JPH02168408A - 記録再生用磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気テープ、６Ｊ＆気デイスク等の磁気記録
媒体対して、記録再生を行うことができる記録再生用磁
気ヘッド、およびその製造方法に関する。

［従来の技術］ 磁気記録媒体に情報の記録および再生を行う従来の記録
再生用磁気ヘッドとしては、例えば、薄膜形成技術を用
いた特開昭５０−９３１２７号公報に記載されたものが
ある。

前記記録再生用磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子と、そ
の両側に、Ｍａ膜と、励磁用のコイルが形成されている
導電性薄膜と、磁気ボールを形成する軟磁性薄膜とが形
成されている膜構造体が、ヘッド基体の一端に、形成さ
れているものである。

しかしながら、前記記録再生用磁気ヘッドは、記録ギャ
ップとなる軟磁性薄膜相互間に、磁気抵抗効果素子、絶
縁膜、導電性薄膜とが形成されているため、記録ギャッ
プを狭めることが難しく、記録媒体の記録密度を向上さ
せることが困難であるという問題点があったに の問題点を解決するものとして、特開昭５１−１４８４
１１号公報に記載されてものがある。

前記記録再生用磁気ヘッドは、励磁用のコイルが形成さ
れている導電性薄膜とその両側に軟磁性薄膜とを形成し
、記録ギャップを狭めることができるように軟磁性薄膜
相互間には、磁気抵抗素子を設けずに、軟磁性膜の外側
に隣接させて、磁気抵抗効果素子とその両側に磁気シー
ルドのための磁性膜とを、ヘッド基体の一端に形成した
ものである。

また、いわゆるバルク型の記録再生用磁気ヘッドでは、
特開昭６０−１２１５０６号公報に記載されたものがあ
るが、これは、非常に幅の狭い再生トラック幅に形成さ
れている磁気抵抗効果素子の両側に直接リード線を接続
することは、接続箇所が設けられていないために、非常
に難しく、また、磁気抵抗効果素子の位置決めも非常に
難しく、開示されている技術だけでは、製品製造の実現
性が乏しいと思われる。

［発明が解決しようとする課Ｈ］ 前述した薄膜成形技術を用いたものは、再生磁界を検出
する磁気抵抗素子と記り磁界を発生する軟磁性膜とが、
薄膜で形成されているため、Ｓ／Ｎ比、記録再生特性、
記録密度の向上の点に関して、優れたものである。

しかしながら、薄膜成型技術を用いた記録再生用磁気ヘ
ッドは、いずれも、磁気抵抗効果素子。

絶縁膜、導電性薄膜、軟磁性膜を形成しなけらばならず
、膜形成工程が多い、特に、特開昭５１−１４８４１１
号公報に記載されているものでは、記録密度を向上には
適しているが、磁気シールドのための磁性膜が設けられ
ているため、さらに、膜形成工程が多くなり、製造コス
トが嵩むという問題点があった。

また、励磁用のコイルが形成されている導電性薄膜は、
コイルを形成する上で、多数の製造工程を必要とし、特
に、磁力を強めて高記録密度を実現するために、コイル
を複数層形成する場合においては、さらに製造工程が多
くなるとともに、製品の歩留が低くなり、製造コストが
嵩んでしまう。

今日、磁気記録再生装置を取り扱う家電業界やコンピュ
ータ業界では、前述したような記録再生特性等の諸特性
が優れた高品質のものについて、いかに低価格化を実現
するか凌ぎを削っている。

本発明の目的は、このような従来技術の問題点について
着目してなされたもので、Ｓ／Ｎ比や記録再生特性に優
れ、記Ｏ＠度を上げることができるとともに、製品製造
工程が少なく製造コストを低減することができる記録再
生用磁気ヘッドを提供することである。

［課題を解決するための手段］ かかる目的を達成するための記録再生用磁気ヘッドは。

コイルが巻かれる第１の磁路形成部材と、前記第１の磁
路形成部材とともに、磁路を形成する第２の磁路形成部
材と。

前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材との
フロントギャップ部に形成され、磁界の変化を検出する
磁気検出素子と、軟磁性膜とを有する膜構造体とを備え
ていることを特徴とするものである。

ここで、前記第１の磁路形成部材と第２の磁路形成部材
とは、共に、磁性材で形成されているものでもよい、ま
た、共に、非磁性部材と磁路を形成する磁性材とで形成
されているものでもよい。

また、いずれか一方が、磁性材で、他方が、非磁性部材
と磁路を形成する磁性材で形成されているものでもよい
。

なお、前記磁気検出素子に対して、前記軟磁性膜を有す
る側に、非磁性部材と磁路を形成する磁性材とで形成さ
れる磁路形成部材が有する場合には、前記軟磁性膜が、
磁路を形成する前記磁性材を形成してもよい。また、磁
路形成部材が磁性材で形成されている場合にも、前記軟
磁性膜が磁路を形成するようにしてもよい。

なお、前記磁性材は、Ｎｉ−ＺｎフェライトまたはＭｎ
−Ｚｎフェライトで形成されていることが好ましＣ）。

また、前記非磁性材は、アルミナ。

アルミナチタンカーバイト、ジルコニア等の耐摩耗性を
有する非磁性セラミックで、形成することが好ましい。

また、前記軟磁性膜を前記磁気検出素子のいずれか一方
にのみ設ける場合には、トレーリング側に設けることが
好ましい。

前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材との
バックギャップ部には、該第１の磁路形成部材と前記第
２の磁路形成部材とを磁気的に接続する軟磁性膜を有す
ることが好ましい。

また、前記磁気検出素子に隣接させて絶縁性を有する非
磁性膜を形成して、該非磁性膜上に、前記磁気検出素子
に電流を供給する引出導体を設け。

該引出導体の端部に、引出線が接続される引出線接続用
パッドを設けることが好ましい。

前記軟磁性膜の膜厚は、記録磁界が形成される記録ギャ
ップの間隔より、厚いことが好ましい。

前記軟磁性膜のトラック幅方向の長さは、前記磁気検出
素子のトラック幅方向の長さより、長いことが好ましい
。

前記フロントギャップ部のトラック幅方向の長さは、前
記軟磁性膜のトラック幅方向の長さより、長いことが好
ましい。

前記第１の磁路形成部材のコイルが巻かれる部位のトラ
ック幅方向長さは、前記フロントギャップ部のトラック
幅方向の長さとバンクギャップ部のトラック幅方向の長
さとのうちいずれか短い方より、短いことが好ましい。

また、磁路を形成すべく、前記第１の磁路形成部材と前
記第２の磁路形成部材とが、互いに接合する少なくとも
一方の接合面に、接着剤が流れ込む四部を形成してもよ
い。

また、前記第２の磁路形成部材に対して、２以上の前記
第１の磁路形成部材を設けてもよい。

また、前記記録再生用磁気ヘッドは、前記第２の磁路形
成部材が、イｌ上面を有するスライダー部材を形成し、
前記第１の磁路形成部材が、コア部材を形成する浮上型
記録再生用磁気ヘッドでもよい。

ここで、前記スライダー部材の前記コア部材と対向する
面に、前記コア部材に巻かれるコイルを回避するための
コイル用回避部を形成して、前記コア部材に前記膜構造
体を形成してもよい。

前記磁気検出素子は、磁気抵抗効果素子またはホール素
子に、バイアス磁界を印加するシャント暎、永久磁石膜
、ソフトフィルム股、バーバーポール膜等を被着したも
のが好ましい。

なお、フロントギャップとは、記録媒体側の第１の磁路
形成部材と第２の磁路形成部材との間に。

形成されるギャップのことで、フロントギャップ部は、
フロントギャップを形成する第１の磁路形成部材と第２
の磁路形成部材の壁面およびその近傍をも含んでいる。

。 また、バックギャップとは、前言己フロントギャップに
対して、記録媒体に遠い側の第１の磁路形成部材と第２
の磁路形成部材との間に、形成されるギャップのことで
、バックギャップ部も、フロントギャップ部と同様に、
バックギャップを形成する第１の磁性部材と第２の磁性
部材の壁面およびその近傍を含んでいる。

また、前記目的を達成するための記録再生用磁気ヘッド
の製造方法は、 記録再生用磁気ヘッドの母材となるヘット基体に、磁界
の変化を検出する磁気検出素子と軟磁性膜とを薄膜形成
して膜構造体を形成し、前記膜構造体が形成された前記
ヘッド基体に、コア部材を接合し、前記コア部材にコイ
ルを設けることを特徴とするものである。

なお、前記ヘッド基体は、前記コア部材に接合されるも
う一方のコア部材を形成してもよい、また、スライダー
部材を形成してもよい。

［作用］ 軟磁性膜が、磁気検出素子の両側に有するものでは、記
録時、コイルに所望の信号電流を流すと。

それぞれの軟磁性膜が磁気ポールとなり、軟磁性膜相互
間に、記録磁界が発生して、記録媒体が磁化されて所望
の信号が記録される。

また、磁気検出素子の第１の磁路形成部材または第２の
磁路形成部材のいずれか一方の側のみに軟磁性膜を有す
るものでは、軟磁性膜と他方の磁路形成部材とが磁気ポ
ールと成り、軟磁性膜と前記他方の磁路形成部材との間
に、記録磁界が発生して所望の信号が記録される。

記録媒体への情報の記録は、トレーリング側に形成され
る記録磁界で行われるが、トレーリング側に軟磁性膜が
設けられていると、記録磁界が前記軟磁性膜に集中し、
シャープな記録磁界で、情報を記録することができ、高
保磁力の磁気記録媒体にも高密度で記録品質の良い記録
が行える。

磁気ポールと成る軟磁性膜の膜厚の長さが、記録ギャッ
プと同等以上であれば、一方の磁気ポールと成る軟磁性
膜または磁路形成部材とそれに対して磁気検出素子を介
して有する磁路形成部材との間の距離が、記録ギャップ
の２倍以上の長さに成り、磁気検出素子に対して軟磁性
膜よりさらに外側に有する磁路形成部材は、磁気ポール
とは成りえず、確実に所望の軟磁性膜および磁路形成部
材が磁気ポールを形成することができる。

また、磁路形成部材が、非磁性材を有して構成するのも
では、非磁性材を耐摩耗性を有する非磁性セラミックス
を選定すると、磁路形成部材の寿命を長くすることがで
きる。

また、前記軟磁性膜を高飽和磁束密度の磁性材で形成す
ると、磁気飽和が起こりに＜＜、高保磁力の記録媒体に
も、充分な磁化状態を残せる記録磁界を発生させること
ができ、記録密度を向上させることができる。

再生時には、記録媒体に記録された信号の再生磁界が磁
気検出素子で読み取られる。

この際、磁気抵抗効果膜等で構成される磁気検出素子で
再生しているため、誘導形の再生ヘッドのような擬似ギ
ャップによるゴースト等のノイズは発生せず、また、軟
磁性膜が、磁気シールドと成るため、再生磁界以外の外
部磁界を読み取ることがなく、Ｓ／Ｎ比を良くすること
ができる。

軟磁性膜のトラック幅方向の長さを磁気検出素子のトラ
ック幅方向の長さより、長くしたものでは、記録再生用
磁気ヘッドの記録媒体に対するトラック位置決め誤差に
より生ずるノイズ記録領域の読み出しを防ぐことができ
、Ｓ／Ｎ比を良くすることができる。

また、磁気検出素子および軟磁性膜は、フォトリソグラ
フィ技術等によりバターニングすることができるので、
それぞれの寸法、絶対的な位置、相対的な位置を、容易
に、かつ、高精度に、所望の寸法および位置に合わせる
ことができる。

したがって、軟磁性膜と磁気検出素子のトラック幅方向
の中心位置のズレを極めて小さくすることができるので
、前記ノイズ記録領域の読み出し防止のために、再生ト
ラック幅となる磁気検出素子のトラック幅方向の長さを
、記録トラック幅となる軟磁性膜のトラック幅方向の長
さより短くする量を、無駄なく設定して少なくすること
ができ。

軟磁性膜のトラック幅方向の長さを長くすることができ
、Ｓ／Ｎ比を良くすることができる。

また、記録特性および再生特性に大きく影響を与える要
因の１つである軟磁性膜のギャップ深さと、磁気検出素
子の記録媒体対向面からの深さと、軟磁性膜と磁気検出
素子との相対的な位置関係とを、精度良く、かつ、容易
に仕上げることができるので、記録特性および再生特性
を良くすること′ができる。

このように、軟磁性膜と磁気検出素子とを薄膜形成技術
により形成すると、前記諸特性のバラツキを小さくする
ことができるととものに、高品質のものを高歩留で生産
することができる。

磁気ポールを形成する軟磁性膜を、磁路形成部材とは別
に設けたので、フロントギャップ部のトラック幅方向の
長さは、軟磁性膜のトラック幅方向の長さである記録ト
ラック幅に依存することなく長くすることができるため
、フロントギャップ部での第１の磁路形成部材と第２の
磁性部材との接合面の面積を大きくすることができ、フ
ロントギャップ部での接合強度を高めることができる。

また、逆に言えば、記録トラック幅となる軟磁性膜のト
ラック幅方向の長さを、フロントギャップ部におけるト
ラック幅方向の長さに、依存することなく小さくするこ
とができるので、記録密度を向上させることができる。

磁気検出素子を、絶縁性を有する非磁性膜上に形成し、
その非磁性膜上に引出導体を形成するとともに、引出線
接続用パッドを設けたものでは、引出線を接続する部位
が確保されているので、引出線の接続が容易になるとと
もに、バイアス磁界を印加するための電流を磁気検出素
子に供給する外部回路と、磁気検出素子との接続信頼性
を高めることができる。

第１の磁路形成部材のコイルが巻かれる部位のトラック
幅方向長さを、フロントギャップ部のトラック幅方向の
長さとバックギャップ部のトラック幅方向の長さとのう
ち短い方より、短くシて、第１の磁路形成部材のコイル
が巻かれる部位を細くしたものでは、第１の磁路形成部
材を軽量化することができるとともに、第１の磁路形成
部材のコイルが巻かれる部位の中心からコイルの最外周
部までの距離を短くすることができ、コイルの慣性モー
メントを小さくすることができるので、記録媒体の上下
の変動に対する浮上量の変動や、所定のトラック位置へ
の移動に対する浮上量の変動における磁気ヘッドの追従
性を高めることができる。

第１の磁路形成部材と第２のａ路形成部材とが、互いに
接合する少なくとも一方の接合面に、凹部が形成されて
いるものでは、接着剤を前記接合面に塗布する際、接着
剤が、凹部に流れ込み、確実に接合面に有することにな
るので、第１の磁路形成部材と第２の磁路形成部材との
接続信頼性を高めることができる。

スライダー部材のコア部材との対向する面に、コイルを
回避するためのコイル用回避部を形成したものでは、ス
ライダー部材を軽量化できるとともに、コア部材にコイ
ル用回避部を設けなくてもよいので、コア部材の記録媒
体に対する相対的移動方向の長さを短くすることができ
て、コア部材を軽量化することができる。

また、本発明に係る各種記録再生用磁気ヘッドは、薄膜
形成技術により形成するコイルおよびそれに供なう絶縁
膜を必要としないので、薄膜形成工程を少なくすること
ができる。特に、記録磁界を強めて記録密度を高めよう
とする際には、より成膜工程が多くなりかつ複雑になる
薄膜コイルを有しないので、その効果は、顕著である。

（以下余白） ［実施例］ 以下、本発明の各種実施例を図に基づき説明する。

なお、各種実施例につき、同一の部位には、同一の符号
を付し、その説明を省略する。

記録再生用磁気ヘッドの第１の実施例について、第１図
〜第７図に基づき説明する。

なお、本実施例は、記録再生用磁気ヘッドの一般的な構
成を示すための実施例である。

第１図に示すように、励磁用のコイル１２が巻かれ第１
の磁路形成部材を形成する第１の磁性部材１０に、第２
の磁性部材２１が接合されている。

第１の磁性部材１０と第２の磁性部材２１とは。

Ｎｉ−ＺｎフェライトやＭｎ−Ｚｎフェライトの多粘品
材または単結晶材で形成されている。

第２の磁性部材２１の第１の磁性部材１０と対向する面
には、Ａ１□Ｏ４や５ｉｎ２などからなる絶縁性を有す
る非磁性膜６を介して、記録時の一方の磁気ボールとな
る第２の軟磁性膜２が形成されている。

第１の磁路形成部材とともに磁路を形成する第２の磁路
形成部材２ｏは、第２の磁性部材２１と非磁性膜６と第
２の軟磁性膜２とで構成されている。

記録時のもう一方の磁気ポールとなる第１の軟磁性膜４
は、第２の軟磁性膜２と第１の軟磁性膜４との間に、記
録ギャップを形成すべく、第２の軟磁性膜２上に、Ａｌ
２Ｏ３やＳｉＯ□などからなる絶縁性を有する非磁性膜
７，２２を介して、形成されている。

非磁性膜７，２２間のフロントギャップ側には、磁気検
出素子３が設けられている。

磁気検出素子３は、磁気抵抗効果膜（以下、ＭＲ膜）と
、ＭＲ膜にバイアス磁界を印加するシャント膜とで構成
されている。

ＭＲ膜は、外部から応力を受けても、その磁気抵抗効果
特性に影響が表われる事が少ないよう、逆磁歪定数がゼ
ロに近い１例えば、Ｎｉが８０〜８３％、Ｆｅが２０〜
１７％のパーマロイ材等の材料を用いるのが望ましい。

また１ＭＲ膜の厚さは、優れた磁気抵抗効果特性を示す
約２００〜９００人程度であることが望ましい。

非磁性膜７のバックギャップ側には、第１の磁性部材１
０と第２の軟磁性膜２とを磁気的に接続するためのバッ
クギャップ軟磁性膜５が、形成されている。

バックギャップ軟磁性膜５は、非磁性膜７゜２２を賞通
し、第２の軟磁性膜２と接続されている。

前述した第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性膜２は、
再生時に磁気検出素子３に対する磁気シールドの役目を
する。

前記磁気シールドは、既知のごとく記録媒体から情報を
再生する際、再生磁界以外の外部磁界をシールドし、再
生分解能を良くするためのものであが、第１の軟磁性膜
４および第２の軟磁性膜２の膜厚は、直接再生分解能に
は関係しない、一方、再生分解能に直接影響を与えるの
は、シールド間隔即ち第１の軟磁性膜１０と第２の軟磁
性膜２０の間隔で、第４図でＧＱ、で示される長さであ
る。

したがって、再生時における磁気シールド効果を得るた
めの第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性膜２の膜厚は
、第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性膜２の磁気抵抗
をＭＲ膜の磁気抵抗と同じレベルとなる程薄くしないか
ぎり、自由に選定する事が可能であり、言い替えれば、
第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性膜２の膜厚は、Ｍ
Ｒ膜と同程度の透磁率を有している材質であれば、ＭＲ
膜の膜厚に比し充分に厚い約０．５μｍ以上で良く、特
に、磁気シールド効果を考慮することなく、記録特性面
から選定できる。第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性
膜２の膜厚は、ここでは、第３図に示すように、第１の
軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２の間隔ＧＱ１と同等の厚
さに仕上げられている。

第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性膜２は、記録時に
は、磁気ポールとなるので、記録媒体に強い磁界をかけ
るために、高飽和磁束密度を有し透磁率の良い材質が望
まれる。特に、高記録密度を実現する場合においては、
記録媒体の保磁力が高いものが要求され、最近では記録
媒体は、その保磁力が、１　、０００工ルステツド以上
のスパッタ媒体、メツキ媒体が使用されるようになって
おり。

本実施例では、それに対応して、第１の軟磁性膜４およ
び第２の軟磁性膜２は、　Ｆｅ−Ａｌ−８Ｌ系合金で形
成されている。

また、磁気検出素子３が配置される位置は、第１の軟磁
性膜４と第２の軟磁性膜２とから等距離ではなく、いず
れかの軟磁性膜２，４の方によっていることが好ましく
、本実施例では、ｍ気検出素子３を構成するシャント膜
を第１の磁性膜４に対面させて、磁気検出素子３を第１
の磁性膜４の方に配置している。これは、磁気検出素子
３に近い方の軟磁性膜からの磁気的なカップリングで、
ＭＲ膜にバイアス磁界がかかりやすくなるためである。

第１の磁性部材１０と第２の磁性部材２１との間に形成
される前記各種層の構造を第４図〜第７図に基づき、さ
らに詳細に説明する。

第５図に示すように、第２の磁性部材２１上には、非磁
性膜６を介して第２の軟磁性膜２が形成されている。第
２の軟磁性膜２上には、絶縁性を有する非磁性膜２２が
形成され、その上に、磁気検出素子３と、磁気検出素子
３を構成するシャント膜に接続される引出導体８．８が
、形成されている。

引出導体８，８および磁気検出素子３上には。

非磁性膜７が形成されている。非磁性膜７の中央近傍と
、引出導体８，８の端部に該当する位置には、貫通孔７
ａ、７ｂ、７ｂが、形成されている。

また、非磁性膜２２の中央近傍にも１貫通孔７ａの位置
に対応して１貫通孔２２ａが形成されている。

非磁性１ｌＩ７上には、バックギャップ軟磁性膜５と、
磁気検出素子３を酩動するための外部回路から伸びる図
示されていない引出線が接続される引出線接続用パット
９，９とが、形成されている。

引出線接続用パッド９，９は、ハンダメツキで形成され
ている。

バックギャップ軟磁性膜５は、第６図に示すように、非
磁性膜７，２２の貫通孔７ａ、２２ａを介して、第２の
軟磁性膜２と接続されている。また、引出線接続用パッ
ト９，９は、第７図に示すように、非磁性膜７の貫通孔
７ｂを介して、引出導体８，８の端部と接続されている
。

引出導体８と引出線接続用パット９と間には、密着力を
増加させるための密着力向上膜や、金属原子の相互の拡
散を防止するための拡散防止膜を設けることが好ましい
、密着力向上膜や拡散防止膜などの中間膜は、引出導体
８と引出線接続用パット９の材質、および、後の製造工
程中もしくは、実使用中の熱履歴等の条件によりそれに
耐え得る適切な材質のものを選定する必要がある。

このような前記各種膜は、蒸着法と、スパッタ法と、メ
ツキ法とのうち、それぞれに適した方法で成膜し、フォ
トリソグラフィ技術、エツチング技術、またはイオンミ
ーリング技術等のパターニング技術を用いて、容易に形
成することができる９なお、磁気検出素子３および第１
の軟磁性膜を成膜する際には、同時に、記録媒体対向面
を機械加工する際の加工終点検知用のパターンを形成し
ておくとよい、この加工終点検知用のパターンとは、加
工を終了するための目印で１例えば、顕微鏡等で目印を
ｗｉ察しながら機械加工する目視チエツク用のパターン
や、電気抵抗体で構成され、この抵抗値を測定しながら
ある抵抗値になった時点で加工を停止するようにする抵
抗検知用のパターン等のことである。この加工終点検知
用パターンを形成しておくと、記録再生用磁気ヘッドの
記録媒体対向面を高精度で機械加工仕上げすることがで
きる。

第１の軟磁性膜４の記録媒体と垂直方向の幅は、第３図
に示されるギャップ深さＧｄｗで、０．５〜１０μ−程
度の記録効率が良好な値で仕上げられている。また、磁
気検出素子３の記録媒体と垂直方向の幅は、つまり、記
録媒体対向面からの深さは、Ｇｄρで仕上げられている
。

第１の軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２のトラック幅方向
の長さＴｗｉ、Ｔ％＋２は、第３図に示すように、第１
の磁性部材１０のトラック幅方向の長さＴｃより短く、
磁気検出素子３のトラック幅方向の長さＴＲより僅かに
長く、形成されている。

このように、前記各種膜が形成された第２の磁性部材２
１に、コイル用溝を有している第１の磁性部材１０が、
接着剤１１で接合されている。そして、第１の磁性部材
１０のコイル用溝に、コイル１２が施されている。

接合剤１１は、フロントギャップ部およびバックギャッ
プ部における接合状態の経時的な変化を考慮し、ガラス
材が用いられている。

次に、第１の実施例の作用について説明する。

記録時には、コイル１２に所望の信号電流を流すことに
より、第１の軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２との間に、
記録磁界が発生し、記録媒体が磁化されて所望の信号が
記録される。

第１の軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２との間が記録ギャ
ップと成り記録磁界が発生するのは、第１の軟磁性膜４
の膜厚が、第１の軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２との間
隔ＧＱ工と同等以上の値となっているため、第１の磁性
部材１０と第２の軟磁性膜２との間隔（１１２が、ＧＱ
□の値の２倍以上の値で、記録ギャップとしての役割り
を果たさないためである。

また、第１の軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２は、高飽和
磁束密度の磁性材であるＦｅ−Ａｌ−３ｉ系合金で形成
されているため、磁気飽和が起こりにくく、高保磁力の
記録媒体に対して充分な磁化状態が残せる記録磁界を発
生させることができ、記録密度を向上させることができ
る。なお、実験では。

膜厚１〜２μｍでＦｅ−Ａｌ−８ｉ系合金の磁性体を用
いると、保磁力１　、０００エルステツドの記録媒体に
、３０．０ＯＯＦ−Ｃ−Ｉの記録密度を実現している。

再生時には、記録媒体に記録された信号による再生磁界
が磁気検出素子３で読み取られる。

この際、ＭＲ膜で構成される磁気検出素子３で再生して
いるため、誘導形の再生ヘッドのような擬似ギャップに
よるゴーストやコンタ−と称されるノイズは発生せず、
さらに、第１の軟磁性ｒ４４と第２の軟磁性膜２とが、
磁気シールドとなるため、再生磁界以外の外部磁界を読
み取ることがなく、Ｓ／Ｎ比をよくすることができる。

また、磁気検出素子３による再生では、記録媒体と記録
再生用磁気ヘッドとの相対速度と再生特性とは、無関係
であるため１例えば、５インチ以下の磁気ディスクのよ
うに周速度が遅く相対速度が遅いものでも、高記録密度
に書き込まれた磁気ディスクから情報を高出力で読み取
ることができる。

再生トラック幅となる磁気検出素子３のトラック幅方向
の長さＴＩが、記録トラック幅となる第１の軟磁性膜４
のトラック幅方向の長さＴｗ□より、短いので、記録再
生用磁気ヘッドの記録媒体に対するトラック位置決め誤
差により生ずるノイズ記録領域の読み出しを防止するこ
とができる。

また、前記各種膜は、フォトリングラフィ技術等により
パターニングされているので、高精度に。

かつ、容易に位置合せが可能で、その精度は、容易にＬ
１以下とすることが可能である。

したがって、第１の軟磁性膜４と第２の軟磁性膜２と磁
気検出素子３のトラック幅方向の中心位置のズレを極め
て小さくすることができるので。

前記トラック位置決め誤差により生ずる前記ノイズ記録
領域の読み出し防止を図るために、磁気検出素子３のト
ラック幅方向の長さＴ１１を、第１の軟磁性膜４のトラ
ック幅方向の長さＴｗｌより、短くする量を小さくする
ことができ、再生トラック幅となる第１の軟磁性膜４の
トラック幅方向の長さＴＶ、を長くすることができ、Ｓ
／Ｎ比を良くすることができる。

また、記録特性および再生特性に大きく影響を与える要
因の１つである第１の軟磁性膜４のギャップ深さＧｄｗ
と、磁気検出素子３の記録媒体対向面からの深さＧｄ２
と、第１の軟磁性膜４と磁気検出素子３の相対的な位置
関係とを、精度良く、かつ、容易に仕上げることができ
るので、記録特性および再生特性を良くすることができ
るとともに、性能バラツキを小さくすることができ、高
歩留で高品質のものを生産することができる。

第１の磁性部材１０と第２の磁性部材２１とのフロント
ギャップ部でのトラック幅方向の接合長さは、第１の磁
性１部材１０のトラック幅方向の長さＴｃである。この
長さＴｃは、第１の磁性部材１０と第２の磁性部材２１
とは別に、磁気ポールとなる第１の軟磁性膜４と第２の
軟磁性膜２とを設けたので、記録トラック幅Ｔ％＋２に
依存することなく、大きくすることができるため、接合
面積を大きくすることができ、フロントギャップ部での
第１の磁性部材１０と第２の磁性部材２１との接合強度
を大きくすることができる。したがって、記録再生用磁
気ヘッドの記録媒体対向面やその他の部分の機械加工に
おいて、接合部での剥離に対する考慮をすることなく機
械加工することができる。

また、第１の磁性部材１０のトラック幅方向の長さＴｃ
と記録トラック＠Ｔｗ、との長さ関係を、逆に言えば、
記録トラック幅となる第１の軟磁性膜４のトラック幅方
向の長さＴす、を、第１の磁性部材ＩＯのトラック幅方
向の長さＴｃに、依存することなく小さくすることがで
きることであるから、トラック幅方向の記録密度を向上
させることができる。

極薄の磁気検出素子３および引出導体８は１段差のない
非磁性膜２２上に形成されているので、段切れの恐れが
小さい、また、引出線接続用パッド９は、前記外部回路
から伸びる図示されていない引出線の接続に適したハン
ダメツキで形成されるので、断線および接続部の剥離等
が生じにくく、接続信頼性を高めることができる。

なお、本実施例では、ＭＲｌｌにバイアス磁界を印加す
るものとして、シャント膜を用いたが、バイアス磁界を
印加することができるものであれば、永久磁石膜、電流
バイアス膜、ソフトフィルム膜、バーバーポール膜等を
用いてもよい。

また、第１の軟磁性膜４および第２の軟磁性膜２は、Ｆ
ｅ−Ａｌ−８ｉ系合金で形成したが、Ｎｉ−Ｆｅ磁性材
、Ｎ１−Ｆａと絶縁体の多層膜、Ｃｏ−金属系非晶質膜
、Ｆｅ−Ｃ系多層膜などの高飽和磁束密度を有するもの
を用いてもよい。

また、引出線接続用パッド９と外部回路から伸びる引出
線との接続には、一般的に、ハンダ付けや超音波ボンデ
ィング、ポールボンディング等で行なわれ、引出線接続
用パッド９は、それぞれの接続方法に適した材質のもの
を選定すれば良い６例えば、Ａｕ材で形成した場合には
、Ａｕ材はハンダ付は性、超音波接合性が良いので、接
合強度を高めることができ、また、メツキ法やスパッタ
法等による成膜を容易に行うことができる。

第１の磁性部材１０と前記各種層が形成された第２の磁
性部材２】とを接合する際に、本実施例では、ガラス材
を用いたが、エポキシ系あるいはその他の有機接着剤を
用いてもよい。有機接着剤を用いた場合には、高温を必
要とするガラス材を用いるときのように、第１の磁性部
材１０と第２の磁性部材２１との熱膨張率の違いによる
接合歪みを極力抑えるために、同一の材質を用いる等の
制約を受けることはない。

バックギャップ軟磁性膜５は、バックギャップ側の第１
の磁路形成部材を形成する第１の磁性部材１０と第２の
磁路形成部材２０との接合部における磁気抵抗を小さく
するために設けたものであるが、構造上、バックギャッ
プ部での磁気抵抗が大きくならない場合は、設けなくて
もよい。

第２の磁性部材２１は、磁性フェライトを用いた例を示
したが、アルミナ、アルミナチタンカーバイト、ジルコ
ニア等の非磁性セラミックを用いると、同様の構成で、
同一の効果を得ることができるとともに、第２の磁路形
成部材２０の耐摩耗性を向上させることができる。

以上に、説明したシャント膜の材質、軟磁性膜２．４の
材質、引出線接続用パッド９の材質、接着剤の材質、第
２の磁性部材２１の材質、バックギャップ軟磁性膜５の
設置については、以下の各種実施例においても同様なの
で、その説明を省略する。

また、非磁性ｌ１１６は、第２の磁性部材２１に、多結
晶磁性フェライトや焼結性非磁性セラミック材のような
多孔質性のものを用いて構成した場合、その上に直接軟
磁性膜を被着させると、軟磁性膜上に、凹凸が形成され
、磁気特性を劣化させることがあり、これを避けるため
に設けられている。

したがって、第２の磁性部材２１が、単結晶性の場合で
僅かな凹凸も存在しない場合や、第２の軟磁性膜２の膜
厚が、下地の凹凸や面粗さの影響が出ない程に、厚い場
合には、第８図に示すように、非磁性膜６を設けなくて
もよい。

次に、記録再生用磁気ヘッドの第２の実施例について、
第９図および第１０図を用いて説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、第９図に示すよう
に、第２の磁性部材２１に、絶縁性を何する非磁性膜２
２、磁気検出素子３、第１の軟磁性膜４．バックギャッ
プ軟磁性膜５を順次成膜し。

コイル１２が巻かれ第１の磁路形成部材を形成する第１
の磁性部材１０を接着剤１１で接合したものである。な
お、本実施例は、非磁性膜６および第２の軟磁性膜２が
設けられていない以外、第１の実施例と同一に構成され
ている。また、本実施例では、第２の磁性部材２１のみ
が、第２の磁路形成部材を形成している。

本実施例では、記録媒体３０は、第９図に示される矢印
の方向に相対的に走行するものとする。

記録する際には、第１の軟磁性膜４と第２の磁性部材２
１との間ＧＱ、に、第９図に示すような記録磁界Ｂが形
成される。記録磁界Ｂは、トレーリング側に軟磁性膜４
が設けられているため、トレーリング側の記録磁界がシ
ャープになっている。

したがって、記録媒体３０に記録する時には、記録再生
用磁気ヘッドのトレーリング側の記録磁界で記録して行
くため、シャープな記録磁界で。

所望の信号を記録することができ、高保磁力の磁気記録
媒体にも高密度で記録品質の良い記録が行える。

本実施例は、リーディング側の磁気ポールとなる第２の
磁性部材２１が、飽和磁束密度のあまり高くない磁性フ
ェライトで形成されているので。

第１の実施例のものと比べて、記Ｂ磁界の出力を大きく
することができず、記録密度を向上させる点ではやや劣
る。しかし、それ以外は、第１の実施例と同様の効果を
有するとともに、第２の軟磁性膜２および非磁性膜６が
配置していない分、構造が簡単で、製造コストを低下す
ることができる。

次に、第１１図および第１２図に基づき、第２の実施例
の変形例について説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、記録媒体３０の相
対的走行方向が逆になった場合の対応例で、第１１図に
示すように、第２の磁性部材２１上に、第２の軟磁性膜
２．絶縁性を有する非磁性部材２２、磁気検出素子３、
非磁性膜７を、順次成膜し、第１の磁路形成部材を形成
する第１の磁性部材１０を接着剤１１で接合したもので
ある。

なお、第２の磁路形成部材は、第２の磁性部材２１と第
２の軟磁性膜２とで構成されている。

本実施例は、第２の実施例の記録再生用磁気ヘッドにお
ける第１の軟磁性膜４の替わりに、第２の軟磁性膜２を
設けたものであるが、記録再生用磁気ヘッドのトレーリ
ング側にのみ、軟磁性膜が設けられており、基本的には
、第２の実施例と同様の構成で、その効果も、第２の実
施例と変わるものではない。

本実施例および第２の実施例は、第１３図に示すように
、第２の磁性部材２１上に成膜する第１層目に非磁性部
材６を設けてもよい。

この場合、第２の磁性部材２１上に凹凸があっても、そ
れが第２の軟磁性ｌ模２等に影響をおよぼすことがない
で、第２の磁性部材２１が多孔質性のものでも使用する
ことができる。

次に、記録再生用磁気ヘッドの第３の実施例を第１４図
および第１５図に基づき説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、コイル１２が巻か
れる第１の非磁性部材１４と、第２の非磁性部材２１と
、前記各種抜と、第１の非磁性部材１４に形成される磁
性膜１３とから構成されている。なお１本実施例は、前
述した第１の磁性部材１０と第２の磁性部材２１とが非
磁性はで成形され、第１の非磁性部材１４に磁性膜１３
が形成されている以外は、第１の実施例と同一構成であ
る。また、本実施例において、第１の磁路形成部材１０
ａは、第１の非磁性部材１４と磁性膜１３とで構成され
、第２の磁路形成部材２０ａは、第２の非磁性部材２１
ａと非磁性膜６と第２の軟磁性膜２とで構成されている
。

第１の非磁性部材１４および第２の非磁性部材２１ａは
、アルミナ、アルミナチタンカーバイト、ジルコニア等
のＵ摩耗性の優れている非磁性セラミックで形成されて
いる。

磁性膜１３は、軟磁性膜２，４と同一の材料で形成され
ており、第１４図に示すように、６Ｂｇを確保するため
、第１の非磁性部材１４上に、フロントギャップ側から
バックギャップ側まで、形成されている。

磁性膜１３は記録時の磁路の一部を構成するので、磁性
膜１３の厚さは、磁気抵抗を小さくするために、極力厚
い方が望ましく、５μｍ以上が望ましい。このような厚
い膜を被着するには、スパッタ法による被着方法でも行
なえるが、メツキ法を用いる方が被着設備の使用効率が
良く好ましい。

メツキを行う際には、電極となるＣｕ等の金属に磁性ｇ
ｉｌ　３と同一の材質のものをスパッタ法で被着させて
おき、これを電極として第１の非磁性部材１４に磁性膜
１３をメツキ被着させる。この場合は、磁性膜１３の材
料としては、Ｎｉ−Ｆｅ合金が適している。なお、Ｆｅ
−Ａｌ−８ｉ系合金等はスパッタ法で被着する；とが可
能である。

磁性膜１３と第１の軟磁性膜４は、同種金属であるため
拡散接合方法を用いて、両者の間に隙間を発生させない
ようにすることが可能である。ガラス材等の接合剤を用
いた時は、磁性膜１３と第１の軟磁性膜４の間には隙間
が生じないよう、接合時の接合荷重を大きくする等の方
策を取る必要がある。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、第１の実施例と同
様の効果を得ることができるのみならず。

第１の非磁性部材１４および第２の非磁性部材２１ａが
耐摩耗性に優れたセラミック材料で形成されているので
、記録媒体対向面の摩耗による劣化を減少させることが
でき、寿命を長くすることができる。

したがって、記録媒体が磁気ヘッドに接触し。

磁気ヘッドを摩耗させるような、例えば、磁気テープ装
置用磁気ヘッドや、フロッピー装置用磁気ヘッド、ハー
ドディスク装置用磁気ヘッドに、特に適している。

（以下余白） 前記各種実施例は、記録再生用磁気ヘッドの基本構造に
関するもので、この構造を磁気ディスクに適用したもの
について、次に説明する。

記録再生用磁気ヘッドの第４の実施例について、第１６
図〜第１８図を用いて説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、第２の実施例にお
ける第１の磁性部材１０をコイル３５を収納するための
コイル用溝が形成されているコアブロック３４とし、第
２の磁性部材２１を磁気ディスクとの間の気流で揚力を
生じせしめるための？？上面が形成されているスライダ
ー３１としたものである。

磁気ディスク面に対向し、情報の記録・再生を行うフロ
ントギャップ部３２内には、情報の読取りを行うための
ＭＲ素子３３が配設されている。

この記録再生用磁気ヘッドは、記録時には、コイル３５
に記録電流を流すことによって励起される磁束がコアブ
ロック３４とスライダー３１を通り、６Ｂ気デイスクに
対向したフロントギャップ部３２より飛び出し記録され
る。また、再生時には。

フロントギャップ部３２内に設けられたＭＲ素子３３で
磁気ディスクからの漏洩磁束を感知し電圧に変換して、
ＭＲ素子３３から引出した図示されていない引出導体に
接続されている引出線接続用バット３６．３６に、ハン
ダ付は等で接続されている引出線３７．３７によって外
部回路に伝達される。

次に、フロントギャップ部３２の構造について以下に述
べる。

スライダー３１に成る磁性基板上に、Ｎｉ−Ｆｅまたは
Ｆｅ−Ａｔ−８ｉ系合金からなる軟磁性膜４２が、厚さ
２〜５μｍにスパッタ法あるいは蒸着法等で被着され、
エツチングにより所望の記録トラック幅Ｔｗに形成され
ている。

その上に、０．２〜０．８μ畑のＡｌ、０３，５ｉｎ２
等の無機材料の絶縁性を有する第１非磁性膜３８を介し
て１ＭＲ素子３３を構成するＮｉ−Ｆｅ等の材料のＭＲ
膜３９（厚さ２００〜９００人）と、ＭＲ膜３９に密着
して配置し電磁誘導によってＭＲ膜３９にバイアス磁界
を印加するためのシャント膜４０（厚さ１０００〜２０
００人）とが、スパッタリング、蒸着等の方法で被着さ
れ、エツチングにより所望の再生トラック＠Ｔ８および
形状に形成されている。

さらにその上には、ＭＲ素子３３を保護するとともに、
フロントギャップ部３２の一部を構成する第２非磁性膜
４１が、厚さ０．１〜０．５μ糟で形成されている。

なお、引出線接続用パッド３６．３６は、図示されてい
ない前記引出導体の端部に、Ａｕ、Ｃｕ等の導電材料を
、スパッタリングやエツチング等により表面に露出する
よう形成したものである。

記録再生用磁気ヘッドは、このように各種薄膜が形成さ
れた磁性材基板を浮上面を有する短冊状ブロックに加工
し、短冊状ブロックとコアブロック３４とをガラス材４
３で接合したものである。

このガラス接合においては、ガラス溶融温度が高すぎる
とＭＲ膜３９の磁気特性、電気特性が劣化することが考
えられるため、極力低温度とする必要があり、例えば、
ＰｂＯ系の軟化点３００〜５００℃の低融点ガラスを使
用することが望ましし箋。

このような構造では、記録トラックｌ１ｌｉＴＴ−がコ
アブロック３４のｌｌｌ１Ｔｃに関係なく決定されるた
め、記憶容量を増大化するためにトラック幅を狭小化す
る必要がある場合でもコアブロック４の幅Ｔｃを大きく
できる、すなわち、Ｔｗ＜Ｔｃとすることにより、引出
線接続用パッド３６．３６の間隔およびそれ自体の大き
さを大きくでき、引出線＠３７の引出しを容易にするこ
とができる。

また、記録トラックと再生トラックの幅Ｔす。

ＴＲおよび位置が、薄膜プロセスで決定できるため、記
録トラックと再生トラックとの整合性をよくすることが
でき、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。

前記実施例では、スライダー３１とＭＲ素子３３との間
に軟磁性膜４２を配置したが、トレーリング側が、コア
ブロック側３４である場合には、コアブロック３４とＭ
Ｒ素子３３との間に軟磁性膜４２を配置した構造でも、
同様な効果を有する記録再生用磁気ヘッドを実現するこ
とができる。

この実施例を第４の実施例の変形例として、第１９図お
よび第２０図を用いて説明する。

スライダー３１に、第１非磁性膜３８と、ＭＲ膜３９と
、シャント膜４０と、第２非磁性膜４１とを第４の実施
例で示した方法と同様に形成した後、軟磁性膜４４を形
成する。

この形成方法は、第２非磁性膜４１上に、軟磁性膜４４
を付着し、所望形状にエツチングした後、Ａｌ２Ｏ，等
の絶縁材料を付着し、エツチングあるいは研摩等で軟磁
性膜４４を表面に露出する方法がとられる。

このような構造でも、記録トラック位置中心と再生トラ
ック位置中心の整合性、および、’ｒＷ＜Ｔｃとするこ
とによる引出線３７の引出しの容易性は、第４の実施例
と何ら変わることはない、この構造では、再生ギャップ
長Ｇ８にガラス接合層が含まず薄膜プロセスにおける膜
厚精度によるばらつきのみとなる為、再生特性はより安
定になる。

なお、軟磁性膜４４をＭＲ素子３３の両側に配置しても
よい。この構造では、軟磁性膜４４を高磁束密度のもの
を選定することにより、記録の際の磁気ポールの飽和磁
束密度を高めることができ。

より記録密度を高めることができる。

次に、記録再生用磁気ヘッドの第５の実施例について、
第２１図に基づき説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、ＭＲ素子３３等の
各種薄膜が形成されたコアブロック３４ａと、コイル用
溝が形成されているスライダー　３１　ａとをガラス材
４３で接合したもので、薄膜形成プロセス、最終形状の
磁気ヘッドに加工するプロセスは、前述した方法と変わ
らない。また。

フロントギャップ部３２内の構造は、第４の実施例、そ
の変形例で示したものと同様にすることが可能である。

本実施例では、スライダー３１ａにコイル用溝を形成し
たので、スライダー３１ａの軽量化を図かることができ
るとともに、コアブロック３４ａにコイル用溝を形成し
なくてもよいので、磁気ディスクに対する相対的移動方
向の幅を狭めることができ、コアブロック３４ａの軽量
化も図ることができる。

ところで、スライダー３１ａまたはコアブロック３４ａ
あるいはその両方は、磁気ディスクの記録面との耐摩耗
性を考慮し、Ａｌ２Ｏ，−Ｔｉｃ等の非磁性材料を用い
てもよい。この場合においては、非磁性材料が用いられ
たスライダー３１ａまたはコアブロック３４ａあるいは
その両方に、前述の磁性薄膜を配置して、磁気回路を形
成することにより実現可能である。

次に、記録再生用磁気ヘッドの第６の実施例について、
第２２図〜第２９図に基づき説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、スライダー５１に
、２つのコアブロック５２．５２を実装している点と、
コアブロック５２の形状および引出線接続パッド５３，
５３．５３配置が異なっている点以外は、第２の実施例
および第４の実施例の変形例と同一構成である。

スライダー５１のトラック幅方向の両側には、それぞれ
、コアブロック５２．５２が取付けられるように、第１
非磁性膜３８、ＭＲ素子３３、第２非磁性膜４１、軟磁
性膜４４、バックギャップ軟磁性膜４５が、前述した薄
膜形成プロセスにより、形成されている。

第１非磁性膜３８上には、Ｍ　Ｒ素子３３をそのままコ
アブロック５２．５２間の中央方向に伸ばして引出導体
が形成さており、引出線接続用パッド５３，５３．５３
は、前記引出導体の端部に接続されている。

コアブロック５２．５２のスライダー５１との接合部近
傍のトラック幅方向の長さは、コアブロック５２．５２
のその他の部位の１−ラック幅方向の長さと比べて、長
く、前記接合部での接合強度が十分得られるように、設
定されている。

したがって、スライダー５１とコアブロック５２との接
合強度を高めることができるとともに。

コアブロック５２のコイル３５を施す部位を細くできる
ので、コアブロック５２を軽量化することができる。ま
た、コアブロック５２のコイル３５を施す部位の中心か
らコイル３５の最外周部までの第２４図に示す距ｊｌＥ
を短くすることができ、コイル３５の慣性モーメントを
小さくすることができる。一方、引出線接続用パッド５
３，５３゜５３をスライダー５１のトラック幅方向の中
央近傍に設けたので、磁気ディスクに対して垂直方向の
スライダー５１の長さを短くすることができ、スライダ
ー５１の軽量化を図ることができる。

このように、コアブロック５２およびスライダー５１の
軽量化を図ることができるので、記録再生用磁気ヘッド
を磁気ディスク上に浮上させた際の浮動量の変化の追従
性を向上させることができる。

本実施例の記録再生用ヘッドは、前述したように、第２
の実施例および第４の実施例の変形例と基本的には同一
構成であるため、これらの実施例と同様の効果を有する
ことは言うまでもない。

次に、本実施例の製造方法について、説明する。

まず、第２５図に示すように、複数のスライダー５１を
切り出すことができるスライダー店ｉ反６０上に、前記
各種膜を前述した薄膜形成プロセスにより、形成する。

そして、各種膜が形成されたスライダー基板６０から、
５個取りのスライダーブロック６１を切り出す。

一方で、５個取りのスライダーブロック６１に対応させ
て、第２８図に示すように、５個取りのスライダーブロ
ック６１との接合面に接合用のガラス材４３が付着され
ている５組取りのコアブロック６５を形成しておく。

５組取りのコアブロック６５には、コイル用溝６６と、
コアブロック５２，５２．〜の切り離し用の溝６７．６
７、〜とが、形成されている。

次に、ガラス材４３に熱を加えて、５個取りのスライダ
ーブロック６１と５組取りのコアブロック６５とを接合
する。

そして、５組取りのコアブロック６５を分難してから、
スライダー５１の記録媒体対向面を加工して浮上面を形
成し、前記記録媒体対向面をラップ仕上げする。なお、
ＭＲ素子３３および軟磁性膜４４に、第１の実施例で説
明した前記加工終点検知用のパターンが形成されている
ならば、これに基づきラップ仕上げをすることが好まし
い。

次に、５個取りのスライダーブロック６１を各スライダ
ー５１，５１．〜に切断してから、切断面仕上げる。

最後に、コイル３５を施し、引出線を引出線接続用パッ
ド５３に接続して、浮動型記録再生用磁気ヘッドを完成
させる。

なお、第３０図に示すように、第２非磁性膜４１上に形
成されるバックギャップ軟磁性膜４５は、島状に２つの
軟磁性膜から形成してもよい。

このように、２つまたは複数の軟磁性膜４５゜４５を形
成し、コアブロック５２との接合面に凹凸部を形成する
と、凹部４６に接着剤４３を確実に流し込めるため、コ
アブロック２ｏとスライダー５１との接合信頼性を高め
ることができる。なお、バックギャップ軟磁性膜４５．
４５が島状に複数形成されても、バックギャップ部での
接合面を大きくすることができるので、接合面での磁気
抵抗の増大を防ぐことができ、記録特性を劣化させるこ
とはない。

また、本実施例においても、第３の実施例で示したよう
に、スライダー５１およびコアブロック５２を耐摩耗性
に優れた非磁性セラミックスで形成してもよい。スライ
ダー５１およびコアブロック５２に非磁性セラミックス
を用いると、浮動型記録再生用磁気ヘッドでは、耐コン
タクトストップ特性や耐ヘツドクラツシユ性を向上させ
ることができる。

次に、第７の実施例として、第３１図に基づき。

磁気テープの記録再生用磁気ヘッドについて説明する。

本実施例の記録再生用磁気ヘッドは、マルチトラック型
で、リーディング側のコア７０とトレーリング側のコア
７１とを、それぞれトラック１陥方向に複数一体的に形
成したものである。

リーディング側のコア７０，７０．・・・と１〜レーリ
ング側のコア７１，７１．・・・との間には、第１の実
施例で説明した各種膜が、形成されている。

また、リーディング側のコア７０およびトレーリング側
のコア７１は、それぞれ、第１の実施例における第１の
磁性部材１０．第２の磁性部材２１を構成している。

リーディング側のコア７ｏとトレーリング側のコア７１
とを接合して形成されるヘッドの磁気テープと接触する
面の形状は、空気を巻き込まない安定したテープタッチ
が得られるように、形成されている。

本実施例の記録再生ヘッドの製造は、まず、リード側の
コア７０が複数形成されているリープ、ｒング側コアブ
ロック７２、または、トレーリング側のコア７１が複数
形成されているトレーリング側のコアブロック７３のい
ず九かに、前記各種膜を形成する。そして、それらを接
合し、磁気テープとの接触面を機械加工により仕上げる
。次に、引出線接続用パッド７４に引出線を接続し、コ
イル７５を巻き付ける。

なお、本実施例は、第１の実施例と基本構造を同じくし
、磁気テープ用マルチトラック型の記録再生ヘッドを構
成するものであるが、第２の実施例、第３の実施例と基
本構造を同じくするものも、同様に、磁気テープ用マル
チトラック型の記録再生ヘッドを構成することができる
ことは、言うまでもない。

［発明の効果］ 本発明によれば、磁気検出素子と磁気ポールを構成する
軟磁性膜とを薄膜形成できるので、記録ギャップ、記録
および再生トラック幅を狭めることができて、記録密度
を上げることができ、また、Ｓ／Ｎ比や記録再生特性を
良くすることができるとともに、薄膜コイルやそれに伴
う粕林暎を形成する必要がないので、製品製造工程が少
なく製造コストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１の実施例の全体斜視図、第２図は第１図に
おけるｎ−ｎ線断面図、第３図は■矢視図、第４図は第
１の磁路形成部材の平面図、第５図は第４図におけるｖ
−ｖ＃ｉ！断面図、第６図は第４図におけるＶｌ−ＶＩ
線断面図、第７図は第４図における■−■線断面図、第
８図は第１の実施例の変形例の断面図、第９図は第２の
実施例の断面図。 第１０図は第９図におけるＸ矢視図、第１１図は第２の
実施例の変形例の断面図、第１２図は第１１図における
朋矢視図、第１３図は第２の実施例のその他の変形例の
断面図、第１４図は第３の実施例の断面図、第１５図は
第１４図におけるＸＶ矢視図、第１６図は第４の実施例
の全体斜視図、第１７図は第１６図におけるｘｖ１矢視
図、第１８図は第１７図におけるＸ■−Ｘ■線断面図、
第１９図は第４の実施例の変形例の上面図、第２０図は
第１９図におけるＸＸ　−ＸＸ線断面図、第２１図は第
５の実施例の全体斜視図、第２２図は第６の実施例の全
体斜視図、第２３図は第２２図におけるＸＸｌ−ＸＸＩ
ＸＸ線断面図２４図は第２２図におけるＸＸＮ矢視図、
第２５図はスライダー基板の正面図、第２６図は第２５
図におけるＸＸ１Ｉ−ＸＸＳＩ線断面図、第２７図は第
２５図におけるＸＸ■−Ｘ　Ｘ　ｊｌ線断面図、第２８
図は５個取りのコアブロックの全体斜視図、第２９図は
５個取りのスライダーブロックの全体斜視図、第３０図
は第６の実施例の変形例の要部斜視図、第３１図は第７
の実施例の全体斜視図である。 ２・・・第２の軟磁性膜、３・・・磁気検出素子、４・
第１の軟磁性膜、５・・・バックギャップ軟磁性膜。 ６．７．２２・・・非磁性膜、８・・・引出導体、９゜
３６．５３・・・引出線接続用パッド、１０・・・第１
の磁性部材（第１の磁路形成部材）、１０ａ・・・第１
の磁路形成部材、１１．４３・・・接着剤、１２゜３５
．７５・・・コイル、１４・・・第１の非磁性部材。 ２０．２０ａ・・・第２の磁路形成部材、２１・・・第
２の磁性部材、２１ａ・・・第２の非磁性部材、３１゜
３１ａ、５１・・・スライダー、３２・・・フロントギ
ャップ部、３４，３４ａ、５２・・・コアブロック、４
６・・・凹部、６０・・・スライダー基板、６１・・・
５個取りスライダーブロック、６５・・・５個取りコア
ブロック。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、コイルが巻かれる第１の磁路形成部材と、前記第１
   の磁路形成部材とともに、磁路を形成する第２の磁路形
   成部材と、 前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材との
   フロントギャップ部に形成され、磁界の変化を検出する
   磁気検出素子と、軟磁性膜とを有する膜構造体とを備え
   ていることを特徴とする記録再生用磁気ヘッド。 ２、磁界の変化を検出する磁気検出素子と、軟磁性膜と
   を有する膜構造体と、 前記膜構造体が形成されるヘッド基体と、 前記ヘッド基体とともに磁路を形成し、コイルが巻かれ
   る磁路形成部材とを有することを特徴とする記録再生用
   磁気ヘッド。 ３、前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材
   とは、共に磁性材で形成されていることを特徴とする請
   求項１記載の記録再生用磁気ヘッド。 ４、前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材
   とは、共に非磁性材と磁路を形成する磁性材とで形成さ
   れていることを特徴とする請求項１記載の記録再生用磁
   気ヘッド。 ５、前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材
   とのいずれか一方が、磁性材で形成され、他方が、非磁
   性材と磁路を形成する磁性材とで形成されていることを
   特徴とする請求項１記載の記録再生用磁気ヘッド。 ６、前記軟磁性膜は、前記磁気検出素子の少なくともト
   レーリング側に有することを特徴とする請求項１、３、
   ４、または５記載の記録再生用磁気ヘッド。 ７、前記軟磁性膜は、前記磁気検出素子の両側に有する
   ことを特徴とする請求項１、３、４、または５記載の記
   録再生用磁気ヘッド。 ８、前記第１の磁路形成部材と前記第２の磁路形成部材
   とのバックギャップ部に、該第１の磁路形成部材と該第
   ２の磁路形成部材とを磁気的に接続する軟磁性膜を有す
   ることを特徴とする請求項１、３、４、５、６、または
   ７記載の記録再生用磁気ヘッド。 ９、前記磁気検出素子に隣接させて、絶縁性を有する非
   磁性膜を形成し、 前記非磁性膜上に、前記磁気検出素子に電流を供給する
   引出導体を設け、 前記引出導体の端部に、引出線が接続される引出線接続
   用パッドを設けたことを特徴とする請求項１、３、４、
   ５、６、７、または８記載の記録再生用磁気ヘッド。 １０、前記軟磁性膜の膜厚が、記録磁界が形成される記
   録ギャップの間隔より、厚いことを特徴とする請求項１
   、３、４、５、６、７、８、または９記載の記録再生用
   磁気ヘッド。 １１、前記軟磁性膜のトラック幅方向の長さが、前記磁
   気検出素子のトラック幅方向の長さより、長いことを特
   徴とする請求項１、３、４、５、６、７、８、９、また
   は１０記載の記録再生用磁気ヘッド。 １２、前記フロントギャップ部のトラック幅方向の長さ
   が、前記軟磁性膜のトラック幅方向の長さより、長いこ
   とを特徴とする請求項１、３、４、５、６、７、８、９
   、１０、または１１記載の記録再生用磁気ヘッド。 １３、前記第１の磁路形成部材のコイルが巻かれる部位
   のトラック幅方向長さが、前記フロントギャップ部のト
   ラック幅方向の長さとバンクギャップ部のトラック幅方
   向の長さとのうちいずれか短い方より、短いことを特徴
   とする請求項１、３、４、５、６、７、８、９、１０、
   １１、または１２記載の記録再生用磁気ヘッド。 １４、磁路を形成すべく、前記第１の磁路形成部材と前
   記第２の磁路形成部材とが、互いに接合する少なくとも
   一方の接合面に、接着剤が流れ込む凹部を形成したこと
   を特徴とする請求項１、３、４、５、６、７、８、９、
   １０、１１、１２、または１３記載の記録再生用磁気ヘ
   ッド。 １５、前記第２の磁路形成部材に対して、２以上の前記
   第１の磁路形成部材を有することを特徴とする請求項１
   、３、４、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、
   または１４記載の記録再生用磁気ヘッド。 １６、請求項１、３、４、５、７、８、９、１０、１１
   、１２、１３、１４、または１５記載の記録再生用磁気
   ヘッドであって、 前記第２の磁路形成部材が、浮上面を有するスライダー
   部材を形成し、 前記第１の磁路形成部材がコア部材を形成することを特
   徴とする浮上型記録再生用磁気ヘッド。 １７、前記スライダー部材の前記コア部材と対向する面
   に、前記コア部材に巻かれるコイルを回避するためのコ
   イル用回避部を形成し、 前記コア部材に前記膜構造体を形成したことを特徴とす
   る請求項１６記載の浮上型記録再生用磁気ヘッド。 １８、記録再生用磁気ヘッドの母材となるヘッド基体に
   、磁界の変化を検出する磁気検出素子と軟磁性膜とを薄
   膜形成して膜構造体を形成し、前記膜構造体が形成され
   た前記ヘッド基体に、コア部材を接合し、 前記コア部材にコイルを設けたことを特徴とする記録再
   生用磁気ヘッドの製造方法。