JPH11194928A - 制御装置 - Google Patents
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- JPH11194928A JPH11194928A JP36842397A JP36842397A JPH11194928A JP H11194928 A JPH11194928 A JP H11194928A JP 36842397 A JP36842397 A JP 36842397A JP 36842397 A JP36842397 A JP 36842397A JP H11194928 A JPH11194928 A JP H11194928A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 画面上より認識することができないプログラ
ムのバージョン情報を知ることができる制御装置を提供
すること。 【解決手段】 ＭＭＩ１３は、プログラムにエラーが発
生したとき、ユーザの命令によりまたは自動的にシステ
ムログファイル１８よりログ情報を読み出してタッチパ
ネルディスプレイ１４上にその内容を表示する。次に、
ＭＭＩ１３は、バージョン情報ファイル１６よりバージ
ョン情報を読み出してタッチパネルディスプレイ１４上
にその内容を表示する。ユーザは、これらログ情報（エ
ラー情報）及びバージョン情報から画面上より認識する
ことができないプログラムであってもエラーの発生した
プログラムのバージョン情報を知ることができる。
ムのバージョン情報を知ることができる制御装置を提供
すること。 【解決手段】 ＭＭＩ１３は、プログラムにエラーが発
生したとき、ユーザの命令によりまたは自動的にシステ
ムログファイル１８よりログ情報を読み出してタッチパ
ネルディスプレイ１４上にその内容を表示する。次に、
ＭＭＩ１３は、バージョン情報ファイル１６よりバージ
ョン情報を読み出してタッチパネルディスプレイ１４上
にその内容を表示する。ユーザは、これらログ情報（エ
ラー情報）及びバージョン情報から画面上より認識する
ことができないプログラムであってもエラーの発生した
プログラムのバージョン情報を知ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばクラスタツ
ール装置等の半導体製造装置のプロセス制御に使われる
制御装置に関する。
ール装置等の半導体製造装置のプロセス制御に使われる
制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置のように多数の処理を複
合的に行う装置ではプロセス制御が非常に複雑になるた
め、図２に示すように制御系を上位制御系（ＥＣ）とこ
の上位制御系により個別に制御される複数の下位制御系
（ＭＣ）とから構成するとともに、例えばマシンのシー
ケンスやレシピ等のプロセス制御はＭＣによって行うよ
うに構成し、それぞれの機能を受け持つ複数のプログラ
ムによってこのようなプロセス制御が行われるのが一般
的である。例えば、上位制御系により表示や入力を制御
するためのプログラム、いわゆるログを管理するプログ
ラム、あるいはジョブを実行する等の制御が行われる。
また処理プロセスに応じたシーケンスやレシピ等をプロ
グラムにより制御するプロセス制御が行われる。
合的に行う装置ではプロセス制御が非常に複雑になるた
め、図２に示すように制御系を上位制御系（ＥＣ）とこ
の上位制御系により個別に制御される複数の下位制御系
（ＭＣ）とから構成するとともに、例えばマシンのシー
ケンスやレシピ等のプロセス制御はＭＣによって行うよ
うに構成し、それぞれの機能を受け持つ複数のプログラ
ムによってこのようなプロセス制御が行われるのが一般
的である。例えば、上位制御系により表示や入力を制御
するためのプログラム、いわゆるログを管理するプログ
ラム、あるいはジョブを実行する等の制御が行われる。
また処理プロセスに応じたシーケンスやレシピ等をプロ
グラムにより制御するプロセス制御が行われる。
【０００３】ところで、上述したＭＣプロセス制御のプ
ログラムはユーザからの要求に応じて各プログラム毎に
バージョンアップされるため、１つの半導体製造装置内
で異なったバージョンのプログラムが存在することにな
る。なお、ＥＣに対するプログラムもバージョンアップ
されることもある。しかし、このように異なったバージ
ョンのプログラムが存在する場合、プログラム間の整合
性（いわゆる相性）が悪くなりエラーが発生する機会が
多くなる。そこで、このようなエラーに対するユーザサ
ポート、例えば新たなバージョンのプログラムインスト
ールを行う必要がある。
ログラムはユーザからの要求に応じて各プログラム毎に
バージョンアップされるため、１つの半導体製造装置内
で異なったバージョンのプログラムが存在することにな
る。なお、ＥＣに対するプログラムもバージョンアップ
されることもある。しかし、このように異なったバージ
ョンのプログラムが存在する場合、プログラム間の整合
性（いわゆる相性）が悪くなりエラーが発生する機会が
多くなる。そこで、このようなエラーに対するユーザサ
ポート、例えば新たなバージョンのプログラムインスト
ールを行う必要がある。
【０００４】しかしながら、上記のようにユーザからの
要求に応じて各プログラム毎にバージョンアップしてい
ると、各ユーザ毎にそれぞれバージョンの異なるプログ
ラムが存在することになるため、サポート側ではどのユ
ーザがどのバージョンのプログラムを使用しているかを
把握し難く、そのためユーザ側からサポート側へ各プロ
グラムのバージョン情報を知らせるようにすることが望
まれる。
要求に応じて各プログラム毎にバージョンアップしてい
ると、各ユーザ毎にそれぞれバージョンの異なるプログ
ラムが存在することになるため、サポート側ではどのユ
ーザがどのバージョンのプログラムを使用しているかを
把握し難く、そのためユーザ側からサポート側へ各プロ
グラムのバージョン情報を知らせるようにすることが望
まれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、例えば最近
のＧＵＩ環境のＯＳを使ったコンピュータ等とは異な
り、半導体製造装置のプロセス制御に使われるプログラ
ムでは、上述した表示や入力を制御するためのプログラ
ム以外のプログラムはユーザーが画面上より認識するこ
とができないため、ユーザがこれらのプログラムのバー
ジョン情報を知ることは非常に困難である。
のＧＵＩ環境のＯＳを使ったコンピュータ等とは異な
り、半導体製造装置のプロセス制御に使われるプログラ
ムでは、上述した表示や入力を制御するためのプログラ
ム以外のプログラムはユーザーが画面上より認識するこ
とができないため、ユーザがこれらのプログラムのバー
ジョン情報を知ることは非常に困難である。
【０００６】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、画面上より認識することができないプログラムの
バージョン情報を知ることができる制御装置を提供する
ことを目的とする。
あり、画面上より認識することができないプログラムの
バージョン情報を知ることができる制御装置を提供する
ことを目的とする。
【０００７】本発明の別の目的は、エラーの発生原因と
なったプログラムのバージョン情報を容易に知ることが
できる制御装置を提供することにある。
なったプログラムのバージョン情報を容易に知ることが
できる制御装置を提供することにある。
【０００８】本発明の別の目的は、常に正しいバージョ
ン情報を知ることができる制御装置を提供することにあ
る。
ン情報を知ることができる制御装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１記載の本発明の制御装置は、画面上より認
識することができないプログラムを含んだ複数のプログ
ラムにより動作する制御装置であって、前記各プログラ
ムよりバージョン情報を獲得する手段と、前記獲得した
各プログラムのバージョン情報を格納する手段と、前記
格納した各プログラムのバージョン情報を表示する手段
とを具備する。
め、請求項１記載の本発明の制御装置は、画面上より認
識することができないプログラムを含んだ複数のプログ
ラムにより動作する制御装置であって、前記各プログラ
ムよりバージョン情報を獲得する手段と、前記獲得した
各プログラムのバージョン情報を格納する手段と、前記
格納した各プログラムのバージョン情報を表示する手段
とを具備する。
【００１０】請求項２記載の本発明の制御装置は、複数
のプログラムにより動作する制御装置であって、前記各
プログラムのバージョン情報を格納する手段と、前記各
プログラムを実行した際に発生したエラー情報を獲得す
る手段と、前記獲得したエラー情報を格納する手段と、
前記格納したエラー情報を表示する手段と、前記格納し
た各プログラムのバージョン情報を表示する手段とを具
備する。
のプログラムにより動作する制御装置であって、前記各
プログラムのバージョン情報を格納する手段と、前記各
プログラムを実行した際に発生したエラー情報を獲得す
る手段と、前記獲得したエラー情報を格納する手段と、
前記格納したエラー情報を表示する手段と、前記格納し
た各プログラムのバージョン情報を表示する手段とを具
備する。
【００１１】請求項３記載の本発明の制御装置は、請求
項２記載の制御装置であって、前記表示手段が、前記表
示されたエラー情報に対応するバージョン情報を前記格
納手段より獲得して表示することを特徴とする。
項２記載の制御装置であって、前記表示手段が、前記表
示されたエラー情報に対応するバージョン情報を前記格
納手段より獲得して表示することを特徴とする。
【００１２】請求項４記載の本発明の制御装置は、請求
項２または３記載の制御装置であって、プログラムが更
新されたとき、当該プログラムよりバージョン情報を獲
得し、前記格納手段に格納する手段をさらに具備する。
項２または３記載の制御装置であって、プログラムが更
新されたとき、当該プログラムよりバージョン情報を獲
得し、前記格納手段に格納する手段をさらに具備する。
【００１３】請求項５記載の本発明の制御装置は、請求
項２、３または４記載の制御装置であって、制御装置を
動作させる複数のプログラムが画面上より認識すること
ができないプログラムを含むことを特徴とする。
項２、３または４記載の制御装置であって、制御装置を
動作させる複数のプログラムが画面上より認識すること
ができないプログラムを含むことを特徴とする。
【００１４】請求項６記載の本発明の制御装置は、上位
制御系と、この上位制御系により個別に制御される複数
の下位制御系とを有し、これら各制御系が画面上より認
識することができないプログラムを含んだ複数のプログ
ラムにより動作する制御装置であって、前記上位制御系
が、前記各プログラムよりバージョン情報を獲得する手
段と、前記獲得した各プログラムのバージョン情報を格
納する手段と、前記格納した各プログラムのバージョン
情報を表示する手段とを具備する。
制御系と、この上位制御系により個別に制御される複数
の下位制御系とを有し、これら各制御系が画面上より認
識することができないプログラムを含んだ複数のプログ
ラムにより動作する制御装置であって、前記上位制御系
が、前記各プログラムよりバージョン情報を獲得する手
段と、前記獲得した各プログラムのバージョン情報を格
納する手段と、前記格納した各プログラムのバージョン
情報を表示する手段とを具備する。
【００１５】本発明では、各プログラムよりバージョン
情報を獲得して格納し、必要に応じて格納した各プログ
ラムのバージョン情報を表示するように構成したので、
画面上より認識することができないプログラムのバージ
ョン情報を知ることができる。
情報を獲得して格納し、必要に応じて格納した各プログ
ラムのバージョン情報を表示するように構成したので、
画面上より認識することができないプログラムのバージ
ョン情報を知ることができる。
【００１６】また、本発明では、エラー情報を獲得して
格納し、格納したエラー情報をバージョン情報とともに
表示するように構成したので、エラーの発生原因となっ
たプログラムのバージョン情報を容易に知ることができ
る。
格納し、格納したエラー情報をバージョン情報とともに
表示するように構成したので、エラーの発生原因となっ
たプログラムのバージョン情報を容易に知ることができ
る。
【００１７】さらに、本発明では、エラー情報に対応す
るバージョン情報を表示するように構成したので、エラ
ーの発生原因となったプログラムのバージョン情報をさ
らに容易に知ることができる。
るバージョン情報を表示するように構成したので、エラ
ーの発生原因となったプログラムのバージョン情報をさ
らに容易に知ることができる。
【００１８】また、本発明では、プログラムが更新され
たとき、当該プログラムよりバージョン情報を獲得して
格納するように構成したので、常に正しいバージョン情
報を知ることができる。
たとき、当該プログラムよりバージョン情報を獲得して
格納するように構成したので、常に正しいバージョン情
報を知ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施する場合の形
態について図面に基づいて説明する。
態について図面に基づいて説明する。
【００２０】図１は本発明の一実施形態に係る半導体ウ
エハ製造装置の構成を示す平面図である。
エハ製造装置の構成を示す平面図である。
【００２１】この半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエ
ハに対して各種の処理例えば成膜処理やエッチング処理
や熱酸化処理等を行う複数例えば３つのプロセスチャン
バ１，２，３と、多数枚例えば２５枚のウエハＷを収納
できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ
４，５と、プロセスチャンバ１，２，３とカセットチャ
ンバ４，５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャ
ンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間はゲートバ
ルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャン
バ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関
節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム
７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カ
セットＣ１、Ｃ２はカセットチャンバ４，５内に取り込
まれる際に90度反転されると共にそのカセットＣ１、Ｃ
２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くよう
に回転され、以て搬送アーム７によるウエハＷの出し入
れが可能な姿勢に設置される。
ハに対して各種の処理例えば成膜処理やエッチング処理
や熱酸化処理等を行う複数例えば３つのプロセスチャン
バ１，２，３と、多数枚例えば２５枚のウエハＷを収納
できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ
４，５と、プロセスチャンバ１，２，３とカセットチャ
ンバ４，５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャ
ンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間はゲートバ
ルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャン
バ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関
節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム
７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カ
セットＣ１、Ｃ２はカセットチャンバ４，５内に取り込
まれる際に90度反転されると共にそのカセットＣ１、Ｃ
２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くよう
に回転され、以て搬送アーム７によるウエハＷの出し入
れが可能な姿勢に設置される。
【００２２】図２はこのような半導体ウエハ製造装置を
制御する制御装置の構成を示す図である。
制御する制御装置の構成を示す図である。
【００２３】マシンコントローラ（ＭＣ）１１は、各プ
ロセスチャンバ１，２，３、カセットチャンバ４、５、
及び搬送チャンバ６等を個別に制御するプログラムであ
る。これらマシンコントローラ１１は、その上位制御手
段であるメインコントローラ（ＥＣ）１２により統括的
に制御される。
ロセスチャンバ１，２，３、カセットチャンバ４、５、
及び搬送チャンバ６等を個別に制御するプログラムであ
る。これらマシンコントローラ１１は、その上位制御手
段であるメインコントローラ（ＥＣ）１２により統括的
に制御される。
【００２４】メインコントローラ（ＥＣ）１２は、タッ
チパネルディスプレイ１４との間のインタフェースとし
てのプログラムであるマンマシンインタフェース部（Ｍ
ＭＩ）１３、各プログラムよりバージョン情報を収集す
るプログラムであるバージョン情報収集部１５、システ
ム内のログ情報を収集するプログラムであるログ管理部
１７、各ＭＣ１１を制御するプログラムであるＥＱＭ部
１９、及びジョブを実行するプログラムであるジョブ実
行部２０を有する。
チパネルディスプレイ１４との間のインタフェースとし
てのプログラムであるマンマシンインタフェース部（Ｍ
ＭＩ）１３、各プログラムよりバージョン情報を収集す
るプログラムであるバージョン情報収集部１５、システ
ム内のログ情報を収集するプログラムであるログ管理部
１７、各ＭＣ１１を制御するプログラムであるＥＱＭ部
１９、及びジョブを実行するプログラムであるジョブ実
行部２０を有する。
【００２５】また、メインコントローラ（ＥＣ）１２
は、バージョン情報収集部１５によって収集されたログ
情報を格納するバージョン情報ファイル１６及びログ管
理部１７によって収集されたログ情報を格納するシステ
ムログファイル１８を有する。なお、マンマシンインタ
フェース部（ＭＭＩ）１３は、ユーザとのインターフェ
ースを司るプログラムであることからタッチパネルディ
スプレイ１４の画面上から認識することができるプログ
ラムであるといえる。従って、例えばユーザはマンマシ
ンインタフェース部（ＭＭＩ）１３のバージョン情報を
画面上より知ることができる。
は、バージョン情報収集部１５によって収集されたログ
情報を格納するバージョン情報ファイル１６及びログ管
理部１７によって収集されたログ情報を格納するシステ
ムログファイル１８を有する。なお、マンマシンインタ
フェース部（ＭＭＩ）１３は、ユーザとのインターフェ
ースを司るプログラムであることからタッチパネルディ
スプレイ１４の画面上から認識することができるプログ
ラムであるといえる。従って、例えばユーザはマンマシ
ンインタフェース部（ＭＭＩ）１３のバージョン情報を
画面上より知ることができる。
【００２６】一方、マンマシンインタフェース部（ＭＭ
Ｉ）１３以外のプログラム、すなわちマシンコントロー
ラ（ＭＣ）１１、バージョン情報収集部１５、ログ管理
部１７、ＥＱＭ部１９、ジョブ実行部２０等のプログラ
ムは、マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ）１３の影
に隠れたプログラム、つまりタッチパネルディスプレイ
１４の画面上から認識することができないプログラムで
あるといえる。従って、例えばユーザはこれらのプログ
ラムのバージョン情報を画面上より直接的に知ることが
できない。
Ｉ）１３以外のプログラム、すなわちマシンコントロー
ラ（ＭＣ）１１、バージョン情報収集部１５、ログ管理
部１７、ＥＱＭ部１９、ジョブ実行部２０等のプログラ
ムは、マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ）１３の影
に隠れたプログラム、つまりタッチパネルディスプレイ
１４の画面上から認識することができないプログラムで
あるといえる。従って、例えばユーザはこれらのプログ
ラムのバージョン情報を画面上より直接的に知ることが
できない。
【００２７】図３はバージョン情報収集部１５の動作を
説明するための図である。
説明するための図である。
【００２８】バージョン情報収集部１５は、例えばタッ
チパネルディスプレイ１４を介して入力されたユーザの
命令に応じて、マシンコントローラ（ＭＣ）１１、マン
マシンインタフェース部（ＭＭＩ）１３、ログ管理部１
７、ＥＱＭ部１９、ジョブ実行部２０等の各プログラム
よりバージョン情報を獲得し、獲得した各プログラムの
バージョン情報をバージョン情報ファイル１６に格納す
る。
チパネルディスプレイ１４を介して入力されたユーザの
命令に応じて、マシンコントローラ（ＭＣ）１１、マン
マシンインタフェース部（ＭＭＩ）１３、ログ管理部１
７、ＥＱＭ部１９、ジョブ実行部２０等の各プログラム
よりバージョン情報を獲得し、獲得した各プログラムの
バージョン情報をバージョン情報ファイル１６に格納す
る。
【００２９】なお、バージョン情報収集部１５は、プロ
グラムが更新されたときに各プログラムよりバージョン
情報を獲得して格納するものであってもよい。これによ
り、常に正しいバージョン情報を収集できる。また、バ
ージョン情報収集部１５は、システムが立ち上げられた
ときに各プログラムよりバージョン情報を獲得して格納
するものであってもよい。これによっても、常に正しい
バージョン情報を収集できる。
グラムが更新されたときに各プログラムよりバージョン
情報を獲得して格納するものであってもよい。これによ
り、常に正しいバージョン情報を収集できる。また、バ
ージョン情報収集部１５は、システムが立ち上げられた
ときに各プログラムよりバージョン情報を獲得して格納
するものであってもよい。これによっても、常に正しい
バージョン情報を収集できる。
【００３０】図４はログ管理部１７の動作を説明するた
めの図である。
めの図である。
【００３１】ログ管理部１７は、マシンコントローラ
（ＭＣ）１１、マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ）
１３、バージョン情報収集部１５、ＥＱＭ部１９、ジョ
ブ実行部２０等の各プログラムより送られてくるログ情
報を獲得し、獲得した各プログラムのログ情報をシステ
ムログファイル１８に格納する。
（ＭＣ）１１、マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ）
１３、バージョン情報収集部１５、ＥＱＭ部１９、ジョ
ブ実行部２０等の各プログラムより送られてくるログ情
報を獲得し、獲得した各プログラムのログ情報をシステ
ムログファイル１８に格納する。
【００３２】ログ情報は例えばプログラム毎にファイル
され、どのプログラムのものかがユーザーから特定でき
るようになっている。
され、どのプログラムのものかがユーザーから特定でき
るようになっている。
【００３３】また、ログ情報には例えばプログラム上で
発生したエラー情報も含まれるため、ログ管理部１７は
エラー情報獲得手段としての機能を有するものである。
発生したエラー情報も含まれるため、ログ管理部１７は
エラー情報獲得手段としての機能を有するものである。
【００３４】なお、ログ管理部１７にエラー情報のみを
抽出する機能を持たせてもよい。これにより、エラー情
報の発見や特定が容易になる。
抽出する機能を持たせてもよい。これにより、エラー情
報の発見や特定が容易になる。
【００３５】図５はマンマシンインタフェース部（ＭＭ
Ｉ）１３の動作を説明するための図である。図６はその
フローチャートである。
Ｉ）１３の動作を説明するための図である。図６はその
フローチャートである。
【００３６】マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ）１
３は、プログラムにエラーが発生したとき（ステップ６
０１）、ユーザの命令によりまたは自動的にシステムロ
グファイル１８よりログ情報を読み出してタッチパネル
ディスプレイ１４上にその内容を表示する（ステップ６
０２）。これにより、ユーザはどのプログラムにエラー
が発生したかを知ることができる。
３は、プログラムにエラーが発生したとき（ステップ６
０１）、ユーザの命令によりまたは自動的にシステムロ
グファイル１８よりログ情報を読み出してタッチパネル
ディスプレイ１４上にその内容を表示する（ステップ６
０２）。これにより、ユーザはどのプログラムにエラー
が発生したかを知ることができる。
【００３７】次に、マンマシンインタフェース部（ＭＭ
Ｉ）１３は、例えばユーザの命令により（ステップ６０
３）バージョン情報ファイル１６よりバージョン情報を
読み出してタッチパネルディスプレイ１４上にその内容
を表示する（ステップ６０４）。これにより、ユーザは
各プログラムのバージョン情報を知ることができる。
Ｉ）１３は、例えばユーザの命令により（ステップ６０
３）バージョン情報ファイル１６よりバージョン情報を
読み出してタッチパネルディスプレイ１４上にその内容
を表示する（ステップ６０４）。これにより、ユーザは
各プログラムのバージョン情報を知ることができる。
【００３８】従って、ユーザは、これらログ情報（エラ
ー情報）及びバージョン情報から画面上より認識するこ
とができないプログラムであってもエラーの発生したプ
ログラムのバージョン情報を知ることができる。そし
て、例えば遠隔にいるユーザサポート側に対してこの情
報を伝えることで、ユーザサポート側はこの情報を基に
エラーの発生したプログラムに代えて例えば他のプログ
ラムと相性の良い新たなバージョンのプログラムを提供
することができ、迅速かつ適格な対応が可能となる。
ー情報）及びバージョン情報から画面上より認識するこ
とができないプログラムであってもエラーの発生したプ
ログラムのバージョン情報を知ることができる。そし
て、例えば遠隔にいるユーザサポート側に対してこの情
報を伝えることで、ユーザサポート側はこの情報を基に
エラーの発生したプログラムに代えて例えば他のプログ
ラムと相性の良い新たなバージョンのプログラムを提供
することができ、迅速かつ適格な対応が可能となる。
【００３９】新たなバージョンのプログラムの提供は、
例えば記録媒体や通信媒体を使って行うことができる。
また、上記のユーザ側とサポート側とのやり取りを人間
を介さずに例えば通信回線及びパソコンを使って機械化
することも可能である。
例えば記録媒体や通信媒体を使って行うことができる。
また、上記のユーザ側とサポート側とのやり取りを人間
を介さずに例えば通信回線及びパソコンを使って機械化
することも可能である。
【００４０】図７は上述した実施形態の変形例を示した
ものである。
ものである。
【００４１】マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ）１
３は、プログラムにエラーが発生したとき（ステップ７
０１）、ユーザの命令によりまたは自動的にシステムロ
グファイル１８よりログ情報を読み出してタッチパネル
ディスプレイ１４上にその内容を表示する（ステップ７
０２）と共に、どのプログラムにエラーが発生したかを
特定し、これに対応するバージョン情報をバージョン情
報ファイル１６より検索して読み出し（ステップ７０
３）、タッチパネルディスプレイ１４上にその内容を表
示する（ステップ７０４）。
３は、プログラムにエラーが発生したとき（ステップ７
０１）、ユーザの命令によりまたは自動的にシステムロ
グファイル１８よりログ情報を読み出してタッチパネル
ディスプレイ１４上にその内容を表示する（ステップ７
０２）と共に、どのプログラムにエラーが発生したかを
特定し、これに対応するバージョン情報をバージョン情
報ファイル１６より検索して読み出し（ステップ７０
３）、タッチパネルディスプレイ１４上にその内容を表
示する（ステップ７０４）。
【００４２】この例では、エラー情報に対応するバージ
ョン情報を表示するように構成したので、エラーの発生
原因となったプログラムのバージョン情報をさらに容易
に知ることができる。
ョン情報を表示するように構成したので、エラーの発生
原因となったプログラムのバージョン情報をさらに容易
に知ることができる。
【００４３】なお、本発明は、上述した実施の形態に限
定されず、その技術思想の範囲内で様々な変形が可能で
ある。
定されず、その技術思想の範囲内で様々な変形が可能で
ある。
【００４４】例えば本発明に係る制御装置は、クリーン
トラックやＬＣＤ製造装置等の他の半導体製造装置にも
適用することができる。
トラックやＬＣＤ製造装置等の他の半導体製造装置にも
適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
各プログラムよりバージョン情報を獲得して格納し、必
要に応じて格納した各プログラムのバージョン情報を表
示するように構成したので、画面上より認識することが
できないプログラムのバージョン情報を知ることができ
る。また、エラー情報を獲得して格納し、格納したエラ
ー情報をバージョン情報とともに表示するように構成し
たので、エラーの発生原因となったプログラムのバージ
ョン情報を容易に知ることができる。さらに、エラー情
報に対応するバージョン情報を表示するように構成した
ので、エラーの発生原因となったプログラムのバージョ
ン情報をさらに容易に知ることができる。また、プログ
ラムが更新されたとき、当該プログラムよりバージョン
情報を獲得して格納するように構成したので、常に正し
いバージョン情報を知ることができる。
各プログラムよりバージョン情報を獲得して格納し、必
要に応じて格納した各プログラムのバージョン情報を表
示するように構成したので、画面上より認識することが
できないプログラムのバージョン情報を知ることができ
る。また、エラー情報を獲得して格納し、格納したエラ
ー情報をバージョン情報とともに表示するように構成し
たので、エラーの発生原因となったプログラムのバージ
ョン情報を容易に知ることができる。さらに、エラー情
報に対応するバージョン情報を表示するように構成した
ので、エラーの発生原因となったプログラムのバージョ
ン情報をさらに容易に知ることができる。また、プログ
ラムが更新されたとき、当該プログラムよりバージョン
情報を獲得して格納するように構成したので、常に正し
いバージョン情報を知ることができる。
【図１】本発明の実施形態が採用された半導体ウエハ製
造装置の全体構成の平面図である。
造装置の全体構成の平面図である。
【図２】図１に示した半導体ウエハ製造装置を制御する
制御装置の構成を示す図である。
制御装置の構成を示す図である。
【図３】図２に示したバージョン情報収集部の動作を説
明するための図である。
明するための図である。
【図４】図２に示したログ管理部の動作を説明するため
の図である。
の図である。
【図５】図２に示したマンマシンインタフェース部（Ｍ
ＭＩ）の動作を説明するための図である。
ＭＩ）の動作を説明するための図である。
【図６】図２に示したマンマシンインタフェース部（Ｍ
ＭＩ）の動作を説明するためのフローチャートである。
ＭＩ）の動作を説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明の他の実施形態を説明するためのフロー
チャートである。
チャートである。
１〜３ プロセスチャンバ ４、５ カセットチャンバ １１ マシンコントローラ（ＭＣ） １２ メインコントローラ（ＥＣ） １３ マンマシンインタフェース部（ＭＭＩ） １４ タッチパネルディスプレイ １５ バージョン情報収集部 １６ バージョン情報ファイル １７ ログ管理部 １８ システムログファイル １９ ＥＱＭ部 ２０ ジョブ実行部
Claims (6)
- 【請求項１】 画面上より認識することができないプロ
グラムを含んだ複数のプログラムにより動作する制御装
置であって、 前記各プログラムよりバージョン情報を獲得する手段
と、 前記獲得した各プログラムのバージョン情報を格納する
手段と、 前記格納した各プログラムのバージョン情報を表示する
手段とを具備することを特徴とする制御装置。 - 【請求項２】 複数のプログラムにより動作する制御装
置であって、 前記各プログラムのバージョン情報を格納する手段と、 前記各プログラムを実行した際に発生したエラー情報を
獲得する手段と、 前記獲得したエラー情報を格納する手段と、 前記格納したエラー情報を表示する手段と、 前記格納した各プログラムのバージョン情報を表示する
表示手段とを具備することを特徴とする制御装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の制御装置であって、 前記表示手段が、前記表示されたエラー情報に対応する
バージョン情報を前記格納手段より獲得して表示するこ
とを特徴とする制御装置。 - 【請求項４】 請求項２または３記載の制御装置であっ
て、 プログラムが更新されたとき、当該プログラムよりバー
ジョン情報を獲得し、 前記格納手段に格納する手段をさらに具備することを特
徴とする制御装置。 - 【請求項５】 請求項２、３または４記載の制御装置で
あって、 制御装置を動作させる複数のプログラムが画面上より認
識することができないプログラムを含むことを特徴とす
る制御装置。 - 【請求項６】 上位制御系と、この上位制御系により個
別に制御される複数の下位制御系とを有し、これら各制
御系が画面上より認識することができないプログラムを
含んだ複数のプログラムにより動作する制御装置であっ
て、 前記上位制御系が、 前記各プログラムよりバージョン情報を獲得する手段
と、 前記獲得した各プログラムのバージョン情報を格納する
手段と、 前記格納した各プログラムのバージョン情報を表示する
手段とを具備することを特徴とする制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36842397A JPH11194928A (ja) | 1997-12-29 | 1997-12-29 | 制御装置 |
| US09/220,891 US6442446B1 (en) | 1997-12-29 | 1998-12-28 | Control apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36842397A JPH11194928A (ja) | 1997-12-29 | 1997-12-29 | 制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11194928A true JPH11194928A (ja) | 1999-07-21 |
Family
ID=18491782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36842397A Pending JPH11194928A (ja) | 1997-12-29 | 1997-12-29 | 制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6442446B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11194928A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008537320A (ja) * | 2005-02-25 | 2008-09-11 | ラム リサーチ コーポレーション | クラスタツールのための安全なユニバーサルコンフィギュレーションソフトウェア |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6532588B1 (en) * | 1998-10-21 | 2003-03-11 | Xoucin, Inc. | User centric program product distribution |
| JP4187229B2 (ja) * | 1999-07-05 | 2008-11-26 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびパラメータ変更方法 |
| US6834370B1 (en) * | 1999-07-08 | 2004-12-21 | Osi Software, Inc. | Method for creating master recipes |
| US6415193B1 (en) * | 1999-07-08 | 2002-07-02 | Fabcentric, Inc. | Recipe editor for editing and creating process recipes with parameter-level semiconductor-manufacturing equipment |
| US6732003B1 (en) | 2000-08-07 | 2004-05-04 | Data I/O Corporation | Feeder/programming/loader system |
| US6671564B1 (en) * | 2000-10-03 | 2003-12-30 | Data I/O Corporation | Portable programming system and control method therefor |
| US6892256B1 (en) * | 2001-05-01 | 2005-05-10 | Cisco Technology, Inc. | Automated system for storing revision information from slave programmable devices in a master programmable device |
| TWI244603B (en) * | 2001-07-05 | 2005-12-01 | Dainippon Screen Mfg | Substrate processing system for managing device information of substrate processing device |
| US7280883B2 (en) * | 2001-09-06 | 2007-10-09 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing system managing apparatus information of substrate processing apparatus |
| US7472737B1 (en) * | 2003-01-15 | 2009-01-06 | Leannoux Properties Ag L.L.C. | Adjustable micro device feeder |
| JP2005259057A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 更新履歴管理装置及び記録媒体 |
| WO2005091095A1 (en) * | 2004-03-15 | 2005-09-29 | Abb Ab | Control system, method and computer program |
| US7162317B2 (en) * | 2005-02-25 | 2007-01-09 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for configuring plasma cluster tools |
| CN100585607C (zh) * | 2005-02-25 | 2010-01-27 | 朗姆研究公司 | 配置等离子体群集工具的方法 |
| US7536538B1 (en) | 2005-03-31 | 2009-05-19 | Lam Research Corporation | Cluster tools for processing substrates using at least a key file |
| DE102006001257A1 (de) * | 2005-12-30 | 2007-07-12 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Automatisiertes Zustandabschätzungssystem für Cluster-Anlagen und Verfahren zum Betreiben des Systems |
| KR100835276B1 (ko) * | 2006-10-23 | 2008-06-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장비 제어 시스템 및 제어 방법 |
| JP5072380B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2012-11-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
| JP5368878B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、製造装置及びデバイス製造方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4558413A (en) * | 1983-11-21 | 1985-12-10 | Xerox Corporation | Software version management system |
| JPS6354617A (ja) | 1986-08-25 | 1988-03-09 | Sharp Corp | 端末制御装置のソフトウエアバ−ジヨン表示方式 |
| JPH01229325A (ja) | 1988-03-09 | 1989-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | データ処理装置 |
| JPH04326423A (ja) | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Toshiba Corp | バージョンアップ管理システム |
| JP3155297B2 (ja) | 1991-06-28 | 2001-04-09 | 株式会社リコー | プログラム管理装置 |
| JPH05274335A (ja) | 1992-02-12 | 1993-10-22 | Nec Corp | 銀行用端末装置 |
| US5574898A (en) * | 1993-01-08 | 1996-11-12 | Atria Software, Inc. | Dynamic software version auditor which monitors a process to provide a list of objects that are accessed |
| US5565114A (en) * | 1993-03-04 | 1996-10-15 | Tokyo Electron Limited | Method and device for detecting the end point of plasma process |
| US5499365A (en) * | 1993-08-04 | 1996-03-12 | International Business Machines Corporation | System and method for controlling versions of objects in an object oriented computing environment |
| US5675802A (en) * | 1995-03-31 | 1997-10-07 | Pure Atria Corporation | Version control system for geographically distributed software development |
| US6112024A (en) * | 1996-10-02 | 2000-08-29 | Sybase, Inc. | Development system providing methods for managing different versions of objects with a meta model |
| JPH10139159A (ja) * | 1996-11-13 | 1998-05-26 | Tokyo Electron Ltd | カセットチャンバ及びカセット搬入搬出機構 |
| US6000830A (en) * | 1997-04-18 | 1999-12-14 | Tokyo Electron Limited | System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus |
| JP3578886B2 (ja) * | 1997-05-02 | 2004-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | プロセス制御システムとそのプロセスデータ転送制御方法 |
| US6263497B1 (en) * | 1997-07-31 | 2001-07-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Remote maintenance method and remote maintenance apparatus |
| US6023710A (en) * | 1997-12-23 | 2000-02-08 | Microsoft Corporation | System and method for long-term administration of archival storage |
-
1997
- 1997-12-29 JP JP36842397A patent/JPH11194928A/ja active Pending
-
1998
- 1998-12-28 US US09/220,891 patent/US6442446B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008537320A (ja) * | 2005-02-25 | 2008-09-11 | ラム リサーチ コーポレーション | クラスタツールのための安全なユニバーサルコンフィギュレーションソフトウェア |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6442446B1 (en) | 2002-08-27 |
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Legal Events
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030422 |