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JPH1041635A - Single-sided circuit board for multilayer printed wiring board, its manufacture, and multilayer printed wiring board - Google Patents

Single-sided circuit board for multilayer printed wiring board, its manufacture, and multilayer printed wiring board

Info

Publication number
JPH1041635A
JPH1041635A JP19350296A JP19350296A JPH1041635A JP H1041635 A JPH1041635 A JP H1041635A JP 19350296 A JP19350296 A JP 19350296A JP 19350296 A JP19350296 A JP 19350296A JP H1041635 A JPH1041635 A JP H1041635A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
circuit board
multilayer printed
wiring board
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19350296A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Enomoto
亮 榎本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP19350296A priority Critical patent/JPH1041635A/en
Publication of JPH1041635A publication Critical patent/JPH1041635A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • H05K1/095Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks for polymer thick films, i.e. having a permanent organic polymeric binder
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4038Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
    • H05K3/4053Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques
    • H05K3/4069Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques for via connections in organic insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4611Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
    • H05K3/4614Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards the electrical connections between the circuit boards being made during lamination

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique which is useful for effectively manufacturing a multilayer printed wiring board having interstitial via hole structure with high yield. SOLUTION: In a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, an insulating hard board 2 has a conducting circuit 3 on one surface, and via holes 6 turning to interstitial via holes are formed by filling holes which penetrate the board 2 and reach the conducting circuit 3 with conductive paste 5. The above single-sided circuit board 1 for a multilayer printed wiring board has a characteristic that penetrating pin holes 7 are arranged in the conducting circuit parts being in contact with the conductive paste 5. A multilayer printed wiring board of an IVH structure is constituted of the single- sided circuit board 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板用片面回路基板とその製造方法、および多層プリント
配線板に関し、特に、バイアホールのための穴に導電ペ
ーストを確実に充填した接続信頼性に優れる片面回路基
板についての提案である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, a method for manufacturing the same, and a multilayer printed wiring board, and more particularly, to a connection reliability in which holes for via holes are reliably filled with a conductive paste. This is a proposal for a single-sided circuit board that excels in performance.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の多層プリント配線板は、銅張積層
板とプリプレグを相互に積み重ねて一体化してなる積層
体にて構成されている。この積層体は、その表面に表面
配線パターンを有し、層間絶縁層間には内層配線パター
ンを有している。これらの配線パターンは、積層体の厚
さ方向に穿孔形成したスルーホールを介して、内層配線
パターン相互間あるいは内層配線パターンと表面配線パ
ターン間を電気的に接続するようにしている。
2. Description of the Related Art A conventional multilayer printed wiring board is constituted by a laminate obtained by stacking a copper-clad laminate and a prepreg on each other and integrating them. This laminate has a surface wiring pattern on its surface and an inner layer wiring pattern between the interlayer insulating layers. These wiring patterns are electrically connected to each other between the inner layer wiring patterns or between the inner layer wiring pattern and the surface wiring pattern via through holes formed in the thickness direction of the laminate.

【0003】ところが、上述したようなスルーホール構
造の多層プリント配線板は、スルーホールを形成するた
めの領域を確保する必要があるために、部品実装の高密
度化が困難であり、携帯用電子機器の超小型化や狭ピッ
チパッケージおよびMCMの実用化の要請に十分に対処
できないという欠点があった。そのため、最近では、上
述のようなスルーホール構造の多層プリント配線板に代
えて、電子機器の小型化,高密度化に対応し易いインタ
ーステシャルバイアホール(IVH)構造を有する多層
プリント配線板の開発が進められている。
However, in the multilayer printed wiring board having the through-hole structure as described above, since it is necessary to secure an area for forming the through-hole, it is difficult to increase the component mounting density. There is a drawback in that it is not possible to sufficiently cope with the demands for ultra-miniaturization of devices, narrow pitch packages, and practical use of MCMs. Therefore, recently, instead of the multilayer printed wiring board having the through-hole structure as described above, a multilayer printed wiring board having an interstitial via hole (IVH) structure which can easily cope with miniaturization and high density of electronic equipment has been developed. Development is underway.

【0004】このIVH構造を有する多層プリント配線
板は、積層体を構成する各層間絶縁層に、導体層間を接
続する導電性のバイアホールが設けられている構造のプ
リント配線板である。即ち、この配線板は、内層配線パ
ターン相互間あるいは内層配線パターンと表面配線パタ
ーン間が、配線基板を貫通しないバイアホール(ベリー
ドバイアホールあるいはブラインドバイアホール)によ
って電気的に接続されている。それ故に、IVH構造の
多層プリント配線板は、スルーホールを形成するための
領域を特別に設ける必要がなく、電子機器の小型化,高
密度化を容易に実現することができる。
[0004] The multilayer printed wiring board having the IVH structure is a printed wiring board having a structure in which conductive via holes for connecting conductive layers are provided in each interlayer insulating layer constituting a laminate. That is, this wiring board is electrically connected between the inner wiring patterns or between the inner wiring pattern and the surface wiring pattern by via holes (buried via holes or blind via holes) that do not penetrate the wiring board. Therefore, the multilayer printed wiring board having the IVH structure does not need to particularly provide a region for forming a through hole, and can easily realize miniaturization and high density of an electronic device.

【0005】こうしたIVH構造の多層プリント配線板
に関し、例えば、第9回回路実装学術講演大会予稿集
(平成7年3月2日)の第57頁には、全層IVH構造を
有する多層プリント配線板の開発に関する提案が報告さ
れている。この提案の多層プリント配線板は、炭酸ガ
スレーザによる高速微細ビア穴加工技術、基板材料と
してアラミド不織布とエポキシ樹脂のコンポジット材料
の採用、導電性ペーストの充填による層間接続技術、
に基づいて開発されたものであり、以下のプロセスによ
って製造される(図1参照)。
[0005] With respect to such a multilayer printed wiring board having an IVH structure, for example, see page 57 of the ninth circuit packaging academic conference conference proceedings (March 2, 1995), the multi-layer printed wiring board having an all-layer IVH structure is described. Proposals for plate development have been reported. The proposed multilayer printed wiring board uses high-speed micro via hole processing technology using carbon dioxide gas laser, adopts aramid nonwoven fabric and epoxy resin composite material as substrate material, interlayer connection technology by filling conductive paste,
And is manufactured by the following process (see FIG. 1).

【0006】まず、プリプレグとしてアラミド不織布に
エポキシ樹脂を含浸させた材料を用い、このプリプレグ
に炭酸ガスレーザによる穴開け加工を施し、次いで、こ
のよにして得られた穴部分に導電性ペーストを充填する
(図1(a) 参照)。次に、上記プリプレグの両面に銅箔
を重ね、熱プレスにより加熱、加圧する。これにより、
プリプレグのエポキシ樹脂および導電性ペーストが硬化
され両面の銅箔相互の電気的接続が行われる(図1(b)
参照)。そして、上記銅箔をエッチング法によりパター
ニングすることで、バイアホールを有する硬質の両面基
板が得られる(図1(c) 参照)。
First, a material in which an aramid nonwoven fabric is impregnated with an epoxy resin is used as a prepreg, and the prepreg is perforated with a carbon dioxide gas laser, and then the hole thus obtained is filled with a conductive paste. (See FIG. 1 (a)). Next, copper foil is placed on both sides of the prepreg, and heated and pressed by a hot press. This allows
The epoxy resin and the conductive paste of the prepreg are cured and the copper foils on both sides are electrically connected to each other (FIG. 1 (b)
reference). Then, by patterning the copper foil by an etching method, a hard double-sided substrate having via holes can be obtained (see FIG. 1 (c)).

【0007】このようにして得られた両面基板をコア層
として多層化する。具体的には、前記コア層の両面に、
上述の導電性ペーストを充填したプリプレグと銅箔とを
位置合わせしながら順次に積層し、再度熱プレスしたの
ち、最上層の銅箔をエッチングすることで4層基板を得
る(図1(d),(e) 参照)。さらに多層化する場合は、上
記の工程を繰り返し行い、6層、8層基板とする。
[0007] The double-sided substrate thus obtained is formed into a multilayer as a core layer. Specifically, on both sides of the core layer,
The prepreg filled with the conductive paste and the copper foil are sequentially laminated while being aligned, hot-pressed again, and then the uppermost copper foil is etched to obtain a four-layer substrate (FIG. 1 (d)). , (e)). In the case of further multi-layering, the above steps are repeated to obtain a six-layer or eight-layer substrate.

【0008】以上説明したような従来技術にかかるIV
H構造の多層プリント配線板は、熱プレスによる加熱,
加圧工程とエッチングによる銅箔のパターンニング工程
とを何度も繰り返さなければならず、製造工程が複雑に
なり、製造に長時間を要するという欠点があった。しか
も、このような製造方法によって得られるIVH構造の
多層プリント配線板は、銅箔のパターンニング不良を製
造過程で確認することが難しいために、製造過程で1個
所でも(一工程でも)前記パターンニング不良が発生す
ると、最終製品である配線板全体が不良品となる。つま
り、上記従来の製造プロセスは、各積層工程のうち1個
所でも不良品を出すと、他の良好な積層工程のものまで
処分しなければならず、製造効率あるいは製造歩留りの
悪化を招きやすいという致命的な欠点があった。
[0008] The IV according to the prior art as described above
H-structure multilayer printed wiring board is heated by hot press,
The pressing step and the patterning step of the copper foil by etching must be repeated many times, so that the manufacturing process becomes complicated and the manufacturing takes a long time. Moreover, in the multilayer printed wiring board having the IVH structure obtained by such a manufacturing method, it is difficult to confirm the patterning defect of the copper foil in the manufacturing process. When the ning failure occurs, the entire wiring board as a final product becomes defective. In other words, in the above-described conventional manufacturing process, if a defective product is produced even in one of the laminating steps, it must be disposed of another good laminating step, which tends to deteriorate the manufacturing efficiency or the manufacturing yield. There was a fatal drawback.

【0009】これに対し、発明者らは先に、IVH構造
の多層プリント配線板を高い歩留りで効率良く製造する
のに有効に用いられる多層プリント配線板用片面回路基
板として、絶縁性硬質基板に対し、この基板の一方の面
に導体回路を、そしてその他方の面には接着剤層をそれ
ぞれ形成してなり、かつ前記基板および前記接着剤層に
はこれらの層を貫通して導体に接する穴を設けて導電性
ペーストを充填したバイアホールを形成したことを特徴
とする多層プリント配線板用片面回路基板を提案し、I
VH構造の多層プリント配線板として、IVHを介して
電気的に接続された回路基板のうちの少なくとも一層
が、上記片面回路基板で構成された多層プリント配線板
を提案した。そして、上記片面回路基板を用いてIVH
構造の多層プリント配線板を製造する方法として、 .絶縁性硬質基板の片面に貼着した金属箔をエッチン
グすることにより導体回路を形成する工程、 .上記基板の一方の面に形成した導体回路とは反対側
の表面に接着剤層を形成する工程、 .上記絶縁性硬質基板と上記接着剤層を貫通して導体
に接する穴を形成し、この穴に導電性ペーストを充填し
て片面回路基板を作製する工程、 .上記片面回路基板を2枚以上重ね合わせるか他の回
路基板と共に重ね合わせ、次いで該基板が具える前記接
着剤層を利用することによって、一度のプレス成形にて
多層状に一体化させる工程、 を経ることを特徴とする多層プリント配線板の製造方法
を提案した。
On the other hand, the present inventors have previously proposed a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board which is effectively used for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure at a high yield. On the other hand, a conductor circuit is formed on one surface of the substrate, and an adhesive layer is formed on the other surface, and the substrate and the adhesive layer penetrate these layers and come into contact with a conductor. The present invention proposes a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, characterized in that a hole is provided to form a via hole filled with a conductive paste.
As a multilayer printed wiring board having a VH structure, a multilayer printed wiring board in which at least one of circuit boards electrically connected via an IVH is formed of the single-sided circuit board has been proposed. Then, using the single-sided circuit board, the IVH
As a method of manufacturing a multilayer printed wiring board having a structure, Forming a conductive circuit by etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate; Forming an adhesive layer on a surface opposite to the conductor circuit formed on one surface of the substrate; Forming a hole penetrating the insulating hard substrate and the adhesive layer and contacting a conductor, and filling the hole with a conductive paste to produce a single-sided circuit board; Laminating two or more of the single-sided circuit boards or laminating with another circuit board, and then using the adhesive layer provided on the board to integrate them into a multilayer by a single press molding, A method for manufacturing a multilayer printed wiring board characterized by passing through is proposed.

【0010】この提案にかかる片面回路基板は、絶縁性
硬質基板の貫通孔に導電性ペーストを充填するものでは
なく、絶縁性硬質基板の片側が導体によって閉塞された
穴に導電性ペーストを充填するような構成である。この
ため、このような穴に導電性ペーストを充填して片面回
路基板を作製する上記提案の手法は、バイアホール中に
空気が巻き込みやすく、導電性ペーストを確実に充填し
にくいという構造上の新たな欠点があった。特に、最近
の回路基板では、1層に約10万穴/m2 という多くの穴
を設ける必要があり、1穴でも導電性ペーストが確実に
充填されないと回路基板自体が電気的に接続不良とな
る。従って、IVH構造の多層プリント配線板を高い歩
留りで効率良く製造するためには、接続信頼性に優れた
片面回路基板の安定供給が不可欠であり、このような片
面回路基板の安定供給には、全ての穴を導電性ペースト
で確実に充填できる技術の開発が必要であった。
The single-sided circuit board according to this proposal does not fill the through hole of the insulating hard substrate with the conductive paste, but fills the hole where one side of the insulating hard substrate is closed with a conductor with the conductive paste. It is such a configuration. For this reason, the above proposed method of manufacturing a single-sided circuit board by filling such holes with a conductive paste has a new structure in which air is easily trapped in the via holes, and it is difficult to reliably fill the conductive paste. There were serious disadvantages. In particular, in recent circuit boards, it is necessary to provide a large number of holes of about 100,000 holes / m 2 in one layer, and if the conductive paste is not completely filled even in one hole, the circuit board itself may be electrically connected poorly. Become. Therefore, in order to efficiently manufacture a multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield, a stable supply of a single-sided circuit board having excellent connection reliability is indispensable. It was necessary to develop a technology that could reliably fill all holes with conductive paste.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術の上
記欠点を解消するためになされたものであり、その主た
る目的は、IVH構造の多層プリント配線板を高い歩留
りで効率良く製造するのに有効に用いられる接続信頼性
に優れた片面回路基板を提供することにある。本発明の
他の目的は、接続信頼性に優れた片面回路基板を安定し
て製造する方法を提案することにある。本発明のさらに
他の目的は、接続信頼性に優れた上記片面回路基板で構
成したIVH構造の多層プリント配線板を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and a main object of the present invention is to efficiently manufacture a multilayer printed wiring board having an IVH structure at a high yield. An object of the present invention is to provide a single-sided circuit board which is used effectively and has excellent connection reliability. Another object of the present invention is to propose a method for stably manufacturing a single-sided circuit board having excellent connection reliability. Still another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board having an IVH structure constituted by the single-sided circuit board having excellent connection reliability.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】発明者は、上述した目的
を実現するために鋭意研究を行った結果、以下に示す内
容を要旨構成とする発明を完成するに至った。すなわ
ち、 (1)IVH構造の多層プリント配線板を高い歩留りで効
率良く製造するのに有効に用いられる接続信頼性に優れ
た片面回路基板として、本発明は、一方の面に導体回路
を有する絶縁性硬質基板に対し、この基板を貫通して前
記導体回路に達する穴に導電性ペーストを充填してイン
タースティシャルバイアホールとなるバイアホールを形
成した多層プリント配線板用片面回路基板において、前
記導電性ペーストと接する導体回路部分に貫通ピンホー
ルが設けられていることを特徴とする多層プリント配線
板用片面回路基板を提案する。ここで、上記貫通ピンホ
ールは、導電性ペーストが接する導体回路の面積S1に
対する貫通ピンホールの面積S2の比(S2/S1)が
0.01〜0.40の範囲内であることが望ましく、また、レー
ザの照射による絶縁性硬質基板の穴開け加工時に同時に
形成されるものであることが望ましい。
Means for Solving the Problems The inventor of the present invention has conducted intensive studies in order to achieve the above-mentioned object, and as a result, has completed the invention having the following features. (1) As a single-sided circuit board having excellent connection reliability, which is used effectively for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure at a high yield, the present invention provides an insulating board having a conductor circuit on one side. In a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board in which a conductive paste is filled in a hole penetrating through the substrate and reaching the conductive circuit to form a via hole serving as an interstitial via hole with respect to the conductive hard substrate. The present invention proposes a single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, wherein a through-hole is provided in a conductor circuit portion in contact with a conductive paste. Here, the ratio (S2 / S1) of the area S2 of the through-pinhole to the area S1 of the conductor circuit in contact with the conductive paste is equal to the through-hole.
Desirably, it is in the range of 0.01 to 0.40, and it is desirable that the insulating hard substrate is formed at the same time as the boring process by laser irradiation.

【0013】(2)上記(1) に記載の接続信頼性に優れた
片面回路基板を安定して製造する方法として、本発明
は、少なくとも下記〜の各工程、すなわち、 .絶縁性硬質基板の一方の面に貼着した金属箔をエッ
チングすることにより導体回路を形成する工程、 .レーザの照射により、上記絶縁性硬質基板を貫通し
て導体回路に達する穴を形成すると同時に、この穴に接
する導体回路に貫通ピンホールを設ける工程、 .上記穴に導電性ペーストを充填する工程、 を経ることを特徴とする片面回路基板の製造方法を提案
する。
(2) As a method for stably producing a single-sided circuit board having excellent connection reliability as described in the above (1), the present invention comprises at least the following steps: Forming a conductive circuit by etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate; Forming a hole penetrating through the insulating hard substrate and reaching the conductor circuit by irradiating the laser, and simultaneously forming a through-pin hole in the conductor circuit in contact with the hole; Filling the hole with a conductive paste. A method for manufacturing a single-sided circuit board is proposed.

【0014】(3)そして、本発明は、回路基板の積層材
がインタースティシャルバイアホールを介してそれぞれ
電気的に接続されてなる構造の多層プリント配線板にお
いて、前記回路基板の少なくとも一層が、上記(1) に記
載の接続信頼性に優れた片面回路基板で構成されている
ことを特徴とする多層プリント配線板を提供する。
(3) The present invention provides a multilayer printed wiring board having a structure in which laminated materials of a circuit board are electrically connected to each other through interstitial via holes. There is provided a multilayer printed wiring board comprising a single-sided circuit board having excellent connection reliability as described in the above (1).

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明にかかる多層プリント配線
板用片面回路基板は、バイアホールの導電性ペーストが
接する導体回路部分に貫通ピンホールが設けられた構造
とした点に特徴がある。このような構造にすれば、バイ
アホール内の空気が該貫通ピンホールから抜けて、導電
性ペーストを確実に充填できる。その結果、回路基板の
導体回路どうしの電気的な接続が確実に行い得る片面回
路基板、即ち、IVH構造の多層プリント配線板を高い
歩留りで効率良く製造するために必要な接続信頼性に優
れた片面回路基板を確実に提供することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board according to the present invention is characterized in that it has a structure in which a through-hole is provided in a conductive circuit portion of a via hole in contact with a conductive paste. With such a structure, the air in the via hole escapes from the through-hole and the conductive paste can be reliably filled. As a result, a single-sided circuit board capable of reliably performing electrical connection between the conductor circuits of the circuit board, that is, excellent connection reliability required for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure at a high yield. A single-sided circuit board can be reliably provided.

【0016】ここで、本発明の上記片面回路基板におい
て、導体回路に設けられた貫通ピンホールは、導電性ペ
ースト充填時に巻き込んだ空気を系外に排出する役割を
担うものである。しかしながら、この貫通ピンホールの
開口面積を大きくすると、巻き込んだ空気を排出するこ
とはできるものの、導体回路と導電性ペーストとの電気
的な接続面が小さくなる結果、回路基板自体が接続不良
となる。それ故に、上記貫通ピンホールは、バイアホー
ル内に巻き込んだ空気を確実に排出できる範囲内でより
小さいことが望ましい。そこで、本発明における上記貫
通ピンホールの大きさは、導電性ペーストが接する導体
回路の面積S1に対する貫通ピンホールの面積S2の比
(S2/S1)で0.01〜0.40の範囲内とすることが望ま
しい。
Here, in the single-sided circuit board of the present invention, the through-hole provided in the conductor circuit plays a role of discharging the air entrapped at the time of filling the conductive paste to the outside of the system. However, if the opening area of the through pinhole is increased, the entrained air can be discharged, but the electrical connection surface between the conductive circuit and the conductive paste decreases, resulting in poor connection of the circuit board itself. . Therefore, it is desirable that the through pinhole be smaller as far as the air trapped in the via hole can be reliably discharged. Therefore, the size of the through pinhole in the present invention is desirably in the range of 0.01 to 0.40 as the ratio (S2 / S1) of the area S2 of the through pinhole to the area S1 of the conductor circuit in contact with the conductive paste. .

【0017】本発明の上記片面回路基板において、バイ
アホールは、IVH構造の多層プリント配線板を構成す
る各回路基板の導体回路どうしを、電気的に接続する役
割を担う。特に、絶縁性硬質基板を貫通して導体回路に
接する穴に充填された導電性ペーストが、隣接して積層
される他の回路基板上の導体回路と熱硬化によって密着
し、それぞれの導体回路を電気的に接続する。
In the single-sided circuit board of the present invention, the via hole plays a role of electrically connecting conductor circuits of each circuit board constituting the multilayer printed wiring board having the IVH structure. In particular, the conductive paste filled in the hole that comes into contact with the conductor circuit through the insulating hard substrate is closely adhered to the conductor circuit on the other laminated circuit board by thermosetting, and the respective conductor circuits are bonded. Make an electrical connection.

【0018】本発明の上記片面回路基板において、導体
回路は、IVH構造の多層プリント配線板を構成する表
面配線パターンあるいは内層配線パターンとなる。この
ような導体回路は、絶縁性硬質基板の片面に貼着された
金属箔をエッチングすることにより形成され、好ましく
は、絶縁性硬質基板の片面に銅箔を形成してなる片面銅
張積層板の該銅箔をエッチングすることにより形成され
る。
In the single-sided circuit board according to the present invention, the conductor circuit is a surface wiring pattern or an inner layer wiring pattern constituting a multilayer printed wiring board having an IVH structure. Such a conductive circuit is formed by etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate, and is preferably a single-sided copper-clad laminate formed by forming a copper foil on one surface of an insulating hard substrate. Is formed by etching the copper foil.

【0019】このような本発明にかかる片面回路基板
は、絶縁性硬質基板を貫通して導体回路に達する穴をレ
ーザの照射によって形成することが望ましい。その理由
は、片面回路基板のバイアホールを形成するための穴
は、なるべく微小径の穴を高密度に形成することが有利
であり、穴開け加工にレーザを適用することによって、
微小径の穴を容易にかつ高密度に形成することができる
からである。特に、このレーザによる穴開け加工によれ
ば、本発明の特徴的な構成要件である導体回路の貫通ピ
ンホールが上記穴の形成と同時に形成でき、接続信頼性
に優れた片面回路基板を極めて簡単な方法により確実に
提供することができる、ということを発明者は新たに知
見した。即ち、レーザの中心ビーム強度を強くすると、
穴の形成と同時に前記導体回路には貫通ピンホールを形
成することができる。この現象は、導体層が薄くビーム
熱が逃げにくい場合に顕著であった。
In such a single-sided circuit board according to the present invention, it is desirable that a hole penetrating through the insulating hard substrate and reaching the conductor circuit is formed by laser irradiation. The reason is that the hole for forming the via hole of the single-sided circuit board is advantageous to form a hole with a very small diameter as high as possible, and by applying a laser to the drilling process,
This is because holes having a small diameter can be easily formed at a high density. In particular, according to the laser drilling process, a through-hole for a conductor circuit, which is a characteristic feature of the present invention, can be formed simultaneously with the formation of the above-mentioned hole, and a single-sided circuit board having excellent connection reliability can be extremely easily formed. The inventor has newly found that it can be surely provided by a simple method. That is, if the center beam intensity of the laser is increased,
A penetrating pinhole can be formed in the conductor circuit simultaneously with the formation of the hole. This phenomenon was remarkable when the conductor layer was thin and the heat of the beam was difficult to escape.

【0020】このレーザの特性を利用した本発明にかか
る片面回路基板の製造方法は、少なくとも下記〜の
各工程、すなわち、 .絶縁性硬質基板の片面に貼着した金属箔をエッチン
グすることにより導体回路を形成する工程、 .レーザの照射により、上記絶縁性硬質基板を貫通し
て導体回路に達する穴を形成すると同時に、この穴に接
する導体回路に貫通ピンホールを設ける工程、 .上記穴に導電性ペーストを充填する工程、 を経ることを特徴とする。
The method for manufacturing a single-sided circuit board according to the present invention utilizing the characteristics of the laser includes at least the following steps: Forming a conductive circuit by etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate; Forming a hole penetrating through the insulating hard substrate and reaching the conductor circuit by irradiating the laser, and simultaneously forming a through-pin hole in the conductor circuit in contact with the hole; Filling the hole with a conductive paste.

【0021】ここで、本発明に用いるレーザとしては、
炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、YAGレーザの第4
高調波などが挙げられる。特に、炭酸ガスレーザは、加
工速度が極めて早いという点で有利である。
Here, the laser used in the present invention includes:
Fourth of carbon dioxide laser, excimer laser and YAG laser
Harmonics and the like. In particular, the carbon dioxide laser is advantageous in that the processing speed is extremely high.

【0022】以上説明したような本発明にかかる片面回
路基板は、所定の配線を形成した導体回路を有する片面
回路基板として、IVH構造の多層プリント配線板を製
造するに先立ち、予め個々に製造される。それ故に、こ
れらの片面回路基板は、積層する前に、導体回路等の不
良箇所の有無を確認することができる。その結果、本発
明の片面回路基板を利用すれば、不良箇所のない片面回
路基板のみを用いることとなるので、製造段階で不良を
発生することが少なくなり、IVH構造の多層プリント
配線板を高い歩留りで製造することができる。
The single-sided circuit board according to the present invention as described above is individually manufactured in advance as a single-sided circuit board having a conductor circuit on which a predetermined wiring is formed, prior to manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure. You. Therefore, it is possible to confirm the presence or absence of a defective portion such as a conductor circuit before laminating these single-sided circuit boards. As a result, if the single-sided circuit board of the present invention is used, only a single-sided circuit board having no defective portion will be used. It can be manufactured with yield.

【0023】また、本発明の片面回路基板を利用すれ
ば、従来技術のように、プリプレグを積み重ねて熱プレ
スする工程を繰り返す必要はなく、片面回路基板を他の
回路基板と重ね合わせ、前記片面回路基板が具える接着
剤層を利用することによって、一度の熱プレス成形にて
積層一体化させることができる。即ち、IVH構造の多
層プリント配線板を複雑な工程を繰り返すことなく短時
間で効率良く製造することができる。
Further, if the single-sided circuit board of the present invention is used, it is not necessary to repeat the steps of stacking and hot-pressing prepregs as in the prior art. By utilizing the adhesive layer provided on the circuit board, it is possible to perform lamination and integration by a single hot press molding. That is, a multilayer printed wiring board having an IVH structure can be efficiently manufactured in a short time without repeating complicated steps.

【0024】このようにして高い歩留りで効率良く製造
される本発明にかかるIVH構造の多層プリント配線板
は、回路基板の積層材がIVHを介してそれぞれ電気的
に接続されてなる構造の多層プリント配線板であって、
前記回路基板の少なくとも一層が、上述した本発明の片
面回路基板で構成されていることを特徴とする。
The multi-layer printed wiring board having the IVH structure according to the present invention, which is efficiently manufactured at a high yield in this manner, has a multi-layer printed circuit having a structure in which the laminated materials of the circuit board are electrically connected to each other via the IVH. A wiring board,
At least one layer of the circuit board is constituted by the single-sided circuit board of the present invention described above.

【0025】ここで、本発明の多層プリント配線板を構
成する片面回路基板は、その片面回路基板が有する接着
剤層などを介して他の回路基板と接着されていることが
望ましい。このような他の回路基板としては、本発明の
片面回路基板や従来知られたプリント配線基板のいずれ
も使用することができる。
Here, the single-sided circuit board constituting the multilayer printed wiring board of the present invention is desirably bonded to another circuit board via an adhesive layer or the like of the single-sided circuit board. As such another circuit board, any of the single-sided circuit board of the present invention and a conventionally known printed wiring board can be used.

【0026】なお、本発明の多層プリント配線板は、プ
リント配線板に一般的におこなわれている各種の加工処
理、例えば、表面にソルダーレジストの形成、表面配線
パターン上にニッケル/金めっきやはんだ処理、穴開け
加工、キャビティー加工、スルーホールめっき処理等を
施すことができる。また、本発明の多層プリント配線板
は、ICパッケージやベアチップ、チップ部品等の電子
部品を実装するために用いられる。
The multilayer printed wiring board of the present invention can be formed by various processings generally performed on printed wiring boards, for example, formation of a solder resist on the surface, nickel / gold plating or soldering on the surface wiring pattern. Processing, drilling, cavity processing, through-hole plating and the like can be performed. Further, the multilayer printed wiring board of the present invention is used for mounting electronic components such as IC packages, bare chips, and chip components.

【0027】[0027]

【実施例】図2は、本発明の一実施例に係る片面回路基
板の縦断面図である。この図において、片面回路基板1
は、絶縁性硬質基板2と、この基板の片面に貼着された
金属箔をエッチングして形成した導体回路3と、前記導
体回路と反対側の基板表面に形成された接着剤層4とか
らなり、絶縁性硬質基板2と接着剤層4にはこれらの層
を貫通して導体回路3に接する穴を設けて導電性ペース
ト5を充填したバイアホール6を形成した片面回路基板
であり、前記導体回路3には貫通ピンホール7が設けら
れている。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a single-sided circuit board according to an embodiment of the present invention. In this figure, the single-sided circuit board 1
Is composed of an insulating hard substrate 2, a conductive circuit 3 formed by etching a metal foil attached to one surface of the substrate, and an adhesive layer 4 formed on the surface of the substrate opposite to the conductive circuit. A single-sided circuit board in which an insulating hard substrate 2 and an adhesive layer 4 are provided with holes penetrating these layers and in contact with the conductor circuit 3 to form via holes 6 filled with a conductive paste 5; The conductor circuit 3 has a through pinhole 7.

【0028】図3は、本発明の他の実施例に係る片面回
路基板の縦断面図である。この図において、片面回路基
板1は、絶縁性硬質基板2と、この基板の片面に貼着さ
れた金属箔をエッチングして形成した導体回路3と、前
記導体回路と基板の表面に形成された接着剤層4とから
なり、絶縁性硬質基板2にはこの基板を貫通して導体回
路3に接する穴に導電性ペースト5を充填したバイアホ
ール6を形成した片面回路基板であり、前記導体回路3
には貫通ピンホール7が設けられている。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a single-sided circuit board according to another embodiment of the present invention. In this figure, a single-sided circuit board 1 is formed on an insulating hard substrate 2, a conductor circuit 3 formed by etching a metal foil adhered to one side of the board, and a surface of the conductor circuit and the substrate. A single-sided circuit board comprising an adhesive layer 4 and a via hole 6 filled with a conductive paste 5 in a hole penetrating the substrate and contacting the conductor circuit 3 in the insulating hard substrate 2; 3
Is provided with a through pinhole 7.

【0029】ここで、前記導体回路3は、例えば絶縁性
硬質基板2の片面に銅箔を形成してなる片面銅張積層板
の該銅箔をエッチングすることにより形成されたものが
好適である。前記絶縁性硬質基板2としては、例えば、
ガラス布エポキシ樹脂やガラス不織布エポキシ樹脂、ガ
ラス布ビスマレイミドトリアジン樹脂、アラミド不織布
エポキシ樹脂等を板状に硬化させた基板を使用すること
ができる。前記接着剤層4としては、例えば、エポキシ
系やポリイミド系、ビスマレイミドトリアジン系、アク
リレート系、フェノール系などの樹脂接着剤で構成する
ことができる。前記導電性ペーストとしては、例えば、
銅や銀、金、カーボン等の導電性ペーストを使用するこ
とができる。
Here, it is preferable that the conductor circuit 3 is formed by etching a copper foil of a single-sided copper-clad laminate obtained by forming a copper foil on one side of an insulating hard substrate 2, for example. . Examples of the insulating hard substrate 2 include, for example,
A substrate obtained by curing a glass cloth epoxy resin, a glass nonwoven cloth epoxy resin, a glass cloth bismaleimide triazine resin, an aramid nonwoven cloth epoxy resin, or the like into a plate shape can be used. The adhesive layer 4 can be made of, for example, an epoxy-based, polyimide-based, bismaleimide-triazine-based, acrylate-based, or phenol-based resin adhesive. As the conductive paste, for example,
A conductive paste of copper, silver, gold, carbon, or the like can be used.

【0030】次に、図2に示した本発明の一実施例に係
る片面回路基板を製造する方法について、図4にしたが
って具体的に説明する。 (1) まず、図4(a) に示すような金属箔13が片面に貼着
された絶縁性硬質基板12aを用意する。この金属箔13が
片面に貼着された絶縁性硬質基板12aとしては、例え
ば、片面銅張積層板を使用することが有利である。
Next, a method of manufacturing the single-sided circuit board according to one embodiment of the present invention shown in FIG. 2 will be specifically described with reference to FIG. (1) First, an insulative hard substrate 12a having a metal foil 13 adhered to one side as shown in FIG. 4A is prepared. It is advantageous to use, for example, a single-sided copper-clad laminate as the insulating hard substrate 12a having the metal foil 13 adhered to one side.

【0031】(2) 次に、前記金属箔13をエッチングし、
図4(b) に示すように、所定のパターン形状に加工す
る。これにより導体回路13aが形成される。このエッチ
ング方法としては、公知の一般的な手段を採用すること
ができる。なお、この導体回路13aが内層配線パターン
となる場合は、層間の接着性を向上させるために、導体
回路の表面を、例えば、マイクロエッチングや粗化めっ
き、両面粗化銅箔の適用等の公知の手段を用いて粗面化
することが有利である。
(2) Next, the metal foil 13 is etched,
As shown in FIG. 4B, it is processed into a predetermined pattern shape. Thus, the conductor circuit 13a is formed. As this etching method, known general means can be adopted. When the conductor circuit 13a is used as an inner layer wiring pattern, the surface of the conductor circuit is improved by, for example, applying microetching, roughening plating, or applying double-sided roughened copper foil to improve the adhesion between layers. It is advantageous to roughen the surface by using the means described above.

【0032】(3) 次に、前記導体回路13aが形成された
絶縁性硬質基板12aの導体回路と反対側の面に、図4
(c) に示すように、接着剤層14aを形成する。この接着
剤層14aは、所定の樹脂接着剤をロールコータやカーテ
ンコータ、スプレーコータ、スクリーン印刷などの手段
で塗布してプレキュアするか、あるいは接着剤シートを
ラミネートすることにより形成することができる。この
ときの接着剤層の厚さとしては、10〜50μmの範囲が有
利である。
(3) Next, on the surface of the insulating hard substrate 12a on which the conductor circuit 13a is formed, on the side opposite to the conductor circuit,
As shown in (c), an adhesive layer 14a is formed. The adhesive layer 14a can be formed by applying a predetermined resin adhesive by means of a roll coater, curtain coater, spray coater, screen printing, or the like, or by pre-curing, or by laminating an adhesive sheet. At this time, the thickness of the adhesive layer is advantageously in the range of 10 to 50 μm.

【0033】(4) 次に、図4(d) に示すように、接着剤
層14aおよび絶縁性硬質基板12aの厚さ方向に貫通して
導体に接する穴16を形成する。この穴16は、絶縁性硬質
基板12aの接着剤層14aの側からレーザを照射すること
により形成することが好ましい。このレーザを照射する
穴開け加工機としては、例えば、パルス発振型炭酸ガス
レーザ加工機を使用することができる。このような、炭
酸ガスレーザ加工機を用いることにより60〜200 μmφ
の微小径の穴を高精度に形成することができる。この結
果、バイアホールを高密度に形成することが可能にな
り、小型で高密度な多層プリント配線板を製造すること
ができる。特に、本発明の片面回路基板では、例えば、
上記レーザのパルスエネルギーを強くすることにより、
導体回路13aのほぼ中央部に貫通ピンホール17aを形成
する。この貫通ピンホール17aの面積S2は、照射する
レーザのパルスエネルギーの大きさを制御することによ
って、導電性ペースト5に接する導体の面積S1に対す
る比(S2/S1)で0.01〜0.40の範囲内となるように
調整する。このことにより、バイアホール内部への空気
の巻き込みを防止し、バイアホールと導体回路13aとを
電気的に確実に接続することができる。なお、穴16の底
の導体回路面18(導電性ペースト5に接する面)をきれ
いにする目的で、デスミア処理を施すこともできる。
(4) Next, as shown in FIG. 4 (d), a hole 16 penetrating the adhesive layer 14a and the insulating hard substrate 12a in the thickness direction and contacting the conductor is formed. This hole 16 is preferably formed by irradiating a laser from the side of the adhesive layer 14a of the insulating hard substrate 12a. As the drilling machine for irradiating this laser, for example, a pulse oscillation type carbon dioxide laser machine can be used. By using such a carbon dioxide laser processing machine, 60 to 200 μmφ
Can be formed with high precision. As a result, via holes can be formed at a high density, and a small and high-density multilayer printed wiring board can be manufactured. In particular, in the single-sided circuit board of the present invention, for example,
By increasing the pulse energy of the laser,
A through-hole 17a is formed substantially at the center of the conductor circuit 13a. The area S2 of the penetrating pinhole 17a can be controlled within the range of 0.01 to 0.40 in the ratio (S2 / S1) to the area S1 of the conductor in contact with the conductive paste 5 by controlling the pulse energy of the laser to be irradiated. Adjust so that This prevents air from being trapped in the via hole, thereby making it possible to electrically connect the via hole and the conductor circuit 13a reliably. In order to clean the conductive circuit surface 18 (the surface in contact with the conductive paste 5) at the bottom of the hole 16, desmearing can be performed.

【0034】(5) 次に、図4(e) に示すように、前記穴
16に、導電性ペースト5を充填して片面回路基板11aを
作製する。この導電性ペースト5の充填方法としては、
例えば、メタルマスクを用いたスクリーン印刷法を採用
することができる。充填時には、バイアホールを高精度
に形成するために、穴16の周囲に保護マスクを形成して
おくことが有利である。保護マスクは、接着剤層14aの
表面にフィルムや紙をラミネートし、穴開け加工の際に
一緒に穴開けすることにより形成することができる。ま
た、導電性ペースト5は、重ね合わされる他の回路基板
の内層となる導体回路との接続性が良好なバイアホール
を実現する上で、穴16より若干突出する程度に充填する
ことが有利である。なお、充填した導電性ペースト5
は、後の工程の作業性を高めるためにプレキュアしてお
くことが有利であり、保護マスクは積層前に剥離され
る。
(5) Next, as shown in FIG.
16 is filled with the conductive paste 5 to produce the single-sided circuit board 11a. The method for filling the conductive paste 5 includes:
For example, a screen printing method using a metal mask can be adopted. At the time of filling, it is advantageous to form a protective mask around the hole 16 in order to form the via hole with high precision. The protective mask can be formed by laminating a film or paper on the surface of the adhesive layer 14a and making a hole together during the hole making process. Further, in order to realize a via hole having good connectivity with a conductor circuit serving as an inner layer of another circuit board to be superimposed, it is advantageous to fill the conductive paste 5 so as to slightly protrude from the hole 16. is there. The filled conductive paste 5
Is preferably precured in order to enhance the workability of the subsequent steps, and the protective mask is peeled off before lamination.

【0035】次に、図2に示した本発明の一実施例に係
る片面回路基板を用いて本発明の一実施例に係るIVH
構造の多層プリント配線板を製造する一方法について図
5にしたがって具体的に説明する。 (1) まず、IVH構造の多層プリント配線板を構成する
本発明の片面回路基板1(11a)を図4にしたがって作
製する。 (2) 同様の工程で、絶縁性硬質基板12b,12c,12dに
対し、この基板の一方の面に導体回路13b,13c,13d
を、そしてその他方の面には接着剤層14b,14c,14d
をそれぞれ形成してなり、かつ前記基板および前記接着
剤層にはこれらの層を貫通して導体回路に接する穴16を
設けると同時に前記導体回路には貫通ピンホール17b,
17c,17dを設けて導電性ペースト5を充填したバイア
ホールを形成した、図5に示すような片面回路基板11
b, 11c, 11dを作製する。
Next, using the single-sided circuit board according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2, the IVH according to the embodiment of the present invention is used.
One method of manufacturing a multilayer printed wiring board having a structure will be specifically described with reference to FIG. (1) First, a single-sided circuit board 1 (11a) of the present invention, which constitutes a multilayer printed wiring board having an IVH structure, is manufactured according to FIG. (2) In a similar process, the conductor circuits 13b, 13c, 13d are provided on one surface of the insulating hard substrates 12b, 12c, 12d.
And on the other side adhesive layers 14b, 14c, 14d
And the substrate and the adhesive layer are provided with holes 16 penetrating these layers and contacting the conductor circuit, and at the same time, the conductor circuit has through-pin holes 17b,
A single-sided circuit board 11 as shown in FIG. 5 in which via holes 17c and 17d are provided and filled with conductive paste 5 is formed.
b, 11c and 11d are prepared.

【0036】(3)次に、前記の片面回路基板11a,11
b,11c,11dを所定の順に、片面回路基板の周囲に設
けられたガイドホールとガイドピンを用いて位置合わせ
しながら重ね合わせる。ここでは、片面回路基板11dの
接着剤層14dの上側に片面回路基板11cの導体回路13c
を重ね合わせ、その接着剤層14cの上側に片面回路基板
11bの接着剤層14bを重ね合わせ、さらにその導体回路
13bの上側に片面回路基板11aの接着剤層14aを重ね合
わせる。
(3) Next, the single-sided circuit boards 11a, 11
b, 11c, and 11d are superimposed in a predetermined order while being aligned using guide holes and guide pins provided around the single-sided circuit board. Here, the conductor circuit 13c of the single-sided circuit board 11c is placed above the adhesive layer 14d of the single-sided circuit board 11d.
And a single-sided circuit board on the adhesive layer 14c.
The adhesive layer 14b of 11b is overlapped and the conductive circuit
The adhesive layer 14a of the single-sided circuit board 11a is overlaid on the upper side of 13b.

【0037】(4)このようにして各片面回路基板を重ね
合わせた後、熱プレスを用いて 140℃〜200 ℃の温度範
囲で加熱、加圧することにより、各片面回路基板は一度
のプレス成形にて多層状に一体化される。なお、熱プレ
スとしては、真空熱プレスを使用することが有利であ
る。この工程では、接着剤層14a,14b,14c,14dを
介して重ね合わされた各片面回路基板11a,11b,11
c,11dは、接着剤層14a,14b,14c,14dが密着し
て熱硬化することにより、多層状に一体化される。同時
に、導電性ペーストもそれぞれ対応する導体回路に密着
して熱硬化することにより、バイアホールを形成し、I
VH構造の多層プリント配線板が得られる(図6参
照)。
(4) After the single-sided circuit boards are overlaid in this manner, they are heated and pressed in a temperature range of 140 ° C. to 200 ° C. using a hot press, so that each single-sided circuit board is press-formed once. Are integrated in a multilayer. It is advantageous to use a vacuum hot press as the hot press. In this step, the single-sided circuit boards 11a, 11b, 11 superimposed via the adhesive layers 14a, 14b, 14c, 14d.
The layers c and 11d are integrated in a multilayer shape by the adhesive layers 14a, 14b, 14c and 14d being closely adhered and thermosetting. At the same time, the conductive paste is also brought into close contact with the corresponding conductor circuit and thermally cured, thereby forming a via hole, and
A multilayer printed wiring board having a VH structure is obtained (see FIG. 6).

【0038】図6は、本発明の一実施例に係るIVH構
造の多層プリント配線板の縦断面図である。この図にお
いて、多層プリント配線板は、絶縁性硬質基板12a,12
b,12c,12dと、この基板の片面に貼着された金属箔
をエッチングして形成した導体回路13a,13b,13c,
13dと、前記導体回路と反対側の基板表面に形成された
接着剤層14a,14b,14c,14dとからなり、絶縁性硬
質基板12a,12b,12c,12dと接着剤層14a,14b,
14c,14dにはこれらの層を貫通すると同時に導体にも
貫通ピンホールを穿孔した導体回路13a,13b,13c,
13dに接する穴に導電性ペースト5が充填されたバイア
ホール6a,6b,6dとを有する片面回路基板11a,11b,
11c, 11dを積層し、前記片面回路基板11a,11b, 11
c, 11dがそれぞれ具える接着剤層14a,14b,14c,
14dによって相互に接合した4層基板である。
FIG. 6 is a vertical sectional view of a multilayer printed wiring board having an IVH structure according to one embodiment of the present invention. In this figure, a multilayer printed wiring board includes insulating hard substrates 12a and 12a.
b, 12c, 12d, and conductor circuits 13a, 13b, 13c, formed by etching a metal foil attached to one side of the substrate.
13d, and an adhesive layer 14a, 14b, 14c, 14d formed on the surface of the substrate opposite to the conductor circuit. The insulating hard substrates 12a, 12b, 12c, 12d and the adhesive layers 14a, 14b,
In 14c and 14d, conductor circuits 13a, 13b, 13c, which penetrate through these layers and also have through-holes formed in the conductors are formed.
Single-sided circuit boards 11a, 11b, having via holes 6a, 6b, 6d filled with conductive paste 5 in holes contacting 13d.
11c, 11d are laminated, and the single-sided circuit boards 11a, 11b, 11
adhesive layers 14a, 14b, 14c, c, 11d respectively provided
This is a four-layer substrate joined together by 14d.

【0039】ここで、片面回路基板11aの導体回路13a
および片面回路基板11dの導体回路13dは、それぞれ所
定の配線パターン形状に形成され、多層プリント配線板
の上側表面または下側表面に表面配線パターンとして配
置される。また、片面回路基板11bの導体回路13bおよ
び片面回路基板11cの導体回路13cは、それぞれ所定の
配線パターン形状に形成され、多層プリント配線板の片
面回路基板11aの下側または片面回路基板11dの上側に
内層配線パターンとして配置される。
Here, the conductor circuit 13a of the single-sided circuit board 11a
The conductor circuit 13d of the single-sided circuit board 11d is formed in a predetermined wiring pattern shape, and is arranged as a surface wiring pattern on the upper surface or the lower surface of the multilayer printed wiring board. The conductor circuit 13b of the single-sided circuit board 11b and the conductor circuit 13c of the single-sided circuit board 11c are respectively formed in a predetermined wiring pattern shape, and are formed below the single-sided circuit board 11a of the multilayer printed wiring board or above the single-sided circuit board 11d. Are arranged as inner wiring patterns.

【0040】また、バイアホール6aは、絶縁性硬質基板
12aと接着剤層14aを厚さ方向に貫通して形成されてお
り、バイアホール6bは、絶縁性基板12b,12cと接着剤
層14b,14cを厚さ方向に貫通して形成されており、バ
イアホール6dは、絶縁性基板12dと接着剤層14dを厚さ
方向に貫通して形成されており、それぞれ導電性ペース
ト5が充填されいる。これらのバイアホールのうち6aは
表面配線パターンとしての導体回路13aと内層配線パタ
ーンとしての13bとの間を電気的に接続するブラインド
バイアホールであり、バイアホール6bは内層配線パター
ンとしての導体回路13bと13cの間を電気的に接続する
ベリードバイアホールであり、バイアホール6dは内層配
線パターンとしての導体回路13cと表面配線パターンと
しての導体回路13dとの間を電気的に接続するブライン
ドバイアホールであり、いずれもインターステシャルバ
イアホールを構成する。
The via hole 6a is made of an insulating hard substrate.
The via hole 6b is formed so as to penetrate the insulating substrates 12b and 12c and the adhesive layers 14b and 14c in the thickness direction. The via hole 6d is formed penetrating the insulating substrate 12d and the adhesive layer 14d in the thickness direction, and is filled with the conductive paste 5 respectively. Among these via holes, 6a is a blind via hole for electrically connecting between a conductor circuit 13a as a surface wiring pattern and 13b as an inner wiring pattern, and a via hole 6b is a conductor circuit 13b as an inner wiring pattern. A via hole 6d is a blind via hole for electrically connecting between the conductor circuit 13c as the inner layer wiring pattern and the conductor circuit 13d as the surface wiring pattern. And both constitute an interstitial via hole.

【0041】このような本発明にかかる多層プリント配
線板は、各種の電子部品を実装することができ、例え
ば、図6に二点鎖線で示すように、ICパッケージやベ
アチップ等のチップ部品8を表面配線パターン13aの所
定部位に搭載し、はんだ9により固定することができ
る。
The multilayer printed wiring board according to the present invention can mount various electronic components. For example, as shown by a two-dot chain line in FIG. 6, a chip component 8 such as an IC package or a bare chip is mounted on the multilayer printed wiring board. It can be mounted on a predetermined portion of the surface wiring pattern 13a and fixed by the solder 9.

【0042】〔他の実施例〕 (1) 前記実施例では、4層の片面回路基板が重ね合わさ
れた多層プリント配線板について説明したが、3層ある
いは5層以上の高多層の場合も同様に本発明を実施でき
るし、従来の方法で作成された片面プリント基板、両面
プリント基板、両面スルーホールプリント基板あるいは
多層プリント基板に本発明の片面回路基板を積層して多
層プリント配線板を製造することができる。 (2) 前記実施例では、バイアホールを形成するための穴
開け加工をレーザを照射する手段で行うと同時に、導体
回路にも貫通ピンホールを設けたが、この貫通ピンホー
ルの形成には、ドリル加工やパンチング加工等の機械的
手段を適用することもできる。この場合は、バイアホー
ルを形成するための穴開け加工をレーザを照射する方法
で行い、後に、開けた穴に接する導体回路にドリル加工
やパンチング加工等の機械的手段によって貫通ピンホー
ルを形成する。
[Other Embodiments] (1) In the above embodiment, a multi-layer printed wiring board in which four-layer single-sided circuit boards are superimposed has been described. The present invention can be practiced, and a single-sided printed circuit board, a double-sided printed circuit board, a double-sided through-hole printed circuit board, or a multilayer printed circuit board manufactured by a conventional method is laminated with the single-sided circuit board of the present invention to produce a multilayer printed wiring board. Can be. (2) In the embodiment, at the same time as performing the drilling process for forming a via hole by means of irradiating a laser, a through pinhole was also provided in the conductor circuit, but in the formation of the through pinhole, Mechanical means such as drilling and punching can also be applied. In this case, a drilling process for forming a via hole is performed by a method of irradiating a laser, and thereafter, a through-pin hole is formed in a conductor circuit in contact with the drilled hole by mechanical means such as drilling or punching. .

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る多層
プリント配線板用片面回路基板は、バイアホールの導電
性ペーストに接する導体回路に貫通ピンホールが設けら
れているので、導電性ペースト充填時にバイアホール内
に空気を巻き込むことはなく、他の回路基板との電気的
な接続信頼性に優れるものである。それ故に、本発明に
よれば、IVH構造の多層プリント配線板を高い歩留り
で効率良く製造するために必要な接続信頼性に優れた片
面回路基板を確実に提供することができる。また、本発
明に係る上記片面回路基板の製造方法によれば、レーザ
を利用した穴開け加工によって上記貫通ピンホールが効
率良く形成でき、接続信頼性に優れた片面回路基板を極
めて簡単な方法により安定して提供することができる。
さらに、上記片面回路基板で構成される本発明の多層プ
リント配線板は、回路基板どうしが接着剤層等によって
接合されている構造であるので、IVH構造を有する高
密度の多層プリント配線板として、複雑な製法によらず
に高い歩留りで容易に提供され得る。
As described above, in the single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board according to the present invention, since the through-holes are provided in the conductor circuit in contact with the conductive paste of the via holes, the conductive paste is filled. Occasionally, air is not entrained in the via hole, and the electrical connection reliability with other circuit boards is excellent. Therefore, according to the present invention, it is possible to reliably provide a single-sided circuit board excellent in connection reliability required for efficiently manufacturing a multilayer printed wiring board having an IVH structure with a high yield. According to the method for manufacturing a single-sided circuit board according to the present invention, the through-pin holes can be efficiently formed by drilling using a laser, and a single-sided circuit board with excellent connection reliability can be formed by an extremely simple method. Can be provided stably.
Furthermore, since the multilayer printed wiring board of the present invention composed of the single-sided circuit board has a structure in which circuit boards are joined to each other by an adhesive layer or the like, as a high-density multilayer printed wiring board having an IVH structure, It can be easily provided with a high yield without using a complicated manufacturing method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来技術に係る多層プリント配線板の一製造工
程を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing one manufacturing process of a multilayer printed wiring board according to a conventional technique.

【図2】本発明に係る片面回路基板の一実施例を示す縦
断面図である。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing one embodiment of a single-sided circuit board according to the present invention.

【図3】本発明に係る片面回路基板の他の実施例を示す
縦断面図である。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of the single-sided circuit board according to the present invention.

【図4】前記片面回路基板の製造工程の一例を示す縦断
面図である。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view illustrating an example of a manufacturing process of the single-sided circuit board.

【図5】本発明に係る多層プリント配線板の一製造工程
を示す縦断面図である。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing one manufacturing process of the multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図6】本発明に係る多層プリント配線板の一実施例を
示す縦断面図である。
FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing one embodiment of the multilayer printed wiring board according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 片面回路基板 2,2a,2b,2c,2d 絶縁性硬質基板 3,3a,3b,3c,3d 導体回路 4,4a,4b,4c,4d 接着剤層 5 導電性ペースト 6,6a,6b,6d バイアホール 7,7a,7b,7c,7d 貫通ピンホール 8 チップ部品 9 はんだ 11a, 11b, 11c, 11d 片面回路基板 12a, 12b, 12c, 12d 絶縁性硬質基板 13 金属箔 13a, 13b,13c, 13d 導体回路 14a, 14b, 14c, 14d 接着剤層 16 穴 17a, 17b, 17c, 17d 貫通ピンホール 18 穴の底の導体回路面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Single-sided circuit board 2, 2a, 2b, 2c, 2d Insulating hard board 3, 3a, 3b, 3c, 3d Conductor circuit 4, 4a, 4b, 4c, 4d Adhesive layer 5 Conductive paste 6, 6a, 6b, 6d Via hole 7, 7a, 7b, 7c, 7d Through pinhole 8 Chip component 9 Solder 11a, 11b, 11c, 11d Single-sided circuit board 12a, 12b, 12c, 12d Insulating hard board 13 Metal foil 13a, 13b, 13c, 13d Conductor circuit 14a, 14b, 14c, 14d Adhesive layer 16 holes 17a, 17b, 17c, 17d Through-pin hole 18 Conductor circuit surface at bottom of hole

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一方の面に導体回路を有する絶縁性硬質
基板に対し、この基板を貫通して前記導体回路に達する
穴に導電性ペーストを充填してインタースティシャルバ
イアホールとなるバイアホールを形成した多層プリント
配線板用片面回路基板において、前記導電性ペーストと
接する導体回路部分に貫通ピンホールが設けられている
ことを特徴とする多層プリント配線板用片面回路基板。
1. An insulating hard substrate having a conductive circuit on one surface is filled with a conductive paste into a hole penetrating the substrate and reaching the conductive circuit to form a via hole serving as an interstitial via hole. The formed single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board, wherein a through-hole is provided in a conductor circuit portion in contact with the conductive paste.
【請求項2】 上記貫通ピンホールは、導電性ペースト
が接する導体回路の面積S1に対するピンホールの面積
S2の比(S2/S1)が0.01〜0.40の範囲内である請
求項1記載の多層プリント配線板用片面回路基板。
2. The multilayer print according to claim 1, wherein a ratio (S2 / S1) of the area S2 of the pinhole to the area S1 of the conductor circuit in contact with the conductive paste is in the range of 0.01 to 0.40. Single-sided circuit board for wiring board.
【請求項3】 上記貫通ピンホールは、レーザの照射に
よる絶縁性硬質基板の穴開け加工時に同時に形成される
ものである請求項1記載の多層プリント配線板用片面回
路基板。
3. The single-sided circuit board for a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the through-holes are formed at the same time as drilling of the insulating hard substrate by laser irradiation.
【請求項4】 少なくとも下記〜の各工程、すなわ
ち、 .絶縁性硬質基板の片面に貼着した金属箔をエッチン
グすることにより導体回路を形成する工程、 .レーザの照射により、上記絶縁性硬質基板を貫通し
て導体回路に達する穴を形成すると同時に、この穴に接
する導体回路に貫通ピンホールを設ける工程、 .上記穴に導電性ペーストを充填する工程、 を経ることを特徴とする片面回路基板の製造方法。
4. At least each of the following steps: Forming a conductive circuit by etching a metal foil attached to one surface of an insulating hard substrate; Forming a hole penetrating through the insulating hard substrate and reaching the conductor circuit by irradiating the laser, and simultaneously forming a through-pin hole in the conductor circuit in contact with the hole; Filling the hole with a conductive paste. A method for manufacturing a single-sided circuit board, the method comprising:
【請求項5】 上記貫通ピンホールは、導電性ペースト
に接する導体回路の面積S1に対する貫通ピンホールの
面積S2の比(S2/S1)が0.01〜0.40の範囲内とな
るように設ける請求項4記載の製造方法。
5. The penetrating pinhole is provided so that the ratio (S2 / S1) of the area S2 of the penetrating pinhole to the area S1 of the conductor circuit in contact with the conductive paste is in the range of 0.01 to 0.40. The manufacturing method as described.
【請求項6】 回路基板の積層材がインタースティシャ
ルバイアホールを介してそれぞれ電気的に接続されてな
る構造の多層プリント配線板において、 前記回路基板の少なくとも一層が、上記請求項1〜3の
いずれか1に記載の片面回路基板で構成されていること
を特徴とする多層プリント配線板。
6. A multilayer printed wiring board having a structure in which laminated materials of a circuit board are electrically connected to each other through interstitial via holes, wherein at least one of the circuit boards has a structure as defined in claim 1 or 2. A multilayer printed wiring board, comprising the single-sided circuit board according to any one of the preceding claims.
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