前記第１の配線基板を
   前記第２の配線基板に対して傾斜させるように保持する
   ソケットとを有するバーンインボード。
2. 【請求項２】 バーンイン処理される複数の半導体装置
   が載置され、前記半導体装置と電気的に導通される第１
   の配線基板と、 前記第１の配線基板が配置される領域を有し、前記第１
   の配線基板と電気的に導通される第２の配線基板と、 前記第１の配線基板に設けられ、前記第２の配線基板に
   対して前記第１の配線基板を傾斜させるように保持する
   ソケットとを有するバーンインボード。
3. 【請求項３】 第１の配線基板と第２の配線基板との相
   対的な傾斜角度を任意に保持するソケットを有する請求
   項１または請求項２記載のバーンインボード。
4. 【請求項４】 ソケットは第１の配線基板が取り付けら
   れる凹型コネクタと、前記凹型コネクタに固着されたア
   ームと、第２の配線基板に取り付けられる保持具と、前
   記凹型コネクタに咬合され第２の配線基板に接合される
   フレキシブル基板と、前記アームが前記保持具に締め付
   けられる締め付け具とで構成される請求項３記載のバー
   ンインボード。
5. 【請求項５】 ソケットは第１の配線基板が取り付けら
   れる凹型コネクタと、前記凹型コネクタに固着されたア
   ームと、第２の配線基板に取り付けるための凸型コネク
   タが設けられた箱状保持具と、前記凹型コネクタに咬合
   され前記凸型コネクタに接合されたフレキシブル基板
   と、前記アームが前記箱状保持具に締め付けられる締め
   付け具とで構成される請求項３記載のバーンインボー
   ド。
6. 【請求項６】 ソケットは第１の配線基板が取り付けら
   れる凹型コネクタと、第２の配線基板に取り付けられ一
   定角度に開口が設けられた分度器型保持具と、前記凹型
   コネクタに咬合され第２の配線基板に接合されたフレキ
   シブル基板と、前記凹型コネクタに固着され前記分度器
   型保持具の開口に嵌合される突起を設けたアームとで構
   成される請求項３記載のバーンインボード。
7. 【請求項７】 第１の配線基板に開口部を設けた請求項
   １または請求項２記載のバーンインボード。
8. 【請求項８】 第１の配線基板および第２の配線基板の
   電気的波形の確認を共通の確認器によって行う請求項１
   または請求項２記載のバーンインボード。
9. 【請求項９】 確認器に内蔵した凸型コネクタを接続す
   るための凹型コネクタを第１の配線基板および第２の配
   線基板に付設した請求項８記載のバーンインボード。
10. 【請求項１０】 第２の配線基板に対して複数の第１の
    配線基板を、それらの端部の軌跡が略流線形を描くよう
    に傾斜させて保持した請求項１または請求項２記載のバ
    ーンインボード。
11. 【請求項１１】 第２の配線基板に対して複数の第１の
    配線基板を、それらの端部の軌跡が略双曲螺線を描くよ
    うに傾斜させて保持した請求項１０記載のバーンインボ
    ード。
12. 【請求項１２】 第２の配線基板に対して複数の第１の
    配線基板を、それらの端部の軌跡が略リチュウスを描く
    ように傾斜させて保持した請求項１０記載のバーンイン
    ボード。
13. 【請求項１３】 請求項１ないし請求項１２記載のいず
    れかのバーンインボードと、前記バーンインボードを支
    えるための仕切が設けられた炉部と、熱源部と、制御部
    とを備えたバーンイン装置。