JPH1026592A - Ｘ線式異物検査装置 - Google Patents
Ｘ線式異物検査装置Info
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- JPH1026592A JPH1026592A JP8180731A JP18073196A JPH1026592A JP H1026592 A JPH1026592 A JP H1026592A JP 8180731 A JP8180731 A JP 8180731A JP 18073196 A JP18073196 A JP 18073196A JP H1026592 A JPH1026592 A JP H1026592A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線検出器の端部を被検査物が通過するこ
とがあっても、確実にＸ線源のＸ線強度のゆらぎを補正
できるようにする。 【解決手段】 Ｘ線センサ４の各チャンネルの出力
は、順次転送されてオフセット・感度補償回路１０でオ
フセット除去、感度のばらつき補償がなされた後、補正
回路１３に入力されるとともに、Ｘ線センサの各両端部
の例えば各３チャンネル分のみが平均値演算回路１１に
入力されて、各両端部毎の平均値が演算され、この平均
値より判定回路１２が各両端部のデータの有効性を判定
する。一方、補正回路１３はＸ線センサの両端部のデー
タの有効性に応じてＸ線センサの各チャンネルの出力を
補正して次段の信号処理回路１４に送出する。そして、
信号処理回路１４では、補正回路１３の出力を用いてＸ
線透過像を作成し、ＴＶモニターに表示するとともに、
この出力に基づいてしきい値を自動的に設定し、このし
きい値に比べて当該出力信号が突出している場合、異物
ありと判定して警報を発する。
とがあっても、確実にＸ線源のＸ線強度のゆらぎを補正
できるようにする。 【解決手段】 Ｘ線センサ４の各チャンネルの出力
は、順次転送されてオフセット・感度補償回路１０でオ
フセット除去、感度のばらつき補償がなされた後、補正
回路１３に入力されるとともに、Ｘ線センサの各両端部
の例えば各３チャンネル分のみが平均値演算回路１１に
入力されて、各両端部毎の平均値が演算され、この平均
値より判定回路１２が各両端部のデータの有効性を判定
する。一方、補正回路１３はＸ線センサの両端部のデー
タの有効性に応じてＸ線センサの各チャンネルの出力を
補正して次段の信号処理回路１４に送出する。そして、
信号処理回路１４では、補正回路１３の出力を用いてＸ
線透過像を作成し、ＴＶモニターに表示するとともに、
この出力に基づいてしきい値を自動的に設定し、このし
きい値に比べて当該出力信号が突出している場合、異物
ありと判定して警報を発する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、食品類、化学合成
製品類及び各種原材料等に混入した異物検査装置に係
り、特に、Ｘ線を用いた異物検査装置に関する。
製品類及び各種原材料等に混入した異物検査装置に係
り、特に、Ｘ線を用いた異物検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１に一般的なＸ線式異物検査装置を示
す。図１において、１はベルトコンベアであり、被検査
物２が移送される。このベルトコンベア１の途中上方に
Ｘ線発生器３が設けられている。このＸ線発生器３は、
高電圧発生装置（図示せず）で所定値に設定された管電
圧及び管電流が印加されてＸ線を発生し、このＸ線はベ
ルトコンベア１上の被検査物２に照射される。
す。図１において、１はベルトコンベアであり、被検査
物２が移送される。このベルトコンベア１の途中上方に
Ｘ線発生器３が設けられている。このＸ線発生器３は、
高電圧発生装置（図示せず）で所定値に設定された管電
圧及び管電流が印加されてＸ線を発生し、このＸ線はベ
ルトコンベア１上の被検査物２に照射される。
【０００３】照射されたＸ線は、ベルトコンベア１上の
被検査物及び上側ベルトの一部で吸収及び散乱されてこ
れらを通過し、上側ベルトのすぐ下に配置されているＸ
線センサ４で検出される。Ｘ線センサ４は、入射Ｘ線量
に応じて発光するシンチレータシートと複数の光受光素
子と転送機能を有した１次元光検出器とが接着されて構
成されており、透過Ｘ線はまずシンチレータで光に変換
される。次いで、この光は光受光素子に捕捉されて電気
信号に変換され、この電気信号が所定の幅及び速度で走
査されて制御部５へ伝送される。
被検査物及び上側ベルトの一部で吸収及び散乱されてこ
れらを通過し、上側ベルトのすぐ下に配置されているＸ
線センサ４で検出される。Ｘ線センサ４は、入射Ｘ線量
に応じて発光するシンチレータシートと複数の光受光素
子と転送機能を有した１次元光検出器とが接着されて構
成されており、透過Ｘ線はまずシンチレータで光に変換
される。次いで、この光は光受光素子に捕捉されて電気
信号に変換され、この電気信号が所定の幅及び速度で走
査されて制御部５へ伝送される。
【０００４】制御部５はこの伝送信号からＸ線透過像を
作成してＴＶモニター６に表示するとともに、この伝送
信号に基づいてしきい値を自動的に設定し、このしきい
値に比べて当該伝送信号が突出している場合、異物あり
と判定し、ＴＶモニタ６ーヘ信号を送り、警報を発す
る。それとともに、異物を含んだ被検査物２がベルトコ
ンベア１の終端から落下する時間だけ時間遅れ処理を行
って仕分板（図示せず）を作動させ、異物を含む被検査
物を系外に排出する。
作成してＴＶモニター６に表示するとともに、この伝送
信号に基づいてしきい値を自動的に設定し、このしきい
値に比べて当該伝送信号が突出している場合、異物あり
と判定し、ＴＶモニタ６ーヘ信号を送り、警報を発す
る。それとともに、異物を含んだ被検査物２がベルトコ
ンベア１の終端から落下する時間だけ時間遅れ処理を行
って仕分板（図示せず）を作動させ、異物を含む被検査
物を系外に排出する。
【０００５】制御盤７は、しきい値の条件設定、仕分板
の作動遅れ時間の設定、Ｘ線発生器のＸ線管の管電圧及
び管電流の設定値の変更等の操作のために用いられる。
の作動遅れ時間の設定、Ｘ線発生器のＸ線管の管電圧及
び管電流の設定値の変更等の操作のために用いられる。
【０００６】このようなＸ線異物検査装置では、上記の
ように、ベルトコンベアにて被検査物をＸ線発生器とＸ
線センサとの間に流し、その透過像、又はデータにて異
物の有無の判定を行っているが、Ｘ線センサの検出器に
は各素子毎に異なる固有のオフセットがあり、また、各
素子毎の感度のばらつきがある。したがって、従来、各
素子毎に異なる固有のオフセットは事前にＸ線非照射時
にオフセットデータを取得し、減算することで解決して
おり、また、各素子毎の感度のばらつきは、Ｘ線照射時
のデータを取得し（オフセット減算補正済み）除算テー
ブルとして持つことにより解決を図っている。
ように、ベルトコンベアにて被検査物をＸ線発生器とＸ
線センサとの間に流し、その透過像、又はデータにて異
物の有無の判定を行っているが、Ｘ線センサの検出器に
は各素子毎に異なる固有のオフセットがあり、また、各
素子毎の感度のばらつきがある。したがって、従来、各
素子毎に異なる固有のオフセットは事前にＸ線非照射時
にオフセットデータを取得し、減算することで解決して
おり、また、各素子毎の感度のばらつきは、Ｘ線照射時
のデータを取得し（オフセット減算補正済み）除算テー
ブルとして持つことにより解決を図っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｘ線発
生器は７０ｋＶ程度の高電圧を発生する制御器の技術的
制約により、Ｘ線強度が変動（脈動）することがあり、
上記のような補正を行っても、Ｘ線の脈動に反映したゆ
らぎが画像に発生し、異物の判別能力を低下させてい
た。このような被検査物に照射するＸ線自体の変動を補
正するため、Ｘ線ＣＴ装置では、多チャンネル検出器の
両端の各数チャンネルずつを参照チャンネルとして補正
を行っている。即ち、この参照チャンネルには被写体を
通らないＸ線が入射するよう被写体のポジショニングを
行い、この参照チャンネルのデータでＸ線の変動等を知
り、これによって被写体を通ったＸ線が入射する他のチ
ャンネルのデータ補正を行っている。Ｘ線異物検査装置
においても、このようにＸ線センサの各両端部数素子の
平均データによりＸ線強度の補正を行うことも可能であ
るが、実際の検査装置ではＸ線センサの端部にも被検査
物が通過することが十分起こりうるので、実用上このよ
うな補正を行うことは困難であった。
生器は７０ｋＶ程度の高電圧を発生する制御器の技術的
制約により、Ｘ線強度が変動（脈動）することがあり、
上記のような補正を行っても、Ｘ線の脈動に反映したゆ
らぎが画像に発生し、異物の判別能力を低下させてい
た。このような被検査物に照射するＸ線自体の変動を補
正するため、Ｘ線ＣＴ装置では、多チャンネル検出器の
両端の各数チャンネルずつを参照チャンネルとして補正
を行っている。即ち、この参照チャンネルには被写体を
通らないＸ線が入射するよう被写体のポジショニングを
行い、この参照チャンネルのデータでＸ線の変動等を知
り、これによって被写体を通ったＸ線が入射する他のチ
ャンネルのデータ補正を行っている。Ｘ線異物検査装置
においても、このようにＸ線センサの各両端部数素子の
平均データによりＸ線強度の補正を行うことも可能であ
るが、実際の検査装置ではＸ線センサの端部にも被検査
物が通過することが十分起こりうるので、実用上このよ
うな補正を行うことは困難であった。
【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたもので、Ｘ線検出器の端部を被検査物が通過
することがあっても、確実にＸ線源のＸ線強度のゆらぎ
を補正することができるＸ線式異物検査装置を提供する
ことを目的とするものである。
になされたもので、Ｘ線検出器の端部を被検査物が通過
することがあっても、確実にＸ線源のＸ線強度のゆらぎ
を補正することができるＸ線式異物検査装置を提供する
ことを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のＸ線式異物検査装置は、入射Ｘ線量に応じ
た出力を発生する複数のＸ線検出素子を有する１次元放
射線検出器と、Ｘ線管等のＸ線源と、ベルトコンベアな
どの移送装置とからなるＸ線式異物検査装置において、
１次元放射線検出器の各両端部数素子の出力の平均値よ
り端部平均データを求める平均値演算手段と、この端部
平均データと基準値とを比較し、端部平均データが基準
値以上の場合に両端部データが有効データであると判定
する判定手段とを備え、この判定手段の出力によって１
次元放射線検出器の各素子の出力の補正を制御すること
を特徴とする。
め、本発明のＸ線式異物検査装置は、入射Ｘ線量に応じ
た出力を発生する複数のＸ線検出素子を有する１次元放
射線検出器と、Ｘ線管等のＸ線源と、ベルトコンベアな
どの移送装置とからなるＸ線式異物検査装置において、
１次元放射線検出器の各両端部数素子の出力の平均値よ
り端部平均データを求める平均値演算手段と、この端部
平均データと基準値とを比較し、端部平均データが基準
値以上の場合に両端部データが有効データであると判定
する判定手段とを備え、この判定手段の出力によって１
次元放射線検出器の各素子の出力の補正を制御すること
を特徴とする。
【００１０】本発明のＸ線異物検査装置は、上記のよう
に構成されており、検査装置の端部に被検査物が通過し
た場合、Ｘ線が減衰されて端部素子の出力が減少し、通
常の値より極端に小さな値となる。このとき、上記判定
手段が１次元放射線検出器の各端部素子のデータが有効
か否か判定し、有効でない場合、例えば片方の端部素子
のデータだけが有効な場合には、その片方の端部素子デ
ータのみを使って１次元放射線検出器の各素子のデータ
についてＸ線の強度変化の補正を行い、また、万が一両
端に被検査物が通過し、両端の端部素子データとも無効
になった場合には、直前の有効データによって補正を行
うよう、１次元放射線検出器の各端部素子のデータの補
正を制御する。
に構成されており、検査装置の端部に被検査物が通過し
た場合、Ｘ線が減衰されて端部素子の出力が減少し、通
常の値より極端に小さな値となる。このとき、上記判定
手段が１次元放射線検出器の各端部素子のデータが有効
か否か判定し、有効でない場合、例えば片方の端部素子
のデータだけが有効な場合には、その片方の端部素子デ
ータのみを使って１次元放射線検出器の各素子のデータ
についてＸ線の強度変化の補正を行い、また、万が一両
端に被検査物が通過し、両端の端部素子データとも無効
になった場合には、直前の有効データによって補正を行
うよう、１次元放射線検出器の各端部素子のデータの補
正を制御する。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のＸ線式異物検査装置の一
実施例を図１〜３に基づいて説明する。
実施例を図１〜３に基づいて説明する。
【００１２】基本的な構成は一般的なＸ線式異物検査装
置と同様で、図１に示すように、ベルトコンベア１、Ｘ
線発生器３、Ｘ線センサ４、制御部５、ＴＶモニター６
及び制御盤７によって構成されており、ベルトコンベア
１の途中上方に設けられたＸ線発生器３からＸ線が発生
され、このＸ線はベルトコンベア１上を移送される被検
査物２に照射される。
置と同様で、図１に示すように、ベルトコンベア１、Ｘ
線発生器３、Ｘ線センサ４、制御部５、ＴＶモニター６
及び制御盤７によって構成されており、ベルトコンベア
１の途中上方に設けられたＸ線発生器３からＸ線が発生
され、このＸ線はベルトコンベア１上を移送される被検
査物２に照射される。
【００１３】照射されたＸ線は、ベルトコンベア１上の
被検査物及び上側ベルトの一部で吸収及び散乱されてこ
れらを通過し、上側ベルトのすぐ下に配置されているＸ
線センサ４で検出される。Ｘ線センサ４は、入射Ｘ線量
に応じて発光するシンチレータシートと複数の光受光素
子と転送機能を有した１次元光検出器とが接着されて構
成されており、透過Ｘ線はまずシンチレータで光に変換
される。次いで、この光は光受光素子に捕捉されて電気
信号に変換され、この電気信号が所定の幅及び速度で走
査されて制御部５へ伝送される。
被検査物及び上側ベルトの一部で吸収及び散乱されてこ
れらを通過し、上側ベルトのすぐ下に配置されているＸ
線センサ４で検出される。Ｘ線センサ４は、入射Ｘ線量
に応じて発光するシンチレータシートと複数の光受光素
子と転送機能を有した１次元光検出器とが接着されて構
成されており、透過Ｘ線はまずシンチレータで光に変換
される。次いで、この光は光受光素子に捕捉されて電気
信号に変換され、この電気信号が所定の幅及び速度で走
査されて制御部５へ伝送される。
【００１４】このとき、図２に示すように、Ｘ線センサ
４の長さ方向の幅は被検査物２の幅に対して十分大きい
ので、通常はＸ線センサの両端部のチャンネルには被検
査物を透過しないＸ線が入射するので、この両端の数チ
ャンネルのデータの平均値を用いて、Ｘ線センサの各チ
ャンネルの出力を補正することにより、Ｘ線の強度変化
の影響を除去して異物検査を行うことができる。しかし
ながら、この端部に被検査物を透過したＸ線が入射する
と、端部素子の出力が減少して通常の値より極端に小さ
な値となるので、この値によってＸ線センサの各チャン
ネルの出力を補正すると、その時点の透過像は極端に異
なったものとなるので、異物を検出できないという事態
になる。
４の長さ方向の幅は被検査物２の幅に対して十分大きい
ので、通常はＸ線センサの両端部のチャンネルには被検
査物を透過しないＸ線が入射するので、この両端の数チ
ャンネルのデータの平均値を用いて、Ｘ線センサの各チ
ャンネルの出力を補正することにより、Ｘ線の強度変化
の影響を除去して異物検査を行うことができる。しかし
ながら、この端部に被検査物を透過したＸ線が入射する
と、端部素子の出力が減少して通常の値より極端に小さ
な値となるので、この値によってＸ線センサの各チャン
ネルの出力を補正すると、その時点の透過像は極端に異
なったものとなるので、異物を検出できないという事態
になる。
【００１５】そこで、本発明のＸ線異物検査装置では、
Ｘ線センサの両端部のチャンネルのデータが有効か否か
判別して補正に使用するかどうかを決定している。
Ｘ線センサの両端部のチャンネルのデータが有効か否か
判別して補正に使用するかどうかを決定している。
【００１６】以下、図３によりＸ線センサの両端部のチ
ャンネルデータの有効性の判別方法及びＸ線センサの各
チャンネルのデータの補正方法について説明する。
ャンネルデータの有効性の判別方法及びＸ線センサの各
チャンネルのデータの補正方法について説明する。
【００１７】まず、Ｘ線センサ４の各チャンネルの出力
は、制御部５に順次転送されて制御部５内のオフセット
・感度補償回路１０に入力され、ここでＸ線非照射時に
取得されたオフセットデータを減算することによって各
素子毎のオフセットが除去された後、検査前のＸ線照射
時に得た各素子のデータから作成した除算テーブルを用
いて各素子の感度のばらつきが補償される。このオフセ
ット・感度補償回路１０の出力は補正回路１３に入力さ
れるとともに、Ｘ線センサ４の各両端部の、例えば各３
チャンネル分のみが平均値演算回路１１に入力されて、
各両端部毎の平均値が演算され、この各平均値が補正回
路１３と判定回路１２に入力される。判定回路１２で
は、Ｘ線センサ４の両端部３チャンネル分の平均値をそ
れぞれ所定値と比較して所定値以上の場合には、その端
部のデータが有効と判断し、所定値以下の場合には無効
と判断して、各両端部のデータの有効性に関する判別信
号を補正回路１３に出力する。そして、Ｘ線センサ４の
両端部のデータが両方とも有効な場合には、補正回路１
３は、各両端部の平均値データの平均値を求めて、この
平均値によりＸ線センサ４の各チャンネルの出力を除算
した結果を次段の信号処理回路１４に送出する。また、
Ｘ線センサ４の端部の一方のデータのみが有効な場合に
は、有効な方のデータのみを用いてＸ線センサの各チャ
ンネルの出力を除算して次段の信号処理回路１４に送出
する。一方、Ｘ線センサの各両端部のデータが両方とも
所定値よりも小さく無効なデータの場合には、補正手段
１３は直前の有効データを用いてＸ線センサの各チャン
ネルの出力を除算して次段の信号処理回路１４に送出す
る。
は、制御部５に順次転送されて制御部５内のオフセット
・感度補償回路１０に入力され、ここでＸ線非照射時に
取得されたオフセットデータを減算することによって各
素子毎のオフセットが除去された後、検査前のＸ線照射
時に得た各素子のデータから作成した除算テーブルを用
いて各素子の感度のばらつきが補償される。このオフセ
ット・感度補償回路１０の出力は補正回路１３に入力さ
れるとともに、Ｘ線センサ４の各両端部の、例えば各３
チャンネル分のみが平均値演算回路１１に入力されて、
各両端部毎の平均値が演算され、この各平均値が補正回
路１３と判定回路１２に入力される。判定回路１２で
は、Ｘ線センサ４の両端部３チャンネル分の平均値をそ
れぞれ所定値と比較して所定値以上の場合には、その端
部のデータが有効と判断し、所定値以下の場合には無効
と判断して、各両端部のデータの有効性に関する判別信
号を補正回路１３に出力する。そして、Ｘ線センサ４の
両端部のデータが両方とも有効な場合には、補正回路１
３は、各両端部の平均値データの平均値を求めて、この
平均値によりＸ線センサ４の各チャンネルの出力を除算
した結果を次段の信号処理回路１４に送出する。また、
Ｘ線センサ４の端部の一方のデータのみが有効な場合に
は、有効な方のデータのみを用いてＸ線センサの各チャ
ンネルの出力を除算して次段の信号処理回路１４に送出
する。一方、Ｘ線センサの各両端部のデータが両方とも
所定値よりも小さく無効なデータの場合には、補正手段
１３は直前の有効データを用いてＸ線センサの各チャン
ネルの出力を除算して次段の信号処理回路１４に送出す
る。
【００１８】そして、信号処理回路１４では、補正回路
１３の出力を用いてＸ線透過像を作成し、ＴＶモニタ６
ーに表示するとともに、この出力に基づいてしきい値を
自動的に設定し、このしきい値に比べて当該出力信号が
突出している場合、異物ありと判定し、ＴＶモニター６
へ信号を送り、警報を発する。それとともに、上述した
ように、異物を含んだ被検査物２がベルトコンベア１の
終端から落下する時間だけ時間遅れ処理を行って仕分板
（図示せず）を作動させ、異物を含む被検査物を系外に
排出する。
１３の出力を用いてＸ線透過像を作成し、ＴＶモニタ６
ーに表示するとともに、この出力に基づいてしきい値を
自動的に設定し、このしきい値に比べて当該出力信号が
突出している場合、異物ありと判定し、ＴＶモニター６
へ信号を送り、警報を発する。それとともに、上述した
ように、異物を含んだ被検査物２がベルトコンベア１の
終端から落下する時間だけ時間遅れ処理を行って仕分板
（図示せず）を作動させ、異物を含む被検査物を系外に
排出する。
【００１９】上記実施例では、オフセット・感度補償回
路１０、平均値演算回路１１、判定回路１２、補正回路
１３等をハード回路によって構成する例を説明したが、
制御部５内のＣＰＵによりソフト的に処理することも可
能である。
路１０、平均値演算回路１１、判定回路１２、補正回路
１３等をハード回路によって構成する例を説明したが、
制御部５内のＣＰＵによりソフト的に処理することも可
能である。
【００２０】以下、端部素子出力が有効か否かの判定を
ソフト的に行う方法を図４のフローチャートにより説明
する。
ソフト的に行う方法を図４のフローチャートにより説明
する。
【００２１】まず、Ｘ線センサの各チャンネルの出力を
順次取込んだ後、この出力データからＸ線非照射時に取
得されたオフセットデータを減算することによって各素
子毎のオフセットを除去するとともに、検査前のＸ線照
射時に得た各素子のデータから作成した除算テーブルを
用いて各素子の感度のばらつきを補償する。次に、オフ
セット・感度補償を行ったＸ線センサの各チャンネルの
出力のうち、Ｘ線センサの各両端部の、例えば各３チャ
ンネル分のみのデータの平均値を演算し、各平均値をそ
れぞれ所定値と比較する。そして、両方の平均値が所定
値以上の場合には、各両端部の平均値データの平均値を
求めて、これを有効データとする。一方、平均値の片方
のデータのみが所定値以上の場合には、所定値以上の方
の端部データの平均値を有効データにする。また、両方
の平均値が所定値よりも小さく無効なデータの場合に
は、前回の有効データを再度有効データとして採用す
る。そして、得られた有効データによってＸ線センサの
各チャンネルの出力を除算してＸ線源のＸ線強度のゆら
ぎを補正したデータを得る。以下、同様にこのデータを
使用してＸ線透過像を作成するとともに、このデータに
基づいてしきい値を自動的に設定し、このしきい値に比
べて当該出力信号が突出している場合、異物ありと判定
する。
順次取込んだ後、この出力データからＸ線非照射時に取
得されたオフセットデータを減算することによって各素
子毎のオフセットを除去するとともに、検査前のＸ線照
射時に得た各素子のデータから作成した除算テーブルを
用いて各素子の感度のばらつきを補償する。次に、オフ
セット・感度補償を行ったＸ線センサの各チャンネルの
出力のうち、Ｘ線センサの各両端部の、例えば各３チャ
ンネル分のみのデータの平均値を演算し、各平均値をそ
れぞれ所定値と比較する。そして、両方の平均値が所定
値以上の場合には、各両端部の平均値データの平均値を
求めて、これを有効データとする。一方、平均値の片方
のデータのみが所定値以上の場合には、所定値以上の方
の端部データの平均値を有効データにする。また、両方
の平均値が所定値よりも小さく無効なデータの場合に
は、前回の有効データを再度有効データとして採用す
る。そして、得られた有効データによってＸ線センサの
各チャンネルの出力を除算してＸ線源のＸ線強度のゆら
ぎを補正したデータを得る。以下、同様にこのデータを
使用してＸ線透過像を作成するとともに、このデータに
基づいてしきい値を自動的に設定し、このしきい値に比
べて当該出力信号が突出している場合、異物ありと判定
する。
【００２２】なお、上記実施例では、Ｘ線センサとし
て、入射Ｘ線量に応じて発光するシンチレータシートと
複数の光受光素子と転送機能を有した１次元光検出器と
で構成されたセンサを用いた例を説明したが、Ｘ線セン
サは透過Ｘ線を電気信号に変換できるものであればなん
でもよく、半導体Ｘ線検出器等を用いることもできる。
また、上記実施例では、１次元放射線検出器の端部素子
出力の各平均値を所定値と比較して各端部素子のデータ
が有効か否かを判定し、両方有効な場合、片方のみ有効
な場合、両方とも無効な場合に分けて１次元放射線検出
器の各素子のデータの補正を制御したが、両端部素子出
力すべての平均値を所定値と比較して単に端部素子の出
力が有効か否か判別して１次元放射線検出器の各素子の
データの補正を制御してもよい。
て、入射Ｘ線量に応じて発光するシンチレータシートと
複数の光受光素子と転送機能を有した１次元光検出器と
で構成されたセンサを用いた例を説明したが、Ｘ線セン
サは透過Ｘ線を電気信号に変換できるものであればなん
でもよく、半導体Ｘ線検出器等を用いることもできる。
また、上記実施例では、１次元放射線検出器の端部素子
出力の各平均値を所定値と比較して各端部素子のデータ
が有効か否かを判定し、両方有効な場合、片方のみ有効
な場合、両方とも無効な場合に分けて１次元放射線検出
器の各素子のデータの補正を制御したが、両端部素子出
力すべての平均値を所定値と比較して単に端部素子の出
力が有効か否か判別して１次元放射線検出器の各素子の
データの補正を制御してもよい。
【００２３】
【発明の効果】本願の発明は上記のように構成されてお
り、判定手段が１次元放射線検出器の各端部素子のデー
タが有効か否かを判定することにより、検査装置の端部
に被検査物が通過したか否かを判定し、その判定結果に
応じて１次元放射線検出器の各素子のデータの補正を制
御しているので、Ｘ線検出器の端部を被検査物が通過す
ることがあっても、確実にＸ線源のＸ線強度のゆらぎを
補正することができる。
り、判定手段が１次元放射線検出器の各端部素子のデー
タが有効か否かを判定することにより、検査装置の端部
に被検査物が通過したか否かを判定し、その判定結果に
応じて１次元放射線検出器の各素子のデータの補正を制
御しているので、Ｘ線検出器の端部を被検査物が通過す
ることがあっても、確実にＸ線源のＸ線強度のゆらぎを
補正することができる。
【図１】本発明のＸ線異物検査装置の基本的構成を示す
図である。
図である。
【図２】被検査物とＸ線発生器及びＸ線センサとの位置
関係を示す図である。
関係を示す図である。
【図３】Ｘ線センサの各素子の補正を行う回路を示す図
である。
である。
【図４】Ｘ線センサの各素子の補正を行うフローチャー
トを示す図である。
トを示す図である。
１ ベルトコンベア ２ 被検査物 ３ Ｘ線発生器 ４ Ｘ線センサ ５ 制御部 ６ ＴＶモニター ７ 制御盤 １０ オフセット・感度補
償回路 １１ 平均値演算回路 １２ 判定回路 １３ 補正回路 １４信号処理回路
償回路 １１ 平均値演算回路 １２ 判定回路 １３ 補正回路 １４信号処理回路
Claims (1)
- 【請求項１】 入射Ｘ線量に応じた出力を発生する複数
のＸ線検出素子を有する１次元放射線検出器と、Ｘ線管
等のＸ線源と、ベルトコンベヤなどの移送装置とからな
るＸ線式異物検査装置において、１次元放射線検出器の
各両端部数素子の出力の平均値より端部平均データを求
める平均値演算手段と、この端部平均データと基準値と
を比較し、端部平均データが基準値以上の場合に両端部
データが有効データであると判定する判定手段とを備
え、この判定手段の出力によって１次元放射線検出器の
各素子の出力の補正を制御することを特徴とするＸ線式
異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8180731A JPH1026592A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Ｘ線式異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8180731A JPH1026592A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Ｘ線式異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1026592A true JPH1026592A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16088326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8180731A Pending JPH1026592A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Ｘ線式異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1026592A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001307069A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Anritsu Corp | 画像処理による異物検出方法および装置 |
| JP2002131247A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-09 | Anritsu Corp | Ｘ線異物検出装置 |
| JP2006071423A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
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| CN103675933A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-03-26 | 吉林大学 | 高速公路绿色通道x射线检测方法 |
| JP2014145616A (ja) * | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | Ｘ線検査装置及び方法 |
| CN108088861A (zh) * | 2018-01-24 | 2018-05-29 | 泰州新源电工器材有限公司 | 一种变压器绝缘纸板内金属异物在线检测装置 |
| CN112925034A (zh) * | 2019-11-20 | 2021-06-08 | 日本株式会社日立高新技术科学 | X射线检查装置和x射线检查方法 |
-
1996
- 1996-07-10 JP JP8180731A patent/JPH1026592A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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