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JPH03280034A - 照射装置 - Google Patents

照射装置

Info

Publication number
JPH03280034A
JPH03280034A JP2082301A JP8230190A JPH03280034A JP H03280034 A JPH03280034 A JP H03280034A JP 2082301 A JP2082301 A JP 2082301A JP 8230190 A JP8230190 A JP 8230190A JP H03280034 A JPH03280034 A JP H03280034A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lamp
length
reflector
irradiation
unit length
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2082301A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Miwa
裕之 三輪
Tsutomu Fuchiwaki
渕脇 務
Takashi Kawanami
川並 尚
Akio Tachihara
立原 昭夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Lighting and Technology Corp
Original Assignee
Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Lighting and Technology Corp filed Critical Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority to JP2082301A priority Critical patent/JPH03280034A/ja
Publication of JPH03280034A publication Critical patent/JPH03280034A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Projection-Type Copiers In General (AREA)
  • Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、直線状ランプの長さを単位長の整数倍として
付属部品のユニット化を図った照射装置に関する。
U従来の技術] 例えは、半導体、プリント回路基板等のワーク表面に各
種特定波長の光線を照射しつつ所定処理を施すための各
種照射装置か広く知られている。
かかる照射装置の一例として本出願人か先に提案してい
る紫外線照射装置の構造を第4図、第5図に示す。
図において、10は紫外線ランプ111反射板12、通
気穴14付のカバー13等からなる紫外線照射ユニット
で、第1室を形成する外筐2で囲われている。この照射
ユニット10の上方にはファン16、タクト17.18
および枠体19等からなる送風手段15か配設され、ま
た、下方側には熱線カットフィルター6か配設されてい
る。したがって、送風手段15からの冷風は、照射ユニ
ット10を冷却しつつ第1室1内の暖気を排出口8を通
して外部に放出される。一方、紫外線ランプ11から発
光された紫外線は、熱線カットフィルター6を通して第
2室20内のワーク9へ照射される。
このワーク9は、第2室20内に配設されたベルトコン
ベア等からなる搬送手段21によって熱線フィルター6
の下方に順次搬送される。
なお、熱線カットフィルター6は、紫外線を通過させそ
の他(赤外線、可視光線)を遮断すなわち反射・吸収す
るものである。
したかって、処理すべきワーク9を搬送手段21に載せ
れば、熱線カットフィルター6の下方つまり照射面を通
過するときに照射ユニット10からの紫外線が照射され
、ワーク9に所定処理を施すことができる。
また、照射ユニット10は送風手段15からの冷風によ
って冷却されかつ外筐2によってクリーンに保たれるの
で、所定性能を安定して発揮させることかできる。
[発明が解決しようとする課題1 ところで、上記構造では一層の多様化、高能率、コスト
低減という現今要請を満たすことかできないという問題
がある。
■ 照射対象物、例えばプリント回路基板、の大きさは
種々となり、また、その同時処理枚数も単一から複数枚
と幅広い。
したかって、搬送手段21の搬送能力を対応するものと
しなければならない。しかし、この搬送能力は、例えば
ベルトコンベア型の場合にはベルト幅や駆動モータを大
きくすれはよいので具現化追従が比較的容易であるか、
これにつれてランプ11の有効発光長を、装置小型化要
請を満足させつつ都度に最短的寸法とすることは性能的
にもコスト的にも至難である。
■ また、照射ユニット10を形成する反射板11は、
基材表面に蒸着を施して製作されるのか一般的であるか
ら、各種火きさの反射板11の全域において同一性能を
保障することが至難であるばかりか、大型反射板11へ
の蒸着処理自体か設倫的にもコスト的にも雛しい。
■ また、前記熱線カットフィルター6、カバー13、
枠体19や外筐2を、ランプ11の長さに対応させて都
度に調整することも、上記■と同様に、誼しく即応性に
欠け、コスト高を招く。また、組立・調整労力も大きい
■ さらに、送風手段15等は単にスケールアップした
たけといっても、第1室1内の冷風流動を先の場合と同
一とすることかできるという保障はない、したかって、
ランプ111反射板12の局部的適冷や冷却不足のみな
らす、結果としてワーク9の処理品質の不均一や劣悪化
を招くという欠点かある。
以上の問題は、装置大型となるほどに解決すべき重要課
題となっている。
ここに、本発明の目的は、製作・組立調整か容易でコス
ト低減を図りつつ所定性能を均一かつ安定して発揮させ
ることのできる適応性の広い照射装置を提供することに
ある。
U課題をRギ決するための手段] 本発明は、紫外線等ランプの有効発光長を単位長の整数
倍とし、かつこれを基礎として付属部品をユニット化し
、これらの数の選択によって所望能力を持つ装置を横築
できるように形成し、前記目的を達成するものである。
すなわち、請求項第1項記載の発明は、直線状ランプと
このランプの両側に対称配設された一対の反射板とを含
み形成された照射装置において、前記ランプの有効発光
長を単位長の整数倍となるように形成する、とともに前
記反射板をランプの長手方向に列配された複数枚の反射
板要素から形成しかつ各反射板要素を単位長に対応する
長さを持つものと形成したことを特徴とする。
また、請求項第2項記載の発明は、前記ランプを紫外線
ランプから形成しかつ前記各反射板要素を紫外線を反射
し他の光線を透過するダイクロイックミラーから形成し
たことを特徴とする。
また、請求項第3項記載の発明は、前記ランプと照射面
との間に、前記単位長に対応する長さとされた複数のフ
ィルタ要素からなる熱線カットフィルターを配設したこ
とを特徴とする。
さらに、請求項第4項記載の発明は、前記ランプ等の全
体を囲う外筐を、前記単位長に対応する長さを持つ複数
の外カバーと2つの側端カバーとから形成したことを特
徴とする。
C作 用コ 請求項第1項記載の発明では、ランプは、有効発光長が
単位長の整数倍とされたランプのうち、装置能力を満た
しかつ最短のものを選択する4、tな、反射板は、単位
長の反射板要素を当該ランプの有効発光長をカバーする
ことのできる数だけ用意し、ランプの長平方向に配設す
ることにより形成する。これにより、所定能力を持つ照
射ユニットを迅速かつ容易に組立られ、その結果、装置
のコスト低減と小型化とを達成できる1反射板の特性も
全域に亘って均一であるから円滑で安定した照射運転が
できる6 また、請求項第2項記載の発明では、各反射板要素かダ
イクロイックミラーから形成されているので、紫外線ラ
ンプからの紫外線は所定照射面に効率よく照射され、赤
外線等色の光線は各反射板要素を透過して放出される。
したがって、高品質処理を高能率で行える、とともに反
射板の全長に拘らず反射板要素の長さかそれより短い一
定長とされているので製作容易で反射特性を一段と均一
化できる。
また、請求項第3項記載の発明では、ランプと照射面と
の間に単位長とされた複数のフィルタ要素からなる熱線
カットフィルターを設けた構成とされているので、耐熱
性の低いワーク等についても幅広く適用でき処理品質を
向上できる、とともに熱線カットフィルターの製作・組
立か容易でコスト低減も図れる。
さらに、請求項第4項記載の発明では、照射ユニット(
ランプ、反射板)等全体を囲う外筐か単位長とされた複
数の外カバーと2つの側端カバーとから形成されている
ので、製作・組立か容易でコスト低減と小型化を達成で
きる。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第1図は側断面図、第2図は一部を断面した正面図であ
る。
本照射装置は、基本構造か前出第4図、第5図に例示し
た従来構造と同一型式とされ、紫外線を照射するもので
あり、単位長りを基準としてユニット方式として構成さ
れている。
なお、第1図、第2図では第2室(20)、搬送手段(
21)、ワーク(9)等を図示省略している。
ます、照射ユニット10は、紫外線ランプ11゜反射板
121通気穴14か設けられたカバー13等から形成さ
れている。
ここに、紫外線ランプ11の有効発光長Laは、nLと
されている。nは1を含む整数であり、この実施例では
n=2とされている。
したがって、紫外線ランプ11は、nの異なるものを例
えば10種類準備しておけば、各種型式・大きさの照射
装置を容易に製作可能となる。
この技術事項は、紫外線ランプ11についてのみならす
、詳しくは付属部品のユニット化に極めて有効である。
すなわち、反射板12は、ランプ11の長平方向に沿っ
て配設されたn(2)枚の反射板要素12A、12Bか
ら形成されている。そして、各反射板要素12A(12
B)は紫外線照射効率を一段と高めるために、紫外線を
反射し赤外線、可視光等色の光線を透過させる特性を持
ついわゆるダイクロイックミラーから形成されている。
このミラーは、平板基材にある種金属を蒸着させること
により製作されるところ、その長さ(上記単位長し)が
短いので、容易・迅速に製作できる。また、各反射板要
素12A、12Bは、第2図に示す如く、軸線に対し左
右対称に設けられるが、各形態は左右同一とされている
。したがって、単位長りを持つ短寸の反射板要素12A
(12B+を一種類準備しておけば、装置大型化に際し
て、性能均一で長大な反射板12を低コストで確立する
ことができ、しかも紫外線ランプ11の長さに対応させ
るための一部切断加工や位置調整作業等が不要で組立も
容易となる。
これと関連して、熱線カットフィルター6も、単位長し
の複数(2)枚のフィルター要素6A6Bから形成し、
コスト低減等を図っている。
ここに、送風手段15は、構成要素(ファン16、ダク
ト17.18、枠体19)か従来構造と同じとされてい
るが、紫外線ランプ11の有効発光長Laをn等分する
数(この実施例では“2″)の送風ユニット15A、1
5Bから形成されている。つまり、各送風ユニット15
A(15B>は、単位長りとされている。しなかつて、
各構成要素16.17,18.19は一種類でよく、紫
外線ラン111の長さに適応する送風手段15を低コス
トで具現化でき組立・調整も楽である。しかも、各送風
ユニット15A(15B)は、紫外線ランプ11の単位
長しと対応するものとされているから、その有効発光長
La (nL)を均一に安定冷却できる6 なお、第1室1を構成する外筐2は、単位長しとされた
複数(2)枚の外カバー2A、2Bと、2つの側端カバ
ー3R,3Lとから形成されている。
かかる構成の本実施例では、まず照射面の大きさか特定
され、搬送手段(20)は所定形状のワーク(9)を1
枚以上並行搬送可能なものとして選択される。
ここに、紫外線ランプ11は、照射面の幅寸法以上の有
効発光長Laを持ち、かつ最小有効発光長(La)のも
のを選択する。
今、紫外線ランプ11の有効発光長Laか第1図に示す
如<nL=2Lとすれば、照射ユニット10を形成する
反射板要素およびカバーは、各4枚(12A、12A、
12B、12B、13A。
13A、13B、13B)を準備すればよい。同様にフ
ィルター要素は2枚(6A、6B)を、送風ユニットは
2組(15A、15B)を、外カバーは2組(2A、2
B)をそれぞれ準備し、かつ側端カバー3A、3Bを揃
えて第1図、第2図の如く組立てればよい6 よって、紫外線ランプ11かnL=41の有効発光長L
aを持つものと特定された場合には、第3図に示す如く
、各構成要素(2,12,1415)の4ユニット分と
両@端カバー3L、3Rを準備して組立ればよいこと容
易に理解される。
しかして、この実施例によれば、単位長の整数倍(n)
の有効発光長La (nL)を持つ紫外線ランプ11と
、単位長しの複数の反射板要素12A、12Bをランプ
11の長平方向に配設してなる反射板12とから照射ユ
ニット10が構成されているので、組立・調整か容易か
つ低コストで適用性の広い小型の照射装置を確立するこ
とかできる。
その他の構成要素2.15等も単位長しの部品を組合せ
たものであるから、上記利益を一段と助長する。
また、各反射板要素12A、12Bかそれぞれに単位長
りを持つものとされかつダイクロイックミラーから形成
されているので、反射板15の全面的性能が均一であり
、かつ照射効率を最高に維持できる。また、熱線フィル
ター6を複数(n2)枚のフィルター要素6A、6Bか
ら構成しているので、低コスト等上記と同様の利益を得
られる他、ワーク9の均一処理を保障てき耐熱性等に対
する適応性が広い。
さらに、送風手段15か複数(n)の送風ユニット15
A、15Bから形成されているので、装置大型化に拘ら
ず紫外線ランプ119反射板12の全長について均一に
冷却できる。
[発明の効果] 請求項第1項記載の発明によれば、ランプの有効発光長
を単位長の整数倍とし、かつその倍数の反射板要素を配
設して反射板を形成するものであるから、製作・組立調
整が容易でコストを大幅に引下げられる、とともに均一
で安定した照射を行える大型で適用性の広い照射装置を
提供できる。
また、請求項第2項記載の発明によれば、反射板か複数
の単位長を持つ反射板要素からなり、かつダイクロイッ
クミラーから形成されているので、照射効率を最高限に
保持できるとともにワークの処理品質を向上できる。ま
た、反射板全体の反射率等性能を容易に均一とすること
ができ、大幅なコスト低減を達成できる。
また、請求項第3項記載の発明によれば、照射面(ワー
ク)との間に複数のフィルター要素からなる熱線カット
フィルターを配設したものとされているので、耐熱性の
低いワークにも均一の処理ができ、熱線フィルターのコ
スト的負担か小さい。
さらに、請求項第4項記載の発明によれば、外筐が単位
長を持つ複数の外カバーと2つの側端カバーとから構成
されているので、装置全体を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す側断面図、第2図は同じ
く一部を断面した正面図、第3図は整数をn=4とした
場合の変形例を示す分解斜視図、および第4図、第5図
は従来照射装置を示し、第4図は側面図、第5図は正面
図である。 1・・・第1室、 2・・・外筐、 2A〜2D・・・外カバー 3R,3L・・・側端カバー 6・・・熱線カットフィルター 6A、6B・・・フィルター要素、 9・・・ワーク、 10・・・照射ユニット、 11・・・紫外線ランプ、 12・・・反射板、 2A〜12D・・・反射板要素、 3八〜13D・・・カバー 5・・・送風手段、 5A、15B・・・送風ユニット、 9・・・枠体、 0・・・第2室、 1・・・搬送手段。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)直線状ランプとこのランプの両側に対称配設され
    た一対の反射板とを含み形成された照射装置において、 前記ランプの有効発光長を単位長の整数倍となるように
    形成する、とともに前記反射板をランプの長手方向に配
    列された複数枚の反射板要素から形成しかつ各反射板要
    素を単位長に対応する長さを持つものと形成したことを
    特徴とする照射装置。
  2. (2)前記ランプを紫外線ランプから形成しかつ前記各
    反射板要素を紫外線を反射し他の光線を透過するダイク
    ロイックミラーから形成したことを特徴とする請求項第
    1項記載の照射装置。
  3. (3)前記ランプと照射面との間に、前記単位長に対応
    する長さとされた複数のフィルター要素からなる熱線カ
    ットフィルターを配設したことを特徴とする請求項第1
    項または第2項記載の照射装置。
  4. (4)前記ランプ等の全体を囲う外筐を、前記単位長に
    対応する長さを持つ複数の外カバーと2つ側端カバーか
    ら形成したことを特徴とする請求項第1項乃至第3項記
    載のいずれかの照射装置。
JP2082301A 1990-03-29 1990-03-29 照射装置 Pending JPH03280034A (ja)

Priority Applications (1)

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JP2082301A JPH03280034A (ja) 1990-03-29 1990-03-29 照射装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP2082301A JPH03280034A (ja) 1990-03-29 1990-03-29 照射装置

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JPH03280034A true JPH03280034A (ja) 1991-12-11

Family

ID=13770730

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2082301A Pending JPH03280034A (ja) 1990-03-29 1990-03-29 照射装置

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JP (1) JPH03280034A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012191036A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Seiko Epson Corp 基材表面の改質装置、および印刷装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012191036A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Seiko Epson Corp 基材表面の改質装置、および印刷装置

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