JPH0266476A

JPH0266476A - 半導体回路試験装置

Info

Publication number: JPH0266476A
Application number: JP63217921A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Hirota; 廣田　政寛
Original assignee: NEC Kyushu Ltd
Current assignee: NEC Kyushu Ltd
Priority date: 1988-08-31
Filing date: 1988-08-31
Publication date: 1990-03-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は半導体回路試験装置に関し、特に制御系と計測
系が分離された試験装置に関する。

（従来の技術）従来、この種の試験装置は、第２図に示すように、載置
した半導体回路Ａに電気接続して計測を行う計測系１と
、この計測系１に通信線３で電気接続して計測系１を制
御する制御系２で構成されている。この制御系２は、フ
ァンクションブロック４．レベルブロック５．試料用電
源及び直流測定ブロック６、更に制御部７で構成してお
り、各ブロックからの信号を通信線３を通して計測系１
に送出し、かつ受信することで、計測系１における回路
試験を行っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体回路試験装置は、計測系ｌと制御
系２を通信線３で接続しているため、周囲に存在する電
磁波等のノイズが通信線３に混入し、このノイズが計測
信号に影響して正確かつ高精度の計測が阻害されるとい
う問題がある。また、計測系１と制御系２の各部を夫々
通信線３で接続する必要があるため、通信線３の線材の
数量が増大して煩雑になるという問題がある。

本発明はノイズによる影響を無くし、かつ線材の数量を
低減して上述した問題を解消することを可能とした半導
体回路試験装置を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体回路試験装置は、半導体回路に接触して
電気的な計測を行う計測系と、この計測系を制御する制
御系の夫々に光通信用インターフェイスを配設し、かつ
これらを通信線としての光ファイバで接続して計測系と
制御系間で光信号を送受可能に構成している。

また、制御系の一部のブロックを計測系に配設する。

〔作用］上述した構成では、計測系と制御系との間の信号を光信
号で送受でき、周囲の電磁波等によるノイズの影響を解
消する。また、制御系の一部のブロックを計測系に配設
することで、通信線の数を低減できる。

〔実施例〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の試験装置の一実施例の構成図である。

図において、１はテスターステーション、即ち計測系で
あり、載置した半導体回路Ａに電気接続して電気的特性
等の計測を行う。ここでは計測系１内にレベルブロック
５．及び光通信インターフェイス８を配設している。ま
た、２はテスター本体、即ち制御系であり、ファンクシ
ョンブロック４．試料用電源及び直流測定ブロック６、
及び制御部７を有するとともに、ここでは光通信インタ
ーフェイス９を設けている。そして、これら各県の光通
信インターフェイス８，９を通信線の一部としての光フ
ァイバ３１により接続している。

なお、計測系１と前記試料用電源及び直流測定ブロック
６は、これまでと同様に電気的な線材からなる通信線３
で接続している。

この構成によれば、計測系１０半導体回路Ａの計測にお
いては、各種の電気特性を計測するが、特にレベル計測
のみは計測系ｌ内で行うことになる。このため、計測系
１と制御系２とを接続する通信線の本数を低減すること
ができる。

また、これらの計測に際しての計測系１と制御系２との
間の信号の送受は、両者に設けた光通信インターフェイ
ス８．９によってレーザ光等の光信号に変換した上で、
光ファイバ３１を介して行うことになる。このため、周
囲に存在する電磁波等の影響を受けることはなく、ノイ
ズの影響が殆どない計測が実現できる。また、光信号の
送受により、信号の多重化を容易にし、ケーブル数を一
層低減して計測系１と制御系２との接続を簡素化するこ
ともできる。これにより、装置の移設、移動時の切り離
しが容易となり、工数を低減できる効果もある。

なお、通信線３は電源及び直流を通流させるためのもの
であり、ノイズが影響されることはない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、計測系と制御系の夫々に
光通信用インターフェイスを配設し、かつこれらを光フ
ァイバで接続して計測系と制御系間で光信号を送受可能
に構成しているので、周囲の電磁波等によるノイズの影
響を解消することができ、正確かつ高精度の計測が実現
できる。また、信号を多重化することで、通信線の本数
を低減でき、接続構造の簡略化を図ることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成図、第２図は従来
の半導体回路試験装置の全体構成図である。１・・・計測系、２・・・制御系、３・・・通信線、４
・・・ファンクションブロック、５・・・レベルブロッ
ク、６・・・試料用電源及び直流測定ブロック、７・・
・制御部、８．９・・・光通信用インターフェイス、３
１・・・光ファイバ、Ａ・・・半導体回路。

Claims

【特許請求の範囲】

１、半導体回路に接触して電気的な計測を行う計測系と
、この計測系を制御する制御系と、これら計測系と制御
系とを接続する通信線とで構成され、前記計測系と制御
系の夫々に光通信用インターフェイスを配設し、かつこ
れらを光ファイバで接続して計測系と制御系間で光信号
を送受可能に構成したことを特徴とする半導体回路試験
装置。