JPH1142730A - 電子装置用熱伝導性インタフェース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は電子装置用熱伝導性インタフ
ェースにおいて、機械的順応性のある熱伝導性インタフ
ェースを提供することにある。 【解決手段】 本発明の熱伝導性インタフェース材料
は、熱伝導性の電気的絶縁性微粒子、例えば、アルミナ
および窒化ホウ素、により充填された非常に機械的順応
性あるシリコーンポリマーから成る部材を含む。前記材
料は液体オルガノシロキサンと水素化物末端のポリジメ
チルシロキサンのような連鎖延長剤との反応生成物とし
て製造される。場合によりこの材料にガラス繊維の様な
担体、感圧接着剤およびポリエチレンのような剥離フィ
ルムが適用されることがある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は１９９５年５月１９
日に出願された「電子装置用熱伝導性インタフェース」
と称する出願番号第０８／４４５，０４８号の一部継続
出願である。

【０００２】本発明は一般に印刷回路板をヒートシン
ク、金属シャーシー、またはヒートスプレッダーに電気
的に絶縁する及び熱で結合するために使用する機械的順
応性ある熱伝導性インタフェースに関する。本発明のイ
ンタフェース材料は非常に望ましい電気的および機械的
諸特性を有し、そして熱が装置からフレーム、シャーシ
ー、ヒートスプレッダー、またはその他の支持体表面へ
伝導することを必要とする実際上すべての電子装置の組
み立てに使用される事ができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】過去において、いろい
ろな機械的順応性ある熱伝導性インタフェースの考案
が、フレーム、シャーシー、ヒートスプレッダーなどの
ヒートシンクから電子装置を絶縁するために提案され
た。これらのインタフェースはかなり有用でありそして
かなり満足なものであったが、本発明の配合物は極めて
良好な機械的特性、優れた電気的特性、および格別な熱
的ならびに化学的特性と組み合わせる適合性の見地から
幾多の利点を提供する。これらの利点は制御された分子
量のシリコーンの使用のおかげで、また場合により感圧
接着剤層の表面被覆の使用により役立たせることができ
る。かくして、本発明の熱的インタフェースの仕組み
は、機械的、電気的、熱的および化学的諸特性を害した
り犠牲にしたりまたはさもなくば妨げたりすることなし
に組み立ての相対的配置に一致させるため低圧流動によ
る組み立てを可能にする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の熱伝導性インタ
フェース材料は、熱伝導性の電気的絶縁性微粒子、例え
ば、アルミナおよび窒化ホウ素、により充填された非常
に順応性あるシリコーンポリマーから成る部材を含む。
そのシリコーンはつぎの構造式

【化３】 （式中Ｒ₁ は水素、ヒドロキシルまたはメチル基から成
る群より選択され、また式中ｘは１〜１０００の値を有
する整数を表す）を有する慣用のオルガノシロキサンで
ある。

【０００５】典型的には、前記材料は上記の構造の液体
オルガノシロキサンと、次の構造式

【化４】 （式中Ｒ₂ は水素、メチルまたはヒドロキシ基のいずれ
かを表し、また式中ｙは１〜１０００の値を有する整数
を表す）を有する水素化物末端のポリジメチルシロキサ
ン材料のような連鎖延長剤との反応生成物として製造さ
れる。

【０００６】このタイプの連鎖延長剤をオルガノシロキ
サンのポリマーの分子量を調節するために使用すること
は、勿論、よく知られている。また、それらの材料を反
応させるための方法および技術は当業者に周知であり、
そして一般にそれらの材料を混合することおよび白金触
媒と硬化抑制剤、例えば環式ビニルシロキサン、の存在
で１２０℃に約５分間加熱することから成る。

【０００７】その他の種類の材料は次の式

【化５】 （式中ｘのｙに対するモル比は１０％より１００％まで
変わることがある）のようなコポリマーを使用する。ヒ
ドロメチルシロキサンとジメチルシロキサンのコポリマ
ーが知られている。この種類の材料は加橋剤として働
く。その他の型の材料に含まれるものは、例えば、次式

【化６】 のような三官能価および四官能価ヒドロシロキサンであ
る。

【０００８】前記のポリマー材料のための適当な担体と
して、これもまた良好な機械的、電気的、および熱的諸
特性を有する担体を与えるために、ガラス繊維の層が用
いられることがあり、そしてそれはこの用途によく適し
ている。約１〜４オンス／平方ヤードの密度を有するガ
ラス繊維が、好ましくは３ミルの厚さを有する担体で使
用されることがある。

【０００９】実際の使用の際に、本発明の完成された熱
伝導性インタフェース材料は２０ミル〜５００ミルの範
囲内の厚さを有することが好ましく、そしてこの範囲の
厚さにより実質上全般的な使用を可能にする望ましい全
体にわたる熱抵抗を与え、同様にそのインタフェースの
ために適当な順応性を与える。電気的諸特性は、勿論、
上限に近い厚さで強められるが、しかし、材料の破壊電
圧は十分に高いので、約１２５ミルまで及びそれ以上に
わたる厚さの使用を可能ならしめる。ある用途において
は、約１５ミル程の少ない厚さを有する材料が使用され
ることがあり、また他のある用途のためには、その場合
操作条件は利用できる熱抵抗が十分に低いので約５００
ミルにまでにわたる厚さを許す。

【００１０】その他の担体も使用されることがあり、そ
れらは１ミル〜１０ミルの厚さにおいてさまざまなアル
ミニウム箔を含む。例えば、Ｋａｐｔｏｎ^TMのようなポ
リイミド（アミド）フィルムは１ミル〜３ミルの厚さで
使用されることがある。１ミル〜１０ミルの範囲の厚さ
のポリエステルフィルムもまた役立つと判ることもあ
る。前記組成物はまたいろいろな形に射出成形されるこ
ともあり、またはその代わりに、強化材と共にまたはな
しにシートにプレス成形されることもある。

【００１１】ある用途においては、主な表面の片面また
は両面上に感圧接着剤の被覆を与えることが望ましい。
本質的にポリジメチルシロキサンから成る感圧接着剤が
適当に使用されてよい。これらの用途のあるものでは、
実際の最終的使用または組み立て作業に先立って熱伝導
性インタフェース材料の取扱いを容易にするため剥離フ
ィルムを利用することが望ましいことがある。

【００１２】本発明の特徴は以下の明細書、添付の特許
請求の範囲および付属の図面の一覧によりさらに十分と
理解されるであろう。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施態様によれ
ば、機械的順応性ある熱伝導性インタフェース材料また
はパッドはガラス繊維担体を使用し、そしてその担体の
両側に配置されているその順応性材料の層により製造さ
れる。前記順応性ある材料はアルミナと窒化ホウ素およ
びそれらの混合物から成る群より選択される特定の充填
物を添加された圧縮するまたは圧縮できるシリコーンポ
リマーから成る。もし望ましければ、そしてある種の用
途には、その二つの主な表面のいずれかの上に、感圧接
着剤が使用されることがあり、そしてその感圧接着剤に
よりある種の用途および状態において組み立ておよび製
造を容易にすることがある。

【００１４】実施例 本発明の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース材料
は以下に記載の特定の例に従って製造されることができ
る。

【００１５】例 １ 構造式

【化７】 を有し、式中Ｒ₁ はメチル基を表すオルガノシロキサン
が選択され、そしてその材料は液体であって１０００セ
ンチポアズの粘度を有する。この材料を本質的に水素化
物を末端とするポリジメチルシロキサンから成りそして
５００センチポイズの粘度を有するジヒドロール脂肪族
連鎖延長剤と混合する。そのような連鎖延長剤は、勿
論、市場で入手できる。

【００１６】それらの反応物を混合してから、本質的に
白金酸のジビニル付加物から成る触媒を約２５ｐｐｍ添
加した。その材料を、中央の位置にガラス繊維の担体が
配置されている容器の中に入れた。それからその混合物
を１５０℃で１０分間硬化させた。ガラス繊維担体は２
オンス／平方ヤードの密度と４ミルの厚さを有してい
た。本質的にポリジメチルシロキサンから成る感圧接着
剤の層をその上の表面に塗った。この接着剤の薄膜はシ
リコーンと相容性があるのでその表面に結合する。それ
からその複合材料は、注文のまたは一般の用途のため要
求されることのある切断またはその他の加工のため準備
される。ポリエチレンから成る剥離フィルムが典型的に
下表面層として用いられ、そして、勿論、必要な期間そ
の順応性ある熱伝導性インタフェースと共に留まること
になる。完成したときその複合材料の全体の厚さは８０
ミルであった。

【００１７】例 ２ 例１のオルガノシロキサンを、本質的に水素化物を末端
とするポリジメチルシロキサンから成りそして１００セ
ンチポイズの粘度を有する連鎖延長剤と共に使用した。
加工条件は例１と同じであり、そして機械的順応性ある
熱伝導性インタフェース材料がそれから形成された。こ
の材料に約５ミクロンの平均粒径を有する本質的にアル
ミナから成る微粒子固体を充填した。その複合体は２９
重量％のアルミナを含み、残部はポリマーである。その
ような材料は、勿論、市場で入手できる。全体の厚さは
２５ミルである。

【００１８】例 ３ 構造式

【化８】 を有し、式中Ｒ₁ がメチル基を表すオルガノシロキサン
が選択され、そしてその材料は液体であって１００セン
チポアズの粘度を有する。この材料を本質的に水素化物
を末端とするポリジメチルシロキサンから成るジヒドリ
ル脂肪族連鎖延長剤と混合する。そのような連鎖延長剤
は、勿論、市場で入手できる。

【００１９】それらの反応物を混合してから、約２５ｐ
ｐｍの本質的に白金から成る触媒を添加し、そしてその
材料を中央のガラス繊維担体が配置されている容器の中
に入れた。それからその混合物を１５０℃で１０分間硬
化させた。ガラス繊維担体は２オンス／平方ヤードの密
度と４ミルの厚さを有していた。本質的にポリジメチル
シロキサンから成る感圧接着剤の層をその上の表面に塗
った。この接着剤の薄膜はシリコーンと相容性があるの
でその表面に結合する。それからその複合材料は、特注
のまたは一般の用途のため要求されることのある切断ま
たはその他の加工のため準備される。ポリエチレンから
成る剥離フィルムが典型的に下表面層として用いられ、
そして、勿論、必要に応じその順応性ある熱伝導性イン
タフェースと共に留まることになる。完成したときその
複合材料の全体の厚さは１２５ミルであった。

【００２０】例 ４ 構造式

【化９】 を有し、式中Ｒ₁ がメチル基を表す比較的大きい分子量
のオルガノシロキサンが選択され、そしてその材料は液
体であって５００センチポアズの粘度を有する。この材
料を本質的に水素化物を末端とするポリジメチルシロキ
サンから成るジヒドロキシ脂肪族連鎖延長剤と混合す
る。そのような連鎖延長剤は、勿論、市場で入手でき
る。

【００２１】それらの反応物を混合してから、約２５ｐ
ｐｍの本質的に白金から成る触媒を添加し、そしてその
材料を中央のガラス繊維担体が配置されている容器の中
に入れた。それからその混合物を１５０℃で１０分間硬
化させた。ガラス繊維担体は２オンス／平方ヤードの密
度と８０ミルの厚さを有していた。本質的にポリジメチ
ルシロキサンから成る感圧接着剤の層をその上の表面に
塗った。この接着剤の薄膜はシリコーンと相容性がある
のでその表面に結合する。それからその複合材料は、特
注のまたは一般の用途のため要求されることのある切断
またはその他の加工のため準備される。ポリプロピレン
から成る剥離フィルムが典型的に下面層として用いら
れ、そして、勿論、必要に応じその順応性ある熱伝導性
インタフェースと共に留まることになる。

【００２２】例 ５ 構造式

【化１０】 を有し、式中Ｒ₁ がメチル基を表す比較的低い分子量の
オルガノシロキサンが選択され、そしてその材料は液体
であって１０センチポアズの粘度を有する。この材料を
本質的に水素化物を末端とするポリジメチルシロキサン
から成るジヒドロキシ脂肪族連鎖延長剤と混合する。そ
のような連鎖延長剤は、勿論、市場で入手できる。

【００２３】それらの反応物を混合してから、約２５ｐ
ｐｍの本質的に白金から成る触媒を添加し、そしてその
材料を中央のガラス繊維担体が配置されている容器の中
に入れた。それからその混合物を１５０℃で１０分間硬
化させた。ガラス繊維担体は２オンス／平方ヤードの密
度と４０ミルの厚さを有していた。本質的にポリジメチ
ルシロキサンから成る感圧接着剤の層をその上の表面に
塗った。この接着剤の薄膜はシリコーンと相容性がある
のでその表面に結合する。それからその複合材料は、特
注のまたは一般の用途のため要求されることのある切断
またはその他の加工のため準備される。ポリエチレンか
ら成る剥離フィルムが典型的に下表面層として用いら
れ、そして、勿論、必要に応じその順応性ある熱伝導性
インタフェースと共に留まることになる。

【００２４】完成された製品の代表的特性 上記のように、本発明の機械的順応性ある熱伝導性イン
タフェース材料の機械的、電気的、熱的および化学的諸
特性は優秀であることが判った。負荷された力に対する
圧縮の例を図３に示すが、そこでこの曲線は加えられて
いるいろいろな負荷力により発揮される望ましいおよび
予測できる圧縮を例示している。その他の特性に関し
て、表Ｉ，IIおよびIII は重要であると思われる。これ
らの表を下に示す。

【００２５】

【表１】 表 Ｉ 代表的な電気特性 破壊電圧：厚さ（インチ） ボルトＡＣ 試験法 ０．２０ ７０００ ＡＳＴＭ Ｄ−１４９ ０．０５０ １００００ ＡＳＴＭ Ｄ−１４９ ０．０６０ １２０００ ＡＳＴＭ Ｄ−１４９ ０．０８０ ２００００以上 ＡＳＴＭ Ｄ−１４９ ０．１２５ ２００００以上 ＡＳＴＭ Ｄ−１４９

【００２６】

【表２】 表 II 代表的な機械特性 厚さ ０．０２０″〜０．５００″ ＡＳＴＭ Ｄ−３７４ 色 ピンク 視覚 圧縮係数 ３００ ＰＳＩ ＡＳＴＭ Ｄ−１６２１ 圧縮たわみ １０％ ３０ ＰＳＩ ＡＳＴＭ Ｄ−５７５ ５０％ ２００ ＰＳＩ ＡＳＴＭ Ｄ−５７５ 圧縮永久歪み ６５％

【００２７】

【表３】 表 III 熱特性 （代表的に例１のインタフェース、厚さ８０ミルを使用する） 熱抵抗 熱抵抗 （℃／Ｗ） 厚さ （ＡＳＴＭ Ｄ−５４Ｐ）圧力（ｐｓｉ） （−２２０まで） （ミル） （℃−ｉｎ² ／Ｗ） ２５ ６ ２０ ０．４６ ５０ ５ ３０ ０．７０ １００ ４ ４０ ０．９３ ２００ ３ ５０ １．１６ ６０ １．３９ ８０ １．８５ １２５ ２．９０

【００２８】本発明のインタフェースの他の形態が使用
されおよび製造されることがあり、また他の技術が同様
にそれらの調製のために利用されることがあることは、
勿論、理解されるであろう。

【００２９】例 ６ 例１に従って製造されたインタフェースに、ポリジメチ
ルシロキサンから成る感圧接着剤の表面層を塗ったが、
その際感圧接着剤の層は１ミルの厚さを有していた。こ
の材料はシリコーンと相容性があってそれによく結合し
た。感圧接着剤層が用いられるとき、第２の剥離フィル
ムが使用されることがあり、あるいはその代わりに材料
はロールの形に包装されることもある。

【００３０】いま図面の４Ａ〜４Ｅに注意を向けると、
図４Ａは配合における変化により達成される粘度の等圧
線を表す。図４Ａを精査すると１００センチポアズの添
加の劇的な効果が証明される。図４Ｃは最終製品の硬度
特性に低い粘度のジビニルシリコーンの著しい効果を示
す。

【００３１】例 ７ 複合混合物の設計実験が反応生成物の諸特性へのいろい
ろな反応物の効果を測定するために企てられた。反応生
成物はアルミナと、各例においてアルミナ含有量が次の
ようになるように混合された。 アルミナ（平均粒径、５ミクロン）＝７１重量％ ポリマー成分＝２９重量％ （ａ）１０００ｃｐｓジビニルシリコーン（ｘ₁ ）＝１
〜１００モル％ （ｂ）１００ｃｐｓジビニルシリコーン（ｘ₂ ）＝０〜
１００モル％ （ｃ）５００ｃｐｓジビニルシリコーン（ｘ₃ ）＝０〜
１００モル％ これらの反応物はガラス繊維を存在させずに例１に記載
の条件に従って混合して処理された。

【００３２】デザインマトリックスが作られ、それらの
結果がコンピュータで分析された。測定された図４Ａ〜
４Ｅに記載の諸特性は次のようである。 （ａ）センチポアズ粘度（図４Ａ） （ｂ）１０％圧縮力（初めの厚さの１０％の圧縮を達成
するのに要する力）（ＡＳＴＭ−Ｄ−５７５）（図４
Ｂ） （ｃ）５０％圧縮力（初めの厚さの５０％の圧縮を達成
するのに要する力）（ＡＳＴＭ−Ｄ−５７５）（図４
Ｂ） （ｄ）溶媒吸収百分率（２４時間）（図４Ｄ） および （ｅ）圧縮永久歪み（ＡＳＴＭ−Ｄ−３９５）（図４
Ｅ）

【００３３】例 ８ 例２の各反応物を反応生成物を調製するために用いた。
その際反応生成物に微粒子の黒鉛を充填した。その材料
は５０重量％の黒鉛を含み、残部はポリマーであった。
全体の厚さ２５ミルの優れた熱特性を有する材料が得ら
れた。

【００３４】一般組み立て配置 いま図５および図６に注意を向けると、一般的に示され
た全体の電子装置２０はその上に配置された電気および
電子構成部分の形の回路アレイ２２を有するベースまた
はシャーシー部材を含む。回路構成部分は典型的に固体
能動部分、例えば、トランジスター、マイクロチップな
どを２３−２３におけるように含む。アレイ２２はまた
２４−２４に例示されているような多数の受動部分を抵
抗器、コンデンサーなどの形で含み、これら全ては基板
２５の上に配置されている。全体の組み立ては囲い板部
材２６の中に収容されており、そこで囲い板２６はシャ
ーシー２１と共同して完全な囲い込みを形成する。一般
的に示された機械的順応性ある、熱伝導性インタフェー
ス部材２７はシャーシー２１および回路アレイ２２の両
者の上表面と囲い板２６の反対側の内表面２８の間に挿
入される。

【００３５】こんどは図６にも注意を向けると、順応性
ある熱伝導性インタフェースパッド２７の回路構成部品
と接触する部分はその平らな平面のまたは長方形の形状
から変形して流動し、それにより個々の回路構成部品を
包み込みかつその中に形成された空洞の中に収容する。
図６において、回路基板２５の２個のマイクロチップ２
３−２３は、図解された結果を達成するため流動して構
成部品による要求される形状に適合する順応性ある熱伝
導性インタフェースとそれらが組み合わされた形に図解
されている。本発明の配合物の非常に望ましい流動特性
の故に、順応性ある熱伝導性インタフェースパッド２７
は、極めて低い圧力の下に変形し、そして個々の回路構
成部品のリード線およびその他の精巧な部分の完全な状
態を妨害し、破壊し、さもなくば干渉することがない。

【００３６】組み立て品から熱の発散を増すために、熱
伝導性の層が２８と３０に図解されており、そこではこ
れらの層がその働きを強めている。

【００３７】これらの図から確かめられ得るように、機
械的順応性ある熱伝導性インタフェースは、インタフェ
ースを構成する柔軟な材料が流動してその内部に自然の
空洞を形成するような物理特性を所有する。その製品の
低いジュロメーター硬さはインタフェース部材に回路組
み立て品の不規則な表面に形を合わせることを可能にす
る。その低いジュロメーター硬さの故に、約１０ｐｓｉ
ほどの低い圧力は典型的に前記の結果を達成するために
必要なすべてである。

【００３８】本発明の精神および範囲を逸脱することな
く上記に与えられた特定の例に対して様々な部分的改変
がなされることがあるのは、勿論、理解されることであ
ろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に従って製造された順応性ある熱
伝導性インタフェースを使用するある組み立て品を通し
てとられた断面図である。

【図２】図２はある注文により作った本発明に従って製
造されたインタフェース装置の形状を示す斜視図であ
る。

【図３】図３は本発明に従って製造された順応性ある熱
伝導性インタフェースについて負荷された力に対する圧
縮百分率を示すグラフである。

【図４Ａ〜４Ｅ】図４Ａ〜４Ｅはそれぞれ粘度（図４
Ａ）、初めの厚さの１０％の圧縮を達成するために要し
た力（図４Ｂ）、初めの厚さの５０％の圧縮を達成する
ために要した力（図４Ｃ）、溶媒の吸収におけるレスポ
ンス（図４Ｄ）、および圧縮永久歪み（図４Ｅ）の等圧
線を示す組成のグラフである。

【図５】図５は組み立て品の構成部分として本発明のイ
ンタフェース材料を使用する代表的な組み立て品を図解
する、分解組み立ての形での、斜視図である。

【図６】図６は図５に図解された組み立て品を通してと
られた垂直断面図であって、インタフェース材料が回路
組み立て品を含む構成部分に適合している様子を示して
いる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 23/36 Ｇ０６Ｆ 1/00 ３６０Ｃ // Ｂ３２Ｂ 27/00 １０１ Ｈ０１Ｌ 23/36 Ｄ

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子装置との組み合わせにおいてマウン
   ト用障壁として使用するためのヒートシンクと電子装置
   の間に挿入する機械的に順応性のある熱伝導性インタフ
   ェースであって、 （ａ）支持体およびその支持体の両側に配置された外層
   を有する積層板から成り、前記支持体はガラス繊維、ア
   ルミニウム箔、銅箔、エキスパンドメタル、ポリイミド
   （アミド）、およびポリエステルの各層から成る群より
   選択されること、および（ｂ）前記外層は構造式 【化１】 （式中Ｒ₁ は水素、ヒドロキシルまたはメチル基から成
   る群より選択され、またｘは１〜１０００の値を有する
   整数を表す）を有し、かつ約１０〜１０，０００センチ
   ポアズの粘度を有するオルガノシロキサンと、構造式 【化２】 （式中Ｒ₂ は水素、メチルおよびヒドロキシ基から成る
   群より選択され、またｙは１〜１０００の値を有する整
   数を表す）を有し、かつ約１０〜１０，０００センチポ
   アズの粘度を有する連鎖延長剤との混合物の反応生成物
   から成り、かつ前記オルガノシロキサン反応生成物は体
   積で約１０％〜６０％の量の微粒子固体で充填されてい
   て、残りは該反応生成物であること、を特徴とする前記
   のインタフェース。
2. 【請求項２】 該微粒子固体はアルミナ、窒化ホウ素、
   黒鉛、ホウ化チタン、アルミナ三水和物、窒化アルミ
   ナ、およびそれらの混合物から成る群より選択されるこ
   とを特徴とする請求項１に記載の機械的順応性ある熱伝
   導性インタフェース。
3. 【請求項３】 該微粒子固体は約１〜５０ミクロンの粒
   径範囲を有するアルミナであることを特徴とする請求項
   ２に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
4. 【請求項４】 該順応性ある熱伝導性インタフェースは
   ０．０１０インチ〜１．００インチの厚さを有すること
   を特徴とする請求項１に記載の機械的順応性ある熱伝導
   性インタフェース。
5. 【請求項５】 厚さが２０〜１０００ミルである請求項
   ４に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
6. 【請求項６】 該オルガノシロキサンは本質的にポリジ
   メチルシロキサンから成ることを特徴とする請求項１に
   記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
7. 【請求項７】 該連鎖延長剤は水素化物を末端とするポ
   リジメチルシロキサンから成ることを特徴とする請求項
   ６に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
8. 【請求項８】 該連鎖延長剤はヒドロキシを末端とする
   ポリジメチルシロキサンから成ることを特徴とする請求
   項７に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェー
   ス。
9. 【請求項９】 ７１重量％のアルミナ及び残りがポリジ
   メチルシロキサンから成る混合物であり、かつ初めの厚
   さの１０％の圧縮を達成するために要する力の範囲は１
   ０〜２００ｐｓｉの範囲内にある請求項７に記載の機械
   的順応性ある熱伝導性インタフェース。
10. 【請求項１０】 ７１重量％のアルミナ及び残りがポリ
    ジメチルシロキサンから成る混合物であり、かつ初めの
    厚さの５０％の圧縮を達成するために要する力の範囲は
    ４０〜１０００ｐｓｉの範囲内にある請求項７に記載の
    機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
11. 【請求項１１】 熱伝導率が０．５Ｗ／ｍ・Ｋ（ワット
    毎メートル毎ケルビン）〜４Ｗ／ｍ・Ｋの範囲内にある
    請求項６に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェ
    ース。
12. 【請求項１２】 充填物が黒鉛である請求項６に記載の
    機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
13. 【請求項１３】 粘度が１０〜１０００センチポアズの
    範囲内にある請求項１に記載の機械的順応性ある熱伝導
    性インタフェース。