JPH0326905A - 特殊円柱の外径計測装置 - Google Patents
特殊円柱の外径計測装置Info
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- JPH0326905A JPH0326905A JP16226689A JP16226689A JPH0326905A JP H0326905 A JPH0326905 A JP H0326905A JP 16226689 A JP16226689 A JP 16226689A JP 16226689 A JP16226689 A JP 16226689A JP H0326905 A JPH0326905 A JP H0326905A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 20
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は，第６図（Ａ）〜（Ｃ）で示すように断面が真
円でない特殊な円柱の外径，特に回転中のドリルの外径
を非接触で計測するために好適な特殊円柱の外径計測装
置に関する． （従来の技術） 従来、この種の装誼としては、第７図〜第９図で示すも
のが知られている． 第７図の装置は，光源１の光がレンズ２で平行となり、
被測定物ａを照射すると，被測定物ａが光電変換センサ
３の受光部に投影され，光電流に変換される．この光電
流は、被測定物ａの影の大きさに比例するので、増幅器
４で増幅したのち、あらかじめ較正しておいた光電流に
より被測定物ａの外径が求められる． 第８図の装置は，光源ｌからの光は、それぞれ反射鏡５
、６で反射されたのちレンズ７，８により２つの平行光
となり、一方の千行光は検出すべき被測定物ａを照射し
、他方の平行光は標準用の被測定物ｂを照射する．これ
により、被測定物ａはレンズ９より縮小されて光電変換
センサｌ１の受光部に投影され、被測定物ｂはレンズ１
０により縮小されて光電変換センサ１２の受光部に投影
される．そして、これら両光電変換センサｌｌ、ｌ２の
各出力信号を差動増幅器ｌ３で比較し、被測定物ａの外
径を求める． 第９図の装置は、光源ｌからの光がレンズｌ４で平行光
となり、被測定物ａを照射すると、その被測定物ａがレ
ンズｌ５で拡大されてＣＣＤラインセンサ１６の受光部
に投影される．これにより，ＣＣＤラインセンサ１６か
らはその画素数に応じた明暗信号が出力され、この信号
を信号処理器ｌ７で信号処理し、被測定物ａの外径を求
める． （発明が解決しようとする課題） ところで、第７図および第８図で示した装置では、被測
定物ａの断面が真円の場合には，被測定物ａを回転させ
た状態であっても計測可能であるが、被測定物ａの断面
が第６図（Ａ）〜（Ｃ）で示すように真円でなく一部欠
けているものについては、回転時における正確な計測は
不可能であった． また、第９図の装置では、被測定物ａの断面が真円でな
いものであっても，回転時における計測は可能であるが
、ＣＯＤライセンサの走査タイミングとの関係を考慮し
なければならないので、被測定物ａの測定可能な回転数
は低速時に限られ，実用的でないという欠点があった． 本発明は、これらの問題を解消し、ドリルのようにその
断面が真円でない特殊な円柱の外径を，高速または低速
回転にかかわらず回転中に高精度で計測できるようにす
ることを目的とする．（課題を解決するための手段） かかる目的を達或するために，本発明は、以下のように
構威した． 請求項ｌの装置は，光源からの千行光を反射させて交差
させる光学系を形成し、その光学系の終端に光電変換手
段を配置するとともに、前記平行光の交差中心位置に被
測定物の測定空間を形成してなるものである． また，請求項２の装置は，光源からの千行光を２方向に
分割し，その分割させた各平行光を反射して交差させる
光学系を形成し、その分割させた各平行先の各終端に光
電変換手段をそれぞれ配置するとともに、前記各平行光
の交差中心位置に被測定物の測定空間を形成してなるも
のである．（作用） このように構成する請求項ｌの装置では，被測定物は，
同一光源からの千行光により異なる方向から複数回照射
される．そして、光電変換手段は，その照射に応じた被
測定物の総合の影を検出する． また請求項２の装置では、被測定物は，２方向に分割さ
れた各分割光により異なる方向から照射される．各光電
変換手段は、その各照射“に応じた１１定物のそれぞれ
の影を検出する． （実施例） 第１図は、本発明の第１実施例を示す全体の構成図であ
る． 第１実施例は，光学系，光電変換系、および信号処理系
から構成する． 光学系は、光源２０，゛その光源の光を平行光とするレ
ンズ２ｌ、平行光を反射する２個の反射鏡２２、２３，
反射光を拡大するレンズ２４からなる．そして、レンズ
２１から得られる千行光と、２個の反射鏡２２．２３で
反射された反射光との交差中心位置を，被測定物ａの測
定空間とする．光電変換系は，ＣＯＤライセンサ２５と
、そのＣＣＤラインセンサ２５を駆動するＣＯＤ駆動回
路２６と，ＣＯＤ駆動回路２６に駆動信号を供給するタ
イミングジェネレータ回路２６Ａとからなる． 信号処理系は、ＣＣＤラインセンサ２５からの出力信号
を増幅する増幅回路２７、その増幅した信号をパルスに
変換する波形整形回路２８，その変換されたパルスを計
数するカウンタ２９、その計数値を記憶するメモリ３０
、その記億した計数値から被測定物ａの外径を求める外
径算出回路３ｌ、その求めた外径を表示する表示器３２
からなる． 次に、このように構成する第１実施例の動作例について
説明する． いま，図示のように測定空間に回転中の被測定物ａが置
かれているものとする． そして、光源２０からの光はレンズ２１で平行光となり
、被測定物ａを照射する．この平行光のうち、光軸に近
い部分の平行先は被測定物ａに進行を妨げられ、その外
側の残余の平行光のみが進行して反射鏡２３、２４で反
射され，この反射光が被測定物ａを照射する． ここで、反射光のうち、被測定物ａｔｌ＠射した反射光
は進行を妨げられ、残余の反射光がレンズ２４で拡大さ
れ、ＣＣＤラインセンサ２５の感光部］二に被測定物ａ
の円周部の影が投影される．次に、タイミングジェネレ
ータ回路２８Ａからの信号によりＣＯＤ駆動回路２６が
作動し、ＣＣＤラインセンサ２５の走査が行われると、
ＣＣＤラインセンサ２５から受光量に比例した光電信号
が出力される． この信号は、増幅回路２７で増幅されたのち、波形整形
回路２８でパルス化され、このパルスをカウンタ２９で
計数し，その最大計数値をメモリ３０に記憶する． ここで、ＣＣＤラインセンサ２５の感光部上に投影され
た影の長さを、カウンタ２９の計数値に比例するように
しておけば、カウンタ２９の最終計ａ偵が被測定物ａの
外径に対応する．従って，外径算出回路３１では，その
メモリ３０に記憶されている最大計数値に基づき被測定
物ａの外径を算出し、その算出した外径は表示器３２に
表示される． 次に本発明のｗＳ２実施例について、第２図を参照して
説明する． この実施例は、第エ実施例と同様に光源２０からの平行
光を反射［２２、２３で反射させたのち、さらにその反
射光を反射＠３３、３４で反射させ、その反射光をＣＣ
Ｄラインセンサ２５の受光部で受光するようにしたもの
である．そして、各光路の交差中心位置を被測定物ａの
測定空間とする．他に構成については第１実施例と同様
であるので，その説明は省略する． このように構處するｓ２実施例では、千行光が同一平面
内で２回交差するようにしたので、被測定物ａにおける
断面の円弧の長さが真円の場合の円周の長さｌ／４以下
の場合であっても、被測定物ａの外径を計測できる． 次に、本発明の第３実施例について、第３図を参照して
説明する． この第３実施例は、光＠２０からの千行光を分割反射鏡
３５で２つに分割し，その各分割光をそれぞれ反射鏡３
６、３７で反射し、その各反射光を対応する各ＣＣＤラ
インセンサ２５Ａ、２５Ｂで受光するようにしたもので
ある．そして、各反射光路の交差中心位置を被測定物ａ
の測定空間とする．なお、平行光の分割法には、上述の
ように分割反射鏡を用いる他にハーフミラー法、偏光ミ
ラー法、波長分割法、上下分割法などがある．このよう
に構成する第３実施例の動作を説明すると、分割反射鏡
３５で分割された各平行光は反射鏡３６、３７でそれぞ
れ反射され，被測定物ａを図示のように異なる方向から
照射する．その結果、ＣＣＤラインセンサ２５Ａ、２５
Ｂの各受光部には，その各照射に対応する被測定物ａの
影がそれぞれ投影される． これらの影のうち長い方の影が被測定物ａの外径に対応
するので、長い方の影が投影されたＣＣＤラインセンサ
（第３図の場合にはラインセンサ２５Ｂ）の出力信号を
第１実施例の場合と同様に信号処理すれば被測定物ａの
外径が求められる．このように構成する第３実施例では
、第１実施例と比較して全体の構威が複雑になるが、被
測定物ａＩ：Ｉ１４定する際にその測定位置が多少ずれ
ても測定に影響を与えずに高精度の測定が可能である． 次に、本発明の第４実施例について，第４図を参照して
説明する． この実施例は，測定ａＩｌｒＭを広くして、被測定物の
第一反射面と第二反射面による影を．ＣＣＤ感光面に別
々に投影し計測する方法である．１個の光源２０からの
広幅の平行光を反射鏡３８．３９でそれぞれ反射させ、
その反射光をＣＯＤライセンサ２５で受光するようにし
たものであり，投影された２つの影のうち長い方の影が
被測定物ａの外径に対応するので．ＣＯＤラインセンサ
２５からの出力信号を比較し表示する．これを詳述する
と，光源２０からの平行光は、被測定物ａを異なる方向
から照射し，ＣＣＤラインセンサ２５の受光部には，そ
の各照射に対応して被測定物ａの影ｍ１、ｍ２がそれぞ
れ投影される．そして、これに対応するＣＣＤラインセ
ンサ２５の出力信号Ｓ１は，例えば図示のようになる． この出力信号Ｓｌにおいて，期間ｔｌと期間ｔ２とを比
較すると、長い方の期間ｔ１が被測定物ａの外径に対応
するので，この期間ｋｌを検出して被測定物ａの外径を
求めることができる．このように檎成する第４実施例で
は、第３実施例と同様に全体構成が複雑になるが，被測
定物を測定する際にその測定位置が多少ずれても測定に
影響を与えずに高精度の測定が可能である．以上のよう
に各実施例では，光を反射するのに反射鏡を用いたが、
これに代えて、第５図で示すような反射面４ｌ、４２を
有する光学ガラスのブロック４０が、精度向上および量
産性の点で奸ましい． このような構成のブロック４０は，第１実施例における
反射鏡２２、２３と置き換えることができる． （発明の名称） 本発明は、上述のように構成されているので、次に記載
する効果を奏する． 請求項１の装置では、被測定物に対して同一光源からの
平行光を異なる方向から複数回照射するようにし、その
照射に応じた被測定物の影を光電変換手段で検出するよ
うにしたので、被測定物がドリルのようにその断面が真
円でない特殊な円柱であってもその外径を、高速または
低速回転にかかわらず回転中に高精度で計測できる．ま
た、請求項２の装置では、光源からの平行光を分割し，
その分割光により異なる方向から被測定物をそれぞれ照
射し、その各照射に応じた被測定物のそれぞれの影を対
応する光電変換手段で検出するようにしたので、第１実
施例の効果に加えて、測定の際に被測定物の測定位置が
多少ずれても高精度の計測が可能となる．
円でない特殊な円柱の外径，特に回転中のドリルの外径
を非接触で計測するために好適な特殊円柱の外径計測装
置に関する． （従来の技術） 従来、この種の装誼としては、第７図〜第９図で示すも
のが知られている． 第７図の装置は，光源１の光がレンズ２で平行となり、
被測定物ａを照射すると，被測定物ａが光電変換センサ
３の受光部に投影され，光電流に変換される．この光電
流は、被測定物ａの影の大きさに比例するので、増幅器
４で増幅したのち、あらかじめ較正しておいた光電流に
より被測定物ａの外径が求められる． 第８図の装置は，光源ｌからの光は、それぞれ反射鏡５
、６で反射されたのちレンズ７，８により２つの平行光
となり、一方の千行光は検出すべき被測定物ａを照射し
、他方の平行光は標準用の被測定物ｂを照射する．これ
により、被測定物ａはレンズ９より縮小されて光電変換
センサｌ１の受光部に投影され、被測定物ｂはレンズ１
０により縮小されて光電変換センサ１２の受光部に投影
される．そして、これら両光電変換センサｌｌ、ｌ２の
各出力信号を差動増幅器ｌ３で比較し、被測定物ａの外
径を求める． 第９図の装置は、光源ｌからの光がレンズｌ４で平行光
となり、被測定物ａを照射すると、その被測定物ａがレ
ンズｌ５で拡大されてＣＣＤラインセンサ１６の受光部
に投影される．これにより，ＣＣＤラインセンサ１６か
らはその画素数に応じた明暗信号が出力され、この信号
を信号処理器ｌ７で信号処理し、被測定物ａの外径を求
める． （発明が解決しようとする課題） ところで、第７図および第８図で示した装置では、被測
定物ａの断面が真円の場合には，被測定物ａを回転させ
た状態であっても計測可能であるが、被測定物ａの断面
が第６図（Ａ）〜（Ｃ）で示すように真円でなく一部欠
けているものについては、回転時における正確な計測は
不可能であった． また、第９図の装置では、被測定物ａの断面が真円でな
いものであっても，回転時における計測は可能であるが
、ＣＯＤライセンサの走査タイミングとの関係を考慮し
なければならないので、被測定物ａの測定可能な回転数
は低速時に限られ，実用的でないという欠点があった． 本発明は、これらの問題を解消し、ドリルのようにその
断面が真円でない特殊な円柱の外径を，高速または低速
回転にかかわらず回転中に高精度で計測できるようにす
ることを目的とする．（課題を解決するための手段） かかる目的を達或するために，本発明は、以下のように
構威した． 請求項ｌの装置は，光源からの千行光を反射させて交差
させる光学系を形成し、その光学系の終端に光電変換手
段を配置するとともに、前記平行光の交差中心位置に被
測定物の測定空間を形成してなるものである． また，請求項２の装置は，光源からの千行光を２方向に
分割し，その分割させた各平行光を反射して交差させる
光学系を形成し、その分割させた各平行先の各終端に光
電変換手段をそれぞれ配置するとともに、前記各平行光
の交差中心位置に被測定物の測定空間を形成してなるも
のである．（作用） このように構成する請求項ｌの装置では，被測定物は，
同一光源からの千行光により異なる方向から複数回照射
される．そして、光電変換手段は，その照射に応じた被
測定物の総合の影を検出する． また請求項２の装置では、被測定物は，２方向に分割さ
れた各分割光により異なる方向から照射される．各光電
変換手段は、その各照射“に応じた１１定物のそれぞれ
の影を検出する． （実施例） 第１図は、本発明の第１実施例を示す全体の構成図であ
る． 第１実施例は，光学系，光電変換系、および信号処理系
から構成する． 光学系は、光源２０，゛その光源の光を平行光とするレ
ンズ２ｌ、平行光を反射する２個の反射鏡２２、２３，
反射光を拡大するレンズ２４からなる．そして、レンズ
２１から得られる千行光と、２個の反射鏡２２．２３で
反射された反射光との交差中心位置を，被測定物ａの測
定空間とする．光電変換系は，ＣＯＤライセンサ２５と
、そのＣＣＤラインセンサ２５を駆動するＣＯＤ駆動回
路２６と，ＣＯＤ駆動回路２６に駆動信号を供給するタ
イミングジェネレータ回路２６Ａとからなる． 信号処理系は、ＣＣＤラインセンサ２５からの出力信号
を増幅する増幅回路２７、その増幅した信号をパルスに
変換する波形整形回路２８，その変換されたパルスを計
数するカウンタ２９、その計数値を記憶するメモリ３０
、その記億した計数値から被測定物ａの外径を求める外
径算出回路３ｌ、その求めた外径を表示する表示器３２
からなる． 次に、このように構成する第１実施例の動作例について
説明する． いま，図示のように測定空間に回転中の被測定物ａが置
かれているものとする． そして、光源２０からの光はレンズ２１で平行光となり
、被測定物ａを照射する．この平行光のうち、光軸に近
い部分の平行先は被測定物ａに進行を妨げられ、その外
側の残余の平行光のみが進行して反射鏡２３、２４で反
射され，この反射光が被測定物ａを照射する． ここで、反射光のうち、被測定物ａｔｌ＠射した反射光
は進行を妨げられ、残余の反射光がレンズ２４で拡大さ
れ、ＣＣＤラインセンサ２５の感光部］二に被測定物ａ
の円周部の影が投影される．次に、タイミングジェネレ
ータ回路２８Ａからの信号によりＣＯＤ駆動回路２６が
作動し、ＣＣＤラインセンサ２５の走査が行われると、
ＣＣＤラインセンサ２５から受光量に比例した光電信号
が出力される． この信号は、増幅回路２７で増幅されたのち、波形整形
回路２８でパルス化され、このパルスをカウンタ２９で
計数し，その最大計数値をメモリ３０に記憶する． ここで、ＣＣＤラインセンサ２５の感光部上に投影され
た影の長さを、カウンタ２９の計数値に比例するように
しておけば、カウンタ２９の最終計ａ偵が被測定物ａの
外径に対応する．従って，外径算出回路３１では，その
メモリ３０に記憶されている最大計数値に基づき被測定
物ａの外径を算出し、その算出した外径は表示器３２に
表示される． 次に本発明のｗＳ２実施例について、第２図を参照して
説明する． この実施例は、第エ実施例と同様に光源２０からの平行
光を反射［２２、２３で反射させたのち、さらにその反
射光を反射＠３３、３４で反射させ、その反射光をＣＣ
Ｄラインセンサ２５の受光部で受光するようにしたもの
である．そして、各光路の交差中心位置を被測定物ａの
測定空間とする．他に構成については第１実施例と同様
であるので，その説明は省略する． このように構處するｓ２実施例では、千行光が同一平面
内で２回交差するようにしたので、被測定物ａにおける
断面の円弧の長さが真円の場合の円周の長さｌ／４以下
の場合であっても、被測定物ａの外径を計測できる． 次に、本発明の第３実施例について、第３図を参照して
説明する． この第３実施例は、光＠２０からの千行光を分割反射鏡
３５で２つに分割し，その各分割光をそれぞれ反射鏡３
６、３７で反射し、その各反射光を対応する各ＣＣＤラ
インセンサ２５Ａ、２５Ｂで受光するようにしたもので
ある．そして、各反射光路の交差中心位置を被測定物ａ
の測定空間とする．なお、平行光の分割法には、上述の
ように分割反射鏡を用いる他にハーフミラー法、偏光ミ
ラー法、波長分割法、上下分割法などがある．このよう
に構成する第３実施例の動作を説明すると、分割反射鏡
３５で分割された各平行光は反射鏡３６、３７でそれぞ
れ反射され，被測定物ａを図示のように異なる方向から
照射する．その結果、ＣＣＤラインセンサ２５Ａ、２５
Ｂの各受光部には，その各照射に対応する被測定物ａの
影がそれぞれ投影される． これらの影のうち長い方の影が被測定物ａの外径に対応
するので、長い方の影が投影されたＣＣＤラインセンサ
（第３図の場合にはラインセンサ２５Ｂ）の出力信号を
第１実施例の場合と同様に信号処理すれば被測定物ａの
外径が求められる．このように構成する第３実施例では
、第１実施例と比較して全体の構威が複雑になるが、被
測定物ａＩ：Ｉ１４定する際にその測定位置が多少ずれ
ても測定に影響を与えずに高精度の測定が可能である． 次に、本発明の第４実施例について，第４図を参照して
説明する． この実施例は，測定ａＩｌｒＭを広くして、被測定物の
第一反射面と第二反射面による影を．ＣＣＤ感光面に別
々に投影し計測する方法である．１個の光源２０からの
広幅の平行光を反射鏡３８．３９でそれぞれ反射させ、
その反射光をＣＯＤライセンサ２５で受光するようにし
たものであり，投影された２つの影のうち長い方の影が
被測定物ａの外径に対応するので．ＣＯＤラインセンサ
２５からの出力信号を比較し表示する．これを詳述する
と，光源２０からの平行光は、被測定物ａを異なる方向
から照射し，ＣＣＤラインセンサ２５の受光部には，そ
の各照射に対応して被測定物ａの影ｍ１、ｍ２がそれぞ
れ投影される．そして、これに対応するＣＣＤラインセ
ンサ２５の出力信号Ｓ１は，例えば図示のようになる． この出力信号Ｓｌにおいて，期間ｔｌと期間ｔ２とを比
較すると、長い方の期間ｔ１が被測定物ａの外径に対応
するので，この期間ｋｌを検出して被測定物ａの外径を
求めることができる．このように檎成する第４実施例で
は、第３実施例と同様に全体構成が複雑になるが，被測
定物を測定する際にその測定位置が多少ずれても測定に
影響を与えずに高精度の測定が可能である．以上のよう
に各実施例では，光を反射するのに反射鏡を用いたが、
これに代えて、第５図で示すような反射面４ｌ、４２を
有する光学ガラスのブロック４０が、精度向上および量
産性の点で奸ましい． このような構成のブロック４０は，第１実施例における
反射鏡２２、２３と置き換えることができる． （発明の名称） 本発明は、上述のように構成されているので、次に記載
する効果を奏する． 請求項１の装置では、被測定物に対して同一光源からの
平行光を異なる方向から複数回照射するようにし、その
照射に応じた被測定物の影を光電変換手段で検出するよ
うにしたので、被測定物がドリルのようにその断面が真
円でない特殊な円柱であってもその外径を、高速または
低速回転にかかわらず回転中に高精度で計測できる．ま
た、請求項２の装置では、光源からの平行光を分割し，
その分割光により異なる方向から被測定物をそれぞれ照
射し、その各照射に応じた被測定物のそれぞれの影を対
応する光電変換手段で検出するようにしたので、第１実
施例の効果に加えて、測定の際に被測定物の測定位置が
多少ずれても高精度の計測が可能となる．
第１図は本発明の第１実施例の全体構成図、第２図〜４
図はそれぞれ本発明の他の実施例の概略構成図、第５図
は光学ガラスのブロックの一例を示す図，第６図（Ａ）
〜（Ｃ）はそれぞれ被測定物の断面図の一例を示す図、
第７図〜第９図はそれぞれ従来装置の構成図である． ２０・・・光源、２ｌ・・・レンズ、
図はそれぞれ本発明の他の実施例の概略構成図、第５図
は光学ガラスのブロックの一例を示す図，第６図（Ａ）
〜（Ｃ）はそれぞれ被測定物の断面図の一例を示す図、
第７図〜第９図はそれぞれ従来装置の構成図である． ２０・・・光源、２ｌ・・・レンズ、
Claims (2)
- （１）光源からの平行光を反射させて交差させる光学系
を形成し、その光学系の終端に光電変換手段を配置する
とともに、前記平行光の交差中心位置に被測定物の測定
空間を形成してなる特殊円柱の外径計測装置。 - （２）光源からの平行光を２方向に分割し、その分割さ
せた各平行光を反射して交差させる光学系を形成し、そ
の分割させた各平行光の各終端に光電変換手段をそれぞ
れ配置するとともに、前記各平行光の交差中心位置に被
測定物の測定空間を形成してなる特殊円柱の外径計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16226689A JPH0326905A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 特殊円柱の外径計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16226689A JPH0326905A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 特殊円柱の外径計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0326905A true JPH0326905A (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=15751186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16226689A Pending JPH0326905A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 特殊円柱の外径計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0326905A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011080962A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Denso Corp | 振れ計測装置及び振れ計測方法 |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP16226689A patent/JPH0326905A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011080962A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Denso Corp | 振れ計測装置及び振れ計測方法 |
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