JPH1043660A

JPH1043660A - 塗布装置

Info

Publication number: JPH1043660A
Application number: JP22171396A
Authority: JP
Inventors: Manabu Matsuo; 学松尾
Original assignee: Canon Inc; Canon Marketing Japan Inc
Current assignee: Canon Inc; Canon Marketing Japan Inc
Priority date: 1996-08-05
Filing date: 1996-08-05
Publication date: 1998-02-17

Abstract

(57)【要約】【目的】１個の駆動源により複数個のノズルを移動す
る。【構成】基板を収容するカップの周囲に複数の回転軸
２を垂直に設置し、回転軸２にはアーム３を介してノズ
ル４を支持する。回転軸２の下方に電磁クラッチ５を介
して従動プーリ６を連結し、回転軸２をシリンダ７によ
り上下動自在に支持する。全ての従動プーリ６を駆動ベ
ルト８を介して１個の駆動モータに連結する。回転軸２
の上方には、ノズル４の位置を検出する位置センサ１１
を設ける。特定のノズル４を移動する際には、そのノズ
ル４の電磁クラッチ５を動作状態にし、駆動モータを時
計方向又は反時計方向に回転し、電動クラッチ５を非作
動状態にしてノズル４の移動を停止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体を製
造する際に使用され、回転する基板等の被塗布面にノズ
ルから感光性樹脂等の塗布材料を滴下することにより、
被塗布面に塗布材料を塗布する塗布装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の塗布装置として、例えば
特開平６−２９１０２７号公報に開示された装置が知ら
れている。この装置では複数のノズルが備えられると共
に、これらの複数のノズルのうちの１個のノズルを選択
して移動する機構が設けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来例では、複数のノズルのうちの１個のノズルを選択
して移動するので、例えば或るノズルから特定の塗布材
料を被塗布面の中心に塗布し、他のノズルから異種の塗
布材料を被塗布面の周辺に塗布する場合には、他のノズ
ルを駆動するための駆動源を新たに設ける必要が生じ、
大型化の原因となっている。

【０００４】また、或るノズルに続いて他のノズルから
塗布材料を順次に塗布する場合には、被塗布面上にある
ノズルを被塗布面の外部の待機位置に戻した後に、新し
いノズルを被塗布面上に移動しなけらばならず、処理時
間に無駄が多いという問題点がある。

【０００５】本発明の目的は、上述した問題点を解消
し、大型化することなく処理時間を短縮し得る塗布装置
を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る塗布装置は、被塗布面の内外に複数個の
ノズルをそれぞれ所定位置に移動可能とし、前記被塗布
面に前記ノズルから塗布材料を塗布する塗布装置におい
て、前記複数個のノズルを１個の駆動源により個々に駆
動可能としたことを特徴とする。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明を図示の実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は実施例の平面図であり、例えば
半導体を製造する際に使用される基板Ｓは、図示しない
搬送機構によりカップ１内に搬送されるようになってい
る。カップ１の周囲には例えば４個の回転軸２が垂直方
向に配置され、回転軸２にはアーム３を介してノズル４
がそれぞれ支持されている。ノズル４には導管４ａがそ
れぞれ連結され、例えば感光性樹脂等の同種又は異種の
液体がノズル４に導かれるようになっている。そして、
ノズル４は回転軸２の回転により基板Ｓの外部の待機位
置Ｐから基板Ｓ上の所定位置に移動され、ノズル４から
液体が基板Ｓ上に滴下されるようになっている。

【０００８】図２に示すように、回転軸２の下端には電
磁ラッチ５を介して従動プーリ６が連結され、従動プー
リ６の下方には回転軸２を上下動するためのシリンダ７
が設置されている。この場合に、従動プーリ６は所定の
高さに回転自在に設置され、回転軸２は従動プーリ６に
例えばスプライン軸等により上下動自在に嵌合され、回
転軸２がシリンダ７により上下方向に駆動されると共
に、従動プーリ６の回転が回転軸２に伝達されるように
なっている。

【０００９】このとき、電磁クラッチ５は動作状態にお
いて従動プーリ６の回転を回転軸２に伝達し、非動作状
態において従動プーリ６の回転を回転軸２に伝達しない
ようになっている。また、電磁クラッチ５の動作状態及
び非動作状態に拘わらずに、シリンダ７は回転軸２を上
下動できるようになっている。

【００１０】また、全ての従動プーリ６は１個の駆動ベ
ルト８を介して駆動プーリ９にそれぞれ連結され、駆動
プーリ９は１個の駆動モータ１０により回転駆動される
ようになっている。この駆動モータ１０は時計回り又は
反時計回りに可逆回転が可能とされ、ノズル４がアーム
３を介して可逆方向に移動自在とされている。各回転軸
２の上部には、ノズル４の位置を検出するための位置セ
ンサ１１が設けられており、これらの位置センサ１１は
回転軸２の回転角度を絶対位置として検出するようにな
っている。そして、電磁クラッチ５とシリンダ７は、位
置センサ１１からの信号に基づいて図示しない制御手段
により所定の順序で制御されるようになっている。

【００１１】例えば、或る特定のノズル４を基板Ｓ上に
移動する際には、制御手段は位置センサ１１によりノズ
ル４の位置を検出し、移動すべきノズル４の電磁クラッ
チ５を動作状態にして、駆動モータ１０を時計回り又は
反時計回りに回転させる。これにより、駆動モータ１０
の回転が駆動プーリ９、駆動ベルト８を介して従動プー
リ６に伝達され、作動状態にある電動クラッチ５の回転
軸２が回転し、ノズル４が移動する。位置センサ１１が
回転軸２の所定の回転を得たとき、つまりノズル４が所
定の位置に移動したとき、電動クラッチ５を非作動状態
にする。その後に、ノズル４の高さをシリンダ７により
調節し、高速回転する基板Ｓ上にノズル４から所定の液
体を滴下することにより、基板Ｓ上に所定の液体による
薄膜が形成される。

【００１２】一方、例えば或るノズル４により基板Ｓの
中央に液体を滴下し、他のノズル４により基板Ｓの周辺
に液体を滴下する際には、上述したような作用により双
方のノズル４をそれぞれ移動し、位置センサ１１が回転
軸２の所定の回転をそれぞれ得たとき、つまり双方のノ
ズル４が基板Ｓの中央と周辺にそれぞれ移動したとき、
電動クラッチ５をそれぞれ非作動状態にする。

【００１３】このように、実施例では複数のノズル４を
１個の駆動モータ１０により同時又は順次に駆動できる
ので、従来のように複数個のノズル４を駆動するための
他の駆動源を設けることを不要にし、小型化を図ること
ができる。また、特定の液体を或るノズル４から基板Ｓ
の中央に滴下すると共に、異種の液体を他のノズル４か
ら基板Ｓの周辺に滴下することが可能となり、かつ基板
Ｓ上のノズル４を待機位置Ｐに戻すことなく他のノズル
４を基板Ｓ上へ移動できるので、従来のような無駄な時
間を省略することができ、処理時間の短縮が可能とな
る。

【００１４】なお、上述した従来例はノズル４から感光
性樹脂を滴下する場合を説明したが、ノズル４から任意
の液体又は気体を任意の被塗布面に滴下することも可能
である。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る塗布装
置は、複数個のノズルを１個の駆動源により駆動するよ
うにしたので、ノズル毎の駆動源を不要とすることがで
き、小型化が可能となる。また、２種類以上の塗布材料
を同時又は順次に塗布することが可能となり、処理時間
の短縮を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の概略平面図である。

【図２】回転軸駆動部の側面図である。

【符号の説明】

４ノズル５電磁クラッチ７シリンダ１０駆動モータ１１位置センサＰ待機位置Ｓ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被塗布面の内外に複数個のノズルをそれ
ぞれ所定位置に移動可能とし、前記被塗布面に前記ノズ
ルから塗布材料を塗布する塗布装置において、前記複数
個のノズルを１個の駆動源により個々に駆動可能とした
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】前記駆動源からの駆動力を断続するため
の断続手段を前記ノズルにそれぞれ設けた請求項１に記
載の塗布装置。
【請求項３】前記ノズルを上下動するための上下動手
段を前記ノズルにそれぞれ設けた請求項１又は２に記載
の塗布装置。
【請求項４】前記ノズルの位置を検出するための検出
手段を前記ノズルにそれぞれ設けた請求項１〜３のうち
の何れか１つの請求項に記載の塗布装置。
【請求項５】前記断続手段及び上下動手段を前記検出
手段の出力に基づいて所定の順序で制御するための制御
手段を設けた請求項２〜４の何れか１つの請求項に記載
の塗布装置。