JPH01261816A - Cooling apparatus for vacuum in vacuum chamber - Google Patents
Cooling apparatus for vacuum in vacuum chamberInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、例えば半導体製造用ＭＢＥ装置等に使用さ
れる真空チャンバにおける真空用冷却装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a vacuum cooling device in a vacuum chamber used, for example, in an MBE device for semiconductor manufacturing.
この明細書において、アルミニウムとは、純アルミニウ
ムおよびアルミニウム合金を含んで意味するものとする
。In this specification, aluminum is meant to include pure aluminum and aluminum alloys.
従来の技術
従来、この種の真空チャンバは、箱状チャンバ本体と、
これの内部に配置されかつ周壁に管状部を有するステン
レス製シュラウドとを備えたものであり、液体窒素より
なる冷却媒体をシュラウド内に溜め、この冷媒によって
、シュラウドを冷却して残留ガスをシュラウド外面に吸
着させ、シュラウド内を超真空に保持していた。Conventional technology Conventionally, this type of vacuum chamber has a box-shaped chamber body,
A cooling medium made of liquid nitrogen is stored in the shroud, and this cooling medium cools the shroud and removes residual gas from the outer surface of the shroud. The inside of the shroud was kept in an ultra-vacuum.
また従来、アルミニウム製ロールボンド・パネルよりな
るシュラウドを備えた真空チャンバも知られているが（
特開昭６０−１６１７０２号公報参照）、この場合もシ
ュラウドの管状膨出部に液体窒素よりなる冷却媒体を流
通させ、シュラウドを冷却して同様にシュラウド内を超
真空に保持していた。Vacuum chambers equipped with shrouds made of aluminum roll-bonded panels have also been known (
In this case as well, a cooling medium made of liquid nitrogen was passed through the tubular bulge of the shroud to cool the shroud and similarly maintain the inside of the shroud in an ultra-vacuum.
発明が解決しようとする課題
しかしながら、従来の溜め込み式のシュラウドを備えた
真空チャンバでは、シュラウドの材料にステンレスを用
いているため、シュラウドを支持する支持棒を丈夫なも
のとしなければならず、従って支持棒は重くなり、熱伝
導が太きく、このため冷却媒体の消費量が多く、また液
体窒素の初期充填の消費量はシュラウドの重量Ｘ潜熱と
なり、シュラウドの材料にステンレスを用いるとアルミ
ニウムの場合より消費量が非常に多いという問題があっ
た。また液体窒素よりなる冷却媒体は溜め込み式である
ので、冷却媒体が入っている部分は冷却効果があるが、
入っていない部分は冷却効果がないため、液面を常にモ
ニタして、冷却媒体を供給しなければならないという問
題があった。Problems to be Solved by the Invention However, in conventional vacuum chambers equipped with reservoir-type shrouds, stainless steel is used as the material for the shroud, so the support rods that support the shroud must be made strong. The support rod is heavier and has thicker heat conduction, which results in a large consumption of cooling medium.Also, the consumption of the initial filling of liquid nitrogen is the weight of the shroud x the latent heat. There was a problem that the consumption amount was extremely large. Also, since the cooling medium made of liquid nitrogen is a storage type, the part containing the cooling medium has a cooling effect, but
Since there is no cooling effect in areas that are not filled with water, there is a problem in that the liquid level must be constantly monitored and cooling medium must be supplied.
また従来のロールボンド伊パネルよりなるシュラウドを
備えた真空チャンバでは、冷却媒体として同様に液体窒
素を使用しているため、取扱いが面倒で、しかも装置が
大がかりとなるうえに、使用中に液体窒素が速やかに気
化してしまい、基本的には液体窒素を循環させて使用す
ることができず、液体窒素が消費されてしまうため、運
転コストが非常に高くつくという問題があった。In addition, conventional vacuum chambers equipped with shrouds made of roll-bonded Italian panels similarly use liquid nitrogen as a cooling medium, which is cumbersome to handle and requires large-scale equipment. There was a problem in that the liquid nitrogen was rapidly vaporized, and basically it was impossible to circulate and use the liquid nitrogen, and the liquid nitrogen was consumed, resulting in extremely high operating costs.
この発明の目的は、上記の問題を解決し、冷却流体の取
扱いがきわめて容易で、冷却媒体の消費量が非常に少な
く、運転コストが非常に安くつく真空チャンバにおける
真空用冷却装置を提供しようとするにある。An object of the present invention is to solve the above problems and provide a vacuum cooling device for a vacuum chamber in which the handling of the cooling fluid is extremely easy, the consumption of the cooling medium is extremely low, and the operating cost is extremely low. There is something to do.
課題を解決するための手段
この発明は。上記の目的を達成するために、まず第１発
明は、真空チャンバが、箱状真空チャンバ本体と、これ
の内部に配置されかつ周壁に、入口および出口を有する
管状部を備えたシュラウドとを具備しており、この真空
チャンバのシュラウドの管状部の入口に、冷却流体流通
往管の一端部が接続されるとともに、該往管の他端部が
冷凍機に接続され、シュラウドの管状部の出口に、冷却
流体流通復管の一端部が接続されるとともに、該復管の
他端部が冷凍機に接続され、往復管のうち、いずれか一
方の中間に循環用ポンプが介在させられており、ポンプ
の作動により管状部と冷凍機との間を往復管を介してフ
レオンまたは水よりなる冷却流体が循環するようになさ
れている、真空チャンバにおける真空用冷却装置を要旨
としている。Means for Solving the Problems This invention is. In order to achieve the above object, a first invention provides a vacuum chamber including a box-shaped vacuum chamber body and a shroud disposed inside the box-shaped vacuum chamber body and having a tubular part having an inlet and an outlet on a peripheral wall thereof. One end of the cooling fluid flow outgoing pipe is connected to the inlet of the tubular part of the shroud of the vacuum chamber, and the other end of the outgoing pipe is connected to the refrigerator, and the outlet of the tubular part of the shroud is connected to the inlet of the tubular part of the shroud. One end of the cooling fluid circulation return pipe is connected to the return pipe, and the other end of the return pipe is connected to the refrigerator, and a circulation pump is interposed in the middle of one of the return pipes. The gist is a cooling device for vacuum in a vacuum chamber, in which a cooling fluid made of Freon or water is circulated between a tubular part and a refrigerator via a reciprocating tube by the operation of a pump.
つぎに、この発明の第２発明は、真空チャンバが、周壁
、頂壁および底壁のうち少なくとも周壁に、入口および
出口を有する管状部を備えており、この真空チャンバの
管状部の入口に、冷却流体流通往管の一端部が接続され
るとともに、該往管の他端部が冷凍機に接続され、真空
チャンバの管状部の出口に、冷却流体流通復管の一端部
が接続されるとともに、該復管の他端部が冷凍機に接続
され、往復管のうち、いずれか一方の中間に循環用ポン
プが介在させられており、ポンプの作動により管状部と
冷凍機との間を往復管を介してフレオンまたは水よりな
る冷却流体が循環するようになされている、真空チャン
バにおける真空用冷却装置を要旨としている。Next, in a second aspect of the present invention, the vacuum chamber is provided with a tubular portion having an inlet and an outlet on at least the peripheral wall, the top wall, and the bottom wall, and at the inlet of the tubular portion of the vacuum chamber, One end of the cooling fluid circulation outgoing pipe is connected, the other end of the outgoing pipe is connected to a refrigerator, and one end of the cooling fluid circulation returning pipe is connected to the outlet of the tubular part of the vacuum chamber. , the other end of the return pipe is connected to the refrigerator, and a circulation pump is interposed in the middle of one of the reciprocating pipes, and the pump operates to reciprocate between the tubular part and the refrigerator. The subject matter is a cooling device for vacuum in a vacuum chamber, in which a cooling fluid consisting of Freon or water is circulated through tubes.
実施例
つぎに、この発明の実施例を、図面を参照しながら説明
する。Embodiments Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図〜第３図はこの発明の第１発明の実施例を示すも
のである。同図において、真空チャンバ（１）は、箱状
真空チャンバ本体（２）と、これの内部に配置されかつ
周壁に、入口（５）および出口（６）を有する膨出管状
部（４）を備えたアルミニウム製ロールボンドパネルよ
りなるシュラウド（３）とを具備している。この真空チ
ャンバ（１）のシュラウド（３）の管状部（４）の入口
（５）に、冷却流体流通往管（７）の一端部が接続され
るとともに、該往管（７）の他端部が冷凍機（９）に接
続され、シュラウド（３）の管状部（４）の出口（６）
に、冷却流体流通復管（８）の一端部が接続されるとと
もに、該復管（８）の他端部が冷凍機（９）に接続され
、また往管（７）の中間に循環用ポンプ（ｌＯ）が介在
させられている。そしてこの循環用ポンプ（１０）の作
動により管状部（４）と冷凍機（９）との間を往復管（
７）（８）を介してフレオンまたは水よりなる冷却流体
が循環するようになされているものである。1 to 3 show an embodiment of the first invention of the present invention. In the figure, a vacuum chamber (1) includes a box-shaped vacuum chamber body (2) and a bulging tubular part (4) disposed inside the body and having an inlet (5) and an outlet (6) on the peripheral wall. A shroud (3) consisting of an aluminum roll-bonded panel is provided. One end of a cooling fluid distribution outgoing pipe (7) is connected to the inlet (5) of the tubular part (4) of the shroud (3) of this vacuum chamber (1), and the other end of the outgoing pipe (7) section is connected to the refrigerator (9) and the outlet (6) of the tubular section (4) of the shroud (3)
One end of a cooling fluid circulation return pipe (8) is connected to the return pipe (8), the other end of the return pipe (8) is connected to a refrigerator (9), and a circulation pipe is connected to the middle of the return pipe (7). A pump (lO) is interposed. By operating this circulation pump (10), a reciprocating pipe (
7) A cooling fluid made of freon or water is circulated through (8).
箱状真空チャンバ（１）の側壁にはガス抜き用開口部（
１３）があけられていて、これに連通ずるように真空ポ
ンプ接続用ダクト（１２）が設けられている。また図示
は省略したが、箱状チャンバ本体（２）には、種々の機
器を接続したり、物品を入れたりするための開口部が設
けられている。The box-shaped vacuum chamber (1) has a gas vent opening (
13) is opened, and a vacuum pump connection duct (12) is provided so as to communicate with this. Although not shown in the drawings, the box-shaped chamber main body (2) is provided with openings for connecting various devices and inserting articles.
膨出管状部（５）は、第３図に示すように横断面半円形
で、シュラウド（３）の内方にのみ膨出している。The bulging tubular portion (5) has a semicircular cross section as shown in FIG. 3, and bulges only inward of the shroud (3).
なお、管状部（４）の横断面形状は、例えば第４図に示
すように、六角形状であってもよいし、またその他の形
状であってもよい。The cross-sectional shape of the tubular portion (4) may be, for example, a hexagonal shape, as shown in FIG. 4, or may be any other shape.
上記アルミニウム製ロールボンドパネルよりなるシュラ
ウド（３）は、例えば圧延加工により成形した２枚のア
ルミニウム板のうちの一方のアルミニウム板の片面に、
圧着防止剤を所要パターンに印刷し、該印刷面に他方の
アルミニウム板を重ね合せ、この状態で両板を圧着した
後、非圧着部に流体圧を導入して管状部を膨出形成する
、いわゆるロールボンド法によって製造されたものであ
り、該シュラウド（３）は、入口（５）および出口（６
）を有する１つ管状部（４）を備えている。The shroud (3) made of the above-mentioned aluminum roll bond panel is made of, for example, one of two aluminum plates formed by rolling.
Printing an anti-crimping agent in a desired pattern, superimposing the other aluminum plate on the printed surface, crimping both plates in this state, and then introducing fluid pressure into the non-crimped part to form a bulging tubular part. The shroud (3) is manufactured by the so-called roll bonding method, and the shroud (3) has an inlet (5) and an outlet (6).
) with one tubular part (4).
上記シュラウド（３）の材質としては、シュラウド（３
）の管状部（４）にフレオンを循環させる場合には、通
常の耐食性アルミニウム合金を用いればよく、また管状
部（４）に水を循環させる場合には、シュラウド（３）
の材質として亜鉛プリントアルミニウム板、もしくは７
２Ｓクラツド材を用いるか、またはシュラウド（３）を
構成するアルミニウム板の表面、とくに管状部（４）の
内面に耐食性皮膜を形成する表面処理を施せばよい。あ
るいはまた循環水に防食剤（インヒビター）を添加して
もよい。The material of the shroud (3) is as follows:
) If Freon is to be circulated through the tubular part (4), ordinary corrosion-resistant aluminum alloy may be used, and if water is to be circulated through the tubular part (4), the shroud (3) can be used.
Zinc printed aluminum plate or 7
2S clad material may be used, or the surface of the aluminum plate constituting the shroud (3), particularly the inner surface of the tubular portion (4), may be subjected to surface treatment to form a corrosion-resistant film. Alternatively, an anticorrosive agent (inhibitor) may be added to the circulating water.
上記真空チャンバ（１）において、内部を高真空状態に
するには、管状部（４）内に通常まず加熱流体を流通さ
せて、真空チャンバ（１）にベーキング処理を施し、つ
いでこれを常温まで自然冷却したのち、管状部（４）内
にフレオンまたは水よりなる冷却流体を流通させて、シ
ュラウド（３）の内面に、−タム空化された箱状真空チ
ャンバ本体（２）内の残留ガスおよび放出ガスを吸着さ
せ、超高真空に保持するものである。In order to bring the inside of the vacuum chamber (1) into a high vacuum state, a heating fluid is usually passed through the tubular part (4) to perform a baking process on the vacuum chamber (1), and then the temperature is raised to room temperature. After natural cooling, a cooling fluid made of freon or water is passed through the tubular part (4) to remove residual gas in the emptied box-shaped vacuum chamber body (2) on the inner surface of the shroud (3). and adsorbs released gas and maintains it in an ultra-high vacuum.
上記第１実施例の真空チャンバ（１）における真空用冷
却装置において、まず真空ポンプ（図示路）の作動によ
り真空チャンバ（１）およびシュラウド（３）内をＩ
Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの真空状態としたのち、冷凍機（
９）によって−１０℃に冷却したフレオンを循環用ポン
プ（１０）の作動により冷却流通往管（７）を経てシュ
ラウド（３）の管状部（４）に入口（５）供給し、該管
状部（４）内を流速３０１／分の速度で通過させたのち
、出口（６）より冷却流体流通復管（８）を経て冷凍機
（９）に戻し、再冷却して、フレオンを循環せしめた。In the vacuum cooling device for the vacuum chamber (1) of the first embodiment, first, the inside of the vacuum chamber (1) and the shroud (3) is
After creating a vacuum state of X 10-' Torr, a refrigerator (
Freon cooled to -10°C by 9) is supplied to the inlet (5) through the cooling distribution outgoing pipe (7) to the tubular part (4) of the shroud (3) by the operation of the circulation pump (10), and After passing through the inside of (4) at a flow rate of 301/min, the Freon is returned to the refrigerator (9) from the outlet (6) via the cooling fluid distribution return pipe (8), where it is recooled and circulated. .
その結果、シュラウド（３）内はＩ Ｘ １０−” Ｔ
。As a result, the inside of the shroud (3) is I
.
「「の真空度に達し、半導体の製造等の作業をこのシュ
ラウド（３）内で確実に実施することができた。``The degree of vacuum reached was reached, and work such as semiconductor manufacturing could be carried out reliably within this shroud (3).
第５図と第６図は、この発明の第２発明の実施例を示す
ものである。5 and 6 show a second embodiment of the present invention.
同図において、真空チャンバ（１１）は、アルミニウム
製ロールボンドパネルによりつくられており、周壁（Ｌ
ｌａ） 、頂壁（Ｌｌｂ）および底壁（１１，ｃ）に、
入口（５）および出口（６）を有する膨出管状部（４）
が設けられている。この真空チャンバ（１０）の管状部
（４）の入口（５）に、冷却流体流通往管（７）の一端
部が接続されるとともに、該往管（７）の他端部が冷凍
機（９）に接続され、真空チャンバ（１１）の管状部（
４）の出口（６）に、冷却流体流通復管（８）の一端部
が接続されるとともに、該復管（８）の他端部が冷凍機
（９）に接続され、往管（７）の中間に循環用ポンプ（
１０）が介在させられており、ポンプ（ｉｏ）の作動に
より管状部（４）と冷凍機（９）との間を往復管（７）
（８）を介してフレオンまたは水よりなる冷却流体が
循環するようになされているものである。In the figure, the vacuum chamber (11) is made of an aluminum roll bond panel, and the peripheral wall (L
la), on the top wall (Llb) and the bottom wall (11, c),
Bulging tubular section (4) with an inlet (5) and an outlet (6)
is provided. One end of a cooling fluid flow outgoing pipe (7) is connected to the inlet (5) of the tubular part (4) of this vacuum chamber (10), and the other end of the outgoing pipe (7) is connected to the refrigerator ( 9) and the tubular part (11) of the vacuum chamber (11).
One end of a cooling fluid distribution return pipe (8) is connected to the outlet (6) of the return pipe (8), and the other end of the return pipe (8) is connected to the refrigerator (9). ) between the circulation pump (
10) is interposed, and the reciprocating pipe (7) is connected between the tubular part (4) and the refrigerator (9) by the operation of the pump (io).
A cooling fluid made of freon or water is circulated through (8).
また真空チャンバ（１１）の底壁（ｌｉｅ）にはガス抜
き用開口部（１３）が設けられるとともに、この開口部
（１３）に連通ずるように真空ポンプ接続用ダクト（１
２）が設けられている。また図示は省略したが、真空チ
ャンバ（１１）には、種々の機器を接続したり、物品を
入れたりするため開口部が設けられている。 上記第２
実施例の真空チャンバ（１１）の真空用冷却装置におい
て、冷却流体として水を用い、これを循環用ポンプ（１
０）の作動により真空チャンバ（１１）の管状部（４）
と冷凍機（９）との間を往復管（７）（８）を介して循
環させたところ、真空チャンバ（１１）内はＩ Ｘ １
０−”Ｔｏｒｒの真空度に達し、上記第１実施例の場合
と全く同様の結果が得られた。Further, a gas vent opening (13) is provided in the bottom wall (lie) of the vacuum chamber (11), and a vacuum pump connection duct (1) is provided to communicate with this opening (13).
2) is provided. Although not shown in the drawings, the vacuum chamber (11) is provided with openings for connecting various devices and inserting articles. 2nd above
In the vacuum cooling device for the vacuum chamber (11) of the embodiment, water is used as the cooling fluid, and water is supplied to the circulation pump (11).
0) causes the tubular part (4) of the vacuum chamber (11) to
When circulating between the and refrigerator (9) via the reciprocating tubes (7) and (8), the inside of the vacuum chamber (11) was I
A degree of vacuum of 0-'' Torr was reached, and results exactly the same as in the first embodiment were obtained.
上記第２実施例の真空チャンバ（１１）は、前記第１実
施例のシュラウド（３）の場合と同様に、２枚のアルミ
ニウム板を用いてロールボンド法によりつくられるもの
である。The vacuum chamber (11) of the second embodiment is made by roll bonding using two aluminum plates, similar to the shroud (3) of the first embodiment.
なお、上記実施例においては、管状部（４）が真空チャ
ンバ（１１）の周壁（ｌｌａ） 、頂壁（ｌｌｂ）およ
び底壁（ｌｌｃ）のすべて位置するように設けられてい
るが、この管状部（４）は少なくとも周壁（ｌｌａ）に
設けられておればよい。In the above embodiment, the tubular portion (4) is provided so as to be located on all of the peripheral wall (lla), top wall (llb), and bottom wall (llc) of the vacuum chamber (11). The portion (4) may be provided at least on the peripheral wall (lla).
この第２実施例によれば、シュラウドを省略することが
できるので、真空チャンバ（１１）の構造が簡単になる
ともとに、製造コストが安くっくという利点がある。According to this second embodiment, since the shroud can be omitted, the structure of the vacuum chamber (11) is simplified and the manufacturing cost is low.
なお、上記各実施例においては、真空チャンバ（１）の
シュラウド（３）および真空チャンバ（１１）がいずれ
もアルミニウム製ロールボンドパネルによりつくられて
いるので、軽量でありがっその形状を任意に設定するこ
とができるうえに、管状部（４）の断面形状およびパタ
ーンを変えることにより、冷却による真空度達成の効果
を自在に変化させることができ、使用目的に応じた真空
度を容易に得ることができるという利点がある。In each of the above embodiments, the shroud (3) of the vacuum chamber (1) and the vacuum chamber (11) are both made of aluminum roll bond panels, so they are lightweight and can be shaped arbitrarily. In addition, by changing the cross-sectional shape and pattern of the tubular part (4), the effect of achieving a degree of vacuum through cooling can be freely changed, making it easy to obtain a degree of vacuum according to the purpose of use. It has the advantage of being able to
また真空チャンバ（１）のシュラウド（３）およヒ真空
チャン／＜（１１）を構成する金属はアルミニウムに限
定されるものではなく他の金属、たとえば銅またはその
合金からなる板でもよい。Further, the metal constituting the shroud (3) of the vacuum chamber (1) and the vacuum chamber (11) is not limited to aluminum, but may be a plate made of other metals, such as copper or an alloy thereof.
また、上記２つの実施例においては、管状部を備えたシ
ュラウド（３）および真空チャンバ（１１）は、ロール
ボンド法によって製造されているが、これに限定される
ものではなく、シュラウド（３）および真空チャンバ（
１１）は金属板にバイブが接合されたいわゆるチューブ
−オン・シートによりつくられていてもよい。Further, in the above two embodiments, the shroud (3) and the vacuum chamber (11) including the tubular part are manufactured by the roll bonding method, but the shroud (3) and vacuum chamber (
11) may be made of a so-called tube-on-sheet in which a vibrator is bonded to a metal plate.
また上記各実施例においては、冷却流体流通往管（７）
の中間に循環用ポンプ（１０）が介在させられているが
、循環用ポンプ（１０）は、冷却流体流通往復管（７）
（８）のうち、いずれ°か一方の中間に介在させられ
ておればよいものである。Furthermore, in each of the above embodiments, the cooling fluid circulation outgoing pipe (7)
A circulation pump (10) is interposed between the cooling fluid circulation reciprocating pipe (7).
It is sufficient if it is interposed between any one of (8).
なお、この発明による真空チャンバにおける真空用冷却
装置は、超高真空用冷却トラップ、例えばＧａＡｓ等の
Ｇａを含む半導体膜を製造するＭＢＥ装置、サブリメー
ションポンプ用冷却トラップ、油拡散用冷却トラップ、
超高真空用の計ｉｍ器、クライオポンプ用冷却トラップ
等に適宜使用されるものである。The vacuum cooling device for a vacuum chamber according to the present invention includes a cooling trap for ultra-high vacuum, an MBE device for producing a semiconductor film containing Ga such as GaAs, a cooling trap for sublimation pumps, a cooling trap for oil diffusion,
It is appropriately used for ultra-high vacuum instruments, cryopump cooling traps, etc.
発明の効果
この発明の第１発明による真空チャンバにおける真空用
冷却装置は、上述のように、真空チャンバ（１）が、箱
状真空チャンバ本体（２）と、これの内部に配置されか
つ周壁に、入口（５）および出口（６）を有する管状部
（４）を備えたシュラウド（３）とを具備しており、こ
の真空チャンバ（１）のシュラウド（３）の管状部（４
）の入口（５）に、冷却流体流通往管（７）の一端部が
接続されるとともに、該往管（７）の他端部が冷凍機（
９）に接続され、シュラウド（３）の管状部（４）の出
口（６）に、冷却流体流通復管（８）の一端部が接続さ
れるとともに、該復管（８）の他端部が冷凍機（９）に
接続され、往復管（７） （８）のうち、いずれか一方
の中間に循環用ポンプ（１０）が介在させられており、
ポンプ（１０）の作動により管状部（４）と冷凍機（９
）との間を往復管（７） （８）を介してフレオンまた
は水よりなる冷却流体が循環するようになされているも
ので、冷却流体としてフレオンまたは水を使用している
から、冷却流体の取扱いがきわめて容易であり、作業性
にすぐれているとともに、冷却流体の消費量が非常に少
なく、従って運転コストが非常に安くつくうえに、真空
チャンバ（１）のシュラウド（３）における放出ガスを
トラップすることができ、所定の真空度に到達せしめる
ことができて、常にクリーンなチャンバ環境を形成する
ことができ、半導体の製造等の作業を確実に行ない得て
、実用性が非常に高いという効果を奏する。Effects of the Invention As described above, in the vacuum cooling device for a vacuum chamber according to the first aspect of the present invention, the vacuum chamber (1) is arranged inside a box-shaped vacuum chamber body (2) and has , a shroud (3) with a tubular section (4) having an inlet (5) and an outlet (6), the tubular section (4) of the shroud (3) of the vacuum chamber (1)
One end of a cooling fluid distribution outgoing pipe (7) is connected to the inlet (5) of the refrigerator (
9), one end of a cooling fluid circulation return pipe (8) is connected to the outlet (6) of the tubular portion (4) of the shroud (3), and the other end of the return pipe (8) is connected to the refrigerator (9), and a circulation pump (10) is interposed between one of the reciprocating pipes (7) and (8),
The operation of the pump (10) causes the tubular part (4) and the refrigerator (9) to
) A cooling fluid made of freon or water is circulated between the reciprocating pipes (7) and (8).Since freon or water is used as the cooling fluid, the cooling fluid It is extremely easy to handle, has excellent workability, consumes very little cooling fluid and therefore has very low operating costs, and also reduces the amount of gas released in the shroud (3) of the vacuum chamber (1). It is said that it is extremely practical as it can trap, reach a predetermined degree of vacuum, and always create a clean chamber environment, allowing work such as semiconductor manufacturing to be carried out reliably. be effective.
またこの発明の第２発明による真空チャンバにおける真
空用冷却装置は、上述のように、真空チャンバ（１１）
が、周壁（ｌｌａ） 、頂壁（ｌｌｂ）および底壁（ｌ
ｌｃ）のうち少なくとも周壁（ｌｌａ）に、入口（５）
および出口（６）を有する管状部（４）を備えており、
この真空チャンバ（１１）の管状部（４）の入口（５）
に、冷却流体流通往管（７）の一端部が接続されるとと
もに、該往管（７）の他端部が冷凍機（９）に接続され
、真空チャンバ（１１）の管状部（４）の出口（６）に
、冷却流体流通復管（８）の一端部が接続されるととも
に、該復管（８）の他端部が冷凍機（９）に接続され、
往復管（７）（８）のうち、いずれか一方の中間に循環
用ポンプ（１０）が介在させられており、ポンプ（１０
）の作動により管状部（４）と冷凍機（９）との間を往
復管（７） （８）を介してフレオンまたは水よりなる
冷却流体が循環するようになされているもので、上記第
１発明の場合と同様に真空チャンバ（１１）内における
放出ガスを確実にトラップすることができ、所定の真空
度に到達せしめることができるばかりか、シュラウド（
３）を省略することができるため、それだけ真空チャン
バ（１１）の構造が簡単になり、さらに製造コストが安
くつくという効果を奏する。Further, the vacuum cooling device for a vacuum chamber according to the second aspect of the present invention includes a vacuum chamber (11) as described above.
However, the peripheral wall (lla), the top wall (llb) and the bottom wall (l
lc), at least on the peripheral wall (lla), an inlet (5)
and a tubular portion (4) having an outlet (6);
Inlet (5) of the tubular part (4) of this vacuum chamber (11)
One end of a cooling fluid distribution outgoing pipe (7) is connected to the cooling fluid circulation outgoing pipe (7), and the other end of the outgoing pipe (7) is connected to the refrigerator (9), and the tubular part (4) of the vacuum chamber (11) One end of a cooling fluid distribution return pipe (8) is connected to the outlet (6) of the cooling fluid circulation return pipe (8), and the other end of the return pipe (8) is connected to a refrigerator (9);
A circulation pump (10) is interposed between one of the reciprocating pipes (7) and (8), and the pump (10)
), a cooling fluid made of freon or water is circulated between the tubular part (4) and the refrigerator (9) via the reciprocating pipes (7) and (8). As in the case of the first invention, the released gas in the vacuum chamber (11) can be reliably trapped and a predetermined degree of vacuum can be reached.
Since step 3) can be omitted, the structure of the vacuum chamber (11) is simplified accordingly, and the manufacturing cost is further reduced.
なお、真空チャンバ（１）のシュラウド（３）、あるい
は真空チャンバ（１１）をいずれもアルミニウム製ロー
ルボンドパネルによりつくるものとすれば、軽量であり
かつその形状を任意に設定することができるとともに、
管状部（４）の断面形状およびパターンを変えることに
より、冷却による真空度達成の効果を自在に変化させる
ことができ、使用目的に応じた真空度を容易に得ること
ができるという利点がある。In addition, if both the shroud (3) of the vacuum chamber (1) or the vacuum chamber (11) are made of aluminum roll bond panels, they will be lightweight and the shape can be set arbitrarily.
By changing the cross-sectional shape and pattern of the tubular portion (4), the effect of achieving a degree of vacuum by cooling can be freely changed, and there is an advantage that the degree of vacuum depending on the purpose of use can be easily obtained.
第１図〜第３図はこの発明の第１発明の実施例を示すも
ので、第１図は真空チャンバの部分を切欠いた概略正面
図、第２図は真空チャンバの部分の一部切欠き拡大斜視
図、第３図は管状部の拡大横断面図、第４図は管状部の
変形例を示す拡大横断面図、第５図と第６図はこの発明
の第２発明の実施例を示もので、第５図は概略正面図、
第６図は真空チャンバの部分の拡大垂直断面図である。
（１）（１１）・・・真空チャンバ、（２）・・・箱状
真空チャンバ本体、（３）・・・シュラウド、（４）・
・・管状部、（５）・・・入口、（６）・・・出口、（
７）・・・冷却流体流通往管、（８）・・・冷却流体流
通復管、・・・冷凍機、（１０）・・・循環用ポンプ、
（ｌｌａ）・・・・・・周壁、（ｌｌｂ）・・・頂壁、
（ｌｉｅ）・・・底壁。
以 上
特許出願人 昭和アルミニウム株式会社同
助川電気工業株式会社
第３図
ム
箒４図
第２図1 to 3 show an embodiment of the first invention of the present invention, FIG. 1 is a schematic front view with the vacuum chamber section cut away, and FIG. 2 is a partially cutaway section of the vacuum chamber section. 3 is an enlarged cross-sectional view of the tubular part, FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a modified example of the tubular part, and FIGS. 5 and 6 show an embodiment of the second invention of the present invention. Figure 5 is a schematic front view;
FIG. 6 is an enlarged vertical cross-sectional view of a portion of the vacuum chamber. (1) (11)...Vacuum chamber, (2)...Box-shaped vacuum chamber body, (3)...Shroud, (4)...
...Tubular part, (5)...Inlet, (6)...Outlet, (
7)...Cooling fluid circulation outward pipe, (8)...Cooling fluid circulation return pipe,...refrigerator, (10)...circulation pump,
(lla)...peripheral wall, (llb)...top wall,
(lie)...Bottom wall. Patent applicant: Showa Aluminum Co., Ltd.
Sukegawa Electric Industry Co., Ltd. Figure 3 Mu broom Figure 4 Figure 2
Claims (2)
の内部に配置されかつ周壁に、入口および出口を有する
管状部を備えたシュラウドとを具備しており、この真空
チャンバのシュラウドの管状部の入口に、冷却流体流通
往管の一端部が接続されるとともに、該往管の他端部が
冷凍機に接続され、シュラウドの管状部の出口に、冷却
流体流通復管の一端部が接続されるとともに、該復管の
他端部が冷凍機に接続され、往復管のうち、いずれか一
方の中間に循環用ポンプが介在させられており、ポンプ
の作動により管状部と冷凍機との間を往復管を介してフ
レオンまたは水よりなる冷却流体が循環するようになさ
れている、真空チャンバにおける真空用冷却装置。(1) A vacuum chamber includes a box-shaped vacuum chamber main body and a shroud disposed inside the box-shaped vacuum chamber body and having a tubular part having an inlet and an outlet on a peripheral wall, and the tubular part of the shroud of the vacuum chamber. One end of the cooling fluid circulation outgoing pipe is connected to the inlet of the shroud, the other end of the outgoing pipe is connected to the refrigerator, and one end of the cooling fluid circulation return pipe is connected to the outlet of the tubular portion of the shroud. At the same time, the other end of the return pipe is connected to the refrigerator, and a circulation pump is interposed between one of the reciprocating pipes, and the operation of the pump causes the connection between the tubular part and the refrigerator. A vacuum cooling device for a vacuum chamber, in which a cooling fluid made of Freon or water is circulated through reciprocating tubes.
なくとも周壁に、入口および出口を有する管状部を備え
ており、この真空チャンバの管状部の入口に、冷却流体
流通往管の一端部が接続されるとともに、該往管の他端
部が冷凍機に接続され、真空チャンバの管状部の出口に
、冷却流体流通復管の一端部が接続されるとともに、該
復管の他端部が冷凍機に接続され、往復管のうち、いず
れか一方の中間に循環用ポンプが介在させられており、
ポンプの作動により管状部と冷凍機との間を往復管を介
してフレオンまたは水よりなる冷却流体が循環するよう
になされている、真空チャンバにおける真空用冷却装置
。(2) The vacuum chamber includes a tubular portion having an inlet and an outlet on at least one of the peripheral wall, the top wall, and the bottom wall, and one end of the cooling fluid flow outflow pipe is connected to the inlet of the tubular portion of the vacuum chamber. is connected, the other end of the outgoing pipe is connected to the refrigerator, one end of the cooling fluid circulation return pipe is connected to the outlet of the tubular part of the vacuum chamber, and the other end of the return pipe is connected to the outlet of the tubular part of the vacuum chamber. is connected to the refrigerator, and a circulation pump is interposed in the middle of one of the reciprocating pipes.
A cooling device for vacuum in a vacuum chamber, in which a cooling fluid made of Freon or water is circulated between a tubular portion and a refrigerator via a reciprocating tube by the operation of a pump.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9076788A JPH01261816A (en) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Cooling apparatus for vacuum in vacuum chamber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9076788A JPH01261816A (en) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Cooling apparatus for vacuum in vacuum chamber |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01261816A true JPH01261816A (en) | 1989-10-18 |
Family
ID=14007758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9076788A Pending JPH01261816A (en) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Cooling apparatus for vacuum in vacuum chamber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01261816A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6265829A (en) * | 1985-09-13 | 1987-03-25 | Kurabo Ind Ltd | Powder supply device |
| JPS62102519A (en) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Showa Alum Corp | Manufacture of shroud for semiconductor manufacturing equipment |
| JPS62102518A (en) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Showa Alum Corp | Manufacture of shroud for semiconductor manufacturing equipment |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP9076788A patent/JPH01261816A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6265829A (en) * | 1985-09-13 | 1987-03-25 | Kurabo Ind Ltd | Powder supply device |
| JPS62102519A (en) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Showa Alum Corp | Manufacture of shroud for semiconductor manufacturing equipment |
| JPS62102518A (en) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Showa Alum Corp | Manufacture of shroud for semiconductor manufacturing equipment |
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