JPH03271139A - 光ファイバの製造装置 - Google Patents
光ファイバの製造装置Info
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- JPH03271139A JPH03271139A JP2068618A JP6861890A JPH03271139A JP H03271139 A JPH03271139 A JP H03271139A JP 2068618 A JP2068618 A JP 2068618A JP 6861890 A JP6861890 A JP 6861890A JP H03271139 A JPH03271139 A JP H03271139A
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Landscapes
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、表面に炭素被膜が形成された光ファイバを
製造する装置に関し、特に長手方向に沿って均質な炭素
被膜を有する光ファイバの製造が可能とするものである
。
製造する装置に関し、特に長手方向に沿って均質な炭素
被膜を有する光ファイバの製造が可能とするものである
。
[従来の技術]
石英系光ファイバは、水素と接触するとファイバ内に拡
散した水素分子の分子振動に起因する吸収損失が増大し
、さらにドーパントとして含有されているPtOs、G
e Ot、B t Osなどが水素と反応しOH基と
してファイバガラス内に取り込まれるため、OH基の吸
収による伝送損失も増大してしまう問題があった。
散した水素分子の分子振動に起因する吸収損失が増大し
、さらにドーパントとして含有されているPtOs、G
e Ot、B t Osなどが水素と反応しOH基と
してファイバガラス内に取り込まれるため、OH基の吸
収による伝送損失も増大してしまう問題があった。
このような弊害に対処するため、水素吸収能を有する液
状の組成物を光ケーブル内に充填する方法(特願昭61
−251808号)などが考えられているが、その効果
が不十分であるうえ、構造が複雑となって経済的にも問
題がある。
状の組成物を光ケーブル内に充填する方法(特願昭61
−251808号)などが考えられているが、その効果
が不十分であるうえ、構造が複雑となって経済的にも問
題がある。
このような問題を解決するため、最近化学気相成長法(
以下、CVD法と略称する)によって光ファイバ表面に
炭素被膜を形成し、これによって光ファイバの耐水素特
性を向上させうることか発表されている。
以下、CVD法と略称する)によって光ファイバ表面に
炭素被膜を形成し、これによって光ファイバの耐水素特
性を向上させうることか発表されている。
この方法は紡糸炉で紡糸された光ファイバ裸線を加熱炉
内に挿入すると共に、炭化水素化合物等の原料化合物を
不活性ガス等によりガス化するとともに希釈してなる原
料ガスを供給し、この原料ガスを熱分解させて光ファイ
バ裸線表面に炭素被膜を形成させる方法である。
内に挿入すると共に、炭化水素化合物等の原料化合物を
不活性ガス等によりガス化するとともに希釈してなる原
料ガスを供給し、この原料ガスを熱分解させて光ファイ
バ裸線表面に炭素被膜を形成させる方法である。
従来、上記CVD法により光ファイバ裸線表面に炭素被
膜を形成するには、第3図に示したような装置が用いら
れている。
膜を形成するには、第3図に示したような装置が用いら
れている。
第3図中、符号lは光ファイバ裸線である。光ファイバ
裸線1は、光ファイバ母材(図示せず)を光ファイバ紡
糸炉2内で溶融紡糸したもので、光ファイバ裸線1は紡
糸されると共に、光ファイバ紡糸炉2の下段に設けられ
たCVD反応炉3内へ供給されるようになっている。
裸線1は、光ファイバ母材(図示せず)を光ファイバ紡
糸炉2内で溶融紡糸したもので、光ファイバ裸線1は紡
糸されると共に、光ファイバ紡糸炉2の下段に設けられ
たCVD反応炉3内へ供給されるようになっている。
このCVD反応炉3は、上段の光ファイバ紡糸炉2内で
紡糸された光ファイバ裸線1表面に炭素被膜をCVD法
によって形成するためのものであって、その内部にてC
VD反応を進行させる概略円筒状の反応管4と、この反
応管4を加熱する発熱体5とから構成されている。
紡糸された光ファイバ裸線1表面に炭素被膜をCVD法
によって形成するためのものであって、その内部にてC
VD反応を進行させる概略円筒状の反応管4と、この反
応管4を加熱する発熱体5とから構成されている。
この反応管4の上部には反応管4内へ原料化合物を供給
するための原料カス供給管6か、下部には未反応ガスや
副生成物等を排気する排気管7か、それぞれ取り付けら
れている。さらに反応管4の上部と下部には、それぞれ
反応管4をソールするためのガスシール機構8.8が接
続されている。
するための原料カス供給管6か、下部には未反応ガスや
副生成物等を排気する排気管7か、それぞれ取り付けら
れている。さらに反応管4の上部と下部には、それぞれ
反応管4をソールするためのガスシール機構8.8が接
続されている。
またこのCVD反応炉3の下段には、樹脂液塗布装置9
と硬化装置10とが連続して設けらt”L−ており、上
記CVD反応炉3内で光ファイバ裸線1に形成された炭
素被膜上に保護被覆層が形成できるようになっている。
と硬化装置10とが連続して設けらt”L−ており、上
記CVD反応炉3内で光ファイバ裸線1に形成された炭
素被膜上に保護被覆層が形成できるようになっている。
[発明が解決しようとする課題]
ところでCVD反応による炭素被膜の形成に用いられる
原料ガスは、常温で液体または固体の原料化合物を不活
性ガス等によりガス化したものであることが多い。した
がって原料ガス中の原料化合物濃度は原料ガスの温度に
依存している。そして光ファイバ裸線1表面に′均質な
炭素被膜を形成するには、反応管4への原料ガス温度が
一定であることが重要である。
原料ガスは、常温で液体または固体の原料化合物を不活
性ガス等によりガス化したものであることが多い。した
がって原料ガス中の原料化合物濃度は原料ガスの温度に
依存している。そして光ファイバ裸線1表面に′均質な
炭素被膜を形成するには、反応管4への原料ガス温度が
一定であることが重要である。
ところが第3図に示した製造装置にあっては、原料ガス
供給管6から直接CVD反応炉3内に原料ガスを供給す
るために、原料ガスの温度ひいては原料化合物濃度の定
常化は難しかった。そのために光ファイバの長手方向に
沿って均質な炭素被膜を形成することが難しいという問
題があった。
供給管6から直接CVD反応炉3内に原料ガスを供給す
るために、原料ガスの温度ひいては原料化合物濃度の定
常化は難しかった。そのために光ファイバの長手方向に
沿って均質な炭素被膜を形成することが難しいという問
題があった。
この発明は上記課題を解決するためになされたものであ
って、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被膜を
形成可能な光ファイバの製造装置を提供することを目的
としている。
って、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被膜を
形成可能な光ファイバの製造装置を提供することを目的
としている。
[課題を解決するための手段]
この発明の光ファイバの製造装置は、一端・に原料ガス
供給管が、他端に排気管がそれぞれ接続され、原料ガス
を熱分解して光ファイバ裸線表面に炭素被膜を形成する
反応管の外周に、反応管を加熱する発熱体が配設されて
なる光ファイバの製造装置において、原料ガスを送給す
る内管と、この内管を包囲する外管と、上記内管と外管
との間に流動せしめられる熱媒体とからなる調温装置を
上記原料ガス供給管に接続したことを解決手段とした。
供給管が、他端に排気管がそれぞれ接続され、原料ガス
を熱分解して光ファイバ裸線表面に炭素被膜を形成する
反応管の外周に、反応管を加熱する発熱体が配設されて
なる光ファイバの製造装置において、原料ガスを送給す
る内管と、この内管を包囲する外管と、上記内管と外管
との間に流動せしめられる熱媒体とからなる調温装置を
上記原料ガス供給管に接続したことを解決手段とした。
[作用 ]
内管と外管との間に熱媒体を流動せしめ、内管内を送給
される原料ガスの温度変化を上記熱媒体により緩和する
ようにした。その結果、原料ガスの温度変化を小さく抑
えることができるようになり、光ファイバの長平方向に
沿って均質な炭素被膜を形成することができる。
される原料ガスの温度変化を上記熱媒体により緩和する
ようにした。その結果、原料ガスの温度変化を小さく抑
えることができるようになり、光ファイバの長平方向に
沿って均質な炭素被膜を形成することができる。
また特に、原料化合物を不活性ガス中に飽和蒸気圧で希
釈して用いる場合には、原料ガスの温度を制御すること
により、その濃度管理を同時に行うことができる。
釈して用いる場合には、原料ガスの温度を制御すること
により、その濃度管理を同時に行うことができる。
以下、この発明の詳細な説明する。
第1図はこの発明の光ファイバの製造装置の一例を示し
たものである。第1図に示した装置が第3図に示したも
のと異なるところは、原料ガス供給管6に調温装置11
を接続したところである。
たものである。第1図に示した装置が第3図に示したも
のと異なるところは、原料ガス供給管6に調温装置11
を接続したところである。
その他の同一部分には、同一符号を付して説明を省略す
る。
る。
調温装置11は、第2図に示したように、二又管12の
一端12aに二重壁管13が接続されて概略構成される
ものである。
一端12aに二重壁管13が接続されて概略構成される
ものである。
二又管12の他端12bにはコネクタ14が取り付けら
れており、原料ガス供給管6に接続されている。また二
又管12の残りの一端12cにはドレイン15が接続さ
れており、二重壁管13内で液化した原料化合物を排出
、除去できるようになっている。
れており、原料ガス供給管6に接続されている。また二
又管12の残りの一端12cにはドレイン15が接続さ
れており、二重壁管13内で液化した原料化合物を排出
、除去できるようになっている。
二重壁管13は内管13aと、この内管13aを包囲し
、両端に熱媒体供給口+3cと熱媒体排出口13dとが
形成された外管13bとからなり、内管13a内を原料
ガスが送給されるようになっている。そして内管13a
と外管13bとの間に形成された空隙部内には熱媒体り
が流動せしめられている。この熱媒体りは上記空隙部内
に外管13bに形成された熱媒体供給口13cから流入
され、熱媒体排出口13dから流出される。これにより
内管13aを一定温度に保ち、内管13a内を送給され
る原料ガスの温度を一定に保てるようになっている。
、両端に熱媒体供給口+3cと熱媒体排出口13dとが
形成された外管13bとからなり、内管13a内を原料
ガスが送給されるようになっている。そして内管13a
と外管13bとの間に形成された空隙部内には熱媒体り
が流動せしめられている。この熱媒体りは上記空隙部内
に外管13bに形成された熱媒体供給口13cから流入
され、熱媒体排出口13dから流出される。これにより
内管13aを一定温度に保ち、内管13a内を送給され
る原料ガスの温度を一定に保てるようになっている。
この熱媒体りは熱容量の大きな流体であれば特に限定さ
れるものではなく、シリコーンオイル、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、水、機械油、絶縁油等の液体の
ほか、空気等の気体を用いることができる。これら熱媒
体りは、目的とする保持温度および原料ガスの流速等に
よって適宜選択して用いることができる。
れるものではなく、シリコーンオイル、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、水、機械油、絶縁油等の液体の
ほか、空気等の気体を用いることができる。これら熱媒
体りは、目的とする保持温度および原料ガスの流速等に
よって適宜選択して用いることができる。
このような調温装置11を原料ガス供給管6に接続する
ことにより、CVD反応炉3内に供給される原料ガスの
温度および濃度の安定化を図れるのは以下の通りである
。
ことにより、CVD反応炉3内に供給される原料ガスの
温度および濃度の安定化を図れるのは以下の通りである
。
二重壁管13の内管13aと外管13bとの間に、一定
温度の熱媒体りを流動させると、内管138内はこの温
度に保持される。一定温度に保持されたこの内管13a
よりも高温の原料ガスが送給されると、原料ガスは流動
する熱媒体りによって冷却される。また逆に原料ガスの
温度が低温である場合には、熱媒体りによって加熱され
、一定温度の原料ガスを供給できるようになる。
温度の熱媒体りを流動させると、内管138内はこの温
度に保持される。一定温度に保持されたこの内管13a
よりも高温の原料ガスが送給されると、原料ガスは流動
する熱媒体りによって冷却される。また逆に原料ガスの
温度が低温である場合には、熱媒体りによって加熱され
、一定温度の原料ガスを供給できるようになる。
そして特に原料ガスとして、常温で液体または固体の原
料化合物を不活性ガス等のキャリアガスでガス化して用
いる場合には、原料化合物の飽和蒸気圧の濃度で定常状
態となった原料ガスを供給できるという利点かある。す
なわち原料ガス中に含まれている原料化合物のうち、熱
媒体りの設定温度における飽和蒸気圧を越える分は内管
13aにて液化する。よって原料ガス中の原料化合物濃
度を常に設定温度の飽和蒸気圧の濃度とすることができ
るわけである。
料化合物を不活性ガス等のキャリアガスでガス化して用
いる場合には、原料化合物の飽和蒸気圧の濃度で定常状
態となった原料ガスを供給できるという利点かある。す
なわち原料ガス中に含まれている原料化合物のうち、熱
媒体りの設定温度における飽和蒸気圧を越える分は内管
13aにて液化する。よって原料ガス中の原料化合物濃
度を常に設定温度の飽和蒸気圧の濃度とすることができ
るわけである。
したがってCVD反応炉3内に供給される原料ガスは、
温度が一定であるのみならず濃度も一定とすることがで
きるので、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被
膜の形成が可能となる。
温度が一定であるのみならず濃度も一定とすることがで
きるので、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被
膜の形成が可能となる。
このような製造装置を用い、光ファイバ裸線1表面に炭
素被膜を形成するには、以下の工程による。
素被膜を形成するには、以下の工程による。
光ファイバ母材を光ファイバ紡糸炉2内で溶融紡糸する
と共に、光ファイバ紡糸炉2の下段に設けられたCVD
反応炉3、樹脂液塗布装置9、硬化装置IO内へ挿通し
、これらの中心軸上を所定の線速で走行するように供給
する。
と共に、光ファイバ紡糸炉2の下段に設けられたCVD
反応炉3、樹脂液塗布装置9、硬化装置IO内へ挿通し
、これらの中心軸上を所定の線速で走行するように供給
する。
ついで発熱体5を発熱させて反応管4内を所定温度に加
熱すると共に、調温装置11を経て一定温度とされた原
料ガスを原料ガス供給管6より反応管4内へ供給する。
熱すると共に、調温装置11を経て一定温度とされた原
料ガスを原料ガス供給管6より反応管4内へ供給する。
調温装置IIへは一定温度とされた熱媒体りを内管13
aと外管13bとの間で所定流速で流動せしめる。
aと外管13bとの間で所定流速で流動せしめる。
この原料ガスに用いられる炭化水素化合物は、熱分解に
よって炭素被膜を形成するものであれば特に限定される
ものではなく、たとえばメタン、エタン、プロパン、エ
チレン、アセチレン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭
化水素のほか、ベンゼン、ナフタリン等の芳香族炭化水
素を用いることができる。これら原料化合物が液体ある
いは固体である場合には、不活性ガス等によってガス化
することにより原料ガスとすることができる。
よって炭素被膜を形成するものであれば特に限定される
ものではなく、たとえばメタン、エタン、プロパン、エ
チレン、アセチレン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭
化水素のほか、ベンゼン、ナフタリン等の芳香族炭化水
素を用いることができる。これら原料化合物が液体ある
いは固体である場合には、不活性ガス等によってガス化
することにより原料ガスとすることができる。
原料ガスの供給速度および温度はその種類およびその混
合比率やCVD反応炉3の加熱温度等によって適宜選択
されるが、通常は0.2〜1.OQ1分程度が好適であ
る。
合比率やCVD反応炉3の加熱温度等によって適宜選択
されるが、通常は0.2〜1.OQ1分程度が好適であ
る。
反応管4内の温度は、原料ガスの種類や紡糸速度等によ
って適宜遣択できるが、炭化水素化合物の熱分解に十分
な温度であれば良く、500〜1100℃程度が好適で
ある。加熱温度を500℃以下にすると炭化水素化合物
の熱分解が進行せず、また1100℃以上にすると副生
成物の煤が多量に発生すると共に、光ファイバ裸線1表
面に形成される炭素被膜の構造が黒鉛構造に近くなり、
十分な耐水素特性が得られなくなるので好ましくない。
って適宜遣択できるが、炭化水素化合物の熱分解に十分
な温度であれば良く、500〜1100℃程度が好適で
ある。加熱温度を500℃以下にすると炭化水素化合物
の熱分解が進行せず、また1100℃以上にすると副生
成物の煤が多量に発生すると共に、光ファイバ裸線1表
面に形成される炭素被膜の構造が黒鉛構造に近くなり、
十分な耐水素特性が得られなくなるので好ましくない。
またこの副生成物の煤の発生を防止する目的で、加熱温
度は原料化合物の熱分解温度よりもごく僅かに低温に設
定しておくことが望ましい。
度は原料化合物の熱分解温度よりもごく僅かに低温に設
定しておくことが望ましい。
このようにして炭素被膜が形成された光ファイバ裸線1
を、下段に設けられた樹脂液塗布装置9内へ導入し、つ
いで樹脂液を硬化させる硬化装置IO内へ挿通する。樹
脂液塗布装置9内へ挿通された光ファイバ裸線1は、保
護被覆層を形成するための紫外線硬化樹脂液あるいは熱
硬化型樹脂液等が塗布され、ついで塗布された樹脂液に
好適な硬化条件を有する硬化装置10内で硬化されて保
護被覆層が形成される。
を、下段に設けられた樹脂液塗布装置9内へ導入し、つ
いで樹脂液を硬化させる硬化装置IO内へ挿通する。樹
脂液塗布装置9内へ挿通された光ファイバ裸線1は、保
護被覆層を形成するための紫外線硬化樹脂液あるいは熱
硬化型樹脂液等が塗布され、ついで塗布された樹脂液に
好適な硬化条件を有する硬化装置10内で硬化されて保
護被覆層が形成される。
上記のように、原料ガスを調温装置tiを経て供給する
と、常に一定温度の原料ガスを反応管4内に供給するこ
とができ、反応管4内の温度分布が変化することがない
ので、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被膜を
形成することができる。
と、常に一定温度の原料ガスを反応管4内に供給するこ
とができ、反応管4内の温度分布が変化することがない
ので、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被膜を
形成することができる。
さらに調温装置11内を送給された原料ガスは、その設
定温度にて飽和蒸気圧となるので、一定濃度にて供給さ
れることとなり、長手方向に沿って均質な炭素被膜を形
成する上で非常に有効である。
定温度にて飽和蒸気圧となるので、一定濃度にて供給さ
れることとなり、長手方向に沿って均質な炭素被膜を形
成する上で非常に有効である。
またこのような原料ガスを熱分解して得られた炭素被膜
は緻密な構造を有するものであるので、得られた光ファ
イバは耐水素特性にも優れたものとなる。
は緻密な構造を有するものであるので、得られた光ファ
イバは耐水素特性にも優れたものとなる。
なおこの例では光ファイバ裸線1表面に単一の炭素被膜
を形成したが、光ファイバ裸線1表面に形成する炭素被
膜の層数はこれに限られるものではなく、2層以上の炭
素被膜を連続して形成しても良い。
を形成したが、光ファイバ裸線1表面に形成する炭素被
膜の層数はこれに限られるものではなく、2層以上の炭
素被膜を連続して形成しても良い。
さらにこの例では炭素被膜上に単一の保護被覆層を形成
したが、この保護被覆層の層数もこれに限られるもので
はなく、複数の保護被覆層を形成しても良い。
したが、この保護被覆層の層数もこれに限られるもので
はなく、複数の保護被覆層を形成しても良い。
C実施例]
(実施例1)
光ファイバ母材から光ファイバ裸線を紡糸する紡糸炉の
下段に、石英管の反応管を有する抵抗CVD反応炉を取
り付けた。さらに石英からなる二重壁管を用意し、内管
と外管との間に30℃に保温されたシリコーンオイルを
流動せしめて調温装置としたものを、上記反応管の原料
供給口に接続して第1図に示したと同様の光ファイバの
製造装置とした。
下段に、石英管の反応管を有する抵抗CVD反応炉を取
り付けた。さらに石英からなる二重壁管を用意し、内管
と外管との間に30℃に保温されたシリコーンオイルを
流動せしめて調温装置としたものを、上記反応管の原料
供給口に接続して第1図に示したと同様の光ファイバの
製造装置とした。
紡糸炉内にGem、がドープ剤として含浸されたコア部
を有する外径30間の単一モード光ファイバ母材を設置
した。この光ファイバ母材を2000℃に加熱して、6
(in/分の紡糸速度で外径125μ百の単一モード光
ファイバに紡糸した。さらに抵抗CVD反応炉内を13
00℃に加熱した。約10vo1%にヘリウムガスでガ
ス化したベンゼンを調温装置内に導入し、原料ガス供給
口より反応管内に30℃の温度に保たれた原料ガスを5
f2/分の流量で供給し、光ファイバ課線表面に炭素被
膜を形成した。そして副生成物と未反応物とは排気管か
ら一6mmHgの排気圧で除去した。
を有する外径30間の単一モード光ファイバ母材を設置
した。この光ファイバ母材を2000℃に加熱して、6
(in/分の紡糸速度で外径125μ百の単一モード光
ファイバに紡糸した。さらに抵抗CVD反応炉内を13
00℃に加熱した。約10vo1%にヘリウムガスでガ
ス化したベンゼンを調温装置内に導入し、原料ガス供給
口より反応管内に30℃の温度に保たれた原料ガスを5
f2/分の流量で供給し、光ファイバ課線表面に炭素被
膜を形成した。そして副生成物と未反応物とは排気管か
ら一6mmHgの排気圧で除去した。
さらに樹脂コート用ダイスポット内にウレタンアクリレ
ート樹脂液(ヤング率70 kg/ mm’、伸び60
%)を封入し、この中に上記工程にて炭素被膜が形成さ
れた光ファイバを挿通して、その表面に紫外線硬化型樹
脂液を塗布した後、紫外線ランプを照射して上記樹脂液
を硬化させて、外径が約250μmの光ファイバを製造
した。
ート樹脂液(ヤング率70 kg/ mm’、伸び60
%)を封入し、この中に上記工程にて炭素被膜が形成さ
れた光ファイバを挿通して、その表面に紫外線硬化型樹
脂液を塗布した後、紫外線ランプを照射して上記樹脂液
を硬化させて、外径が約250μmの光ファイバを製造
した。
(実施例2)
紡糸速度を100m/分とし、原料ガスのベンゼン濃度
を20vo1%とした以外は、実施例1と全く同様にし
て光ファイバを製造した。
を20vo1%とした以外は、実施例1と全く同様にし
て光ファイバを製造した。
(比較例1)
調温装置を用いずに原料ガスを直接反応管に供給した以
外は、実施例1と全く同様にして光ファイバを製造しf
こ。
外は、実施例1と全く同様にして光ファイバを製造しf
こ。
(比較例2)
!l’!J温装置を用いずに原料ガスを直接反応管に供
給した以外は、実施例2と全く同様にして光ファイバを
製造した。
給した以外は、実施例2と全く同様にして光ファイバを
製造した。
(試験例1)
上記実施例11実施例2、比較例1および比較例2で得
られた各光ファイバを、長さlkmで直径150)の束
状態にし、水素分圧1 atm、温度80℃の耐水素特
性評価用加圧容器内に48時間放置した。この後の波長
1.24μmにおける伝送損失の増加量(dB / k
m)を測定した。この結果を第1表に示した。
られた各光ファイバを、長さlkmで直径150)の束
状態にし、水素分圧1 atm、温度80℃の耐水素特
性評価用加圧容器内に48時間放置した。この後の波長
1.24μmにおける伝送損失の増加量(dB / k
m)を測定した。この結果を第1表に示した。
(試験例2)
光ファイバ裸線表面に形成された炭素被膜の付着量を調
べる目安として、実施例1、実施例2比較例1および比
較例2の各光ファイバ表面の電気抵抗値(kΩ/c11
1)を測定した。電気抵抗値の測定は2端子法により行
い、測定箇所は各光ファイバlkmに対して50m間隔
にて計21箇所づつ測定し、この分布を調べた。この結
果を第1表に合わせて示した。なお炭素被膜は導電性で
あるために、炭素被膜の電気抵抗値が小さい程、多量の
炭素被膜が付着していることを示す。
べる目安として、実施例1、実施例2比較例1および比
較例2の各光ファイバ表面の電気抵抗値(kΩ/c11
1)を測定した。電気抵抗値の測定は2端子法により行
い、測定箇所は各光ファイバlkmに対して50m間隔
にて計21箇所づつ測定し、この分布を調べた。この結
果を第1表に合わせて示した。なお炭素被膜は導電性で
あるために、炭素被膜の電気抵抗値が小さい程、多量の
炭素被膜が付着していることを示す。
第1表
以上の結果から、この発明の製造方法による実施例1、
実施例2の各光ファイバはいずれも電気抵抗値が小さく
、炭素被膜が多量に析出しているために、耐水素特性が
良好となっている。さらに電気抵抗値の偏りも小さく、
光ファイバの長平方向に沿って均質な膜が形成されてい
ることが確認できた。
実施例2の各光ファイバはいずれも電気抵抗値が小さく
、炭素被膜が多量に析出しているために、耐水素特性が
良好となっている。さらに電気抵抗値の偏りも小さく、
光ファイバの長平方向に沿って均質な膜が形成されてい
ることが確認できた。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明の光ファイバの製造装置
は、一端に原料ガス供給管が、他端に排気管がそれぞれ
接続され、原料ガスを熱分解して光ファイバ裸線表面に
炭素被膜を形成する反応管の外周に、反応管を加熱する
発熱体が配設されてなる光ファイバの製造装置において
、原料ガスを送給する内管と、この内管を包囲する外管
と、上記内管と外管との間に流動せしめられる熱媒体と
からなる調温装置を上記原料ガス供給管に接続したもの
なので、一定温度の原料ガスを反応管内へ供給すること
ができる。よって反応管内の温度分布が変化することが
ないので、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被
膜を形成することができる。
は、一端に原料ガス供給管が、他端に排気管がそれぞれ
接続され、原料ガスを熱分解して光ファイバ裸線表面に
炭素被膜を形成する反応管の外周に、反応管を加熱する
発熱体が配設されてなる光ファイバの製造装置において
、原料ガスを送給する内管と、この内管を包囲する外管
と、上記内管と外管との間に流動せしめられる熱媒体と
からなる調温装置を上記原料ガス供給管に接続したもの
なので、一定温度の原料ガスを反応管内へ供給すること
ができる。よって反応管内の温度分布が変化することが
ないので、光ファイバの長手方向に沿って均質な炭素被
膜を形成することができる。
さらに調温装置により原料ガス中の原料化合物濃度をも
一定に保つことが可能となり、均質な炭素被膜を形成す
る点で有用である。
一定に保つことが可能となり、均質な炭素被膜を形成す
る点で有用である。
またこの発明の製造装置で得られた光ファイバは、その
表面に水素透過阻止能力を有する炭素被膜が形成された
ものであるので、耐水素特性に優れた光ファイバを得る
ことができる。
表面に水素透過阻止能力を有する炭素被膜が形成された
ものであるので、耐水素特性に優れた光ファイバを得る
ことができる。
第1図はこの発明の光ファイバの製造装置の一例を示し
た概略構成図、第2図は調温装置の一例を示した概略構
成図、第3図は従来の光ファイバの製造装置を示した概
略構成図である。 l・・・光ファイバ裸線、 3・・・CVD反応炉、 4・・・反応管、 5・・・発熱体、 6・・・原料ガス供給管、 7・・・排気管、 11・・・調温装置、 13a・・・内管、 13b・・・外管。
た概略構成図、第2図は調温装置の一例を示した概略構
成図、第3図は従来の光ファイバの製造装置を示した概
略構成図である。 l・・・光ファイバ裸線、 3・・・CVD反応炉、 4・・・反応管、 5・・・発熱体、 6・・・原料ガス供給管、 7・・・排気管、 11・・・調温装置、 13a・・・内管、 13b・・・外管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一端に原料ガス供給管が、他端に排気管がそれぞれ接続
され、原料ガスを熱分解して光ファイバ裸線表面に炭素
被膜を形成する反応管の外周に、反応管を加熱する発熱
体が配設されてなる光ファイバの製造装置において、 原料ガスを送給する内管と、この内管を包囲する外管と
、上記内管と外管との間に流動せしめられる熱媒体とか
らなる調温装置を上記原料ガス供給管に接続したことを
特徴とする光ファイバの製造装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2068618A JP2796166B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 光ファイバの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2068618A JP2796166B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 光ファイバの製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03271139A true JPH03271139A (ja) | 1991-12-03 |
JP2796166B2 JP2796166B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=13378928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2068618A Expired - Lifetime JP2796166B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 光ファイバの製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2796166B2 (ja) |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP2068618A patent/JP2796166B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2796166B2 (ja) | 1998-09-10 |
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