JPH0240177B2 - Kogakuhikyumennokensaho - Google Patents
KogakuhikyumennokensahoInfo
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- JPH0240177B2 JPH0240177B2 JP22972882A JP22972882A JPH0240177B2 JP H0240177 B2 JPH0240177 B2 JP H0240177B2 JP 22972882 A JP22972882 A JP 22972882A JP 22972882 A JP22972882 A JP 22972882A JP H0240177 B2 JPH0240177 B2 JP H0240177B2
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- grating
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 29
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0257—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
- G01M11/0264—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested by using targets or reference patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ロンキー検査法を改良した光学非球
面の検査法に係わるものである。
面の検査法に係わるものである。
ロンキー検査法は、直線格子を被検光学素子の
焦点または焦点近傍に置き、後方から観測したゆ
がんだ格子模様（ロンキー縞）を解析して収差の
有無や研磨面の良否を調べる方法で、収差量が比
較的大きい光学系の測定に適用され、その時使用
する格子は粗くて良いのが特徴である。
焦点または焦点近傍に置き、後方から観測したゆ
がんだ格子模様（ロンキー縞）を解析して収差の
有無や研磨面の良否を調べる方法で、収差量が比
較的大きい光学系の測定に適用され、その時使用
する格子は粗くて良いのが特徴である。
第１図はこの様な従来のロンキー検査法の説明
図で、同図のような光学系で（ξ、η）面を被検
光学素子（レンズ）の射出瞳面１とし、その焦点
近傍に（ｘ−ｙ）面を設けそこに直線格子２を置
いて、後方から直線格子を通して被検光学素子の
射出瞳面１を見る。その結果第２図Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄの様なパターンが観測される。
図で、同図のような光学系で（ξ、η）面を被検
光学素子（レンズ）の射出瞳面１とし、その焦点
近傍に（ｘ−ｙ）面を設けそこに直線格子２を置
いて、後方から直線格子を通して被検光学素子の
射出瞳面１を見る。その結果第２図Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄの様なパターンが観測される。
ここで第２図Ａは被検レンズに球面収差があ
り、格子を被検レンズの焦点面上に配置した時に
見られるロンキー縞であり、第２図Ｂ，Ｃ，Ｄは
被検レンズに対して格子の位置を被検レンズの方
向に前進させた場合に得られたロンキー縞で、こ
れらは使用した格子の影である。
り、格子を被検レンズの焦点面上に配置した時に
見られるロンキー縞であり、第２図Ｂ，Ｃ，Ｄは
被検レンズに対して格子の位置を被検レンズの方
向に前進させた場合に得られたロンキー縞で、こ
れらは使用した格子の影である。
この様に、従来知られていたロンキー検査法
を、収差量が大きく、格子が粗く、干渉現象を無
視しうるとして幾何学的に解析された結果を以下
に示す。
を、収差量が大きく、格子が粗く、干渉現象を無
視しうるとして幾何学的に解析された結果を以下
に示す。
第１図の様な配置に従つて、被検光学素子の射
出瞳面１がＷ（ξ、η）の波面収差を有する場合、
射出瞳面の（ξ、η）を出た光線は近似的に ∂W／∂ξ＝−ｘ／Ｒ (1) ∂W／∂η＝−ｙ／Ｒ (2) の様に表わせる。但し（ｘ、ｙ）は格子面と光線
の交点、Ｒは波面の曲率半径である。更に格子線
がｙ方向に平行であり、かつ格子の透過率分布が
正弦的であるとすると、格子は ｆ（ｘ）＝１＋γ・cos2π／ｄｘ (3) の様に表示される。但しｄは格子のピツチ、γは
縞コントラストである。従つて、射出瞳の一点
（ξ、η）から出た光線が、格子面（ｘ、ｙ）で
格子線に当たると仮定すると、(1)、(3)から ｆ（ｘ）＝１＋γ・cos2π／ｄ・Ｒ・αW／αξ(4) が得られるこのように、ロンキー縞は、波面収差
の一次微分（横収差）の等高線パターンである事
が解析されていた。
出瞳面１がＷ（ξ、η）の波面収差を有する場合、
射出瞳面の（ξ、η）を出た光線は近似的に ∂W／∂ξ＝−ｘ／Ｒ (1) ∂W／∂η＝−ｙ／Ｒ (2) の様に表わせる。但し（ｘ、ｙ）は格子面と光線
の交点、Ｒは波面の曲率半径である。更に格子線
がｙ方向に平行であり、かつ格子の透過率分布が
正弦的であるとすると、格子は ｆ（ｘ）＝１＋γ・cos2π／ｄｘ (3) の様に表示される。但しｄは格子のピツチ、γは
縞コントラストである。従つて、射出瞳の一点
（ξ、η）から出た光線が、格子面（ｘ、ｙ）で
格子線に当たると仮定すると、(1)、(3)から ｆ（ｘ）＝１＋γ・cos2π／ｄ・Ｒ・αW／αξ(4) が得られるこのように、ロンキー縞は、波面収差
の一次微分（横収差）の等高線パターンである事
が解析されていた。
したがつて、ロンキー縞パターンの解析結果か
ら横収差分布を得る事ができ、これを積分すれ
ば、波面収差を得ることができる。従つてロンキ
ー検査の精度は第４式から∂W／∂ξを求める精度に かかつている。
ら横収差分布を得る事ができ、これを積分すれ
ば、波面収差を得ることができる。従つてロンキ
ー検査の精度は第４式から∂W／∂ξを求める精度に かかつている。
更に、第４式の縞ピーク位置は、次の様に表示
され 2π／ｄ・Ｒ・∂W／∂ξ＝2πm（ｍ＝０±１） このため ∂W／∂ξ＝ｄ／Ｒｍ (6) よりＷ（ξ、η）の微分∂W／∂ξを求める事ができ る。
され 2π／ｄ・Ｒ・∂W／∂ξ＝2πm（ｍ＝０±１） このため ∂W／∂ξ＝ｄ／Ｒｍ (6) よりＷ（ξ、η）の微分∂W／∂ξを求める事ができ る。
この様な従来公知の幾何学的解析からわかる様
に従来のロンキー検査法では縞ピークの情報のみ
を使用していた。このため縞ピークのロンキーパ
ターンからでは横収差分布の符号（凹凸）は解析
できない欠点があつた。更に従来のロンキー検査
法では粗い格子を使用してロンキー縞を発生させ
ていたので、発生するロンキー縞の縞間隔が粗く
このためロンキー縞を解析して精密に横収差分布
を求めることは不可能であつた。
に従来のロンキー検査法では縞ピークの情報のみ
を使用していた。このため縞ピークのロンキーパ
ターンからでは横収差分布の符号（凹凸）は解析
できない欠点があつた。更に従来のロンキー検査
法では粗い格子を使用してロンキー縞を発生させ
ていたので、発生するロンキー縞の縞間隔が粗く
このためロンキー縞を解析して精密に横収差分布
を求めることは不可能であつた。
本発明の目的は直線格子パターンを光軸に垂直
方向に移動させてロンキー縞を変調し、その結果
ロンキー縞の読み取り精度を向上させ、きわめて
高精度に非球面光学素子の収差を定量的に自動的
に測定する方法を提供する事である。
方向に移動させてロンキー縞を変調し、その結果
ロンキー縞の読み取り精度を向上させ、きわめて
高精度に非球面光学素子の収差を定量的に自動的
に測定する方法を提供する事である。
この目的は本発明に従つて被検非球面の焦点位
置又はその近くに配置した光学格子を間欠的に移
動させ、投射面上の少くとも一つの固定点におい
て間欠移動により生じる複数の干渉縞の光強度を
検出し、基準値に対する光強度の変化から前記の
固定点に対応する非球面の位置における横収差の
符号を判断し、又、前記の基準値が被検非球面の
光軸に対する間欠移動前の光学格子の位置を表わ
しており、更に、投射面上の少くとも２つの固定
点において間欠移動により生じる複数の干渉縞の
光強度を検出し、一方の固定点の光強度の変化を
基準値として、この基準値に対する他方の固定点
の光強度の変化から、この他方の固定点に対応す
る非球面レンズの位置における横収差の符号を判
断する事により横収差の測定が達成される。
置又はその近くに配置した光学格子を間欠的に移
動させ、投射面上の少くとも一つの固定点におい
て間欠移動により生じる複数の干渉縞の光強度を
検出し、基準値に対する光強度の変化から前記の
固定点に対応する非球面の位置における横収差の
符号を判断し、又、前記の基準値が被検非球面の
光軸に対する間欠移動前の光学格子の位置を表わ
しており、更に、投射面上の少くとも２つの固定
点において間欠移動により生じる複数の干渉縞の
光強度を検出し、一方の固定点の光強度の変化を
基準値として、この基準値に対する他方の固定点
の光強度の変化から、この他方の固定点に対応す
る非球面レンズの位置における横収差の符号を判
断する事により横収差の測定が達成される。
本発明の原理と特徴を詳しく解析する。
第１図（従来のロンキー検査法の説明図）のロ
ンキー検査法で被検非球面の焦点位置又はの近く
に配置した光学格子２を光軸方向と垂直方向で格
子線に直角に移動させると、格子は、 ｆ（x1δ）＝１＋γcos2π／ｄ（ｘ＋δ） (7) と書ける。但しδは格子の移動によつて生じた位
置項である。従つてロンキー縞は ｆ（ｘ、δ）＝１＋γ・cos2π／ｄ（Ｒ∂W／∂ξ＋
δ） (8) と書ける。格子間隔をｄの１／Ｎ等分に刻み δo＝ｄ／Ｎｎ（ｎ＝０、１……Ｎ−１） (9) δoだけ間欠的に格子を移動させると、第８式のロ
ンキー縞は、位相が変化し、様々な縞パターンが
得られる。つまり ｆ（ｘ，δo）＝１＋γ・cos（2π／ｄ・Ｒ ∂W（ξ、η）／∂ξ＋2πd／Ｎ・ｎ） (10) これら位相の異なる多数のロンキー縞から所望の
情報∂W（ξ、η）／∂ξを抽出する。
ンキー検査法で被検非球面の焦点位置又はの近く
に配置した光学格子２を光軸方向と垂直方向で格
子線に直角に移動させると、格子は、 ｆ（x1δ）＝１＋γcos2π／ｄ（ｘ＋δ） (7) と書ける。但しδは格子の移動によつて生じた位
置項である。従つてロンキー縞は ｆ（ｘ、δ）＝１＋γ・cos2π／ｄ（Ｒ∂W／∂ξ＋
δ） (8) と書ける。格子間隔をｄの１／Ｎ等分に刻み δo＝ｄ／Ｎｎ（ｎ＝０、１……Ｎ−１） (9) δoだけ間欠的に格子を移動させると、第８式のロ
ンキー縞は、位相が変化し、様々な縞パターンが
得られる。つまり ｆ（ｘ，δo）＝１＋γ・cos（2π／ｄ・Ｒ ∂W（ξ、η）／∂ξ＋2πd／Ｎ・ｎ） (10) これら位相の異なる多数のロンキー縞から所望の
情報∂W（ξ、η）／∂ξを抽出する。
前述した様に、従来法ではロンキー縞のピーク
位置のみに注目して縞の解析を行つていた。本発
明では格子の位相変化によるロンキー縞の変化を
解析することによつてきわめて高精度にロンキー
縞の解析を行う。
位置のみに注目して縞の解析を行つていた。本発
明では格子の位相変化によるロンキー縞の変化を
解析することによつてきわめて高精度にロンキー
縞の解析を行う。
第３図は非球面レンズのロンキー縞の例であ
り、(a)から(f)は格子の位相を変化させてある。こ
のロンキー縞パターンの一断面（第３図では
AA′断面）の強度分布を測定して、格子位相δoを
パラメータとして表示すると第４図が得られる。
AA′断面の特定の２点に注目してそれらの点にお
ける強度変化を位相δoをパラメータとして表示す
ると第５図が得られる。ロンキー縞強度は第10式
が示す様に、ｎの変化に対して正弦的に変化す
る。従つてこの図の曲線から正弦関数の初期位相
がわかる。この初期位相をδpとすると、 2π／ｄＲ∂W（ξ、η）／∂W＝δp (11) より ∂W（ξ、η）／∂ξ＝δp／2π・ｄ／Ｒ (12) として横収差が求まる。
り、(a)から(f)は格子の位相を変化させてある。こ
のロンキー縞パターンの一断面（第３図では
AA′断面）の強度分布を測定して、格子位相δoを
パラメータとして表示すると第４図が得られる。
AA′断面の特定の２点に注目してそれらの点にお
ける強度変化を位相δoをパラメータとして表示す
ると第５図が得られる。ロンキー縞強度は第10式
が示す様に、ｎの変化に対して正弦的に変化す
る。従つてこの図の曲線から正弦関数の初期位相
がわかる。この初期位相をδpとすると、 2π／ｄＲ∂W（ξ、η）／∂W＝δp (11) より ∂W（ξ、η）／∂ξ＝δp／2π・ｄ／Ｒ (12) として横収差が求まる。
この操作をAA′の断面の各点に対して行なえば
横収差分布が得られ、これを積分すればAA′断面
の収差曲線が得られる。
横収差分布が得られ、これを積分すればAA′断面
の収差曲線が得られる。
この手続の一例を数学的に記述すると次の様に
なる。まず第10式をｘについてフーリエ展開する
と、 ｆ（ｘ、δo）＝a0／２＋∞ 〓r=1 ar・cos2π／Ｎ ・ｒ＋∞ 〓r=1 brsin2π／Ｎ・ｒ （13） 但し ar＝２／ＮN-1 〓r=0 ｆ（ｘ、δo）・cos2π／Ｎ （14） br＝２／ＮN-1 〓r=0 ｆ（ｘ、δo）・sin2π／Ｎｒ （15） 従つて a1＝γ・cos2π／ｄ・Ｒ∂W（ξ、η）／∂ξ （16） b1＝γ・sin2π／ｄ・Ｒ∂W（ξ、η）／∂ξ （17） よつて ∂W（ξ、η）／∂ξ＝１／2π・ｄ／Ｒtan-1b1／a0
（18） として∂W（ξ、η）／∂ξが得られる。
なる。まず第10式をｘについてフーリエ展開する
と、 ｆ（ｘ、δo）＝a0／２＋∞ 〓r=1 ar・cos2π／Ｎ ・ｒ＋∞ 〓r=1 brsin2π／Ｎ・ｒ （13） 但し ar＝２／ＮN-1 〓r=0 ｆ（ｘ、δo）・cos2π／Ｎ （14） br＝２／ＮN-1 〓r=0 ｆ（ｘ、δo）・sin2π／Ｎｒ （15） 従つて a1＝γ・cos2π／ｄ・Ｒ∂W（ξ、η）／∂ξ （16） b1＝γ・sin2π／ｄ・Ｒ∂W（ξ、η）／∂ξ （17） よつて ∂W（ξ、η）／∂ξ＝１／2π・ｄ／Ｒtan-1b1／a0
（18） として∂W（ξ、η）／∂ξが得られる。
これらの意味するところは、第９式の様に、格
子の一周期ｄを１／Ｎ等分した量だけ間欠的に格子 を振動させ、その各々の場合に得られるロンキー
縞の光強度を検出し、その縞強度に格子移割量に
相当する重み量cos2π／Ｎｒ又はsin2π／Ｎｒ（ｒ＝０
、 １、２………Ｎ−１）を乗算し、それの総和を計
算し、それをもとに第16式に従つて波面収差量の
微分が求まるということである。
子の一周期ｄを１／Ｎ等分した量だけ間欠的に格子 を振動させ、その各々の場合に得られるロンキー
縞の光強度を検出し、その縞強度に格子移割量に
相当する重み量cos2π／Ｎｒ又はsin2π／Ｎｒ（ｒ＝０
、 １、２………Ｎ−１）を乗算し、それの総和を計
算し、それをもとに第16式に従つて波面収差量の
微分が求まるということである。
上に述べた方法は、格子の位相変化量を第18式
より、ロンキー縞の位相頂を求め、場所ｘに関し
て表示すれば、第６図が得られる。第６図は計算
の都合で、tan-1が０から2πまでの主値が得られ
るため、０から2πの範囲に折りたたまれている。
この折りたたまれた曲線の2πの位相飛びを補正
すると第７図が得られる。この第第７図が被測定
光学素子の横収差曲線である。この曲線を積分す
ると第８図の収差曲線が得られる。第８図の破線
は、第７図の曲線の積分そのものでTiltの成分が
含まれている。これを除去すると第８図の実線が
得られる。
より、ロンキー縞の位相頂を求め、場所ｘに関し
て表示すれば、第６図が得られる。第６図は計算
の都合で、tan-1が０から2πまでの主値が得られ
るため、０から2πの範囲に折りたたまれている。
この折りたたまれた曲線の2πの位相飛びを補正
すると第７図が得られる。この第第７図が被測定
光学素子の横収差曲線である。この曲線を積分す
ると第８図の収差曲線が得られる。第８図の破線
は、第７図の曲線の積分そのものでTiltの成分が
含まれている。これを除去すると第８図の実線が
得られる。
上に述べた方法は、格子の位相変化量を知つて
その時のロンキー縞の変化から、横収差を求める
方法であつたが、ロンキー縞パターンの二点に注
目し、一方の点を基準点としてこの点に対する一
方の点におけるロンキー縞の強度変化を知つて横
収差量を求める事ができる。第４図はこの様な方
法の説明図で二点ｘ＝x1とｘ＝x2におけるロンキ
ー縞度を図示すると第５図が得られる。
その時のロンキー縞の変化から、横収差を求める
方法であつたが、ロンキー縞パターンの二点に注
目し、一方の点を基準点としてこの点に対する一
方の点におけるロンキー縞の強度変化を知つて横
収差量を求める事ができる。第４図はこの様な方
法の説明図で二点ｘ＝x1とｘ＝x2におけるロンキ
ー縞度を図示すると第５図が得られる。
第５図よりいずれの点における縞強度も周期的
に変化している事が分る。これら二つの曲線の位
相差を求める方法としては、例えばこれら二つの
信号データをD/A変換しアナログ位相計に入力
して位相差を求める方法、もしくは、このアナロ
グ位相計の作用をデイジタル計算機により代行
し、位相差を求める方法、さらには、これら２つ
の信号を最小２乗法により正弦関数で近似しその
正弦関数の位相をもつて両者の位相差とする方法
などが考えられる。
に変化している事が分る。これら二つの曲線の位
相差を求める方法としては、例えばこれら二つの
信号データをD/A変換しアナログ位相計に入力
して位相差を求める方法、もしくは、このアナロ
グ位相計の作用をデイジタル計算機により代行
し、位相差を求める方法、さらには、これら２つ
の信号を最小２乗法により正弦関数で近似しその
正弦関数の位相をもつて両者の位相差とする方法
などが考えられる。
第９図は、本発明を実現するための装置のブロ
ツク図である。点光源３の光をコリメーター４に
通し平行光５とし、この平行光を被検非球面レン
ズ１に当て、近軸焦点位置にロンキー格子２を置
く。このロンキー格子２をパルスモータで制御さ
れたステージ６で動かし、ロンキー格子２の位相
を変化させる。ロンキーパターンは、TVカメラ
又は二次元イメージセンサー７で検出し、画像メ
モリー８でA/D変換されコンピユーター９に入
力される。
ツク図である。点光源３の光をコリメーター４に
通し平行光５とし、この平行光を被検非球面レン
ズ１に当て、近軸焦点位置にロンキー格子２を置
く。このロンキー格子２をパルスモータで制御さ
れたステージ６で動かし、ロンキー格子２の位相
を変化させる。ロンキーパターンは、TVカメラ
又は二次元イメージセンサー７で検出し、画像メ
モリー８でA/D変換されコンピユーター９に入
力される。
ロンキー格子２の位相を変えて、Ｎ枚のロンキ
ーパターンを記録し13式以後に述べた方法で縞解
析すれば、被検非球面レンズ１の横収差パターン
（波面収差の一次微分）が求まる。これを積分す
れば、波面収差が求まる。
ーパターンを記録し13式以後に述べた方法で縞解
析すれば、被検非球面レンズ１の横収差パターン
（波面収差の一次微分）が求まる。これを積分す
れば、波面収差が求まる。
この様に、本発明は、従来のロンキー法に比較
して、収差量の読み取り精度が高く、更にロンキ
ー縞のピーク位置以外の縞次数も決定できる（縞
の内挿ができる。）ことが特長で、従つてこれら
を積分して得られる破面収差の測定精度も高い。
して、収差量の読み取り精度が高く、更にロンキ
ー縞のピーク位置以外の縞次数も決定できる（縞
の内挿ができる。）ことが特長で、従つてこれら
を積分して得られる破面収差の測定精度も高い。
第１図は従来のロンキー検査法の説明図、第２
図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは従来方法により得られたロン
キー縞。第３図は本発明の非球面レンズへの適用
により得られたロンキー縞、第４図はこのロンキ
ー縞の一断面の強度分布を測定し、格子位相δoを
パラメータとして表示した図、第５図は一断面の
２つの特定位置に注目してそれらの点における強
度変化を位相をパラメーターに表した図、第６図
はロンキー縞の位相頂を求め場所ｘに関して表示
した図、第７図は被測定素子の横収差曲線。第８
図は収差曲線。第９図は本発明を実現するための
ブロツク図。（図中１は被光学素子の射出瞳面、
２はロンキー格子、３は点光源、４はコリメータ
ー、５は平殊光、６はステージ、７はTVカメラ
又は二次元イメージセンサー、８は画像メモリ
ー、９はコンピユーター。）
図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは従来方法により得られたロン
キー縞。第３図は本発明の非球面レンズへの適用
により得られたロンキー縞、第４図はこのロンキ
ー縞の一断面の強度分布を測定し、格子位相δoを
パラメータとして表示した図、第５図は一断面の
２つの特定位置に注目してそれらの点における強
度変化を位相をパラメーターに表した図、第６図
はロンキー縞の位相頂を求め場所ｘに関して表示
した図、第７図は被測定素子の横収差曲線。第８
図は収差曲線。第９図は本発明を実現するための
ブロツク図。（図中１は被光学素子の射出瞳面、
２はロンキー格子、３は点光源、４はコリメータ
ー、５は平殊光、６はステージ、７はTVカメラ
又は二次元イメージセンサー、８は画像メモリ
ー、９はコンピユーター。）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検光学非球面の焦点位置又はその近くに配
置した光学格子を間欠的に移動させ、投射面上の
少くとも１つの固定点において間欠移動により生
じる複数の干渉縞の光強度を検出し、基準値に対
する光強度の変化から前記の固定点に対応する光
学非球面の位置における凹凸を判断することを特
徴とした光学非球面の検査法。 ２ 前記の基準値が被検光学非球面の光軸に対す
る間欠移動前の光学格子の位置を表わしている特
許請求の範囲第１項に記載の光学非球面の検査
法。 ３ 投射面上の少くとも２つの固定点において間
欠移動により生じる複数の干渉縞の光強度を検出
し、一方の固定点の光強度の変化を基準値とし
て、この基準値に対する他方の固定点の光強度の
変化からこの他方の固定点に対応する光学非球面
の位置における凹凸を判断する特許請求の範囲第
１項に記載の光学非球面の検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22972882A JPH0240177B2 (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | Kogakuhikyumennokensaho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22972882A JPH0240177B2 (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | Kogakuhikyumennokensaho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59116522A JPS59116522A (ja) | 1984-07-05 |
| JPH0240177B2 true JPH0240177B2 (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=16896760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22972882A Expired - Lifetime JPH0240177B2 (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | Kogakuhikyumennokensaho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240177B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102288392A (zh) * | 2011-07-29 | 2011-12-21 | 温州医学院 | 一种基于二维朗奇光栅的自由曲面眼镜片光焦度测量装置 |
| CN112114501B (zh) * | 2020-10-23 | 2023-06-02 | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司深圳分公司 | 一种计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法 |
-
1982
- 1982-12-24 JP JP22972882A patent/JPH0240177B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59116522A (ja) | 1984-07-05 |
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