JPH1015357A - Treatment of waste water - Google Patents
Treatment of waste waterInfo
- Publication number
- JPH1015357A JPH1015357A JP17105596A JP17105596A JPH1015357A JP H1015357 A JPH1015357 A JP H1015357A JP 17105596 A JP17105596 A JP 17105596A JP 17105596 A JP17105596 A JP 17105596A JP H1015357 A JPH1015357 A JP H1015357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- membrane module
- membrane
- filtration membrane
- raw water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、２段以上の多段に連結
した分離膜として限外ろ過膜または精密ろ過膜を用いて
排水を膜処理する方法に関するものであり、詳しくは濃
縮をおこなうことによって、濃縮水の容量を減少させる
排水の処理方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for membrane treatment of wastewater using an ultrafiltration membrane or a microfiltration membrane as a separation membrane connected in two or more stages. The present invention relates to a method for treating wastewater in which the capacity of concentrated water is reduced.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、シリコンウエハーの研磨・切削排
水等の微粒子を含む排水は、薬品添加後に凝集沈殿処理
されていた。上記凝集沈殿処理では、処理水の清澄度が
不充分であり、また処理水は再利用できないことから、
近年限外ろ過法または精密ろ過法を用いて排水の微粒子
を除去性を高め、かつ処理水を半導体製造工程で再利用
する方法が実施されるようになってきた。2. Description of the Related Art Conventionally, wastewater containing fine particles, such as polishing and cutting wastewater for silicon wafers, has been subjected to coagulation sedimentation treatment after chemical addition. In the coagulation sedimentation treatment, the clarity of the treated water is insufficient, and the treated water cannot be reused.
In recent years, a method of improving the removability of fine particles in wastewater by using an ultrafiltration method or a microfiltration method, and reusing treated water in a semiconductor manufacturing process has come into practice.
【０００３】しかし、限外ろ過法や精密ろ過法は排水を
透過水（処理水）と濃縮水とに分離する方法であるた
め、濃縮水が産業廃棄物として発生するという問題点が
ある。従って、濃縮水容量をできるだけ小さくすること
が、環境保全にも経済的にも肝要であり、それを達成す
ることによって実用的な排水処理方法となる。However, since the ultrafiltration method and the microfiltration method separate wastewater into permeated water (treated water) and concentrated water, there is a problem that concentrated water is generated as industrial waste. Therefore, minimizing the concentration of the concentrated water as much as possible is important for both environmental protection and economy, and by achieving this, it becomes a practical wastewater treatment method.
【０００４】また、近年排水処理において使用される膜
モジュールとしては、大量処理に適した中空糸型やスパ
イラル型などが多く用いられる。ところが、大量処理に
適した膜モジュールは膜の充填密度が高いため処理すべ
き被処理水の流路が小さくなっている。従って、微粒子
を除去する場合、濃縮度を高めると膜モジュールの原水
流路を閉塞させ、その結果、処理能力の低下をもたら
す。そのため、シリコンウエハーの研磨・切削排水を処
理する場合、微粒子濃度は５０００ｍｇ／Ｌ以下に抑え
る必要があり、排水中の微粒子濃度が１０〜２５０ｍｇ
／Ｌであるため２０から５００倍までしか濃縮できなか
った。In recent years, as a membrane module used in wastewater treatment, a hollow fiber type or a spiral type suitable for large-scale treatment is often used. However, a membrane module suitable for mass processing has a high packing density of the membrane, so that the flow path of the water to be treated is small. Therefore, when removing fine particles, increasing the degree of concentration blocks the raw water flow path of the membrane module, and as a result, lowers the processing capacity. Therefore, when treating the polishing and cutting wastewater of a silicon wafer, the concentration of the fine particles needs to be suppressed to 5000 mg / L or less, and the concentration of the fine particles in the wastewater is 10 to 250 mg.
/ L, it could only be concentrated from 20 to 500 times.
【０００５】かかる濃縮水の問題解決のため、濃縮度を
増大させるために濃縮水を遠心分離処理する方法が特願
昭６３−４３３４９などに開示されている。しかし、遠
心分離器を高速回転するためドラムや軸受けなどの磨耗
が激しく安定した運転が困難である。さらには、メンテ
ナンスのために労力と費用がかかり実用的ではない。従
って、微粒子を含む排水の処理において、高濃縮運転を
安定して実施できる方法であって、経済的に実用性を有
する方法が望まれている。To solve the problem of the concentrated water, a method of centrifuging the concentrated water to increase the concentration is disclosed in Japanese Patent Application No. 63-43349. However, since the centrifugal separator rotates at high speed, abrasion of the drums and bearings is severe, and stable operation is difficult. Furthermore, maintenance is laborious and costly and impractical. Therefore, in the treatment of wastewater containing fine particles, a method that can stably perform a high concentration operation and that is economically practical has been desired.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の問題点を解決するためになされたものであって、微粒
子を除去する排水処理において、限外ろ過膜または精密
ろ過膜を用いて排水を膜処理する方法であり、微粒子の
高濃縮を安定して行う実用的な排水の処理方法を提供す
るものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art. In a waste water treatment for removing fine particles, a waste water is treated using an ultrafiltration membrane or a microfiltration membrane. The present invention provides a practical wastewater treatment method for stably performing high concentration of fine particles.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の排水の処理方法
は、２段以上の多段に連結した分離膜を用いて排水を膜
処理する方法において、該分離膜が限外ろ過膜または精
密ろ過膜であって、第１段に原水流路幅 0.1ｍｍ以上２
ｍｍ以下のろ過膜モジュールＡを用い、後段には原水流
路幅５ｍｍ以上１５ｍｍ以下のろ過膜モジュールＢを用
いることを特徴とする。According to the present invention, there is provided a method for treating wastewater, comprising the steps of treating a wastewater using a separation membrane connected in two or more stages, wherein the separation membrane is an ultrafiltration membrane or a microfiltration membrane. The first stage is a raw water flow channel width of 0.1 mm or more 2
It is characterized in that a filtration membrane module A having a width of 5 mm or less and a filtration membrane module B having a width of 5 mm or more and 15 mm or less are used in the subsequent stage.
【０００８】[0008]
【発明を実施の形態】本発明で用いられるろ過膜モジュ
ールＡとして、原水流路幅 0.1ｍｍ以上２ｍｍ以下のろ
過膜モジュールを用いるが、上記原水流路幅とは、原水
が膜モジュール内を流れるときの流路大きさのことをい
う。上記原水流路幅が 0.1ｍｍ未満の場合は微粒子を含
む排水では流路が閉塞し、使用できなくなる。一方、上
記原水流路幅が２ｍｍを越える場合は膜モジュール内の
膜の充填密度が低下し所定の処理を行うのに大量の膜モ
ジュールが必要となり、設備コスト、運転コストや設置
スペースがかさむため実用的ではない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a filtration membrane module A used in the present invention, a filtration membrane module having a raw water channel width of 0.1 mm or more and 2 mm or less is used. It means the size of the flow path at the time. If the width of the raw water flow path is less than 0.1 mm, the flow path will be blocked with wastewater containing fine particles, making it unusable. On the other hand, if the width of the raw water flow path exceeds 2 mm, the packing density of the membrane in the membrane module is reduced, and a large amount of the membrane module is required to perform a predetermined process, and equipment costs, operation costs, and installation space are increased. Not practical.
【０００９】本発明の原水流路幅 0.1ｍｍ以上２ｍｍ以
下のろ過膜モジュールＡとしては、特に限定されるもの
ではないが、大容量型の膜モジュールであることが好ま
しく、中空糸型膜モジュール、スパイラル型膜モジュー
ルやプレートアンドフレーム型膜モジュール等が挙げら
れる。The filtration membrane module A of the present invention having a raw water flow path width of 0.1 mm or more and 2 mm or less is not particularly limited, but is preferably a large capacity type membrane module, and a hollow fiber type membrane module, Spiral type membrane modules, plate and frame type membrane modules and the like can be mentioned.
【００１０】上記中空糸型膜モジュールであれば、中空
糸膜の内側から外側へ圧力をかける場合は、中空糸膜の
内部が円形の流路であって、中空糸膜の内径が原水流路
幅となり、中空糸膜の外側から内側へ圧力をかける場合
は、中空糸膜同士の間隔の隙間が流路となり中空糸膜同
士を隔てる距離が原水流路幅となる。In the above hollow fiber membrane module, when pressure is applied from the inside to the outside of the hollow fiber membrane, the inside of the hollow fiber membrane is a circular flow path, and the inside diameter of the hollow fiber membrane is the raw water flow path. When pressure is applied from the outside to the inside of the hollow fiber membrane, the gap between the hollow fiber membranes becomes a flow path, and the distance separating the hollow fiber membranes becomes the raw water flow path width.
【００１１】上記スパイラル型膜モジュールであれば、
膜を背中合わせに貼り合わせた膜封筒が渦巻き状に巻か
れており膜封筒同士の隙間が原水流路幅となる。With the above spiral type membrane module,
A membrane envelope in which the membranes are bonded back to back is spirally wound, and the gap between the membrane envelopes becomes the width of the raw water flow path.
【００１２】上記プレートアンドフレーム型膜モジュー
ルであれば、各プレートに貼られた膜同士を隔てる距離
が原水流路幅となる。上記ろ過膜モジュールＡに用いら
れる限外ろ過膜または精密ろ過膜の膜材質としては、特
に限定されないが、ポリオレフィン、ポリスルホン、ポ
リアクリロニトリル、ポリアミド、ポリフッ化ビニリデ
ンなどを用いることができ、好ましくは透過流束が高い
ポリスルホンやポリオレフィンが用いられる。In the plate and frame type membrane module, the distance separating the membranes attached to each plate is the width of the raw water flow path. The membrane material of the ultrafiltration membrane or the microfiltration membrane used in the filtration membrane module A is not particularly limited, but polyolefin, polysulfone, polyacrylonitrile, polyamide, polyvinylidene fluoride, or the like can be used. Polysulfone or polyolefin having a high bundle is used.
【００１３】本発明で用いられる後段の原水流路幅５ｍ
ｍ以上１５ｍｍ以下のろ過膜モジュールＢにおいて、上
記原水流路幅が５ｍｍ未満の場合は微粒子濃度が５００
０ｍｇ／Ｌを越えると流路が微粒子で閉塞してしまい、
短時間で透過流束の性能が低下するので、実用的でな
い。[0013] The width of the raw water flow path in the latter stage used in the present invention is 5 m.
In the filtration membrane module B having a size of not less than m and not more than 15 mm, when the raw water flow path width is less than 5 mm, the fine particle concentration is 500
If it exceeds 0 mg / L, the flow path will be blocked by fine particles,
It is not practical because the permeation flux performance is reduced in a short time.
【００１４】一方、上記原水流路幅が１５ｍｍを越える
場合は膜モジュール内の膜の充填密度が低下し所定の処
理を行うのに大量の膜モジュールが必要となり、設備コ
スト、運転コストや設置スペースがかさむため実用的で
はない。本発明のろ過膜モジュールＢとしては、管型
（チューブラー型）膜モジュール、浸漬型膜モジュール
や回転平膜型膜モジュール等が挙げられ、管型（チュー
ブラー型）膜モジュールが特に好ましく用いられる。On the other hand, if the width of the raw water flow path exceeds 15 mm, the packing density of the membrane in the membrane module decreases, and a large amount of membrane modules are required to perform a predetermined process. It is not practical because it is bulky. Examples of the filtration membrane module B of the present invention include a tubular (tubular) membrane module, a submerged membrane module, a rotating flat membrane type membrane module, and the like, and a tubular (tubular) membrane module is particularly preferably used. .
【００１５】上記ろ過膜モジュールＢに用いられる限外
ろ過膜または精密ろ過膜の膜材質としては、特に限定さ
れないが、ポリオレフィン、ポリスルホン、ポリアクリ
ロニトリル、ポリアミド、ポリフッ化ビニリデンなどを
用いることができ、好ましくは透過流束が高いポリスル
ホンやポリオレフィンが用いられる。The membrane material of the ultrafiltration membrane or the microfiltration membrane used for the filtration membrane module B is not particularly limited, but polyolefin, polysulfone, polyacrylonitrile, polyamide, polyvinylidene fluoride and the like can be used. Polysulfone or polyolefin having a high permeation flux is used.
【００１６】上記第１段と後段のろ過膜モジュールの膜
材質の組合せとしては、第１段としてポリスルホンまた
はポリオレフィン、後段としてポリオレフィンという組
合せが好ましく用いられる。As the combination of the membrane materials of the first and second filtration membrane modules, a combination of polysulfone or polyolefin as the first stage and polyolefin as the second stage is preferably used.
【００１７】上記第１段と後段のろ過膜モジュールのモ
ジュール構造の組合せとしては、第１段としては中空糸
型膜モジュール、全ての後段において管型（チューブラ
ー型）膜モジュール型の組合せが好ましく用いられる。As the combination of the module structure of the first and second filtration membrane modules, a combination of a hollow fiber membrane module as the first stage and a tubular (tubular) membrane module type in all the subsequent stages is preferable. Used.
【００１８】本発明で用いられる後段のろ過膜モジュー
ルＢにおいて、最終段に位置する上記ろ過膜モジュール
Ｂから排出される濃縮水中の0.１μｍ以上の微粒子濃度
が１０4 ｍｇ／Ｌ以上１０5 ｍｇ／Ｌ以下であることが
好ましい。In the latter filtration membrane module B used in the present invention, the concentration of fine particles of 0.1 μm or more in the concentrated water discharged from the filtration membrane module B located at the final stage is 10 4 mg / L or more and 10 5 mg. / L or less.
【００１９】上記微粒子濃度が１０4 ｍｇ／Ｌ未満であ
れば、濃縮度が小さいため濃縮後であっても産業廃棄物
として発生する濃縮水容量が大きいという問題点があ
る。また、上記微粒子濃度が１０5 ｍｇ／Ｌを超える
と、ろ過膜モジュールＢにおいても流路が微粒子で閉塞
し易く、短時間で透過流束の性能が低下することがある
ので、実用的でない。If the concentration of the fine particles is less than 10 4 mg / L, there is a problem that the concentration of the concentrated water generated as industrial waste is large even after concentration because the concentration is small. On the other hand, if the concentration of the fine particles exceeds 10 5 mg / L, the flow path in the filtration membrane module B is easily blocked by the fine particles, and the permeation flux performance may be reduced in a short time, which is not practical.
【００２０】上記後段のろ過膜モジュールＢは、流路幅
が大きいため膜モジュール内の膜充填密度が小さく、所
定の処理量に対して膜モジュール台数が、上記膜充填密
度が小さい分だけ多く必要となる。しかし、第１段のろ
過膜モジュールＡにおいて、原水が濃縮され、上記後段
のろ過膜モジュールＢにおける処理量が減少しているた
め、ろ過膜モジュールＢの台数増大を軽減している。In the latter filtration membrane module B, the membrane packing density in the membrane module is small due to the large flow passage width, and the number of membrane modules required for a predetermined treatment amount is increased by the amount corresponding to the small membrane packing density. Becomes However, in the first-stage filtration membrane module A, the raw water is concentrated, and the throughput in the latter-stage filtration membrane module B is reduced, so that the increase in the number of filtration membrane modules B is reduced.
【００２１】本発明において、第１段ろ過膜モジュール
Ａに供給される原水に含まれる微粒子径が１０μｍ以下
であることが好ましく用いられる排水の処理方法の構成
である。上記微粒子径が１０μｍを超えれば、微粒子濃
度が５０００ｍｇ／Ｌ以下であっても、ろ過膜モジュー
ルＡの流路が微粒子で閉塞し易く、短時間で透過流束の
性能が低下することがあるので、実用的でない。In the present invention, the configuration of a wastewater treatment method is preferably used in which the diameter of fine particles contained in raw water supplied to the first-stage filtration membrane module A is preferably 10 μm or less. If the particle diameter is more than 10 μm, even if the particle concentration is 5000 mg / L or less, the flow path of the filtration membrane module A is easily blocked by the particles, and the permeation flux performance may be reduced in a short time. , Not practical.
【００２２】本発明の排水の処理方法において、少なく
とも第１段と最終段のろ過膜モジュールの濃縮度を制御
しながら排水を膜処理することが好ましい。本発明の制
御とは、第１段と後段の膜モジュールにおいて、循環用
タンクおよび供給用ポンプを備えることによって、流量
などを検知して所定の濃縮度になるように制御すること
をいう。後段においては、すべての各段を制御してもよ
いし、一部を制御してもよいが、排出される濃縮水の濃
度保証面からは、最終段のろ過膜モジュールの濃縮度を
制御することが好ましい。In the method for treating wastewater of the present invention, it is preferable that the wastewater is subjected to membrane treatment while controlling the concentration of at least the first and last stage filtration membrane modules. The control according to the present invention means that the first and second membrane modules are provided with a circulation tank and a supply pump to detect a flow rate or the like and control the concentration to a predetermined concentration. In the subsequent stage, all of the stages may be controlled or a part of them may be controlled, but from the viewpoint of assuring the concentration of the concentrated water discharged, the concentration of the final stage filtration membrane module is controlled. Is preferred.
【００２３】次に、本発明の排水の処理方法の基本的な
全体の液体の流れを説明する。図１は本発明の排水の処
理方法を実施する１実施態様である２段に連結した分離
膜による流れ図である。工程から排出される微粒子を含
む排水１は、原水タンク２に集められ、第１段加圧ポン
プ３から前処理フィルター４を通して第１段の限外ろ過
膜または精密ろ過膜であるろ過膜モジュールＡ５に送ら
れる。ろ過膜モジュールＡ５において、透過水Ａ６と濃
縮水Ａ８に分離される。通常、濃縮水Ａ８の１部は、配
管７を通って、原水タンク２に循環される。残りの濃縮
水Ａ８１は、第２段原水タンク９に集められ、第２段加
圧ポンプ１０から第２段前処理フィルター１１を通っ
て、第２段の限外ろ過膜または精密ろ過膜であるろ過膜
モジュールＢ１２に送られる。ろ過膜モジュールＢ１２
において、透過水Ｂ１６と濃縮水Ｂ１３に分離される。
濃縮水Ｂ１３の１部は、原水タンクＢ９に循環される。
残りの濃縮水Ｂ１３１は、第２段濃縮水タンク１４に集
められる。さらに、加圧ポンプ１５により、後段のろ過
膜モジュールＢで処理することもできる。透過水Ａ６お
よび透過水Ｂ１６はそのまま排出されるか、あるいは工
程水として再利用される。Next, the basic overall liquid flow of the wastewater treatment method of the present invention will be described. FIG. 1 is a flow chart using a separation membrane connected in two stages, which is one embodiment for carrying out the wastewater treatment method of the present invention. A wastewater 1 containing fine particles discharged from the process is collected in a raw water tank 2, passed through a pretreatment filter 4 from a first-stage pressure pump 3, and is provided with a first-stage ultrafiltration membrane or a microfiltration membrane module A5. Sent to In the filtration membrane module A5, the water is separated into permeated water A6 and concentrated water A8. Usually, a part of the concentrated water A8 is circulated to the raw water tank 2 through the pipe 7. The remaining concentrated water A81 is collected in the second-stage raw water tank 9, passes through the second-stage pressurizing pump 10, passes through the second-stage pretreatment filter 11, and is a second-stage ultrafiltration membrane or a microfiltration membrane. It is sent to the filtration membrane module B12. Filtration membrane module B12
In, the permeated water B16 and concentrated water B13 are separated.
Part of the concentrated water B13 is circulated to the raw water tank B9.
The remaining concentrated water B131 is collected in the second-stage concentrated water tank 14. Furthermore, it can also be processed by the filtration membrane module B of the latter stage by the pressurizing pump 15. The permeated water A6 and the permeated water B16 are discharged as they are or reused as process water.
【００２４】なお、第１段のろ過膜モジュールＡ５と後
段のろ過膜モジュールＢ１２は、上記のように配し連結
するが、これら以外の所定のろ過膜モジュールＢを後段
のろ過膜モジュールＢとして何段にも連結することがで
きる。The first-stage filtration membrane module A5 and the latter-stage filtration membrane module B12 are arranged and connected as described above. It can also be connected to a stage.
【００２５】[0025]
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to these examples.
【００２６】実施例１ 本発明の実施例１における流れ図を図１に示した。図１
において、排水１としてシリコン研磨・切削排水を用
い、第１段のろ過膜モジュールＡとして日東電工株式会
社製中空糸型限外ろ過膜モジュールＮＴＵ−３２５０−
Ｃ４Ｋ（原水流路幅＝１．１ｍｍ）を用いた。上記中空
糸型限外ろ過膜の膜面積は計６ｍ2 であり、膜材質はポ
リスルホン製で、分画分子量が２０，０００であった。Embodiment 1 FIG. 1 shows a flowchart in Embodiment 1 of the present invention. FIG.
, Using silicon polishing / cutting wastewater as the wastewater 1 and hollow fiber ultrafiltration membrane module NTU-3250- manufactured by Nitto Denko Corporation as the first stage filtration membrane module A.
C4K (raw water channel width = 1.1 mm) was used. The membrane area of the hollow fiber type ultrafiltration membrane was 6 m 2 in total, the membrane material was made of polysulfone, and the molecular weight cut off was 20,000.
【００２７】また、後段のろ過膜モジュールＢとして日
東電工株式会社製管型限外ろ過膜モジュールＮＴＵ−２
０２０−Ｐ18Ｂ（原水流路幅＝１１．５ｍｍ）を用い
た。上記管型限外ろ過膜の膜面積は計0.７６ｍ2 であ
り、膜材質はやポリオレフィン製で、分画分子量が２
０，０００であった。Further, as a subsequent filtration membrane module B, a tube type ultrafiltration membrane module NTU-2 manufactured by Nitto Denko Corporation
020-P18B (raw water channel width = 11.5 mm) was used. The membrane area of the tubular ultrafiltration membrane is 0.76 m 2 in total, the membrane material is made of polyolefin, and the molecular weight cut off is 2
It was 0000.
【００２８】以上の２段に連結した分離膜として限外ろ
過膜を用いて排水を膜処理し、第２段の濃縮水１３を得
た。濃縮度は、第１段が５００倍、第２段が４倍になる
ように制御し、定量ろ過運転を行った。ここで濃縮度と
は下記の式で表される。 第１段濃縮度＝（排水１流量）／（第１段濃縮水Ａ８１流量） 第２段濃縮度＝（第１段濃縮水Ａ８１流量）／（第２段濃縮水Ｂ１３１流量） 濃縮処理の結果をシリコン微粒子濃度を用いて表１に示
した。また、濃縮処理において、分離膜の交換頻度を表
２に示した。実施例においては透過流束が高く維持さ
れ、交換頻度が比較例と比べて、飛躍的に小さくなって
いることが判る。The wastewater was subjected to membrane treatment using an ultrafiltration membrane as the separation membrane connected in the above two stages to obtain a second stage concentrated water 13. The concentration was controlled so that the first stage was 500 times and the second stage was 4 times, and the quantitative filtration operation was performed. Here, the concentration is represented by the following equation. First stage enrichment = (flow rate of wastewater 1) / (first stage concentrated water A81 flow) Second stage enrichment = (first stage concentrated water A81 flow) / (second stage concentrated water B131 flow) Result of enrichment process Are shown in Table 1 using the concentration of silicon fine particles. Table 2 shows the exchange frequency of the separation membrane in the concentration treatment . It can be seen that in the example, the permeation flux was maintained high, and the exchange frequency was dramatically reduced as compared with the comparative example.
【表１】 [Table 1]
【表２】 [Table 2]
【００２９】比較例１ 実施例１の後段のろ過膜モジュールＢを用いずに、同じ
第１段のろ過膜モジュールＡのみを用いて、上記シリコ
ン研磨・切削排水を１段濃縮をした。濃縮度は、２００
０倍になるように制御した。濃縮処理の結果をシリコン
微粒子濃度を用いて表１に示し、分離膜の交換頻度を表
２に示した。原水流路幅１．１ｍｍのろ過膜モジュール
１段のみで濃縮を行った場合、透過流束は小さくなり、
微粒子による流路閉塞のため性能低下が早く、ろ過膜モ
ジュールの交換頻度が大きくなる。従って、経済性に乏
しく実用的な処理方法ではない。Comparative Example 1 The silicon polishing / cutting wastewater was concentrated in one stage using only the same first-stage filtration membrane module A without using the latter-stage filtration membrane module B in Example 1. The concentration is 200
It controlled so that it might become 0 times. The results of the concentration treatment are shown in Table 1 using the concentration of silicon fine particles, and Table 2 shows the exchange frequency of the separation membrane. When the concentration is performed only in one stage of the filtration membrane module having a raw water flow path width of 1.1 mm, the permeation flux becomes small,
Due to the blockage of the flow path by the fine particles, the performance decreases quickly, and the frequency of replacing the filtration membrane module increases. Therefore, it is not economical and is not a practical processing method.
【００３０】比較例２ 実施例１の後段のろ過膜モジュールＢのみを用いて１段
処理を行った場合は、実施例１と比較して、ろ過膜モジ
ュール数が多くなり、ろ過膜モジュールコストで２倍以
上、ろ過膜モジュール設置スペースで４倍以上となり、
経済性に乏しく実用的な処理方法ではない。Comparative Example 2 In the case where the one-stage treatment was performed using only the filtration membrane module B in the latter stage of Example 1, the number of filtration membrane modules was increased as compared with Example 1, and the cost of the filtration membrane module was reduced. More than twice, more than four times in the installation space of the filtration membrane module,
It is not economical and is not a practical treatment method.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明の排水の処理方法を用いることに
より、微粒子を含む排水の高濃縮運転を透過流束を低下
させずに安定して処理でき、経済的に実用性のある排水
処理を行うことができる。By using the wastewater treatment method of the present invention, high-concentration operation of wastewater containing fine particles can be performed stably without reducing the permeation flux, and economically practical wastewater treatment can be performed. It can be carried out.
【図１】本発明の実施例を示す流れ図である。FIG. 1 is a flowchart showing an embodiment of the present invention.
１排水 ２原水タンク ３第１段加圧ポンプ ４前処理フィルター ５ろ過膜モジュールＡ ６透過水Ａ ８濃縮水Ａ １２ろ過膜モジュールＢ １３濃縮水Ｂ 1 Drainage 2 Raw water tank 3 First stage pressure pump 4 Pretreatment filter 5 Filtration membrane module A 6 Permeated water A 8 Concentrated water A 12 Filtration membrane module B 13 Concentrated water B
Claims (4)
排水を膜処理する方法において、該分離膜が限外ろ過膜
または精密ろ過膜であって、第１段に原水流路幅０．１
ｍｍ以上２ｍｍ以下のろ過膜モジュールＡを用い、後段
には原水流路幅５ｍｍ以上１５ｍｍ以下のろ過膜モジュ
ールＢを用いることを特徴とする排水の処理方法。1. A method of treating wastewater using a separation membrane connected in multiple stages of two or more stages, wherein the separation membrane is an ultrafiltration membrane or a microfiltration membrane, and the first stage includes a raw water flow path width. 0.1
A method for treating wastewater, comprising using a filtration membrane module A having a width of 5 mm or more and 15 mm or less in a downstream stage using a filtration membrane module A having a width of 5 mm or more and 2 mm or less.
る濃縮水中の0.１μｍ以上の微粒子濃度が１０4 ｍｇ／
Ｌ以上１０5 ｍｇ／Ｌ以下であることを特徴とする請求
項１記載の排水の処理方法。2. The concentration of fine particles having a particle size of 0.1 μm or more in the concentrated water discharged from the filtration membrane module B at the final stage is 10 4 mg /
2. The method for treating wastewater according to claim 1, wherein the amount is not less than L and not more than 10 5 mg / L.
水に含まれる微粒子径が１０μｍ以下であることを特徴
とする請求項１または２記載の排水の処理方法。3. The method for treating wastewater according to claim 1, wherein the diameter of fine particles contained in the raw water supplied to the first-stage filtration membrane module A is 10 μm or less.
ールの濃縮度を制御しながら排水を膜処理することを特
徴とする請求項１、２または３記載の排水の処理方法。4. The method for treating wastewater according to claim 1, wherein the wastewater is subjected to membrane treatment while controlling the concentration of at least the first and last stage filtration membrane modules.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17105596A JPH1015357A (en) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | Treatment of waste water |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17105596A JPH1015357A (en) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | Treatment of waste water |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1015357A true JPH1015357A (en) | 1998-01-20 |
Family
ID=15916244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17105596A Pending JPH1015357A (en) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | Treatment of waste water |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1015357A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003300072A (en) * | 2002-04-09 | 2003-10-21 | Ngk Insulators Ltd | Method for treating waste water of polishing |
| JP2012165764A (en) * | 2006-07-14 | 2012-09-06 | Dsm Ip Assets Bv | Improved process for culturing cell |
| JP2020075218A (en) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | オルガノ株式会社 | Iron/manganese-containing water treatment apparatus and treatment method |
-
1996
- 1996-07-01 JP JP17105596A patent/JPH1015357A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003300072A (en) * | 2002-04-09 | 2003-10-21 | Ngk Insulators Ltd | Method for treating waste water of polishing |
| JP2012165764A (en) * | 2006-07-14 | 2012-09-06 | Dsm Ip Assets Bv | Improved process for culturing cell |
| JP2014217395A (en) * | 2006-07-14 | 2014-11-20 | ディーエスエム アイピー アセッツ ビー．ブイ． | Improved process for culturing cells |
| US9469865B2 (en) | 2006-07-14 | 2016-10-18 | Dpx Holdings B.V. | Process for the culturing of cells |
| US9670520B2 (en) | 2006-07-14 | 2017-06-06 | Patheon Holdings | B.V. | Process for the culturing of cells |
| JP2020075218A (en) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | オルガノ株式会社 | Iron/manganese-containing water treatment apparatus and treatment method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5690830A (en) | Waste water treatment apparatus and washing method thereof | |
| JP6690197B2 (en) | Method and system for treating wastewater containing organic matter | |
| EP1022051A2 (en) | Treatment system and treatment method employing spiral wound type membrane module | |
| JPH01218602A (en) | Method for separation treatment of liquid containing fine particles | |
| EP0995482A2 (en) | Fresh water generator and fresh water generating method | |
| EP0427376A2 (en) | Membrane separation system and method of operation | |
| CN109562964B (en) | Ultrapure water production equipment | |
| KR102307286B1 (en) | Apparatus for treating concentrated water of reverse osmosis equipment | |
| JP5261090B2 (en) | Method and apparatus for treating wastewater containing silicon | |
| JP2004216207A (en) | Wastewater treatment method | |
| JPH1015357A (en) | Treatment of waste water | |
| JP2000317273A (en) | Membrane separation method | |
| KR102584871B1 (en) | Apparatus for treating concentrated water of water treatment facility | |
| JP3943748B2 (en) | Cleaning method for membrane filtration equipment | |
| JP2005143379A (en) | Method and apparatus for recovering microorganism | |
| JP3592677B2 (en) | Water treatment equipment | |
| JP2000288935A (en) | Method and apparatus for recovering non-colloidal abrasive | |
| JP4156984B2 (en) | Cleaning method for separation membrane module | |
| JP2000140842A (en) | Waste water treating method using ceramic filter for waste water from silicon polishing and waste water treating system | |
| JP2002011332A (en) | Internal pressure type cross flow filtration method and filtration device | |
| JP3421905B2 (en) | Wastewater treatment equipment | |
| JP4917792B2 (en) | Method for estimating the degree of contamination of separation membranes used in membrane separation activated sludge equipment. | |
| JP2000070682A (en) | Hollow fiber membrane module and its use | |
| US20230019509A1 (en) | Methods and apparatus for removing contaminants from an aqueous material | |
| JP2006218341A (en) | Method and apparatus for treating water |