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JPH11171645A - 電子部品 - Google Patents

電子部品

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Publication number
JPH11171645A
JPH11171645A JP9356086A JP35608697A JPH11171645A JP H11171645 A JPH11171645 A JP H11171645A JP 9356086 A JP9356086 A JP 9356086A JP 35608697 A JP35608697 A JP 35608697A JP H11171645 A JPH11171645 A JP H11171645A
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JP
Japan
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ceramic
electronic component
grain boundary
electrode
phase
Prior art date
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Pending
Application number
JP9356086A
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English (en)
Inventor
Hideko Fukushima
英子 福島
Naoyuki Sato
直行 佐藤
Hiroyuki Ito
博之 伊藤
Kyozo Ogawa
共三 小川
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP9356086A priority Critical patent/JPH11171645A/ja
Priority to US09/075,822 priority patent/US6045893A/en
Priority to SE9801746A priority patent/SE516668C2/sv
Priority to DE19822782A priority patent/DE19822782A1/de
Priority to CNB981147011A priority patent/CN1168106C/zh
Publication of JPH11171645A publication Critical patent/JPH11171645A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ａｇの粒界中への拡散を防止し、外観及び性
能に優れ、あるいは信頼性の高い安価なマーカーを有す
る電子部品を提供する。 【解決手段】 積層焼結型電子部品のセラミックが、Ｐ
ｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖ等からなる副成分を含有し、内部電
極はＡｇを含有し、窒素雰囲気での焼成でセラミックが
白調地肌を有するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックを用い
マイクロ波回路等に使用する積層一体焼結型の電子部品
に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層型の電子部品は、セラミックを用い
て形成したグリーンシートに電極パターンを形成し、こ
れを積層したのち一体に焼成して得られる小型の電子部
品であり、低周波からマイクロ波帯域まで広く用いられ
ている。
【０００３】このような積層型の電子部品には、例えば
積層チップコンデンサ、積層インダクタ、積層トランス
のような単機能の部品や、これらの機能を複合した部品
がある。後者は、例えば各種フィルタ（例えばＢＰＦ
（バンドパスフィルタ；帯域濾波器）、ＬＰＦ（ローパ
スフィルタ；低域濾波器）、ＨＰＦ（ハイパスフィル
タ；高域濾波器））、アンテナスイッチ（Ａｎｔｅｎｎ
ａ Ｓｗｉｔｃｈ）、カップラ（Ｃｏｕｐｌｅｒ）等々
であり、その他にも部品の類例は極めて多い。
【０００４】ここに、上記セラミックとしては上記積層
型の電子部品が求める性能に応じて適宜、各種の誘電体
や磁性体が用いられる。誘電体は、代表的なものとして
チタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カ
ルシウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、アルミ
ナ等々あり、その他のものも含め極めて多種である。ま
た、磁性体は、ＮｉＺｎフェライト他のソフトフェライ
トが代表的である。
【０００５】また、上記電極パターンの材料としては、
焼成工程を経た後でも良導体としての特性を維持する必
要があるので、例えば高温下でも比較的酸化しにくいＡ
ｇやＡｇ系の合金が用いられる。この場合、上記セラミ
ックと一体焼結するにあたっては、ＡｇまたはＡｇ系合
金の融点を考慮して通常はセラミックの焼成温度をおよ
そ１１００℃以下にしなくてはならない。従って、上記
セラミックには、通常は、粒界相の成分すなわち副成分
として低融点酸化物を添加し、比較的低温での焼成が可
能となるようにしたものが採用される。
【０００６】ところが、このような低融点酸化物を用い
たセラミックと、電極パターンの材料すなわち内部電極
の材料としてＡｇまたはＡｇ系の合金を用いたものとを
組み合わせ、これらを大気中で一体焼結すると、以下の
問題を生ずる。すなわち、焼成後のセラミック電子部品
が変色し黒ずむ、またセラミックの誘電損失が特にはマ
イクロ波領域で異常に大きくなり悪化するという問題で
ある。なお、本発明の経過または本発明により、この現
象の原因はセラミック中へのＡｇ元素の拡散にあること
が判った。
【０００７】かかる問題があるために、従来、ＡｇやＡ
ｇ系の合金（Ａｇ合金）を内部導体として用いた電子部
品は、外観及び／又は性能の点で劣るものしか得られな
い、または何らかの格別の操作を加えなければ製品化が
難しいという状況にあった。
【０００８】また、別の観点からの問題もあった。すな
わち、通常の積層型の電子部品は、焼成終了後外部電極
を焼き付け、その外部電極にＮｉメッキや半田メッキな
どのメッキ処理を施し、さらに製品番号などの識別記号
（マーカー）を印刷して、最終的な電子部品として完成
する。
【０００９】このようなマーカーは、例え１文字１記号
でも記載を誤ると当然に部品の誤使用を来たし、部品と
しての機能が発揮できないばかりか重大な事故に繋がる
可能性さえ生じる。例えば入力端子の位置表示を出力端
子側に設けると、部品の機能が発揮できないことは説明
を待たない。
【００１０】また、このようなマーカーには、部品の種
類等を表示する機能の外に、上記部品の製作工程中にお
いて機械的に付与し、以降の自動機の位置制御にあたっ
て目印にする用法・機能もある。あるいは品質管理をは
じめとする各種管理やチェックに用いることもまた可能
である。
【００１１】マーカーは上述のような利用目的に応じ
て、完成の直前に付与したりグリーンシートの段階で付
与したり、あるいは利用目的毎に数次に分けて付与する
など、従来、付与の時期はさまざまであった。
【００１２】ただし、積層一体焼結型の電子部品は、完
成品となるまでに例えば強酸性のメッキ液中に投入され
たり、様々な物理的機械的な力を受けたりするといっ
た、厳しい環境下に置かれる。従って、半製品に付与さ
れ厳しい環境に曝されたマーカーを完成品の識別用に共
用しようとすれば、腐食する、消えやすい、不明瞭にな
りやすいなどの難点があるので、選別費などの費用がか
さみ部品が高価になり、結局、メッキ前の半製品に付与
したマーカーを完成品の識別用に共用することは困難な
状況にあった。
【００１３】さらに、Ａｇを含有する電極材を用いた誘
電体セラミックの場合、Ａｇの酸化に伴う黒化現象があ
れば、そもそもマーカーとして識別し辛いという問題点
もあった。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明が解決し
ようとする課題は、以下に述べる課題の内、１つまたは
２つ以上である。外観及び／又は性能の点で優れた電子
部品を提供すること。その手段としてＡｇ元素のセラミ
ック中への拡散を防止すること。あるいは別の観点から
は、視認性に優れ信頼性の高い安価なマーカーを有する
電子部品を提供すること。マイクロ波領域で電気特性の
優れた電子部品を提供すること。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め鋭意研究の結果、本発明者らはセラミックの黒化現象
を解明し、著しく構成や特性を改善した電子部品に想到
したものである。すなわち本願第１の発明は、主相と低
融点粒界相とからなるセラミックと、ＡｇまたはＡｇ合
金を含有する導体からなる内部電極とを有する電子部品
であって、当該セラミックは明色調（明度Ｎ８．５以上
または明度Ｖ８．５以上とする）の地肌を有するように
構成した電子部品である。
【００１６】この発明の最も新規で特徴的なところは、
電子部品を構成するセラミックの色調が明色調であると
ころにあり、かかる色調の特徴は電子部品の特性の著し
い向上にも反映されているものである。また、この新し
い電子部品はセラミックの黒化現象を解消したこと、さ
らには上記黒化現象の解消のために、セラミック中への
Ａｇ元素の拡散を抑制したことによりもたらされたもの
である。
【００１７】この発明において、セラミックとは、高抵
抗の多結晶体のことであり、粒界相と主相である結晶相
とからなる。また、当該セラミックは焼成前はグリーン
シートを形成する要素であるとともに、焼成後は当該電
子部品の素材となるものである。
【００１８】またこの発明において、Ａｇを含有する導
体としてはＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金等の
ＡｇまたはＡｇ合金を用いた導体であってもよい。さら
にこれらＡｇまたはＡｇ合金がＰｄ、Ｐｔ以外の元素、
例えばガラス・フリット（ガラス粉粒物）入りのＡｇペ
ーストを用いた場合のＢ（硼素）のようなガラス形成元
素を含有するものも含むことは当然である。
【００１９】さらに、当該電子部品はセラミックの他に
内部電極を有し、当該電子部品には焼成後に外部電極を
付与してもよい。また、明色調とは従来の変色して黒ず
んだ色調の部分を有していないこと（明度Ｎ８．５以上
またはＶ８．５以上）である。明色調をより具体的に色
で表現すれば、赤色（５Ｒ）から黄色（５Ｙ）に至る色
調のいずれかの明るい色（明度がＶ８．５以上、彩度が
Ｃ６以下）の地肌を有していると言える。
【００２０】また本願第２の発明は、第１の発明におい
て、セラミック粉を用いて形成したグリーンシートに電
極パターンを形成しこれを積層したのち焼成した、セラ
ミックと内部電極を有する電子部品において、該セラミ
ックは当該セラミックの主相を形成する主成分のほか
に、粒界相を形成する副成分としてＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、
Ｖから選ばれた１種または２種以上の元素を含有し、か
つ上記電極はその成分の構成元素にＡｇを含有し、かつ
当該セラミックは赤色から黄色に至る色調の地肌を有す
るように構成した電子部品である。
【００２１】この発明において、赤色から黄色に至る色
調とは、セラミックが半透明又は不透明であって、その
地肌の色調が白濁色、淡黄色、黄色、乳白色、クリーム
色、あるいはそれらの中間色のいずれかである、または
色相が５Ｒから５ＹＲを経て５Ｙに至る色相であって、
明度がＶ８．５以上、彩度がＣ６以下であることを意味
している。
【００２２】またＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖは粒界相中では
いずれも酸化物の形態をしている。例えば通常、単独で
はＰｂＯ、Ｂｉ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｖ2Ｏ5等の形態である。
また複数の元素を用いたものでは、例えばＰｂＯ・Ｃｕ
2Ｏ（またはＰｂＣｕ2Ｏ2）のように、複合酸化物とな
っていることもある。これらはいずれも低融点酸化物で
ある。
【００２３】従って本発明のＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖはそ
れぞれ、ＰｂＯ、Ｂｉ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｖ2Ｏ5であっても
よい。また、本発明における副成分が、合計０．５重量
％以上１２重量％以下のＰｂＯ及び／又はＢｉ2Ｏ3であ
れば、当該セラミックは、焼結温度が１１００℃以下で
あって、かつマイクロ波帯での損失が小さいので特に好
ましい。
【００２４】また、本願第３の発明は、主相と低融点粒
界相とからなるセラミックと、Ａｇを含有する導体から
なる内部電極とを有する電子部品において、上記内部電
極周縁部からの距離が１０μｍ以上であるような位置に
おけるＡｇ及び／またはＡｇ酸化物をＡｇに換算した量
を、当該位置近傍のセラミック中に存在する金属元素の
総和に対して０．５重量％以下とした電子部品である。
【００２５】また、本願第４の発明は、主相と低融点粒
界相とからなるセラミックと、Ａｇを含有する導体から
なる内部電極とを有する電子部品において、上記セラミ
ックの粒界相中に存在するＡｇ及び／またはＡｇ酸化物
をＡｇに換算した量を、粒界相中の金属元素に対する比
率で５重量％以下とした電子部品である。
【００２６】上記第３、第４の発明において特に重要な
構成要件は、セラミック中やセラミックの粒界相中に存
在するＡｇ及び／またはＡｇ酸化物の上限を規制したこ
とである。すなわち、第３の発明においてはセラミック
中の量を規制し、第４の発明においては粒界相中の量を
規制しているが、これらは実質的な内容において異なる
点も重複する点もある。
【００２７】なお、第３の発明において位置を限定した
理由は、以下の事実に基づくものである。すなわち観測
されるＡｇ元素の量は、この観測位置が内部電極の近傍
であればあるほど大で、逆に遠方であればあるほど小で
ある。しかるに特別に用意した試料での観測結果によれ
ばこの内部電極との距離が１０μｍ程度以内であればＡ
ｇの濃度のばらつきが大きすぎる場合もあって、その存
在量を定義し難い。
【００２８】そこで本発明では上記観測位置を内部電極
の周縁部からの距離が１０μｍ以上と限定したものであ
る。なお、内部電極がさらに離れた位置についての観測
結果によれば、これは試料の構成（寸法）によってまち
まちであったが、少なくともおよそ３ｍｍ程度まではＡ
ｇ元素の存在が確認できた。
【００２９】第４の発明においては、セラミックの粒界
相中に存在するＡｇ及び／またはＡｇ酸化物が６重量％
を越えると、外観が黒ずむとか電子部品の挿入損失など
の電気的特性が悪化する原因となることを初めて見出し
た結果に基づくものである。また、本発明におけるＡｇ
の量には、内部電極等の電極部に電極材料として使われ
ているＡｇの量を算入しない。
【００３０】さらに、本発明における上記セラミックの
粒界相中に存在するＡｇ及び／またはＡｇ酸化物をＡｇ
に換算した量が、粒界相中に存在する金属元素の５重量
％以下のところを、１重量％以下と制限すれば、なお一
層好ましい外観及び／または電気的特性が得られる。
【００３１】本願第５の発明は、セラミック粉を用いて
形成したグリーンシートにＡｇを含有する電極のパター
ンを形成しこれを積層したのち焼成及び／又は熱処理し
て形成した電子部品において、前記焼成及び／又は熱処
理は、その雰囲気が非酸化性である過程を有するように
した電子部品である。
【００３２】本発明において非酸化性の雰囲気とは、例
えばＮ2ガス、Ａｒガス、ＣＯ2ガス、Ｈ2ガス及びこれ
らの混合ガスのことであり、非酸化性であれば何でも良
い。さらに、本発明において非酸化性の雰囲気とは、そ
の全量が完全な非酸化性気体で占められている必要はな
く、例えば空気などの酸化性気体を含んだ混合気体であ
っても良い。厳密には平衡酸素圧よりも酸素分圧の低い
気体であれば十分である。
【００３３】本願第６の発明は、上記第５の発明におい
て非酸化性雰囲気を充分に満足する条件として確認され
た発明であり、焼成及び／又は熱処理を、６００℃以上
１１００℃以下で行い、かつ少なくとも５分以上の時間
を非酸化性雰囲気での焼成及び／又は熱処理となるよう
にした電子部品である。
【００３４】この発明において、積層したセラミックグ
リーンシートの焼成温度は８００℃以上１１００℃以下
であることが望ましい。その理由は、焼成温度が８００
℃未満の場合は焼結が不足となり実用性に欠くこと、お
よび焼成温度が１１００℃超の場合は内部導体のＡｇ等
が溶出し製品化が困難なことによる。
【００３５】および、この発明において熱処理は６００
℃以上、焼成温度以下で行うのが望ましい。この理由は
６００℃未満である場合は熱処理の効果が少ないからで
ある。このような熱処理の目的は主に外部電極のセラミ
ックへの焼き付け固定であって焼成ではないので、焼成
温度超での熱処理はこれを行っても構わないが、焼成の
条件として勘案すれば済むことである。
【００３６】この発明において雰囲気に曝す条件が６０
０℃未満あるいは５分未満の場合は、雰囲気に曝した効
果が不充分である。また、この発明における雰囲気の条
件は、当該雰囲気の酸素分圧を０．１５気圧以下とすれ
ば、さらに十分に効果的である。
【００３７】また上記セラミックグリーンシートは、６
００℃以上の焼成及び／又は熱処理の雰囲気を、少なく
とも１０分以上の時間が０．１気圧未満の酸素分圧とな
るようにして焼成及び／又は熱処理すれば、さらに好ま
しい結果が得られる。
【００３８】上記雰囲気に曝した効果を最大に発揮する
ためには、６００℃以上での熱処理及び／又は焼成の雰
囲気を、少なくとも２０分以上の時間が０．０７気圧未
満の酸素分圧となるようにすればよい。
【００３９】一方、セラミック主相中のＡｇの量を充分
低く規制することによって前述のセラミックの外観を改
善し、あるいはまた電気的特性を改善することができ
る。特にＡｇの量が、０．２重量％未満であり、かつ当
該セラミックの粒界相がＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖから選ば
れた１種又は２種以上の元素を含有し、かつ前記内部電
極は、Ａｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金等のＡｇ
またはＡｇ合金で構成した電子部品は本願第７の発明で
ある。なお、上記Ａｇ合金がＰｔ、Ｐｄ以外の金属元素
を含有するものであっても良いことは言うまでもない。
【００４０】この発明において、セラミック主相中のＡ
ｇの量を十分に規制して０．０１重量％未満とし、かつ
粒界相がＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖから選ばれた１種又は２
種以上の元素を含有し、かつ前記内部電極を、Ａｇ、Ａ
ｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金等のＡｇまたはＡｇ合金
で構成した電子部品とすればさらに優れた外観及び電気
的特性が得られる。
【００４１】本発明は、ソフトフェライトのような元来
黒調の地肌を有するセラミックに適用しても発明の基本
的な作用は変わらないので、少なくとも電気的性能に関
する効果は確保できる。ただし、黒調の地肌がそれなり
に優れた物にはなるものの、明色調のセラミック地肌が
得られないことは言うまでもない。
【００４２】本願第８の発明は、このようなソフトフェ
ライトに本発明を適用した物である。すなわちこの発明
は、前記第３〜第７の発明のいずれかにおいて、セラミ
ックの主相をＮｉＣｕＺｎ系、ＣｕＺｎ系、ＮｉＺｎ
系、ＮｉＣｕ系、Ｃｕ系、Ｎｉ系の何れかのソフトフェ
ライトで構成した電子部品である。
【００４３】これらのソフトフェライトは、主成分の構
成元素の一部を他の元素に置換したり、及び／又は副成
分を添加して構成された公知のソフトフェライトの改良
材料としてもその効果が変わる物ではない。
【００４４】例えば、ＦｅやＮｉの一部を単独又は複合
でＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｓｂ、Ｌｉ、Ｍｇ、
Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｂ、Ｍｏ等の１種または２種以上に置換
して用いること、あるいは、単独又は複合でＢ、Ｃａ、
Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｉｎ、Ｔｅ、Ｗ等の１種または
２種以上の構成元素からなる成分を添加して用いること
は本発明の一部である。
【００４５】ソフトフェライトと異なって白っぽい主相
を有するセラミックすなわち例えば誘電体においては本
願発明の地肌色に係るところの効果がより顕著である。
すなわち本願第９の発明は、前記第１〜第７の発明のい
ずれかにおいて、セラミックの主相は誘電体であり、か
つ当該セラミックの粒界相はＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖから
選ばれた１種又は２種以上の元素を含有し、かつ内部電
極はＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金等のＡｇま
たはＡｇ合金であり、かつ焼成及び／又は熱処理は、そ
の雰囲気が非酸化性である過程を有し、かつ当該セラミ
ックの粒界中のＡｇ（酸化銀の形態であっても良い）は
５重量％以下であり、かつ当該セラミックは明色調の地
肌を有する電子部品である。
【００４６】この発明において、明色調とは色相が５Ｒ
から５ＹＲを経て５Ｙに至る色相であって、明度がＶ
８．５以上またはＮ８．５以上、彩度がＣ６以下であ
る。またこの発明においては、電気的特性（誘電体材料
にあっては例えば誘電損失、部品にあっては例えば挿入
損失やフィルターの場合のカットオフ特性等々）もまた
優れることは言うまでもない。またこの発明において、
誘電体は３０ＭＨｚ〜３０ＧＨｚの周波数帯域のマイク
ロ波用誘電体であってもよい。この場合、低損失のマイ
クロ波用誘電体であれば、なお好結果が得られる。
【００４７】そこで本願第１０の発明は、前記第９の発
明におけるセラミックの主相の誘電体を実質的に、ジル
コン酸カルシウム（ＣａＺｒＯ3）、ジルコン酸バリウ
ム（ＢａＺｒＯ3）、ジルコン酸ストロンチウム（Ｓｒ
ＺｒＯ3）、ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ3）から選ばれた
１種または２種以上、あるいはそれらの中間組成物とす
れば、汎用誘電体として有効であるのみならずマイクロ
波用の低損失の誘電体としても特に有効であり、これを
用いて低損失高性能の電子部品、例えばカットオフ特性
に優れたＢＰＦが作成できるという事実に基づくもので
ある。
【００４８】なお、誘電体の主相を形成する構成元素は
粒界相の低融点酸化物の構成元素と重複する元素を含ん
でいても差し支えない。すなわち本願第１１の発明は、
主相と低融点粒界相とからなるセラミックと、Ａｇを含
有する導体からなる内部電極とを有する電子部品におい
て、該セラミックは主相を形成する主成分の構成元素と
してＰｂを含有するとともに、当該セラミックは明色調
の地肌を有する電子部品である。
【００４９】このようなセラミックには例えばチタン酸
鉛やチタン酸ジルコン酸鉛や上述のジルコン酸鉛などが
有る。これらのいずれかを主相とするセラミックの場
合、ＰｂＯを特に追加して添加しなくても粒界にはＰｂ
Ｏの低融点粒界相を生成させることができる。チタン酸
鉛やチタン酸ジルコン酸鉛は圧電体として有用なセラミ
ックであるが、上記第１１の発明を適用すれば、電気機
械変換特性に優れ、かつ外観に優れた、たとえば圧電イ
ンバータトランスや圧電フィルターのような電子部品が
得られる。
【００５０】セラミックがソフトフェライトや誘電体で
あり、かつマイクロ波で用いられる場合はマイクロ波帯
域における誘電損失の小さいことが望ましい。本願第１
２の発明は、前記第１〜第１１の発明を適用すれば１Ｇ
Ｈｚにおける誘電損失を５×１０-4以下に抑えることが
できるという事実の発見に係るものである。
【００５１】かかる誘電損失に優れた材料を用いて作成
した部品が、部品としての電気的性能に優れることは言
うまでもない。例えばフィルターに用いればその周波数
特性の一種であるカットオフ特性に優れ、またそのフィ
ルターの挿入損失が少なくなり、あるいはそのフィルタ
ーの電気的Ｑ（有効信号の無効信号に対する比率）が高
くなる。
【００５２】本願第１３の発明は、主相と低融点粒界相
とからなるセラミックと、Ａｇを含有する導体からなる
内部電極とを有する電子部品であって、かつ当該セラミ
ックは半透明又は不透明であって、その地肌の色調が白
濁色、淡黄色、黄色、乳白色、クリーム色、あるいはそ
れらの中間色のいずれかであるような電子部品である。
【００５３】この発明は、明色調あるいは、赤色から黄
色に至る色調の内容を限定（すなわち色相が５Ｒから５
ＹＲを経て５Ｙに至る色相であって、明度がＶ８．５以
上またはＮ８．５以上、彩度がＣ６以下）しているが、
地肌の色調が多少青味がかって見えるものも包含する
（すなわち彩度がＣ２以下で、明度がＶ８．５以上また
はＮ８．５以上のすべての色相を包含する）。この発明
の要点は、Ａｇを含有する導体からなる内部電極ととも
に用いたセラミックが、このような内部電極を伴わない
セラミックと類似の地肌を有する点にある。
【００５４】本願発明はまた、電子部品に視認性や耐環
境性に優れたマーカーを提供するものである。すなわち
本願第１４の発明は、セラミックの表面に付与された電
極及び／又はセラミックの表面より肉眼で観察しうる内
部電極は、該電極の少なくとも一部及び／又は該電極の
欠除部の少なくとも一部が、マーカーの機能を有する電
子部品である。
【００５５】この発明において、セラミックの表面に付
与された電極に関しては、周辺のセラミック及び電極そ
のものがいずれも黒っぽく変色することがないので、視
認性に優れたマーカーが得られるという事実に基づくも
のである。また、セラミックの表面より肉眼で観察しう
る内部電極に関しては、周辺のセラミック及び内部電極
そのものがいずれも黒っぽく変色することがないので、
視認性に優れたマーカーが得られるという事実に加え、
以下の作用効果を有するものである。
【００５６】すなわち、内部電極とセラミックまたは電
子部品の表面との間にはセラミック層が存在するので、
内部電極はメッキ液や腐食性のガスや酸化性の気体、例
えば外気に直接触れることがない。従って、内部電極は
極めて優れた耐環境性を有するとともに、上述の通り視
認性にも優れ、結局、表示の信頼性にも優れるものとな
る。
【００５７】あるいは別の観点から見ると、この発明の
内部電極は、積層型の電子部品を製造する工程中の内部
導体印刷工程で付与されるものであるから、当然にして
機械的に付与されるものである。従って、上記印刷工程
以降の完成品に至るまでの全工程の半製品及び完成品に
おいて、この内部電極はマーカー機能を有して有効に作
用するものである。
【００５８】このことは、この第１４の発明によるマー
カーが、部品製造工程において、半製品部品の位置決め
や位置確認用としても有用に利用できることを意味して
いる。この事実は、本発明が対象とするセラミック系電
子部品の、特に自動機による生産にあたって、極めて重
要かつ有用な効果である。なお、この第１４の発明の上
記事実に関する部分は、電子部品用のマーカーに限らず
セラミック層を被覆したマーカーの全てに拡張適用する
ことが可能であることは言うまでもない。
【００５９】かかる第１４の発明の内容をさらに具体的
に限定したものが、本願第１５の発明である。すなわち
第１５の発明は、上述第１の発明〜第７の発明、第９の
発明〜第１４の発明のいずれかにおいて、マーカーが、
外部電極の機能、部品（ただし半製品部品を含む）の方
向、部品の種類、部品番号、部品規格、製造者の表示の
少なくとも何れか一つを、文字、数字、記号の少なくと
も何れか一つを以て表示する電子部品である。
【００６０】
【発明の実施の形態】以下に発明の詳細を実施例に基づ
いて説明する。図１は、本発明を説明するための、電子
部品の一実施例の部分断面の斜視図である。図１は、視
認性を確保するために模式的に描いているので各部の縮
尺や個数については、正確ではない。
【００６１】本発明の電子部品（１）は、セラミック
（２）、内部電極（３）、外部電極（３）から成り、少
なくとも内部電極はＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ
合金等のＡｇまたはＡｇ合金である。内部電極は、ビア
ホールやスルーホールを含む意味のものとする。外部電
極は、例えばＡｇ元素を含有する導体である。さらに外
部電極には、例えばガラス・フリットを含有する場合が
ある。
【００６２】通常、上記外部電極はその外表面に別途メ
ッキ層を付与する。例えばＮｉ層をメッキで形成し、さ
らにその外表面に半田層を形成する。また、通常上記セ
ラミックが誘電体である場合には、上記電子部品（１）
は白調ないし黄調の地肌（５）を有する。
【００６３】図２は、このようなセラミック（２）を説
明するための結晶組織の一例を示す顕微鏡写真である。
本図は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）像であるが、中央
付近の暗い三角部はいわゆる粒界三重点と呼ばれる粒界
の特異点である。この粒界３重点から三方向に暗い線状
の粒界が観察される。
【００６４】また、図２の比較的明るい部分は結晶粒で
ある。本明細書に言う主相とは、図２で言えば、この結
晶粒の相のことを指す。さらに、本明細書に言う粒界相
とは、図２で言えば、この粒界三重点と線状の粒界の両
方の相のことを指す。
【００６５】一般に粒界相は、主相を形成しない成分、
例えば不純物や添加物で形成されており、焼成している
ときの状態は液相である場合が多い。また粒界相の厚さ
としては、粒界三重点を除く部分では１ｎｍ程度かそれ
以下で、不純物や添加物の量が多いと、より厚くなるの
が一般的である。
【００６６】さらに粒界相には、主相に較べてその相対
密度が低く、つまり空孔率が大きく、また酸によって腐
食されやすい、等の特徴がある。このような特徴によっ
て例えばＸ線の透過率も変わるし、例えば粒界相のみを
溶解し化学分析に供することもできる。
【００６７】
【実施例】次に、本発明の電子部品の作成方法を実施例
に基づいて詳細を説明する。 （実施例１）本発明の実施例の基本的な作成工程を、本
発明のセラミックがジルコン酸カルシウムの場合につい
て、以下、特に詳細かつ具体的に説明する。ただし、こ
れはセラミック一般であれば説明が抽象的になることを
避けるためであって、当然ながら本発明のセラミックは
ジルコン酸カルシウムに限定するものではなく、例えば
以下のようなものにも適用できる。
【００６８】すなわち例えば、チタン酸バリウム、チタ
ン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウム、チタン酸鉛、
チタン酸ジルコン酸鉛、アルミナ等の誘電体、及びＮｉ
Ｚｎフェライト他のソフトフェライト等の磁性体に、同
様に適用できる。
【００６９】水熱合成法によるＣａＺｒＯ3（ジルコン
酸カルシウム；市販品）の粉末を準備した。なお、この
粉末の代替としてＣａＣＯ3とＺｒＯ2の粉末をボールミ
ル（以下ＢＭと略称する）で混合した後仮焼し、ＢＭで
粉砕して得た、いわゆる固相法によるＣａＺｒＯ3でも
よいことは、別途確認した。なお、ＢＭはその容器であ
るＢＭポットとメディアと、必要に応じて液状の混合粉
砕媒体とからなる。
【００７０】ＰｂＯ、Ｂｉ2Ｏ3の粉末（いずれも市販
品、試薬特級）を準備した。また、Ａｇペースト（市販
品）を準備した。Ａｇペーストにはエチルセルロース、
ブチルカルビトール、ターピネオール等を含有してい
る。
【００７１】ＣａＺｒＯ3粉末と１０重量％相当のＢｉ2
Ｏ3粉末を秤量しこれらをＢＭポットに投入した。な
お、本試料はこれ以降仮焼工程を経ずに成形工程まで至
るが、あらかじめＣａＺｒＯ3とＢｉ2Ｏ3の粉末を混合
し、仮焼し、その後ＢＭにて粉砕して得た粉末、あるい
はＣａＯやＣａＣＯ3とＺｒＯ2とＢｉ2Ｏ3の粉末を混合
し、仮焼し、その後ＢＭにて粉砕して得た粉末で以降の
工程を進めてもよいことは別途確認した。
【００７２】ＢＭポットにはさらに５ｍｍφのジルコニ
ア製ボールを混合粉砕メディアとして投入し、その他に
ＰＶＢ（ポリビニルブチルアルコール；ｐｏｌｙｖｉｎ
ｙｌｂｕｔｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ）、ＢＰＢＧ（ブチル
フタリルグリコール酸ブチル；Ｂｕｔｙｌ Ｐｈｔｈａ
ｌｙｌ Ｂｕｔｙｌ Ｇｌｙｃｏｌａｔｅ）、エタノー
ル、ブタノールを混合粉砕媒体として各々投入した。
【００７３】しかる後ＢＭを２４時間運転し、スラリー
を得、このスラリーをドクターブレード法でシート状に
成形しグリーンシートを作成した。シート厚さは約７０
μｍである。さらに成形したシート上にＡｇペーストで
内部電極パターンを印刷（スクリーン印刷法）した。印
刷したＡｇペーストの厚さは約１０μｍである。
【００７４】各１シート上には同一形状のパターンが多
数配列してある。図３は上記内部電極パターンの、１ブ
ロック分の形状及び積層配置である。図３（左）におい
て斜線を施した部分は特に内部電極パターンであること
を示す。また、それぞれのパターンは、図３（右）に指
示した各層（シート）の上端に形成されている。
【００７５】上記、ＢＭを用いた混合や粉砕、ドクター
ブレード法による成形、スクリーン印刷法による電極形
成等々は他の方法によって行っても差し支えないことは
言うまでもない。
【００７６】これに適宜ダミー層を配置して合計３２層
積み重ね、さらにその上下に各２層のダミー層を配置し
温度１２０℃、圧力２０ＭＰａで熱間圧着した。ダミー
層は内部電極パターンが印刷されていないシート素体で
ある。圧着体はダイサーで約５．５×４ｍｍ角に切断し
焼成前のチップを作成した。
【００７７】以上に述べた構成は、一実施例であって、
電子部品の種類によってその構成が変わることは当然で
ある。例えば積層数のみをとってみても、部品によって
は５層程度のものもあれば１００層に及ぶものもある。
また内部電極パターンは部品の表面に露出すれば内部電
極パターンでなく、表面電極パターンと表現すべきとこ
ろではあるが、本実施例においては、この点を特に分離
せずに両者の意味を包含するものとして記述することが
ある。
【００７８】このチップは６００℃で脱脂後、引き続き
９２０℃で１時間焼成した。脱脂は大気中とし、脱脂完
了後６００℃より前記大気の一部を窒素ガスに置換し、
その雰囲気を維持したまま昇温〜焼成〜冷却を行った。
この雰囲気は少なくとも６００℃以上の温度域での酸素
分圧は０．０７〜０．０８気圧（ＰO2＝７〜８％）であ
った。
【００７９】こうして得た焼結体は、内部電極の一部を
露出させる表面処理を施し、この露出部に外部電極を付
け、８００℃の窒素雰囲気中で焼き付け固定する。さら
に外部電極にＮｉメッキ、続いて半田メッキを施し、部
品として完成させる。
【００８０】本検討では、上記工程の内、表面処理、外
部電極の付与、メッキを省略し、８００℃の窒素雰囲気
中で焼き付け固定に相当する熱処理を施したものを作成
した。この雰囲気の酸素分圧は０．０７〜０．０８気圧
（ＰO2＝７〜８％）である。本部品を試料１とする。
【００８１】さらに試料１と同様の工程で、焼成〜冷却
までの雰囲気条件のみを大気中に変更し、以下の工程も
試料１の場合と同様にしたもの、すなわち８００℃の焼
き付け固定に相当する熱処理のみを窒素雰囲気中処理と
したものを作成した。本部品を試料２とする。試料１と
同様にして焼き付け固定に相当する熱処理条件のみを８
００℃で大気中処理に代えたものを作成した。本部品を
試料３とする。
【００８２】全工程の雰囲気条件を大気中処理とし、そ
の他の工程や工程条件はすべて試料１の場合と同様にし
たものを作成した。本部品を試料４とする。この試料４
は、比較用試料であり、本発明の実施例である試料１〜
試料３に対し、従来例に相当する。
【００８３】試料１と同様にしてグリーンシートを作成
し、これに内部電極パターンを印刷しないでグリーンシ
ートを直接積層し、以下試料１と同様の工程を経てセラ
ミック素体の焼結体を作成し、加工を施して特性測定用
のテストピースを作成した。さらに同様の手順を踏ん
で、試料２〜４に対応するテストピースもそれぞれ作成
した。試料１〜４に対応する上記４種類のテストピース
を試料５とする。
【００８４】試料１は、セラミック素体が黄色の色調を
呈し、どの部分にも異常な斑点や汚れや変色がいっさい
観察されなかった。セラミックは半透明であり、内部電
極パターンが肉眼で確認できた。この様子を図４に示
す。なお、本図と以下の図５、図６、図７はいずれも、
図３で言えば下方から観察したものである。
【００８５】試料２はセラミック素体が白みがかった黄
色の色調を呈していた。セラミックは半透明なので内部
電極パターンが肉眼で確認できた。この様子を図５に示
す。また、試料３は、周囲全体が黒っぽくなっていた。
この様子を図６に示す。
【００８６】従来例に相当する試料４は、セラミックの
外観が全体に亘って激しく黒変し、黒調斑点で覆われ、
あるいは黒く汚れて観察された。この様子を図７に示
す。
【００８７】試料４の断面を観察したところ、内部電極
の近傍のみは白っぽい色調であった。一方、これを外れ
る部分は薄く黒変し斑点も観察され、さらに、その分布
は表面に近接するほど黒化も斑点も著しくなっているこ
とが確認された。この様子を図８に示す。
【００８８】試料１〜４の１ＧＨｚにおける誘電損失ｔ
ａｎδ εを測定したところ、以下の通りであった。 試料１；ｔａｎδ ε≦３．０×１０-4 試料２；ｔａｎδ ε＝３．５×１０-4 試料３；ｔａｎδ ε＝３．８×１０-4 試料４；ｔａｎδ ε＝９．４×１０-4 誘電損失は言うまでもなく小さいほど優れているが、上
記試料１〜３は十分に優れた特性であることが確認でき
る。
【００８９】試料５（４種類）の１ＧＨｚにおける誘電
損失ｔａｎδ εを測定したところ、いずれについてもｔ
ａｎδ ε≦３．０×１０-4であった。また、試料３にみ
られた僅かな変色や試料４にみられた著しい異常は試料
５（４種類）のいずれにもいっさい観察されず、全てが
正常な地肌であった。
【００９０】なお、Ａｇペーストは有機物としてエチル
セルロース、ブチルカルビトール、ターピネオール等を
含有しているが、それらは２５０℃までに、また、グリ
ーンシートはＰＶＢ、ＢＰＢＧ等を含有しているが、そ
れらは５００℃までにほぼ完全に燃焼していることが、
いずれもＴＧ−ＤＴＡ（Ｔｈｅｒｍｏｇｒａｖｉ−ｍｅ
ｔｒｙ−Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｔｈｅｒｍａｌ
Ａｎａｌｙｓｉｓ；熱重量測定−示差熱分析）の結果わ
かった。
【００９１】この状況を図９に示す。この結果もあわせ
て考慮すると、上記試料１〜４の特性、性状の差異ない
し異変は、例えば残存カーボンに依るものではなく、銀
電極の存在に依るものであり、製造工程の観点からは、
焼成や焼き付け（熱処理）の工程における雰囲気に依存
していることが明らかである。
【００９２】ここで、本発明が生まれた動機となった上
述の現象、すなわち銀電極の存在、および焼成や焼き付
け（熱処理）の工程における雰囲気によって特性、性状
の差異ないし異変を来す現象、およびＡｇ内部導体の拡
散メカニズムについて解明した実証実験の内容につい
て、実施例２として解説する。
【００９３】（実施例２） （実験１）Ａｇがセラミックに及ぼす影響 ＣａＺｒＯ3と５あるいは１０重量％の焼結助剤（Ｐｂ
Ｏ・２Ｂｉ2Ｏ3）からなる混合粉を８５０℃で１時間仮
焼し、粉砕した後、Ａｇ粉末を所定量添加混合し、ＰＶ
Ａ（ポリビニールアルコール）を加えて造粒後、金型に
て成形した。
【００９４】その成形体を大気中で焼成し、焼結体のマ
イクロ波での電気的特性を評価した。なお、焼成の保持
時間は２時間とした。電気的特性の評価方法は、Ｈａｋ
ｋｉ＆ Ｃｏｌｍａｎ の誘電体共振器法（ＴＥ０１１
モード）により、誘電率（ε）、誘電損失係数を測定
し、さらに誘電損失係数の逆数であるＱを求めた。ま
た、焼結体の格子定数をＸ線回折法によって測定し求め
た。
【００９５】なお、Ａｇを添加したセラミック試料を焼
成すると、試料の焼結が促進され、同時に結晶粒の成長
すなわち肥大化が認められた。この現象はＡｇの添加に
よる効果ではあるが、本願発明とは、原因、目的、効果
の何れをとっても関連していない。
【００９６】図１０にＡｇの添加量とｆＱとの関係を示
す。ただし、ｆＱはＱと測定周波数ｆとの積である。Ａ
ｇの添加量の増とともにｆＱが低下した。すなわち例え
ば無添加の場合、ｆＱ＝７．６ＴＨｚ（１ＴＨｚ＝１０
12Ｈｚ）であったが０．５重量％添加ではｆＱ＝３．８
ＴＨｚへと無添加の場合の約１／２になった。
【００９７】すなわち、これは大気中焼成によりＢＰＦ
を作成した場合、変色による外観不良だけでなく、内部
導体のセラミック組織中への拡散により部品としての挿
入損失が大きくなり、目標とする特性が得られなくなる
ことを示している。よって、Ａｇ元素の拡散は、極力抑
える必要がある。これが本願発明の効果の１つである。
【００９８】
【表１】
【００９９】図１１にＡｇを１０重量％添加した焼結体
のＸＲＤ（Ｘ−Ｒａｙ Ｄｉｆ−ｆｒａｃｔｍｅｔｅ
ｒ；Ｘ線回折装置）パターンを、表１にＸＲＤによるＡ
ｇ添加焼結体の定性分析結果を示す。なお、評価は回折
パターンの目視によるので、分析感度としては比較的鈍
感である。
【０１００】主相はＣａＺｒＯ3、焼結助剤として添加
したＰｂＯ、Ｂｉ2Ｏ3は、それぞれ単体で存在してい
た。また、ＣａＺｒＯ3と添加物との反応生成物は認め
られなかった。この事実は、本願発明においてセラミッ
クの主相を形成する成分が如何なるものであっても良い
ことを示唆するものである。
【０１０１】（実験２）誘電体中のＡｇの存在状態 実験１で用いた、Ａｇ粉末添加成形体を大気中にて、ま
たは窒素中にて９００℃で２時間焼成し、得られた焼結
体の組織を金属顕微鏡、ＳＥＭにて観察した。さらに、
ＸＰＳ（Ｘ線光電子分光；Ｘ−ｒａｙ ｐｈｏｔｏ−ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）にてＡｇの
存在状態を解析した。
【０１０２】図１２に異なる雰囲気にて焼成したＡｇ添
加誘電体の表面状況を示す。色調は、雰囲気により異な
り、Ａｇが０．５重量％添加の場合、大気中焼成では黒
色の斑点が認められ、かつ全体に緑がかっているが、窒
素中では、薄いクリーム色で、ほぼ誘電体本来の色調を
残している。Ａｇ添加量の多い誘電体についても、大気
中焼成の方が黒色化が顕著である。
【０１０３】図１３に金属顕微鏡による鏡面研磨面の組
織の観察結果を示す。金属状態のＡｇは、大気中焼成の
場合、１０重量％の添加で漸く認められるのが、窒素中
では０．５重量％の添加で確認することができる。さら
に、１０重量％添加との比較では、窒素中焼成の方が金
属状態のＡｇが多く認められる。
【０１０４】よって、金属顕微鏡組織からも、大気中焼
成の場合、Ａｇの一部は金属以外の状態で存在している
ことが示唆された。また、窒素中焼成の結果より、Ａｇ
の拡散量が０．５重量％添加試料の場合、金属状態で存
在している限り、誘電体は黒く変色しないことがわかっ
た。なお、言うまでもないことだが、上記添加量はセラ
ミックに添加した主相に対する重量比率であって、粒界
相中の重量比率ではない。
【０１０５】そこで、誘電体中に存在しているＡｇ電子
の状態をＸＰＳにて分析した。図１４にＡｇ ３ｄ5/2
に関する束縛エネルギーの標準値を示す。酸化状態が強
くなるほど束縛エネルギーは低エネルギー側にシフトす
る。図１５にＡｇ添加量 ０．５重量％のナロースキャ
ンスペクトルを示す。大気中焼成の場合の束縛エネルギ
ーは窒素中焼成の場合のそれより、低エネルギー側にシ
フトしている。
【０１０６】この結果は、窒素中焼成の場合にはＡｇは
金属状態として存在し、大気中焼成の場合にはＡｇの少
なくとも１部は酸化物として存在していることを示して
いる。なお、酸化物は束縛エネルギー値よりＡｇＯと考
えられる。よって、従来のセラミック積層体の欠点であ
る黒色化及びＡｇの拡散にはＡｇの酸化物が関与してい
ることがわかった。
【０１０７】
【表２】
【０１０８】表２にＡｇ添加量とＡｇ ３ｄ5/2の束縛
エネルギーを示す。大気中焼成の試料では、Ａｇの添加
量が多くなるに従い、高エネルギー側へシフトしてい
る。これは、添加量の増加にともないＡｇの存在比がＡ
ｇ酸化物に較べて相対的に高くなっていることを示して
いる。実際には、Ａｇの添加量の増加に伴い、Ａｇ酸化
物の絶対量は増加している。
【０１０９】一方、窒素中焼成の試料については、添加
量によらず束縛エネルギーが一定である。よって、大気
中焼成の場合、微量のＡｇは誘電体中で酸化物として存
在し、窒素中焼成の場合、量の多少にかかわらずＡｇは
金属状態のままで変質しないことがわかった。
【０１１０】（実験３）内部導体と誘電体の関係１ 次に、積層体中の焼結助剤と内部導体であるＡｇとの関
係について検討した。市販のＣａＺｒＯ3、Ｂｉ2Ｏ3の
いずれも粉末、および市販の内部導体形成用Ａｇペース
トを用意した。
【０１１１】まず、ＣａＺｒＯ3と１０重量％のＢｉ2Ｏ
3の粉末２種類を秤量した。これら２種類の粉末とφ５
ｍｍのジルコニアボールと蒸留水とをＢＭポットに投入
しそれぞれ２４時間混合した。混合したスラリーは乾燥
し解砕した後８００℃で２時間仮焼した。仮焼した原料
を自然冷却し解砕した粉末とφ５ｍｍのジルコニアボー
ルと蒸留水とをＢＭポットに投入し２４時間粉砕し乾燥
した後解砕した。
【０１１２】こうして得た仮焼粉砕粉はＰＶＡ（ポリビ
ニルアルコール）と蒸留水とを加えて造粒し整粒して約
１００μｍ程度の顆粒とした。この顆粒を金型に充填し
１００ＭＰａで乾式圧縮成形し乾燥した。成形体の形状
は幅８．３ｍｍ長さ９．５ｍｍ厚さ約５ｍｍの直方体で
個数は１０個である。
【０１１３】この成形体の長さ方向の１端面に、別途準
備した前記Ａｇペーストをそれぞれ塗布し、乾燥し、塗
布面が上となるように配列し、以下に示す２種類のそれ
ぞれの雰囲気のもとで９００℃にて１時間焼成した。雰
囲気は１つは大気であり、また１つは５００℃以上の全
焼成温度の領域において大気を窒素ガスに置換したもの
である。
【０１１４】こうして得た２種類の焼結体をそれぞれ５
個準備し、厚さが１．５、２．０、２．５、３．０、
３．５ｍｍとなるように１面を研削後鏡面研磨した。な
お、これらの作業中、上記塗布したＡｇペーストの塊は
剥離した。
【０１１５】これらの研磨試料は、鏡面研磨面をＥＰＭ
Ａ（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏ ａｎａ
ｌｙｚｅｒ）によって線分析した。なお、同一焼成条件
の各５個の試料は互いに所見上の差異が認められなかっ
たので以下の説明は厚さが３．０ｍｍの試料についての
み記述する。
【０１１６】図１６は大気中焼成試料（以下、試料６と
する）のＥＰＭＡ分析結果を表す分析線である。横軸は
分析位置を示す。Ａｇペースト塗布面が左端で、この面
からの距離を右方向にとり、右端がおよそ１．６ｍｍの
位置にあたる（小目盛り１０μｍ、大目盛り１００μ
ｍ）。縦軸は検出レベル（任意目盛り）で、図中「−Ａ
ｇ：０」のマークの「−」の位置がＡｇ元素の零レベル
である。図中に示す３本の分析線は下からＡｇ、Ｂｉ、
Ｃａのそれぞれの元素の分析線である。これら３本の分
析線の縦軸は互いに関連しない、すなわち縦軸のみは互
いに異なる零レベルとレンジで記録してある。
【０１１７】図１７は窒素ガス中焼成試料（以下、試料
７とする）のＥＰＭＡ分析結果を表す分析線で、図１６
と同一の要領で記録しているものである。なお、同一元
素についての縦軸は同一のレンジで記録してある。ま
た、Ａｇについての分析精度はおよそ＋／−０．０１重
量％である。
【０１１８】図１６と図１７を比較して判ることは、Ａ
ｇ元素の誘電体中への拡散は大気中焼成の場合に限って
認められ、この拡散はＡｇ塗布面近傍で高濃度、遠方で
低濃度だが１．６ｍｍ離れた位置でも充分な検出レベル
であるということである。なお、Ｃａ、Ｂｉ元素は全域
一定レベルである。
【０１１９】試料６、試料７においてＢｉ2Ｏ3を１０重
量％添加したところを変更してＢｉ2Ｏ3を無添加とし、
その他の全ての条件は試料６、試料７と同様にした試料
（試料８とする）も作成して確認した。その結果、Ａｇ
元素の誘電体中への拡散は焼成雰囲気の如何に関わらず
認められなかった。
【０１２０】試料６、試料７においてＢｉ2Ｏ3を１０重
量％添加したところを変更してＰｂＯ・２Ｂｉ2Ｏ3の１
０重量％と置き換え、その他の全ての条件は試料６、試
料７と同様にした試料（それぞれ試料９、試料１０とす
る）も作成して確認した。その結果、Ａｇ元素の誘電体
中への拡散状況は、試料９については試料６と同様、試
料１０については試料７と同様であった。
【０１２１】試料６、試料７においてＢｉ2Ｏ3を１０重
量％添加したところをＢｉ2Ｏ3の５重量％と置き換え、
その他の全ての条件は試料６、試料７と同様にした試料
（それぞれ試料１１、試料１２とする）も作成して確認
した。その結果、Ａｇ元素の誘電体中への拡散状況は、
試料１１については試料６と同様であった。試料１２に
ついては試料７と同様の傾向だが、Ａｇ検出量は試料７
のそれよりも少であった。
【０１２２】以上の結果を纏めると、ＰｂＯやＢｉ2Ｏ3
の存在がなければＡｇはセラミック中へ拡散しない。一
方、大気中焼成でかつＰｂＯやＢｉ2Ｏ3の存在があれば
Ａｇのセラミック中への拡散が確認された。ＰｂＯやＢ
ｉ2Ｏ3の量が多いほど拡散量も多くなった。窒素雰囲気
中で焼成した場合にはＡｇのセラミック中への拡散現象
が確認されなかった。
【０１２３】（実験４）内部導体と誘電体の関係２ 以上の所見に基づき、以下の実験を行った。異なるＢｉ
2Ｏ3量を有する、仮焼、粉砕後の誘電体粉末にバイン
ダ、可塑剤、エタノール、ブタノールを加え混合し、得
られたスラリをドクターブレードにてシート化した。シ
ート上にＡｇペーストを印刷して内部導体を形成し、乾
燥後、圧着、切断し、グリーンチップを得た。
【０１２４】上記グリーンチップを大気中あるいは窒素
中にて焼成し、得られた積層体の断面をＳＥＭ−ＥＤＸ
（Ｘ線エネルギー分散スペクトルによる走査型電子顕微
鏡；ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｏｒｏｎ ｍｉｃｒ
ｏｓｃｏｐｅ−ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ ｓ
ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ Ｘ−ｒａｙ）にて分析した。
【０１２５】図１８に、大気中焼成で得られた積層体を
示す。黒色化は１０重量％添加の試料の方が顕著であ
り、塗布実験と同様の結果が得られた。なお、５重量％
添加の試料の方には、シート条件の不適によるデラミネ
ーションが観察された。
【０１２６】図１９に積層体のＳＥＭ組織を示す。焼結
体表面では、１０重量％添加の試料に、白色の粒が多く
認められ、ＥＤＸ分析より焼成時液相となってしみ出し
たＢｉ2Ｏ3であることがわかった。内部導体と誘電体と
の境界でも、１０重量％添加の試料の方で、粒状のＣａ
ＺｒＯ3以外の、焼成時液相となってしみ出したＢｉ2Ｏ
3（矢印）がはっきりと認められた。
【０１２７】よって、焼結助剤量が多いほど積層体の変
色が顕著になるのは、内部導体のＡｇに直接接触する焼
結助剤の量が増すことに原因があると考えられ、焼結助
剤とＡｇとの反応性を検討することがＡｇ拡散のメカニ
ズムを解明することにつながると考えられた。そこで次
の実験５を実施した。
【０１２８】（実験５）Ｂｉ2Ｏ3とＡｇの加熱時挙動の
解析 （９５重量％）Ｂｉ2Ｏ3−（５重量％）Ａｇからなる混
合粉を作成し、異なる焼成雰囲気においてＴＧ−ＤＴＡ
で分析を行った。さらに、Ａｇ粉単体についても同様の
分析を行った。また、混合粉加熱時の溶融過程を、顕微
鏡用加熱装置を取り付けた金属顕微鏡にて確認した。
【０１２９】Ｂｉ2Ｏ3は７３１℃にα相からδ相への転
移温度を持ち、その後、δ相は８２７℃で溶融する。図
２０に、Ｂｉ2Ｏ3の大気中におけるＴＧ−ＤＴＡ曲線を
示す。これにより、Ｂｉ2Ｏ3は大気中でもほぼ同様の状
態であることが確認された。
【０１３０】図２１に、上記（９５重量％）Ｂｉ2Ｏ3−
（５重量％）Ａｇの混合粉を大気中（ａ）、窒素中
（ｂ）の各々で加熱した場合のＴＧ−ＤＴＡ曲線を示
す。図２１の（ａ）（；大気中加熱）によれば、Ａｇが
共存すると、７２６℃に液相が生成し、８２７℃では何
の変化もないことが解る。一方、図２１の（ｂ）（；窒
素中加熱）では、Ａｇが共存していても、７２３℃に転
移点、８１９℃に融点が認められ、Ｂｉ2Ｏ3本来の物性
が失われていない。
【０１３１】上記雰囲気が窒素中のところをアルゴン中
と置き換えた場合であっても、図２１の（ｂ）と同じ結
果が得られている。なお、この酸化性、非酸化性雰囲気
による現象の変化はＰｂＯとＡｇとの関係においても、
さらに、ＣｕＯやＶ2Ｏ5とＡｇとの関係においても同様
であった。
【０１３２】また、（９５重量％）Ｂｉ2Ｏ3−（５重量
％）Ａｇの粉末は、Ｂｉ2Ｏ3の融点より低い温度の７９
５℃で完全に溶融することが確認された。なお、観察に
用いた顕微鏡用加熱装置は、熱電対が試料容器裏面に置
かれており、実際の溶融開始温度、溶融終了温度は、よ
り低い温度にあると考えられる。よって、大気中加熱
時、Ａｇは、酸素と反応していると考えられる。しか
し、Ａｇの酸化物系の熱分解温度を考慮すれば、単純に
酸化物が生成したというのは考えにくい。
【０１３３】これは、過剰な表面自由エネルギーによ
り、Ａｇの表面に吸着していた酸素がＡｇと反応して、
例えばＡｇＯやＡｇ2Ｏのような酸化物が生成したので
はないかと考えられる。一方、窒素中焼成の場合、酸素
は加熱過程で脱離し、酸化物の生成が阻止されていると
考えられる。
【０１３４】よって、大気中焼成においては、Ａｇの特
には表面が酸化され、Ｂｉ2Ｏ3とＡｇ酸化物の共融反応
が成立し、液相生成温度が低下し、ＡｇはＡｇ酸化物の
状態で誘電体中に拡散していくことがわかった。
【０１３５】（実験６）誘電体の色調とＡｇの存在状態
の確認 通常、焼成後の積層体はそのままでは例えばＢＰＦのよ
うな部品とはならず、外部電極が焼き付け（熱処理）さ
れる。その外部電極にはＡｇを用いることが多く、ガラ
ス・フリット入りのＡｇペーストが用いられることもあ
る。何れにしても、外部電極の焼き付け（熱処理）条件
によっては、再びＡｇが拡散することが予想された。
【０１３６】そこで、焼成後の積層体に焼き付け（熱処
理）温度が６１０と８００℃の２種類の外部電極用Ａｇ
ペースト（ガラス・フリット入り）を塗布、焼き付け
（熱処理）し、断面の色調を調査した。また、焼成され
た積層体を再度熱処理し、色調の変化を観察した。さら
に、Ａｇ添加誘電体の再熱処理によるＡｇの存在状態を
金属顕微鏡にて観察した。
【０１３７】図２２に大気中、異なる温度で焼き付け
（熱処理）された外部電極を示す。断面の状態より、６
１０℃の外部電極用Ａｇペーストの方には、外部電極焼
き付け（熱処理）による変化は認められないが、８００
℃の外部電極用Ａｇペーストの方には、外部電極近傍の
誘電体部分が黒く変色し、新たにＡｇが誘電体中に拡散
したことがわかる。
【０１３８】この結果は、図２１−ａの結果を裏付け、
７２６℃での共融反応により液相が生成され、Ａｇ元素
が拡散することを示している。そこで、大気中で焼き付
け（熱処理）する場合、焼き付け（熱処理）温度は、共
融反応温度より低い温度としなければならないことがわ
かる。なお、この共融反応温度は粒界相の成分とその量
とＡｇ元素の量および高温時の酸素分圧の大きさ等々に
よって変わるものであり、よって上記焼き付け（熱処
理）温度は実験的手法により決める方が簡便である。
【０１３９】図２３に、大気中、窒素中で焼成した積層
体を、さらに、窒素中、大気中にて９００℃で２時間熱
処理した結果を示す。大気中焼成により黒色化した積層
体は、窒素中熱処理後黒色部が消失した。表面は、黒色
部がやや残っているように見えたが、断面を観察するこ
とにより、黒色部はほぼ完全に消失しているのが確認さ
れた。窒素中焼成により黒色部のなかった積層体は、大
気中熱処理後、黒色部が現れた。
【０１４０】図２４に、Ａｇ添加誘電体の大気中焼結体
を窒素中にて熱処理した試料の金属顕微鏡組織を示す。
Ａｇ添加含有量が０．５、２．０重量％のそれぞれの焼
結体に、大気中焼成では存在しなかった金属状態のＡｇ
が、窒素中熱処理後存在しているのを確認した。
【０１４１】（実験１〜実験６のまとめ）以上より、Ａ
ｇの拡散は、焼成過程に留まらず、Ａｇの酸化物が生成
する環境（例えば温度が７２０℃以上で酸化性雰囲気の
場合）にＡｇがあり、かつ、Ａｇ酸化物と溶融する媒体
があれば常に進行し、ひとたび、誘電体中にＡｇが拡散
すると、熱処理雰囲気によっては、誘電体の色調が変化
し、その色調変化には、Ａｇの可逆的な酸化還元反応が
伴っていることがわかった。その関係を図２５に記す。
【０１４２】（実施例３）以上にジルコン酸カルシウ
ム、銀、酸化鉛、酸化ビスマスの関係に関して特に詳細
に、かつ解析的に説明したが、さらに、変色（色調変
化）の発生条件を明らかにするための部品作成を行い、
他の組み合わせ、条件についても実験的な検証を行っ
た。
【０１４３】以下、特に断らない工程については、（実
施例１）と同条件（窒素雰囲気中または大気中焼成、窒
素雰囲気中または大気中焼き付け熱処理）、または（実
施例１）の試料４と同条件（大気中焼成、大気中焼き付
け熱処理）での作成とした。
【０１４４】（ａ）（実施例１）におけるＡｇペースト
のところを、Ａｇ−Ｐｄペースト（市販品）としたとこ
ろ、色調が僅かに異なるものの、実施例１とほぼ同様の
結果を得た。
【０１４５】（ｂ）（実施例１）におけるＡｇペースト
のところを、Ａｇ−Ｐｔペースト（市販品）としたとこ
ろ、色調が僅かに異なるものの、実施例１とほぼ同様の
結果を得た。
【０１４６】（ｃ）（実施例１）におけるＡｇペースト
の内部電極のところを、銀箔としたところ、実施例１と
ほぼ同様の結果を得た。
【０１４７】以上により、グリーンシート上の電極パタ
ーン材料は、これがＡｇを含有する限り、大気中焼成、
大気中熱処理のみでは異状を呈し、窒素雰囲気中焼成ま
たは窒素雰囲気中熱処理のように非酸化性雰囲気での処
理によって上記異状は緩和される、あるいは皆無となる
ことがわかる。
【０１４８】（ｄ）（実施例１）におけるＢｉ2Ｏ3のと
ころを、ＰｂＯとしたところ、実施例１とほぼ同様の結
果を得た。このＰｂＯは粒界相の成分となっていること
がＥＤＸによる分析で確認された。
【０１４９】（ｅ）（実施例１）におけるＢｉ2Ｏ3のと
ころを、ＣｕＯとしたところ、実施例１とほぼ同様の結
果を得た。このＣｕＯは粒界相の成分となっていること
がＥＤＸによる分析で確認された。
【０１５０】（ｆ）（実施例１）におけるＢｉ2Ｏ3のと
ころを、Ｖ2Ｏ5としたところ、実施例１とほぼ同様の結
果を得た。このＶ2Ｏ5は粒界相の成分となっていること
がＥＤＸによる分析で確認された。
【０１５１】（ｇ）（実施例１）におけるＢｉ2Ｏ3のと
ころを、ＰｂＯ・２Ｂｉ2Ｏ3・Ｖ2Ｏ5としたところ、実
施例１とほぼ同様の結果を得た。ＰｂＯ、Ｂｉ2Ｏ3、Ｖ
2Ｏ5等はいずれも粒界相の成分となっていることがＥＤ
Ｘによる分析で確認された。
【０１５２】（ｈ）（実施例１）におけるＢｉ2Ｏ3のと
ころを、Ｂｉ2ＣｕＯ4、ＰｂＣｕ2Ｏ2のそれぞれとした
ところ、いずれについても実施例１とほぼ同様の結果を
得た。これらのＢｉ2ＣｕＯ4、ＰｂＣｕ2Ｏ2は粒界相の
成分となっていることがＥＤＸによる分析で確認され
た。
【０１５３】（ｉ）（実施例１）におけるＣａＺｒＯ3
のところを、ＢａＺｒＯ3、ＳｒＺｒＯ3、ＰｂＺｒ
Ｏ3、ＢａＴｉＯ3、ＢａＯ−ＴｉＯ2−ＮｄＯ2/3、Ａｌ
2Ｏ3、ＣａＴｉＯ3、Ｐｂ2ＴｉＺｒＯ6、あるいはＺｒ
Ｏ2−ＴｉＯ2−ＳｎＯ2のそれぞれとしたところ、いず
れについても色調に僅かの差異が認められたものの実施
例１とほぼ同様の結果を得た。
【０１５４】（ｊ）（実施例１）におけるＣａＺｒＯ3
のところを、ＰｂＴｉＯ3とし、Ｂｉ2Ｏ3のところを、
ＰｂＯ、Ｂｉ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｖ2Ｏ5のそれぞれとしたと
ころ、いずれについても色調に僅かの差異が認められた
ものの実施例１とほぼ同様の結果を得た。
【０１５５】（ｋ）（実施例１）におけるＣａＺｒＯ3
のところを、ＮｉＣｕＺｎ系、ＣｕＺｎ系、ＮｉＺｎ
系、ＮｉＣｕ系、Ｃｕ系、Ｎｉ系のソフトフェライトの
それぞれに置き換えて確認したところ、いずれの場合も
黒調の正常な地肌となり、異常な斑点や反応痕等は認め
られなかった。また、１ＧＨｚでの誘電損失も５〜７×
１０-4程度であり、優れた性能であった。さらに上記フ
ェライトのＮｉＯやＣｕＯの１ｍｏｌ％相当量をＣｏＯ
4/3に置換したものについても、１ＧＨｚでの誘電損失
が約３０％低減したもののその他の効果は変わらなかっ
た。
【０１５６】（実施例４）前述実施例１の試料１〜試料
４について粒界、結晶粒内のＥＤＸによる成分分析を行
った。その結果の一部を図２６〜図２８に示す。図２６
は結晶粒内、図２７は粒界（大気中処理）、図２８は粒
界（窒素中処理）である。なお、粒内については図２の
結晶粒に相当する位置で分析し、粒界については図２の
粒界三重点に相当する位置で分析した。図はいずれも縦
軸がＸ線強度（単位；計数／秒）横軸が特性Ｘ線エネル
ギー（単位；ｋｅＶ）である。
【０１５７】粒内でＡｇは検出されなかった。粒界中の
Ａｇは、試料１については検出されず、試料４について
は検出された。試料２について定量の結果、Ｂｉが９
４．９％に対し、Ａｇは５．１％であった。試料３につ
いて定量の結果、Ｂｉが９８．９％に対し、Ａｇは１．
１％であった。試料４について定量の結果、Ｂｉが９
２．７％に対し、Ａｇは７．３％であった。なお、図２
７、図２８を見ると一見、粒界部に多量のＺｒやＣａが
存在するかのように見受けられるが、これは粒界部を透
過して検出される結晶粒組織のスペクトルである。
【０１５８】この事実を基に、粒内粒界組織中の成分分
布と試料作成工程と表面性状等との関係をより詳しく調
べた。試料作成方法は実施例１に準じ、各諸量を変化さ
せた各種試料を準備して検討した。以下にその結果を示
す。
【０１５９】セラミックの粒界相に存在するＡｇが６重
量％を超過している試料は、いかなる段階で熱処理ない
し雰囲気焼成したものであっても外観及び／又は電気的
性能を損なうことがわかった。
【０１６０】一方、セラミックの粒界相に存在するＡｇ
が５重量％以下の試料は、窒素中のように非酸化性雰囲
気中での焼成及び／又は熱処理によって、少なくとも表
面近傍は正常な外観を確保できることがわかった。
【０１６１】さらに、これが１重量％以下であれば、窒
素中のように非酸化性雰囲気中での焼成及び／又は熱処
理の条件をあまり厳しくしなくても十分に好ましい結果
が得られた。
【０１６２】非酸化性雰囲気が主に不活性ガスである場
合は、５分以上の時間に亘ってその酸素分圧を０．１５
気圧以下に保てば、一応の効果を呈し始めた。これを１
０分以上、０．１気圧以下とすると効果は明白となっ
た。
【０１６３】さらに２０分以上の時間が０．０７気圧未
満の酸素分圧となるようにして焼成すれば、最も有効
で、部品の表面性状の変質変色はいっさい認められず、
誘電損失などの電気的特性も優れたものとなった。
【０１６４】セラミック主相中のＡｇの量は、これが
０．２重量％未満であれば実用性のある外観を呈した。
さらにこれが０．０１重量％未満であれば優れた外観を
呈した。なお、これが０．００３重量％未満であれば発
色への影響が全く認められなかった。
【０１６５】セラミック中に存在するＡｇ元素の量をＥ
ＰＭＡで定量分析したところ、実施例の試料１は０．１
重量％、試料２は０．５重量％、試料３は０．３重量
％、試料４は０．７重量％であった。
【０１６６】これらの分析値は、いずれも内部電極から
の距離が１０μｍ〜２０μｍの位置における値であり、
分析範囲の広さ（ビーム直径）およそ１μｍの条件で得
た値である。なお、上記とは別の位置において、ビーム
直径およそ１μｍの条件で得た値と、およそφ１ｍｍの
範囲に亘って分析しこれを平均化して得た値とを比較し
たところ、それぞれの値は互いにほぼ同等であった。
【０１６７】さらに詳細に調べたところ、内部電極周縁
部からの距離が１０μｍ以上の位置におけるセラミック
中のＡｇ元素の量が０．５重量％以下であれば、誘電損
失が少なく電気特性に優れることが判った。非酸化性雰
囲気に曝したものは白調の地肌となり、異常な黒変が無
く外観上も優れたものであった。
【０１６８】（実施例５）図２９は実施例１における試
料１（底面を図４に示したもの）の上面の写真である。
図２９中アルファベットと数字で表示されているマーク
は部品の種類と規格を示すものであり、左上の四角のマ
ークは外部端子の出力端の位置を示している。図２９に
よって、セラミックは半透明でかつ変色していないので
視認性に優れていることがわかる。
【０１６９】このようなマークは、表面をセラミックの
層が覆っているので、外部環境に対して極めて安定であ
る。例えば、酸による腐食を受けない。従って、部品化
の最終工程でＮｉメッキ、半田メッキ等のメッキ処理を
行った後でも、このマークが腐食されることも、誤って
メッキされることもない。さらに本マークは、表面をセ
ラミックの層が覆っているので改ざんされる危険性がな
く、極めて信頼性の高いマークであることが明らかであ
る。
【０１７０】このようなマークとしては、他に商標や回
路略図やその他の表示が有効に可能であることは言うま
でもない。さらに、これらのマークは回路要素を兼ねる
ことも可能である。例えば上記四角のマークを電気的に
１端子に接続せしめれば、容易に容量成分として機能さ
せることが可能である。同様に回路要素の一部をマーク
とすることも可能である。
【０１７１】図３０は異なるパターン（ただしその他の
作成条件は試料１と同様のもの）である。このパターン
は電子回路を形成すると同時に図中に丸形や半丸形や、
パターンの残余部（抜形）等で示すマークを形成してい
る。
【０１７２】すなわち、パターンＦに丸い抜形で形成し
たマークは、セラミック表面からの観察も可能である。
パターンＧやパターンＨの丸形で示されたマークは、セ
ラミック表面からの観察は困難である。パターンＩのマ
ークは左下と右下の半丸形で、特に右下のマークは出力
端子を兼ねた構成となっている。パターンＪの形状は、
図３のパターンＥの形状とちょうど表裏の関係にある
が、この場合、大きな静電容量が得られる、または優れ
たアース性を確保できる利点がある。
【０１７３】このような電子部品は、製造工程中での部
品配列方向の識別、完成部品の種類や規格や出力端の識
別にも、極めて便利であった。
【０１７４】又別に、図２９と同形状のマークをセラミ
ック表面に形成したところ、耐環境性については効果が
ないものの、特に優れた外観を呈するものであった。
【０１７５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、Ａｇ元素の粒界への拡散が防止でき、その結果、
外観に優れたセラミックが得られ、あるいは電気的性
能、例えば誘電損失に優れたセラミックが得られ、これ
を用いた電子部品が得られた。また別の観点からは、信
頼性に優れ、視認性に優れたマーカーを付与した電子部
品を得ることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に関る電子部品の一部断面の
斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に関り、本発明を説明するた
めの、セラミック組織の電子顕微鏡による顕微鏡写真で
ある。
【図３】本発明の一実施例に関る電子部品の内部電極パ
ターン及びその積層配置である。
【図４】本発明の一実施例に関る電子部品の表面の顕微
鏡写真である。
【図５】本発明の他の実施例に関る電子部品の表面の顕
微鏡写真である。
【図６】本発明の別の実施例に関る電子部品の表面の顕
微鏡写真である。
【図７】従来例に関る電子部品の表面の顕微鏡写真であ
る。
【図８】従来例に関る電子部品の断面の顕微鏡写真であ
る。
【図９】焼成前部材のＴＧ−ＤＴＡ分析曲線である。
【図１０】Ａｇの添加量とｆＱとの関係である。
【図１１】Ａｇを１０重量％添加した焼結体のＸＲＤパ
ターンである。
【図１２】異なる雰囲気で焼成したＡｇ添加誘電体の表
面の実体顕微鏡による顕微鏡写真である。
【図１３】異なる雰囲気で焼成したＡｇ添加誘電体の鏡
面研磨面の金属顕微鏡による顕微鏡写真である。
【図１４】Ａｇ ３ｄ5/2に関する束縛エネルギーの標
準値である。
【図１５】Ａｇ添加量０．５重量％のナロースキャンス
ペクトルである。
【図１６】大気中焼成試料のＡｇほかの分析線である。
【図１７】窒素ガス中焼成試料のＡｇほかの分析線であ
る。
【図１８】大気中焼成で得られた積層体の断面の顕微鏡
写真である。
【図１９】積層体の組織のＳＥＭによる顕微鏡写真であ
る。
【図２０】Ｂｉ2Ｏ3の大気中におけるＴＧ−ＤＴＡ曲線
である。
【図２１】（９５重量％）Ｂｉ2Ｏ3−（５重量％）Ａｇ
粉の大気中、窒素中の各々のＴＧ−ＤＴＡ曲線である。
【図２２】大気中、異なる温度で焼き付けられた外部電
極の顕微鏡写真である。
【図２３】９００℃で焼成し、熱処理した積層体の顕微
鏡写真である。
【図２４】窒素中熱処理した積層体の研磨面の顕微鏡写
真である。
【図２５】反応のメカニズムを説明する説明図である。
【図２６】結晶粒内の成分分析結果を示す図である。
【図２７】大気中処理試料の粒界の成分分析結果を示す
図である。
【図２８】窒素中処理試料の粒界の成分分析結果を示す
図である。
【図２９】本発明の一実施例に係るマーカーの顕微鏡写
真である。
【図３０】本発明の一実施例に係るマーカーのパターン
である。
【符号の説明】
１ 電子部品 ２ セラミック ３ 電極（内部電極） ４ 電極（外部電極） ５ 白調ないし黄調地肌
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 共三 東京都千代田区丸の内二丁目１番２号日立 金属株式会社内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 主相と低融点粒界相とからなるセラミッ
    クと、ＡｇまたはＡｇ合金を含有する導体からなる内部
    電極とを有する電子部品であって、当該セラミックは明
    色調の地肌を有することを特徴とする電子部品。
  2. 【請求項２】 セラミック粉を用いて形成したグリーン
    シートに電極パターンを形成しこれを積層したのち焼成
    した、セラミックと内部電極を有する電子部品におい
    て、該セラミックは当該セラミックの主相を形成する主
    成分のほかに、粒界相を形成する副成分の構成元素とし
    てＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖから選ばれた１種または２種以
    上を含有し、かつ上記電極はその構成元素にＡｇを含有
    し、かつ当該セラミックは白色から黄色に至る色調の地
    肌を有することを特徴とする請求項１に記載の電子部
    品。
  3. 【請求項３】 主相と低融点粒界相とからなるセラミッ
    クと、Ａｇを含有する導体からなる内部電極とを有する
    電子部品において、上記内部電極周縁部からの距離が１
    ０μｍ以上であるような位置におけるＡｇ及び／または
    Ａｇ酸化物をＡｇに換算した量は、当該位置近傍のセラ
    ミック中に存在する金属元素の総和に対して０．５重量
    ％以下であることを特徴とする電子部品。
  4. 【請求項４】 主相と低融点粒界相とからなるセラミッ
    クと、Ａｇを含有する導体からなる内部電極とを有する
    電子部品において、上記セラミックの粒界相中に存在す
    るＡｇ及び／またはＡｇ酸化物をＡｇに換算した量は、
    粒界相中の金属元素に対する比率が５重量％以下である
    ことを特徴とする電子部品。
  5. 【請求項５】 セラミック粉を用いて形成したグリーン
    シートにＡｇを含有する電極のパターンを形成しこれを
    積層したのち焼成及び／又は熱処理して形成した電子部
    品において、前記焼成及び／又は熱処理は、その雰囲気
    が非酸化性である過程を有することを特徴とする電子部
    品。
  6. 【請求項６】 焼成及び／又は熱処理は、温度が６００
    ℃以上１１００℃以下であり、かつ少なくとも５分以上
    の時間を非酸化性雰囲気での焼成及び／又は熱処理とな
    るようにして形成したことを特徴とする請求項５に記載
    の電子部品。
  7. 【請求項７】 主相と低融点粒界相とからなるセラミッ
    クと、内部電極とを有する電子部品において、前記セラ
    ミックの主相中のＡｇの量が ０．２重量％未満であ
    り、かつ当該セラミックの粒界相がＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、
    Ｖから選ばれた１種又は２種以上の元素を含有し、かつ
    前記内部電極はＡｇまたはＡｇ合金であることを特徴と
    する電子部品。
  8. 【請求項８】 セラミックの主相はＮｉＣｕＺｎ系、Ｃ
    ｕＺｎ系、ＮｉＺｎ系、ＮｉＣｕ系、Ｃｕ系、Ｎｉ系の
    何れかのソフトフェライトであることを特徴とする請求
    項３〜請求項７のいずれかの１項に記載の電子部品。
  9. 【請求項９】 セラミックの主相は誘電体であり、かつ
    前記セラミックの粒界相はＰｂ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ｖから選
    ばれた１種又は２種以上の元素を含有し、かつ内部電極
    はＡｇまたはＡｇ合金であり、かつ焼成及び／又は熱処
    理は、その雰囲気が非酸化性である過程を有し、かつ当
    該セラミックの粒界中のＡｇは５重量％以下であり、か
    つ当該セラミックは明色調の地肌を有することを特徴と
    する請求項１〜請求項７のいずれかの１項に記載の電子
    部品。
  10. 【請求項１０】 セラミックの主相の誘電体は実質的
    に、ＣａＺｒＯ3、ＢａＺｒＯ3、ＳｒＺｒＯ3、ＰｂＺ
    ｒＯ3から選ばれた１種または２種以上であることを特
    徴とする請求項９に記載の電子部品。
  11. 【請求項１１】 主相と低融点粒界相とからなるセラミ
    ックと、Ａｇを含有する導体からなる内部電極とを有す
    る電子部品において、該セラミックは主相を形成する主
    成分の構成元素としてＰｂを含有するとともに、当該セ
    ラミックは明色調の地肌を有することを特徴とする電子
    部品。
  12. 【請求項１２】 セラミックの１ＧＨｚにおける誘電損
    失が５×１０-4以下であることを特徴とする請求項１〜
    請求項１１のいずれかに記載の電子部品。
  13. 【請求項１３】 主相と低融点粒界相とからなるセラミ
    ックと、Ａｇを含有する導体からなる内部電極とを有す
    る電子部品であって、かつ当該セラミックは半透明又は
    不透明であって、その地肌の色調は白濁色、淡黄色、黄
    色、乳白色、クリーム色、あるいはそれらの中間色のい
    ずれかであることを特徴とする電子部品。
  14. 【請求項１４】 セラミックの表面に付与された電極及
    び／又はセラミックの表面より肉眼で観察しうる内部電
    極は、該電極の少なくとも一部及び／又は該電極の欠除
    部の少なくとも一部が、マーカーの機能を有することを
    特徴とする電子部品。
  15. 【請求項１５】 マーカーは、外部電極の機能、部品の
    方向、部品の種類、部品番号、部品規格、製造者の表示
    の少なくとも何れか一つを、文字、数字、記号の少なく
    とも何れか一つを以て表示するものであることを特徴と
    する請求項１〜請求項７、請求項９〜請求項１４のいず
    れかの１項に記載の電子部品。
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