JPH0233031A

JPH0233031A - 磁気案内を備えたエアクッション運搬装置

Info

Publication number: JPH0233031A
Application number: JP1142873A
Authority: JP
Inventors: Jean Pierre Lazzari; ジヤン―ピエール・ラザリ
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1988-06-08
Filing date: 1989-06-05
Publication date: 1990-02-02
Also published as: FR2632618A1; US4978253A; EP0346205A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は磁気案内を備えたエアクッション運搬装置に関
する。特に本発明は極めて清浄な環境におけるシリコン
ウェーハの運搬に適用する６シリコンウエーハはカセッ
トに搭載される。カセット間、またはカセットと加工機
械（エツチング、堆積等）との間の移送に際しての上記
ウェーハの変位は、汚染源の埃をできる限り回避するよ
うに実施せねばならない。

運ｍ操作には種々の手段が使用される。第１の装置は、
それぞれが２つのローラー若しくは滑車によって案内さ
れる２つの平行な円筒形ベルトで構成される。ローラー
若しくは滑車が回転することによってベルト上に置がれ
たウェーハを運搬できる。しかしながらこの装置は、ベ
ルトがローラーとの摩擦によって生じる粒子をまき散ら
すという欠点がある。粒子はシリコンウェーハに付着し
てそれらを汚染する。

第２の公知の装置は「吸着」フィンガを備えた関節付き
アームから構成される。運搬されるべきつ工−ハは「吸
着」フィンガ上に吸着によって維持される。この装置で
生じる汚染はわずかであるが、短距離経路にのみ使用可
能であり且つ高価である。

上記２つの装置と比較して通常好ましいとされるのは、
エアクッション上で浮遊させる公知の装置である。かか
る装置の概要を第１図に示す、シリコンウェーハ１０は
トラック１２上をエアクッションによって運搬及び移動
される。トラック１２は２つの平行な長手方向パイプ１
４を有しており、パイプ１４は、ウェーハ１０と対向す
るトラック１２の上面上にあるオリフィス１６と斜めに
通じている。斜方向の噴流としてオリフィス１６を通っ
て再び出て来るように、パイプ１４内に圧縮空気を送風
機（図示なし）によって吹き込む。

しかしながら、この装置にも依然として欠点がある。も
しウェーハ１０が案内されないと、トラック１２から外
れることがあり得る。これを回避するためにはトラック
１２の両側に横方向案内部材１８念加える。しかしなが
ら、案内されるためにウェーハが横方向案内部材に衝突
することがあると汚染粒子が放出される。移動中のウェ
ーハは所定の運動エネルギーを有しており、ウェーハを
停止させるためにはトラック１２の端部に設置される迫
台２０の装置を使用する。迫台２０は、吸込みによって
ウェーハ１０をトラック１２に固定する真空システムと
関係する。真空システムは、トラック１２内に長手方向
に配置され且つオリフィス１７を通してトラック１２上
に通じるパイプ１５で構成され、このパイプ１５が吸込
みシステム（図示なし）に連結されている。

迫台２０によって停止されるときに、前記したように衝
撃によって汚染粒子が生成される。オリフィス１６を通
して排出される噴流はウェーハ１０の後部に対して強力
な空気流を形成し、このことが粒子を剥離することがあ
る。これらの粒子がウェーハに付着することがあり、こ
の現象はウェーハの表面状悪を破壊する。

本発明は上記欠点を解消することを目的とする。

このためには、本発明はウェーハを支持するプレート苦
しくディスクの使用を推奨する。トラック上及びディス
ク上には相互に吸引する磁気装置を対向して配備しであ
る。これらの磁気装置がトラック上でディスクを案内し
得る。即ち、もはや横方向案内部材１８を使用する必要
がない。ディスクを使用することによってエアジェツト
とウェーハとの直接的な接触を回避し、従って粒子がウ
ェーハから剥術するのが回避される。最後にトラックの
端部では、円形に配置した、エアジェツトを供給するオ
リフィス１６と組み合わせて磁気装置を配備することに
よって、ディスクがそれ自体で回転できるようにする。

この回転によってディスクの移送が停止する。従って迫
台２０はもはや必要でない。

特に本発明は、上面を有するトラックと共同する磁気案
内を備えたエアクッション上で部品を運搬する装置であ
って、前記トラックが、第１の長手方向で斜めに前記ト
ラックの上面に通じるエアジェツトパイプを有し、それ
によって前記部品を前記トラックと接触することなく長
手方向に変位させることが可能であり、該装置が、回転
でき且つ前記部品を支持できる円形ディスクを含んでお
り、前記トラックにはその上面を走行する少なくとも１
つの磁化ストリップで構成された第１磁気案内装置を備
えてあり、且つ前記ディスクにはその前記トラックと対
向する面上に、前記第１１１気案内装置に対向する回転
対称の第２磁気装置を備えていることを特徴とする磁気
案内を備えたエアクッション運搬装置に関する。

２つの磁気装置間の磁気吸引によってディスクの変位に
際してトラック上でデスクを案内することが可能となる
。

第１の好ましい具体例においては、第１磁気案内装置は
、トラックの上面に挿入される２つの平行な磁化ストリ
ップで構成される。

ディスク上に設置される第２磁気装置は、ディスク内に
挿入される磁気シートリングで構成することができ、前
記磁気シートリングの直径は、前記平行な磁化ストリッ
プの間隔と少なくとも等しい。

本発明の装置の動作が満足の行くためには、磁気ストリ
ップから放射する磁力線がディスク上に置かれた磁気シ
ートリング上に終結せねばならない。

第２の具体例においては、第１磁気案内装置は、トラッ
クの上面の中央に挿入される長手方向磁化ストリップで
構成される。

このとき第２磁気装置は、プレート内に挿入される磁気
シートリングで構成され、前記リングの直径は、前記ト
ラックの上面の中央に挿入された磁化ストリップの幅に
ほぼ等しい。

第２の特徴は、トラックの端部にエアジェツトが円形に
配置されていることで、これらの噴流上に到着したディ
スクが回転する。トラック上に設置された補助磁石と組
み合わ＃＃されたこの現象によってディスクは衝撃なし
に停止できる。

第２磁気装置は、第１磁気装置によって吸引され得る任
意の磁気装置で製造することができるが、好ましいのは
ミューメタル（Ｍｕｍｅｔａｌ）である。

第２の特徴によればトラックは、その上面上に第２の長
手方向で斜めに通じるエアジェツトパイプを有する。

こうするとディスクはトラックの両長手方向に移動する
ことができ、壁に衝突せずともトラックの端部で停止す
ることができる。更に、エアジェツトは移送される物体
と直接接触することはなく、ディスクが移送され物体を
エアジェツトの作用から保護することにもなる。

以下、本発明を非限定的な具体例及び添付の図面を使用
してより詳細に説明する。

萩迷３第２図へ〜Ｃは本発明の装置の第１の具体例の概略を示
す、第２図へは、本発明の装置が一体材料（例えばプラ
スチック材料若しくはアルミニウム）又は複合材料（例
えば２つのアルミニウムプレート間にプラスチック材料
を挟んだサンドイッチ構造）でできたトラック１２を有
することを示す、線形若しくは内側に湾曲したトラック
１２は、実際のトラックを構成する平坦な上面を有する
。トラック１２は、オリフィス１６によってトラック１
２の上面に通じる２つの平行な長手方向パイプ１４を有
する。オリフィス１６は全て、トラックに対して同じ長
手方向に斜めに配向され且つトラックの中央に関して対
称的に平行な２つの列をなすように設けられている。

斜方向の噴流としてオリフィス１６を通って再び出て来
るように、パイプ１４内には圧縮空気源（図示なし）か
ら圧縮空気を吹き込む。

磁気材料ディスク３０（例えばシリコン、アルミニウム
若しくはプラスチック）は、噴流によって形成されるエ
アクッション上で運搬及び移動きれる。平坦なディスク
の形態のディスク３０によって例えばシリコンウェーハ
を運搬することができる。

ウェーハはディスク３０の上面上に単に置くだけでよい
、ディスク３０の上面は、非磁性で且つ非滑性の被膜３
２、例えばポリマーで被覆してウェーハの滑動を防止す
る（前記上面は粗でありさえすればよい）、シリコンウ
ェーハの移送に使用するためにはディスク３０の直径は
ウェーハの直径より小さくなくてはならない。走行の最
後にウェーハは、ディスク３０を越えて突出する縁によ
って容易に取り外され得る。

ディスク３０の下面に設置された第２磁気装置と対向す
る前記トラック上に設置された第１磁気案内装置によっ
て、ディスク３０はトラック１２上を案内される。第１
磁気案内装置３４は、第１の具体例においては、トラッ
ク１２の上面上にトラック１２の中央に関して対称的に
形成された２つの平行な長手方向チャネル内に挿入され
る２つの磁気ストリップ３５．３６で構成される。接着
性のＦｅｒｒＬｆ　１ｅｘ（プラスチック若しくはミュ
ーメタルストリップ上に凝集されたフェライト）である
ストリップ３５．３Ｂは、例えば幅をｌｃｎ及び間隔を
２〜３″Ｃ−とすることができる。

第２図Ｂ及び第２図Ｃはディスク３０上に設置された第
２磁気装置の２つの具体例を示す。ディスク３０の下面
はトラックと対向していることが分かる。

第１の変形例（第２図Ｂ）では、第２磁気装置は（例え
ばミューメタルの）磁気シートリング３８で構成されて
いる。リング３８は、厚さが例えば２００〜５００マイ
クロメートルのシートの形態で、ディスク３０の下面に
挿入される。リング３８の直径は、磁気ストリップ３５
．３６間の間隔に少なくとも等しい。好ましくは、リン
グの幅を磁気ストリップ３６．３６の幅に等しく、且つ
リング３８の平均直径をスト９１１間の間隔にほぼ等し
くする。

このように形成された装置は走行中の安定性が最大であ
る。エアジェツトがディスク３０を持ち上げて移動させ
、磁気装置がそれらの吸引によってディスク３０を案内
する。

第２図Ｃは第２磁気装置の別の具体例を示す。この第２
磁気装置は、ディスク３０の中央に対して対称に配置さ
れた、例えばミューメタルの２つの平行なストリップ４
０で構成されている。ストリップ４０は好ましくは磁気
装置３５．３６と同じ幅及び間隔を有する。ストリップ
３５．３６は、その上にディスク３０のストリップ４０
を並列させることができるレールの役目をする。

トラック１２及びディスク３０への第１磁気装置及び第
２磁気装置の挿入は、トラック１２及びディスク３０の
対向する面の平面性を順守するように行なう。

第３図へ〜Ｂは本発明の第２の具体例の概略を示す。第
３図八は、第１磁気装置３４が、トラック１２の下面の
中央に設けられた長手方向チャネル内に挿入される単一
の磁化ストリップ４２で構成されている場きを示す。

第３図Ｂは、第２磁気装置を支持するディスク３０の下
面を示す。第２磁気装置は例えばミューメタルのリング
４４で構成されており、ディスク３０の下面中央にある
スロット内にディスク３０の面の平面性を順守しつつ挿
入される。トラック１２上方でディスク３０が変位する
とき、リング４４はストリップ４２に対向するような位
置となる。

第４ノは本発明の装置のｌ・ラックの一方の端部を示す
。この渇きトラック１２には、オリフィス２４によって
トラック１２の上面上に通じる２つの平行な長手方向補
助バイブ２２が縦走する。オリフィス２４はオリフィス
１６とは反対方向で斜めに傾斜し、且つトラック中央に
関して対称に２列に並べられているが、オリフィス１６
に対して若干変位している。バイブ２２に吹き込まれた
圧縮空気は、オリフィス１６からの斜めの噴流によって
誘導される方向とは反対の方向にディスク３０を変位さ
せる。従って、第４図に示す装置は、ト・ラック１２の
２つの長手方向にディスク３０を変位させることができ
る。

■・ラックの端部ではバイブ１４の少なくとも一方が、
中心がトラックの中央に位置する円の形に配置されたオ
リフィス４６によってトラック１２の上面に通じている
。エアジェツトがディスク３０を回転させるようにオリ
フィス４６は斜めに設けられている。２つの磁化インサ
ート４８をトラック１２の中央と一列に加えることによ
って増強される、二の回転が、ディスク３０の走行安定
性とともに、ディスク３０に停止をもたらす。そうして
ディスク３０は、１〜ラツク１２内に形成され且つオリ
フィス４６によって形成される円の中心に位置するオリ
フィス１７を通してトラック１２の上面に通じる長手方
向吸込みパイプ１５を具備した通常の真空システムの吸
込み作用によって維持される。

このように、本発明の装置は、必要によってトラックの
２つの長手方向に移動できるディスク上で対９．物を移
送できる。磁気案内装置があるためにトラックは任意の
形状を有することができ、湾曲、上昇及び下降が許容さ
れる。案内部材及び迫台による案内及び停止のために汚
染粒子を生成する衝撃は必然的に回避され、極めて清浄
な状態を保証する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術のエアクッション運搬装置の概略斜視
図、第２図Δ〜Ｃは本発明の装置の第１の具体例を示す
概略斜視図、第３２八・〜Ｂは本発明の装置の第２の具
体例を示す概略斜視図、第４図は本発明の装置のトラッ
クの一端を示す概略斜視図である。１０・・・シリコンウェーハ、１２・・・トラック、１
４，１５゜２２・・・パイプ、１６．１７，２４．４６
・・・オリフィス、１８・・・横方向案内部材、２０・
・・迫台、３０・・・ディスク、３５３６４０・・・磁
気ストリップ、３８．４４・・・磁気シート１ノング。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）上面を有するトラックと共同する磁気案内を備え
たエアクッション上で部品を運搬する装置であって、前
記トラックが、第１の長手方向で斜めに前記トラックの
上面に通じるエアジェットパイプを有し、それによって
前記部品を前記トラックと接触することなく長手方向に
変位させることが可能であり、該装置が、回転でき且つ
前記部品を支持できる円形ディスクを含んでおり、前記
トラックにはその上面を走行する少なくとも１つの磁化
ストリップで構成された第１磁気案内装置を備えてあり
、且つ前記ディスクにはその前記トラックと対向する面
上に、前記第１磁気案内装置に対向する回転対称の第２
磁気装置を備えていることを特徴とする磁気案内を備え
たエアクッション運搬装置。
（２）前記第１磁気案内装置が、前記トラックの上面に
挿入される２つの平行な磁化ストリップで構成されてい
ることを特徴とする請求項１に記載の磁気案内を備えた
エアクッション運搬装置。
（３）前記ディスク上に設置された前記第２磁気装置が
、前記ディスク内に挿入される磁気シートリングで構成
されており、前記磁気シートリングの直径が前記平行な
磁化ストリップの間隔に少なくとも等しいことを特徴と
する請求項２に記載の磁気案内を備えたエアクッション
運搬装置。
（４）前記第１磁気案内装置が、前記トラックの上面の
中央に挿入される長手方向磁化ストリップで構成されて
いることを特徴とする請求項１に記載の磁気案内を備え
たエアクッション運搬装置。
（５）前記第２磁気装置が前記ディスク内に挿入される
磁気シートリングで構成されており、前記リングの直径
が、前記トラックの上面の中央に挿入される前記磁化ス
トリップの幅にほぼ等しいことを特徴とする請求項４に
記載の磁気案内を備えたエアクッション運搬装置。
（６）前記トラックの端部では前記パイプの少なくとも
１つが、円形に配置されたオリフィスによって前記トラ
ックの上面に通じており、前記ディスクが、前記オリフ
ィスを通して排出されるエアジェットによって回転され
ることを特徴とする請求項１に記載の磁気案内を備えた
エアクッション運搬装置。
（７）少なくとも１つの補助磁石が前記トラックの端部
に挿入されていることを特徴とする請求項６に記載の磁
気案内を備えたエアクッション運搬装置。
（８）前記第２磁気装置がミューメタルであることを特
徴とする請求項１に記載の磁気案内を備えたエアクッシ
ョン運搬装置。